1338773 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種相對用於測定透鏡等的光學元件的 偏:量測定襄置的光學系統，尤指一種適用於將被檢測光 5干70件以可圍繞著規定的軸旋轉的方式保持的被檢測光學 元件旋轉保持裝置。 【先前技術】 以往，公知有採用所謂自準直法的方法來對被檢測光 10學元件的偏心量進行測定的偏心量測定裝置（參照以下曰 本國專利前案1 )。 在這樣的偏心量測定裝置中，需要用於相對測定用光 學系統將被檢測光學元件以可圍繞著規定的軸旋轉的方式 保持的旋轉保持機構。以下專利前案〖中記載了包括可使 15被檢測光學元件在吸引保持的狀態下旋轉的吸引保持台的 旋轉保持機構。 另一方面，作爲這種旋轉保持機構，公知有吸引保持 台自身不旋轉的類型的機構。例如，以下日本國專利前案2 中記栽了 ：使吸引保持台所吸引保持的被檢測光學元件的 20周面從一方側與V字狀的定位元件抵接，並且從另一方側 與自轉的旋轉圓板抵接，由此通過該旋轉圓板而使被檢測 光學元件旋轉的結構的旋轉保持機構（以下，稱作“被檢 測體夾持型的旋轉保持機構” ）》 5 1338773 曰本國專利前案1 :特開2005- 55202號公報； 曰本國專利前案2 :特願2005- 167504號說明書。 但是，在使用上述的被檢測體夾持型的旋轉保持機構 來測定厚度相互不同的多個種類的被檢測光學元件的情況 5下，當被檢測光學元件的厚度改變時，需要進行吸引保持 台、V字狀的定位元件和旋轉圓板之間的軸方向的相對位 置調整《以往的被檢測體夾持型的旋轉保持機構中按照在 該相對的位置調整時使吸引保持台沿軸方向移動的方式構 成。 10 但是，在用於使吸引保持台沿軸方向移動的z軸移動 台#的機構中存在機械加工上的誤差，在這種情況下當位 置調整時，在吸引保持台的中心轴和測定用光學系統的光 軸之間産生微小的偏差，從而由於該偏差的存在而産生偏 心量的測定精度的下降之虞。另外，由於存在該偏差，也 15産生來自被檢測面的反射光不能返回到攝影面上的情況。 因此，以往的被檢測體夾持型的旋轉保持機構中，每 當吸引保持台沿光轴方向移動時，需要進行吸引保持台和 測疋用光學系統之間的轴對準的再調整，在這種調整上需 要大S的勞力和時間。 20 【發明内容】 本發明鑒於上述問題而提出的，其目的在於，提供一 種包括被檢測體夾持型的旋轉保持機構的被檢測光學元件 旋轉保持裝置，該被檢測體夾持型的旋轉保持機構可使被 6 1338773 檢測光學元件的厚度改變時的軸方向的位置調整，在於錯 誤偏心量的測定產生不良影響的狀態下易於進行。、曰 本發明的被檢測光學元件旋轉保持裝置，相對偏心量 測定裝置的光學系統將被檢測光學元件以圍繞著規定的轴 5可旋轉的方式保持，包括： 吸引保持台，將上述被檢測光學元件吸引保持在上述 光學系統的光軸上； 圓盤狀旋轉體，與上述吸引保持台所吸引保持的上述 被檢測光學元件的周面從一方側抵接，並且使該被檢測光 10學元件圍繞著所述軸旋轉； V字狀抵接體，與上述吸引保持台所吸引保持的所述 被檢測光學元件的周面按照夾持上述軸的方式從上述圓盤 狀旋轉體的相反側抵接，防止上述被檢測光學元件在旋轉 時的位置偏差； 15 第一軸方向位置調整元件，用來進行上述圓盤狀旋轉 體的上述轴方向的位置調整；和 第二軸方向位置調整元件，用來進行上述V字狀抵接 體的上述軸方向的位置調整。 