JP3938512B2 - 傾斜調整装置およびこれを具備した顕微干渉計装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば顕微干渉計装置（「干渉顕微鏡装置」とも称される）を用いて、光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルールの先端部の形状等を解析する際に、対物レンズ前の所定位置に保持されたフェルールの傾きを調整するためなどに使用される傾斜調整装置およびこの種の傾斜調整装置を具備した顕微干渉計装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光通信に用いられる光ファイバの研究開発が盛んに進められている。この種の光ファイバは、例えば外径１０μｍ程度のコアと、その外周に設けた例えば外径１２５μｍ程度のクラッド層からなり、光ファイバ同士を接続するためにその接続端部にフェルールを備えたものが知られている。
【０００３】
フェルールとは、光ファイバを接続するために光ファイバの端部を保持固定する、光コネクタを構成する円筒状の部品である。フェルールは、その外径の中心部に光ファイバが挿入され接着剤等で固定された後、その先端を鏡面状に研磨されており、２つのフェルールの先端面を突き合わせることによって、それぞれに保持された２つの光ファイバを接続できるように構成されている。
このフェルールの先端面は、光軸に対して直交する平面に研磨されたものや、光軸に対して斜交する平面に研磨されたものが知られているが、最近、フェルールの先端面を突き合わせる際の押圧力により先端面が弾性変形して、フェルール先端面同士の密着性を高め得るように、先端面を球面形状にするＰＣ（ｐｈｉｓｉｃａｌ ｃｏｎｔａｃｔ）研磨が施されたものが注目されている。
【０００４】
ところで、光ファイバ接続に伴う光損失を低減するため、フェルールには高精度な種々の規格がＪＩＳにより定められており、上記ＰＣ研磨が施されたフェルールに対しては、先端面の曲率半径の寸法誤差、フェルールの球状先端面の頂点と光ファイバのコアの中心（ファイバの外形中心）との位置ずれ誤差など、６項目に及ぶμｍオーダの規格が定められている。
【０００５】
作製されたフェルールが、規格に適合しているかどうかを検査するために、顕微干渉計装置が用いられることがある。顕微干渉計装置は、微小な被検体の表面形状や屈折率分布などの位相情報を担持した物体光と、参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察し、この干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の位相情報を得るように構成されている。
このような顕微干渉計装置を用いて、作製されたフェルールの検査を行なう場合、顕微干渉計装置の光軸とフェルールの光軸との相対的な傾きを調整するための傾斜調整装置が必要となる。
【０００６】
従来、このような傾斜調整装置としては、支点部を支点として互いに傾動可能に対向配置された２つの基部材の一方に、先端面を凸球面に形成された調整ネジを、その先端部を他方の基部材に向けて突出させた状態で回転可能に螺合保持させ、この調整ネジを、その先端面を他方の基部材側の受面にすべり移動可能に当接させた状態で回転させて、その突出長を変えることにより２つの基部材の相対的な傾きを調整するように構成されたものが知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の傾斜調整装置には、調整ネジの先端面が凸球面に形成されていることから、次のような問題がある。すなわち、調整ネジ先端の凸球面の中心が調整ネジの軸線上に位置せずに偏心している場合、調整ネジを回転させると凸球面の径中心は調整ネジの軸線周りに回転することになる。このような偏心した凸球面と当接する相手基部材側の受面が、断面Ｖ字型の溝状に形成されているような場合、この受面により凸球面のすべり移動が所定方向（溝の延びる方向）のみに規制されるので、調整ネジを回転させると、受面を上記所定方向と略直交する方向に押圧する力が作用してしまい、このような力の作用により２つの基部材が相対的な位置ずれを起こして、傾き調整に悪影響を及ぼす虞がある。
【０００８】
通常、調整ネジ先端の凸球面の偏心量は微小であり、したがって、凸球面の偏心が原因で起こる、上述したような２つの基部材の相対的な位置ずれ量も微小にとどまると考えられる。しかし、上述したような顕微干渉計装置を用いて上記フェルールの形状測定を行なうような場合には、フェルールの先端部を顕微干渉計装置の対物レンズ前の所定位置に高精度に保持しておく必要があるため、フェルールの傾き調整時に生じる僅かな位置ずれでも測定に多大な悪影響を及ぼしてしまう。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、２つの基部材の相対的な位置ずれを抑制しつつ傾き調整を高精度に行なうことが可能な傾斜調整装置、および傾き調整を必要とする微小な被検体の測定解析を安定して行ない得る顕微干渉計装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の傾斜調整装置は、互いに対向配置された２つの基部材と、該２つの基部材を相対的に傾動可能に支持する支点部と、該支点部を支点として前記２つの基部材を相対的に傾動させるための調整部とを備えてなる傾斜調整装置において、前記調整部は、先端部を前記２つの基部材の一方から他方に向けて突出させた状態で該一方の基部材に回転可能に螺合保持された調整ネジと、該調整ネジの先端面と対向するように前記他方の基部材に設けられた球受面と、前記調整ネジの前記先端面と前記球受面との間に配置される、剛性を有する球体と、前記球体の径よりも小なる内径の孔部を有してなり、前記先端面と前記球受面との間において、該孔部から前記球体の一部が突出する状態となるように配置され、かつ該球体を前記球受面に自身の弾性により押圧することにより、該球体を前記先端面および前記球受面と当接する位置に保持する保持部材とを備えてなり、前記先端面および前記球受面に前記球体を当接させた状態で前記調整ネジを回転させて、該調整ネジの前記一方の基部材からの突出長を変えることにより前記２つの基部材の相対的な傾きを調整するものであることを特徴とするものである。
【００１２】
前記２つの基部材を互いに引き合うように付勢する付勢部材を設けることができる。
【００１３】
前記調整部が、前記支点部から互いに直交する方向に離れた２つの位置にそれぞれ設けられ、該調整部の一方における前記球受面は、前記球体と当接する面が平面状に形成され、該調整部の他方における前記球受面は、前記球体と当接する面が該他方の調整部と前記支点部とを結ぶ方向に延びる断面Ｖ字型の溝状に形成されているようにすることができる。
【００１４】
また、本発明の顕微干渉計装置は、被検体の位相情報を担持した物体光と参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察する顕微干渉計装置において、上述した特徴を有する本発明の傾斜調整装置を具備してなることを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
