JP2005069697A - 顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法 - Google Patents
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Abstract
【目的】フェルールとプラグ部材との間に生じるガタの範囲内で、フェルールをその軸回りに、第１の回動向きおよびそれとは逆向きの第２の回動向きに、それぞれ回動端まで回動させた状態で得られた各測定データの平均をとることにより、フェルールとプラグ部材との相対的な位置ずれの影響を受けにくく、安定した測定結果を得ることができるようにする。
【解決手段】光コネクタプラグを設置後（Ｓ１）、フェルール、内筒および外筒との間に生じるガタの範囲内で、フェルールを時計回りの向きに回動端まで回動させ（Ｓ２）、フェルール先端面の傾斜方向の角度ずれを顕微干渉計装置により測定する。次に、フェルールを反時計回りの向きに回動端まで回動させ（Ｓ６）、同様に測定する。各測定の回数が所定の回数ｎに達した段階で、ｎ回の各測定データの平均をとり（Ｓ１０）、その平均値を測定値α０として決定する（Ｓ１１）。
【選択図】 図３
【解決手段】光コネクタプラグを設置後（Ｓ１）、フェルール、内筒および外筒との間に生じるガタの範囲内で、フェルールを時計回りの向きに回動端まで回動させ（Ｓ２）、フェルール先端面の傾斜方向の角度ずれを顕微干渉計装置により測定する。次に、フェルールを反時計回りの向きに回動端まで回動させ（Ｓ６）、同様に測定する。各測定の回数が所定の回数ｎに達した段階で、ｎ回の各測定データの平均をとり（Ｓ１０）、その平均値を測定値α０として決定する（Ｓ１１）。
【選択図】 図３
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微干渉計装置（「干渉顕微鏡装置」とも称される）を用いてフェルールの先端部の形状等を測定解析する、顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フェルールとは、光ファイバを接続するための光コネクタプラグにおいて、光ファイバの一端を保持固定する円筒状の部品である。フェルールは、その外径の中心部に光ファイバが挿入され接着剤等で固定された後、その先端を鏡面状に研磨されており、２つのフェルールの先端面を突き合わせることによって、それぞれに保持された２つの光ファイバを接続できるように構成されている。
【０００３】
このようなフェルールとしては、先端面がフェルールの軸に対して垂直となるように研磨された垂直研磨型のフェルールや、先端面における反射光の及ぼす悪影響を低減するために先端面がフェルールの軸に対して斜めとなるように研磨された斜め研磨型のフェルールが知られている。また、２つのフェルールを突き合わせる際の押圧力により先端面が弾性変形して、先端面同士の密着性を高め得るように構成されたＰＣ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｃｏｎｔａｃｔ）型のフェルールも知られている。
【０００４】
一般的な光コネクタプラグでは、フェルールは筒状のプラグ部材内に収納されている。また、斜め研磨型のフェルールを収納した光コネクタプラグにおいては、相手側の光コネクタプラグと接続される際の光損失を低減するため、双方のフェルールの先端面の（研磨）傾斜方向が互いに一致していることが必要となる。斜め研磨型のフェルールを収納した一般的な光コネクタプラグにおいては、相手側の光コネクタプラグとの接続の際に位置合せの基準となる方向（キー方向）を示すためのキー部やキー溝部などがプラグ部材に形成されており、斜め研磨型のフェルールは、その先端面の傾斜方向がキー方向に対して所定の角度をなし、かつ軸回りの回転が規制されるようにプラグ部材に係合された状態で、プラグ部材内に収納されている。
【０００５】
このような斜め研磨型のフェルールにおける、光コネクタプラグのキー方向と先端面の傾斜方向との基準値に対する角度ずれ、あるいは先端面の傾斜角度（斜め研磨角度）の基準値に対する角度ずれなどに関しては、高精度な個別規格が定められている。作製されたフェルールが、定められた規格に適合しているかどうかを検査するために、顕微干渉計装置が用いられることがある。顕微干渉計装置は、微小な被検体の表面形状や屈折率分布などの位相情報を担持した物体光と、所定の基準板から反射された参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察し、この干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の位相情報を得るように構成されている。
【０００６】
このような顕微干渉計装置を用いて、光コネクタプラグ内に収納されたフェルールの検査を行なう際には、光コネクタプラグを顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように保持する必要がある。この傾き姿勢は、垂直研磨型のフェルールについては、顕微干渉計装置の光軸とフェルールの軸とが略一致するような状態、また、斜め研磨型のフェルールについては、その先端面が顕微干渉計装置から射出される測定光束の光軸に対して略垂直となるような状態として設定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
斜め研磨型のフェルールにおいては、先端面の傾斜方向が重要な測定項目となっている。上述したように、この先端面の傾斜方向は、光コネクタプラグのキー方向を基準として設定されている。しかし、フェルールとプラグ部材との間には、厳密には作製公差による若干のガタがあり、このガタの範囲内でフェルールはプラグ部材に対して軸回りに回転し得るようになっている。このガタのために、フェルールとプラグ部材の相対的な位置関係が安定せず、フェルール先端面の傾斜方向の角度ずれや、頂点の位置ずれの測定結果にばらつきが生じる。
【０００８】
従来の測定方法では、このようなガタによってフェルールとプラグ部材の相対的な位置関係が安定せずにばらつきが生じることを考慮しておらず、このため、同一の製品に対する測定結果が測定毎に異なることがあるなど、測定結果にばらつきが生じ易く安定した測定結果が得られないという問題がある。
【０００９】
また、光コネクタプラグを顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように保持するためのクランプ装置も知られている。従来のクランプ装置は、クランプ装置の軸とフェルールの軸とが略一致する状態でフェルールをクランプし得るクランプ機構と、光コネクタプラグの軸回りの回転を規制する回転規制部とを備えている。この回転規制部は、通常、フェルールを保持するプラグ部材の先端部に形成されているキー溝等の係合部と係合するように構成されているが、クランプ装置側の回転規制部およびプラグ部材側の係合部の間には、厳密には作製公差により若干のガタがあり、フェルールがクランプされた時点においてフェルールは、このガタの範囲内で軸回りに回転し得る。このようなクランプ装置側の回転規制部とプラグ部材側の係合部との間に生じるガタのために、プラグ部材とクランプ装置との相対的な位置関係が安定せず、フェルール先端面の傾斜方向の角度ずれや、頂点の位置ずれの測定結果にばらつきが生じる。
【００１０】
従来の測定方法では、クランプ装置とプラグ部材との間に生じるガタによってプラグ部材とクランプ装置との相対的な位置関係が安定せずにばらつきが生じることについてもあまり考慮しておらず、このため、測定結果にばらつきが生じ易く安定した測定結果が得られないという問題がある。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、クランプ装置とプラグ部材との間に生じるガタや、フェルールとプラグ部材との間に生じるガタのために、フェルール、プラグ部材およびクランプ装置の相対的な位置関係がばらつくことの影響を受けにくく、安定した測定結果を得ることが可能な顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の第１の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法は、筒状のプラグ部材内にフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置し、前記顕微干渉計装置により前記フェルールの先端面を測定する方法において、
前記光コネクタプラグが前記顕微干渉計装置に対して設置された状態において、前記フェルールと前記プラグ部材との間に生じるガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記プラグ部材に対して相対的に第１の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第１の測定手順と、
前記ガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記プラグ部材に対して相対的に前記第１の回動向きとは逆向きの第２の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第２の測定手順とを、
少なくとも１回ずつ同回数行ない、各測定データの平均をとることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の第２の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法は、筒状のプラグ部材内にフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置されたクランプ装置に装着し、前記顕微干渉計装置により前記フェルールの先端面を測定する方法において、
前記光コネクタプラグが前記クランプ装置に装着された状態において、前記フェルール、前記プラグ部材、および前記クランプ装置の間に生じるガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに第１の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第１の測定手順と、
前記ガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記第１の回動向きとは逆向きの第２の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第２の測定手順とを、
少なくとも１回ずつ同回数行ない、各測定データの平均をとることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法の実施形態について図面を用いて説明する。まず、光コネクタプラグの構成について、図１および図２を参照しながら説明する。図１は光コネクタプラグの構成を概略的に示す分解斜視図、図２は図１の光コネクタプラグを構成する各部材の軸回りの相対的な位置関係を示す図である。
【００１５】
＜光コネクタプラグの構成＞
図１に示す光コネクタプラグ４００（以下、「プラグ４００」と略称することがある）は、筒状のプラグ部材４１０と該プラグ部材４１０内に収容されるフェルール４２０を備えてなる。上記プラグ部材４１０は、外筒４０２と該外筒４０２内に収容される内筒４０４（一部を破断して示す）とからなり、不図示の相手側プラグと不図示のスリーブを介して係合されるように構成されている。
【００１６】
上記フェルール４２０は、例えばジルコニアセラミックからなるフェルール本体４２１の外径中心に光ファイバ４３０の一端部を保持してなる斜め球面研磨型のフェルールである。すなわち、フェルール４２０の先端面４２２は、不図示の相手側フェルールの先端面と密着し易いように凸球面状に研磨されているとともに、フェルール４２０の軸（中心軸）Ｃに対して所定の傾斜角度および所定の傾斜方向で交わるように構成されている。なお、ＪＩＳによる傾斜角度θについては、フェルール４２０の軸Ｃ上で先端面４２２と接する平面と、この軸Ｃと直交する平面とのなす角度として規定され、先端面４２２の傾斜方向は、フェルール４２０の軸Ｃ上で先端面４２２と接する接平面と、この接平面に垂直でかつ軸Ｃを含む平面Ｈ（軸Ｃ方向より見た状態を、図２において１点鎖線で示す）との交線の延びる方向として規定される。なお、以下の説明では、上記外筒４０２および上記内筒４０４の各中心軸は、上記軸Ｃに一致しているものとする。
【００１７】
また、フェルール本体４２１の後端部には、鍔部４２３と円筒部４２４とからなるフェルール保持具４２５が取り付けられている。フェルール４２０は、上記円筒部４２４にバネ部材（コイルバネ）４２６が取り付けられた状態で、上記内筒４０４内に収容され、内筒４０４の後端部に取り付けられたバネ押え環４１１（図１では図示略、図９参照）により後方への脱抜が、プラグ部材４１０の内面周方向に沿って環状に形成されたストッパ部４１４により前方への抜脱がそれぞれ規制されている。また、上記バネ部材４２６の弾性によって、フェルール４２０は軸Ｃと平行な方向（図中Ｐ方向）前方に向けて定圧付勢されており、その先端面４２２が不図示の相手側フェルールの先端面に対し押圧されるように構成されている。
【００１８】
