JP2005221471A - レンズ偏芯測定用治具及びこれを用いたレンズ偏芯測定装置並びにその測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レンズ部組の外周縁を基準としてレンズの偏芯量を高精度に測定すること。
【解決手段】レンズ2を鏡枠3に保持したレンズ部組4をレンズ偏芯測定用治具10の載置台11上に載置し、レンズ部組4を各基準支柱13、14に対してローラ17で押し付けながら回転させ、この回転中のレンズ部組4のレンズ2に対して測定光を照射し、このときレンズ2の表面からの戻り光をCCDカメラ58により撮像して取得された画像データに基づいて偏芯量算出部61においてレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
【選択図】図1
【解決手段】レンズ2を鏡枠3に保持したレンズ部組4をレンズ偏芯測定用治具10の載置台11上に載置し、レンズ部組4を各基準支柱13、14に対してローラ17で押し付けながら回転させ、この回転中のレンズ部組4のレンズ2に対して測定光を照射し、このときレンズ2の表面からの戻り光をCCDカメラ58により撮像して取得された画像データに基づいて偏芯量算出部61においてレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、レンズの偏芯を測定するときに用いるレンズ偏芯測定用治具、及びこのレンズ偏芯測定用治具を用いてレンズの偏芯を測定するレンズ偏芯測定装置並びにその測定方法に関する。
レンズ偏芯測定装置としては、例えば特許文献1及び2に開示されている技術がある。特許文献1には、非球面又は不均質媒体から成る光学素子又は型に対し、光軸外の少なくとも一つの部分に光束を入射し、反射光束の位置から非球面の偏芯量、例えばレンズ、反射鏡、金型等の偏芯量を評価することが記載されている。
特許文献2には、レンズ受けに保持されているレンズに対して収束光を照射し、レンズの被検面で反射された反射光をビームスプリッタにより透過及び偏向して分離し、透過した反射光をピンホールを通して一方のCCDカメラの撮像面に投影し、偏向した反射光を他方のCCDカメラの撮像面に結像し、これらの重心位置を検知処理して偏芯を測定することが記載されている。
特開平7−120218号公報
特開平8−159915号公報
顕微鏡に取り付ける対物レンズは、図11に示すように鏡筒1内に複数のレンズ2、例えば13枚のレンズ2を設けている。これらレンズ2を鏡筒1内に設けるには、例えば図12に示すように少なくとも1枚のレンズ2を鏡枠3に保持して各レンズ部組4を構成し、これらレンズ部組4を鏡筒1内に組み付けている。このようにして対物レンズ5の組み立てが終了すると、鏡筒1内の各レンズ部組4を光軸6に対して垂直方向にスライドさせて各レンズ2の偏芯を微調整する。
各レンズ2の偏芯を精度高く微調整するには、レンズ部組4におけるレンズ2と鏡枠3との偏芯精度が重要になる。レンズ部組4は、鏡枠3の外周縁である外径側面7を基準として鏡筒1内に組み込んでいる。このため、鏡枠3の外径側面7の芯に対してレンズ2の芯が大きくずれないことが要求される。
しかしながら、特許文献1、2は、レンズ単体の偏芯量を測定するものであり、レンズ2を鏡枠3に保持したレンズ部組4に対して偏芯量を測定するものでない。このため、レンズ単体の偏芯量を高精度に測定したとしても、レンズ2を鏡枠3に保持して対物レンズの鏡筒1内に組み込むために、各レンズ2の芯が光軸6からずれてしまう。このずれを無くすために各レンズ2の偏芯を微調整しようとしても、レンズ部組4での偏芯量が分らないので大きな調整量が必要になり微調整不可能な場合も発生する。又、レンズ2を加工機からレンズ偏芯測定装置に載せ替える際にも誤差が発生し、対物レンズ5の組立後に各レンズ2の偏芯を微調整することは困難である。特に、最近の高精度対物レンズ5は、鏡枠3の外径側面7を基準として、さらにより高精度に鏡枠3の外径側面7の芯に対してレンズ2の芯の偏芯の測定が要求される。
本発明は、レンズの偏芯を測定するときにレンズを保持するレンズ偏芯測定用治具において、少なくとも1枚のレンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台と、載置台上に設けられ、レンズ部組における鏡枠の外周縁に接触してレンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、載置台上に設けられ、鏡枠の外周縁を各基準支柱に突き当てた状態でレンズ部組を回転させるレンズ部組回転部材とを具備したレンズ偏芯測定用治具である。
本発明は、少なくとも1枚のレンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台と、載置台上に設けられ、レンズ部組における鏡枠の外周縁に接触してレンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、載置台上に設けられ、鏡枠の外周縁を各基準支柱に突き当てた状態でレンズ部組を回転させるレンズ部組回転部材と、レンズ偏芯測定用治具により回転保持されているレンズ部組のレンズに対して測定光を照射し、レンズの表面からの戻り光を検出する測定光学系と、測定光学系により検出された戻り光を撮像する撮像装置と、撮像装置の撮像により取得された画像データに基づいて鏡枠に対するレンズの偏芯量を求める偏芯量算出部とを具備したレンズ偏芯測定装置である。
本発明は、少なくとも1枚のレンズを鏡枠に保持したレンズ部組を回転保持し、回転保持されているレンズ部組のレンズに対して測定光を照射し、このときレンズ表面からの戻り光を撮像して取得された画像データに基づいて鏡枠に対するレンズの偏芯量を求めるレンズ偏芯測定方法である。
本発明は、レンズ部組の外周縁を基準としてレンズの偏芯量を高精度に測定できるレンズ偏芯測定用治具及びレンズ偏芯測定装置並びにその測定方法を提供できる。
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図11及び図12と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図1はレンズ偏芯測定装置の構成図である。レンズ偏芯測定用治具10は、図11に示す対物レンズ5のレンズ部組4を保持回転する。先ず、このレンズ偏芯測定用治具10の概略構成について図2に示す平面図及び図3に示すA−A断面図を参照して説明する。載置台11は、平面精度の高い載置面12を有する。この載置面12は、対物レンズ5の鏡筒1内に組み付ける各レンズ部組4を摩擦力小さく回転可能にするために、各レンズ部組4の鏡枠3に対する摩擦係数を小さくする材料で形成されている。