＜顕微干渉計装置＞
まず、図７を参照しながら、本発明の一実施形態に係る顕微干渉計装置の全体的な構成について説明する。図７は、本発明の一実施形態に係る顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
図７に示す顕微干渉計装置１は、底板２、前板３（一部破断して図示）、後板４、隔壁板５およびカバーケース６（一部破断して図示）からなる本体筐体内に、電源部７、コントロールボックス８および干渉計本体部１０を備えている。
【００１７】
この干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２、ハーフミラー・光源ユニット１３、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６を備えている。これらのうち、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６は、隔壁板５に固定された固定台１７に取り付けられており、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２およびハーフミラー・光源ユニット１３は、フォーカス台１８（一部破断して図示）に取り付けられている。
【００１８】
このフォーカス台１８は、前板３と固定台１７との間において前後方向（図中の矢印ＦおよびＢ方向）に互いに平行な状態で延設された上下２本のガイド軸１９Ａ，１９Ｂ（一部破断して図示）に、前後方向にスライド移動可能に支持されている。また、上記固定台１７と上記フォーカス台１８との間には、コイルバネ９が配されており、上記フォーカス台１８は、このコイルバネ９の弾性により前方（図中の矢印Ｆ方向）に向けて付勢されている。
【００１９】
また、上記前板３には、上記フォーカス台１８を移動させて干渉計本体部１０のフォーカス調整を行なうためのフォーカス調整ネジ２０が設けられている。このフォーカス調整ネジ２０は、前板３に形成された不図示のネジ孔に、自身の軸周りの回転により前後方向に移動可能に螺合するネジ軸部２１と、このネジ軸部２１を回転させるためのツマミ部２２とを備えてなる。このネジ軸部２１の先端面はフォーカス台１８の前面部に設けられた半球状の凸部１８ａに当接している。このためフォーカス調整ネジ２０は、ツマミ部２２を回転させてネジ軸部２１の前板３からの突出長を変えることにより、フォーカス台１８をガイド軸１９Ａ，１９Ｂに沿って前後方向に移動させることが可能となっており、これによりフォーカス調整を行なえるようになっている。
【００２０】
上述したような構成を有する干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１の前方の所定位置に保持された微小な被検体（不図示）に、不図示の光源からの照明光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させ、その干渉光を結像レンズユニット１４内の結像レンズ系（不図示）を通した後、不図示のＣＣＤ上に干渉縞を結像させる。そして、得られた干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の三次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。なお、干渉計本体部１０としては、ミロー型やマイケルソン型、リニーク型など種々のタイプのものを用いることが可能である。
【００２１】
また、上記前板３には、傾斜調整装置１００が配されている。この傾斜調整装置１００は、詳しくは後述するが、前板３に固定されたＬ字状の第１の基部材１１０と、この第１の基部材１１０と同様のＬ字状をなし、第１の基部材１１０に対向配置された第２の基部材１２０とを備えている。第２の基部材１２０は、支点部１３０を支点に第１の基部材１１０に対して傾動可能に支持されており、第１および第２の調整部１４０，１５０により、第１の基部材１１０に対する傾きを調整できるようになっている。
【００２２】
この傾斜調整装置１００の第２の基部材１２０には、クランプ装置保持具２００が取り付けられている。クランプ装置保持具２００は、上段部２１０と下段部２２０とそれらを繋ぐ連結部２３０とを有してなり、その上段部２１０を３個の取付ネジ２４０により上記第２の基部材１２０に固定されている。クランプ装置保持具２００の上段部２１０は、対物レンズユニット１１の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部２２１が形成されており、この保持用凹部２２１内に、クランプ装置３００を保持している。このクランプ装置３００は、不図示の光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルールを、図７に示す顕微干渉計装置１の対物レンズユニット１１前の所定位置に保持するためのものである。なお、この他に前板３には、顕微干渉計装置１の電源をオンオフする電源スイッチ３０が設けられている。
【００２３】
＜傾斜調整装置の構成＞
以下、上記傾斜調整装置１００について、図１〜図６を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に係る傾斜調整装置１００の正面図、図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図、図３は図１におけるＢ−Ｂ線断面図、図４は図１におけるＣ−Ｃ線断面図、図５は図１におけるＤ−Ｄ線断面図、図６は傾斜調整装置１００の作用を示す断面図である。なお、図１においては、上記クランプ装置保持具２００を取り付けるためのネジ孔や、図７において図示してある、第１の基部材１１０を顕微干渉計装置１の前板３に固定する際に工具を挿入するために利用される作業用孔等の図示は省略している。
【００２４】
図示した傾斜調整装置１００は、上述したように、互いに対向配置された第１および第２の基部材１１０，１２０と、これら第１および第２の基部材１１０，１２０を相対的に傾動可能に支持する支点部１３０と、この支点部１３０を支点として第１および第２の基部材１１０，１２０を相対的に傾動させるための第１および第２の調整部１４０，１５０とを備えている。
【００２５】
図２および図３に示すように上記支点部１３０は、上記第１の基部材１１０に固定された第１の支持部材１３１と、上記第２の基部材１２０に固定された第２の支持部材１３２と、これら第１および第２の支持部材１３１，１３２間に配置された球体１３３とを備えてなる。
【００２６】
この第１の支持部材１３１は、上記第１の基部材１１０に形成された孔部１１１内に挿入固定される軸部１３１ａと、この軸部１３１ａと一体に形成された球受部１３１ｂとからなり、この球受部１３１ｂは上記球体１３３を支持する円錐面状に形成された球受面１３１Ａを備えている。また、上記第２の支持部材１３２は、上記第２の基部材１２０に形成された孔部１２１内に挿入固定される軸部１３２ａと、この軸部と一体に形成された球受部１３２ｂとからなり、この球受部１３２ｂは上記球体１３３を支持する円錐面状に形成された球受面１３２Ａを備えている。
【００２７】
