KR20180099501A - 포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치의 행잉 박스 표면 보정 방법 - Google Patents

포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치의 행잉 박스 표면 보정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치가 수행하는 행잉 박스 표면 보정 방법을 제공한다. 행잉 박스 바닥에 행잉 박스 표면 보정 유닛이 구비되고, 행잉 박스 표면의 변형에 대해 보정을 진행할 수 있고, 행잉 박스 표면 보정 방법 중 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈은 행잉 박스 표면의 변형을 검측하고, 폐루프 자동 제어기는 검측된 행잉 박스 표면의 변형에 따라 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하므로, 행잉 박스 표면의 보정이 더 정확해질 수 있다.

Description

포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치의 행잉 박스 표면 보정 방법{Lithography Machine and Method for Compensating Surface Profile of a Supporting Frame of a Lithography Machine}
본 발명은 반도체 포토리소그래피 장치에 관한 것으로, 특히 포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치의 표면 보정 방법에 관한 것이다.
포토리소그래피 장치 중, 워크피스 테이블 서브시스템은 평면 디스플레이 스캔 포토리소그래피 장치에 있어서 가장 관건이 되는 서브시스템 중 하나로, 그 정확도 및 안정성은 포토리소그래피 장치의 생산성, 오버레이 정확도 및 이미징(imaging) 품질에 직접적인 영향을 미친다. 다른 종류의 포토리소그래피와 비교할 때, 평면 디스플레이 스캔 포토리소그래피의 워크피스 테이블 서브시스템은 스트로크(stroke)가 더 크고, 스캔 속도가 빠르고, 부하(load)가 더 크고, 모터의 구동반력이 더 큰 특징이 있으므로, 그 정확도 및 안정성에 대해 더 엄격한 조건이 요구된다.
포토리소그래피 장치의 운동 정확도가 갈수록 높아짐에 따라, 진동환경의 조건 역시 갈수록 높아지고 있다. 현재 진동 격리를 정교하게 수행하는 액티브(active) 댐퍼를 채용하는데, 액티브 댐퍼의 작용 중 하나는 내부 중요 파트를 기초 프레임 등 기타 구성요소의 외부 세계와 독립적으로 만드는 것이고, 다른 하나는, 진동 댐퍼가 행잉 박스, 워크피스 테이블, 마스킹 테이블, 오브젝트 렌즈(lens) 등의 총 무게를 지지하는 지지(support) 작용을 한다. 행잉 박스 테이블면의 수평 조절은 진동 댐퍼의 위치 루프(loop)를 통해 제어되고, 워크피스 테이블은 각각의 위치 사이에서 운동하므로, 다른 위치에서 각각의 진동 댐퍼가 분배하는 힘 또한 서로 다르다. 따라서, 진동 댐퍼의 반응 속도를 높이기 위해, 행잉 박스를 강체(rigid body, )로 삼고, 각각의 포인트 지점에서 분배되는 힘의 크기를 계산해 내고, 이에 따라, 피드포워드(feed-forwad)로서 진동 댐퍼의 제어 체계에 더해질 수 있다. 대리석의 사이즈가 크지 않은 상황에서, 상기 방법은 진동 댐퍼의 평면도를 효과적으로 보장한다. 그러나, 워크피스 테이블 사이즈가 커짐에 따라, 운동을 지지(support)하는 행잉 박스 사이즈 역시 거대해 졌다. 행잉 박스 엣지가 진동 댐퍼를 어레인지(arrange)한 후, 워크피스 테이블의 중량 및 행잉 박스 자체의 무게로 인해, 중간에 왜곡 변형이 발생하고, 더 나아가 에어 플롯(float) 궤도의 표면에 영향을 줄 수 있고, 워크피스 테이블이 운동 과정 중 에어 플롯 간극에 변화가 발생하도록 하며, 최종적으로 워크피스 테이블의 운동 성능에 영향을 미친다. 따라서, 행잉 박스 표면을 어떻게 유지할 것인지는 워크피스 테이블 성능을 보장하기 위한 요소 중 하나이다.
상술한 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치의 행잉 박스 표면 보정 방법을 제안하고, 행잉 박스 저면에 행잉 박스 표면 보정 유닛을 설치하고, 행잉 박스 표면 변형에 기초하여 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어한다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 포토리소그래피 장치를 제공하는데, 포토리소그래피 장치는 워크피스 테이블의 로드 베어링에 이용되는 행잉 박스, 상기 행잉 박스 상에 구비되고, 행잉 박스 표면의 보정에 이용되는 행잉 박스 표면 보정 유닛, 상기 행잉 박스 상에 더 구비되고 행잉 박스 표면의 변형 정보 획득에 이용되는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈, 및 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛과 연결되고, 상기 행잉 박스 표면의 변형 정보에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 대해 가하는 보정력의 크기를 제어하는데 이용되는, 폐루프 자동 제어기를 구비한다.