この載置面12上には、2本の基準支柱13、14が載置面12に対して垂直方向に設けられている。これら基準支柱13、14は、レンズ部組4の外径側面7に接触し、レンズ部組4を基準位置に配置する。これら基準支柱13、14は、対物レンズ5の鏡筒1内に組み付ける各レンズ部組4の外径側面7に対して所定の間隔で接触するために互いに離間して設けられている。これら基準支柱13、14の載置面12上に突出する支柱頭13a、14aは、逆円錐状に形成され、上部から下部に向って径を小さく形成している。すなわち、各基準支柱13、14の各支柱頭13a、14aの各側面は、それぞれ載置面12上からのレンズ部組4の浮き上がりを抑えるテーパ面(以下テーパ側面13b、14bと称する)に形成されている。
又、載置台12上には、各ベアリング15を介して軸16が回転可能に設けられている。この軸16には、円板状に形成されたローラ17が設けられている。このローラ17の軸16は、各基準支柱13、14間を結ぶラインの垂線q上に設けられている。このローラ17の外周縁には、Oリング18が設けられている。このOリング18は、レンズ部組4の鏡枠3の側面7に対して高い摩擦力を有する材料、例えばゴム等の樹脂からなる弾性部材から形成される。このローラ17は、載置面12上に載置されたレンズ部組4の鏡枠3の側面7と略同一高さ位置に設けられる。このローラ17は、各基準支柱13、14と共にレンズ部組4の外径側面7に対して各接触する。このローラ17は、各基準支柱13、14と共にレンズ部組4の外径側面7に接触してレンズ部組4を回転させたときに、当該レンズ部組4を少なくとも1回転させる外周縁の長さを有する半径に形成されている。このローラ17の上面には、つまみ19が設けられている。
又、載置台12上に各基準支柱13、14とローラ17とにより3点支持されるレンズ部組4の下部には、円筒状の貫通孔20が設けられている。この貫通孔20は、入射光を入射口側に戻さないのが好ましく、例えば内壁に反射率の少ない黒色等の塗布物が塗布されている。
このようなレンズ偏芯測定用治具10であれば、載置台12上にレンズ部組4が載置される。このレンズ部組4は、レンズ2の凸面を上面にして載置される。このレンズ部組4の鏡枠3の側面7には、ローラ17の外周縁のOリング18が接触される。これにより、レンズ部組4は、その鏡枠3の側面7が各基準支柱13、14とローラ17とにより3点支持される。
この状態で、つまみ19を保持してローラ17が例えば矢印a方向に回転されると、このローラ17の回転力がOリング18を介してレンズ部組4に伝達される。これにより、レンズ部組4は、2つの基準支柱13、14に接触して基準位置に保持され、かつ鏡枠3を載置面12上で摺動しながら矢印b方向に回転する。このとき、Oリング18は、ゴム等の弾性部材により形成されているので、ローラ17とレンズ部組4との摩擦力は高く、ローラ17の回転力が効率高くレンズ部組4に伝達される。すなわち、レンズ部組4は、Oリング18の弾性力により各基準支柱13、14側に圧接され、レンズ部組4の鏡枠3が各基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに押し付けられる。これらテーパ側面13b、14bからの反発力は、下方向の分力を発生するので、レンズ部組4は、載置面12上に押し付けられる。これにより、レンズ部組4は、各基準支柱13、14及び載置面12上に当て付きながら回転する。
次に、上記レンズ偏芯測定用治具10の概略構成に基づいた当該レンズ偏芯測定用治具10の具体的な構成について図4に示す平面図及び図5に示すA−A断面図を参照して説明する。なお、図2及び図3と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
載置台11は、載置台本体30と、この載置台本体30に対して摺動可能に設けられた台座31とを有する。載置台本体30は、ベース部32と載置柱部33とを一体的に形成している。このうちベース部32上に台座31が設けられ、載置柱部33上に載置面12が形成されている。この載置面12上には、図2及び図3と同様に2つの基準支柱13、14が設けられている。
台座31は、ベース部32上にピン34を介して回転摺動可能に設けられている。この台座31は、載置柱部33との間に隙間Dを開けて設けられている。この台座31には、各ベアリング15を介して軸16が回転可能に設けられている。この軸16には、円板状に形成されたローラ17が設けられている。このローラ17は、台座31の上面よりもその一部を各基準支柱13、14側に突出して設けられている。このローラ17の軸16には、カップリング35を介してモータ36が連結されている。これら各ベアリング15、軸16、カップリング35及びモータ36は、台座31及びベース部32を貫いて形成された各設置用貫通孔37、38内に設けられている。ローラ17の軸16は、台座31における各基準支柱13、14側に設けられている。
これに対して台座31を回転摺動可能に支持するピン34は、ベース部32上で各基準支柱13、14寄りの側面39側に設けられている。又、台座31には、ピン34を中心とする円弧状の摺動固定用溝40が形成されている。この摺動固定用溝40内には、ベース部32から貫く2つの固定用ネジ41が螺合している。これら固定用ネジ41は、2つに限らず1つでもよく、又は2つ以上の複数でもよい。従って、台座31は、ピン34を中心にして矢印c方向に回転摺動可能になっている。
図1に戻って、レンズ偏芯測定用治具10の上方には、測定光学系50が設けられている。この測定光学系50は、レンズ偏芯測定用治具10により回転保持されているレンズ部組4のレンズ2の表面に対して測定光を照射し、このときにレンズ2の表面からの戻り光を検出する。測定光学用鏡筒51には、光源52が設けられている。この光源52は、測定光として例えば所定波長の測定光を出力する。この光源52から出力される測定光の光路上には、ピンホール53、コリメータレンズ54及びハーフミラー55が設けられている。コリメータレンズ54は、光源52から出力される測定光を平行光に整形する。ハーフミラー55は、光源52から出力されピンホール53を通過し、コリメータレンズ54により整形された測定光をレンズ2側に反射し、かつレンズ2の表面からの戻り光を透過する。このハーフミラー55の反射光路上には、集光レンズ56が設けられている。この集光レンズ56は、ハーフミラー55の反射した測定光を集光する。又、ハーフミラー55の透過光路上には結像レンズ57及びCCDカメラ58が設けられている。CCDカメラ58は、結像レンズ57の結像位置にその撮像面が配置されている。このCCDカメラ58は、レンズ2の表面からの戻り光を撮像してその画像信号を出力する。
