JP3942458B2 - 光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置および光ファイバ位置測定装置 - Google Patents
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置および光ファイバ位置測定装置 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、光ファイバ付き多芯および多層コネクタ或いは光ファイバ付き多芯アレーについて、コネクタ或いはアレーの外径に対するファイバ素線のコア中心位置のずれ、すなわちフェルールのコアの偏心量を測定する偏心量測定装置の入射光照明装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フェルールの偏心量の測定は、フェルール単体でのフェルール外径と穴径の偏心を測定し、フェルールの偏心ランク選別を行うことがよく行われている。
また、光ファイバ付き単心フェルールも同様に行われていた。
一方、現在では、光ファイバ通信網の拡充で光ファイバ付きコネクタの使用量は増大している。
また、光ファイバも単心のシングルモードファイバや、多芯のマルチモードファイバと用途により使い分けられている。
一般的な多芯の光ファイバコネクタとしては、図３に示されるような８芯ＭＴコネクタｂや、８芯アレーｄ、３２芯アレーｃが用いられている。
この多芯光ファイバコネクタに使われる光ファイバは、多芯のためにテープファイバがよく使われる。テープファイバは、単心の光ファイバを並列にし、樹脂被覆してテープ状にしたものである。
【０００３】
前記した多芯光ファイバコネクタは、相手側の多芯光ファイバコネクタとの接続するために、その接続に伴う接続損失を極力低減する必要がある。
多芯光ファイバコネクタの接続損失に影響するのは、もちろん部品としてのフェルールの精度も必要であるが、光ファイバを組み込んだ時の光ファイバの伝送路（コア、モードフィールド）の位置がコネクタ同士合っていなければならない。低損失の多芯光ファイバコネクタを実現するためには、多芯光ファイバコネクタの位置を高精度に測定する必要がある。
【０００４】
従来の多芯光ファイバコネクタの偏心量測定装置としては、光ファイバの両端にフェルールを取り付けた多芯光ファイバコネクタについて、位置決め治具に設けられた位置決め穴の中心位置を演算した後、位置決め治具に一方の光コネクタを位置決め穴と光コネクタのガイドピン穴とに位置させ、上方からガイドピンを挿入させて取り付ける。他方の光コネクタを光源に接続し、光源から照明光を入射させ、その状況を位置決め治具上方のＣＣＤカメラで撮像して行う。光源からの照明光は、光ファイバのコア部からＣＣＤカメラにより受光される。演算ユニットでは、ＣＣＤカメラにて受光した光ファイバのコア部からの透過照明光の画像情報と、レーザー測長装置にて検出したステージの位置情報とに基づいてコア部の中心位置を演算する。その後、位置決め穴の中心位置とコア部の中心位置とに基づいて、コア部の偏心量を演算するものである（特開２０００−１３１１８７号公報）。
【０００５】
前記した従来例では、ステージを水平平面内で移動させるパルスモータとその水平平面の位置を検出するレーザー測長装置とが必要である。
さらに、光ファイバの両端にフェルールを取り付けた多芯光ファイバコネクタについては測定できるが、片方がテープファイバのものについては測定できない。片方がテープファイバのものについて、光ファイバに光を入れるためには、樹脂被覆されているために、ファイバを平面に切断しないと光は入らない。
そのためには、通常、ファイバ接続機（スプライサー）で開発された工具を使用する。先ず、被覆をはぎ取り、超硬刃でファイバに傷を付け、応力破断により切断する。被覆がはぎ取られた光ファイバガラスがむき出され、その先端が直角に切られることになる。この部分をバラファイバと呼ぶ。この部分はガラスがむき出しのために、傷が付きやすく、破断しやすい。
【０００６】
このような片方がバラファイバからなる多芯光ファイバコネクタの偏心量測定装置としては、図７に全体図で示されるようなＷＤＭ（Wavelength Division Multiplex）デバイス偏心測定装置が実用に供されている。
検出部は、除振台の下部に投光器を置き、その上部に置かれた石定盤（いしじょうばん。）の上に固定された光学顕微鏡・カメラと、その前面に設けられた測定試料取り付けステージとからなる。
多芯光コネクタを試料取り付けステージにセットし、透過照明光は、バラファイバ側から入射する。
なお、除振台の除振装置は、サーボ式エアーバネ除振方式によるものである。
操作部は、パソコンディスクに、パーソナルコンピュータ、コントローラ、ＣＲＴモニタ、キーボード、マウス、ジョイスティック、プリンタ等を設置したものである。
画像処理系は、パーソナルコンピュータの拡張スロットに組み込み、コントローラを介して、検出部の顕微鏡・カメラ等と接続する。
【０００７】
具体的には、図１に示すように、石定盤上（図示せず。）に対物レンズ１および鏡筒２からなる光学顕微鏡とＣＣＤカメラ３とを固定する（固定手段は図示せず。）。光学顕微鏡には反射照明用光源４が取付けられている。
５は、フェルール単体のための透過光照明用光源である。
対物レンズ１の前面に、Ｘ軸ステージ６、Ｙ軸ステージ７、Ｚ軸ステージ８からなる微動台、およびＸ軸モータ９、Ｙ軸モータ１０、Ｚ軸モータ１１からなるパルスモータ駆動方式によるＸＹＺ軸調整台を固定する。
その上に、Ｘ軸ミラー１２、およびＹ軸ミラー１３を固定したミラー台座を設ける。
Ｘ軸ミラー１２およびＹ軸ミラー１３に対応して、レーザー光を発射してミラーにより反射されたレーザー光を受けるＸ軸センサ１４、およびＹ軸センサ１５を設ける。
ミラー台座上に水平方向（θｚ）調整ステージ（ゴニオステージ）１６、および傾斜２方向（θｘ、θｙ）調整ステージ（傾斜ステージ）１７設け、傾斜ステージ１７に測定試料取り付けステージ１８を固定し、測定試料取り付けステージ１８に測定試料を取付ける試料ホルダー１９を設ける。
測定試料取り付けステージ１８に取付けられた測定試料２０ａであるフェルールの端面は、対物レンズ１の前面に位置する。
ＸＹＺ軸調整台はパルスモータ駆動方式によるものであり、Ｘ軸ステージストローク ±１５ｍｍ、Ｙ軸ステージストローク ±５ｍｍ、Ｚ軸ステージストローク ±５ｍｍのものである。
光学系は、２０倍、１００倍対物レンズ付き顕微鏡である。
検出カメラは１／３インチＣＣＤカメラ３である。