바람직한 일실시예에 있어서, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛은 진동 댐퍼를 채용하고, 상기 진동 댐퍼는 에어백 및 리니어 모터로 구성될 수 있다.
바람직한 일실시예에 있어서, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 일측은 지면에 고정되고, 나머지 일측은 상기 행잉 박스 저면에 고정될 수 있다.
바람직한 일실시예에 있어서, 상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈은 상기 행잉 박스 저면의 스트레인 게이지에 고정될 수 있다.
바람직한 일실시예에 있어서, 상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈은 피에조일렉트릭(piezoelectric) 필름일 수 있고, 상기 행잉 박스 저면에는 그루브(groove)가 구비될 수 있고, 상기 피에조일렉트릭 필름은 상기 그루브 내에 고정될 수 있다.
바람직한 일실시예에 있어서, 상기 워크피스 테이블 상에, 상기 어크피스 테이블의 위치 측정에 이용되는, 위치 피드포워드(feedforward) 반응 장치를 더 구비할 수 있고, 상기 포토리소그래피 장치는 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛과 연결되고, 상기 워크피스 테이블의 위치에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 대해 가하는 보정력의 크기를 제어하는데 이용되는 처리기를 더 구비할 수 있다.
바람직한 일실시예에 있어서, 상기 처리기 및 상기 폐루프 자동 제어기는 통합(integrate)되거나, 또는, 상기 상호 독립적일 수 있다.
본 발명의 상술한 포토리소그래피 장치가 수행하는 행잉 박스 표면 보정 방법은,
단계 1: 행잉 박스 바닥(bottom)에 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈을 구비하는 단계;
단계 2: 이 때, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터 및, 상기 행잉 박스의 표면 변형이 제1 임계값보다 작도록 하는 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 주는 보정력의 크기를 기록하는 단계;
단계 3: 상기 워크피스 테이블을 이동시키되, 워크피스 테이블이 일정한 거리를 이동할 때마다, 워크피스 테이블 한계 위치(limit position)가 될 때까지 이동시켜 단계 2를 반복하는 단계;
단계 4: 단계 2 및 단계 3에서 획득한 데이터에 기초하여 최소제곱법(least square method) 피팅(fitting)을 진행하는 단계; 및
단계 5: 폐루프 자동 제어기를 구비하고, 그것과 행잉 박스 표면 보정 유닛을 연결하고, 단계 4의 피팅에 기초하여 데이터를 획득하고, 워크피스 테이블의 이동 과정 중, 상기 폐루프 자동 제어기를 통해 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하는 단계
를 포함한다.
바람직한 일실시예에 있어서, 단계 4는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터, 및 행잉 박스 표면 보정 유닛이 주는 상기 행잉 박스 보정의 크기에 대해 최소제곱법 피팅을 진행하는 단계를 포함할 수 있고, 단계 5는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하는 단계를 포함할 수 있다.
바람직한 일실시예에 있어서, 워크피스 테이블 상에 위치 피드포워드 반응 장치를 구비할 수 있고, 단계 2 및 단계 3에서 워크피스 테이블 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터를 기록할 수 있고, 위치 피드포워드 반응 장치가 나타내는 워크피스 테이블의 실시간 위치 좌표를 기록하는 단계를 포함할 수 있고, 단계 4는, 상기 실시간 위치 좌표 및 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터에 대해 최소제곱법 피팅을 진행하는 단계를 더 포함할 수 있고, 단계 5는, 상기 실시간 위치 좌표에 기초하여, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
현재 이용되고 있는 기술과 비교하면, 본 발명의 장점은 다음과 같다: 본 발명은 포토리소그래피 장치를 제공하는 것으로, 포토리소그래피 장치 중의 행잉 박스 바닥에 행잉 박스 표면 보정 유닛을 구비하고, 행잉 박스 변형 과정 중 행잉 박스 표면 보정 유닛은 행잉 박스로 보정력을 가하여, 행잉 박스 표면의 변형이 보정되도록 한다.
