TWI402617B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Description

感光性樹脂組成物
本發明係關於感光性樹脂組成物，及使用該組成物的光阻油墨及感光性薄膜板。
感光性樹脂組成物係，塗佈於作為含有溶劑之液體皮膜的印刷電路板用基板上(以下僅稱為基板)，藉由加熱乾燥去除溶劑，成為乾燥皮膜，其後，於活性光予以畫面曝光後，藉由顯影成為光阻像。但是，近年，為了改善其低作業性，大氣污染，低生產率的問題，逐漸使用了薄膜狀支持體，經乾燥的感光性樹脂組成物層(以下僅稱為感光層)，及可因應需要使用由保護薄膜層所成的感光性樹脂組成物層合體(以下，僅稱為感光性薄膜)。感光性樹脂組成物方面，已知有未曝光部藉由鹼水溶液而顯影，即所謂的鹼顯影型與藉由有機溶劑顯影之，即所謂的溶劑顯影型等兩種。
感光性薄膜的使用方法，在有由感光性薄膜保護的薄膜層時，係由將該等去除，成為感光層與薄膜狀支持體所成的層合體後，加熱壓著(貼合)，使感光層連接於基板。接著，使用負型薄膜等予以畫面曝光後，使用碳酸蘇打水，1,1,1－三氯乙烷等設定之顯影液，使未曝光部顯影，於基板上形成光阻像。該等所形成之光阻像為掩罩，蝕刻基板的金屬表面，或施予電鍍處理，接著，使用氫氧化鈉水溶液，二氯甲烷等設定之剝離液，來剝離光阻像所成，依照該等可製造印刷電路板等。
上述步驟中，對於基板金屬表面之蝕刻或電鍍處理，若以光阻像作為掩罩，則必須具有充分的耐性。蝕刻處理係為使用氯化鐵(ferric chloride)，氯化銅(cupric chloride)，過硫酸銨的水溶液以去除構成基板表面層的金屬(通常為銅)之步驟。又，使用於電鍍處理的電鍍液種類有許多種，有鍍錫電鍍，硫酸銅電鍍，鍍金，鍍鎳，焦磷酸電鍍等。由於電鍍處理均在高濃度的藥品溶液中使電流流動，故與蝕刻處理相較可說是相當嚴格的處理方式。
上述方式所使用的感光性樹脂組成物及感光性薄膜方面，例如，專利文獻1揭示有，以含有(1)熱塑性有機高分子結合劑，(2)同一分子內至少具有1個芳香族環，且同一芳香族環中，至少2個羧基為直接鍵結的化合物，(3)特定的六芳基雙咪唑，(4)可氧化的白色三芳基甲烷染料，(5)具有常壓下，有50℃以上沸點之加成聚合性乙烯基化合物為特徵之發色硬化感光組成物。
又，專利文獻2揭示有，在由無機充填材，環氧樹脂，硬化劑所成半導體封閉用環氧樹脂組成物中，將1,8－二氮雜二環(5,4,0)十一烯－7與偏苯三甲酸或均苯四甲酸的鹽，添加於預先與苯酚酚醛清漆樹脂熔融混合之後所成者為特徵之半導體封閉用環氧基樹脂組成物。
進而，專利文獻3揭示有，含有以酚醛清漆樹脂與萘醌二疊氮基磺酸酯為主成分之感光劑，與三聚氰胺衍生物及/或鳥糞胺衍生物所成之密接增強劑所成者為特徵之正型光阻組成物。
又，專利文獻4揭示有，主鏈中，具有四羧酸或其酸酐與二胺的縮聚生成物所形成之特定重覆單位，其兩末端，分子內有取代基，該取代基具有可以光聚合的碳－碳雙鍵之取代基的胺基苯類，或具有化學線官能基，該官能基為以偏苯三甲酸衍生物所末端改性的構造之化學線官能基的感光性聚醯亞胺先質中，四羧酸或其酸酐為含有70~100莫耳%比率之硬直構造的芳香族四羧酸或其酸酐，且，二胺為含有70~100莫耳%比率之硬直構造的芳香族二胺為特徵之感光性聚醯亞胺先質(申請專利範圍第1項)，含有(A)該感光性聚醯亞胺先質，(B)具有光聚合性官能基之感光助劑，(C)光聚合引發劑，及(D)溶劑之感光性聚醯亞胺樹脂組成物(申請專利範圍第11項)，進而含有(E)1H－四唑類之如申請專利範圍第11項記載的感光性聚醯亞胺樹脂組成物(申請專利範圍第12項)。
進而，專利文獻5揭示有，以含有(A)含有羧基及/或羥基之可溶性聚醯亞胺，(B)(甲基)丙烯酸系化合物，(C)環氧基系化合物，及(D)潛在性硬化劑之感光性樹脂組成物(申請專利範圍第1項)，上述(D)成分係選自二氰基二醯胺，苯酚酚醛清漆，環氧基苯酚，己二酸二醯肼(adipic acid dihydrazide)，二烯丙基三聚氰胺，二胺基馬來醯腈，亞己基四胺，胺鹽，咪唑的衍生物，三氟化硼的胺複合物(complex)，甲基四氫酞酸酐，胺醯亞胺化合物所成群之至少1種以上的化合物為特徵之申請專利範圍第1或2項記載的感光性樹脂組成物(申請專利範圍第3項)。
又，專利文獻6揭示有，以含有(A)含有具有碳數9以上的分支鏈狀或環狀的飽和烴基之(甲基)丙烯酸酯為共聚成分的黏合劑聚合物與(B)具有乙烯性不飽和鍵之光聚合性化合物與(C)光聚合引發劑為特徵之感光性樹脂組成物(申請專利範圍第1項)；該(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物方面，在多價醇中，以含有選自使α,β－不飽和羧酸反應所得的化合物，雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，壬基苯氧基聚乙烯氧(甲基)丙烯酸酯化合物及酞酸系化合物所成群之至少1個為特徵之申請專利範圍第1~4項中任一項記載的感光性樹脂組成物(申請專利範圍第5項)；該(C)光聚合引發劑方面，以含有2,4,5－三芳基咪唑二聚物為特徵之申請專利範圍第1~6項中任一項記載的感光性樹脂組成物(申請專利範圍第7項)。
進而，專利文獻7揭示有，以(a)液狀環氧樹脂，(b)硬化劑，(c)硬化促進劑，(d)無機質充填劑為必須成分的液狀環氧樹脂組成物中，上述硬化劑方面，使3,4－二甲基－6－(2－甲基－1－丙烯基)－1,2,3,6－四氫酞酸與1－異丙基－4－甲基－雙環[2,2,2]辛－5－烯－2,3－二羧酸的混合物，相對於硬化劑全體100重量份(質量份)，以含有5~75重量份(質量份)為特徵之液狀環氧樹脂組成物；(c)成分的硬化促進劑為咪唑化合物及/或有機磷化合物之如申請專利範圍第1或2項記載的組成物(申請專利範圍第3項)。
又，專利文獻8揭示有，以含有：由1種或複數種芳香族二酸酐與1種或複數種脂肪族二胺所衍生之，曝露於熱時，形成具有不足2GPa的模數之經硬化的聚醯亞胺的聚醯胺酸，與含有，選自胺(甲基)丙烯酸酯，胺甲基丙烯醯胺，及其組合所成群之化合物與非含有胺之(甲基)丙烯酸酯化合物，之乙烯性不飽和單體混合物，與光引發劑，與增感劑，於水性碳酸鹽中可顯影為其特徵之低溫硬化型感光性組成物(申請專利範圍第1項)；進而含有黏著促進劑為其特徵之申請專利範圍第1項記載的組成物(申請專利範圍第12項)；該黏著促進劑以選自3－氫硫基－1H－1,2,4－三唑，5－胺基－1,3,4－噻二唑－2－硫醇，2－氫硫基苯並咪唑2－(2’－羥基－5－甲基丙烯醯氧基乙基苯基)－2H－苯并三唑，聚苯并咪唑，及其組合所成群為其特徵之申請專利範圍第12項記載的組成物(申請專利範圍第13項)。
專利文獻1：日本特開昭62－106450號公報專利文獻2：日本特開2003－40978號公報專利文獻3：日本特開平7－120914號公報專利文獻4：日本特開2004－285129號公報專利文獻5：日本特開2004－333672號公報專利文獻6：日本特開平7－120914號公報專利文獻7：日本特開2002－97257號公報專利文獻8：日本特開2006－146244號公報
上述專利文獻1記載的發色硬化感光組成物，為含有熱塑性有機高分子結合劑，芳香族羧酸化合物及咪唑二聚物所成者，但咪唑二聚物係為配合作為反應引發劑的成分，並無法提高感光組成物的密接性。又，專利文獻2記載的半導體封閉用環氧樹脂組成物，係藉由添加如偏苯三甲酸的羧酸於環氧樹脂中，以提高密接性，但僅添加羧酸並無法使其充分提高密接性。進而，專利文獻3所記載的正型光阻組成物，揭示有於酚醛清漆樹脂中，將作為密接增強劑的雜環化合物與羧酸化合物併用者，但是該組成物為用作基礎的聚合物之酚醛清漆樹脂，並無法作為感光性樹脂組成物使用。
又，專利文獻5記載的感光性聚醯亞胺樹脂組成物，揭示有於聚醯亞胺樹脂中，配合為添加劑之如1H－四唑類的雜環化合物，但僅於聚醯亞胺樹脂中添加雜環化合物，亦無法獲得足夠的密接性提高的效果。進而，專利文獻6記載的感光性樹脂組成物，黏合劑聚合物係使用(甲基)丙烯酸酯的共聚物，具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物係使用羧酸化合物，光聚合引發劑係使用雜環化合物，但該等之反應，係作為形成感光性樹脂用樹脂構成成分而配合者，並非作為提高密接性用的樹脂添加劑。此外，可想而知，以提高密接性為目的所配合的樹脂添加劑，並無助於作為基底樹脂的反應。又，專利文獻7記載的液狀環氧樹脂組成物中，係使用為硬化促進劑的雜環化合物，但即使僅添加雜環化合物亦無法獲得足夠的密接性提高的效果。進而，專利文獻8記載的感光性組成物，黏著促進劑係使用雜環化合物，但僅添加雜環化合物，亦無法獲得足夠的密接性提高的效果。