光源からの照明光は、図８に示されるように、石定盤上に固定された台座（図示せず。）の上に、除振台下部の投光器からファイバーライトガイド方式により光を導入するファイバ入射光照明部２５を固定し、その前面に上下から平板で挟み込むタイプのテープファイバホルダ（図番を表示せず。）により固定する。
片方がバラファイバからなる多芯光ファイバコネクタの偏心量を測定するに際しては、多芯光ファイバ付きコネクタまたは多芯光ファイバ付きファイバアレーを測定試料取り付けステージ１８上に載置し、試料ホルダー１９により固定する。一方、片方のバラファイバをテープファイバホルダにより固定する。
【０００８】
実際の測定方法の概略は、
１．図７左側の操作部のメイン電源スイッチをＯＮにする。
２．次いで、パソコンの電源をＯＮにする。
３．Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）が起動したら、ディスクトップのＷＤＭデバイス偏心量測定システムのアイコンを選択し、システムを起動させる。
４．ステージ初期化メッセージボックスが表示される。
このシステムでは、ステージの初期化は、特に必要ないので、通常は「いいえ」を選択する。
「はい」を選択すると、初期化が始まり、ステージが移動するので、対物レンズ等に接触しないように注意する。
５．次いで、メッセージボックスが表示され、レーザー干渉測長機の測定準備待ちになる。レーザーが安定したことを確認し、メッセージに従って操作する。
６．ＷＤＭデバイス偏心量測定システムが起動し、メインウインドウが開く。
７．プログラムデータがファイルに保存されてある場合は、プログラムデータの読み込み、ない場合は、プログラムデータの作成を行う。
８．メニューのパラメーターユーザー設定画面で、ユーザー設定ダイアログボックスを開き、各設定やデータ出力設定を確認する。
９．ワークをセットし、アライメント調整を行う。
１０．左ガイド穴のコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「左ガイド穴」でガイド穴の位置を決定する。
１１．１列目の左端にあるコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「参照点Ａ設定」でフォーカス参照点を決定する。
１２．１列目の右端にあるコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「参照点Ｂ設定」でフォーカス参照点を決定する。
１３．２次元ＭＴフェルールの場合、最終列の右端にあるコアが、画面の巾央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「参照点Ｃ設定」でフォーカス参照点を決定する。
１４．右ガイド穴のコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「右ガイド穴」でガイド穴の位置を決定する。
１５メニューの測定画面において、「測定開始」ボタンで測定を開始する。
１６．測定終了後、必要に応じて測定結果、グラフをファイルに保存する。
１７．９〜１６を繰り返す。
（注：１０〜１４は順不同である。）
【０００９】
前記公開公報記載の従来例と前記従来例とを比較すると、
精度に関して、公報記載の測定装置は、精密微動台とリニアセンサとの組み合わせで寸法精度を出している。
これに対して、前記従来例の測定装置は、Ｘ軸、Ｙ軸ミラー（平面鏡）とレーザセンサー測長機との組み合わせで、移動の面精度を出している。
このために、前記従来例の測定装置は、公報記載の測定装置に比較して、精度が高い。
【００１０】
部品の価格と製造の難易さに関して、公報記載の測定装置は、微動台の精度で測定精度の限界が出る。また、さらに高精度の微動台を求めて組み合わせると高価となる上に、０．１μｍの精度を保証するには製作が困難である。
これに対して、前記従来例の測定装置は、ミラーにより平面精度が簡単に得られ、レーザー測長により微動台の動き補正を行うことができるので、安価な微動台でも高精度の測定が可能である。
【００１１】
二次元平面の測定に関して、公報記載の測定装置は、Ｙ軸のみの直線的な測定しか記載されていない。
これに対して、前記従来例の測定装置は、ミラーを直角に組み合わせ、平面移動の測長をレーザ測長機ために、平面の位置測定がレーザー測長機の精度で行える。さらに、単に一列になったコネクタのみならず、平面に層をなしている多層型コネクタの測定も行える。
【００１２】
しかし、前記従来例においては、図８に示すように、光源からの照明光を導入する際に、テープファイバホルダの押さえが一つであり、さらに、押さえる部分がファイバの樹脂被覆部分とバラファイバ部分とになるために、個々のファイバを平面に均一に押さえることができなかった。
さらに、テープファイバを数本まとめて押さえるために、各テープファイバを光源に対して直角に置くことは難しかった。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、光ファイバ付き多芯および多層コネクタ或いは多芯アレーのコアの偏心量を測定する偏心量測定装置において、多芯線からなるバラファイバに安定して光を入れることができる治具を提供することである。
また、治具を取り替えることにより、多芯コネクタまたは多芯アレーにも対応できるようにすることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光ファイバ付き多芯および多層コネクタ或いは多芯アレーのコアの偏心量を測定するための入射光照明装置は、台座上にファイバ台にテープファイバのバラファイバ部分を押しつけ、テープファイバの樹脂被覆部をテープ毎に押さえつける構造を取っている。
また、テープファイバの樹脂被覆部を載置する整列ホルダは、ファイバ台に対して上向きに傾斜しており、この部分を押さえることにより、ファイバに適当な曲がりを付けることができ、バラファイバ部分をファイバ台に平面的に押しつけることができる。
また、整列ホルダには、中央部にテープファイバに平行に溝を設けることにより、ファイバ入射光照明部２１のフラットバンドル２９に直角にテープファイバを置くことができる。こうすることにより、多芯テープファイバに均一な入射光が得られる。
一方、両端にコネクタやアレーが付いている場合にも、コネクタやアレーを取り付けることができる部品を取り替えることにより、対応できて、使用できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
具体的には、本発明に係る第１の発明は、測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状に対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置である。