본 발명은 포토리소그래피 장치 중의 행잉 박스 표면 보정을 제공하는데, 행잉 박스 바닥에 그 검측이 획득한 행잉 박스의 변형 데이터를 기록하는데 이용되는, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 구비되고(일반적으로 스트레인(strain)), 폐루프 자동 제어기를 구비하고, 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하고, 워크피스 테이블을 이동하고, 각각 일정한 거리를 이동하도록 하고, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 획득한 데이터를 기록하고, 상기 기록된 변형 데이터 및 보정력을 최소제곱법 피팅을 진행하고, 폐루프 자동 제어기에 입력하고, 실시간으로 스캔 노출 과정 중, 워크피스 테이블 이동 시, 폐루프 자동 제어기는 상기 피팅된 데이터에 기초하여 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 실시간으로 제어한다.
상기 포토리소그래피 및 포토리소그래피 장치가 수행하는 행잉 박스 표면 보정 방법은 행잉 박스 표면의 변형 발생을 보정하고, 보정 방법은, 행잉 박스 표면의 변경을 검측하는데 이용되는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 구비되어 있고, 그것과 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 최소제곱법 피팅한 후 피팅 데이터를 획득하고, 폐루프 자동 제어기는 피팅된 데이터에 기초하여 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하므로, 행잉 박스 표면의 보정은 더 정확히 수행된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정 원리도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 보정력을 가하지 않은 경우, 행잉 박스 표면 변형의 시뮬레이션 결과를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 보정력을 가한 후 행잉 박스 표면 변형의 시뮬레이션 결과를 도시한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 스트레인 게이지의 위치의 일부를 도시한다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 폐루프 제어 과정을 도시한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 워크피스 테이블의 보행 궤적을 도시한다.
도 7은 본 발명의 다른 일실시예에 따른 피에조일렉트릭 세라믹이 설치된 일부를 도시한다.
도면 중 1은 진동 댐퍼를 의미하고, 2는 스트레인 게이지를 의미하고, 3은 행잉 박스를 의미하고, 4는 그루브를 의미하고, 5는 피에조일렉트릭 세라믹을 의미한다.
상술한 본 발명의 목적, 특징 및 장점을 더 명확하고 쉽게 이해할 수 있도록 아래에서 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시방법에 대해 상세히 설명한다.
<실시예 1>
도 1을 참조하면, 역학 시뮬레이션 모델에 있어서, 행잉 박스의 평면은 집중적으로 부하(load) F를 받게 되어 변형이 발생하는데, 통상적으로 가장 큰 스트레인은 0.818e-6m(도 2에 도시됨)로, 이는 행잉 박스 상측의 워크피스 테이블이 수평을 잃도록 한다.
따라서, 본 발명의 포토리소그래피 장치는, 도 1을 참조, 행잉 박스 상에 행잉 박스 표면 보정 유닛을 구비하고, 행잉 박스의 표면에 보정을 수행하고, 여기에서, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 수량 및 위치는 필요에 따라 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 데이터가 둘인 경우, 두 개의 행잉 박스 표면 보정 유닛은 상기 행잉 박스 중심 및 상기 행잉 박스 엣지 간의 구역에 직선 형태를 이룬다. 또한, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 데이터가 세 개인 경우, 세 개의 행잉 박스 표면 보정 유닛은 상기 행잉 박스 중심 및 상기 행잉 박스 엣지 간의 구역에서 삼각형을 이룬다. 여기서, 보정력이 F1 및 F2라 하면(도 1에 도시된 것과 같이), 보정 후 검측되는 행잉 박스 상의 최대 스트레인은 0.104e-6m(도 3 참조)로 최대 스트레인이 감소했음을 명확히 알 수 있다.
바람직하게는, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛은 진동 댐퍼(1)이고, 일반적으로 진동 댐퍼(1)는 에어백 및 리니어 모터로 구성되고, 상기 리니어 모터를 통해 상기 에어백 중의 기체량을 제어하고, 따라서 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛(즉, 여기서는 진동 댐퍼(1))의 보정력 제공을 제어한다. 구체적으로, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛(즉, 여기서는 상기 에어백)의 일측은 지면과 접촉할 수 있고, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛(즉, 여기서는 상기 에어백)의 나머지 일측은 행잉 박스 대리석 바닥면과 접촉할 수 있다.