又，由近年來半導體元件的高積體化，LSI等的小型化與高性能化，又，零件的導線(lead)數急增，有鑑於此，印刷電路板的配線數大幅增加，進而，亦謀求印刷電路板本身的小型化。因此，有必要將印刷電路板的配線細間距(fine pitch)化，在此，必須使光阻像與銅箔的密接性提高，但以現在的情況來看，習知的感光性樹脂組成物，無法獲得能與最近的細間距化相對應之充分的密接性。
因此，本發明的目的係以提供，與銅表面的密接性優異，且塗裝或層合後，能形成不受時間變化，影響極為穩定的光阻膜之感光性樹脂組成物，及使用該等的感光性薄膜，光阻及印刷電路板。
亦即，本發明的感光性樹脂組成物，以含有(A)羧酸化合物；(B)選自三唑類、四唑類及咪唑類所成群所成之1種或2種以上的雜環化合物；(C)熱塑性有機高分子；(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物；及(E)光聚合引發劑為特徵。
又，本發明的感光性樹脂組成物，進而以含有(F)胺類為特徵。
又，本發明的感光性樹脂組成物，進而以含有選自熱聚合抑制劑，可塑劑，染料(色素，光發色劑)，防氧化劑，表面張力改質材，穩定劑，鏈轉移劑，消泡劑，難燃劑，剝離促進劑，香料，顯影劑，熱交聯劑及顯影性．電鍍性提高劑所成群之1種或2種以上的添加劑為特徵。
又，本發明的感光性樹脂組成物，進而以含有選自醇類，酮類，乙酸酯類，乙二醇醚類，乙二醇醚酯類及石油系溶劑所成群之1種或2種以上的稀釋用有機溶劑為特徵。
進而，本發明的光阻，以由上述感光性樹脂組成物所成者為特徵。
又，本發明的感光性薄膜，以將上述感光性樹脂組成物塗佈於支持體上，將乾燥所成的感光性樹脂組成物層形成於支持體上為特徵。
本發明的感光性樹脂組成物，於銅表面直接塗佈溶液，或於層合光阻皮膜時，其光阻皮膜與銅表面的密接性優 異，且層合後的銅表面防變色性亦極高，又為穩定，進而，使用原料的成本亦便宜。故在下一個步驟的蝕刻或電鍍處理等，不會產生自光阻皮膜銅表面的浮出，或因此而致的光阻端部的缺損，電鍍潛行等，若使用本發明的感光性樹脂組成物，可極具效率地製造良好的印刷配線基板。
實施發明之最佳形態
本發明的感光性樹脂組成物所使用的(A)羧酸化合物方面，可例舉脂肪族羧酸，芳香族羧酸(去除羧苯并三唑)。此外，該等可單獨使用1種或組合2種以上使用。
在此，脂肪族羧酸方面，為具有碳原子數1~30個，1個或2個以上的羧基之化合物群，構造上可為飽和或不飽和，直鏈型或分支鏈型，構造中可含有環狀構造(脂環，芳香環)，取代基方面，以可含有氧(羥基，羰基，羧基，醚，酯等)，氮(胺基，醯胺基，硝基，氰基等)的化合物為佳。可例舉丙酸，丁酸，戊酸，己酸(己烷酸)，庚烷酸，辛酸(辛酸)，壬酸，正癸酸，十一酸，月桂酸，十四酸，棕櫚酸，硬脂酸，二十酸，二十二酸，二十四酸，二十六酸，二十八酸，三十一酸，丙烯酸，巴豆酸，桂皮酸，三椏酸(obtusellic acid)，癸烯酸，十一碳烯酸，lindenoic acid，粗租酸(tsuzuic acid)，肉豆蔻油酸(myristoleic acid)，棕櫚油酸(palmitoleic acid)，反油酸(elaidic acid)，岩芹酸(petroselinic acid)，油酸，asclepinic acid，異油酸(vaccenic acid)，鱈油酸(gadoleic acid)，巨頭鯨魚酸(gondoic acid)，鯨蠟烯酸(cetoleic acid)，芥酸(erucic acid)，巴西烯酸(brassidic acid)，鯊油酸(selacholeic acid)，神經酸，西門木烯酸(ximenic acid)，三十烯酸(lumequeic acid)，山梨酸，亞油酸，十六碳三烯酸(hiragoic acid)，α－亞麻酸，γ－亞麻酸，石榴酸(punicic acid)，α－桐酸(eleostearic acid)，β－桐酸，十八碳－4,8,12,15－四烯酸(moroctic acid)，4,18,12,15－十八碳四烯酸(stearidonic acid)，花生浸烯酸(arachidonic acid)，二十戊烷酸，二十二碳五烯酸(clupanodonic acid)，二十六碳六烯酸(docosahexaenoic acid)，Nisinic acid，塔日酸(tariric acid)，硬脂炔酸(stearolic acid)，還陽參油酸(creponynic acid)，西門木炔酸(ximenynic acid)，2－甲基丙烷酸，2－甲基丁烷酸，異戊酸，新戊烷酸，2,3－二甲基戊烷酸，4,4－二甲基戊烷酸，2－乙基丁酸，2,2－二甲基己烷酸，2－乙基己烷酸，辛酸，異辛酸，異壬酸，異癸烷酸，新癸烷酸，異三癸烷酸，異棕櫚酸，異硬脂酸，甲基丙烯酸，異戊烯酸(senecioic acid)，香茅酸(citronellic acid)，草酸，丙二酸，琥珀酸，戊二酸，己二酸，庚二酸(pemellic acid)，辛二酸，壬二酸(azelaic acid)，癸二酸(sebacic acid)，十一烷二酸，十二烷二酸，十三烷二酸，十四烷二酸，十五烷二酸，十六烷二酸，十八烷二酸，順丁烯二酸，反丁烯二酸，辛烯琥珀酸，十二烯琥珀酸(dodecenylsuccinic acid)，十八烯二酸，十五烯琥珀酸，均丙三甲酸，谷氨酸，2,5－二苯醯胺戊烷酸，羥乙酸，乳酸，α－羥基丁酸，蘋果酸，酒石酸，檸檬酸，葡糖酸，乙烯二胺四乙酸，羥基乙基乙烯二胺三乙酸，氮川三乙酸，二乙烯三胺五乙酸，三乙烯四胺六乙酸，二羧基甲基谷氨酸，羥基乙基亞胺基二乙酸，二羥基乙基甘氨酸，1,3－丙烷二胺四乙酸，1,3－二胺基－2－羥基丙烷四乙酸，二羥基乙基乙烯二胺二乙酸，甲基甘氨酸二乙酸等。此外，該等化合物其中以辛酸，異硬脂酸，十八烷二酸，辛烯琥珀酸，乙烯二胺四乙酸，三乙烯四胺六乙酸，酒石酸等為特佳。
芳香族羧酸(去除羧苯并三唑)方面，係以苯，萘，蒽構造為骨架，具有與該等直接鍵結的1個或2個以上的羧基，取代基方面，C1~C12的構造上可為飽和或不飽和，直鏈型或分支鏈型，構造中可含有環狀構造(脂環，芳香環)，以可含有氧(羥基，羰基，羧基，醚，酯等)，氮(胺基，醯胺基，硝基，氰基等)，硫(巰基，硫化物等)，鹵素(氟，氯，溴，碘等)的化合物為佳。可例舉苯甲酸，萘甲酸，酞酸，異酞酸，對苯二甲酸，甲苯酸，二甲基苯甲酸(xylylic acid)，半米酸(Hemimellitic acid)，偏苯三甲酸，均苯三甲酸(trimesic acid)，苯連三酸(hemellitic acid)，3,5－二甲苯甲酸，烏韋特酸，2,3,4－連三甲苯酸，γ－異杜基酸(γ－isoduryic acid)，α－異杜基酸，杜基酸，偏苯四甲酸(mellophanic acid)，連苯四酸(prehnitic acid)，均苯四甲酸，苯六甲酸，聯苯酸(diphenic acid)，水楊酸，o－焦兒茶酸(pyrocatechuic acid)，β－二羥基苯甲酸，龍膽酸(gentisic acid)，γ－二羥基苯甲酸，原兒茶酸(protocatechuic acid)，鄰巰基苯甲酸，α－二羥基苯甲酸，苔黑酸(orsellinic acid)，五倍子酸(gallic acid)，對氯苯甲酸，茴香酸(anisic acid)，染酚油酸(creosote acid)，鄰高水楊酸，間高水楊酸，對高水楊酸，香草酸(vanillic acid)，異香草酸，丁香酸(Syringic acid)，藜蘆酸(veratric acid)，o－藜蘆酸，細辛酸(asaronic acid)，枯茗酸(cuminic acid)，Mesitoic acid，間半蒎酸(hemipinic acid)，高(homo)酞酸，高異酞酸，高對苯二甲酸，酞酮酸(phthalonic acid)，異酞酮酸，對酞酮酸等。此外，該等化合物中以苯甲酸，萘甲酸，異酞酸，偏苯三甲酸，均苯四甲酸，甲苯酸，水楊酸，五倍子酸(gallic acid)，酞酮酸等為特佳。
(B)雜環化合物方面，可使用三唑類，四唑類，咪唑類。該等可單獨使用1種或組合2種以上使用。
三唑類方面，具有三唑(1H－1,2,3－三唑，2H－1,2,3－三唑，1H－1,2,4－三唑，4H－1,2,4－三唑)，或該等與苯環或萘環的環縮合構造的化合物群；三唑環及/或芳香環中，取代基方面，在C1~C12的構造上可為飽和或不飽和，直鏈型或分支鏈型，構造中可含有環狀構造(脂環，芳香環)，以可含有氧(羥基，羰基，羧基，醚，酯等)，氮(胺基，醯胺基，硝基，氰基等)，硫(硫醇基，硫化物等)，鹵素(氟，氯，溴，碘等)的化合物為佳。
