TWI411566B - Workpiece handling device and workpiece handling method - Google Patents

Description

工件搬運裝置及工件搬運方法

本發明是涉及搬運具極性之晶片型電子零件等工件的工件搬運裝置及工件搬運方法，特別是在搬運中判定工件的極性，可容易且確實地判定極性為相反時使工件的方向反轉的工件搬運裝置及工件搬運方法。

進行電容器或二極管等具極性的晶片型電子零件(以下稱工件)的特性測定的裝置，或將該等的工件收納於載體帶的傳動帶元件裝配裝置中，會有產生必須使工件的極性一致的場合。為此，該等的裝置具備有搬運工件時使極性一致的極性反向機構。

從以往具有工件極性反向機構的工件搬運裝置即已為人所知(參閱例如專利文獻1)。第9圖是表示具有上述以往之工件極性反向機構的工件搬運裝置。如第9圖表示，藉饋送器21以1列搬運的工件W是個別被收容在配置於逆時鐘方向(箭頭F方向)間歇轉動之搬運台22外圍部的工件收納孔23。並且，藉著未圖示的極性判定部來判定工件W的極性，判定極性相反的工件在工件收納部23到達與形成在反轉部24的反轉軌道25的入口相對的位置23a時，藉著設置在位置23a附近的未圖示的噴出手段送出至反轉軌道25內，以反轉軌道25內的未圖示之感測器檢測出將工件W1送出至反轉軌道25內之後，調整噴氣的時機和搬運台22的轉動時機。藉以使收納有上述工件W1的工件收納孔23到達與反轉軌道25的出口相對的位置時，工件W1會在極性反轉的狀態下再次收納於該工件收納孔23(第9圖的箭頭H)。

但是第9圖表示習知的工件搬運裝置中，有須配合反轉軌道25內的工件W1到達出口的時機和收納著工件W1的工件收納孔23到達與反轉軌道23的出口相對的位置23b的時機的必要。此時，有檢測通過反轉軌道25內的工件W1的速度和搬運台22之轉動速度的比較，控制搬運台22的轉動速度來配合上述時機的必要，但是如上述配合時機的場合，會導致裝置的複雜化造成成本上的提升。

也可考慮調整將工件W1送出至反轉軌道25內之噴出手段的噴氣力使工件W1的速度達到最佳化的方法，但是該方法也並非容易。即，噴氣力大時會增大工件W1的速度，會使得工件W到達反轉軌道25的出口比收納有工件W1的工件收納孔23到達與反轉軌道23的出口相對的位置23b還早。此時，與收納有工件W1的工件收納孔23不同的工件收納孔23是位在與反轉軌道23的出口相對的位置23b，並且另外的工件W2一旦被收納於該工件收納孔23時，如第9圖表示工件W1會與工件W2衝突而損傷到各工件。並且，搬運台22的外圍部位於此位置23b時，工件W1會與搬運台22的外圍部衝突而損傷到該等的各部或工件W1。

另一方面，上述噴氣力小時會降低工件1的速度，使得工件1在反轉軌道25內停止不能到達出口。如上述，噴氣力大的場合及小的場合，未收納於工件收納孔的工件W1都會殘留在反轉軌道25內，而有停止裝置須以人手除去該工件的必要，導致裝置的運轉率的降低。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]　日本特開平10-139136號