外筒４０２の先端上部および先端下部には、第１のキー溝部４１２および第２のキー溝部４１３がそれぞれ設けられている。また、外筒４０２の先端側面部には、凸状のキー部４１６が設けられている。これら第１、第２のキー溝部４１２，４１３およびキー部４１６は、プラグ４００が相手側プラグと係合される際の挿入ガイドと抜脱防止に利用されるものである。プラグ４００において、上記キー部４１６の中心軸Ｅと上記軸Ｃとを含む平面Ｌ（軸Ｃ方向より見た状態を、図２において１点鎖線で示す）と、上記平面Ｈとのなす角度をフェルールのキー角度と称する。一般に、フェルールのキー角度は、規格値との角度ずれの誤差の許容範囲が個別規格により厳しく規定されている。なお、プラグ４００では、上記フェルールのキー角度の規格値が９０度である場合を例にとっている。また、上記第１のキー溝部４１２の中心軸Ｄと軸Ｃとを含む平面（図示略）は、上記平面Ｌと直交するように設定されている。
【００１９】
また、フェルール４２０は、上記フェルール保持具４２５を介して上記内筒４０４に保持されており、内筒４０４に対する軸Ｃ回りの回転は、フェルール保持具４２５と内筒４０４とが互いに係合することにより規制されている。すなわち、フェルール保持具４２５の鍔部４２３には、軸Ｃを挟んで互いに対向する位置に、軸Ｃ方向に延びる各一対のキー溝部４２７，４２８が形成されており、内筒４０４の内面には、このうちの一対のキー溝部４２７と係合する一対のキー部４１５（図１では一方のみ示す）が形成されている。これら鍔部４２３側のキー溝部４２７と、内筒４０４側のキー部４１５とが係合することにより、フェルール４２０のプラグ部材４１０に対する軸Ｃ回りの回転が規制されるように構成されている。
【００２０】
また、上記外筒４０２および上記内筒４０４は、外筒４０２内に内筒４０４を収容する際の内筒４０４の向きを規制し得るとともに、外筒４０２内に収容された内筒４０４の軸Ｃ回りの回転を規制し得るような形状、大きさに形成されている。なお、外筒４０２および内筒４０４は、外筒４０２内に内筒４０４が収納された際に互いに係合し、外筒４０２内からの内筒４０４の抜脱を防止する係合部を備えているが、この係合部の図示は省略してある。
【００２１】
上述したように、フェルール４２０は内筒４０４に対して軸Ｃ回りの回転が規制され、内筒４０４は外筒４０２に対して軸Ｃ回りの回転が規制されているが、厳密には、これらの各部材間には、それぞれの作製公差により若干のガタが生じている。このため、顕微干渉計装置に対してプラグ４００を設置した状態において、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の軸Ｃ回りの相対的な位置関係は、一意的には定まらない。
【００２２】
図２は、顕微干渉計装置に対して設置されたプラグ４００（図２では符号省略）において、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の軸Ｃ回りの相対的な位置関係の１つの状態を例示している。この図２において、プラグ４００は不図示のクランプ装置によって、顕微干渉計装置に対して設置され、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂにより、プラグ４００の軸回りの回転が規制されている。また、図２では、上記平面Ｈ，Ｌの他に、以下の平面を図示している。すなわち、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂに設定された基準平面Ｘ，Ｙと、内筒４０４に対して設定された平面Ｍと、鍔部４２３に対して設定された平面ＮＸ，ＮＹとが図示されている。
【００２３】
上記基準平面Ｘ，Ｙは、以下に説明する実施形態方法において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向を測定する際の基準となるものであり、軸Ｃ上において互いに直交している。上記平面Ｍは、内筒４０４側のキー部４１５の中心軸（図示略）と軸Ｃとを含む平面であり、上記平面ＮＸは、鍔部４２３側のキー溝部４２７の中心軸（図示略）と軸Ｃとを含む平面である。また、上記平面ＮＹは、軸Ｃ上において上記平面ＮＸと直交している。
【００２４】
上記基準平面Ｘに対して、上記平面Ｌ，Ｍ，ＮＸが全て重なる状態のとき、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとは互いに重なり、上記傾斜方向の規格値からの角度ずれは、平面Ｈと平面ＮＹとのなす角度αと一致し、これは基準平面Ｙと平面Ｈとのなす角度として、顕微干渉計装置により測定することが可能となる。しかし、図２に示すように、プラグ４００の各構成部材間に生じるガタ、および回転規制部３３３Ｂとプラグ４００との間に生じるガタによって、基準平面Ｘ、平面Ｌ，Ｍ，ＮＸが互いにずれた状態のとき、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとは互いにずれた状態となるため、上記傾斜方向の規格値からの角度ずれは、基準平面Ｙと平面Ｈとのなす角度α＋φとして、顕微干渉計装置により測定されることとなる。
【００２５】
このように、ガタの存在によって、顕微干渉計装置により測定される上記傾斜方向の規格値からの角度ずれの測定値には、上記角度φ分の誤差が含まれる。このことが、従来の測定方法において安定した測定結果が得られない原因となっている。なお、上記角度α，φ、基準平面Ｘと平面Ｌとのなす角度β、平面Ｌと平面Ｍとのなす角度γ、および平面Ｍと平面ＮＸとがなす角度δは、全て有向角度とし、図中軸Ｃを中心とした反時計回りの向きを正、時計回りの向きを負とする。また、上記角度φは、上記角度β、γおよびδの和に一致する。
【００２６】
＜フェルールの測定方法（第１の実施形態）＞
以下、図３〜図５を用いて、本発明の第１の実施形態に係る顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法を説明する。図３は第１の実施形態方法の手順を示すフローチャート、図４はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図、図５はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図である。なお、図４，５中の符号は、図２に準じている。
【００２７】
まず、クランプ装置を用いてプラグ４００を顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置する（図３のＳ１）。なお、この第１の実施形態方法では、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂに設定された基準平面Ｘと、外筒４０２に対して設定された平面Ｌとが互いに一致し、以下の手順において、回転規制部３３３Ｂに対する外筒４０２の軸Ｃ回りの位置ずれは起きないことを前提とする。
【００２８】
次に、図４に示すように、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向き（図中時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ（図３のＳ２）、クランプ装置によって、フェルール４２０をクランプする（図３のＳ３）。この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図４において、角度α＋角度φ１に相等）を顕微干渉計装置により測定する（以上、第１の測定手順）。なお、図４に示す第１の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ１は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｍとのなす角度γ１と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ１との和に等しい。
【００２９】
次いで、クランプ装置によるフェルール４２０のクランプを解除し（図３のＳ５）、図５に示すように、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向き（図中反時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ（図３のＳ６）、クランプ装置によって、フェルール４２０をクランプする（図３のＳ７）。この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図５において、角度α＋角度φ２に相等）を顕微干渉計装置により測定する（以上、第２の測定手順）。なお、図５に示す第２の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ２は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｍとのなす角度γ２と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ２との和に等しい。
【００３０】
次に、上記第１の測定手順および上記第２の測定手順における各測定の回数が予め設定された所定の回数ｎ（１以上の整数）に達しているか否かを判定し（図３のＳ９）、達していなければ上記第１、第２の測定手順を繰り返す。所定の回数ｎに達していれば下式（１）によって、ｎ回の各測定データの平均をとり（図３のＳ１０）、その平均値を上記傾斜方向の角度ずれの測定値α０として決定する（図３のＳ１１）。
【００３１】
【数１】
なお、上式（１）において、（α＋φ１）ｋおよび（α＋φ２）ｋは、上記第１、第２の測定手順における各ｋ回目（ｋは１以上ｎ以下の整数）の測定値をそれぞれ示している。特に、上記第１の測定手順における角度φ１と上記第２の測定手順における角度φ２とが、互いに逆向きで大きさが略等しい場合、上記測定値α０は上記角度αに略等しくなる。
【００３２】
上述した第１の実施形態方法によれば、フェルール４２０をプラグ部材４１０（外筒４０２、内筒４０４）に対して相対的に時計回りおよび反時計回りに回転させて、回転ごとにフェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれを測定し、最終的にそれらの各測定データの平均をとるので、フェルール４２０とプラグ部材４１０との間のガタによるこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００３３】
＜フェルールの測定方法（第２の実施形態）＞
以下、図６および図７を用いて、本発明の第２の実施形態に係る顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法を説明する。図６はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図、図７はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図である。なお、図６，７中の符号は、図２に準じている。
【００３４】
上記第１の実施形態方法では、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂに設定された基準平面Ｘと、外筒４０２に対して設定された平面Ｌとが互いに一致し、回転規制部３３３Ｂに対する外筒４０２の軸Ｃ回りの位置ずれは起きないことを前提としていたのに対し、この第２の実施形態方法では、回転規制部３３３Ｂに対する外筒４０２の軸Ｃ回りの位置ずれが生じる場合に対応している。なお、実施手順の概要は、図３に示すフローチャートの流れと同じである。第１の実施形態方法と異なるのは、以下の点である。
【００３５】
すなわち、この第２の実施形態方法では、第１の測定手順において、図６に示すように、フェルール４２０、内筒４０４、外筒４０２および回転規制部３３３Ｂの間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向き（図中時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ、この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図６において、角度α＋角度φ１に相等）を顕微干渉計装置により測定する。このとき図６に示す第１の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ１は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｌとのなす角度β１と、平面Ｌと上記平面Ｍとのなす角度γ１と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ１との和に等しくなる。
【００３６】
