TWI336814B - Adhesion-improving agent for photosensitive resin composition and photosensitive resin composition using the same - Google Patents

Description

1336814 因該感光性樹脂組成物對基板之密著性欠缺引起的圖案缺 陷，於塗覆感光性樹脂組成物之膜爲M〇膜或Ta膜時特別 容易引起。 爲改善該感光性樹脂組成物與基板之密著性時，在感光 性樹脂組成物中添加習知的密著性改善劑係爲已知。藉由使 用此等密著性改善劑以改善感光性樹脂組成物對基板之密 著性，例如藉由在正型光阻劑組成物中配合苯并咪唑類或聚 苯并咪唑以改善正型光阻劑組成物與基板之密著性（例如參 照專利文獻1 )，或藉由在正型或負型光阻劑組成物中含有特 定苯并三唑類以改善正型或負型光阻劑組成物與基板之密 著性（例如參照專利文獻2,3)等，係爲已知。然而，上述皆 會損害光阻劑組成物（感光性樹脂組成物）之保存安定性，在 嚴苛條件下之密著性不充分等，遂要求更爲改善。 【專利文獻1】 曰本特開平6-27657號公報 【專利文獻2】 日本特開2000-171968號公報 【專利文獻3】 曰本特開平8-339087號公報 【發明內容】 本發明之目的係提供一種上述沒有習知問題之感光性 樹脂組成物密著性改善劑、及含有它之感光性樹脂組成物。 換言之’本發明之目的係提供一種添加於感光性樹脂組 成物時所添加的感光性樹脂組成物的保存安定性不會降低 -1 0- 1336814 ，且可使感 光性樹脂組 而且， 脂組成物密 組成物。 另外， 成基板之金 著性佳，可 感光性樹脂 成物。 本發明 脂組成物中 物，可改善 遂而完成本 換言之 善劑，其特 合物或下述 【化9:

(其中， 取代基之苯 ' -R24NH2 ' 光性樹脂組成物對基板具有極爲優異密著性之感 成物密著性改善劑。 本發明之另一目的係提供一種含有上述感光性樹 著性改善劑'與基板之密著性優異的感光性樹脂 本發明之另一目的係提供一種顯像或蝕刻時與形 屬、非金屬、金屬氧化膜及非金屬氧化膜等之密 以高精度進行蝕刻加工，且可改善量產處理性的 組成物密著性改善劑、及含有它之感光性樹脂組 人等再三深入硏究的結果，發現藉由在感光性樹 含有特定的磺醯基取代氮化合物或噻二唑化合 光阻劑與金屬基板等之密著性，達成上述目的， 發明。 ，本發明係有關一種感光性樹脂組成物密著性改 徵爲由下述通式（1)〜（5)所示之磺醯基取代氮化 通式（6)〜（8)所示噻二唑化合物所成。 (1) R1係表示氫原子、經基、C|〜C5之院基、可具 基、-R21OH、-R22OR23、鹵素原子、胺基、氰基 -R25CN或可具取代基之吲哚基，R21 ' R22、R24 -]]- 1336814 、及R25係各表示獨立的可具取 係表示可具取代基之烷基或苯| ’ A與X係表示形成可具取代基 子及/或氮原子群） 【化1 0】 代基之伸烷基或伸苯基，R2 3 丨，X係表示碳原子或氮原子 之芳香族雜環時必要的碳原 9 R2 R1一S—3 II \r3 Ο (2)

(其中，R1係表示上述定義 取代的院基或苯基，R3係表示j 【化1 1】 0 f 1 ΰ I RJ-S—N=S=〇 II I 〇 U 之基或原子，R2译表示可經 5硝基或胺基） (3)

(其中，R1係表示上述定義 示獨立的可經取代的烷基或苯; 【化1 2】 Ο

, II

Ri-S—Ο—N=C Ο -基或原子，R4及R5係各表 )， (4) (其中，R1係表示上述定義 、或可經取代的苯基或噻吩基） -12-之基或原子’ R6係表示萘基 (5)1336814