本發明是考慮以上的點所研創而成，提供可使極性相反的工件確實地收納於已收納有該工件的工件收納孔，且不會損傷工件，構造更為簡單的工件搬運裝置及工件搬運方法為目的。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為，具備：設有收納具極性之工件的複數個工件收納孔，搬運工件的搬運體；對於工件收納孔內的工件判定極性正反的極性判定部；與搬運體相對而設置，具有入口與出口的圓弧形的反轉軌道；將工件收納孔內的工件送出至反轉軌道內的工件送出手段；使藉著工件送出手段送出至反轉軌道的工件減速的工件減速手段；及將反轉軌道內藉著工件減速手段所減速的工件朝工件收納孔內噴出而返回的工件噴出手段。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為：反轉軌道是經由反轉軌道上游側的上游側氣體通路與反轉軌道下游側的下游側氣體通路連接在氣體儲存部，該氣體儲存部可自由切換地連接於真空產生源及氣體供應源，氣體儲存部連接於真空產生源的場合，下游側氣體通路具有作為工件減速手段的功能，氣體儲存部連接在氣體供應源的場合，下游側氣體通路則具有作為工件噴出手段的功能。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為：在反轉軌道的下游側氣體通路的更下游側設置大氣開放孔。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為：工件送出手段是被設置在搬運體側，使工件收納孔內的工件朝向反轉軌道的入口噴出的壓縮氣體噴出手段所構成。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為：在反轉軌道的入口附近設有入口側感測器，可檢測從工件收納孔將工件送出至反轉軌道的入口。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為：在反轉軌道的出口附近設有出口側感測器，可檢測從反轉軌道的出口將工件朝著工件收納孔的噴出。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為：在與搬運體側的反轉軌道的出口相對的部份，設有工件收納孔內未正常收納著工件的場合，使該工件收納孔內的工件返回到反轉軌道的出口的壓縮氣體回流手段。

本發明的工件搬運方法，其特徵為，具備：藉著具有收納具極性之工件的複數個工件收納孔的搬運體來搬運的步驟；對於工件收納孔內的工件，藉極性判定部來判定其極性的正反的步驟；藉著工件送出手段將以極性判定部判定極性為相反之搬運體的工件收納孔內的工件朝著與搬運體相對而設置的圓弧形反轉軌道的入口送出的步驟；將由反轉軌道的入口送出至反轉軌道的工件藉著工件減速手段在反轉軌道內減速的步驟；及將反轉軌道內所減速的工件藉工件噴出手段噴出至搬運體的工件收納孔內而返回的步驟。

本發明的工件搬運方法，其特徵為：反轉軌道是經由反轉軌道上游側的上游側氣體通路與反轉軌道下游側的下游側氣體通路連接於氣體儲存部，該氣體儲存部可自由切換地連接於真空產生源及氣體供應源，氣體儲存部連接於真空產生源的場合，下游側氣體通路具有作為工件減速手段的功能，氣體儲存部連接於氣體供應源的場合，下游側氣體通路具有作為工件噴出手段的功能。

本發明的工件搬運方法，其特徵為：在反轉軌道的下游側氣體通路的更下游側設有大氣開放孔。

本發明的工件搬運方法，其特徵為：工件送出手段是由被設置在搬運體側，將工件收納孔內的工件朝著反轉軌道的入口噴出的壓縮氣體噴出手段所構成。

本發明的工件搬運方法，其特徵為：在反轉軌道的入口附近，設置可檢測從工件收納孔送出工件至反轉軌道的入口的入口側感測器。

本發明的工件搬運方法，其特徵為：在反轉軌道的出口附近，設置可檢測從反轉軌道的出口將工件噴出至工件收納孔的出口側感測器。

本發明的工件搬運方法，其特徵為：在與搬運體側的反轉軌道的出口相對的部份，設置工件未正常收納於工件收納孔內的場合，使該工件收納孔內的工件返回至反轉軌道的出口的壓縮氣體回流手段。

如以上說明根據本發明，藉極性判定部判定極性為相反的工件是從搬運體的供件收納孔藉工件送出手段送出至反轉軌道內。反轉軌道內的工件隨後藉著工件減速手段予以減速或停止，接著藉工件噴出手段噴出至工件收納孔內返回。此時，配合搬運體的搬運速度使工件噴出手段動作，可容易且確實地將反轉軌道內的工件噴出至工件收內孔內返回，也不會損傷工件或搬運體。

以下，參閱圖示針對本發明的實施形態說明。第1圖至第8圖是表示本發明所涉及工件搬運裝置及工件搬運方法之一實施形態的圖。

如第1圖及第8圖表示，工件搬運裝置30，具備：收納具極性的工件W之外圍設有複數個工件收納孔4、4a、4b而被配置在垂直方向的搬運台(搬運體)3；對於搬運台3的工件收納孔4、4a、4b的工件W判定極性的正反的極性判定部6；及與搬運台3對應設置，包含入口8a與出口8b並具有接受工件W使其反轉的反轉軌道8的反轉部7。