また、第２の測定手順において、図７に示すように、フェルール４２０、内筒４０４、外筒４０２および回転規制部３３３Ｂとの間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向き（図中反時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ、この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図７において、角度α＋角度φ２に相等）を顕微干渉計装置により測定する。このとき図７に示す第２の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ２は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｌとのなす角度β２と、平面Ｌと上記平面Ｍとのなす角度γ２と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ２との和に等しくなる。
【００３７】
なお、上記第１の測定手順および上記第２の測定手順における各測定の回数が予め設定された所定の回数ｎに達した段階で、上式（１）によって、ｎ回の各測定データの平均をとり、その平均値を上記傾斜方向の角度ずれの測定値α０として決定する点は、上記第１の実施形態方法と同様である。
【００３８】
この第２の実施形態方法によれば、フェルール４２０をプラグ部材４１０（外筒４０２、内筒４０４）および回転規制部３３３Ｂに対して相対的に時計回りおよび反時計回りに回転させて、回転ごとにフェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれを測定し、最終的にそれらの各測定データの平均をとるので、フェルール４２０とプラグ部材４１０および回転規制部３３３Ｂとの間のガタによるこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００３９】
また、上記第１および第２の実施形態方法では、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれを測定する場合を例にとっているが、同じ測定手順により、フェルール４２０の先端面４２２の球面偏心量についても、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００４０】
＜顕微干渉計装置＞
以下、本発明方法を実施する際に用いる顕微干渉計装置の全体的な構成について、図８を参照しながら説明する。図８は顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
【００４１】
図８に示す顕微干渉計装置１は、底板２、前板３（一部破断して図示）、後板４、隔壁板５およびカバーケース６（一部破断して図示）からなる本体筐体内に、電源部７、コントロールボックス８および干渉計本体部１０を備えている。
【００４２】
この干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２、ハーフミラー・光源ユニット１３、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６を備えている。これらのうち、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６は、隔壁板５に固定された固定台１７に取り付けられており、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２およびハーフミラー・光源ユニット１３は、フォーカス台１８（一部破断して図示）に取り付けられている。
【００４３】
このフォーカス台１８は、前板３と固定台１７との間において前後方向（図中の矢印ＦおよびＢ方向）に互いに平行な状態で延設された上下２本のガイド軸１９Ａ，１９Ｂ（一部破断して図示）に、前後方向にスライド移動可能に支持されている。また、上記固定台１７と上記フォーカス台１８との間には、コイルバネ９が配されており、上記フォーカス台１８は、このコイルバネ９の弾性により前方（図中の矢印Ｆ方向）に向けて付勢されている。
【００４４】
また、上記前板３には、上記フォーカス台１８を移動させて干渉計本体部１０のフォーカス調整を行なうためのフォーカス調整ネジ２０が設けられている。このフォーカス調整ネジ２０は、前板３に形成された不図示のネジ孔に、自身の軸回りの回転により前後方向に移動可能に螺合するネジ軸部２１と、このネジ軸部２１を回転させるためのツマミ部２２とを備えてなる。このネジ軸部２１の先端面はフォーカス台１８の前面部に設けられた半球状の凸部１８ａに当接している。このためフォーカス調整ネジ２０は、ツマミ部２２を回転させてネジ軸部２１の前板３からの突出長を変えることにより、フォーカス台１８をガイド軸１９Ａ，１９Ｂに沿って前後方向に移動させることが可能となっており、これによりフォーカス調整を行なえるようになっている。
【００４５】
上述したような構成を有する干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１の前方の所定位置に保持された微小な被検体（不図示）に、不図示の光源からの光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させ、その干渉光を結像レンズユニット１４を通した後、不図示のＣＣＤ上に干渉縞を結像させる。そして、得られた干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の三次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。なお、干渉計本体部１０としては、ミロー型やマイケルソン型、リニーク型など種々のタイプのものを用いることが可能である。
【００４６】
また、上記前板３には、傾斜調整装置１００が配されている。この傾斜調整装置１００は、前板３に固定されたＬ字状の第１の基部材１１０と、この第１の基部材１１０と同様のＬ字状をなし、第１の基部材１１０に対向配置された第２の基部材１２０とを備えている。第２の基部材１２０は、支点部１３０を中心に第１の基部材１１０に対して傾動可能に支持されており、第１の傾斜調整ネジ１４０および第２の傾斜調整ネジ１５０により、支点部１３０から略鉛直方向に延びる軸線周りと、支点部１３０から略水平方向に延びる軸線周りとにそれぞれ傾動して、第１の基部材１１０に対する傾きを２軸調整できるようになっている。
【００４７】
この傾斜調整装置１００の第２の基部材１２０には、クランプ保持具２００が取り付けられている。クランプ保持具２００は、前段部２１０と後段部２２０とそれらを繋ぐ連結部２３０とを有してなり、その前段部２１０を３個の取付ネジ２４０により上記第２の基部材１２０に固定されている。クランプ保持具２００の後段部２２０は、対物レンズユニット１１の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部２２１が形成されており、この保持用凹部２２１内に、本発明の一実施形態に係るクランプ装置３００を保持している。なお、この他に前板３には、顕微干渉計装置１の電源をオンオフする電源スイッチ３０が設けられている。
【００４８】
＜フェルールのクランプ装置＞
次に、本発明方法で用いるフェルールのクランプ装置について、図９〜図１２を用いて説明する。図９はクランプ装置の断面図、図１０はその正面図、図１１はその正面側からの斜視図、図１２はその裏面側からの斜視図である。なお、図９に示す光コネクタプラグ４００は、基本的に図１に示すものと同じであるが、図９においては図１に示す外筒４０２および内筒４０４が互いに一体化しているように図示している。
【００４９】
図９および図１０に示すようにクランプ装置３００は、円形の板状部材からなる基部３１０、この基部３１０の正面側周縁部に該基部３１０と一体に形成された略円環状の縁部３２０、および変位調整部３４０からなるクランプ体３０５と、上記基部３１０の正面にネジ３３１（図１０、図１１参照）を介して取り付けられた円板状の回転規制体３３０とを備えてなる。
【００５０】
図１０に示すようにクランプ体３０５の縁部３２０には、３個のネジ孔３２１と溝部３２２とを備えている。ネジ孔３２１は、クランプ装置３００を上記クランプ保持具２００（図８参照）に取り付けるためのネジ用のものであり、溝部３２２は、クランプ保持具２００に設けられたピン（不図示）と係合して、クランプ装置３００のクランプ保持具２００に対する位置合わせを高精度に行なえるように設けられている。
【００５１】
図９に示すように上記基部３１０は、該基部３１０の一側面側（図中上部）から他側面側（図中下部）へ向かって延びる切欠部３５０を有し、該切欠部３５０によって、該切欠部３５０を挟んで互いに対向する２つの部分、すなわち、該基部３１０の正面側（フェルール４２０の挿通方向後側）に位置する支持部３６０と、該基部３１０の裏面側（フェルール４２０の挿通方向前側）に位置する変位部３７０とに、部分的に分割されている。
【００５２】
上記支持部３６０は、基部３１０の正面中央部においてクランプ装置３００の軸Ａ方向に突出する円筒状のクランプ口３６１と、このクランプ口３６１の内面を構成するとともに、基部３１０の中央部を軸Ａ方向に延びるように形成された固定のフェルール挿通孔３６２とを備えている。このフェルール挿通孔３６２は、上記フェルール４２０の外径と略同寸法の内径を有しており、上記支持部３６０は、上記クランプ口３６１から挿通されたフェルール４２０を、その軸Ｃとクランプ装置３００の軸Ａとが互いに重なるように支持し得るように構成されている。
【００５３】
上記変位部３７０には、上記基部３１０の一側面側から上記軸Ａを越えて延びる上記切欠部３５０の先端部に形成された空洞部３５１によって、軸Ａと略直角な向きに所定距離離れた位置に薄肉部３７３が形成されており、変位部３７０は、この薄肉部３７３の形成位置を支点として、軸Ａ方向（フェルール４２０の挿通方向）に変位可能に形成されている。また、変位部３７０は、上記フェルール挿通孔３６２内にフェルール４２０が挿通された際、該フェルール挿通孔３６２の挿通方向前側の端部から突出する、フェルール４２０の先端部分（図９に仮想線で示す）を、上記変位に伴い、フェルール４２０の挿通方向と略直角な方向に押圧して、フェルール挿通孔３６２内に挿通されたフェルール４２０を保持する押圧部位３７１を有している。
【００５４】
上記変位調整部３４０は、上記変位部３７０の変位を調整するものであり、図９に示すように、変位部３７０の先端部に上記軸Ａ方向に延びるように形成されたネジ孔３４１と、上記支持部３６０の該ネジ孔３４１と対向する部分に、軸Ａ方向に延びるように形成されたネジ挿入孔３４２と、該ネジ挿入孔３４２からネジ孔３４１に向けて差し込まれた調整ネジ３４３とを備えている。
【００５５】
この調整ネジ３４３は、上記ネジ孔３４１と螺合するネジ部３４３ａと、該調整ネジ３４３を操作するためのレバー部材３４４が取り付けられるネジ基部３４３ｂとを備えてなる。また、調整ネジ３４３は、図９に示すように、回転規制体３３０を介して基部３１０に取り付けられており（回転規制体３３０には、調整ネジ３４３用のネジ挿通孔３３２が形成されている）、上記ネジ挿入孔３４２内には、変位部３７０を外方に向け付勢する圧縮コイルバネ３４５が設けられている。調整ネジ３４３は、圧縮コイルバネ３４５により外方に向け付勢された変位部３７０のネジ孔３４１に、そのネジ部３４３ａが螺合され、該調整ネジ３４３を回転することにより、変位部３７０の変位を調整できるようになっている。
【００５６】
レバー部材３４４は、ネジ基部３４３ｂに形成されたピン挿通孔３４３ｃ内に挿通されるピン部３４４ａを有し、該ピン部３４４ａをピン挿通孔３４３ｃ内に挿通された後、ネジ基部３４３ｂの頂部に形成されたネジ孔３４３ｄに螺合するネジ３４６によって、ネジ基部３４３ｂに固定されている。このレバー部材３４４は、上記調整ネジ３４３を回転させ上記変位部３７０の変位を調整する際に、操作される。
【００５７】
図１０に示すように、上記縁部３２０には、上記レバー部材３４４の回動範囲を規制するためのストッパ部材３８０Ａ，３８０Ｂが設けられている。ストッパ部材３８０Ａは、レバー部材３４４の図中時計方向への回動を規制するためのものであり、ストッパ部材３８０Ｂは、レバー部材３４４の図中反時計方向への回動を規制するためのものである。レバー部材３４４は、これら２つのストッパ部材３８０Ａ，３８０Ｂの間を回動する（本実施形態では回動角度範囲９０度）ようになっており、レバー部材３４４がストッパ部材３８０Ａに当接する位置が、フェルール４２０を保持するクランプ位置であり、レバー部材３４４がストッパ部材３８０Ｂに当接する位置が、フェルール４２０の保持を解除するクランプ解除位置となっている。また、図９に示すように、ストッパ部材３８０Ａ，３８０Ｂ（図９ではストッパ部材３８０Ａのみ図示）は、上記縁部３２０に形成されたネジ孔３２３と螺合するネジ部３８１を有し、該ネジ部３８１がネジ孔３２３に螺合されることによって、縁部３２０に固定されている。
【００５８】
また、図１０に示すように、上記基部３１０の正面には、クランプ体側位置合せ基準としての円柱状の２つの係合ピン３９０，３９１が、クランプ装置３００の軸Ａを挟んで互いに対向する２位置において、それぞれ軸Ａ方向に延びるように設けられている。なお、軸Ａから２つの係合ピン３９０，３９１各々までの距離は、後述する回転規制部３３３の係合凸部３３６および押圧部３３７から軸Ａまでの距離よりも長く設定されている。
【００５９】