可例舉2－(2’－羥基－5’－甲基苯基)苯并三唑，1H－1,2,3－三唑，2H－1,2,3－三唑，1H－1,2,4－三唑，4H－1,2,4－三唑，苯并三唑，甲苯基三唑，羧基苯并三唑，3－胺基－1,2,4－三唑，4－胺基－1,2,4－三唑，5－胺基－1,2,4－三唑，3－氫硫基－1,2,4－三唑，氯苯并三唑，硝基苯并三唑，胺基苯并三唑，環己醇基(hexano)[1,2－d]三唑，4,5,6,7－四羥基甲苯基三唑，1－羥基苯并三唑，乙基苯并三唑，萘并三唑，1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基苯并三唑，1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基]甲苯基三唑，1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基]羧苯并三唑，1－[N,N－雙(2－羥基乙基)－胺基甲基苯并三唑，1－[N,N－雙(2－羥基乙基)－胺基甲基]甲苯基三唑，1－[N,N－雙(2－羥基乙基)－胺基甲基羧苯并三唑，1－[N,N－雙(2－羥基丙基)胺基甲基]羧苯并三唑，1－[N,N－雙(1－丁基)胺基甲基]羧苯并三唑，1－[N,N－雙(1－辛基)胺基甲基]羧苯并三唑，1－(2’,3’－二－羥基丙基)苯并三唑，1－(2’,3’－二－羧乙基)苯并三唑，2－(2’－羥基－3’,5’－二－三級丁基苯基)苯并三唑，2－(2’－羥基－3’,5’－戊基苯基)苯并三唑，2－(2’－羥基－4’－辛氧基苯基)苯并三唑，2－(2’－羥基－5’－三級丁基苯基)苯并三唑，1－羥基苯并三唑－6－羧酸，1－油醯基苯并三唑，1,2,4－三唑－3－醇，5－胺基－3－氫硫基－1,2,4－三唑，5－胺基－1,2,4－三唑－3－羧酸，1,2,4－三唑－3－羧醯胺，4－胺基尿唑，1,2,4－三唑－5－酮等。此外，該等的化合物，其中以苯并三唑，甲苯基三唑，羧基苯并三唑，1－羥基苯并三唑，1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基)甲苯基三唑，1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基)羧基苯并三唑，3－胺基－1,2,4－三唑，4－胺基－1,2,4－三唑，5－胺基－1,2,4－三唑，3－巰基－1,2,4－三唑，環己醇基[1,2－d]三唑，1,2,4－三唑－3－醇，5－胺基－3－氫硫基－1,2,4－三唑，5－胺基－1,2,4－三唑－3－羧酸，1,2,4－三唑－3－羧醯胺，4－胺基尿唑，1,2,4－三唑－5－酮等為特佳。
四唑類方面，以含有四唑(1H－四唑，2H－四唑)的1，5位，為氫或取代基的C1~C12的構造上可為飽和或不飽和，可為直鏈型或分支鏈型，構造中可含有環狀構造(脂環，芳香環)，氧(羥基，羰基，羧基，醚，酯等)，氮(胺基，醯胺基，硝基，氰基等)，硫(硫醇基，硫化物等)，鹵素(氟，氯，溴，碘等)的化合物為佳。可例舉1H－四唑，5－胺基－1H－四唑，5－甲基－1H－四唑，1－甲基－5－乙基－1H－四唑，1－甲基－5－氫硫基－1H－四唑，1－苯基－5－氫硫基－1H－四唑，1－(二甲基胺基乙基)－5－氫硫基－1H－四唑，5－苯基－1H－四唑，5,5’－雙－1H－四唑2銨鹽，5,5’－偶氮雙－1H－四唑等。此外，該等化合物，其中以1H－四唑，5－胺基－1H－四唑，5,5’－偶氮雙－1H－四唑，1－甲基－5－氫硫基－1H－四唑等為特佳。
咪唑類方面，1H－咪唑或該等與以1~2個的苯環的環縮合構造為骨架的化合物類；咪唑環及/或苯環中，取代基方面，C1~C12的構造上可為飽和或不飽和，以可含有氧(羥基，羰基，羧基，醚，酯等)，氮(胺基，醯胺基，硝基，氰基等)，硫(硫醇基，硫化物等)，鹵素(氟，氯，溴，碘等)的化合物為佳。
可例舉1H－咪唑，1－甲基咪唑，2－甲基咪唑，4－甲基咪唑，5－甲基咪唑，2－苯基－4,5－二羥基甲基咪唑，2－苯基－4－甲基－5－羥基甲基咪唑，2,3－二氫－1H－吡咯并[1,2－a]苯并咪唑，2－十一基咪唑，2－十七基咪唑，2－乙基－4－甲基咪唑，2－苯基咪唑，2－苯基－4－甲基咪唑，1－苄基－2－甲基咪唑，1－苄基－2－苯基咪唑，1－氰乙基－2－甲基咪唑，1－氰乙基－2－乙基－4－甲基咪唑，1－氰乙基－2－十一基咪唑，1－氰乙基－2－苯基咪唑，2－胺基－4,5－二氰咪唑，2－氫硫基苯并咪唑，2－氫硫基甲基苯并咪唑，4－甲醯基咪唑，1－(2－羥基乙基)咪唑，1－乙烯咪唑，1－苄基－2－甲醯基咪唑，1－烯丙基咪唑，2－乙基咪唑，2－丁基咪唑，2－丁基咪唑，2－丁基－5－甲醯咪唑，2－丁基－5－羥基甲基咪唑，2－甲醯咪唑，4,5－二氫－1H－咪唑，2,5－二氫－1H－咪唑，2,3－二氫－1H－咪唑，四氫－1H－咪唑，2－甲基－4,5－二氫－1H－咪唑，2－胺基－3－(1H－咪唑－4－基)丙醯，2－(3－胺基丙烷醯胺)－3－(1H－咪唑－4－基)丙醯，咪唑－4－乙烷胺等。此外，該等的化合物，其中以1H－咪唑，2－甲基咪唑，2－十一基咪唑，2－乙基－4－甲基咪唑，2－苯基咪唑為特佳。
本發明的感光性樹脂組成物所使用的(C)熱塑性有機高分子化合物方面，可例舉(甲基)丙烯酸系樹脂，苯乙烯系樹脂，環氧基系樹脂，醯胺系樹脂，醯胺環氧基系樹脂，醇酸系樹脂等。
該等可單獨使用1種或組合2種以上使用。該等的樹脂中，就鹼顯影性優異的觀點而言，以使用(甲基)丙烯酸系樹脂為佳。此外，本發明中，所謂(甲基)丙烯酸，係指丙烯酸及對應該等的甲基丙烯酸，所謂(甲基)丙烯酸酯，係指丙烯酸酯及對應該等的甲基丙烯酸酯，所謂(甲基)丙烯醯基，係指丙烯醯基及對應該等的甲基丙烯醯基。
上述(C)熱塑性有機高分子化合物，例如可藉由將聚合性單體自由基聚合而製造。
上述聚合性單體方面，可例舉甲基(甲基)丙烯酸酯，乙基(甲基)丙烯酸酯，正丙基(甲基)丙烯酸酯，丁基(甲基)丙烯酸酯，異丙基(甲基)丙烯酸酯，正丁基(甲基)丙烯酸酯，異丁基(甲基)丙烯酸酯，二級丁基(甲基)丙烯酸酯，三級丁基(甲基)丙烯酸酯，戊基(甲基)丙烯酸酯，己基(甲基)丙烯酸酯，環己基(甲基)丙烯酸酯，庚基(甲基)丙烯酸酯，辛基(甲基)丙烯酸酯，壬基(甲基)丙烯酸酯，癸基(甲基)丙烯酸酯，十一基(甲基)丙烯酸酯，十二基(甲基)丙烯酸酯，十三基(甲基)丙烯酸酯，十四基(甲基)丙烯酸酯，十五基(甲基)丙烯酸酯，十六基(甲基)丙烯酸酯，十八基(甲基)丙烯酸酯，癸醯基(甲基)丙烯酸酯，2－乙基己基(甲基)丙烯酸酯，3－乙基己基(甲基)丙烯酸酯，異伯基(甲基)丙烯酸酯，甲氧基乙基(甲基)丙烯酸酯，丁氧基乙基(甲基)丙烯酸酯，2－羥基乙基(甲基)丙烯酸酯，2－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，3－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，2－羥基丁基(甲基)丙烯酸酯，3－羥基丁基(甲基)丙烯酸酯，4－羥基丁基(甲基)丙烯酸酯，3－氯－2－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，苄基(甲基)丙烯酸酯，甲氧基苄基(甲基)丙烯酸酯，氯苄基(甲基)丙烯酸酯，糠基(甲基)丙烯酸酯，四氫糠基(甲基)丙烯酸酯，苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯，苯基(甲基)丙烯酸酯，甲酚基(甲基)丙烯酸酯，萘基(甲基)丙烯酸酯，環氧丙基(甲基)丙烯酸酯，苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯，壬基苯氧基聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯，壬基苯氧基丙烯單(甲基)丙烯酸酯，2－羥基－3－苯氧基丙基丙烯酸酯，乙二醇單(甲基)丙烯酸酯，甘油(甲基)丙烯酸酯，二新戊四醇單(甲基)丙烯酸酯，二甲基胺基乙基(甲基)丙烯酸酯，二乙基胺基乙基(甲基)丙烯酸酯，2,2,2－三氟乙基(甲基)丙烯酸酯，2,2,3,3－四氟丙基(甲基)丙烯酸酯，二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯，1