JP7330816B2 - ステージ姿勢推定装置、搬送装置、ステージ姿勢推定方法、および搬送方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る搬送装置10を備えた描画装置1の斜視図である。図2は、描画装置1の概略上面図である。この描画装置1は、感光材料が塗布された半導体基板やガラス基板等の基板Wの上面に、空間変調された光を照射して、基板Wの上面に露光パターンを描画する装置である。図1および図2に示すように、描画装置1は、搬送装置10、フレーム20、描画処理部30、および制御部40を備える。
次に、搬送装置10の詳細な構成について、説明する。図4は、搬送装置10の一部分を、主走査方向に対して垂直な面で切断したときの部分断面図である。図1~図4に示すように、搬送装置10は、基台11、ステージ12、主走査機構13、副走査機構14、回転機構15、下段支持プレート16、中段支持プレート17、およびステージ姿勢推定装置18を有する。
<3-1.ステージ姿勢推定装置の構成>
続いて、搬送装置10に搭載されるステージ姿勢推定装置18について、説明する。図5は、ステージ姿勢推定装置18の構成を示したブロック図である。ステージ姿勢推定装置18は、主走査機構13の一対の直進機構60のトルク値の差分に基づいて、ステージ12のヨーイング角度θを推定する装置である。図5に示すように、ステージ姿勢推定装置18は、トルク取得部91、入力データ生成部92、および姿勢推定部93を備える。
続いて、ステージ姿勢推定装置18において予め実行される事前学習処理について、説明する。図6は、事前学習処理の流れを示すフローチャートである。
続いて、ステージ姿勢推定装置18によるヨーイング角度θの推定処理について、説明する。この推定処理は、上述した事前学習処理が完了した後、搬送装置10を動作させるときに実行される。図7は、推定処理の流れを示したフローチャートである。
図8は、上述した搬送装置10と同等の構成を有する実際の装置において、取得可能な種々のパラメータと、ステージ12のヨーイング角度θとの相関を調べた実験結果のグラフである。具体的には、一対のリニアモータ61のトルク値の差分、1つのリニアモータ61のトルク値、移動子612の加速度、エアガイド62の空圧、および搬送装置10の動作音のそれぞれについて、姿勢計測装置80により計測されるステージ12のヨーイング角度θとの相関値を算出した。相関値としては、最大相互情報量(MIC)を用いた。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
10 搬送装置
11 基台
12 ステージ
13 主走査機構
14 副走査機構
15 回転機構
16 下段支持プレート
17 中段支持プレート
18 ステージ姿勢推定装置
20 フレーム
30 描画処理部
40 制御部
50 センサ
60 直進機構
61 リニアモータ
62 エアガイド
63 制御基板
80 姿勢計測装置
91 トルク取得部
92 入力データ生成部
93 姿勢推定部
611 固定子
612 移動子
W 基板
M 学習済みモデル
θ ヨーイング角度
Claims (10)
- 平板状のステージを一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送装置に搭載されるステージ姿勢推定装置であって、
前記一対の直進機構の各々のトルク値を取得するトルク取得部と、
前記トルク取得部により取得される一対のトルク値の差分を算出して、入力データを生成する入力データ生成部と、
前記入力データから前記ステージのヨーイング角度を推定するための機械学習により得られた学習済みモデルに、前記入力データを入力し、前記ヨーイング角度の推定値を出力する姿勢推定部と、
を備えた、ステージ姿勢推定装置。 - 請求項1に記載のステージ姿勢推定装置であって、
前記入力データ生成部は、前記トルク値の時系列データまたは前記一対のトルク値の差分の時系列データから不要な周波数成分を除去するフィルタ処理を行う、ステージ姿勢推定装置。 - 請求項1または請求項2に記載のステージ姿勢推定装置であって、
前記一対の直進機構は、互いに平行に配置された一対のリニアモータを含む、ステージ姿勢推定装置。 - 請求項3に記載のステージ姿勢推定装置であって、
前記搬送装置は、
制御部と、
前記制御部からの指令に従って、前記リニアモータにおいて発生させるべきトルク値を算出し、算出されたトルク値に応じた駆動信号を、前記リニアモータへ供給する制御基板と、
を有し、
前記トルク取得部は、前記制御基板から、前記トルク値を取得する、ステージ姿勢推定装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のステージ姿勢推定装置と、
前記ステージと、
前記一対の直進機構と、
を備えた、前記搬送装置。 - 平板状のステージを一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送装置において、前記ステージの姿勢を推定するステージ姿勢推定方法であって、
a)前記一対の直進機構の各々のトルク値を取得する工程と、
b)前記工程a)により取得される一対のトルク値の差分を算出して、入力データを生成する工程と、
c)前記入力データから前記ステージのヨーイング角度を推定するための機械学習により得られた学習済みモデルに、前記入力データを入力し、前記ヨーイング角度の推定値を出力する工程と、
を有する、ステージ姿勢推定方法。 - 請求項6に記載のステージ姿勢推定方法であって、
前記工程b)では、前記トルク値の時系列データまたは前記一対のトルク値の差分の時系列データから不要な周波数成分を除去するフィルタ処理を行う、ステージ姿勢推定方法。 - 請求項6または請求項7に記載のステージ姿勢推定方法であって、
前記一対の直進機構は、互いに平行に配置された一対のリニアモータを含む、ステージ姿勢推定方法。 - 請求項8に記載のステージ姿勢推定方法であって、
前記搬送装置は、
制御部と、
前記制御部からの指令に従って、前記リニアモータにおいて発生させるべきトルク値を算出し、算出されたトルク値に応じた駆動信号を、前記リニアモータへ供給する制御基板と、
を有し、
前記工程a)では、前記制御基板から、前記トルク値を取得する、ステージ姿勢推定方法。 - 請求項6から請求項9までのいずれか1項に記載のステージ姿勢推定方法により推定された前記ヨーイング角度に基づいて、前記搬送装置の動作を補正しつつ、前記ステージを搬送する、搬送方法。
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JP2012235165A (ja) | 2006-02-21 | 2012-11-29 | Nikon Corp | パターン形成装置及びパターン形成方法、移動体駆動システム及び移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
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