並且，搬運台3是在垂直方向所配置的台座1，可自由轉動地被保持在中心軸2的周圍。此外，作為搬運體也可考慮使用帶狀的搬運帶來取替搬運台3。

如上述，在搬運台3的外圍部收納著工件的工件收納孔4、4a、4b是以貫穿搬運台3的厚度方向等間隔設置。工件W的形狀為長方體，具極性。圖中，為容易明瞭在工件W長方向的一端標著黑色的標記，藉以表示極性。實際的工件W中，不具以上的標記，也有以其他的方法表示極性。

第8圖中，從饋送器5所供應的工件W是使長方向配合搬運台3的厚度方向個別收納於工件收納孔4，搬運提3是藉著未圖示的驅動部的作用朝著順時鐘方向在中心軸2的周圍間歇轉動(第8圖的箭頭G)。並且，收納於工件收納孔4、4a、4b的工件W在藉著極性判定部6判定極性之後到達反轉部7。

將工件搬運裝置30的反轉部7的上視圖(第8圖的箭頭方向放大圖)表示於第1圖。並將第1圖中的A-A剖視圖表示於第2圖，第1圖中的B-B剖視圖表示於第6圖，第1圖中的C剖視圖表示於第5圖。

如第1圖及第2圖表示，反轉部7具有塊體9及覆蓋塊體9的蓋10，反轉部7和搬運台3的表面被以些微的間隙固定配置。

上述的反轉軌道8是呈圓弧性貫穿塊體9內所形成，反轉軌道8的入口8a與出口8b是沿著搬運台3的轉動路徑僅分開工件收納孔1的1間距量。反轉軌道8的入口8a附近設置有檢測工件W通過反轉軌道8的入口8a的入口側感測器S1。同樣地，在反轉軌道8的出口8b附近設置有檢測工件通過反轉軌道8的出口8b的出口側感測器S2。

第1圖是例示，工件收納孔4a停止在與反轉軌道8的入口8a相對的位置，工件收納孔4b停止在與反轉軌道8的出口8b相對的位置的樣子。塊體9內反轉軌道8連接有4條空氣槽(氣體通路)16a、16b、16c、16d，空氣槽16a、16b、16c、16d是通過形成在反轉軌道8的圓弧的大致中心部下方的空氣儲存部(氣體儲存部)15。此時，上游側的空氣槽16a、16b是形成上游側空氣槽，下游側的空氣槽16c、16d是形成下游側空氣槽。

如第5圖表示，空氣儲存部15是經由連通孔17連通於配管連接口18，配管連接口18是被連接於切換閥31。並根據需要使切換閥31動作，可切換使得空氣儲存部15自由地連接於真空產生源32及空氣供應源(氣體供應源)33。配管連接口18的空氣流動是在連接於真空產生源32時形成第5圖的箭頭S的方向，連接於空氣供應源33時是形成第5圖的箭頭T的方向。

並且，如第1圖表示，空氣槽16a、16b、16c、16d與反轉軌道8連接處所成的角度在從空氣儲存部15經由空氣槽16a、16b、16c、16d至反轉軌道8為止供應壓縮空氣時，該壓縮空氣是以其狀態朝著反轉軌道的出口8b。

如上述，藉著空氣槽16a、16b、16c、16d與反轉軌道8的連接，利用切換閥31的作用將空氣儲存部15連接在真空產生源32時，從反轉軌道的出口8b朝著入口8a側進行真空吸引，藉著切換閥31的作用將空氣儲存部15連接在空氣供應源33時，從反轉軌道的入口8a朝著出口8b側進行空氣噴出。在此，反轉軌道8內未存在有工件W時，空氣儲存部15會藉著切換閥31的作用連接在真空產生源32。

此外，反轉軌道8在比空氣槽16a、16b、16c、16d與反轉軌道8的連接處更下游側，即接近反轉軌道的出口8b一側的蓋10，開設位於反轉軌道8的兩側並且與大氣連通的大氣開放孔19。該大氣開放孔19是從形成在塊體9的大氣開放槽20連通於反轉軌道8。