上下移動機構59は、レンズ偏芯測定用治具10及び測定光学系50のいずれか一方又は両方を相対的に上下方向に移動してレンズ偏芯測定用治具10と測定光学系50との間隔を変化させ、測定光学系50から出射される測定光の集光位置をレンズ2の表面の曲率中心Rに合わせる。
平面移動機構60は、例えばレンズ偏芯測定用治具10を測定光学系50から出射される測定光に対して垂直方向に移動し、レンズ2の表面の曲率中心Rと測定光学系50から出射される測定光の集光位置との横ずれを修正する。
偏芯量算出部61は、CCDカメラ58から出力された画像信号を取り込み、この画像信号により取得される画像データを不図示のモニタに表示し、かつ画像データに基づいてレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
枠切削加工機62は、偏芯量算出部61により算出されたレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を受け取り、この偏芯量に基づいてレンズ部組4の鏡枠3に対する切削量を補正し、この補正された切削量に従って以降に作成されるレンズ部組4の鏡枠3を切削加工する。
次に、上記の如く構成されたレンズ偏芯測定装置の動作について説明する。
台座31は、図6に示すようにピン34を中心にベース部32上を矢印c方向に回転摺動し、各基準支柱13、14から退避する。これにより、台座31と載置柱部33との隙間Dが大きくなり、ローラ17と各基準支柱13、14とが離れる。この状態で、レンズ部組4を各基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに接触させて載置面12上に載置する。
次に、台座31は、図4に示すようにピン34を中心にベース部32上を矢印c方向で回転摺動して各基準支柱13、14に近付き、ローラ17の外周縁に設けられたOリング18をレンズ部組4の鏡枠3の側面7に接触させる。これにより、レンズ部組4は、Oリング18の弾性力により各基準支柱13、14側に圧接され、レンズ部組4の鏡枠3が各基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに押し付けられる。これらテーパ側面13b、14bからの反発力は、下方向の分力を発生するので、レンズ部組4は、載置面12上に押し付けられる。この状態で、台座31は、各固定用ネジ41の締め付けによりベース部32上に固定される。
一方、光源52から例えば測定光の測定光が出力されると、この測定光は、ピンホール53を通過し、コリメータレンズ54により平行光に整形され、ハーフミラー55で下方に反射し、集光レンズ56により集光されてレンズ2に照射される。このレンズ2の表面からの戻り光は、集光レンズ56を通り、ハーフミラー55を透過し、結像レンズ57により結像される。CCDカメラ58は、レンズ2の表面からの戻り光を撮像してその画像信号を出力する。
偏芯量算出部61は、CCDカメラ58から出力された画像信号を取り込み、この画像信号により取得される画像データを不図示のモニタに表示する。ここで、当該表示された画像は、ピンホール53から出射される点光源の虚像である。従って、この点光源の虚像のモニタ表示を観察することにより測定光学系50から出射される測定光の集光位置をレンズ2の表面の曲率中心Rに合わせる。
この測定光学系50から出射される測定光の集光位置をレンズ2の表面の曲率中心Rに合わせる操作は、上下移動機構59及び平面移動機構60により行なわれる。上下移動機構59は、レンズ偏芯測定用治具10及び測定光学系50のいずれか一方又は両方を相対的に上下方向に移動して測定光学系50から出射される測定光の集光位置をレンズ2の表面の曲率中心Rに合わせる。又、平面移動機構60は、例えばレンズ偏芯測定用治具10を測定光学系50から出射される測定光に対して垂直方向に移動し、レンズ2の表面の曲率中心Rと測定光学系50から出射される測定光の集光位置との横ずれを修正する。
次に、モータ36が回転駆動すると、この回転駆動がカップリング35を介して軸16に伝達され、ローラ17が例えば矢印a方向に回転する。このローラ17の回転力は、Oリング18を介してレンズ部組4に伝達される。これにより上記同様に、レンズ部組4は、2つの基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに接触して基準位置に保持され、かつ鏡枠3を載置面12上に摺動しながら矢印b方向に回転する。このとき、Oリング18は、ゴム等の弾性部材により形成されているので、ローラ17とレンズ部組4との摩擦力は高く、ローラ17の回転力が効率高くレンズ部組4に伝達される。すなわち、レンズ部組4は、Oリング18の弾性力により各基準支柱13、14側に圧接され、レンズ部組4の鏡枠3が各基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに押し付けられる。これらテーパ側面13b、14bからの反発力は、下方向の分力を発生するので、レンズ部組4は、載置面12上に押し付けられる。これにより、レンズ部組4は、各基準支柱13、14及び載置面12上に当て付きながら回転する。このレンズ部組4は、少なくとも1回転する。
このレンズ部組4の回転中に、光源52から測定光が出力されると、この測定光は、上記同様に、ピンホール53を通過し、コリメータレンズ54により平行光に整形され、ハーフミラー55で下方に反射し、集光レンズ56により集光されてレンズ2に照射される。このレンズ2の表面からの戻り光は、集光レンズ56を通り、ハーフミラー55を透過し、結像レンズ57により結像される。CCDカメラ58は、レンズ2の表面からの戻り光を撮像してその画像信号を出力する。