(其中，R1係表示上述定義之基或原子，R7及R8係各表 示獨立的可經取代的苯基或雜芳基、烷氧基羰基、苯氧基羰 基或氰基，R9及Rl()係各表示獨立的氫原子、鹵素原子、C, 〜C6之烷基、（^〜（：6之烷氧基、之鹵化烷基、氰基 、硝基、胺基、取代胺基、烷氧基羰基、苯氧基羰基、苯基 、或烷硫基，R9及R 1 °可鍵結形成縮合環，Y係表示形成5 員雜環或6員雜環所必要的原子或原子群（例如氮原子、氧 原子、硫原子或磷原子）、或形成6碳環時必要的碳原子，m 係表示〇或1)

化14 R1 (6) R】2 【化1 5】

R

R】2

(7) -13- 1336814 (其中’ Rl 1及Rl2係各表示獨立的氫原子、鹵素原子、 硫醚基、胺基、磺胺基、烷基、過氟化烷基、可具取代基之 苯基’或R11及R12鍵結形成以硝基或胺基取代的縮合環之 基） 【化1 6】 R13

N丨N

Ύ R14 9 (其中，R1及汉“係各表示獨立的C|〜c5之烷基、硫 醇基、烷基硫基、磺醯基' 醯胺基、胺基、磺胺基、乙醯胺 基或氟化烷基）。 另外，本發明係有關一種感光性樹脂組成物，其特徵爲 至少含有一種上述通式（1)〜（5)所示之磺醯基取代氮化合物 或上述通式（6)〜（8)所示之噻二唑化合物。 於下述中，更詳細說明本發明。 本發明之感光性樹脂組成物密著性改善劑，只要是上述 通式（1)〜（8)所示之磺醯基取代氮化合物或噻二唑化合物即 可，沒有特別的限制。通式（1 )所示之磺醯基取代氮化合物 ’例如以下述通式（9)或（1 0 )所示之化合物較佳。 -14- 1336814

(9) 【化1 8】

(10) (其中，R1係表示上述所 立的碳原子或氮原子，X2〜' 等相鄰的碳原子之取代基可ΐ 通式（1)所示之磺醯基取 述通式（1 1)、（12)或（13)所示 【化1 9】 定義者，且X1〜X6係各表示獨 【6中相鄰的原子爲碳原子時此 〔相鍵結形成縮合環） 代氮化合物之更佳化合物爲下 之化合物。 0 1 11 R—S——Ν II 0

(11) 1336814

(其中’ R及χ2〜χ6係表示上述所定義者）

上述通式（1)所示之化合物，具體例如1 -采基磺醯基 -1，2,4·三哩（下述式（1-1)之化合物）、N-甲烷磺醯基咪唑（下 述式U-2)之化合物）、(苯基磺醯基）吡咯（下述式（1-3)之化 合物）、Ν-(2,4,6·三異丙基苯磺醯基）咪唑（下述式（1-4)之化 合物）、1-(苯基磺醯基）吲哚（下述式（丨-5)之化合物）、 1-(2,4,6-三異丙基苯磺醢基）-1，2,4-三唑（下述式（1-6)之化合 物）、4-氯-3-吡啶磺胺氯化氫（下述式（1-7)之化合物）、2-吡 啶磺醯基乙腈（下述式（】·8)之化合物）。此等之化合物皆爲蘭 卡史塔辛西西史（譯音）（Lancaster Synthesis)公司市售，可容 易自市場取得。 -16- 1336814

0-3)

【0 0 3 9】 【化2 3】

(1.7) (1-8) 而且，上述通式（2)或（3)所示之化合物，具體例如N-甲 基-N-亞硝基-P-甲苯磺胺（下述式（2-1)之化合物）、S,S-二甲 基-N_(p_甲苯磺醯基）磺氧基亞胺（下述式（3-1)之化合物）。此 1336814 等之化合物皆爲蘭卡史塔辛西西史（譯音）（Lancaste Synthesis)公司市售’可容易自市場取得。 【化24】

更具體說明通式（4)所示之磺醯基取代氮化合物中R2之 可經取代的苯基及噻吩基。首先，可經取代的苯基例如以卞 述通式（14)所不之基較佳。 【化25】

(14) (其中，R31係表示藉由氫原子 '未經取代的烷基、苯赛 、羥基或藉由Cl〜C4之院氧基取代或藉由-〇-中斷的院基、 未經取代的苯基、或藉由鹵素原子、（^〜（：4之烷基或C,〜 C4之院氧基取代的苯基’ R32係表示氫原子 '或C|〜C4之燒 基，B係表示直接鍵結或氧原子） 可經取代的噻吩基例如以下述通式（1 5)所示之基較佳。 1336814 化26】