,3－丙烷二醇二(甲基)丙烯酸酯，1,3－丁烷二醇二(甲基)丙烯酸酯，新戊四醇四(甲基)丙烯酸酯，二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯，二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三環氧丙基醚三(甲基)丙烯酸酯，雙酚A二環氧丙基醚二(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三丙烯酸酯，乙二醇二丙烯酸酯，二乙二醇二丙烯酸酯，新戊四醇三丙烯酸酯，四乙二醇二丙烯酸酯，苯乙烯，α－甲基苯乙烯，β－甲基苯乙烯，鄰甲基苯乙烯，間甲基苯乙烯，對甲基苯乙烯，鄰乙基苯乙烯，間乙基苯乙烯，對乙基苯乙烯，鄰甲氧基苯乙烯，間甲氧基苯乙烯，對甲氧基苯乙烯，鄰乙氧基苯乙烯，間乙氧基苯乙烯，對乙氧基苯乙烯，鄰氯苯乙烯，間氯苯乙烯，對氯苯乙烯，對溴苯乙烯等的苯乙烯衍生物，或苯環為可以硝基，腈基，烷氧基，醯基，碸基，羥基，鹵原子等的官能基取代的苯乙烯衍生物，(甲基)丙烯酸，α－溴(甲基)丙烯酸，α－氯(甲基)丙烯酸，β－呋喃基(甲基)丙烯酸，β－苯乙烯基(甲基)丙烯酸，順丁烯二酸，順丁烯二酸酐，順丁烯二酸單甲酯，順丁烯二酸單乙酯，順丁烯二酸單異丙酯，(甲基)丙烯醯胺，N－羥甲基丙烯醯胺，N－羥基甲基(甲基)丙烯醯胺，N－甲氧基甲基丙烯醯胺，N－乙氧基甲基丙烯醯胺，N－丁氧基甲基丙烯醯胺，亞甲基雙丙烯醯胺，乙烯雙丙烯醯胺，1,6－亞己基雙丙烯醯胺，二丙酮丙烯醯胺，2－丙烯醯氧乙基鄰苯二酸酯，2－丙烯醯氧乙基－2－羥基乙基鄰苯二酸酯，2－甲基丙烯醯氧乙基－2－羥基丙基鄰苯二酸酯，二乙烯鄰苯二酸酯，二乙烯對苯二酸酯，纖維素，羥基甲基纖維素，羥基乙基纖維素，羥基丙基纖維素，羧甲基纖維素，羧乙基纖維素，羧乙基甲基纖維素，纖維素鄰苯二酸酯，纖維素乙酸酯鄰苯二酸酯，羥基丙基甲基纖維素鄰苯二酸酯，羥基丙基甲基纖維素乙酸酯鄰苯二酸酯聚乙烯醇與為丁基醛的反應生成物之聚丁縮醛樹脂等的聚乙烯醇類，δ－戊內酯ε－己內酯，β－丙內酯，α－甲基－β－丙內酯，β－甲基－β－丙內酯，α－甲基－β－丙內酯，β－甲基－β－丙內酯，α,α－二甲基－β－丙內酯，β,β－二甲基－β－丙內酯等的內酯類為開環聚合的聚酯類，乙二醇，丙二醇，二乙二醇，三乙二醇，二丙二醇，新戊二醇等的烷撐二醇單獨或2種以上的二醇類，與順丁烯二酸，反丁烯二酸，戊二酸，己二酸等的二羧酸類縮合反應，所得之聚酯類，聚乙二醇，聚丙二醇，聚四亞甲二醇，聚五亞甲二醇，雙酚A，氫醌，二氫羥基環己烷等的二醇類，與二苯基碳酸酯，光氣，琥珀酸酐等的羰化合物反應生成物的聚碳酸酯類，(甲基)丙烯腈，鄰乙烯甲苯，間乙烯甲苯，對乙烯甲苯，乙酸乙烯酯，丁酸乙烯酯，苯甲酸乙烯酯，丙酸乙烯酯，2,2’－雙(4－丙烯醯氧基二乙氧基苯基)丙烷，二乙烯琥珀酸酯，二乙烯己二酸酯，二乙烯苯－1,3－二磺酸鹽，異戊二烯，氯丁二烯，3－丁二烯，乙烯－正丁基醚反丁烯二酸，桂皮酸，α－氰桂皮酸，伊康酸，伊康酸酐，檸康酸，檸康酸酐，巴豆酸，丙炔酸等。上述熱塑性有機高分子(C)成分可單獨使用，亦可組合複數使用。
本發明的感光性樹脂組成物所使用的(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物方面，可例舉在雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，多價醇中，使α,β－不飽和羧酸反應所得的化合物，具有胺甲酸乙酯鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物等之胺甲酸乙酯單體等。該等可單獨使用1種，或組合2種以上使用。
上述雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物方面，可例舉2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－[{(甲基)丙烯醯氧基三乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基四乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基五乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基六乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基七乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基八乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基九乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十一乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十二乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十三乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十四乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十五乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十六乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基二丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基三丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基四丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基五丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基六丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基七丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基八丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基九丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十一丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十二丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十三丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十四丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十五丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十六丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙(4－甲基丙烯醯氧基十五乙氧基)苯基丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基八丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基四乙氧基四丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基六乙氧基六丙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基三乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基五乙氧基}苯基]丙烷，2,2－雙[4－{(甲基)丙烯醯氧基十乙氧基}苯基]丙烷，雙酚A二環氧丙基醚二(甲基)丙烯酸酯等。