再者，第1圖中，以反轉軌道8開始設置在塊體9內的各構件是標記可經由蓋10目視，但是蓋10是由透明材料所成的場合。除了實施本發明之外，蓋10並非一定須為透明。

接著，將由反轉部7附近的台座1的相反側顯示搬運台3的透視圖(第1圖中的Y箭頭方向透視圖)表示於第3圖，將第3圖的D-D剖視圖表示於第4圖。第3圖中，在較搬運台3接近紙面跟前側雖定位有反轉部7，但並未圖示。

第3圖及第4圖中，面向台座1的搬運台3的一側形成有環狀負壓槽11，連接於未圖示的真空產生源。並且，在搬運台3面向台座1的一側設有從工件收納孔4連通於環狀負壓槽11的鍃孔(spot facing)12與吸引孔13，可將工件W真空吸附保持在工件收納孔4內。並在台座1中，在對應於和反轉軌道的入口8a相對的工件收納孔4a的位置上設有朝向反轉軌道的入口8a的空氣噴出孔(壓縮氣體噴出手段)14a，該空氣噴出孔14a是被連接在空氣供應源14c。另外，台座1中，在對應於和反轉軌道的出口8b相對的工件收納孔4b的位置上設有朝向反轉軌道的出口8b的空氣噴出孔(壓縮氣體回流手段)14b，該空氣噴出孔14b是被連接在空氣供應源14c。在此，工件收納孔4a、4b都是表示同一的工件收納孔，工件收納孔來到與入口8a相對的位置時形成工件收納孔4a，來到與出口8b相對的位置時則是形成工件收納孔4b。此外，上述各構成構件是藉控制部30a進行驅動控制。

接著針對以上構成所成本實施形態的作用說明如下。首先收納於搬運台3的工件收納孔4、4a、4b內工件W是隨著搬運台3的轉動被搬運，在極性判定部6中判定工件W的極性。

接著使搬運台3迴轉，將藉著極性判定部6判定極性為相反時的工件W1收納於工件收納孔4a的狀態下到達反轉軌道的入口8a附近，使搬運台3停止。接著工件收納孔4a內的工件W1被送入到反轉軌道8藉著反轉軌道8反轉，收納於和出口8b相對的工件收納孔4b。

亦即，收納在搬運台3的工件收納孔4a的工件W是藉極性判定部6來判定極性。此時，判定極性為相反時的工件W1一旦到達反轉軌道的入口8a附近時，使搬運台3停止，根據極性判定部6的判定結果，根據控制部30a的指令從空氣噴出孔14a噴出空氣(第4圖的箭頭P)將工件W1送入反轉軌道8。另一方面，對於極性正確的工件，即使到達反轉軌道的入口8a也不會從空氣噴出控14a噴出空氣，可在收納於工件收納孔4a的狀態下進行搬運。

將極性相反的工件W1送入反轉軌道8隨後的樣子表示於第7(a)圖。藉來自空氣噴出孔14a的空氣噴出，將工件W1送入到反轉軌道8時，入口側感測器S1可檢測通過反轉軌道8的入口8a的工件W1。

在其間，空氣儲存部15被連接在真空產生源32，從反轉軌道8的出口8b側朝向入口8a側進行真空吸引(第7(a)圖的箭頭J)。此時空氣的流動，包含：從反轉軌道8的入口8a流入空氣槽16a、16b、16c、16d的空氣的流動，及藉著真空吸引從大氣開放孔19流入空氣槽16a、16b、16c、16d的空氣流動的2種類空氣的流動。在此，為了讓送入到反轉軌道8的工件W1可確實停止在反轉軌道8內，對於上述2種類的空氣流動為使得來自大氣開放孔19的空氣流動的一側大於來自反轉軌道8的入口8a之空氣的流動，而將大氣開放孔19的開放面積及大氣開放槽20的剖面積形成大於反轉軌道8的剖面積。

再者，第7(a)圖中，在與反轉軌道8的出口8b相對的工件收納孔4b收納著工件，因此反轉軌道8內空氣的流動雖有上述的2種類，但是工件收納孔4b未收納有工件的場合，藉作用於工件收納孔4b內的吸引孔13的真空吸引，也會從大氣開放孔19產生朝著工件收納孔4b的另一空氣的流動。其中任一的場合，反轉軌道8內的空氣流動都會被大氣開放孔19所分離。如上述，藉著大氣開放孔19所分離的空氣流動，反轉軌道8內的工件W1不致到達出口8b而會減速，使得最上游側的空氣槽16a在連接反轉軌道8之處與大氣開放孔19之間的其中之一位置停止。此狀態表示於第7(b)圖。