(其中，R33係表示-B-R31或R32，且B、R31及R32係表 示上述所定義者） 上述通式（4)所示之化合物例如下述式（4-1)所示之 甲苯磺醯氧基亞胺基）-4-甲氧基苯甲基氰化物。 【化27】

(4-1) 此外，通式（5)所示之化合物例如下述式（5-1)所示之α 甲基磺醯氧基亞胺基）-噻吩-2-甲基苯甲基氰化物。 【化2 8】

(5-1) 另外，上述通式（6)或（7)所示之化合物’具體例如以4- -19- 1336814 胺基苯并·2,ι,3·噻二唑（下述式（6-1)之化合物）、4-硝錾衆舛 -2,1,3-噻二唑（下述式（6-2)之化合物）、3,4 -二氯-1,2, s、嚷、 唑（下述式（6-3)之化合物）、4,5-二苯基-1，2,3-噻二唑（卞 (7-丨）之化合物）、4-(4 -硝基苯基）-丨，2,3-噻二唑（下述武（7、2) 之化合物）較佳。此等化合物皆爲蘭卡史塔辛西西史（譯音 )(Lancaster Synthesis)公司市售’可容易自巾場取得。 【化2 9】

(7-1) (7-2) 通式（8 )所示之化合物，具體例如2,5 ·二锍基-1 ,3,4 -噻二 唑（下述式（8-1)之化合物）、5-乙醯胺基-1,3,4 -噻二唑-2-磺胺 (下述式（8_2)之化合物）、2-胺基-5-第3-丁基-1,3,4-噻二唑（ 下述式（8-3)之化合物）、2-胺基-5-乙基硫化-1，3，4-噻二唑（ 下述式（8-4)之化合物）、2-胺基-5·乙基-1，3,4 -噻二唑（下述式 (8-5)之化合物）、2 -胺基-5-三氟甲基-1，3,4 -噻二唑（下述式 (8 - 6 )之化合物）。 -20- 1336814 化

nSH

CJ T NIN Η

S02NH2 nh2 I s NHCOCH3 (8-2) C(CH3)3

NIN

NH2 sch2ch3 (8-4). CH2CH3 (8-5)

本發明之感光性樹脂組成物密著性改善劑對感光性樹 脂組成物之添加量’通常對感光性樹脂組成物之樹脂固成分 而言爲〜50,000ppm，較佳者爲100〜5,000ppm。若感光 性樹脂組成物密著性改善劑之添加量小於I 〇PPm時無法發 揮改善感光性樹脂組成物對基板之密著性的效果，而若添加 量大於50,OOOppm時係爲引起顯像不佳起因之圖案形成不 佳、或感度降低、產生昇華物等之問題。 於本發明中，藉由添加通式（1)〜（8)所示之磺醯基取代 氮化合物或噻二唑化合物，增強感光性樹脂組成物對基板之 密著性的機構雖不明確，惟大約可推測爲如下所述。然而， 此僅單純推測，本發明不受此等所限制。換言之，例如磺醯 基取代氮化合物係爲於由酚醛清漆樹脂與二偶氮萘醌感光 劑所成的感光性樹脂組成物中使已知的偶氮偶合反應（以藉 -21 - 1336814 由未曝光部之鹼溶解抑制效果來防止膜邊效果爲目的）藉由 磺醯基與酚醛清漆樹脂之羥基予以氫鍵結更爲增強，顯像時 可防止鹼浸蝕，藉此可防止密著性降低。此外，基板側可藉 由環狀氮化合物改善密著性。換言之，環狀氮化合物含有對 金屬膜或氧化膜具有親和性的氮。此等氮上之非共軛電子對 係藉由其芳香環構造或鍵結的苯基，即使於類似的咪唑、咪 唑啉等之氮雜環化合物中仍爲活性非常高者。另外，藉由苯 基取代與類似的苯并三唑化合物相比時，與基體聚合物之親 和性高，而且，通式（1 )〜（5 )所示磺醯基取代氮化合物對氧 化膜側及基體聚合物側兩側而言具有親和性。由此等可知， 藉由在感光性樹脂組成物中添加上述磺醯基取代氮化合物 ，可改善感光性樹脂組成物與金屬膜以及氧化膜之密著性者 。另外，有關噻二唑類推測藉由噻二唑環含有2個對基板之 密著性而言具效果的氮，且氮原子或硫原子與構成基板形成 材料之電子鍵結，可改善對基板之密著性。 本發明感光性樹脂組成物之鹼可溶性樹脂，例如酚醛清 漆樹脂、具有苯酚性羥基之乙烯聚合物、具有羧基之乙烯聚 合物等，較佳者爲酚醛清漆樹脂。鹼可溶性酚醛清漆樹脂係 爲使至少一種苯酚類與甲醛等之醛類聚縮合所得的酚醛清 漆型苯酚樹脂。 爲製造該鹼可溶性酚醛清漆樹脂時所使用的苯酚類例 如〇-甲酚、P-甲酚及m-甲酚等之甲酚類；3,5-二甲苯酚、2,5-二甲苯酚、2，3-二甲苯酚、3,4-二甲苯酚等之二甲苯酚類； 2,3,4-三甲基苯酚、2,3,5-三甲基苯酚、2,4,5-三甲基苯酚、 -22- 1336814