該等中，以2,2－雙{(4－甲基丙烯醯氧基五乙氧基)苯基}丙烷，可由市售的BPE－500[製品名：新中村化學工業公司製]而得，2,2－雙{4－甲基丙烯醯氧基十五乙氧基苯基丙烷，可由市售的BPE－1300[製品名：新中村化學工業公司製]而得。
此外，上述雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物方面，亦可使用其衍生物，使用的衍生物方面，可例舉於雙酚A－二環氧基中加成丙烯酸的化合物等。例如，可由市售的bisuko－to #540[製品名：大阪有機化學工業公司製]而得。
上述多價醇中，使α,β－不飽和羧酸反應所得的化合物方面，可例舉1,6－己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯，苯氧基四乙二醇(甲基)丙烯酸酯，1,4－四亞甲二醇二(甲基)丙烯酸酯，1,4－環己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯，聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯，聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯，聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯，聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，2－二(對羥基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯，七丙二醇二(甲基)丙烯酸酯，甘油三(甲基)丙烯酸酯，甘油(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯，聚氧丙基三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯，聚氧乙基三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯，二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯，二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯，乙二醇二環氧丙基醚二(甲基)丙烯酸酯，二乙二醇二環氧丙基醚二(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三環氧丙基醚三(甲基)丙烯酸酯，酞酸二環氧丙基醚二(甲基)丙烯酸酯，甘油聚環氧丙基醚聚(甲基)丙烯酸酯，苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯，壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯，壬基苯氧基聚烷撐二醇(甲基)丙烯酸酯，聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯，4－正辛基苯氧基五丙二醇(甲基)丙烯酸酯，4－雙{三乙二醇(甲基)丙烯酸酯}九丙二醇，雙{四乙二醇(甲基)丙烯酸酯}聚丙二醇，雙{三乙二醇(甲基)丙烯酸酯}聚丙二醇，雙(二乙二醇丙烯酸酯)聚丙二醇，4－正壬基苯氧基辛烷乙二醇(甲基)丙烯酸酯，4－正壬基苯氧基庚烷乙二醇二丙二醇(甲基)丙烯酸酯，苯氧基四丙二醇四乙二醇(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷二乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷四乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，三羥甲基丙烷五乙氧基三(甲基)丙烯酸酯，四羥甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯，四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯，乙二醇二(甲基)丙烯酸酯，丙二醇二(甲基)丙烯酸酯，丁二醇二(甲基)丙烯酸酯，戊二醇二(甲基)丙烯酸酯，聚乙烯聚三羥甲基丙烷(甲基)丙烯酸酯，四羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯，新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯，新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯，甘油單(甲基)丙烯酸酯，甘油二(甲基)丙烯酸酯等。
上述具有胺甲酸乙酯鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物等的胺甲酸乙酯單體方面，可例舉在一分子中具有羥基與(甲基)丙烯酸基的化合物[2－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，2－羥基乙基(甲基)丙烯酸酯，3－氯－2－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，2－羥基丁基(甲基)丙烯酸酯，2－苯氧基－2－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，低乙二醇單(甲基)丙烯酸酯，低丙二醇單(甲基)丙烯酸酯]，與異佛爾酮二異氰酸酯，2,6－甲苯二異氰酸酯，2,4－甲苯二異氰酸酯，1,6－亞己基二異氰酸酯，亞己基二異氰酸酯，甲伸苯(tolylene)二異氰酸酯，或與2,2,4－三甲基亞己基二異氰酸酯等的二異氰酸酯化合物的加成反應物，三個[(甲基)丙烯醯氧基四乙二醇異氰酸酯]亞己基異三聚氰酸酯，EO改性胺甲酸乙酯二(甲基)丙烯酸酯，EO，PO改性胺甲酸乙酯二(甲基)丙烯酸酯等。
此外，EO表示氧化伸乙基，EO改性的化合物具有乙烯氧基的嵌段構造。又，PO表示環氧丙烷，PO改性的化合物具有丙烯氧基的嵌段構造。EO改性胺甲酸乙酯二(甲基)丙烯酸酯方面，可例舉新中村化學工業公司製，製品名UA－11等。又，EO，PO改性胺甲酸乙酯二(甲基)丙烯酸酯方面，可例舉新中村化學工業公司製，製品名UA－13等。
其他的化合物方面，可例舉(甲基)丙烯酸，甲基(甲基)丙烯酸酯，乙基(甲基)丙烯酸酯，丁基(甲基)丙烯酸酯，2－乙基己基(甲基)丙烯酸酯，2－苯氧基－2－羥基丙基(甲基)丙烯酸酯，二烯丙基鄰苯二酸酯，β－羥基丙基－β’－{(甲基)丙烯醯基氧基}丙基鄰苯二酸酯，2－(甲基)丙烯醯氧－2－羥基丙基鄰苯二酸酯，2－(甲基)丙烯醯氧乙基－2－羥基乙基鄰苯二酸酯，壬基苯基二氧雜丙烯(甲基)丙烯酸酯，γ－氯－β－羥基丙基－β’－(甲基)丙烯醯氧乙基－鄰苯二酸酯，β－羥基乙基－β’－(甲基)丙烯醯氧乙基－鄰苯二酸酯，β－羥基丙基－β’－(甲基)丙烯醯氧乙基－鄰苯二酸酯，EO改性壬基苯基(甲基)丙烯酸酯，N,N－二甲基(甲基)丙烯醯胺，N－羥甲基(甲基)丙烯醯胺等的(甲基)丙烯醯胺類，N,N－二甲基胺基乙基(甲基)丙烯酸酯等的胺基烷基(甲基)丙烯酸酯類等。
又，可使其含有得以配合於(C)熱塑性有機高分子的成分所例示的單體。
本發明的感光性樹脂組成物所使用的(E)光聚合引發劑方面，可例舉芳香族酮類，對胺基苯基酮類，苯醌類，安息香醚化合物，安息香化合物，苄基衍生物，2,4,5－三芳基咪唑二聚物，吖啶衍生物，香豆素系化合物，肟酯類，N－芳基－α－胺基氧化合物，脂肪族多官能硫醇化合物，醯基膦氧化物類，噻噸酮類，3級胺化合物類等。該等可單獨使用1種或組合2種以上使用。
上述芳香族酮類方面，可例舉乙醯苯，二苯基酮，甲基二苯基酮，N,N’－四甲基－4,4’－二胺基二苯基酮(米蜇酮)，N,N’－四乙基－4,4’－二胺基二苯基酮，4－甲氧基－4’－二甲基胺基二苯基酮，2－苄基－2－二甲基胺基－1－(4－嗎啉基(morpholino)苯基)－丁酮－1,2－甲基－1－[4－(甲基硫代)苯基]－2－嗎啉基－丙烷－1,4,4－二氯二苯基酮等。
上述對胺基苯基酮類方面，可例舉胺基二苯基酮，丁基胺基乙醯苯，二甲基胺基乙醯苯，α,α－二甲氧基－α－嗎啉基－甲基噻吩乙醯苯，二甲基胺基二苯基酮，4,4’－雙(乙基胺基)二苯基酮，4,4’－雙(二丁基胺基)二苯基酮，2,2－二甲氧基－2－苯基乙醯苯，4,4’－二胺基二苯基酮，2,2－二乙氧基－2－苯基乙醯苯等。
