JP7374790B2 - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る搬送装置10を備えた描画装置1の斜視図である。図2は、描画装置1の概略上面図である。この描画装置1は、感光材料が塗布された半導体基板やガラス基板等の基板Wの上面に、空間変調された光を照射して、基板Wの上面に露光パターンを描画する装置である。図1および図2に示すように、描画装置1は、搬送装置10、フレーム20、描画処理部30、および制御部40を備える。
次に、搬送装置10の詳細な構成について、説明する。図4は、搬送装置10の一部分を、主走査方向に対して垂直な面で切断したときの部分断面図である。図1~図4に示すように、搬送装置10は、基台11、ステージ12、主走査機構13、副走査機構14、支持プレート16、角度計測装置80、および上述した制御部40を有する。
<3-1.制御部の構成>
図5は、上述した主走査機構13を制御するための制御部40の機能を、概念的に示したブロック図である。図5に示すように、制御部40は、角度取得部91と搬送制御部92とを有する。角度取得部91および搬送制御部92の機能は、制御部40としてのコンピュータが、コンピュータプログラムPに従って動作することにより、実現される。
続いて、搬送装置10において予め実行される事前強化学習について、説明する。図6は、事前強化学習の流れを示すフローチャートである。
続いて、事前強化学習が完了した後に実行される、一対の直進機構60の動作制御について、説明する。図8は、直進機構60の動作制御の流れを示したフローチャートである。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。以下では、種々の変形例について、上記の実施形態との相違点を中心に説明する。
図9は、第1変形例に係る制御部40の機能を、概念的に示したブロック図である。図9の例では、制御部40は、角度推定部93を有する。角度推定部93の機能は、制御部40としてのコンピュータが、コンピュータプログラムPに従って動作することにより、実現される。
上記実施形態の搬送装置10は、主走査機構13だけではなく、副走査機構14を備えていた。しかしながら、本発明は、副走査機構14を備えていない搬送装置を対象とするものであってもよい。
10 搬送装置
11 基台
12 ステージ
13 主走査機構
14 副走査機構
16 支持プレート
20 フレーム
30 描画処理部
40 制御部
50 センサ
60 直進機構
61 リニアモータ
62 エアガイド
63 制御基板
71 リニアモータ
72 ガイド機構
80 角度計測装置
91 角度取得部
92 搬送制御部
93 角度推定部
M1 第1学習済みモデル
M2 第2学習済みモデル
W 基板
d1 第1入力データ
d2 第2入力データ
θ ヨーイング角度
v 制御値
Claims (6)
- 平板状のステージを、一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送装置であって、
前記ステージのヨーイング角度を取得する角度取得部と、
前記角度取得部により取得されたヨーイング角度に基づいて、前記一対の直進機構を制御する搬送制御部と、
を備え、
前記搬送制御部は、前記ヨーイング角度を所望の状態に維持するための強化学習により得られた第1学習済みモデルに、前記角度取得部により取得されたヨーイング角度および前記ヨーイング角度の角速度を含む第1入力データを入力し、前記第1学習済みモデルから出力される制御値に基づいて、前記一対の直進機構を制御する、搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置であって、
前記ステージのヨーイング角度を計測する角度計測装置
をさらに備え、
前記角度取得部は、前記角度計測装置による前記ヨーイング角度の計測結果を取得する、搬送装置。 - 平板状のステージを、一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送装置であって、
前記ステージのヨーイング角度を取得する角度取得部と、
前記角度取得部により取得されたヨーイング角度に基づいて、前記一対の直進機構を制御する搬送制御部と、
を備え、
前記搬送制御部は、前記ヨーイング角度を所望の状態に維持するための強化学習により得られた第1学習済みモデルに、前記角度取得部により取得されたヨーイング角度を含む第1入力データを入力し、前記第1学習済みモデルから出力される制御値に基づいて、前記一対の直進機構を制御し、
前記一対の直進機構を含む搬送機構から出力される計測値に基づいて前記ステージのヨーイング角度を推定する角度推定部
をさらに備え、
前記角度推定部は、前記計測値を含む第2入力データから前記ステージのヨーイング角度を推定するための教師あり機械学習により得られた第2学習済みモデルを用いて、前記ヨーイング角度を推定し、
前記角度取得部は、前記角度推定部による前記ヨーイング角度の推定結果を取得する、搬送装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の搬送装置であって、
前記制御値は、前記一対の直進機構のトルク値である、搬送装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の搬送装置であって、
前記強化学習は、前記ヨーイング角度を所定の範囲内に維持することを目標として実行される機械学習である、搬送装置。 - 平板状のステージを、一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送方法であって、
a)前記ステージのヨーイング角度を取得する工程と、
b)前記工程a)により取得されたヨーイング角度に基づいて、前記一対の直進機構を制御する工程と、
を備え、
前記工程b)では、前記ヨーイング角度を所望の状態に維持するための強化学習により得られた第1学習済みモデルに、前記工程a)により取得されたヨーイング角度および前記ヨーイング角度の角速度を含む第1入力データを入力し、前記第1学習済みモデルから出力される制御値に基づいて、前記一対の直進機構を制御する、搬送方法。
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