偏芯量算出部61は、CCDカメラ58から出力された画像信号を取り込み、この画像信号により取得される画像データをモニタ表示すると共に、画像データ中のピンホール53から出射される点光源の虚像の位置の軌跡を検出する。この検出の結果、この点光源の虚像の位置が変位しなければ、偏芯量算出部61は、レンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対して偏芯していないと判断する。これに対して点光源の虚像の位置が変位して円状を描く軌跡を検出すると、偏芯量算出部61は、点光源の虚像の位置の軌跡からレンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対して偏芯していると判断し、かつ点光源の虚像の位置の軌跡からレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
枠切削加工機62は、偏芯量算出部61により算出されたレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を受け取り、この偏芯量に基づいて以降に作成されるレンズ部組4の鏡枠3に対する切削量を補正し、この補正された切削量に従ってレンズ部組4の鏡枠3を切削加工する。
以上により各レンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量が算出されると、これらレンズ部組4は、各偏芯量に従って位置を微調整されながら図11に示す対物レンズ5の鏡筒4内に組み込まれる。この結果、各レンズ部組4の光軸6が一致した対物レンズ5が組み立てられる。
このように上記第1の実施の形態によれば、レンズ2を鏡枠3に保持したレンズ部組4をレンズ偏芯測定用治具10の載置台11上に載置し、レンズ部組4を各基準支柱13、14に対してローラ17で押し付けながら回転させ、この回転中のレンズ部組4のレンズ2に対して測定光を照射し、このときレンズ2の表面からの戻り光をCCDカメラ58により撮像して取得された画像データに基づいて偏芯量算出部61においてレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
対物レンズ5の組み立ては、レンズ2を鏡枠3に保持したレンズ部組4を鏡筒1内に組み付け、この後、鏡筒1内の各レンズ部組4を光軸6に対して垂直方向にスライドさせて各レンズ2の偏芯を微調整する。このように微調整するためには、レンズ部組4におけるレンズ2と鏡枠3との偏芯精度が重要である。本発明装置では、この鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を高精度に算出できる。
又、レンズ部組4を回転させるときは、各基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに押し付けているので、レンズ部組4の回転中に載置面12上からのレンズ部組4の浮き上がりやあおりを抑制した状態で、載置面12上で回転摺動できる。これにより、高精度なレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量が算出できる。
従って、対物レンズ5の組み立て時、レンズ部組4を鏡枠3の外径側面7を基準として鏡筒1内に組み込むことにより、鏡枠3の外径側面7の芯に対してレンズ2の芯が大きくずれることはない。この結果、各レンズ2の芯が光軸6からほぼずれることなく対物レンズ5を組み立てることができる。又、レンズ2の芯と光軸6とで若干のずれがあったとしても、そのレンズ部組4の偏芯量が測定されているので、微調整を行ってレンズ2の芯を光軸6上に合わせることができる。特に、最近の高精度・高分解能の対物レンズ5に対しても、鏡枠3の外径側面7を基準とするさらに高精度なレンズ2の偏芯の測定の要求を満足できる。
このようにレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を高精度に算出できるので、対物レンズ5の組み立て後におけるレンズ2の芯を光軸6上に対する微調整の不能を無くし、対物レンズ5の組み立ての歩留まりを向上できる。
さらに、ローラ17は、モータ36により自動で回転するので、ローラ17を一定の回転速度で回転させることができる。これにより、ローラ17の回転ムラを減少でき、レンズ2の偏芯量の測定精度を高くできる。
又、偏芯量算出部61により算出したレンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対する偏芯量を枠切削加工機62にフィードバックするので、枠切削加工機62は、レンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量に基づいてレンズ部組4の鏡枠3に対する切削量を補正することにより、より高精度にレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量の小さいレンズ部組4の鏡枠3を切削加工できる。
次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図4及び図5と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図7及び図8はレンズ偏芯測定用治具10の具体的な構成図であって、図7は平面図、図8は図7に示すB−B断面図である。レンズ偏芯測定用治具10には、2つの基準支柱13、14に代って2つの基準シャフト70、71が設けられている。これら基準シャフト70、71は、それぞれ円柱状に形成されている。これら基準シャフト70、71は、それぞれ各ベアリング72、73を介して載置柱部33に形成された各支持用貫通孔74内に回転可能に支持されている。これら支持用貫通孔74は、載置柱部33の載置面12に対して所定角度、例えば角度5°傾いて形成されている。これにより、各基準シャフト70、71も載置面12に対して所定角度、例えば角度5°傾いて載置面12上から突出している。これら基準シャフト70、71は、載置面12上に載置されるレンズ部組4の中心に向って倒れる方向に傾斜している。なお、図8において貫通孔20は省略する。
このようなレンズ偏芯測定用治具10であれば、台座31が図7に示すようにピン34を中心にベース部32上を矢印c方向に回転摺動すると、ローラ17の外周縁に設けられたOリング18がレンズ部組4の鏡枠3の側面7に接触する。これにより、レンズ部組4は、Oリング18の弾性力により各基準シャフト70、71に圧接され、レンズ部組4の鏡枠3が傾斜する各基準シャフト70、71の各側面に押し付けられる。これら基準シャフト70、71の各側面からの反発力は、下方向の分力を発生するので、レンズ部組4は、載置面12上に押し付けられる。この状態で、台座31は、各固定用ネジ41の締め付けによりベース部32上に固定される。