【００１６】
第２の発明は、測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状がバラファイバの場合、
該保持具は、バラファイバを載置するファイバ台と、
樹脂被覆テープファイバを載置する整列ホルダとからなり、
整列ホルダは、ファイバ台から上向きに傾斜した面を有し、その面の中央部にはテープファイバと平行に複数本の溝を設け、溝部の上方からテープファイバを押さえる個別クランプを複数個設け、さらに、テープファイバの根本を押さえる全体クランプとを設けたものであり、
前記バラファイバに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置である。
【００１７】
第３の発明は、測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が多芯コネクタ或いは多芯アレーの場合、
該保持具は、Ｌ型平板状台と、
Ｌ型平板状台の立ち上がり部の上面に、多芯コネクタ或いは多芯アレーを載せる載置部材を設け、
該載置部材の両端に支柱を設け、支柱には上部に梁を渡してなり、
該載置部材には、多芯コネクタ或いは多芯アレーの形状に対応した複数個の切り欠きを設け、
該梁には、連結部材をとおして、押圧部材と上部の押さえハンドルとからなる固定部材を複数個設けたものであり、
前記多芯コネクタ或いは多芯アレーに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置である。
【００１８】
第４の発明は、石定盤上に対物レンズおよび鏡筒からなる光学顕微鏡とＣＣＤカメラとを固定し、
その前面に、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、Ｚ軸ステージ、およびＸ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータからなるパルスモータ駆動方式によるＸＹＺ軸調整台を固定し、その上に、Ｘ軸ミラーおよびＹ軸ミラーを取り付ける台座を固定し、
さらにその上に水平方向調整ステージ、傾斜２方向調整ステージ、測定試料取り付けステージを固定し、
測定試料取り付けステージに試料ホルダーを設け、
測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に設けた試料ホルダに、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が、バラファイバ、多芯コネクタ或いは多芯アレーであっても、それらに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置した入射光照明装置を有することを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における光ファイバ位置測定装置である。
【００１９】
【実施例１】
以下に、本発明を図面に基づき実施の形態例を詳細に説明する。
図１は、本発明の実施例１に係る多芯コネクタおよび多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置の要部と、入射光照明装置の要部とを示す斜視図であって、１〜１９、および２０ａは、前記と同様である。
実施例１の入射光照明装置の要部を、さらに図２に示す。
石定盤（図示せず。）の上に保持具を取り替え可能に載置する台座２３を固定し、台座２３の一方には、Ｚ軸微動台２４を固定し、その上にファイバ入射光照明部２５を固定する。なお、２６は入射光照明部２５の光放射口にあたるフラットバンドルである。
台座２３には、Ｚ軸微動台２４側に位置決めストッパー２７を形成すると共に、保持具を着脱自在に保持するために、複数個の磁石２８を埋設する。
図２には、４個の磁石２８が埋設されている。
実施例１は、光ファイバ２１付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状がバラファイバ２２の場合に使用する保持具Ａを台座２３上に取り替え可能に設置する入射光照明装置の例である。
該保持具Ａは、バラファイバ２２を載置するファイバ台２９と、樹脂被覆テープファイバ２１を載置する整列ホルダ３０とからなり、
整列ホルダ３０は、ファイバ台２９から上向きに傾斜した面を有し、その面の中央部にはテープファイバ２１と平行に複数本の溝を設け、溝部の上方からテープファイバ２１を押さえる個別クランプ３１を複数個設け、さらに、テープファイバの根本を押さえる全体クランプ３２とを設けたものである。
個別クランプ３１は、ファイバ台２９の両側面から立ち上がる支柱３３に形成された個別クランプ３１支持具３４に複数個回転自在に取り付けられる。図２の例では６個の個別クランプ３１が取り付けられている。個別クランプ３１の光ファイバ押さえ部には、テープファイバ２１に当たる面に緩衝材３５を取り付け、その内側には磁石３６を挿入している。
全体クランプ３２は、整列ホルダ３０の側面に回転自在に取り付けられ、テープファイバ２１に当たる面に緩衝材３７を取り付け、その内側には磁石３８ａ、３８ｂを挿入している。
【００２０】
実施例１の保持具Ａを設置したテープファイバ入射光照明装置は、整列ホルダ３０がファイバ台２９に対して傾斜している構造のために、テープファイバ２１は整列ホルダ３０に載置されてテープファイバ２１の樹脂被覆部分を個別クランプ３１と全体クランプ３２との２箇所押さえつけることにより、テープファイバ２１に適当な曲がりを付ける力が働き、テープファイバ２１先端のバラファイバ２２をファイバ台に平面的に押さえつけることができる。
【００２１】
また、整列ホルダの中央部からファイバ台に向かって溝を形成したために、光源のファイバ入射光照明部２１のフラットバンドル２６に直角にテープファイバを置くことができる。
実施例１の保持具Ａの構造をこのようにすることにより、多芯ファイバに均一な入射光がえられる。
この保持具Ａを使用して測定する手順は、従来例において説明した測定方法と同じである。
【００２２】
【実施例２】
実施例２は、光ファイバ２１付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂの場合に使用する保持具Ｂを台座２３上に取り替え可能に設置する入射光照明装置の例である。
該保持具Ｂを台座２３上に載置した入射光照明装置の斜視図を図３に示す。
実施例２の入射光照明装置の要部を図４に、台座側の図番を省略して示す。