上記第１および第２の支持部材１３１，１３２は、上記球受面１３１Ａ，球受面１３２Ａが互いに対向するように設けられており、これら球受面１３１Ａ，球受面１３２Ａ間に上記球体１３３を挟み込むように支持することにより、上記支点部１３０は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０を、上記球体１３３を支点として傾動可能に支持している。
【００２８】
また、上記第１および第２の調整部１４０，１５０（第１の調整部１４０については図２を参照、第２の調整部１５０ついては図３および図４を参照）は、上記第２の基部材１２０側に配された調整ネジ１４１，１５１と、上記第１の基部材１１０側に配された球受部材１４２，１５２と、この球受部材１４２，１５２と上記調整ネジ１４１，１５１との間に配された剛性を有する球体１４３，１５３と、この球体１４３，１５３を上記調整ネジ１４１，１５１の各先端面１４１Ａ，１５１Ａと当接する位置に保持する保持部材１６０，１７０とを備えてなる。
【００２９】
上記調整ネジ１４１，１５１は、ネジ軸部１４１ａ，１５１ａと、このネジ軸部１４１ａ，１５１ａを回転させるためのツマミ部１４２ｂ，１５１ｂとからなり、ネジブッシュ１４４，１５４をそれぞれ介して第２の基部材１２０に取り付けられている。これらネジブッシュ１４４，１５４は、上記第２の基部材１２０に形成されたネジ孔１２３，１２４にそれぞれ螺合保持されており、上記調整ネジ１４１，１５１のネジ軸部１４１ａ，１５１ａと螺合するネジ孔１４４ａ，１５４ａを有している。すなわち、上記調整ネジ１４１，１５１は、上記ネジブッシュ１４４，１５４に回転可能に螺合保持されており、上記ツマミ部１４２ｂ，１５１ｂを回転させることによって、上記ネジ軸部１４１ａ，１５１ａの、上記第２の基部材１２０からの突出長を変えることが可能となっている。
【００３０】
上記球受部材１４２，１５２は、上記第１の基部材１１０に形成された孔部１１２，１１３に挿入固定される軸部１４２ａ，１５２ａと、この軸部１４２ａ，１５２ａと一体に形成された球受部１４２ｂ，１５２ｂとからなり、この球受部１４２ｂ，１５２ｂは上記球体１４３，１５３を支持する球受面１４２Ａ，１５２Ａを備えている。これら球受面１４２Ａ，１５２Ａの形状は、互いに異なっている。すなわち、上記球受部材１４２の球受面１４２Ａは、上記支点部１３０における上記球体１３３の中心と上記第１の調整部１４０における上記球体１４３の中心とを結ぶ軸線Ｘに略平行な平面であるのに対し、上記球受部材１５２の球受面１５２Ａは、上記支点部１３０における上記球体１３３の中心と上記第２の調整部１５０における上記球体１５３の中心とを結ぶ軸線Ｙに沿って延びる断面Ｖ字型の溝状に形成されている。
【００３１】
上記保持部材１６０，１７０は、弾性を有する板状部材を断面クランク状に折り曲げ形成されてなり、その一端部は、上記第２の基部材１２０に形成されたネジ孔１２８，１２９にそれぞれ螺合保持された取付ネジ１６１，１７１により、第２の基部材１２０に固定されている。また、この保持部材１６０，１７０の他端部には、上記球体１４３，１５３の径よりも小さい径の孔部１６２，１７２が形成されており、保持部材１６０，１７０は、この孔部１６２，１７２から上記球体１４３，１５３の一部を突出させた状態で、この球体１４３，１５３を、上記球受部材１４２，１５２の球受面１４２Ａ，１５２Ａに自身の弾性により押圧しつつ、調整ネジ１４１，１５１の先端面と当接する位置に保持している。
【００３２】
上述のごとく構成された第１および第２の調整部１４０，１５０は、図１に示すように上記支点部１３０から互いに直交する方向に延びた上記軸線Ｘ，Ｙ上の互いに離れた位置に設けられており、詳しくは後述するが、この２つの軸線Ｘ，Ｙ周りに上記第１および第２の基部材１１０，１２０を相対的に傾動させ、これら第１および第２の基部材１１０，１２０の相対的な傾きを調整できるようになっている。
【００３３】
また、上記傾斜調整装置１００は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０を互いに引き合うように付勢する２つの付勢部材１８０を備えている。この付勢部材１８０は、一端部を上記第１の基部材１１０側に、他端部を上記第２の基部材１２０側に保持されたコイルバネで構成されている。詳しくは、図１に示すように上記第２の基部材１２０には、上記軸線Ｘ，Ｙ方向に互いに離れた２つの位置にバネ座用の孔部１２４が形成されており、この孔部１２４内には、互いに対向するように形成された溝部１２５が設けられている。この対向する溝部１２５間にピン部材１２６が掛け渡されており、このピン部材１２６に上記付勢部材１８０の一端部が係止されている。一方、図２，３に示すように上記第１の基部材１１０には、上記２つの孔部１２４と対向する位置にそれぞれバネ座用の孔部１１４が形成されており、この孔部１１４内には、互いに対向するように形成された溝部１１５が設けられている。この対向する溝部１１５間にピン部材１１６が掛け渡されており、このピン部材１１６に上記付勢部材１８０の他端部が係止されている。
【００３４】
また、図１，図５に示すように上記傾斜調整装置１００は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０の相対的な位置ずれを防止するための位置ずれ防止部材１９０を備えている。この位置ずれ防止部材１９０は、図１に示すように２箇所に配されており、図５に示すようにその一端部１９１は、上記第２の基部材１２０に形成されたネジ穴１１７に螺合保持され、他端部１９２は、上記第２の基部材１２０に形成された孔部１２７内に周囲に間隙を有する状態で挿入されている。この位置ずれ防止部材１９０は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０に何らかの強い力が作用して、これらが相対的に位置ずれを起こした際、上記他端部１９２が上記孔部１２７の内周面と当接することにより、それ以上の位置ずれを防止するようになっている。
【００３５】
＜傾斜調整装置の作用＞
上述したように構成された傾斜調整装置１００は、以下のようにして傾き調整を行なう。まず、上記第１の基部材１１０に対して、上記第２の基部材１２０を上記軸線Ｘ周りに傾動させる場合は、上記軸線Ｙ上に位置する上記第２の調整部１５０の上記調整ネジ１５１を回転させる。調整ネジ１５１は、その先端面１５１Ａを上記球体１５３に摺接させた状態で回転し、そのネジ軸部１５１ａの上記第２の基部材１２０からの突出長を変える。この間、球体１５３は上記保持部材１７０により、上記球受部材１５２の球受面１５２Ａと調整ネジ１５１の先端面１５１Ａとの間に保持される。上記支点部１３０において傾動可能に支持されている第２の基部材１２０は、調整ネジ１５１の軸部１５１ａの突出長が変わることにより、上記軸線Ｘ周りに傾動し、図６に示すように第１の基部材１１０に対する傾きを変える。なお、上記球体１５３は、第１の基部材１１０が上記軸線Ｘ周りに傾動する際、断面Ｖ字型の溝状に形成された上記球受面１５２Ａと接触しつつ、上記軸線Ｙに沿って若干すべり移動する。
【００３６】