次に、モータ36が回転駆動すると、この回転駆動がカップリング35を介して軸16に伝達され、ローラ17が例えば矢印a方向に回転する。このローラ17の回転力は、Oリング18を介してレンズ部組4に伝達される。これにより上記同様に、レンズ部組4は、2つの基準シャフト70、71に接触して基準位置に保持され、かつ鏡枠3を載置面12上を摺動しながら矢印b方向に回転する。このとき、各基準シャフト70、71は、回転しながらレンズ部組4の鏡枠3の側面7に当接するので、これらレンズ部組4の鏡枠3の側面7と各基準シャフト70、71との間に滑りにより摩擦力は生じない。これにより、レンズ部組4は、各基準シャフト70、71及び載置面12上に当て付きながら回転する。このレンズ部組4は、少なくとも1回転する。
以下、上記第1の実施の形態と同様に、レンズ部組4の回転中に、光源52から出力された測定光は、上記同様に、ピンホール53、コリメータレンズ54、ハーフミラー55、集光レンズ56を通してレンズ2に照射される。このレンズ2の表面からの戻り光は、集光レンズ56、ハーフミラー55、結像レンズ57を通してCCDカメラ58に入射する。このCCDカメラ58は、レンズ2の表面からの戻り光を撮像してその画像信号を出力する。
偏芯量算出部61は、CCDカメラ58から出力された画像信号を取り込み、この画像信号により取得される画像データを不図示のモニタに表示すると共に、画像データ中における点光源の虚像の位置が変位しなければ、レンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対して偏芯していないと判断し、点光源の虚像の位置が変位して円状を描く軌跡を検出すると、この点光源の虚像の位置の軌跡からレンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対して偏芯していると判断し、かつレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
このように上記第2の実施の形態によれば、回転可能な各基準シャフト70、71を傾斜して設けたので、レンズ部組4の回転中に載置面12上からのレンズ部組4の浮き上がりやあおりを抑制して載置面12上で回転摺動でき、かつレンズ部組4の鏡枠3の側面7と各基準シャフト70、71との間に滑りによるり摩擦力が生じることがない。これにより、上記第1の実施の形態と同様の効果を奏することは言うまでもなく、レンズ部組4に対するダメージの少ない滑らかな回転を実現できる。
次に、本発明の第3の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図4及び図5と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図9はレンズ偏芯測定用治具10の具体的な正面構成図である。台座80は、ベース部32上にピン81を介して矢印c方向に回転摺動可能に設けられている。この台座80には、ピン81を中心とする円弧状の摺動固定用溝82が形成されている。この摺動固定用溝82内には、ベース部32から貫く2つの固定用ネジ83が螺合している。これら固定用ネジ83は、2つに限らず1つでもよく、又は2つ以上の複数でもよい。従って、台座80は、ピン81を中心にして矢印c方向に回転摺動可能になっている。
又、台座80上には、直線ガイド84が形成されている。この直線ガイド84は、台座80を各基準支柱13、14側に回転摺動させたとき、各基準支柱13、14間を結ぶラインの垂線q上に対して垂直方向に形成されている。この直線ガイド84には、スライダ85を矢印d方向の直線上にスライド移動可能に設けている。このスライダ85は、手動によりスライド移動したり、又はモータの回転を直線運動に変換してスライド移動する。
このスライダ85は、帯状に形成され、互いに平行な各直線辺85a、85bと、これら辺85a、85bを両端で結ぶ各湾曲辺85c、85dとを有する。なお、このスライダ85は、少なくとも各基準支柱13、14側が直線辺85aであればよい。このスライダ85の直線辺85aは、各基準支柱13、14と共にレンズ部組4の外径側面7に接触してレンズ部組4を回転させたときに、当該レンズ部組4を少なくとも1回転させる長さを有する。すなわち、スライダ85の直線辺85aは、レンズ部組4の鏡枠3の外周長よりも長く形成され、これによりスライダ85は、レンズ部組4を少なくとも1回転させるストロークを有する。このスライダ85の外周縁には、Oリング18が設けられている。
このようなレンズ偏芯測定用治具10であれば、台座80がピン81を中心に回転摺動すると、スライダ85の外周縁に設けられたOリング18がレンズ部組4の鏡枠3の側面7に接触する。これにより、レンズ部組4は、Oリング18の弾性力により各基準支柱13、14に圧接され、レンズ部組4の鏡枠3が傾斜する各基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bに押し付けられる。これら基準支柱13、14の各テーパ側面13b、14bからの反発力は、下方向の分力を発生するので、レンズ部組4は、載置面12上に押し付けられる。この状態で、台座80は、各固定用ネジ83の締め付けによりベース部32上に固定される。
次に、スライダ85が手動によりスライド移動したり、又はモータの回転を直線運動に変換してスライド移動すると、このスライド移動がレンズ部組4に伝達される。これにより、レンズ部組4は、2つの基準支柱13、14に接触して基準位置に保持され、かつ鏡枠3を載置面12上に摺動しながら矢印b方向に回転する。これにより、レンズ部組4は、各基準支柱13、14及び載置面12上に当て付きながら回転する。このレンズ部組4は、少なくとも1回転する。
以下、上記第1の実施の形態と同様に、レンズ部組4の回転中に、光源52から出力された測定光は、上記同様に、ピンホール53、コリメータレンズ54、ハーフミラー55、集光レンズ56を通してレンズ2に照射される。このレンズ2の表面からの戻り光は、集光レンズ56、ハーフミラー55、結像レンズ57を通してCCDカメラ58に入射する。このCCDカメラ58は、レンズ2の表面からの戻り光を撮像してその画像信号を出力する。