該保持具Ｂは、テープファイバ２１を置くＬ型平板状のテープファイバ台３９と、Ｌ型平板状台の立ち上がり部の上面に、多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂの形状に対応して、と一致するように切り欠き溝を複数個設けたコネクタ或いはアレー載置部材４０を設け、該載置部材の両端に支柱を設け、支柱には上部に上辺が下辺より短い台形状の梁を渡したコ字状の取り付け部材４１とからなり、該梁の部分には、下部の押圧部材４２と上部の押さえハンドル４３とを連結する連結部材４４を通したものである。
押圧部材４２には、多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂに当たる部分に緩衝部材４５を設けたものである。
押さえハンドル４３は、梁の形状に一致する切り込みを設け、その内側に磁石４６を埋設したものである。
この様な形状にすることにより、押さえハンドル４３の切り込みが梁に一致した状態が下方位置になり、押圧部材４２が多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂを押さえる。そして、押さえハンドル４３を上方から９０°回転させると、押さえハンドル４３の切り込みの先端が梁の表面に当たって、上方位置になり、多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂを取り外すことができる。
【００２３】
片側がバラファイバである多芯コネクタ或いは多芯アレーを測定しているときに、測定対象が、両端に多芯コネクタ或いは多芯アレーが付いているテープファイバに換わった場合でも、保持具Ａを保持具Ｂに取り替え、実施例２の保持具Ｂを設置したテープファイバ入射光照明装置にすることにより、素速く対応して測定できる。
また、保持具Ｂのコネクタ或いはアレー載置部材４０の切り欠き溝を複数用意しておけば、大きさ形状の異なる多芯コネクタ或いは多芯アレーにも対応できる。この保持具Ｂを使用して測定する手順は、従来例において説明した測定方法と同じである。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明の入射光照明装置によれば、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレー測定時に、テープファイバの多芯線からなる光ファイバに安定して均一な入射光が得られる。また、保持具を取り替えるという簡単な操作で、多種類の製品に対応でき、しかも経済的な方法で解決した。
このような参照光入射方式を採用したことで、今後増えると考えられる図５ａに示される３２芯多層コネクタに対しても対応できる上に、さらにその先に検討されている６４芯多層コネクタに対しても対応できるので、光通信用多芯・多層コネクタの偏心量測定装置の活用分野が広がり、光コネクタの特性向上、開発に役立つものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る多芯コネクタ或いは多芯ファイバーアレーの偏心量測定装置の要部と、保持具Ａを台座２３に取り付けた状態の入射光照明装置の要部とを示す斜視図
【図２】本発明の実施例１に係る入射光照明装置の要部を、保持具Ａを台座２３から取り外した状態で示す斜視図である。
【図３】本発明の実施例２に係る入射光照明装置を、保持具Ｂを台座２３に取り付けた状態で示す斜視図である。
【図４】本発明の実施例２に係る入射光照明装置の要部を、保持具Ｂを台座２３から取り外した状態で示す斜視図である。
【図５】本発明の光ファイバ位置測定装置が測定対象とする多芯コネクタとファイバーアレーを示す説明図である。ａ：今後増えると考えられる３２芯コネクタｂ：従来品の８芯ＭＴコネクタｃ：現在使用されている３２アレーｄ：従来品の８芯アレー
【図６】ＷＤＭデバイス偏心量測定装置のシステム全体機構を示す説明図である。
【図７】ＷＤＭデバイス偏心量測定装置の全体を示す正面図である。
【図８】従来のＷＤＭデバイス偏心量測定装置におけるファイバ入射光照明装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 対物レンズ
２ 鏡筒
３ ＣＣＤカメラ
４ 反射照明用光源
５ 透過光照明用光源
６ Ｘ軸ステージ（微動台）
７ Ｙ軸ステージ（微動台）
８ Ｚ軸ステージ（微動台）
９ Ｘ軸モータ
１０ Ｙ軸モータ
１１ Ｚ軸モータ
１２ Ｘ軸ミラー
１３ Ｙ軸ミラー
１４ Ｘ軸センサ
１５ Ｙ軸センサ
１６ 水平方向（θｚ）調整ステージ（ゴニオステージ）
１７ 傾斜２方向（θｘ、θｙ）調整ステージ（傾斜ステージ）
１８ 測定試料取付ステージ
１９ 試料ホルダー
２０ａ 測定試料
２０ｂ 光ファイバ付き測定試料の反対側（入射光側）のフェルール
２１ テープファイバ
２２ バラファイバ
２３ 台座
２４ Ｚ軸微動台
２５ ファイバ入射光照明部
２６ フラットバンドル
２７ 位置決めストッパ
２８ 磁石
２９ ファイバ台
３０ 整列ホルダ
３１ 個別クランプ
３２ 全体クランプ
３３ 個別クランプ支柱
３４ 個別クランプ支持具
３５ 緩衝部材
３６ 磁石
３７ 緩衝部材
３８ａ、３８ｂ 磁石
３９ Ｌ型平板状台
４０ コネクタホルダ（フェルール載置台）
４１ コ字状の取り付け部材
４２ 押圧部材
４３ 押さえハンドル
４４ 連結部材
４５ 緩衝部材
４６ 磁石
【発明が属する技術分野】
本発明は、光ファイバ付き多芯および多層コネクタ或いは光ファイバ付き多芯アレーについて、コネクタ或いはアレーの外径に対するファイバ素線のコア中心位置のずれ、すなわちフェルールのコアの偏心量を測定する偏心量測定装置の入射光照明装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フェルールの偏心量の測定は、フェルール単体でのフェルール外径と穴径の偏心を測定し、フェルールの偏心ランク選別を行うことがよく行われている。
また、光ファイバ付き単心フェルールも同様に行われていた。
一方、現在では、光ファイバ通信網の拡充で光ファイバ付きコネクタの使用量は増大している。
また、光ファイバも単心のシングルモードファイバや、多芯のマルチモードファイバと用途により使い分けられている。
一般的な多芯の光ファイバコネクタとしては、図３に示されるような８芯ＭＴコネクタｂや、８芯アレーｄ、３２芯アレーｃが用いられている。
この多芯光ファイバコネクタに使われる光ファイバは、多芯のためにテープファイバがよく使われる。テープファイバは、単心の光ファイバを並列にし、樹脂被覆してテープ状にしたものである。
【０００３】
前記した多芯光ファイバコネクタは、相手側の多芯光ファイバコネクタとの接続するために、その接続に伴う接続損失を極力低減する必要がある。