一方、上記第１の基部材１１０に対して、上記第２の基部材１２０を上記軸線Ｙ周りに傾動させる場合は、上記軸線Ｘ上に位置する上記第１の調整部１４０の上記調整ネジ１４１を回転させる。調整ネジ１４１は、その先端面１４１Ａを上記球体１４３に摺接させた状態で回転し、そのネジ軸部１４１ａの上記第２の基部材１２０からの突出長を変える。ネジ軸部１４１ａの突出長が変わることにより、第２の基部材１２０は上記軸線Ｙ周りに傾動し、第１の基部材１１０に対する傾きを変える。なお、この傾き調整により第１の基部材１１０が軸線Ｙ周りに傾動する間、上記球体１４３は、上記保持部材１６０により球受面１４２Ａと調整ネジ１４１の先端面１４１Ａとの間に保持されつつ、球受面１４２Ａ上を若干すべり移動する。
【００３７】
従来の傾斜調整装置における、先端部が凸球面に形成されていた調整ネジにおいては、凸球面の中心が調整ネジの軸線上に位置せずに偏心している場合がある。このような偏心した凸球面を上記球受面１５２Ａのように所定方向（軸線Ｙ方向）へのすべり移動のみを許容する球受面に当接させた状態で、調整ネジを回転させると、球受面を上記所定方向と略直交する方向に押圧する力が作用し、この力の作用により２つの基部材が相対的な位置ずれを起こす虞がある。
【００３８】
上記調整ネジ１５１では、その先端面１５１Ａが球体１５３を介して球受面１５２Ａと当接している。球体１５３は調整ネジ１５１と別体に構成されているので、上述したような問題が生じる虞がない。このため、傾斜調整装置１００は、第１および第２の基部材１１０，１２０の相対的な位置ずれを起こすことなく、高精度に傾き調整を行なうことが可能となっている。
【００３９】
なお、上述したように傾斜調整装置１００は、図７に示すように顕微干渉計装置１の前板３に配され、クランプ装置保持具２００を介してクランプ装置３００を保持するように構成されている。クランプ装置３００に光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルールを保持させた状態で、傾斜調整装置１００の傾き調整を行なうことにより、フェルールの傾き調整を高精度に行なうことが可能となっている。
【００４０】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限られず、種々の態様の変更が可能である。
例えば、上記実施形態においては、第１の基部材１１０が顕微干渉計装置１に対し固定されており、調整ネジ１４１，１５１は、この第１の基部材１１０に対向配置された第２の基部材１２０側に設けられているが、２つの基部材のうち一方が固定される態様において、調整ネジを固定された基部材側に配することも可能である。
【００４１】
また、上記実施形態においては、保持部材１６０，１７０が別部材で構成されているが、２つの球体を保持する保持部材を１つの部材で構成するようにしてもよい。
【００４２】
さらに、上記実施形態においては、傾斜調整装置１００は、顕微干渉計装置１において光コネクタ用プラグ内のフェルールの傾き調整を行なうものであるが、本発明の傾斜調整装置は、顕微干渉計装置において他の被検体の傾き調整を行なう場合や、他の測定装置等において用いることが可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の傾斜調整装置によれば、互いに対向配置された２つの基部材の一方から他方に向けて、先端部を突出させた状態で一方の基部材に回転可能に螺合保持された調整ネジと、この調整ネジの先端面と対向するように他方の基部材に設けられた球受面との間に、剛性を有する球体を保持部材で保持して配置したことにより、以下のような効果を奏する。
【００４４】
すなわち、従来の傾斜調整装置における、先端部が凸球面に形成されていた調整ネジにおいて生ずるような、凸球面の中心が調整ネジの軸線上に位置せずに偏心しているために、調整ネジを回転させると２つの基部材が相対的な位置ずれを起こすという虞がなく、傾き調整を高精度に行なうことが可能となる。
【００４５】
また、本発明による顕微干渉計装置によれば、上記特徴を備えた本発明の傾斜調整装置を具備しているので、光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルール等の微小な被検体の傾き調整を高精度に行なうことができる。これにより、フェルール等の微小な被検体の測定解析を安定して行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に傾斜調整装置正面図
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図
【図３】図１におけるＢ−Ｂ線断面図
【図４】図１におけるＣ−Ｃ線断面図
【図５】図１におけるＤ−Ｄ線断面図
【図６】図１に示す傾斜調整装置の作用を示す断面図
【図７】図１に示す傾斜調整装置を具備した顕微干渉計装置の斜視図
【符号の説明】
１ 顕微干渉計装置
２ 底板
３ 前板
４ 後板
５ 隔壁板
６ カバーケース
７ 電源部
８ コントロールボックス
９ コイルバネ
１０ 干渉計本体部
１１ 対物レンズユニット
１２ ピエゾユニット
１３ ハーフミラー・光源ユニット
１４ 結像レンズユニット
１５ ミラーボックス
１６ ＣＣＤカメラユニット
１７ 固定台
１８ フォーカス台
１８ａ 凸部
１９Ａ，１９Ｂ ガイド軸
２０ フォーカス調整ネジ
２１ ネジ軸部
２２ ツマミ部
３０ 電源スイッチ
１００ 傾斜調整装置
１１０ 第１の基部材
１１１〜１１４ 孔部
１１５ 溝部
１１６ ピン部材
１１７ ネジ穴
１２０ 第２の基部材
１２１〜１２４ 孔部
１２５ 溝部
１２６ ピン部材
１２７ 孔部
１２８，１２９ ネジ孔
１３０ 支点部
１３１ 第１の支持部材
１３１Ａ 球受面
１３１ａ 軸部
１３１ｂ 球受部
１３２ 第２の支持部材
１３２Ａ 球受面
１３２ａ 軸部
１３２ｂ 球受部
１３３ 球体
１４０ 第１の調整部
１４１，１５１ 調整ネジ
１４１Ａ，１５１Ａ 先端面
１４１ａ，１５１ａ ネジ軸部
１４１ｂ，１５１ｂ ツマミ部
１４２，１５２ 球受部材
１４２Ａ，１５２Ａ 球受面
１４２ａ，１５２ａ 軸部
１４２ｂ，１５２ｂ 球受部
１４３，１５３ 球体
１４４，１５４ ネジブッシュ
１４４ａ，１５４ａ ネジ孔
１５０ 第２の調整部
１６０，１７０ 保持部材
１６１，１７１ 取付ネジ
１６２，１７２ 孔部
１８０ 付勢部材
１９０ 位置ずれ防止部材
１９１ 一端部
１９２ 他端部
２００ クランプ装置保持具
２１０ 上段部
２２０ 下段部
２２１ 保持用凹部
２３０ 連結部
２４０ 取付ネジ
３００ クランプ装置
Ｆ，Ｂ 方向を示す矢印
Ｘ，Ｙ 軸線
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば顕微干渉計装置（「干渉顕微鏡装置」とも称される）を用いて、光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルールの先端部の形状等を解析する際に、対物レンズ前の所定位置に保持されたフェルールの傾きを調整するためなどに使用される傾斜調整装置およびこの種の傾斜調整装置を具備した顕微干渉計装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光通信に用いられる光ファイバの研究開発が盛んに進められている。この種の光ファイバは、例えば外径１０μｍ程度のコアと、その外周に設けた例えば外径１２５μｍ程度のクラッド層からなり、光ファイバ同士を接続するためにその接続端部にフェルールを備えたものが知られている。