바람직하게는, 상기 행잉 박스 상에 행잉 박스 표면 보정 검측 모듈이 더 구비될 수 있다. 본 실시예에 있어서, 도 4를 참조하면, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈은 스트레인 게이지(2)이고, 이것은 일종의 센서로, 행잉 박스 표면 변형이 발생하는 스트레인을 검측할 수 있다. 여기에서, 진동 댐퍼(1)의 출력 제어를 통해 입력함으로써 스트레인이 임계값 내로 줄어들도록 하여, 상기 스트레인이 임계값 내로 줄어들도록 하고, 상기 임계값은 다른 상황에서 요하는 다른 정확도에 따라 다르게 설정될 수 있다.
도 5를 참조하면, 폐루프 자동 제어기가 구비되고, 본 실시예 중의 PID 제어기, 그것과 진동 댐퍼(1)는 연결되고, 진동 댐퍼가 행잉 박스의 보정력을 주는데 이용된다. 구체적으로, 상기 폐루프 자동 제어기는 유선 또는 무선의 방식을 통해 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛과 연결될 수 있다. 구체적으로, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛 중의 리니어 모터와 연결될 수 있다. 모터 제어의 출력을 통해 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛이 제공하는 보정력을 제어할 수 있다. 나아가, 상기 폐루프 자동 제어기는 유선 또는 무선의 방식을 통해 상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈과 더 연결될 수 있다. 상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 행잉 박스 표면의 변형 정보를 획득하고, 상기 행잉 박스 표면의 변형 정보에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 대해 가하는 행잉 박스 보정력의 크기를 제어할 수 있다.
계속해서 도 5를 참조하면, 본 발명은 상술한 포토리소그래피 장치의 행잉 박스 표면 보정 방법은 아래의 단계들을 포함할 수 있다.
단계 1: 진동 댐퍼(1)가 행잉 박스에 가하는 보정력을 정확히 제어하기 위해, 행잉 박스 표면 보정 전, 우선 행잉 박스 스트레인 및 진동 댐퍼(1) 보정력 간의 관계를 캘리브레이트(calibrate)하고, 스트레인 게이지(2)를 행잉 박스 바닥에 설치하고, 바람직하게는 진동 댐퍼(1)과 인접한 곳에 설치한다. 구체적으로, 행잉 박스의 수평을 조절한 후, 스트레인 게이지(2)를 설치하고, 그 다음 워크피스 테이블을 X축 또는 Y축 방향에 따라 한계 위치가 되도록 운동시킨다.
단계 2: 스트레인 게이지(2)가 앞서 검측한 스트레인 s1을 기록하고, 진동 댐퍼(1)가 행잉 박스 표면으로부터 나오는 보정력에 대해 스트레인이 미리 설정한 임계값 ε보다 작아질 때까지 조작하고, 이 때 진동 댐퍼(1)의 보정력 F1을 값으로 하여, 취소보정력을 기록한다.
단계 3: 워크피스 테이블을 이동한 후, 워크피스 테이블이 X축 또는 Y축 방향을 따라 각각 일정한 거리를 이동하고, 단계 2의 스트레인 및 보정력을 조작하는 단계를 반복하고, 워크피스 테이블이 X축 또는 Y축의 다른 하나의 한계 위치가 될 때까지 모든 검측값은 아래 표 1에 정리되어 있다.
Figure pat00001
위 표의 데이터에 대해 최소제곱법 피팅을 채용하고, 즉, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 스트레인 데이터 및 행잉 박스 표면 보정 유닛이 가하는 상기 행잉 박스 보정력의 크기에 최소제곱법 피팅을 진행하고, 최종적으로 진동 댐퍼(1)의 보정력 및 스트레인 간의 관계를 획득한다.
단계 4: PID 제어기 중 상기 정보를 입력하고, 즉 진동 댐퍼(1)의 보정력 및 스트레인 간의 관계를 입력하는 PID 제어기, 스캔 노출 과정 중, 워크피스 테이블이 이동(어느 위치에 도달하도록)할 때, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈은 행잉 박스 표면의 스트레인 데이터를 획득하고, PID 제어기는 상기 행잉 박스 표면의 스트레인 데이터 및 상기 최소제곱법 피팅을 통해 획득한 곡선으로 진동 댐퍼(1)의 보정력을 제어한다.
상기 포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 장치 행잉 박스 표면 보정 방법은 행잉 박스 표면의 변형에 대해 보정을 진행할 수 있고, 보정 방법 중, 행잉 박스 표면의 스트레인 검측에 이용되는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 설치되고, 그것과 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력이 최소제곱법 피팅 후 피팅 데이터가 획득되므로, 폐루프 자동 제어기는 피팅 데이터에 기초하여 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하므로, 행잉 박스 표면에 대한 보정이 더 정확해진다.