多芯光ファイバコネクタの接続損失に影響するのは、もちろん部品としてのフェルールの精度も必要であるが、光ファイバを組み込んだ時の光ファイバの伝送路（コア、モードフィールド）の位置がコネクタ同士合っていなければならない。低損失の多芯光ファイバコネクタを実現するためには、多芯光ファイバコネクタの位置を高精度に測定する必要がある。
【０００４】
従来の多芯光ファイバコネクタの偏心量測定装置としては、光ファイバの両端にフェルールを取り付けた多芯光ファイバコネクタについて、位置決め治具に設けられた位置決め穴の中心位置を演算した後、位置決め治具に一方の光コネクタを位置決め穴と光コネクタのガイドピン穴とに位置させ、上方からガイドピンを挿入させて取り付ける。他方の光コネクタを光源に接続し、光源から照明光を入射させ、その状況を位置決め治具上方のＣＣＤカメラで撮像して行う。光源からの照明光は、光ファイバのコア部からＣＣＤカメラにより受光される。演算ユニットでは、ＣＣＤカメラにて受光した光ファイバのコア部からの透過照明光の画像情報と、レーザー測長装置にて検出したステージの位置情報とに基づいてコア部の中心位置を演算する。その後、位置決め穴の中心位置とコア部の中心位置とに基づいて、コア部の偏心量を演算するものである（特開２０００−１３１１８７号公報）。
【０００５】
前記した従来例では、ステージを水平平面内で移動させるパルスモータとその水平平面の位置を検出するレーザー測長装置とが必要である。
さらに、光ファイバの両端にフェルールを取り付けた多芯光ファイバコネクタについては測定できるが、片方がテープファイバのものについては測定できない。片方がテープファイバのものについて、光ファイバに光を入れるためには、樹脂被覆されているために、ファイバを平面に切断しないと光は入らない。
そのためには、通常、ファイバ接続機（スプライサー）で開発された工具を使用する。先ず、被覆をはぎ取り、超硬刃でファイバに傷を付け、応力破断により切断する。被覆がはぎ取られた光ファイバガラスがむき出され、その先端が直角に切られることになる。この部分をバラファイバと呼ぶ。この部分はガラスがむき出しのために、傷が付きやすく、破断しやすい。
【０００６】
このような片方がバラファイバからなる多芯光ファイバコネクタの偏心量測定装置としては、図７に全体図で示されるようなＷＤＭ（Wavelength Division Multiplex）デバイス偏心測定装置が実用に供されている。
検出部は、除振台の下部に投光器を置き、その上部に置かれた石定盤（いしじょうばん。）の上に固定された光学顕微鏡・カメラと、その前面に設けられた測定試料取り付けステージとからなる。
多芯光コネクタを試料取り付けステージにセットし、透過照明光は、バラファイバ側から入射する。
なお、除振台の除振装置は、サーボ式エアーバネ除振方式によるものである。
操作部は、パソコンディスクに、パーソナルコンピュータ、コントローラ、ＣＲＴモニタ、キーボード、マウス、ジョイスティック、プリンタ等を設置したものである。
画像処理系は、パーソナルコンピュータの拡張スロットに組み込み、コントローラを介して、検出部の顕微鏡・カメラ等と接続する。
【０００７】
具体的には、図１に示すように、石定盤上（図示せず。）に対物レンズ１および鏡筒２からなる光学顕微鏡とＣＣＤカメラ３とを固定する（固定手段は図示せず。）。光学顕微鏡には反射照明用光源４が取付けられている。
５は、フェルール単体のための透過光照明用光源である。
対物レンズ１の前面に、Ｘ軸ステージ６、Ｙ軸ステージ７、Ｚ軸ステージ８からなる微動台、およびＸ軸モータ９、Ｙ軸モータ１０、Ｚ軸モータ１１からなるパルスモータ駆動方式によるＸＹＺ軸調整台を固定する。
その上に、Ｘ軸ミラー１２、およびＹ軸ミラー１３を固定したミラー台座を設ける。
Ｘ軸ミラー１２およびＹ軸ミラー１３に対応して、レーザー光を発射してミラーにより反射されたレーザー光を受けるＸ軸センサ１４、およびＹ軸センサ１５を設ける。
ミラー台座上に水平方向（θｚ）調整ステージ（ゴニオステージ）１６、および傾斜２方向（θｘ、θｙ）調整ステージ（傾斜ステージ）１７設け、傾斜ステージ１７に測定試料取り付けステージ１８を固定し、測定試料取り付けステージ１８に測定試料を取付ける試料ホルダー１９を設ける。
測定試料取り付けステージ１８に取付けられた測定試料２０ａであるフェルールの端面は、対物レンズ１の前面に位置する。
ＸＹＺ軸調整台はパルスモータ駆動方式によるものであり、Ｘ軸ステージストローク ±１５ｍｍ、Ｙ軸ステージストローク ±５ｍｍ、Ｚ軸ステージストローク ±５ｍｍのものである。
光学系は、２０倍、１００倍対物レンズ付き顕微鏡である。
検出カメラは１／３インチＣＣＤカメラ３である。
光源からの照明光は、図８に示されるように、石定盤上に固定された台座（図示せず。）の上に、除振台下部の投光器からファイバーライトガイド方式により光を導入するファイバ入射光照明部２５を固定し、その前面に上下から平板で挟み込むタイプのテープファイバホルダ（図番を表示せず。）により固定する。
片方がバラファイバからなる多芯光ファイバコネクタの偏心量を測定するに際しては、多芯光ファイバ付きコネクタまたは多芯光ファイバ付きファイバアレーを測定試料取り付けステージ１８上に載置し、試料ホルダー１９により固定する。一方、片方のバラファイバをテープファイバホルダにより固定する。
【０００８】
実際の測定方法の概略は、
１．図７左側の操作部のメイン電源スイッチをＯＮにする。
２．次いで、パソコンの電源をＯＮにする。
３．Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）が起動したら、ディスクトップのＷＤＭデバイス偏心量測定システムのアイコンを選択し、システムを起動させる。
４．ステージ初期化メッセージボックスが表示される。
このシステムでは、ステージの初期化は、特に必要ないので、通常は「いいえ」を選択する。
「はい」を選択すると、初期化が始まり、ステージが移動するので、対物レンズ等に接触しないように注意する。
５．次いで、メッセージボックスが表示され、レーザー干渉測長機の測定準備待ちになる。レーザーが安定したことを確認し、メッセージに従って操作する。
６．ＷＤＭデバイス偏心量測定システムが起動し、メインウインドウが開く。
７．プログラムデータがファイルに保存されてある場合は、プログラムデータの読み込み、ない場合は、プログラムデータの作成を行う。
８．メニューのパラメーターユーザー設定画面で、ユーザー設定ダイアログボックスを開き、各設定やデータ出力設定を確認する。
９．ワークをセットし、アライメント調整を行う。