上述醌類方面，可例舉2－甲基蒽醌，2－乙基蒽醌，菲醌，2－三級丁基蒽醌，八甲基蒽醌，1,2－苯并蒽醌，2,3－苯并蒽醌，2－苯基蒽醌，2,3－二苯基蒽醌，1－氯蒽醌，2－氯蒽醌，3－氯－2－甲基蒽醌，9,10－菲醌(9,10－phenanthraquinone)，1,2－萘醌，1,4－萘醌，2－甲基－1,4－萘醌，1,4－二甲基蒽醌，2,3－二甲基蒽醌，2－戊基蒽醌，2－胺基蒽醌等。
上述安息香醚化合物方面，可例舉安息香甲基醚，安息香乙基醚，安息香丙基醚，安息香苯基醚等。
上述安息香化合物方面，可例舉安息香，甲基安息香，乙基安息香等。
上述苄基衍生物方面，可例舉苄基二甲基縮酮，苄基二乙基縮酮，苄基二丙炔縮酮，苄基二苯基縮酮等。
上述2,4,5－三芳基咪唑二聚物方面，可例舉2－(鄰氯苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2－(鄰氯苯基)－4,5－二(甲氧基苯基)咪唑二聚物，2－(鄰氟苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2－(鄰甲氧基苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2－(對甲氧基苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,5,4’,5’－四苯基咪唑二聚物，2－(鄰溴苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(對氯苯基)咪唑二聚物，2－(鄰氯苯基)－4,5－四(間甲氧基苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(對氟苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰溴苯基)－4,4’,5,5’－四(對氯－對甲氧基苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二氯苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二溴苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(對氯萘基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰，間二氯苯基)－4,4’,5,5’－四苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰，對二氯苯基)－4,4’,5,5’－四苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰，對二氯苯基)－4,4’,5,5’－四(間甲氧基苯基)咪唑二聚物，2,4－二(對甲氧基苯基)－5－苯基咪唑二聚物，2－(2,4－二甲氧基苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2－(對甲基氫硫基苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(對溴苯基)－4,4’,5,5’－四苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰溴苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二氯苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰溴苯基)－4,4’,5,5’－四(對碘苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(間溴苯基)－4,4’,5,5’－四苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(間，對二溴苯基)－4,4’,5,5’－四苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(2,6－二氯苯基)－4,5－二苯基咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(對氟苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰溴苯基)－4,4’,5,5’－四(對碘苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(對氯萘基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(對氯苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰溴苯基)－4,4’,5,5’－四(對氯－對甲氧基苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二氯苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰氯苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二溴苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰溴苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二氯苯基)咪唑二聚物，2,2’－雙(鄰，對二氯苯基)－4,4’,5,5’－四(鄰，對二氯苯基)咪唑二聚物等。
上述吖啶衍生物方面，可例舉9－苯基吖啶，9－(對甲基苯基)吖啶，9－(對乙基苯基)吖啶，9－(對正丙基苯基)吖啶，9－(對異丙基苯基)吖啶，9－(對正丁基苯基)吖啶，9－(對三級丁基苯基)吖啶，9－(對甲氧基苯基)吖啶，9－(對乙氧基苯基)吖啶，9－(對乙醯基苯基)吖啶，9－(對二甲基胺基苯基)吖啶，9－(對氰苯基)吖啶，9－(對氯苯基)吖啶，9－(對溴苯基)吖啶，9－(間甲基苯基)吖啶9－(間正丙基苯基)吖啶9－(間異丙基苯基)吖啶9－(間正丁基苯基)吖啶，9－(間三級丁基苯基)吖啶，9－(間甲氧基苯基)吖啶，9－(間乙氧基苯基)吖啶，9－(間乙醯基苯基)吖啶9－(間二甲基胺基苯基)吖啶，9－(間二乙基胺基苯基)吖啶9－(間氰苯基)吖啶，9－(間氯苯基)吖啶，9－(間溴苯基)吖啶，9－氰乙基吖啶，9－羥基乙基吖啶，9－氯乙基吖啶，9－正丙氧基吖啶，9－異丙氧基吖啶，9－氯乙氧基吖啶，1,7－雙(9,9’－吖啶)庚烷等。
上述香豆素系化合物方面，可例舉7－胺基－4－甲基香豆素，7－二甲基胺基－4－甲基香豆素，7－二乙基胺基－4－甲基香豆素，7－甲基胺基－4－甲基香豆素，7－乙基胺基－4－甲基香豆素，7－二甲基胺基環五[c]香豆素，7－胺基環五[c]香豆素，7－二乙基胺基環五[c]香豆素，4,6－二甲基－7－乙基胺基香豆素，4,6－二乙基－7－乙基胺基香豆素，4,6－二甲基－7－二乙基胺基香豆素，4,6－二甲基－7－二甲基胺基香豆素，4,6－二乙基－7－二乙基胺基香豆素，4,6－二乙基－7－二甲基胺基香豆素，4,6－二甲基－7－乙基胺基香豆素，2,3,6,7,10,11－己烷氫－1H,5H－環五[3,4][1]苯并吡喃[6,7,8－ij]喹嗪(quinolizine)12(9H)－酮，7－二乙基胺基－5’,7’－二甲氧基－3，3’－羰雙香豆素，3,3’－羰雙[7－(二乙基胺基)香豆素]，7－二乙基胺基－3－噻吩氧基(thienoxyl)香豆素等。
上述肟酯類方面，可例舉1－苯基－1,2－丙烷二酮－2－鄰苯醯基肟，1－苯基－1,2－丙烷二酮－2－(鄰乙氧基羰)肟等。
上述N－芳基－α－胺基氧化合物方面，可例舉N－苯基甘氨酸，N－甲基－N－苯基甘氨酸，N－乙基－N－苯基甘氨酸，N－(正丙基)－N－苯基甘氨酸，N－(正丁基)－N－苯基甘氨酸，N－(2－甲氧基乙基)－N－苯基甘氨酸，N－甲基－N－苯基丙氨酸，N－乙基－N－苯基丙氨酸，N－(正丙基)－N－苯基丙氨酸，N－(正丁基)－N－苯基丙氨酸，N－甲基－N－苯基纈氨酸，N－甲基－N－苯基白氨酸，N－甲基－N－(對甲苯基)甘氨酸，N－乙基－N－(對甲苯基)甘氨酸，N－(正丙基)－N－(對甲苯基)甘氨酸，N－(正丁基)－N－(對甲苯基)甘氨酸，N－甲基－N－(對氯苯基)甘氨酸，N－乙基－N－(對氯苯基)甘氨酸，N－(正丙基)－N－(對氯苯基)甘氨酸，N－甲基－N－(對溴苯基)甘氨酸，N－乙基－N－(對溴苯基)甘氨酸，N－(正丁基)－N－(對溴苯基)甘氨酸，N,N’－二苯基甘氨酸，N－甲基－N－(對碘苯基)甘氨酸，N－(對溴苯基)甘氨酸，N－(對氯苯基)甘氨酸，N－(鄰氯苯基)甘氨酸等。
