JP2020190582A - ステージ姿勢把握装置、ステージ移動装置、ステージ姿勢把握方法、およびステージ姿勢修正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のステージ移動装置の第1実施形態に係るステージ移動機構1を有する描画装置9について、図1を参照しつつ説明する。図1は、描画装置9の斜視図である。図2は、描画装置9の制御ブロック図である。図3は、描画装置9の構成を示した概略上面図である。
次に、ステージ移動機構1の構成について、図1〜図4を参照しつつ説明する。図4は、ステージ移動機構1の構成を示した概略断面図である。
続いて、ステージ姿勢把握装置10の構成について説明する。本実施形態のステージ姿勢把握装置10は、描画装置9の有する制御部100によって実現される。しかしながら、本発明はこれに限られない。ステージ姿勢把握装置10は、描画装置9とは別個に設けられたコンピュータ等であってもよい。また、ステージ姿勢把握装置10は、描画装置9の制御部100と、インターネット等のネットワークを介して通信可能な装置であってもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
9 描画装置
10 ステージ姿勢把握装置
13 主走査機構
21 圧力センサ
22 トルク検出センサ
23 加速度センサ
33 入力信号取得部
34 姿勢推定部
100 制御部
131 リニアモータ
131a 固定子
131b 移動子
132 エアガイド
132a ガイドレール
132b エアベアリング
M 学習モデル
Claims (8)
- ステージ移動機構のステージ姿勢を把握するためのステージ姿勢把握装置であって、
入力信号を取得する入力信号取得部と、
前記入力信号から前記ステージ姿勢を推定するための機械学習を行った学習済みの学習モデルに前記入力信号を入力し、推定ステージ姿勢を出力する姿勢推定部と、
を備え、
前記入力信号は、前記ステージ移動機構に設けられたセンサから得られた検出信号、前記検出信号の差分、または、前記検出信号または前記差分に所定の処理を行った被処理信号であり、
前記ステージ移動機構は、
上面に被処理物を載置するためのステージと、
前記ステージとともに移動する一対の移動体と、
前記移動体を主走査方向に移動させる、一対の移動機構と、
一部が前記移動体の下方に配置され、前記移動体を主走査方向に案内する一対のガイド部と、
前記移動体と前記ガイド部との上下方向の間隙に加圧気体を供給する一対のエアベアリングと、
を有し、
前記センサは、
前記エアベアリングにおける気圧を計測する圧力センサと、
前記移動機構におけるトルクを計測するトルク検出センサと、
前記移動体の加速度を計測する加速度センサと、
の少なくとも1つを含み、
前記検出信号は、
前記エアベアリングの一方または両方における圧力値と、
前記移動機構の一方または両方における前記トルクと、
前記移動体の一方または両方における前記加速度と、
の少なくとも1つを含む、ステージ姿勢把握装置。 - 請求項1に記載のステージ姿勢把握装置であって、
前記学習モデルは、前記入力信号を入力するとともに、前記ステージ姿勢を検知した検知信号を教師データとして与えることによって得られたモデルである、ステージ姿勢把握装置。 - 請求項1または請求項2に記載のステージ姿勢把握装置であって、
前記入力信号は、前記検出信号または前記差分を含む未処理信号に対して前記処理を行った前記被処理信号であって、
前記入力信号は、横軸を時刻tにおける前記未処理信号、縦軸を時刻t+Δtにおける前記未処理信号とした時系列座標データ、あるいは、前記時系列座標データの表示動画である、ステージ姿勢把握装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のステージ姿勢把握装置であって、
前記検出信号は、少なくとも前記トルクの差分を含む、ステージ姿勢把握装置。 - 上面に被処理物を載置するためのステージを移動させるステージ移動装置であって、
請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のステージ姿勢把握装置と、
前記ステージ移動機構と、
を含む、ステージ移動装置。 - 請求項5に記載のステージ移動装置であって、
前記ステージ移動機構は、
前記ステージの姿勢を修正するステージ姿勢修正機構
をさらに有し、
前記ステージ姿勢修正機構は、前記姿勢推定部の出力した前記推定ステージ姿勢に基づいて、前記ステージの姿勢を修正する、ステージ移動装置。 - ステージ移動機構のステージ姿勢を把握するためのステージ姿勢把握方法であって、
a)入力信号を入力とし、前記ステージ姿勢を出力の教師データとして、前記入力信号と前記ステージ姿勢との関係を機械学習した姿勢推定部を準備する工程と、
b)前記工程a)の後に、前記姿勢推定部に前記入力信号を入力し、推定ステージ姿勢を出力する工程と、
を有し、
前記入力信号は、前記ステージ移動機構に設けられたセンサから得られた検出信号、前記検出信号の差分、または、前記検出信号または前記差分に所定の処理を行った被処理信号であり、
前記ステージ移動機構は、
上面に被処理物を載置するためのステージと、
前記ステージとともに移動する一対の移動体と、
前記移動体を主走査方向に移動させる、一対の移動機構と、
一部が前記移動体の下方に配置され、前記移動体を主走査方向に案内する一対のガイド部と、
前記移動体と前記ガイド部との上下方向の間隙に加圧気体を供給する一対のエアベアリングと、
を有し、
前記検出信号は、
前記エアベアリングの一方または両方における圧力値と、
前記移動機構の一方または両方におけるトルクと、
前記移動体の一方または両方における加速度と、
の少なくとも1つを含む、ステージ姿勢把握方法。 - ステージ移動機構のステージ姿勢を把握するためのステージ姿勢修正方法であって、
a)入力信号を入力とし、前記ステージ姿勢を出力の教師データとして、前記入力信号と前記ステージ姿勢との関係を機械学習した姿勢推定部を準備する工程と、
b)前記工程a)の後に、前記姿勢推定部に前記入力信号を入力し、推定ステージ姿勢を出力する工程と、
c)前記工程b)で出力された前記推定ステージ姿勢に基づいて、ステージの姿勢を修正する工程と、
を有し、
前記入力信号は、前記ステージ移動機構に設けられたセンサから得られた検出信号、前記検出信号の差分、または、前記検出信号または前記差分に所定の処理を行った被処理信号であり、
前記ステージ移動機構は、
上面に被処理物を載置するための前記ステージと、
前記ステージとともに移動する一対の移動体と、
前記移動体を主走査方向に移動させる、一対の移動機構と、
一部が前記移動体の下方に配置され、前記移動体を主走査方向に案内する一対のガイド部と、
前記移動体と前記ガイド部との上下方向の間隙に加圧気体を供給する一対のエアベアリングと、
を有し、
前記検出信号は、
前記エアベアリングの一方または両方における圧力値と、
前記移動機構の一方または両方におけるトルクと、
前記移動体の一方または両方における加速度と、
の少なくとも1つを含む、ステージ姿勢修正方法。
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JP2019094207A JP7242422B2 (ja) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | ステージ姿勢把握装置、ステージ移動装置、ステージ姿勢把握方法、およびステージ姿勢修正方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2002289514A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-10-04 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
JP2003264134A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Nikon Corp | ステージ制御装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2006226862A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Yokogawa Electric Corp | Xyステージ |
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- 2019-05-20 JP JP2019094207A patent/JP7242422B2/ja active Active
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