3,4,5-三甲基苯酚等之三甲基苯酚類；2-第三丁基苯酚、3-第三丁基苯酚、4-第三丁基苯酚等之第三丁基苯酚類；2-甲 氧基苯酚、3·甲氧基苯酚、4·甲氧基苯酚' 2,3-二甲氧基苯 酚、2,5-二甲氧基苯酚、3，5_二甲氧基苯酚等之甲氧基苯酚 類：2 -乙基苯酚、3_乙基苯酚、4 -乙基苯酚、2,3-二乙基苯 酚、3,5-二乙基苯酚、2,3,5-三乙基苯酚、3,4,5-三乙基苯酚 等之乙基苯酚類；〇·氯苯酚、m -氯苯酌、P -氯苯酚、2,3 -二 氯苯酚等之氯苯酚類；間苯二酚、2 -甲基間苯二酚' 4 -甲基 間苯二酚、5-甲基間苯二酚等之間苯二酚類；5-甲基兒茶酚 等之兒茶酚類：5-甲基焦培酚等之焦培酚類：雙酚A、B、C 、D、E、F等之雙酚類；2,6-二羥甲基-P-甲酚等之羥甲基化 甲酚類；α -萘酚、β -萘酚等之萘酚類等。此等可以單獨使用 或數種混合物使用。 另外，醛類除甲醛外，例如水楊醛、對甲醛 '乙醛、苯 甲醛、羥基苯甲醛、氯化乙醛等，此等可以單獨使用或數種

混合物使用。 鹼可溶性酚醛清漆樹脂可爲分別除去低分子量成分者 ，亦可爲沒有分別除去低分子量成分者。分別除去酚醛清漆 樹脂之低分子量成分的方法，例如在具有2種不同溶解性之 溶劑中使酚醛清漆樹脂分別的液-液分別法、或藉由離心分 離低分子成分予以除去的方法等。 而且，感光劑係以含有醌二疊氮基之感光劑爲典型例。 含有醌二疊氮基之感光劑亦可使用習知醌二疊氮-酚醛清漆 樹脂系光阻劑所使用的習知感光劑者。該感光劑以藉由萘醌 -23- 1336814 二疊氮基磺酸氯化物或苯并醌二疊氮基磺酸氯化物等 二疊氮基磺酸鹵化物、與具有可與此等酸鹵化物縮合反 官能基之低分子化合物或高分子化合物反應所得的化 較佳。其中，可與酸鹵化物縮合的官能基例如羥基、胺 ’尤以羥基爲宜。含有可與酸鹵化物縮合的羥基之化合 如氫醌、間苯二酚、2,4-二羥基二苯甲酮、2,3,4-三羥基 甲酮、2,4,6·三羥基二苯甲酮、2,4,4’-三羥基二苯甲 2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮、2,2，，4,4，-四羥基二苯甲 2,2’，3,4,6’-五羥基二苯甲酮等之羥基二苯甲酮類、雙 二羥基苯基）甲烷、雙（2,3,4-三羥基苯基）甲烷、雙（2，4_ 基苯基）丙烷等之羥基苯基鏈烷類、4,4 ’，3 ”，4 ” -四 •3,5,3’，5’-四甲基三苯基甲烷' 4,4’，2”，3”，4”-五 •3，5,3’，5’·四甲基三苯基甲烷等之羥基三苯基甲烷類等 等可以單獨使用，或2種以上組合使用。含醌二疊氮基 光劑的配合量對1 00重量份鹼可溶性樹脂而言通常爲5 重量份、較佳者爲1 0〜4 0重量份。 本發明之感光性樹脂組成物的溶劑例如乙二醇單 、乙二醇單乙醚等之乙二醇單烷醚類、乙二醇單甲醚乙 '乙二醇單乙醚乙酸酯等之乙二醇單烷醚乙酸酯類、丙 單甲醚、丙二醇單乙醚等之丙二醇單烷醚類、丙二醇單 乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等之丙二醇單烷醚乙酸靡 乳酸甲酯、乳酸乙酯等之乳酸酯類、甲苯、二甲苯等之 族烴類、甲基乙酮、2-庚酮、環己酮等之酮類' Ν，Ν·二 乙醯胺、Ν -甲基吡咯烷酮等之醯胺類、γ-丁內酯等之內 之醌 應的 合物 基等 物例 二苯 酮、 酮、 (2,4- 二羥 羥基 經基 。此 之感 〜50 甲醚 酸酯 二醇 甲醚 類、 芳香 甲基 酯類 -24- 1336814