선택에 따라, 행잉 박스 표면 보정 유닛이 보정력을 가하지 않는 상황에서, 워크피스 테이블이 도 6에 도시된 보행 궤적과 같이 보행하도록 하고, 매 보행 시마다 위치 피드포워드 반응 장치가 보여주는 워크피스 테이블의 실시간 위치 좌표를 기록함과 동시에, 스트레인 게이지(2)는 매 보행 시간을 기록하고, 워크피스 테이블은 행잉 박스의 스트레인에 의해 상기 아래 표 2의 요약된 데이터를 형성한다.
Figure pat00002
표 1 및 표 2를 결합하면, 더 나아가 워크피스 테이블의 위치 및 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력 간의 상대적 관계를 획득할 수 있다. 상기 표의 데이터를 기계상수로서 PID 제어기에 입력하고, 워크피스 테이블이 다른 위치로 운동할 때, 획득된, 상응하는 위치의 스트레인 값으로 인터폴레이트(interpolate)를 진행하고, 진동 댐퍼(1)의 보정력 제어에 이용되는 상기 스트레인 값을 피드포워드 신호로서 진동 댐퍼(1)로 전달한다. 즉, 본원 실시예에 있어서, 상기 폐루프 자동 제어기는 처리기를 더 통합하고, 상기 처리기는 상기 표 2(즉, 여기서는 표면 보정표라고 지칭됨)를 저장하고, 더 바람직하게는, 상기 처리기는 상기 실시간 위치 좌표 및 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터에 최소제곱법 피팅을 진행하여 곡선을 획득한다. 계속해서 도 5를 참조하면, 더 나아가, 워크피스 테이블이 이동(제1 위치로)할 때, 상기 위치 피드포워드 반응 장치는 상기 워크피스 테이블의 위치를 측정하고, 상기 처리기는 상기 워크피스 테이블의 실시간 위치 좌표 및 상기 표 2 또는 상기 표 2 최소제곱법 피팅에서 획득한 곡선에 기초하여 상응하는 위치의 스트레인 값을 획득하고, 상기 표 1 또는 상기 표 1 최소제곱법 피팅에서 획득한 곡선에 기초하여, 행잉 박스 표면 보정 유닛이 가하는 상기 행잉 박스 보정력의 크기를 제어한다. 그 밖에도, 상기 처리기는 상기 폐루프 자동 제어기와 상호 독립적일 수 있다.
PID 제어 시, 발생하는 지연을 방지하기 위해 상기 위치 피드포워드 반응 장치를 사용하면, 진동 댐퍼(1)의 반응 속도가 높아진다.
<실시예 2>
도 7을 참조하면, 본 실시예와 실시예 1의 차이점은, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 피에조일렉트릭 세라믹(5)이고, 행잉 박스(3) 바닥에 그루브(4)가 구비되고, 상기 피에조일렉트릭 세라믹(5)는 그루브(4) 내에 설치되고, 프리타이트닝 포스(pretightening force)를 가하여 피에조일렉트릭 세라믹(5)은 압축을 미리 진행할 수 있다. 실시예 1 중 측정되는 스트레인 s1은 피에조일렉트릭 세라믹(5)이 획득하는 데이터를 대체한다. 본 실시예에서는, 행잉 박스 표면의 변형 정보는 다른 검측 장치를 통해 획득하는 것으로 이에 제한되지 않는다. 상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈의 데이터는 복수일 수 있고, 정확도에 대한 다른 요구에 따라, 다른 데이터의 상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈을 설치할 수 있다. 바람직하게는, 상기 복수의 행잉 박스 표면 보정 검측 모듈은 상기 행잉 박스 상에 분포한다.
위에서 실시예에 대해 설명하였으나, 본 발명은 실시예에 제한되지 않는다. 본 발명이 속한 기술 영역의 통상의 기술자가 본 발명에 대한 개량 및 개조를 할 수 있으나, 본 발명의 정신 및 범위에 벗어날 수 없다. 이처럼, 본 발명의 이러한 개선 및 변형은 본 발명의 권리범위 및 그것과 균등한 기술 범위 내에 속하는 것으로, 즉 본 발명의 도면은 이러한 개선 및 변형을 포함한다.