【０００３】
フェルールとは、光ファイバを接続するために光ファイバの端部を保持固定する、光コネクタを構成する円筒状の部品である。フェルールは、その外径の中心部に光ファイバが挿入され接着剤等で固定された後、その先端を鏡面状に研磨されており、２つのフェルールの先端面を突き合わせることによって、それぞれに保持された２つの光ファイバを接続できるように構成されている。
このフェルールの先端面は、光軸に対して直交する平面に研磨されたものや、光軸に対して斜交する平面に研磨されたものが知られているが、最近、フェルールの先端面を突き合わせる際の押圧力により先端面が弾性変形して、フェルール先端面同士の密着性を高め得るように、先端面を球面形状にするＰＣ（ｐｈｉｓｉｃａｌ ｃｏｎｔａｃｔ）研磨が施されたものが注目されている。
【０００４】
ところで、光ファイバ接続に伴う光損失を低減するため、フェルールには高精度な種々の規格がＪＩＳにより定められており、上記ＰＣ研磨が施されたフェルールに対しては、先端面の曲率半径の寸法誤差、フェルールの球状先端面の頂点と光ファイバのコアの中心（ファイバの外形中心）との位置ずれ誤差など、６項目に及ぶμｍオーダの規格が定められている。
【０００５】
作製されたフェルールが、規格に適合しているかどうかを検査するために、顕微干渉計装置が用いられることがある。顕微干渉計装置は、微小な被検体の表面形状や屈折率分布などの位相情報を担持した物体光と、参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察し、この干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の位相情報を得るように構成されている。
このような顕微干渉計装置を用いて、作製されたフェルールの検査を行なう場合、顕微干渉計装置の光軸とフェルールの光軸との相対的な傾きを調整するための傾斜調整装置が必要となる。
【０００６】
従来、このような傾斜調整装置としては、支点部を支点として互いに傾動可能に対向配置された２つの基部材の一方に、先端面を凸球面に形成された調整ネジを、その先端部を他方の基部材に向けて突出させた状態で回転可能に螺合保持させ、この調整ネジを、その先端面を他方の基部材側の受面にすべり移動可能に当接させた状態で回転させて、その突出長を変えることにより２つの基部材の相対的な傾きを調整するように構成されたものが知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の傾斜調整装置には、調整ネジの先端面が凸球面に形成されていることから、次のような問題がある。すなわち、調整ネジ先端の凸球面の中心が調整ネジの軸線上に位置せずに偏心している場合、調整ネジを回転させると凸球面の径中心は調整ネジの軸線周りに回転することになる。このような偏心した凸球面と当接する相手基部材側の受面が、断面Ｖ字型の溝状に形成されているような場合、この受面により凸球面のすべり移動が所定方向（溝の延びる方向）のみに規制されるので、調整ネジを回転させると、受面を上記所定方向と略直交する方向に押圧する力が作用してしまい、このような力の作用により２つの基部材が相対的な位置ずれを起こして、傾き調整に悪影響を及ぼす虞がある。
【０００８】
通常、調整ネジ先端の凸球面の偏心量は微小であり、したがって、凸球面の偏心が原因で起こる、上述したような２つの基部材の相対的な位置ずれ量も微小にとどまると考えられる。しかし、上述したような顕微干渉計装置を用いて上記フェルールの形状測定を行なうような場合には、フェルールの先端部を顕微干渉計装置の対物レンズ前の所定位置に高精度に保持しておく必要があるため、フェルールの傾き調整時に生じる僅かな位置ずれでも測定に多大な悪影響を及ぼしてしまう。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、２つの基部材の相対的な位置ずれを抑制しつつ傾き調整を高精度に行なうことが可能な傾斜調整装置、および傾き調整を必要とする微小な被検体の測定解析を安定して行ない得る顕微干渉計装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の傾斜調整装置は、互いに対向配置された２つの基部材と、該２つの基部材を相対的に傾動可能に支持する支点部と、該支点部を支点として前記２つの基部材を相対的に傾動させるための調整部とを備えてなる傾斜調整装置において、前記調整部は、先端部を前記２つの基部材の一方から他方に向けて突出させた状態で該一方の基部材に回転可能に螺合保持された調整ネジと、該調整ネジの先端面と対向するように前記他方の基部材に設けられた球受面と、前記調整ネジの前記先端面と前記球受面との間に配置される、剛性を有する球体と、前記球体の径よりも小なる内径の孔部を有してなり、前記先端面と前記球受面との間において、該孔部から前記球体の一部が突出する状態となるように配置され、かつ該球体を前記球受面に自身の弾性により押圧することにより、該球体を前記先端面および前記球受面と当接する位置に保持する保持部材とを備えてなり、前記先端面および前記球受面に前記球体を当接させた状態で前記調整ネジを回転させて、該調整ネジの前記一方の基部材からの突出長を変えることにより前記２つの基部材の相対的な傾きを調整するものであることを特徴とするものである。
【００１２】
前記２つの基部材を互いに引き合うように付勢する付勢部材を設けることができる。
【００１３】
前記調整部が、前記支点部から互いに直交する方向に離れた２つの位置にそれぞれ設けられ、該調整部の一方における前記球受面は、前記球体と当接する面が平面状に形成され、該調整部の他方における前記球受面は、前記球体と当接する面が該他方の調整部と前記支点部とを結ぶ方向に延びる断面Ｖ字型の溝状に形成されているようにすることができる。
【００１４】
また、本発明の顕微干渉計装置は、被検体の位相情報を担持した物体光と参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察する顕微干渉計装置において、上述した特徴を有する本発明の傾斜調整装置を具備してなることを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
＜顕微干渉計装置＞
まず、図７を参照しながら、本発明の一実施形態に係る顕微干渉計装置の全体的な構成について説明する。図７は、本発明の一実施形態に係る顕微干渉計装置の一部を破断して示す斜視図である。
図７に示す顕微干渉計装置１は、底板２、前板３（一部破断して図示）、後板４、隔壁板５およびカバーケース６（一部破断して図示）からなる本体筐体内に、電源部７、コントロールボックス８および干渉計本体部１０を備えている。
【００１７】