等。此等溶劑可以單獨使用或2種以上混合使用。 本發明之感光性樹脂組成物中視其所需可配合染料、黏 合助劑等。染料例如甲基藍、結晶藍、孔雀綠等，黏合助劑 例如烷基咪唑啉、丁酸、烷酸、聚羥基苯乙烯、聚乙烯基甲 醚、第三丁基酚醛清漆樹脂、環氧基矽烷、環氧基聚合物、 矽烷等。 觚 i 本發明之感光性樹脂組成物使上述鹼可溶性樹脂、感光 劑、上述通式（1)〜（8)所示特定的磺醯基取代氮化合物或噻 二唑化合物及視其所需其他添加劑溶解於所定量溶劑，視其 所需以過濾器過濾製造。該製造的感光性樹脂組成物例如爲 製造半導體積體電路元件、彩色濾光片、液晶顯示元件等之 FPD時塗覆於基板上。塗覆本發明之感光性樹脂組成物的基 板例如玻璃基板、矽基板等任意基板，其尺寸可以任意尺寸 。而且，此等基板例如可以爲形成鉻膜、鉬膜、氧化矽膜等 之被膜者。感光性樹脂組成物塗覆於基板可使用例如旋轉塗 覆法、輥塗覆法、溢料塗覆法、流延塗覆法、刮刀塗覆法、 浸漬塗覆法、隙縫塗覆法等習知任何方法。感光性樹脂組成 物塗覆於基板後，予以預烘烤以形成光阻膜。然後，使光阻 膜藉由習知或周知方法曝光、顯像，可形成沒有線寬不齊性 、且形狀良好的光阻圖案。 上述顯像時使用的顯像劑可使用習知感光性樹脂組成 物顯像時使用的任意顯像劑。較佳的顯像劑例如氫氧化四烷 銨、膽鹼、鹼金屬氫氧化物、鹼金屬甲基矽酸鹽（水合物）、 鹼金屬磷酸鹽（水合物）、銨水、烷胺、鏈烷醇胺、雜環式胺 -25- 1336814 等之鹼性化合物水溶液的鹼顯像液’更佳的鹼顯像液視其所 需包含甲醇、乙醇等之水溶性有機溶劑、或界面活性劑。藉 由驗顯像液進行顯像後’通常進行水洗。 【實施方式】 於下述中藉由實施例等更具體地說明本發明，惟本發明 之形態不受此等實施例所限制。 實施例1 對100重量份重量平均分子量以聚苯乙烯換算爲15,000 之酚醛清漆樹脂而言添加15重量份2,3,4，4’-四羥基二苯甲 酮與1 ,2-萘醌二疊氮基-5-磺醯基氯化物之酯化物、對上述酚 醛清漆樹脂而言3 00ppm作爲氟系界面活性劑之弗羅賴頓（ 譯音）-4 72(住友 3M公司製）、對上述酚醛清漆樹脂而言 l，000ppm作爲密著性改善劑之1-釆基磺醯基-1，2,4-三唑， 且溶解於丙二醇單甲醚乙酸酯中予以攪拌後，以〇·2μιη過濾 器過濾，調製本發明之感光性樹脂組成物。使該組成物回轉 塗覆於成膜有Mo(鉬）膜之4吋矽晶圓上，在1 〇〇 °C下、熱板 上烘烤9 0秒後，製得1 . 5 μιη厚度之光阻膜。在該光阻膜上 以理光（譯音）公司製分檔器FX604F使用線與間隙寬度爲1 :1之各種線寬的試驗圖案曝光後，以谷拉里恩頓（譯音）曰 本公司製AZ300MIF顯像液（2.38重量％氫氧四甲銨水溶液） 、在23°C下顯像80秒。顯像後，使5μπι之線與間隙爲1 :] 解像的曝光量爲最適曝光量時，最適曝光量爲4 0m J/cm2。其 次，密著性之確認在更爲嚴苛的狀況下、即最適曝光量之1.4 倍曝光量（56mj/cm2)、藉由5.4及3μηι之線與間隙圖案進行 -26- 1336814 ’圖案沒有剝離者爲〇、有部分圖案剝離者爲△、圖案全部 剝離者爲X，可得表1之結果。 實施例2 除使用4,5·二苯基-1,2,3-噻二唑取代^采基磺醯基 -1,2，4 -三唑外’與實施例1相同地進行，製得表1之結果。 比較例1 除沒有添加密著性改善劑外，與實施例1相同地進行， 可得表1之結果。 比較例2 除使用下述式（16)所示之二乙基（苯并三唑-1-基）亞胺 基丙二酸酯（蘭卡史塔辛西西史公司製）取代1-来基磺醯基 -1,2,4-三唑外，與實施例1相同地進行，可得表1之結果。 【化3 I】