1: 진동 댐퍼
2: 스트레인 게이지
3: 행잉 박스
4: 그루브
5: 피에조일렉트릭 세라믹

Claims (10)

  1. 워크피스 테이블(workpiece table)의 로드 베어링(load bearing)에 이용되는 행잉 박스(hanging box)를 포함하는 포토리소그래피(photolithography) 장치에 있어서,
    상기 행잉 박스 상에 구비되고, 행잉 박스 표면의 보정(compensate)에 이용되는 행잉 박스 표면 보정 유닛;
    상기 행잉 박스 상에 더 구비되고, 행잉 박스 표면의 변형(deformation) 정보 획득에 이용되는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈;
    상기 포토리소그래피 장치는, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛과 연결되고, 상기 행잉 박스 표면의 변형 정보에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 대해 가하는 보정력(compensate force)의 크기를 제어하는데 이용되는, 폐루프(closed-loop) 자동 제어기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 행잉 박스 표면 보정 유닛은, 진동 댐퍼(damper)를 채용하고,
    상기 진동 댐퍼는, 에어백 및 리니어 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 일측은 지면(ground)에 고정되고, 나머지 일측은 상기 행잉 박스 저면(bottom surface)에 고정되는 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈은 상기 행잉 박스 저면의 스트레인 게이지(strain gauges)에 고정되는 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 행잉 박스 표면 검측 모듈은, 피에조일렉트릭(piezoelectric) 필름이고,
    상기 행잉 박스 저면에는 그루브(groove)가 구비되고,
    상기 피에조일렉트릭 필름은 상기 그루브 내에 고정되는 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 워크피스 테이블 상에 상기 워크피스 테이블의 위치 측정에 이용되는, 위치 피드포워드(feedforward) 반응 장치를 더 구비하고,
    상기 포토리소그래피 장치는 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛과 연결되고, 상기 워크피스 테이블의 위치에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 대해 가하는 보정력의 크기를 제어하는데 이용되는 처리기
    를 더 구비하는 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 처리기와 상기 폐루프 자동 제어기는 통합(integrate)되거나, 또는,
    상기 처리기와 상기 폐루프 자동 제어기는 상호 독립적인 것을 특징으로 하는,
    포토리소그래피 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 포토리소그래피 장치가 수행하는 행잉 박스 표면 보정 방법에 있어서,
    단계 1: 행잉 박스 바닥(bottom)에 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈을 구비하는 단계;
    단계 2: 이 때, 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터 및, 상기 행잉 박스의 표면 변형이 제1 임계값보다 작도록 하는 행잉 박스 표면 보정 유닛이 상기 행잉 박스에 주는 보정력의 크기를 기록하는 단계;
    단계 3: 상기 워크피스 테이블을 이동시키되, 워크피스 테이블이 일정한 거리를 이동할 때마다, 워크피스 테이블 한계 위치(limit position)가 될 때까지 이동시켜 단계 2를 반복하는 단계;
    단계 4: 단계 2 및 단계 3에서 획득한 데이터에 기초하여 최소제곱법(least square method) 피팅(fitting)을 진행하는 단계; 및
    단계 5: 폐루프 자동 제어기를 구비하고, 그것과 행잉 박스 표면 보정 유닛을 연결하고, 단계 4의 피팅에 기초하여 데이터를 획득하고, 워크피스 테이블의 이동 과정 중, 상기 폐루프 자동 제어기를 통해 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하는 단계;
    를 포함
    하는 것을 특징으로 하는,
    행잉 박스 표면 보정 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    단계 4는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터, 및 행잉 박스 표면 보정 유닛이 주는 상기 행잉 박스 보정의 크기에 대해 최소제곱법 피팅을 진행하는 단계를 포함하고,
    단계 5는 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터에 기초하여 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하는 단계를 포함
    하는 것을 특징으로 하는,
    행잉 박스 표면 보정 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    워크피스 테이블 상에 위치 피드포워드 반응 장치를 구비하고,
    단계 2 및 단계 3에서 워크피스 테이블 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터를 기록함과 동시에,
    위치 피드포워드 반응 장치가 나타내는 워크피스 테이블의 실시간 위치 좌표를 기록하는 단계를 포함하고,
    단계 4는, 상기 실시간 위치 좌표 및 행잉 박스 표면 변형 검측 모듈이 검측한 데이터에 대해 최소제곱법 피팅을 진행하는 단계를 더 포함하고,
    단계 5는, 상기 실시간 위치 좌표에 기초하여, 상기 행잉 박스 표면 보정 유닛의 보정력을 제어하는 단계를 더 포함
    하는 것을 특징으로 하는,
    행잉 박스 표면 보정 방법.
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