工件W1在停止於反轉軌道8內的時刻，停止從空氣噴出孔14a的空氣噴出，將空氣儲存部15連接於真空產生源32，從反轉軌道的出口8b側朝著入口8a側進行真空吸引(第7(b)圖的箭頭J)。

此一期間，在沿著搬運台3的轉動路徑所設置的極性判定部6、反轉部7及未圖示的檢測部及分類排出部等，搬運台3的停止中執行各個預定的步驟，該等之中最耗費時間的步驟在執行完成後，搬運台3會再度開始轉動(第7(b)圖的箭頭L)。並且，收納工件W1後的工件收納孔4a是朝著與反轉軌道的出口8b相對的位置移動。

接著使收納有工件W1的工件收納孔4a僅移動工件收納孔的間距量，到達與反轉軌道的出口8b相對的位置而形成工件收納孔4b，使搬運台3停止(第7(c)圖)。此時，將表示搬運台3停止後的停止訊號送訊至控制部30a，根據來自控制部30a的指令，使切換閥31動作將空氣儲存部15連接於空氣供應源33。並且，藉著4條空氣槽16a、16b、16c、16d從反轉軌道8的入口8a朝著出口8b側進行空氣噴出(第7(c)圖的箭頭K)，噴出後的空氣被從大氣開放口19排出到外方。藉此，使反轉軌道8內停止的工件W1朝向反轉軌道8的出口8b移動，到達大氣開放孔19的位置。從空氣槽16a、16b、16c、16d噴出後的空氣雖是從大氣開放孔19排出，但是一部份的空氣是朝向反轉軌道8的出口8b，因此工件W1會通過大氣開放孔19的位置，到達與反轉軌道8的出口8b相對的工件收納孔4b。並且，工件W1是藉著工件收納孔4b內的吸引孔13進行真空吸引在使得極性相反的狀態下收納於工件收納孔4b，當工件W1通過工件收納孔4b的出口一旦為出口側感測器S2檢測出時，可再度轉動搬運台3，使搬運台3的轉動再度開始。此時根據來自控制部30a的指令，使切換閥31動作將空氣儲存部15連接於真空產生源32，從反轉軌道8的出口8b朝向入口8a側進行真空吸引，將接著的工件W送入至反轉軌道8。

再者，工件W1未被正確地收納於工件收納孔4b的場合，藉出口側感測器S2，檢測出工件W1未被正確地收納於工件收納孔4b內。此時，從設置在台座1之中對應於工件收納孔4b位置的空氣噴出口14b噴出空氣使工件W1一旦回到反轉軌道8內。接著，藉朝向反轉軌道8的出口8b側的空氣噴出，再度將工件W1收納於工件收納孔4b。

如上述根據本實施形態，在搬運台3停止後，將以極性判定部6判定極性為相反的工件W1從工件收納孔4a送出至反轉軌道8內之後，可以使該工件W1在反轉軌道8內減速後停止。隨後使得搬運台3僅迴轉工件收納孔的1間距量後停止。接著，可使反轉軌道8內的工件W1藉著壓縮空氣返回到搬運台3的工件收納孔4b。因此，可容易使搬運台3的移動時機和使工件W1返回到搬運台3的工件收納孔4b的時機一致，不致造成工件W1與搬運台3的衝突而損傷工件W1或搬運台3。

再者上述實施形態中，在反轉軌道8內停止送出到反轉軌道8內的工件W1，使得應收納該工件W1的工件收納孔4b到達與反轉軌道8的出口8b相對的位置為止後停止，在工件收納孔4b到達與反轉軌道8的出口8b相對的位置後使該工件W1加速而引導至出口8b，但是，當搬運台3的轉速大，應收納該工件W1的工件收納孔4b到達與反轉軌道8的出口8b相對的位置為止的時間短的場合，該工件W1也可以未能使其停止的速度減速，在工件收納孔4b到達與出口8b相對的位置之後使該工件W1加速而引導至出口8b。