本發明的被檢測光學元件旋轉保持裝置，其中優點包 2〇括有：加力元件’對上述圓盤狀旋轉體按照沿上述被檢測 光學元件的周面的方式施加力；和制動器，克服上述加力 元件的作用力將上述圓盤狀旋轉體保持在從所述被檢測光 學元件的周面離開的位置。 根據本發明的被檢測光學元件旋轉保持裝置，通過包 7 1338773 括用於進行圓盤狀旋轉體的軸方向的位置調整的第一軸方 向位置調整元件、和用於進行v字狀抵接體的軸方向的位 置調整的第一軸方向位置調_整元件，可得到如下的效果。 也就是’被檢測光學元件的厚度改變時的吸引保持 5台、圓盤狀旋轉體及V字狀抵接體之間的轴方向的相對位 置調整，可在吸引保持台的軸方向位置固定的狀態下，通 過使圓盤狀旋轉體及V字狀抵接體沿軸方向移動來進行。 因而，在進行上述相對的位置調整時，不存在有吸引 保持台的中心轴和測定用光學系統的光軸之間産生偏差之 10虞’能防止給偏心量的測定帶來不良影響。另外，與以往 技術不同’每當進行上述相對的位置調整時不需要進行吸 引保持台和測定用光學系統統之間的軸對準的再調整，即 使被檢測光學元件的厚度改變時，也能在短時間内容易進 行上述相對的位置調整。 15 【實施方式】 下面，參照附圖詳細地說明本發明的實施方式。圖1 是表示本發明的一實施方式的被檢測光學元件旋轉保持裝 置的整體結構的平面圖，圖2是其正面圖《另外，圖3是 20對圖1所示的旋轉保持部的結構剖開一部分後進行表示的 平面圖’圖4是沿圖3的A — A線的剖面圖。另外，圖5 是示意表示反射型的偏心量測定裝置的整體結構的圓。 首先’基於圖5概略地說明反射型的偏心量測定裝置 的構成。該偏心量測定裝置卜用於測定被檢測光學元件即 8 1338773 被檢測透鏡2的偏心量，包括對成爲被檢測面的上表面2A 及下表面2B照射光的光源1丨、使來自光源丨丨的光束通過 的分劃板12、測定用光學系統1〇，該測定用光學系統1〇 包括：將來自分劃板12的光以大致直角反射的分光器13 ; 5使所入射的光形成爲平行光束的準直透鏡14 ;和使平行光 束聚焦在規定位置（光聚焦點）p上的物鏡15。此外，在 進行測定時，將上述規定位置（光聚焦點）p按照與上述上 表面2A的球面中心C!及上述下表面2B的球面中心C2依 鲁次一致的方式進行調整。 1〇 另外’該偏心量測定裝置1包括：CCD攝影機16，捕 獲由上表面2A及下表面2B反射的經由準直透鏡14及分 光器13所入射的反射光，並且對分劃板12的分劃像進行 攝影；和解析運算部丨7，對該CCD攝影機16所獲得的圖 像資訊進行解析、運算《進一步包括：z轴移動台18，將 15上述測定用光學系統丨〇及上述CCD攝影機16以一體化方 式保持、且沿該測定用光學系統丨〇的光軸&的方向移動； • 和固定台載置固定該Z軸移動台18。 接著基於圖1〜圖4對本實施方式的被檢測光學元件 旋轉保持裝置進行說明。圖丨及圖2所示的被檢測光學元 20件旋轉保持裝置3,用於相對上述偏心測定裝置1的測定用 光學系統10將所述被檢測透鏡2以可圍繞著規定的軸旋轉 的方式保持，包括吸引保持台4、旋轉保持部5及定位保持 部6 〇 上述吸引保持台4將被檢測透鏡吸引保持在圖5所示 9 1338773 的測定用光學系統ίο的光軸心上，由基部41及透鏡載置 部42構成》另外，該吸引保持台4如圓2所示，包括：沿 著該吸引保持台4的中心軸Z2從透鏡載置部42的前端; 延伸至基部4i的内部的吸引孔43 ;與該吸引孔43連結的 5吸引室44;和與該吸引室44連結的空氣排出口 45，利用 與該空氣排出口 45連接的真空泵（圓未示）將吸引孔43 及吸引室44内的空氣抽出至外部，從而將載置在透鏡載置 部4 2的前端部的被檢測透鏡2以維持規定的姿勢的方式吸 # 引保持。 