上述脂肪族多官能硫醇化合物方面，可例舉己烷二硫醇，癸烷二硫醇，1,4－二甲基氫硫基苯，丁烷二醇雙硫代丙酸酯，丁烷二醇雙硫代羥乙酸酯，乙二醇雙硫代羥乙酸酯，三羥甲基丙烷三個硫代羥乙酸酯，丁烷二醇雙硫代丙酸酯，三羥甲基丙烷三個硫代丙酸酯，三羥甲基丙烷三個硫代羥乙酸酯，新戊四醇四個硫代丙酸酯，新戊四醇四個硫代羥乙酸酯，三個羥基乙基三個硫代丙酸酯，及其他多價羥基化合物的硫代羥乙酸酯，硫代丙酸酯等。
上述醯基膦氧化物類方面，可例舉(2,6－二甲氧基苯醯基)2,4,4－戊基膦氧化物，雙(2,4,6－三甲基苯醯基)－苯基膦氧化物，2,4,6－三甲基苯醯基二苯基膦氧化物等。
上述噻噸酮類方面，可例舉噻噸酮，2,4－二乙基噻噸酮，2－氯噻噸酮，2,4－二甲基噻噸酮，2－異丙基噻噸酮，4－異丙基噻噸酮，2,4－二異丙基噻噸酮，2－氟噻噸酮，4－氟噻噸酮，2－氯噻噸酮，4－氯噻噸酮，1－氯－4－丙氧基噻噸酮等。
其他的光聚合引發劑方面，可例舉乙基－2,4,6－三甲基苯醯基苯基亞磷酸鹽，2,3－二氧合－3－苯基二乙基甲酮二酸乙基－2－(鄰苯醯基羰)－肟，對硝基二苯基，間硝基苯胺，對硝基苯胺，2,6－二硝基苯胺等。又，如二乙基噻噸酮與二甲基胺基苯甲酸的組合，亦可組合噻噸酮系化合物與3級胺化合物。
上述3級胺化合物方面，可例舉二甲基胺基苯甲酸，二乙基胺基苯甲酸，二異丙基胺基苯甲酸等。
在此，上述(A)羧酸化合物，(B)雜環化合物，(C)熱塑性有機高分子，(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物，及(E)光聚合引發劑的配合比率如下述。亦即，相對於(C)熱塑性有機高分子20~90質量%，較佳為40~80質量%，(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物5~70質量%，較佳為20~60質量%，(E)光聚合引發劑0.5~10質量%，較佳為1.0~5.0質量%所成之配合物100質量份，(A)羧酸化合物為0.0005~1質量份，較佳為0.001~0.5質量份的範圍內，(B)雜環化合物為0.0005~1質量份，較佳為0.001~0.5質量份的範圍內。此外，(C)熱塑性有機高分子的配合量若不足20質量%，會產生冷流(cold flow)，感光性樹脂組成物易自薄膜端面滲出等，又，若超過90質量%，則亦有感度不足的現象，故並不佳。接著，(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物的配合量若不足10質量%，則有感度不足的傾向，又，若超過70質量%，則會產生冷流，樹脂易自薄膜端面滲出等，故為不佳。又，(E)光聚合引發劑的配合量若不足0.5質量%時，於照射活性光線進行感光層硬化之際，則有無法充分硬化的傾向，又，若超過10質量%，由於對感光層的活性光線感度過高，有解像度降低，穩定性降低的傾向，故為不佳。進而，(A)羧酸化合物及(B)雜環化合物的配合量相對於(C)成分，(D)成分及(E)成分的合計100質量份，若不足0.0005質量份時，則有密接力的提高效果不充分的傾向，又，若超過1質量份時，在感光性樹脂組成物的其他各種特性方面，例如剝離性，感度等，則有降低的傾向，亦為不佳。
又，本發明的感光性樹脂組成物中，為了提高對上述(A)羧酸化合物及(B)雜環化合物的樹脂之溶解性，可進而配合(F)胺類。(F)胺類方面，可例舉氨，乙烯二胺，三乙烯四胺，單乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，單異丙醇胺，二異丙醇胺，三異丙醇胺，二乙烯三胺，二乙基胺，二丁基胺，六氫苯胺，四乙烯戊胺，五乙烯己胺，烯丙基胺，2－胺基丙醇，3－胺基丙醇，4－胺基丁醇，4－甲基胺基丁醇，乙基胺基乙基胺，2－乙基己基胺，二－2－乙基己基胺，油基胺，十二基胺，二環己基胺，辛基胺，十八胺，己基胺等。該等的化合物可單獨使用1種或組合2種以上使用。此外，該等的化合物中以單異丙醇胺，二異丙醇胺，二－2－乙基己基胺等為特佳。
此外，(F)胺類的配合量相對於上述(A)成分及(B)成分所使用的酸1當量，為5當量以下，較佳為0.5~2當量的範圍內。在此，(F)胺類的配合量相對於上述(A)成分及(B)成分所使用的酸1當量，若超過5當量時，由於易阻礙密接性的提高效果，故並不佳。
又，本發明的感光性樹脂組成物，以上述(A)~(E)成分為必須成分，但可因應需要，適當添加熱聚合抑制劑，可塑劑，染料(色素，光發色劑)，防氧化劑，表面張力改質材，穩定劑，鏈轉移劑，消泡劑，難燃劑，剝離促進劑，香料，顯影劑，熱交聯劑，顯影性．電鍍性提高劑等的添加劑。該等添加劑可單獨使用1種或組合2種以上使用。
上述熱聚合抑制劑方面，可例舉對甲氧基苯酚，氫醌，三級丁基兒茶酚，五倍子酚，2－羥基二苯基酮，4－甲氧基－2－羥基二苯基酮，氯化亞銅，吩噻嗪(phenothiazine)，氯醌，萘基胺，β－萘酚，2,6－二－三級丁基－對甲酚，硝基苯，二硝基苯，古液酸(hygrici acid)，對甲苯胺等。
上述可塑劑方面，可例舉二丁基鄰苯二酸酯，二庚基鄰苯二酸酯，二辛基鄰苯二酸酯，二烯丙基鄰苯二酸酯等的酞酸酯類；三乙二醇二乙酸酯，四乙二醇二乙酸酯等的乙二醇酯類；磷酸三甲苯酚酯，三苯基磷酸鹽等的磷酸酯類；對甲苯碸醯胺，苯碸醯胺，N－正丁基乙醯胺等的醯胺類；二異丁基己二酸酯，二辛基己二酸酯，二甲基癸二酸酯，二辛基壬二酸酯，二丁基順丁烯二酸酯等的脂肪族二鹼式酸酯類；檸檬酸三乙酯，檸檬酸三丁酯，甘油三乙醯基酯，月桂酸丁酯，4,5－二環氧基環己烷－1,2－二羧酸二辛酯等的脂肪酸酯類；聚乙二醇，聚丙二醇等的二醇類等。上述色素方面，可例舉豔綠，伊紅(eosine)，乙基紫，赤蘚紅鈉鹽(erythrosine)B，甲基綠，結晶紫，鹼性品紅(basic fuchsine)，苯酚酞，1,3－二苯基三，茜素(alizarine)紅S，百里香酚酞，甲基紫2B，喹那定紅(quinaldine red)，玫瑰紅鈉瓊脂(rose bengal)，米塔尼爾黃(metanil yellow)，百里香酚磺酞，二甲苯酚藍，甲基橘，橘IV，二苯基流卡巴腙(thiocarbazone)，2,7－二氯熒光素(fluoresceine)，泛甲基紅，剛果紅，本佐紅紫4B(Benzo purpurine 4B)，α－萘基紅，nile blue A，非那西汀(phenacetin)，甲基紫，孔雀綠，副品紅(parafuchisin)，油藍#603[東方化學工業公司製]，維多利亞純藍BOH,Spilon藍GN[Hodogaya化學工業公司製]，羅丹明6G等。
上述光發色劑方面，除了前述的色素之外，可例舉二苯基胺，二苄基苯胺，三苯基胺，二乙基苯胺，二苯基－對伸苯基二胺，對甲苯胺，4,4’－聯苯基二胺，鄰氯苯胺，白色結晶紫，白色孔雀綠，白色苯胺，白色甲基紫等。
上述顯影性．電鍍性提高劑方面，可例舉四氯化碳，氯仿，溴仿，1,1,1－三氯乙烷，溴化亞甲基，碘化亞甲基，二氯甲烷，四溴化碳，碘仿，1,1,2,2－四溴乙烷，五溴乙烷，三溴乙醯苯，雙－(三溴甲基)碸，三溴甲基苯基碸，氯化乙烯，氯化烯烴等。
此外，上述添加劑的配合量相對於(C)熱塑性有機高分子；(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物；及(E)光聚合引發劑的合計量100質量份，各別為0.01~20質量份，較佳為0.05~10質量份左右。
又，本發明的感光性樹脂組成物中，除了上述成分，為了達到調整黏度等的目的，可因應需要，適當添加醇類，酮類，乙酸酯類，乙二醇醚類，乙二醇醚酯類，石油系溶劑等的稀釋用有機溶劑。