偏芯量算出部61は、CCDカメラ58から出力された画像信号を取り込み、この画像信号により取得される画像データを不図示のモニタに表示すると共に、画像データ中における点光源の虚像の位置が変位しなければ、レンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対して偏芯していないと判断し、点光源の虚像の位置が変位して円状を描く軌跡を検出すると、この点光源の虚像の位置の軌跡からレンズ部組4のレンズ2が鏡枠3に対して偏芯していると判断し、かつレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出する。
このように上記第3の実施の形態によれば、スライダ85をスライド移動させてレンズ部組4を基準位置で回転させるので、上記第1の実施の形態と同様の効果を奏することは言うまでもない。
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。
例えば、レンズ部組4を回転させるのに、2つの基準支柱13、14又は基準シャフト70、71に対してレンズ部組4を介してローラ17又はスライダ85を押し付けているが、これらローラ17又はスライダ85に代えて楕円状の板をレンズ部組4を介して各基準支柱13、14又は各基準シャフト70、71に押し付けて当該楕円状の板を回転させてもよい。又、スライダ85は、帯状に限らず、棒状に形成してもよい。
レンズ部組4は、少なくとも1回転させればよいが、複数回回転させることにより画像データ中における円状に描く点光源の虚像の軌跡を複数回検出し、これら軌跡の平均軌跡位置からレンズ部組4の鏡枠3に対するレンズ2の偏芯量を算出してもよい。
レンズ部組4は、レンズ2の凸面を上面にして載置台12上に載置しているが、凹面を上面にして載置台12上に載置してもよい。この場合、レンズ2の凹面の曲率中心Rは、図10に示すようにレンズ2の上方になるので、この曲率中心Rに測定光学系50から出射される測定光の集光位置を合わせる。
上記第2の実施の形態では、各基準シャフト70、71を傾斜させているが、これら基準シャフト70、71を載置面12に対して垂直方向に立設し、かつレンズ部組4の鏡枠外径側面7に接触する部分に上記第1の実施の形態の各基準支柱13、14のようにテーパ側面13b、14bを形成してもよい。
又、レンズ部組4を回転させる第1の手法は、2つの基準支柱13、14を固定し、ローラ17を各基準支柱13、14側に当て付けて各基準支柱13、14とローラ17との間にレンズ部組4を保持し、この状態でローラ17を回転させることにより、レンズ部組4を回転させてもよい。この手法によれば、固定された2つの基準支柱13、14によりレンズ部組4を位置決めできる。
レンズ部組4を回転させる第2の手法は、2つの基準支柱13、14の一方の基準支柱13を固定し、他方の基準支柱14を回転可能とする。ローラ17を各基準支柱13、14側に当て付けて各基準支柱13、14とローラ17との間にレンズ部組4を保持し、この状態で他方の基準支柱14を回転させることにより、レンズ部組4を回転させる。
レンズ部組4を回転させる第3の手法は、2つの基準支柱13、14をそれぞれレンズ部組4の当付け方向に移動可能とし、かつローラ17をレンズ部組4の当付け方向に移動可能とすると共に回転可能とする。2つの基準支柱13、14とローラ17との間にレンズ部組4を介在させ、かつこれら基準支柱13、14とローラ17とによりレンズ部組4に当付け力を加えて保持する。この状態でローラ17を回転させることにより、レンズ部組4を回転させる。
レンズ部組4を回転させる第4の手法は、2つの基準支柱13、14をそれぞれレンズ部組4の当付け方向に移動可能とし、かつローラ17を位置固定として回転可能とする。2つの基準支柱13、14とローラ17との間にレンズ部組4を介在させ、かつ各基準支柱13、14によりレンズ部組4に当付け力を加えて保持する。この状態でローラ17を回転させることにより、レンズ部組4を回転させる。
以上の4つの手法があるが、レンズ部組4の位置決めが最も安定することから第1の手法が一番好ましい。
次に、本発明の他の特徴とするところについて説明する。
第1の本発明は、請求項1項記載のレンズ偏芯測定用治具において、前記レンズ部組回転部材は、帯状に形成され、前記載置台上にスライド可能に設けられたことを特徴とする。
第2の本発明は、レンズの偏芯を測定するときに前記レンズを保持するレンズ偏芯測定用治具において、
少なくとも1枚の前記レンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台本体と、前記載置台本体に対して摺動可能に設けられた台座とを有する載置台と、
前記載置台本体上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、
前記台座上に設けられ、前記鏡枠の前記外周縁を前記各基準支柱に突き当てた状態で前記レンズ部組を回転させる円板状のレンズ部組回転部材と、
前記レンズ部組回転部材の外周縁に設けられたOリングと、
前記レンズ部組回転部材を前記台座に対して回転可能に支持するベアリングと、
前記ベアリングに連結され、前記ベアリングを介して前記レンズ部組回転部材を回転させるモータと、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定用治具である。
少なくとも1枚の前記レンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台本体と、前記載置台本体に対して摺動可能に設けられた台座とを有する載置台と、
前記載置台本体上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、
前記台座上に設けられ、前記鏡枠の前記外周縁を前記各基準支柱に突き当てた状態で前記レンズ部組を回転させる円板状のレンズ部組回転部材と、
前記レンズ部組回転部材の外周縁に設けられたOリングと、
前記レンズ部組回転部材を前記台座に対して回転可能に支持するベアリングと、
前記ベアリングに連結され、前記ベアリングを介して前記レンズ部組回転部材を回転させるモータと、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定用治具である。
第3の本発明は、第2の本発明記載のレンズ偏芯測定用治具において、前記円板状の前記レンズ部組回転部材を帯状の部材に代え、前記ベアリング及び前記モータをスライド機構に代えることを特徴とする。