この干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２、ハーフミラー・光源ユニット１３、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６を備えている。これらのうち、結像レンズユニット１４、ミラーボックス１５およびＣＣＤカメラユニット１６は、隔壁板５に固定された固定台１７に取り付けられており、対物レンズユニット１１、ピエゾユニット１２およびハーフミラー・光源ユニット１３は、フォーカス台１８（一部破断して図示）に取り付けられている。
【００１８】
このフォーカス台１８は、前板３と固定台１７との間において前後方向（図中の矢印ＦおよびＢ方向）に互いに平行な状態で延設された上下２本のガイド軸１９Ａ，１９Ｂ（一部破断して図示）に、前後方向にスライド移動可能に支持されている。また、上記固定台１７と上記フォーカス台１８との間には、コイルバネ９が配されており、上記フォーカス台１８は、このコイルバネ９の弾性により前方（図中の矢印Ｆ方向）に向けて付勢されている。
【００１９】
また、上記前板３には、上記フォーカス台１８を移動させて干渉計本体部１０のフォーカス調整を行なうためのフォーカス調整ネジ２０が設けられている。このフォーカス調整ネジ２０は、前板３に形成された不図示のネジ孔に、自身の軸周りの回転により前後方向に移動可能に螺合するネジ軸部２１と、このネジ軸部２１を回転させるためのツマミ部２２とを備えてなる。このネジ軸部２１の先端面はフォーカス台１８の前面部に設けられた半球状の凸部１８ａに当接している。このためフォーカス調整ネジ２０は、ツマミ部２２を回転させてネジ軸部２１の前板３からの突出長を変えることにより、フォーカス台１８をガイド軸１９Ａ，１９Ｂに沿って前後方向に移動させることが可能となっており、これによりフォーカス調整を行なえるようになっている。
【００２０】
上述したような構成を有する干渉計本体部１０は、対物レンズユニット１１の前方の所定位置に保持された微小な被検体（不図示）に、不図示の光源からの照明光を参照光と分割して照射し、被検体から反射してきた物体光を参照光と干渉させ、その干渉光を結像レンズユニット１４内の結像レンズ系（不図示）を通した後、不図示のＣＣＤ上に干渉縞を結像させる。そして、得られた干渉縞の形状や変化を測定解析することにより、被検体の表面形状の三次元計測や物性の測定を行なえるようになっている。なお、干渉計本体部１０としては、ミロー型やマイケルソン型、リニーク型など種々のタイプのものを用いることが可能である。
【００２１】
また、上記前板３には、傾斜調整装置１００が配されている。この傾斜調整装置１００は、詳しくは後述するが、前板３に固定されたＬ字状の第１の基部材１１０と、この第１の基部材１１０と同様のＬ字状をなし、第１の基部材１１０に対向配置された第２の基部材１２０とを備えている。第２の基部材１２０は、支点部１３０を支点に第１の基部材１１０に対して傾動可能に支持されており、第１および第２の調整部１４０，１５０により、第１の基部材１１０に対する傾きを調整できるようになっている。
【００２２】
この傾斜調整装置１００の第２の基部材１２０には、クランプ装置保持具２００が取り付けられている。クランプ装置保持具２００は、上段部２１０と下段部２２０とそれらを繋ぐ連結部２３０とを有してなり、その上段部２１０を３個の取付ネジ２４０により上記第２の基部材１２０に固定されている。クランプ装置保持具２００の上段部２１０は、対物レンズユニット１１の前面側に位置し、その中央部には、保持用凹部２２１が形成されており、この保持用凹部２２１内に、クランプ装置３００を保持している。このクランプ装置３００は、不図示の光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルールを、図７に示す顕微干渉計装置１の対物レンズユニット１１前の所定位置に保持するためのものである。なお、この他に前板３には、顕微干渉計装置１の電源をオンオフする電源スイッチ３０が設けられている。
【００２３】
＜傾斜調整装置の構成＞
以下、上記傾斜調整装置１００について、図１〜図６を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に係る傾斜調整装置１００の正面図、図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図、図３は図１におけるＢ−Ｂ線断面図、図４は図１におけるＣ−Ｃ線断面図、図５は図１におけるＤ−Ｄ線断面図、図６は傾斜調整装置１００の作用を示す断面図である。なお、図１においては、上記クランプ装置保持具２００を取り付けるためのネジ孔や、図７において図示してある、第１の基部材１１０を顕微干渉計装置１の前板３に固定する際に工具を挿入するために利用される作業用孔等の図示は省略している。
【００２４】
図示した傾斜調整装置１００は、上述したように、互いに対向配置された第１および第２の基部材１１０，１２０と、これら第１および第２の基部材１１０，１２０を相対的に傾動可能に支持する支点部１３０と、この支点部１３０を支点として第１および第２の基部材１１０，１２０を相対的に傾動させるための第１および第２の調整部１４０，１５０とを備えている。
【００２５】
図２および図３に示すように上記支点部１３０は、上記第１の基部材１１０に固定された第１の支持部材１３１と、上記第２の基部材１２０に固定された第２の支持部材１３２と、これら第１および第２の支持部材１３１，１３２間に配置された球体１３３とを備えてなる。
【００２６】
この第１の支持部材１３１は、上記第１の基部材１１０に形成された孔部１１１内に挿入固定される軸部１３１ａと、この軸部１３１ａと一体に形成された球受部１３１ｂとからなり、この球受部１３１ｂは上記球体１３３を支持する円錐面状に形成された球受面１３１Ａを備えている。また、上記第２の支持部材１３２は、上記第２の基部材１２０に形成された孔部１２１内に挿入固定される軸部１３２ａと、この軸部と一体に形成された球受部１３２ｂとからなり、この球受部１３２ｂは上記球体１３３を支持する円錐面状に形成された球受面１３２Ａを備えている。
【００２７】
上記第１および第２の支持部材１３１，１３２は、上記球受面１３１Ａ，球受面１３２Ａが互いに対向するように設けられており、これら球受面１３１Ａ，球受面１３２Ａ間に上記球体１３３を挟み込むように支持することにより、上記支点部１３０は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０を、上記球体１３３を支点として傾動可能に支持している。
【００２８】
また、上記第１および第２の調整部１４０，１５０（第１の調整部１４０については図２を参照、第２の調整部１５０ついては図３および図４を参照）は、上記第２の基部材１２０側に配された調整ネジ１４１，１５１と、上記第１の基部材１１０側に配された球受部材１４２，１５２と、この球受部材１４２，１５２と上記調整ネジ１４１，１５１との間に配された剛性を有する球体１４３，１５３と、この球体１４３，１５３を上記調整ネジ１４１，１５１の各先端面１４１Ａ，１５１Ａと当接する位置に保持する保持部材１６０，１７０とを備えてなる。
【００２９】