一方、回転規制体３３０には、回転規制体側位置合わせ基準としての２つの係合孔３３４，３３５が設けられている。係合孔３３４は丸孔状で、その内径が上記係合ピン３９０の外径と略同寸法に形成されている。一方、上記係合孔３３５は上記軸Ａの径方向に延びた長孔状で、その短径（上記軸Ａの周方向の長さ）が上記係合ピン３９１の外径と略同寸法に、その長径（上記軸Ａの径方向の長さ）は上記係合ピン３９１の外径よりも若干大きく形成されている。回転規制体３３０は、クランプ体３０５に取り付けられる際、上記係合ピン３９０，３９１に対して、上記係合孔３３４，３３５がそれぞれ位置合せされて係合されることにより、クランプ体３０５に対して高精度に位置決めされるように構成されている。
【００６０】
さらに、回転規制体３３０の中央部には、クランプ装置３００に保持されたプラグ部材４１０の回転を規制するための回転規制部３３３が形成されている。この回転規制部３３３の全体的な形状は、プラグ部材４１０の作製公差を許容し得る程度に、プラグ部材４１０の外形断面形状よりも若干大きく形成されている。このため、プラグ部材４１０のみを回転規制部３３３に装着した状態においては、プラグ部材４１０との間には公差内の微小なガタが生じることとなる。このガタを抑えるため、回転規制部３３３は、フェルール４２０がフェルール挿通孔３６２内に挿通される際に、上記プラグ部材４１０（図９参照）の第２のキー溝部４１３を、上記Ｐ方向と直交するＱ方向上方に向けて押圧し、フェルール４２０に対してプラグ部材４１０を、上記Ｐ方向およびＱ方向を含む面内で傾動させる押圧部３３７を備えている。
【００６１】
詳しくは、クランプ装置３００の軸Ａから押圧部３３７までの距離は、フェルール４２０の軸Ｃから第２のキー溝部４１３までの距離よりも短くなるように設定されており、また、押圧部３３７のプラグ４００と対向する側の角部は、プラグ４００に向けて下り傾斜面となるように形成されている。これにより、押圧部３３７は、フェルール４２０がフェルール挿通孔３６２内に挿通される際に、プラグ部材４１０の第２のキー溝部４１３と摺接しながらこれを上方に向けて押圧し、フェルール４２０に対してプラグ部材４１０を紙面に沿って傾動させるようになっている。なお、さらに詳しくは、図１０において、押圧部３３７の左右方向両端部分は、左右方向中央部分よりも少し上方に突出するように形成されており、押圧部３３７が第２のキー溝部４１３を押圧する力によって、プラグ部材４１０に軸Ａ回りのモーメントが生じるようになっている。
【００６２】
また、回転規制部３３３において、フェルール挿通孔３６２を挟んで押圧部３３７の反対側の位置には、係合凸部３３６が設けられている。このクランプ装置３００では、押圧部３３７がプラグ部材４１０を押圧する力と、プラグ部材４１０の傾動によって上記バネ部材４２６が反発する力と、クランプ挿通孔３６２がフェルール４２０を支持する力との釣合いにより、プラグ４００をクランプ装置３００に対して位置決めするようになっている。係合凸部３３６は、通常はプラグ４００側とは係合せず、プラグ４００に何らかの強い力が作用してプラグ４００が大きく変位した場合に、第１のキー溝部４１２と係合して、プラグ４００のそれ以上の変位を防止するストッパとしての機能を有するように構成されている。
【００６３】
また、図１２に示すように、クランプ装置３００の上記基部３１０の裏面には、各種の孔部が形成されている。孔部３１１は、上記回転規制部３３３を基部３１０に固定する上記ネジ３３１が挿通される貫通孔であり、孔部３１２は、回転規制体３３０を位置決めするための上記係合ピン３９０，３９１が挿通される貫通孔である。どちらの孔部３１１，３１２も加工の都合上、基部３１０の正面側から裏面側まで貫通しているが、これらに挿通される上記ネジ３３１および係合ピン３９０の先端部は、上記切欠部３５０の手前の位置までしか達していない。
【００６４】
また、基部３１０の裏面中央部には、フェルール４２０の先端部を観察するための観察孔３７２が形成されている。この観察孔３７２は、図９に示すように、上記軸Ａ上に位置するように設けられ、また、上記フェルール挿通孔３６２よりも一回り大きい大きさに形成されている。
【００６５】
次に、他の形態のクランプ装置について、図１３を用いて説明する。図１３は他の形態のクランプ装置の正面図である。なお、図１３に示すクランプ装置３００Ａにおいて、上記クランプ装置３００と共通する部分については、図９〜図１２中で用いた符号を図１３においても用いることとし、その詳細な説明は省略する。
【００６６】
図１３に示すクランプ装置３００Ａは、回転規制体３３０Ａが以下のように構成されている点において、上記クランプ装置３００とは異なっている。すなわち、この回転規制体３３０Ａは、図１３に示すように回転規制部３３３において、フェルール挿通孔３６２を挟んで押圧部３３７と反対側の位置に、略Ｌ字状に形成された溝部３３８が形成され、この溝部内に溝部３３８に沿って延びる略Ｌ字状の弾性変位部３３９を備えている。この弾性変位部３３９は、回転規制体３３０Ａと一体に形成されており、その先端部３３９ａを図中上方に向けて押圧すると、図中水平方向に延びた腕部３３９ｂが上方に撓むように弾性変形するようになっている。この溝部３３８および弾性変位部３３９以外の構成は、上記クランプ装置３００と同様である。
【００６７】
このクランプ装置３００Ａでは、クランプ装置３００Ａ側の押圧部３３７がプラグ部材４１０側の第２のキー溝部４１３を押圧する力と、プラグ部材４１０の傾動によって弾性変形する弾性変位部３３９が反発する力と、プラグ部材４１０とフェルール４２０との間に相互に作用する力と、クランプ挿通孔３６２がフェルール４２０を支持する力とが釣合うように構成されている。これらの力が釣合うことにより、プラグ部材４１０とクランプ装置３００Ａとの間のガタが抑えられて、これらの間の軸回り方向の位置決めがなされ、また、プラグ部材４１０とフェルール４２０との間のガタが抑えられ、これらの間の軸回り方向の位置決めがなされる。
【００６８】
このようなクランプ装置３００，３００Ａを用いることにより、プラグ４００とクランプ装置３００，３００Ａとの間のガタを抑制することが可能となるので、本発明方法を実施する場合において、フェルール４２０の軸Ｃ回りの回動範囲を狭くすることができるなどの利点がある。なお、本発明方法は、光コネクタプラグとクランプ装置側の回転規制部との間にガタが生じる従来のクランプ装置を用いた場合でも、安定した測定結果が得られることは勿論である。
【００６９】
また、上記実施形態においては、測定対象のフェルールが斜め球面研磨型のフェルールとされているが、これらのフェルールとしては、斜め平面研磨型のフェルールや、垂直研磨型（先端面は平面でも球面でもよい）のフェルールでもよい。
【００７０】
さらに、上記実施形態においては、フェルールがジルコニアセラミック製であるが、フェルールがステンレス製やプラスチック製等の他の材料で形成されたものであってもよい。また、フェルールがその軸心部に保持する光ファイバに関しては、シングルモードタイプ、マルチモードタイプ等の種々のタイプのものを用いることができる。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の第１の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法によれば、フェルールとプラグ部材との間に生じるガタの範囲内で、フェルールをその軸回りに、第１の回動向きおよびそれとは逆向きの第２の回動向きに、それぞれ回動端まで回動させた状態でフェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定し、各測定データの平均をとるので、フェルールとプラグ部材との間に生じるガタを原因とするこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００７２】
また、本発明の第２の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法によれば、フェルール、プラグ部材およびクランプ装置の間に生じるガタの範囲内で、フェルールをその軸回りに、第１の回動向きおよびそれとは逆向きの第２の回動向きに、それぞれ回動端まで回動させた状態でフェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定し、各測定データの平均をとるので、フェルール、プラグ部材および顕微干渉計装置との間に生じるガタを原因とするこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光コネクタプラグの構成を概略的に示す分解斜視図
【図２】光コネクタプラグを構成する各部材の軸回りの相対的な位置関係を示す図
【図３】第１の実施形態方法の手順を示すフローチャート
【図４】フェルールを軸回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第１の実施形態）
【図５】フェルールを軸回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第１の実施形態）
【図６】フェルールを軸回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第２の実施形態）
【図７】フェルールを軸回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第２の実施形態）
【図８】顕微干渉計装置の構成を示す斜視図
【図９】クランプ装置の構成を示す断面図
【図１０】図９に示すクランプ装置の正面図
【図１１】図９に示すクランプ装置の外観斜視図（正面側）
【図１２】図９に示すクランプ装置の外観斜視図（裏面側）
【図１３】他の形態のクランプ装置の構成を示す正面図
【符号の説明】
１ 顕微干渉計装置
２ 底板
３ 前板
４ 後板
５ 隔壁板
６ カバーケース
７ 電源部
８ コントロールボックス
９ コイルバネ
１０ 干渉計本体部
１１ 対物レンズユニット
１２ ピエゾユニット
１３ ハーフミラー・光源ユニット
１４ 結像レンズユニット
１５ ミラーボックス
１６ ＣＣＤカメラユニット
１７ 固定台
１８ フォーカス台
１８ａ 凸部
１９Ａ，１９Ｂ ガイド軸
２０ フォーカス調整ネジ
２１ ネジ軸部
２２ ツマミ部
３０ 電源スイッチ
１００ 傾斜調整装置
１１０ 第１の基部材
１２０ 第２の基部材
１３０ 支点部
１４０ 第１の傾斜調整ネジ
１５０ 第２の傾斜調整ネジ
２００ クランプ保持具
２１０ 前段部
２２０ 後段部
２２１ 保持用凹部
２３０ 連結部
２４０ 取付ネジ
３００，３００Ａ クランプ装置
３０５ クランプ体
３１０ 基部
３１１，３１２ 孔部
３２０ 縁部
３２１ ネジ孔
３２２ 溝部
３２３ ネジ孔
３３０，３３０Ａ 回転規制体
３３１ ネジ
３３２ ネジ挿通孔
３３３，３３３Ｂ 回転規制部
３３４，３３５ 係合孔
３３６ 係合凸部
３３７ 押圧部
３３８ 溝部
３３９ 弾性変位部
３３９ａ 先端部
３３９ｂ 腕部
３４０ 変位調整部
３４１ ネジ孔
３４２ ネジ挿入孔
３４３ 調整ネジ
３４３ａ ネジ部
３４３ｂ ネジ基部
３４３ｃ ピン挿通孔
３４３ｄ ネジ孔
３４４ レバー部材
３４４ａ ピン部
３４５ 圧縮コイルバネ
３４６ ネジ
３５０ 切欠部
３５１ 空洞部
３６０ 支持部
３６１ クランプ口
３６２ フェルール挿通孔
３７０ 変位部
３７１ 押圧部位
３７２ 観察孔
３７３ 薄肉部
３８０Ａ，３８０Ｂ ストッパ部材
３８１ ネジ部
３９０，３９１ 係合ピン
４００ 光コネクタプラグ（プラグ）
４０２ 外筒
４０４ 内筒
４１０ プラグ部材
４１１ バネ押え環
４１２ 第１のキー溝部
４１３ 第２のキー溝部
４１４ ストッパ部
４１５ キー部（内筒）
４１６ キー部（外筒）
４２０ フェルール
４２１ フェルール本体
４２２ フェルールの先端面
４２３ 鍔部
４２４ 円筒部
４２５ フェルール保持具
４２６ バネ部材
４２７，４２８ キー溝部
４３０ 光ファイバ
Ａ クランプ装置の軸
Ｃ フェルールの軸
Ｄ 第１のキー溝部の中心軸
Ｅ 外筒のキー部の中心軸
Ｆ，Ｂ，Ｐ，Ｑ 方向を示す矢線
θ フェルールの先端面の傾斜角度
Ｘ，Ｙ フェルール先端面の傾斜方向を測定する際の基準平面
Ｈ フェルール先端面の軸上での接平面に垂直でかつ軸を含む平面
Ｌ 外筒のキー部の中心軸Ｅとフェルールの軸とを含む平面
Ｍ 内筒のキー部の中心軸とフェルールの軸とを含む平面
ＮＸ 鍔部のキー溝部の中心軸とフェルールの軸とを含む平面
ＮＹ フェルールの軸上において平面ＮＸと直交する平面
α 平面Ｈと平面ＮＹとのなす角度
β，β１，β２ 基準平面Ｘと平面Ｌとのなす角度
γ，γ１，γ２ 平面Ｌと平面Ｍとのなす角度
δ，δ１，δ２ 平面Ｍと平面ＮＸとのなす角度
φ，φ１，φ２ 基準平面Ｙと平面ＮＹとのなす角度
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微干渉計装置（「干渉顕微鏡装置」とも称される）を用いてフェルールの先端部の形状等を測定解析する、顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フェルールとは、光ファイバを接続するための光コネクタプラグにおいて、光ファイバの一端を保持固定する円筒状の部品である。フェルールは、その外径の中心部に光ファイバが挿入され接着剤等で固定された後、その先端を鏡面状に研磨されており、２つのフェルールの先端面を突き合わせることによって、それぞれに保持された２つの光ファイバを接続できるように構成されている。
【０００３】