第4の本発明は、第3の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記載置台は、載置台本体と、前記載置台本体に対して摺動可能に設けられた台座とを有し、前記載置台本体上に前記各基準支柱が設けられ、前記台座上に前記レンズ部組回転部材が回転可能に設けられたことを特徴とする。
第5の本発明は、第3又は第4の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記各基準支柱の各側面は、それぞれ前記載置面上又は前記載置台本体面上からの前記レンズ部組の浮き上がりを抑えるテーパ面に形成されたことを特徴とする。
第6の本発明は、第3又は第4の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記各基準支柱は、それぞれ前記載置面上又は前記載置台本体面上からの前記レンズ部組の浮き上がりを抑えるために前記載置面又は前記載置台本体面に対して傾斜して設けたことを特徴とする。
第7の本発明は、第3又は第4の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記レンズ部組回転部材は、前記レンズ部組を少なくとも1回転させることを特徴とする。
第8の本発明は、第3又は第4の本発明項記載のレンズ偏芯測定装置において、前記レンズ部組回転部材の外周縁には、弾性部材が設けられたことを特徴とする。
第9の本発明は、第8の本発明記載のレンズ偏芯測定用治具において、前記弾性部材は、Oリングであることを特徴とする。
第10の本発明は、第3又は第4の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記レンズ部組回転部材は、円板状に形成され、前記載置台上又は前記台座上に回転可能に設けられたことを特徴とする。
第11の本発明は、第10の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記円板状の前記レンズ部組回転部材は、ベアリングを介して前記載置台又は前記台座に設けられ、手動により回転することを特徴とする。
第12の本発明は、第10の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記円板状の前記レンズ部組回転部材を前記載置台又は前記台座に対して回転可能に支持するベアリングと、前記ベアリングに連結され、前記ベアリングを介して前記レンズ部組回転部材を回転させるモータとを有することを特徴とする。
第13の本発明は、第3の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記レンズ部組回転部材は、帯状に形成され、前記載置台上にスライド可能に設けられたことを特徴とする。
第14の本発明は、少なくとも1枚の前記レンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に回転可能に載置する載置台本体と、
前記載置台本体に対して摺動可能に設けられた台座とを有する載置台と、
前記載置台本体上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、
前記台座上に設けられ、前記鏡枠の前記外周縁を前記各基準支柱に突き当てた状態で前記レンズ部組を回転させる円板状のレンズ部組回転部材と、
前記レンズ部組回転部材の外周縁に設けられたOリングと、
前記レンズ部組回転部材を前記台座に対して回転可能に支持するベアリングと、
前記ベアリングに連結され、前記ベアリングを介して前記レンズ部組回転部材を回転させるモータと、
前記載置台の前記載置面上に回転保持されている前記レンズ部組の前記レンズに対して測定光を照射し、前記レンズの表面からの戻り光を検出する測定光学系と、
前記測定光学系により検出された前記戻り光を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置の撮像により取得された画像データに基づいて前記鏡枠に対する前記レンズの偏芯量を求める偏芯量算出部と、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定装置である。
前記載置台本体に対して摺動可能に設けられた台座とを有する載置台と、
前記載置台本体上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、
前記台座上に設けられ、前記鏡枠の前記外周縁を前記各基準支柱に突き当てた状態で前記レンズ部組を回転させる円板状のレンズ部組回転部材と、
前記レンズ部組回転部材の外周縁に設けられたOリングと、
前記レンズ部組回転部材を前記台座に対して回転可能に支持するベアリングと、
前記ベアリングに連結され、前記ベアリングを介して前記レンズ部組回転部材を回転させるモータと、
前記載置台の前記載置面上に回転保持されている前記レンズ部組の前記レンズに対して測定光を照射し、前記レンズの表面からの戻り光を検出する測定光学系と、
前記測定光学系により検出された前記戻り光を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置の撮像により取得された画像データに基づいて前記鏡枠に対する前記レンズの偏芯量を求める偏芯量算出部と、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定装置である。
第15の本発明は、第14の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記円板状の前記レンズ部組回転部材を帯状の部材に代え、前記ベアリング及び前記モータをスライド機構に代えることを特徴とする。
第16の本発明は、第3又は第14の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記測定光学系は、前記レンズ表面の曲率中心に前記測定光の集光位置を合わせることを特徴とする。
第17の本発明は、第3又は第14の本発明記載のレンズ偏芯測定装置において、前記載置台、少なくとも2つの前記基準支柱及び前記レンズ部組回転部材を有するレンズ偏芯測定用治具と前記測定光学系とを相互に移動して、前記レンズ偏芯測定用治具と前記測定光学系との間隔を変化させて前記測定光学系から出射される前記測定光の前記集光位置を前記レンズ表面の曲率中心に合わせる移動機構を有することを特徴とする。