並且，針對在反轉軌道8以連接4條空氣槽16a、16b、16c、16d為例已作說明。但是為可確實且迅速在反轉軌道8內進行工件W1的停止與再移動，藉著工件W1的尺寸與重量或搬運台3的轉速等，空氣槽的數量不限於4條，可設定最適當的條數。

又，本實施形態中，針對相同空氣槽16a、16b、16c、16d藉著切換閥31的切換而具有真空吸引和空氣噴出功能的場合已作說明，但是空氣槽16a、16b、16c、16d之中，其中之一的空氣槽具有真空吸引功能，其餘的空氣槽也可以具有空氣噴出功能。

並在第1圖中，已針對從反轉軌道8的入口8a藉著空氣噴出使工件W1送出到反轉軌道8內的例加以表示，但是也可以從入口8a藉著從反轉軌道8側的空氣吸引將工件W1送出至反轉軌道8內。並也可以將工件W1與空氣吸引和空氣噴出組合送出到反轉軌道8內。

另外本實施形態中，雖表示藉著空氣噴出來噴出工件W之機構的例，但是不限於空氣噴出也可以使用其他氣體的氣體噴出，例如可使用不影響人體或工件的惰性氣體來噴出工件W。

並且，本實施形態中，雖針對在貫穿搬運台3的厚度方向所設置的工件收納孔4內收納工件W加以搬運，並將反轉軌道8設置在搬運台3一方側的場合已作說明，但是也可將搬運台3成水平配置，在該搬運台3的外圍形成工件收納孔4，對該工件收納孔4收納工件W1而搬運的同時，將反轉軌道8設置在較搬運台3的更外側。

並且，也可以水平設置或傾斜設置搬運台3。

並且，雖表示以轉動的搬運台3的例作為搬運體，但也可以環形帶等的帶狀體搬運工件。

1．．．台座

2．．．中心軸

3．．．搬運台

4、4a、4b．．．工件收納孔

6．．．極性判定部

7．．．反轉部

8．．．反轉軌道

8a．．．反轉軌道的入口

8b．．．反轉軌道的出口

9．．．塊體

10．．．蓋

14a、14b．．．空氣噴出孔

15．．．空氣儲存部

16a、16b、16c、16d．．．空氣槽

19．．．大氣開放孔

30．．．工件搬運裝置

31．．．切換閥

32．．．真空產生源

33．．．空氣供應源

W、W1、W2．．．工件

S1．．．入口側感測器

S2．．．出口側感測器

第1圖是表示本發明所涉及工件搬運裝置之一實施形態的放大上視圖。

第2圖是表示工件搬運裝置的詳細之第1圖的A-A剖視圖。

第3圖是表示工件搬運裝置的搬運台的前視圖。

第4圖是表示工件搬運裝置的搬運台之第3圖的D-D剖視圖。

第5圖是表示工件搬運裝置的空氣儲存部之第1圖的C剖視圖。

第6圖是表示工件搬運裝置的反轉軌道之第1圖的B-B剖視圖。

第7(a)(b)(c)圖是表示根據本發明的工件搬運裝置作用的圖。

第8圖是表示根據本發明的工件搬運裝置整體的概略圖。

第9圖是表示習知工件搬運裝置的上視圖。

1．．．台座

3．．．搬運台

4a、4b．．．工件收納孔

7．．．反轉部

8．．．反轉軌道

8a．．．反轉軌道的入口

8b．．．反轉軌道的出口

15．．．空氣儲存部

16a、16b、16c、16d．．．空氣槽

17．．．連通孔

19．．．大氣開放孔

20．．．大氣開放槽

30．．．工件搬運裝置

30a．．．控制部

W．．．工件

S1．．．入口側感測器

S2．．．出口側感測器

Claims (12)