このようなフェルールとしては、先端面がフェルールの軸に対して垂直となるように研磨された垂直研磨型のフェルールや、先端面における反射光の及ぼす悪影響を低減するために先端面がフェルールの軸に対して斜めとなるように研磨された斜め研磨型のフェルールが知られている。また、２つのフェルールを突き合わせる際の押圧力により先端面が弾性変形して、先端面同士の密着性を高め得るように構成されたＰＣ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｃｏｎｔａｃｔ）型のフェルールも知られている。
【０００４】
一般的な光コネクタプラグでは、フェルールは筒状のプラグ部材内に収納されている。また、斜め研磨型のフェルールを収納した光コネクタプラグにおいては、相手側の光コネクタプラグと接続される際の光損失を低減するため、双方のフェルールの先端面の（研磨）傾斜方向が互いに一致していることが必要となる。斜め研磨型のフェルールを収納した一般的な光コネクタプラグにおいては、相手側の光コネクタプラグとの接続の際に位置合せの基準となる方向（キー方向）を示すためのキー部やキー溝部などがプラグ部材に形成されており、斜め研磨型のフェルールは、その先端面の傾斜方向がキー方向に対して所定の角度をなし、かつ軸回りの回転が規制されるようにプラグ部材に係合された状態で、プラグ部材内に収納されている。
【０００５】
このような斜め研磨型のフェルールにおける、光コネクタプラグのキー方向と先端面の傾斜方向との基準値に対する角度ずれ、あるいは先端面の傾斜角度（斜め研磨角度）の基準値に対する角度ずれなどに関しては、高精度な個別規格が定められている。作製されたフェルールが、定められた規格に適合しているかどうかを検査するために、顕微干渉計装置が用いられることがある。顕微干渉計装置は、微小な被検体の表面形状や屈折率分布などの位相情報を担持した物体光と、所定の基準板から反射された参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察し、この干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の位相情報を得るように構成されている。
【０００６】
このような顕微干渉計装置を用いて、光コネクタプラグ内に収納されたフェルールの検査を行なう際には、光コネクタプラグを顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように保持する必要がある。この傾き姿勢は、垂直研磨型のフェルールについては、顕微干渉計装置の光軸とフェルールの軸とが略一致するような状態、また、斜め研磨型のフェルールについては、その先端面が顕微干渉計装置から射出される測定光束の光軸に対して略垂直となるような状態として設定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
斜め研磨型のフェルールにおいては、先端面の傾斜方向が重要な測定項目となっている。上述したように、この先端面の傾斜方向は、光コネクタプラグのキー方向を基準として設定されている。しかし、フェルールとプラグ部材との間には、厳密には作製公差による若干のガタがあり、このガタの範囲内でフェルールはプラグ部材に対して軸回りに回転し得るようになっている。このガタのために、フェルールとプラグ部材の相対的な位置関係が安定せず、フェルール先端面の傾斜方向の角度ずれや、頂点の位置ずれの測定結果にばらつきが生じる。
【０００８】
従来の測定方法では、このようなガタによってフェルールとプラグ部材の相対的な位置関係が安定せずにばらつきが生じることを考慮しておらず、このため、同一の製品に対する測定結果が測定毎に異なることがあるなど、測定結果にばらつきが生じ易く安定した測定結果が得られないという問題がある。
【０００９】
また、光コネクタプラグを顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように保持するためのクランプ装置も知られている。従来のクランプ装置は、クランプ装置の軸とフェルールの軸とが略一致する状態でフェルールをクランプし得るクランプ機構と、光コネクタプラグの軸回りの回転を規制する回転規制部とを備えている。この回転規制部は、通常、フェルールを保持するプラグ部材の先端部に形成されているキー溝等の係合部と係合するように構成されているが、クランプ装置側の回転規制部およびプラグ部材側の係合部の間には、厳密には作製公差により若干のガタがあり、フェルールがクランプされた時点においてフェルールは、このガタの範囲内で軸回りに回転し得る。このようなクランプ装置側の回転規制部とプラグ部材側の係合部との間に生じるガタのために、プラグ部材とクランプ装置との相対的な位置関係が安定せず、フェルール先端面の傾斜方向の角度ずれや、頂点の位置ずれの測定結果にばらつきが生じる。
【００１０】
従来の測定方法では、クランプ装置とプラグ部材との間に生じるガタによってプラグ部材とクランプ装置との相対的な位置関係が安定せずにばらつきが生じることについてもあまり考慮しておらず、このため、測定結果にばらつきが生じ易く安定した測定結果が得られないという問題がある。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、クランプ装置とプラグ部材との間に生じるガタや、フェルールとプラグ部材との間に生じるガタのために、フェルール、プラグ部材およびクランプ装置の相対的な位置関係がばらつくことの影響を受けにくく、安定した測定結果を得ることが可能な顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の第１の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法は、筒状のプラグ部材内にフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置し、前記顕微干渉計装置により前記フェルールの先端面を測定する方法において、
前記光コネクタプラグが前記顕微干渉計装置に対して設置された状態において、前記フェルールと前記プラグ部材との間に生じるガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記プラグ部材に対して相対的に第１の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第１の測定手順と、
前記ガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記プラグ部材に対して相対的に前記第１の回動向きとは逆向きの第２の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第２の測定手順とを、
少なくとも１回ずつ同回数行ない、各測定データの平均をとることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の第２の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法は、筒状のプラグ部材内にフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置されたクランプ装置に装着し、前記顕微干渉計装置により前記フェルールの先端面を測定する方法において、
前記光コネクタプラグが前記クランプ装置に装着された状態において、前記フェルール、前記プラグ部材、および前記クランプ装置の間に生じるガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに第１の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第１の測定手順と、
前記ガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記第１の回動向きとは逆向きの第２の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第２の測定手順とを、
少なくとも１回ずつ同回数行ない、各測定データの平均をとることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法の実施形態について図面を用いて説明する。まず、光コネクタプラグの構成について、図１および図２を参照しながら説明する。図１は光コネクタプラグの構成を概略的に示す分解斜視図、図２は図１の光コネクタプラグを構成する各部材の軸回りの相対的な位置関係を示す図である。
【００１５】
＜光コネクタプラグの構成＞
図１に示す光コネクタプラグ４００（以下、「プラグ４００」と略称することがある）は、筒状のプラグ部材４１０と該プラグ部材４１０内に収容されるフェルール４２０を備えてなる。上記プラグ部材４１０は、外筒４０２と該外筒４０２内に収容される内筒４０４（一部を破断して示す）とからなり、不図示の相手側プラグと不図示のスリーブを介して係合されるように構成されている。
【００１６】
上記フェルール４２０は、例えばジルコニアセラミックからなるフェルール本体４２１の外径中心に光ファイバ４３０の一端部を保持してなる斜め球面研磨型のフェルールである。すなわち、フェルール４２０の先端面４２２は、不図示の相手側フェルールの先端面と密着し易いように凸球面状に研磨されているとともに、フェルール４２０の軸（中心軸）Ｃに対して所定の傾斜角度および所定の傾斜方向で交わるように構成されている。なお、ＪＩＳによる傾斜角度θについては、フェルール４２０の軸Ｃ上で先端面４２２と接する平面と、この軸Ｃと直交する平面とのなす角度として規定され、先端面４２２の傾斜方向は、フェルール４２０の軸Ｃ上で先端面４２２と接する接平面と、この接平面に垂直でかつ軸Ｃを含む平面Ｈ（軸Ｃ方向より見た状態を、図２において１点鎖線で示す）との交線の延びる方向として規定される。なお、以下の説明では、上記外筒４０２および上記内筒４０４の各中心軸は、上記軸Ｃに一致しているものとする。
【００１７】
また、フェルール本体４２１の後端部には、鍔部４２３と円筒部４２４とからなるフェルール保持具４２５が取り付けられている。フェルール４２０は、上記円筒部４２４にバネ部材（コイルバネ）４２６が取り付けられた状態で、上記内筒４０４内に収容され、内筒４０４の後端部に取り付けられたバネ押え環４１１（図１では図示略、図９参照）により後方への脱抜が、プラグ部材４１０の内面周方向に沿って環状に形成されたストッパ部４１４により前方への抜脱がそれぞれ規制されている。また、上記バネ部材４２６の弾性によって、フェルール４２０は軸Ｃと平行な方向（図中Ｐ方向）前方に向けて定圧付勢されており、その先端面４２２が不図示の相手側フェルールの先端面に対し押圧されるように構成されている。
【００１８】
外筒４０２の先端上部および先端下部には、第１のキー溝部４１２および第２のキー溝部４１３がそれぞれ設けられている。また、外筒４０２の先端側面部には、凸状のキー部４１６が設けられている。これら第１、第２のキー溝部４１２，４１３およびキー部４１６は、プラグ４００が相手側プラグと係合される際の挿入ガイドと抜脱防止に利用されるものである。プラグ４００において、上記キー部４１６の中心軸Ｅと上記軸Ｃとを含む平面Ｌ（軸Ｃ方向より見た状態を、図２において１点鎖線で示す）と、上記平面Ｈとのなす角度をフェルールのキー角度と称する。一般に、フェルールのキー角度は、規格値との角度ずれの誤差の許容範囲が個別規格により厳しく規定されている。なお、プラグ４００では、上記フェルールのキー角度の規格値が９０度である場合を例にとっている。また、上記第１のキー溝部４１２の中心軸Ｄと軸Ｃとを含む平面（図示略）は、上記平面Ｌと直交するように設定されている。
【００１９】
また、フェルール４２０は、上記フェルール保持具４２５を介して上記内筒４０４に保持されており、内筒４０４に対する軸Ｃ回りの回転は、フェルール保持具４２５と内筒４０４とが互いに係合することにより規制されている。すなわち、フェルール保持具４２５の鍔部４２３には、軸Ｃを挟んで互いに対向する位置に、軸Ｃ方向に延びる各一対のキー溝部４２７，４２８が形成されており、内筒４０４の内面には、このうちの一対のキー溝部４２７と係合する一対のキー部４１５（図１では一方のみ示す）が形成されている。これら鍔部４２３側のキー溝部４２７と、内筒４０４側のキー部４１５とが係合することにより、フェルール４２０のプラグ部材４１０に対する軸Ｃ回りの回転が規制されるように構成されている。
【００２０】
また、上記外筒４０２および上記内筒４０４は、外筒４０２内に内筒４０４を収容する際の内筒４０４の向きを規制し得るとともに、外筒４０２内に収容された内筒４０４の軸Ｃ回りの回転を規制し得るような形状、大きさに形成されている。なお、外筒４０２および内筒４０４は、外筒４０２内に内筒４０４が収納された際に互いに係合し、外筒４０２内からの内筒４０４の抜脱を防止する係合部を備えているが、この係合部の図示は省略してある。
【００２１】
上述したように、フェルール４２０は内筒４０４に対して軸Ｃ回りの回転が規制され、内筒４０４は外筒４０２に対して軸Ｃ回りの回転が規制されているが、厳密には、これらの各部材間には、それぞれの作製公差により若干のガタが生じている。このため、顕微干渉計装置に対してプラグ４００を設置した状態において、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の軸Ｃ回りの相対的な位置関係は、一意的には定まらない。