１０．左ガイド穴のコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「左ガイド穴」でガイド穴の位置を決定する。
１１．１列目の左端にあるコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「参照点Ａ設定」でフォーカス参照点を決定する。
１２．１列目の右端にあるコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「参照点Ｂ設定」でフォーカス参照点を決定する。
１３．２次元ＭＴフェルールの場合、最終列の右端にあるコアが、画面の巾央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「参照点Ｃ設定」でフォーカス参照点を決定する。
１４．右ガイド穴のコアが、画面の中央に来るようにステージを移動し、測定座標ウィンドウ上のボタン、「右ガイド穴」でガイド穴の位置を決定する。
１５メニューの測定画面において、「測定開始」ボタンで測定を開始する。
１６．測定終了後、必要に応じて測定結果、グラフをファイルに保存する。
１７．９〜１６を繰り返す。
（注：１０〜１４は順不同である。）
【０００９】
前記公開公報記載の従来例と前記従来例とを比較すると、
精度に関して、公報記載の測定装置は、精密微動台とリニアセンサとの組み合わせで寸法精度を出している。
これに対して、前記従来例の測定装置は、Ｘ軸、Ｙ軸ミラー（平面鏡）とレーザセンサー測長機との組み合わせで、移動の面精度を出している。
このために、前記従来例の測定装置は、公報記載の測定装置に比較して、精度が高い。
【００１０】
部品の価格と製造の難易さに関して、公報記載の測定装置は、微動台の精度で測定精度の限界が出る。また、さらに高精度の微動台を求めて組み合わせると高価となる上に、０．１μｍの精度を保証するには製作が困難である。
これに対して、前記従来例の測定装置は、ミラーにより平面精度が簡単に得られ、レーザー測長により微動台の動き補正を行うことができるので、安価な微動台でも高精度の測定が可能である。
【００１１】
二次元平面の測定に関して、公報記載の測定装置は、Ｙ軸のみの直線的な測定しか記載されていない。
これに対して、前記従来例の測定装置は、ミラーを直角に組み合わせ、平面移動の測長をレーザ測長機ために、平面の位置測定がレーザー測長機の精度で行える。さらに、単に一列になったコネクタのみならず、平面に層をなしている多層型コネクタの測定も行える。
【００１２】
しかし、前記従来例においては、図８に示すように、光源からの照明光を導入する際に、テープファイバホルダの押さえが一つであり、さらに、押さえる部分がファイバの樹脂被覆部分とバラファイバ部分とになるために、個々のファイバを平面に均一に押さえることができなかった。
さらに、テープファイバを数本まとめて押さえるために、各テープファイバを光源に対して直角に置くことは難しかった。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、光ファイバ付き多芯および多層コネクタ或いは多芯アレーのコアの偏心量を測定する偏心量測定装置において、多芯線からなるバラファイバに安定して光を入れることができる治具を提供することである。
また、治具を取り替えることにより、多芯コネクタまたは多芯アレーにも対応できるようにすることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光ファイバ付き多芯および多層コネクタ或いは多芯アレーのコアの偏心量を測定するための入射光照明装置は、台座上にファイバ台にテープファイバのバラファイバ部分を押しつけ、テープファイバの樹脂被覆部をテープ毎に押さえつける構造を取っている。
また、テープファイバの樹脂被覆部を載置する整列ホルダは、ファイバ台に対して上向きに傾斜しており、この部分を押さえることにより、ファイバに適当な曲がりを付けることができ、バラファイバ部分をファイバ台に平面的に押しつけることができる。
また、整列ホルダには、中央部にテープファイバに平行に溝を設けることにより、ファイバ入射光照明部２１のフラットバンドル２９に直角にテープファイバを置くことができる。こうすることにより、多芯テープファイバに均一な入射光が得られる。
一方、両端にコネクタやアレーが付いている場合にも、コネクタやアレーを取り付けることができる部品を取り替えることにより、対応できて、使用できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
具体的には、本発明に係る第１の発明は、測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状に対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置である。
【００１６】
第２の発明は、測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状がバラファイバの場合、
該保持具は、バラファイバを載置するファイバ台と、
樹脂被覆テープファイバを載置する整列ホルダとからなり、
整列ホルダは、ファイバ台から上向きに傾斜した面を有し、その面の中央部にはテープファイバと平行に複数本の溝を設け、溝部の上方からテープファイバを押さえる個別クランプを複数個設け、さらに、テープファイバの根本を押さえる全体クランプとを設けたものであり、
前記バラファイバに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置である。
【００１７】
第３の発明は、測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が多芯コネクタ或いは多芯アレーの場合、
該保持具は、Ｌ型平板状台と、
Ｌ型平板状台の立ち上がり部の上面に、多芯コネクタ或いは多芯アレーを載せる載置部材を設け、
該載置部材の両端に支柱を設け、支柱には上部に梁を渡してなり、
該載置部材には、多芯コネクタ或いは多芯アレーの形状に対応した複数個の切り欠きを設け、
該梁には、連結部材をとおして、押圧部材と上部の押さえハンドルとからなる固定部材を複数個設けたものであり、
前記多芯コネクタ或いは多芯アレーに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置である。
【００１８】
第４の発明は、石定盤上に対物レンズおよび鏡筒からなる光学顕微鏡とＣＣＤカメラとを固定し、