上記調整ネジ１４１，１５１は、ネジ軸部１４１ａ，１５１ａと、このネジ軸部１４１ａ，１５１ａを回転させるためのツマミ部１４２ｂ，１５１ｂとからなり、ネジブッシュ１４４，１５４をそれぞれ介して第２の基部材１２０に取り付けられている。これらネジブッシュ１４４，１５４は、上記第２の基部材１２０に形成されたネジ孔１２３，１２４にそれぞれ螺合保持されており、上記調整ネジ１４１，１５１のネジ軸部１４１ａ，１５１ａと螺合するネジ孔１４４ａ，１５４ａを有している。すなわち、上記調整ネジ１４１，１５１は、上記ネジブッシュ１４４，１５４に回転可能に螺合保持されており、上記ツマミ部１４２ｂ，１５１ｂを回転させることによって、上記ネジ軸部１４１ａ，１５１ａの、上記第２の基部材１２０からの突出長を変えることが可能となっている。
【００３０】
上記球受部材１４２，１５２は、上記第１の基部材１１０に形成された孔部１１２，１１３に挿入固定される軸部１４２ａ，１５２ａと、この軸部１４２ａ，１５２ａと一体に形成された球受部１４２ｂ，１５２ｂとからなり、この球受部１４２ｂ，１５２ｂは上記球体１４３，１５３を支持する球受面１４２Ａ，１５２Ａを備えている。これら球受面１４２Ａ，１５２Ａの形状は、互いに異なっている。すなわち、上記球受部材１４２の球受面１４２Ａは、上記支点部１３０における上記球体１３３の中心と上記第１の調整部１４０における上記球体１４３の中心とを結ぶ軸線Ｘに略平行な平面であるのに対し、上記球受部材１５２の球受面１５２Ａは、上記支点部１３０における上記球体１３３の中心と上記第２の調整部１５０における上記球体１５３の中心とを結ぶ軸線Ｙに沿って延びる断面Ｖ字型の溝状に形成されている。
【００３１】
上記保持部材１６０，１７０は、弾性を有する板状部材を断面クランク状に折り曲げ形成されてなり、その一端部は、上記第２の基部材１２０に形成されたネジ孔１２８，１２９にそれぞれ螺合保持された取付ネジ１６１，１７１により、第２の基部材１２０に固定されている。また、この保持部材１６０，１７０の他端部には、上記球体１４３，１５３の径よりも小さい径の孔部１６２，１７２が形成されており、保持部材１６０，１７０は、この孔部１６２，１７２から上記球体１４３，１５３の一部を突出させた状態で、この球体１４３，１５３を、上記球受部材１４２，１５２の球受面１４２Ａ，１５２Ａに自身の弾性により押圧しつつ、調整ネジ１４１，１５１の先端面と当接する位置に保持している。
【００３２】
上述のごとく構成された第１および第２の調整部１４０，１５０は、図１に示すように上記支点部１３０から互いに直交する方向に延びた上記軸線Ｘ，Ｙ上の互いに離れた位置に設けられており、詳しくは後述するが、この２つの軸線Ｘ，Ｙ周りに上記第１および第２の基部材１１０，１２０を相対的に傾動させ、これら第１および第２の基部材１１０，１２０の相対的な傾きを調整できるようになっている。
【００３３】
また、上記傾斜調整装置１００は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０を互いに引き合うように付勢する２つの付勢部材１８０を備えている。この付勢部材１８０は、一端部を上記第１の基部材１１０側に、他端部を上記第２の基部材１２０側に保持されたコイルバネで構成されている。詳しくは、図１に示すように上記第２の基部材１２０には、上記軸線Ｘ，Ｙ方向に互いに離れた２つの位置にバネ座用の孔部１２４が形成されており、この孔部１２４内には、互いに対向するように形成された溝部１２５が設けられている。この対向する溝部１２５間にピン部材１２６が掛け渡されており、このピン部材１２６に上記付勢部材１８０の一端部が係止されている。一方、図２，３に示すように上記第１の基部材１１０には、上記２つの孔部１２４と対向する位置にそれぞれバネ座用の孔部１１４が形成されており、この孔部１１４内には、互いに対向するように形成された溝部１１５が設けられている。この対向する溝部１１５間にピン部材１１６が掛け渡されており、このピン部材１１６に上記付勢部材１８０の他端部が係止されている。
【００３４】
また、図１，図５に示すように上記傾斜調整装置１００は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０の相対的な位置ずれを防止するための位置ずれ防止部材１９０を備えている。この位置ずれ防止部材１９０は、図１に示すように２箇所に配されており、図５に示すようにその一端部１９１は、上記第２の基部材１２０に形成されたネジ穴１１７に螺合保持され、他端部１９２は、上記第２の基部材１２０に形成された孔部１２７内に周囲に間隙を有する状態で挿入されている。この位置ずれ防止部材１９０は、上記第１および第２の基部材１１０，１２０に何らかの強い力が作用して、これらが相対的に位置ずれを起こした際、上記他端部１９２が上記孔部１２７の内周面と当接することにより、それ以上の位置ずれを防止するようになっている。
【００３５】
＜傾斜調整装置の作用＞
上述したように構成された傾斜調整装置１００は、以下のようにして傾き調整を行なう。まず、上記第１の基部材１１０に対して、上記第２の基部材１２０を上記軸線Ｘ周りに傾動させる場合は、上記軸線Ｙ上に位置する上記第２の調整部１５０の上記調整ネジ１５１を回転させる。調整ネジ１５１は、その先端面１５１Ａを上記球体１５３に摺接させた状態で回転し、そのネジ軸部１５１ａの上記第２の基部材１２０からの突出長を変える。この間、球体１５３は上記保持部材１７０により、上記球受部材１５２の球受面１５２Ａと調整ネジ１５１の先端面１５１Ａとの間に保持される。上記支点部１３０において傾動可能に支持されている第２の基部材１２０は、調整ネジ１５１の軸部１５１ａの突出長が変わることにより、上記軸線Ｘ周りに傾動し、図６に示すように第１の基部材１１０に対する傾きを変える。なお、上記球体１５３は、第１の基部材１１０が上記軸線Ｘ周りに傾動する際、断面Ｖ字型の溝状に形成された上記球受面１５２Ａと接触しつつ、上記軸線Ｙに沿って若干すべり移動する。
【００３６】
一方、上記第１の基部材１１０に対して、上記第２の基部材１２０を上記軸線Ｙ周りに傾動させる場合は、上記軸線Ｘ上に位置する上記第１の調整部１４０の上記調整ネジ１４１を回転させる。調整ネジ１４１は、その先端面１４１Ａを上記球体１４３に摺接させた状態で回転し、そのネジ軸部１４１ａの上記第２の基部材１２０からの突出長を変える。ネジ軸部１４１ａの突出長が変わることにより、第２の基部材１２０は上記軸線Ｙ周りに傾動し、第１の基部材１１０に対する傾きを変える。なお、この傾き調整により第１の基部材１１０が軸線Ｙ周りに傾動する間、上記球体１４３は、上記保持部材１６０により球受面１４２Ａと調整ネジ１４１の先端面１４１Ａとの間に保持されつつ、球受面１４２Ａ上を若干すべり移動する。
【００３７】
従来の傾斜調整装置における、先端部が凸球面に形成されていた調整ネジにおいては、凸球面の中心が調整ネジの軸線上に位置せずに偏心している場合がある。このような偏心した凸球面を上記球受面１５２Ａのように所定方向（軸線Ｙ方向）へのすべり移動のみを許容する球受面に当接させた状態で、調整ネジを回転させると、球受面を上記所定方向と略直交する方向に押圧する力が作用し、この力の作用により２つの基部材が相対的な位置ずれを起こす虞がある。
【００３８】
上記調整ネジ１５１では、その先端面１５１Ａが球体１５３を介して球受面１５２Ａと当接している。球体１５３は調整ネジ１５１と別体に構成されているので、上述したような問題が生じる虞がない。このため、傾斜調整装置１００は、第１および第２の基部材１１０，１２０の相対的な位置ずれを起こすことなく、高精度に傾き調整を行なうことが可能となっている。