【００２２】
図２は、顕微干渉計装置に対して設置されたプラグ４００（図２では符号省略）において、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の軸Ｃ回りの相対的な位置関係の１つの状態を例示している。この図２において、プラグ４００は不図示のクランプ装置によって、顕微干渉計装置に対して設置され、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂにより、プラグ４００の軸回りの回転が規制されている。また、図２では、上記平面Ｈ，Ｌの他に、以下の平面を図示している。すなわち、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂに設定された基準平面Ｘ，Ｙと、内筒４０４に対して設定された平面Ｍと、鍔部４２３に対して設定された平面ＮＸ，ＮＹとが図示されている。
【００２３】
上記基準平面Ｘ，Ｙは、以下に説明する実施形態方法において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向を測定する際の基準となるものであり、軸Ｃ上において互いに直交している。上記平面Ｍは、内筒４０４側のキー部４１５の中心軸（図示略）と軸Ｃとを含む平面であり、上記平面ＮＸは、鍔部４２３側のキー溝部４２７の中心軸（図示略）と軸Ｃとを含む平面である。また、上記平面ＮＹは、軸Ｃ上において上記平面ＮＸと直交している。
【００２４】
上記基準平面Ｘに対して、上記平面Ｌ，Ｍ，ＮＸが全て重なる状態のとき、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとは互いに重なり、上記傾斜方向の規格値からの角度ずれは、平面Ｈと平面ＮＹとのなす角度αと一致し、これは基準平面Ｙと平面Ｈとのなす角度として、顕微干渉計装置により測定することが可能となる。しかし、図２に示すように、プラグ４００の各構成部材間に生じるガタ、および回転規制部３３３Ｂとプラグ４００との間に生じるガタによって、基準平面Ｘ、平面Ｌ，Ｍ，ＮＸが互いにずれた状態のとき、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとは互いにずれた状態となるため、上記傾斜方向の規格値からの角度ずれは、基準平面Ｙと平面Ｈとのなす角度α＋φとして、顕微干渉計装置により測定されることとなる。
【００２５】
このように、ガタの存在によって、顕微干渉計装置により測定される上記傾斜方向の規格値からの角度ずれの測定値には、上記角度φ分の誤差が含まれる。このことが、従来の測定方法において安定した測定結果が得られない原因となっている。なお、上記角度α，φ、基準平面Ｘと平面Ｌとのなす角度β、平面Ｌと平面Ｍとのなす角度γ、および平面Ｍと平面ＮＸとがなす角度δは、全て有向角度とし、図中軸Ｃを中心とした反時計回りの向きを正、時計回りの向きを負とする。また、上記角度φは、上記角度β、γおよびδの和に一致する。
【００２６】
＜フェルールの測定方法（第１の実施形態）＞
以下、図３〜図５を用いて、本発明の第１の実施形態に係る顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法を説明する。図３は第１の実施形態方法の手順を示すフローチャート、図４はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図、図５はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図である。なお、図４，５中の符号は、図２に準じている。
【００２７】
まず、クランプ装置を用いてプラグ４００を顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置する（図３のＳ１）。なお、この第１の実施形態方法では、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂに設定された基準平面Ｘと、外筒４０２に対して設定された平面Ｌとが互いに一致し、以下の手順において、回転規制部３３３Ｂに対する外筒４０２の軸Ｃ回りの位置ずれは起きないことを前提とする。
【００２８】
次に、図４に示すように、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向き（図中時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ（図３のＳ２）、クランプ装置によって、フェルール４２０をクランプする（図３のＳ３）。この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図４において、角度α＋角度φ１に相等）を顕微干渉計装置により測定する（以上、第１の測定手順）。なお、図４に示す第１の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ１は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｍとのなす角度γ１と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ１との和に等しい。
【００２９】
次いで、クランプ装置によるフェルール４２０のクランプを解除し（図３のＳ５）、図５に示すように、フェルール４２０、内筒４０４および外筒４０２の間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向き（図中反時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ（図３のＳ６）、クランプ装置によって、フェルール４２０をクランプする（図３のＳ７）。この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図５において、角度α＋角度φ２に相等）を顕微干渉計装置により測定する（以上、第２の測定手順）。なお、図５に示す第２の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ２は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｍとのなす角度γ２と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ２との和に等しい。
【００３０】
次に、上記第１の測定手順および上記第２の測定手順における各測定の回数が予め設定された所定の回数ｎ（１以上の整数）に達しているか否かを判定し（図３のＳ９）、達していなければ上記第１、第２の測定手順を繰り返す。所定の回数ｎに達していれば下式（１）によって、ｎ回の各測定データの平均をとり（図３のＳ１０）、その平均値を上記傾斜方向の角度ずれの測定値α０として決定する（図３のＳ１１）。
【００３１】
【数１】
【００３２】
上述した第１の実施形態方法によれば、フェルール４２０をプラグ部材４１０（外筒４０２、内筒４０４）に対して相対的に時計回りおよび反時計回りに回転させて、回転ごとにフェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれを測定し、最終的にそれらの各測定データの平均をとるので、フェルール４２０とプラグ部材４１０との間のガタによるこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００３３】
＜フェルールの測定方法（第２の実施形態）＞
以下、図６および図７を用いて、本発明の第２の実施形態に係る顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法を説明する。図６はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図、図７はフェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図である。なお、図６，７中の符号は、図２に準じている。
【００３４】
上記第１の実施形態方法では、クランプ装置側の回転規制部３３３Ｂに設定された基準平面Ｘと、外筒４０２に対して設定された平面Ｌとが互いに一致し、回転規制部３３３Ｂに対する外筒４０２の軸Ｃ回りの位置ずれは起きないことを前提としていたのに対し、この第２の実施形態方法では、回転規制部３３３Ｂに対する外筒４０２の軸Ｃ回りの位置ずれが生じる場合に対応している。なお、実施手順の概要は、図３に示すフローチャートの流れと同じである。第１の実施形態方法と異なるのは、以下の点である。
【００３５】
すなわち、この第２の実施形態方法では、第１の測定手順において、図６に示すように、フェルール４２０、内筒４０４、外筒４０２および回転規制部３３３Ｂの間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第１の回動向き（図中時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ、この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図６において、角度α＋角度φ１に相等）を顕微干渉計装置により測定する。このとき図６に示す第１の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ１は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｌとのなす角度β１と、平面Ｌと上記平面Ｍとのなす角度γ１と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ１との和に等しくなる。
【００３６】
また、第２の測定手順において、図７に示すように、フェルール４２０、内筒４０４、外筒４０２および回転規制部３３３Ｂとの間に生じるガタの範囲内で、フェルール４２０を軸Ｃ回りに第２の回動向き（図中反時計回りの向き）に、上記範囲の回動端まで回動させ、この状態において、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれ（図７において、角度α＋角度φ２に相等）を顕微干渉計装置により測定する。このとき図７に示す第２の回動端において、上記基準平面Ｙと上記平面ＮＹとのなす角度φ２は、上記基準平面Ｘと上記平面Ｌとのなす角度β２と、平面Ｌと上記平面Ｍとのなす角度γ２と、平面Ｍと上記平面ＮＸとのなす角度δ２との和に等しくなる。
【００３７】
なお、上記第１の測定手順および上記第２の測定手順における各測定の回数が予め設定された所定の回数ｎに達した段階で、上式（１）によって、ｎ回の各測定データの平均をとり、その平均値を上記傾斜方向の角度ずれの測定値α０として決定する点は、上記第１の実施形態方法と同様である。
【００３８】
この第２の実施形態方法によれば、フェルール４２０をプラグ部材４１０（外筒４０２、内筒４０４）および回転規制部３３３Ｂに対して相対的に時計回りおよび反時計回りに回転させて、回転ごとにフェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれを測定し、最終的にそれらの各測定データの平均をとるので、フェルール４２０とプラグ部材４１０および回転規制部３３３Ｂとの間のガタによるこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００３９】
また、上記第１および第２の実施形態方法では、フェルール４２０の先端面４２２の傾斜方向の角度ずれを測定する場合を例にとっているが、同じ測定手順により、フェルール４２０の先端面４２２の球面偏心量についても、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００４０】
＜顕微干渉計装置＞
以下、本発明方法を実施する際に用いる顕微干渉計装置の全体的な構成について、図８を参照しながら説明する。図８は顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
【００４１】
図８に示す顕微干渉計装置１は、底板２、前板３（一部破断して図示）、後板４、隔壁板５およびカバーケース６（一部破断して図示）からなる本体筐体内に、電源部７、コントロールボックス８および干渉計本体部１０を備えている。
【００４２】
この干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２、ハーフミラー・光源ユニット１３、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６を備えている。これらのうち、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６は、隔壁板５に固定された固定台１７に取り付けられており、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２およびハーフミラー・光源ユニット１３は、フォーカス台１８（一部破断して図示）に取り付けられている。
【００４３】