その前面に、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、Ｚ軸ステージ、およびＸ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータからなるパルスモータ駆動方式によるＸＹＺ軸調整台を固定し、その上に、Ｘ軸ミラーおよびＹ軸ミラーを取り付ける台座を固定し、
さらにその上に水平方向調整ステージ、傾斜２方向調整ステージ、測定試料取り付けステージを固定し、
測定試料取り付けステージに試料ホルダーを設け、
測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に設けた試料ホルダに、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が、バラファイバ、多芯コネクタ或いは多芯アレーであっても、それらに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置した入射光照明装置を有することを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における光ファイバ位置測定装置である。
【００１９】
【実施例１】
以下に、本発明を図面に基づき実施の形態例を詳細に説明する。
図１は、本発明の実施例１に係る多芯コネクタおよび多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置の要部と、入射光照明装置の要部とを示す斜視図であって、１〜１９、および２０ａは、前記と同様である。
実施例１の入射光照明装置の要部を、さらに図２に示す。
石定盤（図示せず。）の上に保持具を取り替え可能に載置する台座２３を固定し、台座２３の一方には、Ｚ軸微動台２４を固定し、その上にファイバ入射光照明部２５を固定する。なお、２６は入射光照明部２５の光放射口にあたるフラットバンドルである。
台座２３には、Ｚ軸微動台２４側に位置決めストッパー２７を形成すると共に、保持具を着脱自在に保持するために、複数個の磁石２８を埋設する。
図２には、４個の磁石２８が埋設されている。
実施例１は、光ファイバ２１付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状がバラファイバ２２の場合に使用する保持具Ａを台座２３上に取り替え可能に設置する入射光照明装置の例である。
該保持具Ａは、バラファイバ２２を載置するファイバ台２９と、樹脂被覆テープファイバ２１を載置する整列ホルダ３０とからなり、
整列ホルダ３０は、ファイバ台２９から上向きに傾斜した面を有し、その面の中央部にはテープファイバ２１と平行に複数本の溝を設け、溝部の上方からテープファイバ２１を押さえる個別クランプ３１を複数個設け、さらに、テープファイバの根本を押さえる全体クランプ３２とを設けたものである。
個別クランプ３１は、ファイバ台２９の両側面から立ち上がる支柱３３に形成された個別クランプ３１支持具３４に複数個回転自在に取り付けられる。図２の例では６個の個別クランプ３１が取り付けられている。個別クランプ３１の光ファイバ押さえ部には、テープファイバ２１に当たる面に緩衝材３５を取り付け、その内側には磁石３６を挿入している。
全体クランプ３２は、整列ホルダ３０の側面に回転自在に取り付けられ、テープファイバ２１に当たる面に緩衝材３７を取り付け、その内側には磁石３８ａ、３８ｂを挿入している。
【００２０】
実施例１の保持具Ａを設置したテープファイバ入射光照明装置は、整列ホルダ３０がファイバ台２９に対して傾斜している構造のために、テープファイバ２１は整列ホルダ３０に載置されてテープファイバ２１の樹脂被覆部分を個別クランプ３１と全体クランプ３２との２箇所押さえつけることにより、テープファイバ２１に適当な曲がりを付ける力が働き、テープファイバ２１先端のバラファイバ２２をファイバ台に平面的に押さえつけることができる。
【００２１】
また、整列ホルダの中央部からファイバ台に向かって溝を形成したために、光源のファイバ入射光照明部２１のフラットバンドル２６に直角にテープファイバを置くことができる。
実施例１の保持具Ａの構造をこのようにすることにより、多芯ファイバに均一な入射光がえられる。
この保持具Ａを使用して測定する手順は、従来例において説明した測定方法と同じである。
【００２２】
【実施例２】
実施例２は、光ファイバ２１付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂの場合に使用する保持具Ｂを台座２３上に取り替え可能に設置する入射光照明装置の例である。
該保持具Ｂを台座２３上に載置した入射光照明装置の斜視図を図３に示す。
実施例２の入射光照明装置の要部を図４に、台座側の図番を省略して示す。
該保持具Ｂは、テープファイバ２１を置くＬ型平板状のテープファイバ台３９と、Ｌ型平板状台の立ち上がり部の上面に、多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂの形状に対応して、と一致するように切り欠き溝を複数個設けたコネクタ或いはアレー載置部材４０を設け、該載置部材の両端に支柱を設け、支柱には上部に上辺が下辺より短い台形状の梁を渡したコ字状の取り付け部材４１とからなり、該梁の部分には、下部の押圧部材４２と上部の押さえハンドル４３とを連結する連結部材４４を通したものである。
押圧部材４２には、多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂに当たる部分に緩衝部材４５を設けたものである。
押さえハンドル４３は、梁の形状に一致する切り込みを設け、その内側に磁石４６を埋設したものである。
この様な形状にすることにより、押さえハンドル４３の切り込みが梁に一致した状態が下方位置になり、押圧部材４２が多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂを押さえる。そして、押さえハンドル４３を上方から９０°回転させると、押さえハンドル４３の切り込みの先端が梁の表面に当たって、上方位置になり、多芯コネクタ２０ｂ或いは多芯アレー２０ｂを取り外すことができる。
【００２３】
片側がバラファイバである多芯コネクタ或いは多芯アレーを測定しているときに、測定対象が、両端に多芯コネクタ或いは多芯アレーが付いているテープファイバに換わった場合でも、保持具Ａを保持具Ｂに取り替え、実施例２の保持具Ｂを設置したテープファイバ入射光照明装置にすることにより、素速く対応して測定できる。