上述稀釋用的有機溶劑方面，可例舉己烷，庚烷，辛烷，壬烷，癸烷，苯，甲苯，二甲苯，苄基醇，甲基乙基酮，丙酮，甲基異丁基酮，環己酮，甲基環己酮，甲醇，乙醇，丙醇，丁醇，異丁醇，己醇，環己醇，乙二醇，二乙二醇，甘油，乙二醇單甲基醚，乙二醇單乙基醚，乙二醇單丁基醚，丙二醇單甲基醚，丙二醇單乙基醚，二乙二醇單甲基醚，二乙二醇單乙基醚，二乙二醇單丁基醚，二乙二醇二甲基醚，二乙二醇二乙基醚，2－甲氧基丁基乙酸酯，3－甲氧基丁基乙酸酯，4－甲氧基丁基乙酸酯，2－甲基－3－甲氧基丁基乙酸酯，3－甲基－3－甲氧基丁基乙酸酯，3－乙基－3－甲氧基丁基乙酸酯，2－乙氧基丁基乙酸酯，4－乙氧基丁基乙酸酯，4－丙氧基丁基乙酸酯，2－甲氧基戊基乙酸酯，3－甲氧基戊基乙酸酯，4－甲氧基戊基乙酸酯，2－甲基－3－甲氧基戊基乙酸酯，3－甲基－3－甲氧基戊基乙酸酯，3－甲基－4－甲氧基戊基乙酸酯，4－甲基－4－甲氧基戊基乙酸酯，甲基乳酸酯，乙基乳酸酯，甲基乙酸酯，乙基乙酸酯，丙基乙酸酯，丁基乙酸酯，戊基乙酸酯，丙二醇單甲基醚乙酸酯，丙二醇單乙基醚乙酸酯，甲基丙酸酯，乙基丙酸酯，苯甲酸甲酯，苯甲酸乙酯，苯甲酸丙酯，苯甲酸丁酯，甲基丁酸酯，乙基丁酸酯，丙基丁酸酯，N,N－二甲基甲醯胺γ－丁內酯，N－甲基－吡咯啶酮，四甲基碸，氯仿，二氯甲烷，1,1,1－三氯乙烷等。該等的溶劑可單獨使用1種或組合2種以上使用。
在此，溶劑的配合量，相對於感光性樹脂組成物5~50質量%，較佳為10~40質量%的範圍內。
將本發明的感光性樹脂組成物塗佈於如上述的作為光阻油墨的薄膜狀支持體上，予以乾燥，可形成感光性薄膜。薄膜狀支持體方面，可使用聚對酞酸乙二酯薄膜，聚苯乙烯薄膜，聚丙烯薄膜等。亦可因應需要，在薄膜狀支持體上所層合的感光性樹脂組成物層上使保護薄膜層合。保護薄膜方面，除了上述薄膜狀支持體所使用的材料之外，可使用聚乙烯薄膜，聚乙烯醇薄膜等。
 實施例
試例舉以下的實施例，進而說明本發明的感光性樹脂組成物，但本發明並不限定於以下的實施例。
實施例1
在以下的基本配合(1)~(3)中，添加下表1所示的(A)羧酸化合物及(B)雜環化合物，調製本發明品的感光性樹脂組成物。
又，為了進行比較，調製只有上述基本配合(1)，(2)或(3)的組成物[比較品(1)－1，(2)－1，(3)－1]，於上述基本配合(1)，(2)或(3)中，僅添加為添加劑的(A)羧酸化合物的組成物[比較品(1)－2~20，比較品(2)－2~20，比較品(3)－2~20]，(B)僅添加雜環化合物的組成物[比較品(1)－21~41，比較品(2)－21~41，比較品(3)－21~41]，(F)僅添加胺類添加的組成物[比較品(1)－42，比較品(2)－42，比較品(3)－42]，及以本發明範圍外的添加量添加(A)羧酸化合物及(B)雜環化合物的組成物[比較品(1)－43~50，比較品(2)－43~50，比較品(3)－43~50]。
進而，將所得之本發明品及比較品的組成物置於支持薄膜(材質＝聚對酞酸乙二酯)上，以塗佈機(applicator)拉長，80℃下乾燥10分鐘，獲得膜厚40μm的光阻皮膜。接著，將所得之光阻皮膜於清淨的印刷基板用銅箔層合板上，使用層合機，在溫度80℃的條件下層合，獲得評價用基板(25×50mm)。
<密接性試驗>
於評價用基板上，使用具有線寬/間隙(space)寬為30/400~200/400(單位：μm)圖型的負型，以UV(365nm)為25mJ/cm2 的曝光量進行照射。除去支持薄膜後，使用1質量%濃度的碳酸蘇打水溶液進行60~70秒的顯影，水洗、觀察光阻的剝離程度。將所得基板以塑膠橡皮擦輕擦，測試光阻的剝離程度。以完全不剝離之線寬值評價密接性。數值小者密接性為佳：[密接性/目視]A：不足40μm B：40μm以上，未達50μm C：50μm以上，未達60μm D：60μm以上，未達70um E：70μm以上
<防變色性試驗>
於評價用基板上，使用由透明至黑色之有41段明度變化步驟的階段表(tablet)，以UV(365nm)為25mJ/cm2 的曝光量進行照射。去除支持薄膜後，以1質量%濃度的碳酸蘇打水溶液進行60~70秒的顯影，水洗。將所得之基板以固定的溫度50℃，濕度95%RH維持48小時後，浸漬於3質量%濃度的腐蝕性蘇打中70秒，水洗、剝離。觀察剝離後銅表面的狀態，以下述所示的評價基準進行評價：
[防止變色性]
a：10%未滿
b：10%以上，未達30%
c：30%以上，未達50%
d：50%以上，未達80%
e：80%以上
表中，BT－LX表示1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基)苯并三唑，TT－LX表示1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基)甲苯基三唑，CBT－LX表示1－[N,N－雙(2－乙基己基)胺基甲基]羧苯并三唑。

Claims (11)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其特徵為含有(A)選自由脂肪酸及芳香族羧酸(羧基苯并三唑除外)所成群之1種或2種以上之羧酸化合物；(B)選自由三唑類、四唑類及咪唑類所成群之1種或2種以上雜環化合物；(C)熱塑性有機高分子；(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物；(E)光聚合引發劑；及(F)胺類所成者；其中該胺類係選自由氨、乙烯二胺、三乙烯四胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、單異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、二乙烯三胺、二乙基胺、二丁基胺、六氫苯胺、四乙烯戊胺、五乙烯己胺、烯丙基胺、2-胺基丙醇、3-胺基丙醇、4-胺基丁醇、4-甲基胺基丁醇，乙基胺基乙基胺、2-乙基己基胺、二-2-乙基己基胺、油基胺、十二基胺、二環己基胺，辛基胺、十八基胺及己基胺所成群之胺類。
  2. 如申請專利範圍第1項的感光性樹脂組成物，其中在(A)選自由脂肪酸及芳香族羧酸(羧基苯并三唑除外)所成群之1種或2種以上之羧酸化合物中，脂肪酸係碳原子數為1~30個之具有1個或2個以上的羧基，可為飽和或不飽和之直鏈型或分支鏈型，且構造中亦可具有環狀構造者，並且亦可具有烴基、含氧基及/或含氮基作為取 代基之化合物者。
  3. 如申請專利範圍第1項的感光性樹脂組成物，其中在(A)選自由脂肪酸及芳香族羧酸(羧基苯并三唑除外)所成群之1種或2種以上之羧酸化合物中，芳香族羧酸為以苯、萘或蒽構造為骨架，具有與該等直接鍵結的1個或2個以上的羧基，且取代基係碳原子數為1~12個之可為飽和或不飽和之直鏈型或為分支鏈型，且構造中亦可具有環狀構造者，並且亦可具有含有氧及/或氮之基的化合物。
  4. 如申請專利範圍第1項至3項中任一項的感光性樹脂組成物，其中相對於(C)熱塑性有機高分子；(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物；及(E)光聚合引發劑的合計量100質量份，(A)選自由脂肪酸及芳香族羧酸(羧基苯并三唑除外)所成群之1種或2種以上之羧酸化合物的配合量為0.0005~1質量份的範圍內，且(B)雜環化合物的配合量為0.0005~1質量份的範圍內。
  5. 如申請專利範圍第1項的感光性樹脂組成物，其中相對於(A)選自由脂肪酸及芳香族羧酸(羧基苯并三唑除外)所成群之1種或2種以上之羧酸化合物及(B)雜環化合物所使用的酸1當量，(F)胺類的配合量為5當量以下。
  6. 如申請專利範圍第1項至3項中任一項的感光性樹脂組成物，其進而含有選自熱聚合抑制劑、可塑劑、染料、防氧化劑、表面張力改質材料、穩定劑、鏈轉移劑、消 泡劑、難燃劑、剝離促進劑、香料、顯影劑、熱交聯劑及顯影性．電鍍性提高劑所成群之1種或2種以上的添加劑者。
  7. 如申請專利範圍第6項的感光性樹脂組成物，其中相對於(C)熱塑性有機高分子；(D)具有乙烯性不飽和基的光聚合性化合物；及(E)光聚合引發劑的合計量100質量份，添加劑的配合量各為0.01~20質量份的範圍內。
  8. 如申請專利範圍第1項至3項中任一項的感光性樹脂組成物，其進而含有選自醇類、酮類、乙酸酯類、乙二醇醚類、乙二醇醚酯類及石油系溶劑所成群之1種或2種以上的稀釋用有機溶劑。
  9. 如申請專利範圍第8項的感光性樹脂組成物，其中相對於感光性樹脂組成物，稀釋用溶劑的配合量為5~50質量%的範圍內。
  10. 一種光阻油墨，其特徵為，由申請專利範圍第1項至9項中任一項的感光性樹脂組成物所成者。
  11. 一種感光性薄膜，其特徵為將申請專利範圍第1項至9項中任一項的感光性樹脂組成物塗佈於支持體上，將乾燥所成的感光性樹脂組成物層形成於支持體上所成者。
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