1:鏡筒、2:レンズ、3:鏡枠、4:レンズ部組、5:対物レンズ、7:鏡枠の外径側面、10:レンズ偏芯測定用治具、11:載置台、12:載置面、13,14:基準支柱、13a,14a:基準支柱の支柱頭、13b,14b:基準支柱のテーパ側面、15:ベアリング、16:軸、17:ローラ、18:Oリング、19:つまみ、20:貫通孔、30:載置台本体、31:台座、32:ベース部、33:載置柱部、34:ピン、35:カップリング、36:モータ、37,38:設置用貫通孔、39:台座の側面、40:摺動固定用溝、41:固定用ネジ、50:測定光学系、51:測定光学用鏡筒、52:光源、53:ピンホール、54:コリメータレンズ、55:ハーフミラー、56:集光レンズ、57:結像レンズ、58:CCDカメラ、59:上下移動機構、60:平面移動機構、61:偏芯量算出部、62:枠切削加工機、70,71:基準シャフト、72,73:ベアリング、74:支持用貫通孔、80:台座、81:ピン、82:摺動固定用溝、83:固定用ネジ、84:直線ガイド、85:スライダ、85a,85b:直線辺、85c,85d:湾曲辺。
Claims (13)
- レンズの偏芯を測定するときに前記レンズを保持するレンズ偏芯測定用治具において、
少なくとも1枚の前記レンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台と、
前記載置台上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に少なくとも3点で接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの保持部材と、
前記レンズ部組を回転させるために、前記保持部材の少なくとも一つを回転又はスライドさせるレンズ部組回転機構と、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定用治具。 - レンズの偏芯を測定するときに前記レンズを保持するレンズ偏芯測定用治具において、
少なくとも1枚の前記レンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台と、
前記載置台上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、
前記載置台上に設けられ、前記鏡枠の前記外周縁を前記各基準支柱に突き当てた状態で前記レンズ部組を回転させるレンズ部組回転部材と、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定用治具。 - 前記載置台は、載置台本体と、前記載置台本体に対して摺動可能に設けられた台座とを有し、前記載置台本体上に前記各基準支柱が設けられ、前記台座上に前記レンズ部組回転部材が回転可能に設けられたことを特徴とする請求項2記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記各基準支柱の各側面は、それぞれ前記載置面上又は前記載置台本体面上からの前記レンズ部組の浮き上がりを抑えるテーパ面に形成されたことを特徴とする請求項2又は3記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記各基準支柱は、それぞれ前記載置面上又は前記載置台本体面上からの前記レンズ部組の浮き上がりを抑えるために前記載置面又は前記載置台本体面に対して傾斜して設けたことを特徴とする請求項2又は3記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記レンズ部組回転部材は、前記レンズ部組を少なくとも1回転させることを特徴とする請求項2又は3記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記レンズ部組回転部材の外周縁には、弾性部材が設けられたことを特徴とする請求項2又は3項記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記弾性部材は、Oリングであることを特徴とする請求項7記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記レンズ部組回転部材は、円板状に形成され、前記載置台上又は前記台座上に回転可能に設けられたことを特徴とする請求項2又は3項記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記円板状の前記レンズ部組回転部材は、ベアリングを介して前記載置台又は前記台座に設けられ、手動により回転することを特徴とする請求項9記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 前記円板状の前記レンズ部組回転部材を前記載置台又は前記台座に対して回転可能に支持するベアリングと、前記ベアリングに連結され、前記ベアリングを介して前記レンズ部組回転部材を回転させるモータとを有することを特徴とする請求項9記載のレンズ偏芯測定用治具。
- 少なくとも1枚のレンズを鏡枠に保持したレンズ部組を載置面上に載置する載置台と、
前記載置台上に設けられ、前記レンズ部組における前記鏡枠の外周縁に接触して前記レンズ部組を基準位置に位置決めする少なくとも2つの基準支柱と、
前記載置台上に設けられ、前記鏡枠の前記外周縁を前記各基準支柱に突き当てた状態で前記レンズ部組を回転させるレンズ部組回転部材と、
前記載置台の前記載置面上に回転保持されている前記レンズ部組の前記レンズに対して測定光を照射し、前記レンズの表面からの戻り光を検出する測定光学系と、
前記測定光学系により検出された前記戻り光を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置の撮像により取得された画像データに基づいて前記鏡枠に対する前記レンズの偏芯量を求める偏芯量算出部と、
を具備したことを特徴とするレンズ偏芯測定装置。 - 少なくとも1枚の前記レンズを鏡枠に保持したレンズ部組を回転保持し、前記回転保持されている前記レンズ部組の前記レンズに対して測定光を照射し、このとき前記レンズ表面からの戻り光を撮像して取得された画像データに基づいて前記鏡枠に対する前記レンズの偏芯量を求めることを特徴とするレンズ偏芯測定方法。
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