1〇 另一方面，如圖2所示，上述旋轉保持部5包括：與 吸引保持台4所吸引保持的被檢測透鏡2的周面從一方側 (圖中右側）抵接，並且使該被檢測透鏡2圍繞著上述令 心轴&旋轉的圓盤狀旋轉體51 ;保持該圓盤狀旋轉體51 的滑板52;將該滑板52以可沿圖中左右方向移動的方式保 15持的基板53和頂板54 ;和保持該基板53的基部55。 詳細而言，如圖4所示，上述圓盤狀旋轉體51由圓盤 • 狀的基部51a、安裝在該基部5U的外周面的橡膠等所構成 的Ο環51b、與基部51a及〇環51b 一起旋轉的轴部51c、 和將該軸部51c以可旋轉的方式支撐的轴受部51d構成， 20並且按照將〇環5lb的外周面與上述被檢測透鏡2 (參照 圖2)的周面抵接的方式構成。另外，該圓盤狀旋轉體， 通過操作者捏住上述軸部51c而使其旋轉或用手指使〇環 5 lb旋轉，從而以該軸部51 c的中心軸Z3爲中心自轉。 另外，在上述基板53上形成有構成上述滑板52的移 10 1338773 動空間的凹部53a、和用於對該基板53進行在該基板53 固定於上述基部55 (參照圖2)時的囷中左右方向的位置 調整的槽部53b。進一步，如圖3所示，在上述凹部53a 設置有沿圖中左右方向延伸的導向銷56,在該導向銷％ 5 上安裝有作爲加力元件的線圈彈簧57。 另外’如圖4所示，上述頂板54包括：與突設在上述 滑板52的圖中右端部上面的操作銷52a卡合的導向槽 54a;和與上述基板53上形成的上述槽部53b以大致同形 的方式形成的槽部54b，在上述基板53的上面由螺栓等固 10 定。 另外，如圖3所示，上述滑板52包括在圖中右下端部 上述導向銷5 6被插通的插通孔（圖未示），按照沿該導向 銷56可在圓中左右方向移動的方式構成。另外，該滑板52 通過借助上述線圈彈簧57的彈性的作用力沿圖中左方向被 15施加力’通過該作用力將上述圓盤狀旋轉體51的〇環51b 按壓在上述被檢測透鏡2(參照圖2)的周面。進一步，該 滑板52通過操作者捏住上述操作銷52a沿著上述導向槽 54a進行操作，而沿圖中左方向移動。 另外’如圖1及圖2所示，上述旋轉保持部5包括： 20克服上述線圈彈簧57的作用力而將上述圓盤狀旋轉體51 保持在從上述被檢測透鏡2的周面離開的位置上的制動器 58;和用於將上述基板53及頂板54固定在上述基部55的 固定螺釘59。 詳細而言，如圖3所示，上述制動器58由棒狀的插止 11 部58a、和將該插止部58a以沿前後方向（圖中上下方向） 可移動的方式保持的保持部58b構成，針對移動至上述導 向槽54a的圖中右端部爲止的上述操作鎖…，通過將插止 邛：8a突出來插止，從而將由上述滑板52保持的上述圓盤 5狀旋轉體51保持在通過克服上述線圈彈簧57的作用力而 從上述被檢測透鏡2的周面離開的位置上。 另外，如圖4所示，上述固定螺釘59由上述基板53 及上述頂板54的各槽部53b、5仆内所插通的螺釘部59a、 # ®定在該螺釘部他的上端部的按虔部59b、固定在該按麼 10部59b的上端部的操作部59c。該固定螺釘用於將相對上述 基部55 (參照圖2)進行了圖中左右方向的位置調整的上 述基板53及上述頂板54固定在上述基部55上，其前端部 被螺著於基部55所形成的螺釘孔（圖未示）。 