【００３９】
なお、上述したように傾斜調整装置１００は、図７に示すように顕微干渉計装置１の前板３に配され、クランプ装置保持具２００を介してクランプ装置３００を保持するように構成されている。クランプ装置３００に光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルールを保持させた状態で、傾斜調整装置１００の傾き調整を行なうことにより、フェルールの傾き調整を高精度に行なうことが可能となっている。
【００４０】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限られず、種々の態様の変更が可能である。
例えば、上記実施形態においては、第１の基部材１１０が顕微干渉計装置１に対し固定されており、調整ネジ１４１，１５１は、この第１の基部材１１０に対向配置された第２の基部材１２０側に設けられているが、２つの基部材のうち一方が固定される態様において、調整ネジを固定された基部材側に配することも可能である。
【００４１】
また、上記実施形態においては、保持部材１６０，１７０が別部材で構成されているが、２つの球体を保持する保持部材を１つの部材で構成するようにしてもよい。
【００４２】
さらに、上記実施形態においては、傾斜調整装置１００は、顕微干渉計装置１において光コネクタ用プラグ内のフェルールの傾き調整を行なうものであるが、本発明の傾斜調整装置は、顕微干渉計装置において他の被検体の傾き調整を行なう場合や、他の測定装置等において用いることが可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の傾斜調整装置によれば、互いに対向配置された２つの基部材の一方から他方に向けて、先端部を突出させた状態で一方の基部材に回転可能に螺合保持された調整ネジと、この調整ネジの先端面と対向するように他方の基部材に設けられた球受面との間に、剛性を有する球体を保持部材で保持して配置したことにより、以下のような効果を奏する。
【００４４】
すなわち、従来の傾斜調整装置における、先端部が凸球面に形成されていた調整ネジにおいて生ずるような、凸球面の中心が調整ネジの軸線上に位置せずに偏心しているために、調整ネジを回転させると２つの基部材が相対的な位置ずれを起こすという虞がなく、傾き調整を高精度に行なうことが可能となる。
【００４５】
また、本発明による顕微干渉計装置によれば、上記特徴を備えた本発明の傾斜調整装置を具備しているので、光コネクタ用プラグ内に収容されたフェルール等の微小な被検体の傾き調整を高精度に行なうことができる。これにより、フェルール等の微小な被検体の測定解析を安定して行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に傾斜調整装置正面図
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図
【図３】図１におけるＢ−Ｂ線断面図
【図４】図１におけるＣ−Ｃ線断面図
【図５】図１におけるＤ−Ｄ線断面図
【図６】図１に示す傾斜調整装置の作用を示す断面図
【図７】図１に示す傾斜調整装置を具備した顕微干渉計装置の斜視図
【符号の説明】
１ 顕微干渉計装置
２ 底板
３ 前板
４ 後板
５ 隔壁板
６ カバーケース
７ 電源部
８ コントロールボックス
９ コイルバネ
１０ 干渉計本体部
１１ 対物レンズユニット
１２ ピエゾユニット
１３ ハーフミラー・光源ユニット
１４ 結像レンズユニット
１５ ミラーボックス
１６ ＣＣＤカメラユニット
１７ 固定台
１８ フォーカス台
１８ａ 凸部
１９Ａ，１９Ｂ ガイド軸
２０ フォーカス調整ネジ
２１ ネジ軸部
２２ ツマミ部
３０ 電源スイッチ
１００ 傾斜調整装置
１１０ 第１の基部材
１１１〜１１４ 孔部
１１５ 溝部
１１６ ピン部材
１１７ ネジ穴
１２０ 第２の基部材
１２１〜１２４ 孔部
１２５ 溝部
１２６ ピン部材
１２７ 孔部
１２８，１２９ ネジ孔
１３０ 支点部
１３１ 第１の支持部材
１３１Ａ 球受面
１３１ａ 軸部
１３１ｂ 球受部
１３２ 第２の支持部材
１３２Ａ 球受面
１３２ａ 軸部
１３２ｂ 球受部
１３３ 球体
１４０ 第１の調整部
１４１，１５１ 調整ネジ
１４１Ａ，１５１Ａ 先端面
１４１ａ，１５１ａ ネジ軸部
１４１ｂ，１５１ｂ ツマミ部
１４２，１５２ 球受部材
１４２Ａ，１５２Ａ 球受面
１４２ａ，１５２ａ 軸部
１４２ｂ，１５２ｂ 球受部
１４３，１５３ 球体
１４４，１５４ ネジブッシュ
１４４ａ，１５４ａ ネジ孔
１５０ 第２の調整部
１６０，１７０ 保持部材
１６１，１７１ 取付ネジ
１６２，１７２ 孔部
１８０ 付勢部材
１９０ 位置ずれ防止部材
１９１ 一端部
１９２ 他端部
２００ クランプ装置保持具
２１０ 上段部
２２０ 下段部
２２１ 保持用凹部
２３０ 連結部
２４０ 取付ネジ
３００ クランプ装置
Ｆ，Ｂ 方向を示す矢印
Ｘ，Ｙ 軸線
Claims (4)
- 互いに対向配置された２つの基部材と、該２つの基部材を相対的に傾動可能に支持する支点部と、該支点部を支点として前記２つの基部材を相対的に傾動させるための調整部とを備えてなる傾斜調整装置において、
前記調整部は、
先端部を前記２つの基部材の一方から他方に向けて突出させた状態で該一方の基部材に回転可能に螺合保持された調整ネジと、
該調整ネジの先端面と対向するように前記他方の基部材に設けられた球受面と、
前記調整ネジの前記先端面と前記球受面との間に配置される、剛性を有する球体と、
前記球体の径よりも小なる内径の孔部を有してなり、前記先端面と前記球受面との間において、該孔部から前記球体の一部が突出する状態となるように配置され、かつ該球体を前記球受面に自身の弾性により押圧することにより、該球体を前記先端面および前記球受面と当接する位置に保持する保持部材とを備えてなり、
前記先端面および前記球受面に前記球体を当接させた状態で前記調整ネジを回転させて、該調整ネジの前記一方の基部材からの突出長を変えることにより前記２つの基部材の相対的な傾きを調整するものであることを特徴とする傾斜調整装置。 - 前記２つの基部材を互いに引き合うように付勢する付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の傾斜調整装置。
- 前記調整部が、前記支点部から互いに直交する方向に離れた２つの位置にそれぞれ設けられ、該調整部の一方における前記球受面は、前記球体と当接する面が平面状に形成され、該調整部の他方における前記球受面は、前記球体と当接する面が該他方の調整部と前記支点部とを結ぶ方向に延びる断面Ｖ字型の溝状に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の傾斜調整装置。
- 被検体の位相情報を担持した物体光と参照光とを干渉させて得られる干渉縞を観察する顕微干渉計装置において、
請求項１から３までのいずれか１項記載の傾斜調整装置を具備してなることを特徴とする顕微干渉計装置。
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