このフォーカス台１８は、前板３と固定台１７との間において前後方向（図中の矢印ＦおよびＢ方向）に互いに平行な状態で延設された上下２本のガイド軸１９Ａ，１９Ｂ（一部破断して図示）に、前後方向にスライド移動可能に支持されている。また、上記固定台１７と上記フォーカス台１８との間には、コイルバネ９が配されており、上記フォーカス台１８は、このコイルバネ９の弾性により前方（図中の矢印Ｆ方向）に向けて付勢されている。
【００４４】
また、上記前板３には、上記フォーカス台１８を移動させて干渉計本体部１０のフォーカス調整を行なうためのフォーカス調整ネジ２０が設けられている。このフォーカス調整ネジ２０は、前板３に形成された不図示のネジ孔に、自身の軸回りの回転により前後方向に移動可能に螺合するネジ軸部２１と、このネジ軸部２１を回転させるためのツマミ部２２とを備えてなる。このネジ軸部２１の先端面はフォーカス台１８の前面部に設けられた半球状の凸部１８ａに当接している。このためフォーカス調整ネジ２０は、ツマミ部２２を回転させてネジ軸部２１の前板３からの突出長を変えることにより、フォーカス台１８をガイド軸１９Ａ，１９Ｂに沿って前後方向に移動させることが可能となっており、これによりフォーカス調整を行なえるようになっている。
【００４５】
上述したような構成を有する干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１の前方の所定位置に保持された微小な被検体（不図示）に、不図示の光源からの光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させ、その干渉光を結像レンズユニット１４を通した後、不図示のＣＣＤ上に干渉縞を結像させる。そして、得られた干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の三次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。なお、干渉計本体部１０としては、ミロー型やマイケルソン型、リニーク型など種々のタイプのものを用いることが可能である。
【００４６】
また、上記前板３には、傾斜調整装置１００が配されている。この傾斜調整装置１００は、前板３に固定されたＬ字状の第１の基部材１１０と、この第１の基部材１１０と同様のＬ字状をなし、第１の基部材１１０に対向配置された第２の基部材１２０とを備えている。第２の基部材１２０は、支点部１３０を中心に第１の基部材１１０に対して傾動可能に支持されており、第１の傾斜調整ネジ１４０および第２の傾斜調整ネジ１５０により、支点部１３０から略鉛直方向に延びる軸線周りと、支点部１３０から略水平方向に延びる軸線周りとにそれぞれ傾動して、第１の基部材１１０に対する傾きを２軸調整できるようになっている。
【００４７】
この傾斜調整装置１００の第２の基部材１２０には、クランプ保持具２００が取り付けられている。クランプ保持具２００は、前段部２１０と後段部２２０とそれらを繋ぐ連結部２３０とを有してなり、その前段部２１０を３個の取付ネジ２４０により上記第２の基部材１２０に固定されている。クランプ保持具２００の後段部２２０は、対物レンズユニット１１の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部２２１が形成されており、この保持用凹部２２１内に、本発明の一実施形態に係るクランプ装置３００を保持している。なお、この他に前板３には、顕微干渉計装置１の電源をオンオフする電源スイッチ３０が設けられている。
【００４８】
＜フェルールのクランプ装置＞
次に、本発明方法で用いるフェルールのクランプ装置について、図９〜図１２を用いて説明する。図９はクランプ装置の断面図、図１０はその正面図、図１１はその正面側からの斜視図、図１２はその裏面側からの斜視図である。なお、図９に示す光コネクタプラグ４００は、基本的に図１に示すものと同じであるが、図９においては図１に示す外筒４０２および内筒４０４が互いに一体化しているように図示している。
【００４９】
図９および図１０に示すようにクランプ装置３００は、円形の板状部材からなる基部３１０、この基部３１０の正面側周縁部に該基部３１０と一体に形成された略円環状の縁部３２０、および変位調整部３４０からなるクランプ体３０５と、上記基部３１０の正面にネジ３３１（図１０、図１１参照）を介して取り付けられた円板状の回転規制体３３０とを備えてなる。
【００５０】
図１０に示すようにクランプ体３０５の縁部３２０には、３個のネジ孔３２１と溝部３２２とを備えている。ネジ孔３２１は、クランプ装置３００を上記クランプ保持具２００（図８参照）に取り付けるためのネジ用のものであり、溝部３２２は、クランプ保持具２００に設けられたピン（不図示）と係合して、クランプ装置３００のクランプ保持具２００に対する位置合わせを高精度に行なえるように設けられている。
【００５１】
図９に示すように上記基部３１０は、該基部３１０の一側面側（図中上部）から他側面側（図中下部）へ向かって延びる切欠部３５０を有し、該切欠部３５０によって、該切欠部３５０を挟んで互いに対向する２つの部分、すなわち、該基部３１０の正面側（フェルール４２０の挿通方向後側）に位置する支持部３６０と、該基部３１０の裏面側（フェルール４２０の挿通方向前側）に位置する変位部３７０とに、部分的に分割されている。
【００５２】
上記支持部３６０は、基部３１０の正面中央部においてクランプ装置３００の軸Ａ方向に突出する円筒状のクランプ口３６１と、このクランプ口３６１の内面を構成するとともに、基部３１０の中央部を軸Ａ方向に延びるように形成された固定のフェルール挿通孔３６２とを備えている。このフェルール挿通孔３６２は、上記フェルール４２０の外径と略同寸法の内径を有しており、上記支持部３６０は、上記クランプ口３６１から挿通されたフェルール４２０を、その軸Ｃとクランプ装置３００の軸Ａとが互いに重なるように支持し得るように構成されている。
【００５３】
上記変位部３７０には、上記基部３１０の一側面側から上記軸Ａを越えて延びる上記切欠部３５０の先端部に形成された空洞部３５１によって、軸Ａと略直角な向きに所定距離離れた位置に薄肉部３７３が形成されており、変位部３７０は、この薄肉部３７３の形成位置を支点として、軸Ａ方向（フェルール４２０の挿通方向）に変位可能に形成されている。また、変位部３７０は、上記フェルール挿通孔３６２内にフェルール４２０が挿通された際、該フェルール挿通孔３６２の挿通方向前側の端部から突出する、フェルール４２０の先端部分（図９に仮想線で示す）を、上記変位に伴い、フェルール４２０の挿通方向と略直角な方向に押圧して、フェルール挿通孔３６２内に挿通されたフェルール４２０を保持する押圧部位３７１を有している。
【００５４】
上記変位調整部３４０は、上記変位部３７０の変位を調整するものであり、図９に示すように、変位部３７０の先端部に上記軸Ａ方向に延びるように形成されたネジ孔３４１と、上記支持部３６０の該ネジ孔３４１と対向する部分に、軸Ａ方向に延びるように形成されたネジ挿入孔３４２と、該ネジ挿入孔３４２からネジ孔３４１に向けて差し込まれた調整ネジ３４３とを備えている。
【００５５】
この調整ネジ３４３は、上記ネジ孔３４１と螺合するネジ部３４３ａと、該調整ネジ３４３を操作するためのレバー部材３４４が取り付けられるネジ基部３４３ｂとを備えてなる。また、調整ネジ３４３は、図９に示すように、回転規制体３３０を介して基部３１０に取り付けられており（回転規制体３３０には、調整ネジ３４３用のネジ挿通孔３３２が形成されている）、上記ネジ挿入孔３４２内には、変位部３７０を外方に向け付勢する圧縮コイルバネ３４５が設けられている。調整ネジ３４３は、圧縮コイルバネ３４５により外方に向け付勢された変位部３７０のネジ孔３４１に、そのネジ部３４３ａが螺合され、該調整ネジ３４３を回転することにより、変位部３７０の変位を調整できるようになっている。
【００５６】
レバー部材３４４は、ネジ基部３４３ｂに形成されたピン挿通孔３４３ｃ内に挿通されるピン部３４４ａを有し、該ピン部３４４ａをピン挿通孔３４３ｃ内に挿通された後、ネジ基部３４３ｂの頂部に形成されたネジ孔３４３ｄに螺合するネジ３４６によって、ネジ基部３４３ｂに固定されている。このレバー部材３４４は、上記調整ネジ３４３を回転させ上記変位部３７０の変位を調整する際に、操作される。
【００５７】
図１０に示すように、上記縁部３２０には、上記レバー部材３４４の回動範囲を規制するためのストッパ部材３８０Ａ，３８０Ｂが設けられている。ストッパ部材３８０Ａは、レバー部材３４４の図中時計方向への回動を規制するためのものであり、ストッパ部材３８０Ｂは、レバー部材３４４の図中反時計方向への回動を規制するためのものである。レバー部材３４４は、これら２つのストッパ部材３８０Ａ，３８０Ｂの間を回動する（本実施形態では回動角度範囲９０度）ようになっており、レバー部材３４４がストッパ部材３８０Ａに当接する位置が、フェルール４２０を保持するクランプ位置であり、レバー部材３４４がストッパ部材３８０Ｂに当接する位置が、フェルール４２０の保持を解除するクランプ解除位置となっている。また、図９に示すように、ストッパ部材３８０Ａ，３８０Ｂ（図９ではストッパ部材３８０Ａのみ図示）は、上記縁部３２０に形成されたネジ孔３２３と螺合するネジ部３８１を有し、該ネジ部３８１がネジ孔３２３に螺合されることによって、縁部３２０に固定されている。
【００５８】
また、図１０に示すように、上記基部３１０の正面には、クランプ体側位置合せ基準としての円柱状の２つの係合ピン３９０，３９１が、クランプ装置３００の軸Ａを挟んで互いに対向する２位置において、それぞれ軸Ａ方向に延びるように設けられている。なお、軸Ａから２つの係合ピン３９０，３９１各々までの距離は、後述する回転規制部３３３の係合凸部３３６および押圧部３３７から軸Ａまでの距離よりも長く設定されている。
【００５９】
一方、回転規制体３３０には、回転規制体側位置合わせ基準としての２つの係合孔３３４，３３５が設けられている。係合孔３３４は丸孔状で、その内径が上記係合ピン３９０の外径と略同寸法に形成されている。一方、上記係合孔３３５は上記軸Ａの径方向に延びた長孔状で、その短径（上記軸Ａの周方向の長さ）が上記係合ピン３９１の外径と略同寸法に、その長径（上記軸Ａの径方向の長さ）は上記係合ピン３９１の外径よりも若干大きく形成されている。回転規制体３３０は、クランプ体３０５に取り付けられる際、上記係合ピン３９０，３９１に対して、上記係合孔３３４，３３５がそれぞれ位置合せされて係合されることにより、クランプ体３０５に対して高精度に位置決めされるように構成されている。
【００６０】
さらに、回転規制体３３０の中央部には、クランプ装置３００に保持されたプラグ部材４１０の回転を規制するための回転規制部３３３が形成されている。この回転規制部３３３の全体的な形状は、プラグ部材４１０の作製公差を許容し得る程度に、プラグ部材４１０の外形断面形状よりも若干大きく形成されている。このため、プラグ部材４１０のみを回転規制部３３３に装着した状態においては、プラグ部材４１０との間には公差内の微小なガタが生じることとなる。このガタを抑えるため、回転規制部３３３は、フェルール４２０がフェルール挿通孔３６２内に挿通される際に、上記プラグ部材４１０（図９参照）の第２のキー溝部４１３を、上記Ｐ方向と直交するＱ方向上方に向けて押圧し、フェルール４２０に対してプラグ部材４１０を、上記Ｐ方向およびＱ方向を含む面内で傾動させる押圧部３３７を備えている。
【００６１】
詳しくは、クランプ装置３００の軸Ａから押圧部３３７までの距離は、フェルール４２０の軸Ｃから第２のキー溝部４１３までの距離よりも短くなるように設定されており、また、押圧部３３７のプラグ４００と対向する側の角部は、プラグ４００に向けて下り傾斜面となるように形成されている。これにより、押圧部３３７は、フェルール４２０がフェルール挿通孔３６２内に挿通される際に、プラグ部材４１０の第２のキー溝部４１３と摺接しながらこれを上方に向けて押圧し、フェルール４２０に対してプラグ部材４１０を紙面に沿って傾動させるようになっている。なお、さらに詳しくは、図１０において、押圧部３３７の左右方向両端部分は、左右方向中央部分よりも少し上方に突出するように形成されており、押圧部３３７が第２のキー溝部４１３を押圧する力によって、プラグ部材４１０に軸Ａ回りのモーメントが生じるようになっている。
【００６２】
また、回転規制部３３３において、フェルール挿通孔３６２を挟んで押圧部３３７の反対側の位置には、係合凸部３３６が設けられている。このクランプ装置３００では、押圧部３３７がプラグ部材４１０を押圧する力と、プラグ部材４１０の傾動によって上記バネ部材４２６が反発する力と、クランプ挿通孔３６２がフェルール４２０を支持する力との釣合いにより、プラグ４００をクランプ装置３００に対して位置決めするようになっている。係合凸部３３６は、通常はプラグ４００側とは係合せず、プラグ４００に何らかの強い力が作用してプラグ４００が大きく変位した場合に、第１のキー溝部４１２と係合して、プラグ４００のそれ以上の変位を防止するストッパとしての機能を有するように構成されている。
【００６３】
また、図１２に示すように、クランプ装置３００の上記基部３１０の裏面には、各種の孔部が形成されている。孔部３１１は、上記回転規制部３３３を基部３１０に固定する上記ネジ３３１が挿通される貫通孔であり、孔部３１２は、回転規制体３３０を位置決めするための上記係合ピン３９０，３９１が挿通される貫通孔である。どちらの孔部３１１，３１２も加工の都合上、基部３１０の正面側から裏面側まで貫通しているが、これらに挿通される上記ネジ３３１および係合ピン３９０の先端部は、上記切欠部３５０の手前の位置までしか達していない。