另外，如圖2所示，上述旋轉保持部5經由作爲第一 U轴方向位置調整元件的2軸移動台7A設置在傾斜度調整台 8上’通過上述Z軸移動台7A可進行上述圓盤狀旋轉體51 φ 的/σ上下方向（吸引保持台4的中心軸Z2方向）的位置的 微調整3外，上述傾斜度調整纟8由兩個傾斜度調整架 台81、82和載置台83構成，通過對圖1所示的3個傾斜 2〇度調整螺釘84〜86進行操作而調整載置台83的傾斜度， 寿1J用該載置纟83射貝斜度調整，可進行相對上述測定用光 學系統10的光軸Zl (參照圖5)的上述吸引保持台4的中 心轴Z2的傾斜度的調整。 另外，如圖1及圖2所示，上述定位保持部6包括： 12 1338773 與上述吸引保持台4所保持的被檢測透鏡2的周面按照央 持上述中心軸I的方式從上述圓盤狀旋轉體51的相反側 ^接、並且防止上述被檢測透鏡2旋轉時的位置偏差的v 字狀抵接體61 ;保持該v字狀抵接體61的基板62 ;和保 5持該基板62的基部63。 如圖1所不，在上述基板62上形成有用於對該基板Μ 進行在s亥基板62固定在上述基部63上時的圖中左右方向 的位置調整的槽部62a’在該槽部62a上設置有用於將進行 _ 完相對上述基部63的位置調整的上述基板62固定於上述 10基。P 63上的固定螺釘64。該固定螺釘64與上述固定螺釘 59相同地構成，其前端部被螺著於上述基部63上形成的螺 釘孔（圖未示）。 另外，如圖2所示，上述定位保持部6經由χγ軸移 動台9及作爲第二軸方向位置調整元件的ζ軸移動台7B被 15設置在上述傾斜度調整台8上。利用上述ΧΥ軸移動台9 可進行上述V子狀抵接體61的沿前後及左右方向（與吸引 • 保持台4的中心軸Ζ?正交的兩個方向）的位置的微調整， 利用上述Ζ軸移動台7Β可進行上述V字狀抵接體61的沿 上下方向（吸引保持台4的中心軸Ζ2方向）的位置的微調 20 整。 以下’對被檢測光學元件旋轉保持裝置3的作用及調 整方法進行說明。首先，作爲初始設定，進行上述測定用 光學系統10的光軸Ζ〗（參照圖5)和上述吸引保持台4的 中心軸Z2 (參照圖2)之間的軸對準調整。使用上述傾斜 13 1338773 ^台8按照上述測定用光學系統1〇的光轴&的傾斜 '述吸引保持台4的中心軸22的傾斜度相互—致的方 式進行該軸對準調整。 s μ接著’將上述被檢測透鏡2载置在上述吸引保持台4 .透鏡載置部42的前端部，並將其吸引保持。 ^接著，由上述旋轉保持部5的圓盤狀旋轉體 51及上述 保持邛6的V子狀抵接體61來失持吸引保持台4所吸 引保持的被檢測透鏡2。此時，以圓盤狀旋轉體51及V字 狀抵接體61適當地與被檢測透鏡2的周面抵接的方式在 1〇旋轉保持部5及定位保持部6中分別進行位置調整。 ^右基於圖2說明該位置調整’則使用Ζ轴移動台7Α進 行上述旋轉保持部5十的圓盤狀旋轉體51的圖中上下方向 的位置調整’圖中左右方向的位置調整通過使基板53相對 旋轉保持部5的基部55移動而進行。在進行該左右方向的 !5位置調整時，考慮通過上述線圈彈簧57 (參照圖3)的作 用力將圓盤狀旋轉體51適當地按壓在被檢測透鏡2的周面 上。位置調整後的基板53由固定螺釘59被固定在基部55。 另一方面，使用Ζ軸移動台7Β進行定位保持部6中的 V字狀抵接體61的圖中上下方向的位置調整，使用χγ軸 20移動台9進行圖中左右及前後方向的位置調整。此外，通 過使基板62相對定位保持部6的基部63移動而進行¥字 狀抵接體61的圖令左右方向的大致的位置調整，位置調整 後的基板62由固定螺釘64固定在基部63上。 接著，通過使上述圓盤狀旋轉體51旋轉，而一邊使由 1338773 上述圓盤狀旋轉體51及上述v字狀抵接體61所夾持的被 檢測透鏡2以上述中心轴^爲中心旋轉，一邊進行偏心量 的測疋此外，圓盤狀旋轉體5 1按照操作者捏住上述軸部 51c (參照圖4)而使其旋轉的方式構成，但是也可以構成 爲由電動電機等的驅動力來使圓盤狀旋轉體51旋轉。另 外，爲了操作者可目視旋轉角度，在圓盤狀旋轉體51上設 置旋轉角度的刻度也可。