また、保持具Ｂのコネクタ或いはアレー載置部材４０の切り欠き溝を複数用意しておけば、大きさ形状の異なる多芯コネクタ或いは多芯アレーにも対応できる。この保持具Ｂを使用して測定する手順は、従来例において説明した測定方法と同じである。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明の入射光照明装置によれば、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレー測定時に、テープファイバの多芯線からなる光ファイバに安定して均一な入射光が得られる。また、保持具を取り替えるという簡単な操作で、多種類の製品に対応でき、しかも経済的な方法で解決した。
このような参照光入射方式を採用したことで、今後増えると考えられる図５ａに示される３２芯多層コネクタに対しても対応できる上に、さらにその先に検討されている６４芯多層コネクタに対しても対応できるので、光通信用多芯・多層コネクタの偏心量測定装置の活用分野が広がり、光コネクタの特性向上、開発に役立つものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る多芯コネクタ或いは多芯ファイバーアレーの偏心量測定装置の要部と、保持具Ａを台座２３に取り付けた状態の入射光照明装置の要部とを示す斜視図
【図２】本発明の実施例１に係る入射光照明装置の要部を、保持具Ａを台座２３から取り外した状態で示す斜視図である。
【図３】本発明の実施例２に係る入射光照明装置を、保持具Ｂを台座２３に取り付けた状態で示す斜視図である。
【図４】本発明の実施例２に係る入射光照明装置の要部を、保持具Ｂを台座２３から取り外した状態で示す斜視図である。
【図５】本発明の光ファイバ位置測定装置が測定対象とする多芯コネクタとファイバーアレーを示す説明図である。ａ：今後増えると考えられる３２芯コネクタｂ：従来品の８芯ＭＴコネクタｃ：現在使用されている３２アレーｄ：従来品の８芯アレー
【図６】ＷＤＭデバイス偏心量測定装置のシステム全体機構を示す説明図である。
【図７】ＷＤＭデバイス偏心量測定装置の全体を示す正面図である。
【図８】従来のＷＤＭデバイス偏心量測定装置におけるファイバ入射光照明装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 対物レンズ
２ 鏡筒
３ ＣＣＤカメラ
４ 反射照明用光源
５ 透過光照明用光源
６ Ｘ軸ステージ（微動台）
７ Ｙ軸ステージ（微動台）
８ Ｚ軸ステージ（微動台）
９ Ｘ軸モータ
１０ Ｙ軸モータ
１１ Ｚ軸モータ
１２ Ｘ軸ミラー
１３ Ｙ軸ミラー
１４ Ｘ軸センサ
１５ Ｙ軸センサ
１６ 水平方向（θｚ）調整ステージ（ゴニオステージ）
１７ 傾斜２方向（θｘ、θｙ）調整ステージ（傾斜ステージ）
１８ 測定試料取付ステージ
１９ 試料ホルダー
２０ａ 測定試料
２０ｂ 光ファイバ付き測定試料の反対側（入射光側）のフェルール
２１ テープファイバ
２２ バラファイバ
２３ 台座
２４ Ｚ軸微動台
２５ ファイバ入射光照明部
２６ フラットバンドル
２７ 位置決めストッパ
２８ 磁石
２９ ファイバ台
３０ 整列ホルダ
３１ 個別クランプ
３２ 全体クランプ
３３ 個別クランプ支柱
３４ 個別クランプ支持具
３５ 緩衝部材
３６ 磁石
３７ 緩衝部材
３８ａ、３８ｂ 磁石
３９ Ｌ型平板状台
４０ コネクタホルダ（フェルール載置台）
４１ コ字状の取り付け部材
４２ 押圧部材
４３ 押さえハンドル
４４ 連結部材
４５ 緩衝部材
４６ 磁石
Claims (3)
- 測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状がバラファイバの場合、
該保持具は、バラファイバを載置するファイバ台と、
樹脂被覆テープファイバを載置する整列ホルダとからなり、
整列ホルダは、ファイバ台から上向きに傾斜した面を有し、その面の中央部にはテープファイバと平行に複数本の溝を設け、溝部の上方からテープファイバを押さえる個別クランプを複数個設け、さらに、テープファイバの根本を押さえる全体クランプとを設けたものであり、
前記バラファイバに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置。 - 測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付ける試料ホルダを設け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が多芯コネクタ或いは多芯アレーの場合、
該保持具は、Ｌ型平板状台と、
Ｌ型平板状台の立ち上がり部の上面に、多芯コネクタ或いは多芯アレーを載せる載置部材を設け、
該載置部材の両端に支柱を設け、支柱には上部に梁を渡してなり、
該載置部材には、多芯コネクタ或いは多芯アレーの形状に対応した複数個の切り欠きを設け、
該梁には、連結部材をとおして、押圧部材と上部の押さえハンドルとからなる固定部材を複数個設けたものであり、
前記多芯コネクタ或いは多芯アレーに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置したことを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における入射光照明装置。 - 石定盤上に対物レンズおよび鏡筒からなる光学顕微鏡とＣＣＤカメラとを固定し、
その前面に、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、Ｚ軸ステージ、およびＸ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータからなるパルスモータ駆動方式によるＸＹＺ軸調整台を固定し、その上に、Ｘ軸ミラーおよびＹ軸ミラーを取り付けるミラー台座を固定し、
さらにその上に水平方向調整ステージ、傾斜２方向調整ステージ、測定試料取り付けステージを固定し、
測定試料取り付けステージに試料ホルダーを設け、
測定系の顕微鏡の対物レンズの前面に設けた試料ホルダに、光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーを取り付け、
光入射側の保持具を光源系の光ファイバ入射照明部と対向して台座上に設け、
光ファイバ付き多芯コネクタ或いは多芯アレーの他方の光入射側の形状が、バラファイバ、多芯コネクタ或いは多芯アレーであっても、それらに対応する保持具を台座上に取り替え可能に設置した入射光照明装置を有することを特徴とする
光通信用の多芯コネクタ或いは多芯ファイバアレーのフェルール偏心量測定装置における光ファイバ位置測定装置。
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