1. 一種工件搬運裝置，其特徵為，具備：設有收納具極性之工件的複數個工件收納孔，搬運工件的搬運體；對於工件收納孔內的工件判定極性正反的極性判定部；與搬運體相對而設置，具有入口與出口的圓弧形的反轉軌道；將工件收納孔內的工件送出至反轉軌道內的工件送出手段；使藉著工件送出手段送出至反轉軌道的工件減速而停止的工件減速及停止手段；及將反轉軌道內藉著工件減速及停止手段所減速而停止的工件朝工件收納孔內噴出而返回的工件噴出手段；反轉軌道是經由反轉軌道上游側的上游側氣體通路與反轉軌道下游側的下游側氣體通路連接在氣體儲存部，該氣體儲存部可自由切換地連接於真空產生源及氣體供應源，氣體儲存部連接於真空產生源的場合，上游側氣體通路及下游側氣體通路具有：使工件在反轉軌道內減速及停止之作為工件減速及停止手段的功能，氣體儲存部連接於氣體供應源的場合，上游側氣體通路及下游側氣體通路則具有：將工件朝工件收納孔內噴出而返回之作為工件噴出手段的功能。
2. 如申請專利範圍第1項記載的工件搬運裝置，其中 ，在反轉軌道的下游側氣體通路的更下游側設置大氣開放孔。
3. 如申請專利範圍第1項記載的工件搬運裝置，其中，工件送出手段是被設置在搬運體側，使工件收納孔內的工件朝向反轉軌道的入口噴出的壓縮氣體噴出手段所構成。
4. 如申請專利範圍第1項記載的工件搬運裝置，其中，在反轉軌道的入口附近設有入口側感測器，可檢測從工件收納孔將工件送出至反轉軌道的入口。
5. 如申請專利範圍第1項記載的工件搬運裝置，其中，在反轉軌道的出口附近設有出口側感測器，可檢測從反轉軌道的出口將工件朝著工件收納孔的噴出。
6. 如申請專利範圍第1項記載的工件搬運裝置，其中，在與搬運體側的反轉軌道的出口相對的部份，設有工件收納孔內未正常收納著工件的場合，使該工件收納孔內的工件返回到反轉軌道的出口的壓縮氣體回流手段。
7. 一種工件搬運方法，其特徵為，具備：藉著具有收納具極性之工件的複數個工件收納孔的搬運體來搬運的步驟；對於工件收納孔內的工件，藉極性判定部來判定其極性的正反的步驟；藉著工件送出手段將以極性判定部判定極性為相反之搬運體的工件收納孔內的工件朝著與搬運體相對而設置的圓弧形反轉軌道的入口送出的步驟； 將由反轉軌道的入口送出至反轉軌道的工件藉著工件減速及停止手段在反轉軌道內減速而停止的步驟；及將反轉軌道內所減速而停止的工件藉工件噴出手段噴出至搬運體的工件收納孔內而返回的步驟；反轉軌道是經由反轉軌道上游側的上游側氣體通路與反轉軌道下游側的下游側氣體通路連接在氣體儲存部，該氣體儲存部可自由切換地連接於真空產生源及氣體供應源，氣體儲存部連接於真空產生源的場合，上游側氣體通路及下游側氣體通路具有：使工件在反轉軌道內減速及停止之作為工件減速及停止手段的功能，氣體儲存部連接於氣體供應源的場合，上游側氣體通路及下游側氣體通路則具有：將工件朝工件收納孔內噴出而返回之作為工件噴出手段的功能。
8. 如申請專利範圍第7項記載的工件搬運方法，其中，在反轉軌道的下游側氣體通路的更下游側設有大氣開放孔。
9. 如申請專利範圍第7項記載的工件搬運方法，其中，工件送出手段是由被設置在搬運體側，將工件收納孔內的工件朝著反轉軌道的入口噴出的壓縮氣體噴出手段所構成。
10. 如申請專利範圍第7項記載的工件搬運方法，其中，在反轉軌道的入口附近，設置可檢測從工件收納孔送出工件至反轉軌道的入口的入口側感測器。
11. 如申請專利範圍第7項記載的工件搬運方法，其中，在反轉軌道的出口附近，設置可檢測從反轉軌道的出口將工件噴出至工件收納孔的出口側感測器。
12. 如申請專利範圍第7項記載的工件搬運方法，其中，在與搬運體側的反轉軌道的出口相對的部份，設置工件未正常收納於工件收納孔內的場合，使該工件收納孔內的工件返回至反轉軌道的出口的壓縮氣體回流手段。