偏心量測定後，由圓盤狀旋轉體51及v字狀抵接體 61所保持的被檢測透鏡2的夾持被解除，並且基於吸引保 持台4的吸引被解除，被檢測透鏡2從吸引保持台1取出。 此外，在使圓盤狀旋轉體51從被檢測透鏡2離開時，只要 操作者使上述滑板52沿圖中右方向移動，將其由上述制動 器5 8插止即可。 由此’被檢測光學元件旋轉保持裝置3中，吸引保持 15台4不包括上下方向的位置調整機構，吸引保持台4所保 持的被檢測透鏡2和圓盤狀旋轉體51及v字狀抵接體61 15 1 之間的相對高度調整通過使用旋轉保持部5側的Z軸移動 台7A和定位保持部6側的z軸移動台7B來進行。因此在 保持厚度不同的其他被檢測透鏡（圖未示）時，即使在進 2〇行上述相對高度調整時，吸引保持台4的中心軸心的傾斜 度和位置不會發生變化。 從而，在進行上述相對的位置調整時，不存在在吸引 保持台的中心轴Zz和測定用光學系統1〇的光軸心之間産生 偏差之虞，能防止給偏心量的測定帶來不良影響。另外， 1338773 每當進行上述相對的位置調整時無需進行吸引保持台4和 測定用光學系統ίο之間的轴對準的再調整，因此即使被檢 測透鏡2的厚度改變時，也能在短時間内容易地進行上述相 對的位置調整。 5 上述貫施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所 主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限 於上述實施例。 【圖式簡單說明】 1〇 圖1是一實施方式的被檢測光學元件旋轉保持裝置的 平面圖。 圖2是一實施方式的被檢測光學元件旋轉保持裝 正面圖。 、 圖3是對圖1所示的旋轉保持部的結構剖開一部分後 15進行表示的平面圖。 圖4是沿圖3的A — A線的剖面圖。 圖5是反射型的偏心量測定裝置的概略構成圖。 【主要元件符號說明】 1偏心量測定裝置2 被檢測透鏡 2A上表面 2B下表面 4 吸引保持台 5旋轉保持部 ό定位保持部7Α、7Β、ΐ8ζ軸移 動台 1338773 11光源 14準直透鏡 17解析運算部
42透鏡載置部 45空氣排出口 51b Ο 環 52滑板 53a 凹部 54a導向槽
9 XY轴移動台 10 測定用光學系 統 12 分劃板 13 分光器 15 物鏡 16 CCD攝影機 19 固定台 41 基部（吸引保持 台的） 43 51 吸引孔 圓盤狀旋轉體 44 吸引室 51c 軸部 51d 軸受部 52a 操作銷 53 基板（旋轉保持 部的） 53b 、54b、62a 槽 54 部 頂板 55 基部（旋轉保 持部的） 56 導向銷 58 制動器 58a 插止部 59， ‘ 64固定螺釘 59a 螺釘部 59c 操作部 61 V字狀抵接體 57線圈彈黃 58b保持部 59b按壓部 ，_、π邱M /、疋徂保持部 基板 的）基部 81、82傾斜度調整84〜86傾斜度調 整螺釘 C1、C2球面中心 P 規定位置（光83載置台 聚焦點） Z1一（測定用光學系統的）中心輛 17 1338773
Z2—(吸引保持台的）中心軸 Z3 —(圓盤狀旋轉體轴部的）中心軸 3 —被檢測光學元件旋轉保持裝置 51a—(圓盤狀旋轉體的）基部 18