【００６４】
また、基部３１０の裏面中央部には、フェルール４２０の先端部を観察するための観察孔３７２が形成されている。この観察孔３７２は、図９に示すように、上記軸Ａ上に位置するように設けられ、また、上記フェルール挿通孔３６２よりも一回り大きい大きさに形成されている。
【００６５】
次に、他の形態のクランプ装置について、図１３を用いて説明する。図１３は他の形態のクランプ装置の正面図である。なお、図１３に示すクランプ装置３００Ａにおいて、上記クランプ装置３００と共通する部分については、図９〜図１２中で用いた符号を図１３においても用いることとし、その詳細な説明は省略する。
【００６６】
図１３に示すクランプ装置３００Ａは、回転規制体３３０Ａが以下のように構成されている点において、上記クランプ装置３００とは異なっている。すなわち、この回転規制体３３０Ａは、図１３に示すように回転規制部３３３において、フェルール挿通孔３６２を挟んで押圧部３３７と反対側の位置に、略Ｌ字状に形成された溝部３３８が形成され、この溝部内に溝部３３８に沿って延びる略Ｌ字状の弾性変位部３３９を備えている。この弾性変位部３３９は、回転規制体３３０Ａと一体に形成されており、その先端部３３９ａを図中上方に向けて押圧すると、図中水平方向に延びた腕部３３９ｂが上方に撓むように弾性変形するようになっている。この溝部３３８および弾性変位部３３９以外の構成は、上記クランプ装置３００と同様である。
【００６７】
このクランプ装置３００Ａでは、クランプ装置３００Ａ側の押圧部３３７がプラグ部材４１０側の第２のキー溝部４１３を押圧する力と、プラグ部材４１０の傾動によって弾性変形する弾性変位部３３９が反発する力と、プラグ部材４１０とフェルール４２０との間に相互に作用する力と、クランプ挿通孔３６２がフェルール４２０を支持する力とが釣合うように構成されている。これらの力が釣合うことにより、プラグ部材４１０とクランプ装置３００Ａとの間のガタが抑えられて、これらの間の軸回り方向の位置決めがなされ、また、プラグ部材４１０とフェルール４２０との間のガタが抑えられ、これらの間の軸回り方向の位置決めがなされる。
【００６８】
このようなクランプ装置３００，３００Ａを用いることにより、プラグ４００とクランプ装置３００，３００Ａとの間のガタを抑制することが可能となるので、本発明方法を実施する場合において、フェルール４２０の軸Ｃ回りの回動範囲を狭くすることができるなどの利点がある。なお、本発明方法は、光コネクタプラグとクランプ装置側の回転規制部との間にガタが生じる従来のクランプ装置を用いた場合でも、安定した測定結果が得られることは勿論である。
【００６９】
また、上記実施形態においては、測定対象のフェルールが斜め球面研磨型のフェルールとされているが、これらのフェルールとしては、斜め平面研磨型のフェルールや、垂直研磨型（先端面は平面でも球面でもよい）のフェルールでもよい。
【００７０】
さらに、上記実施形態においては、フェルールがジルコニアセラミック製であるが、フェルールがステンレス製やプラスチック製等の他の材料で形成されたものであってもよい。また、フェルールがその軸心部に保持する光ファイバに関しては、シングルモードタイプ、マルチモードタイプ等の種々のタイプのものを用いることができる。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の第１の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法によれば、フェルールとプラグ部材との間に生じるガタの範囲内で、フェルールをその軸回りに、第１の回動向きおよびそれとは逆向きの第２の回動向きに、それぞれ回動端まで回動させた状態でフェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定し、各測定データの平均をとるので、フェルールとプラグ部材との間に生じるガタを原因とするこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【００７２】
また、本発明の第２の顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法によれば、フェルール、プラグ部材およびクランプ装置の間に生じるガタの範囲内で、フェルールをその軸回りに、第１の回動向きおよびそれとは逆向きの第２の回動向きに、それぞれ回動端まで回動させた状態でフェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定し、各測定データの平均をとるので、フェルール、プラグ部材および顕微干渉計装置との間に生じるガタを原因とするこれらの相対的な位置関係のばらつきの影響を受けにくく、確率的に信頼性の高い安定した測定結果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光コネクタプラグの構成を概略的に示す分解斜視図
【図２】光コネクタプラグを構成する各部材の軸回りの相対的な位置関係を示す図
【図３】第１の実施形態方法の手順を示すフローチャート
【図４】フェルールを軸回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第１の実施形態）
【図５】フェルールを軸回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第１の実施形態）
【図６】フェルールを軸回りに第１の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第２の実施形態）
【図７】フェルールを軸回りに第２の回動向きに回動端まで回動させた状態を示す図（第２の実施形態）
【図８】顕微干渉計装置の構成を示す斜視図
【図９】クランプ装置の構成を示す断面図
【図１０】図９に示すクランプ装置の正面図
【図１１】図９に示すクランプ装置の外観斜視図（正面側）
【図１２】図９に示すクランプ装置の外観斜視図（裏面側）
【図１３】他の形態のクランプ装置の構成を示す正面図
【符号の説明】
１ 顕微干渉計装置
２ 底板
３ 前板
４ 後板
５ 隔壁板
６ カバーケース
７ 電源部
８ コントロールボックス
９ コイルバネ
１０ 干渉計本体部
１１ 対物レンズユニット
１２ ピエゾユニット
１３ ハーフミラー・光源ユニット
１４ 結像レンズユニット
１５ ミラーボックス
１６ ＣＣＤカメラユニット
１７ 固定台
１８ フォーカス台
１８ａ 凸部
１９Ａ，１９Ｂ ガイド軸
２０ フォーカス調整ネジ
２１ ネジ軸部
２２ ツマミ部
３０ 電源スイッチ
１００ 傾斜調整装置
１１０ 第１の基部材
１２０ 第２の基部材
１３０ 支点部
１４０ 第１の傾斜調整ネジ
１５０ 第２の傾斜調整ネジ
２００ クランプ保持具
２１０ 前段部
２２０ 後段部
２２１ 保持用凹部
２３０ 連結部
２４０ 取付ネジ
３００，３００Ａ クランプ装置
３０５ クランプ体
３１０ 基部
３１１，３１２ 孔部
３２０ 縁部
３２１ ネジ孔
３２２ 溝部
３２３ ネジ孔
３３０，３３０Ａ 回転規制体
３３１ ネジ
３３２ ネジ挿通孔
３３３，３３３Ｂ 回転規制部
３３４，３３５ 係合孔
３３６ 係合凸部
３３７ 押圧部
３３８ 溝部
３３９ 弾性変位部
３３９ａ 先端部
３３９ｂ 腕部
３４０ 変位調整部
３４１ ネジ孔
３４２ ネジ挿入孔
３４３ 調整ネジ
３４３ａ ネジ部
３４３ｂ ネジ基部
３４３ｃ ピン挿通孔
３４３ｄ ネジ孔
３４４ レバー部材
３４４ａ ピン部
３４５ 圧縮コイルバネ
３４６ ネジ
３５０ 切欠部
３５１ 空洞部
３６０ 支持部
３６１ クランプ口
３６２ フェルール挿通孔
３７０ 変位部
３７１ 押圧部位
３７２ 観察孔
３７３ 薄肉部
３８０Ａ，３８０Ｂ ストッパ部材
３８１ ネジ部
３９０，３９１ 係合ピン
４００ 光コネクタプラグ（プラグ）
４０２ 外筒
４０４ 内筒
４１０ プラグ部材
４１１ バネ押え環
４１２ 第１のキー溝部
４１３ 第２のキー溝部
４１４ ストッパ部
４１５ キー部（内筒）
４１６ キー部（外筒）
４２０ フェルール
４２１ フェルール本体
４２２ フェルールの先端面
４２３ 鍔部
４２４ 円筒部
４２５ フェルール保持具
４２６ バネ部材
４２７，４２８ キー溝部
４３０ 光ファイバ
Ａ クランプ装置の軸
Ｃ フェルールの軸
Ｄ 第１のキー溝部の中心軸
Ｅ 外筒のキー部の中心軸
Ｆ，Ｂ，Ｐ，Ｑ 方向を示す矢線
θ フェルールの先端面の傾斜角度
Ｘ，Ｙ フェルール先端面の傾斜方向を測定する際の基準平面
Ｈ フェルール先端面の軸上での接平面に垂直でかつ軸を含む平面
Ｌ 外筒のキー部の中心軸Ｅとフェルールの軸とを含む平面
Ｍ 内筒のキー部の中心軸とフェルールの軸とを含む平面
ＮＸ 鍔部のキー溝部の中心軸とフェルールの軸とを含む平面
ＮＹ フェルールの軸上において平面ＮＸと直交する平面
α 平面Ｈと平面ＮＹとのなす角度
β，β１，β２ 基準平面Ｘと平面Ｌとのなす角度
γ，γ１，γ２ 平面Ｌと平面Ｍとのなす角度
δ，δ１，δ２ 平面Ｍと平面ＮＸとのなす角度
φ，φ１，φ２ 基準平面Ｙと平面ＮＹとのなす角度
Claims (2)
- 筒状のプラグ部材内にフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置し、前記顕微干渉計装置により前記フェルールの先端面を測定する方法において、
前記光コネクタプラグが前記顕微干渉計装置に対して設置された状態において、前記フェルールと前記プラグ部材との間に生じるガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記プラグ部材に対して相対的に第１の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第１の測定手順と、
前記ガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記プラグ部材に対して相対的に前記第１の回動向きとは逆向きの第２の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第２の測定手順とを、
少なくとも１回ずつ同回数行ない、各測定データの平均をとることを特徴とする顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法。 - 筒状のプラグ部材内にフェルールを保持してなる光コネクタプラグを、顕微干渉計装置に対して所定の傾き姿勢をなすように設置されたクランプ装置に装着し、前記顕微干渉計装置により前記フェルールの先端面を測定する方法において、
前記光コネクタプラグが前記クランプ装置に装着された状態において、前記フェルール、前記プラグ部材、および前記クランプ装置の間に生じるガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに第１の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第１の測定手順と、
前記ガタの範囲内で、前記フェルールを該フェルールの軸回りに前記第１の回動向きとは逆向きの第２の回動向きに、前記範囲の回動端まで回動させ、該フェルールの先端面を前記顕微干渉計装置により測定する第２の測定手順とを、
少なくとも１回ずつ同回数行ない、各測定データの平均をとることを特徴とする顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法。
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|---|---|---|---|
| JP2003208610A JP2005069697A (ja) | 2003-08-25 | 2003-08-25 | 顕微干渉計装置によるフェルールの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093557A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Fujinon Corp | 光コネクタプラグ用クランプ装置およびこれを具備した顕微干渉計装置 |
| EP2040103A1 (en) | 2007-09-21 | 2009-03-25 | Fujinon Corporation | Optical fiber ferrule retainer |
| JP2009074962A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Fujinon Corp | 光ファイバフェルール保持装置 |
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-
2003
- 2003-08-25 JP JP2003208610A patent/JP2005069697A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
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