C一0一C2H5 II 0 比較例3 除使用1 -羥基乙基-2 -氧-1，3 -咪哩啉月桂酸酯之典型例 下述通式（17)所示1_羥基乙基氧-1，3 -咪哩啉Cs〜ci6鏈院 酸酯（鏈烷酸酯）（摩鈉•因拉史頓里（譯音）公司製 '摩鈉索琳 (譯音）C’雷谷賴頓（譯音）公司製、味哗咐12(^等）取代i 莱基磺醯基-1，2,4·三唑外’與實施例1相同地進行，可得幾 -27- 1336814 1之結果。 【化3 2】

CH2CH2OH (Π)

(其中，R係表示- OCOR’，R’係表示C7〜C15之直鏈狀 或支鏈狀烷基） 表1

5 μιπ 4 μπι 3 μπι 實 施 例 1 〇 〇 〇 實 施 例 2 〇 〇 Δ 比 較 例 1 X X X 比 較 例 2 〇 Δ X 比 較 例 3 Δ X X 由上述結果可知，藉由添加本發明之密著性改善劑，與 習知苯并三唑或咪唑類相比時，可得對基板而言較高的密著 性。而且’本發明之密著性改善劑於顯像時有問題之Mo膜 上特別有效。 此外，實施例】及2之感光性樹脂組成物各在室溫下保 管3個月後進行相同的試驗時，沒有感度惡化等之情形’可 得相同的結果’有關保存安定性亦沒有問題。 -28- 1336814 【發明之效果】 如上述詳細說明，本發明使用通式（υ〜（8)所示磺醯基 取代氮化合物或噻二唑化合物作爲感光性樹脂組成物密著 性改善劑，藉由添加於感光性樹脂組成物中，可製得沒有於 顯像時或蝕刻時所見之圖案剝離、圖案倒塌情形，且具有高 密著性及良好保存安定性之優異感光性樹脂組成物。結果’ 使用本發明之感光性樹脂組成物製造FpD等時，可得改善圖 案剝離等情形起因之處理性降低問題的極爲優異效果。

-29-

Claims (1)

1336814

第93 1 1 62 90號「感光性樹脂組成物用密著性改善劑及含它之 感光性樹脂組成物」專利案 (2010年7月6日修正） 十、申請專利範圍： 1. 一種感光性樹脂組成物用密著性改善劑，其係由由下述通 式（1)所示之磺醯基取代氮化合物或下述通式（7)所示之噻 二唑化合物所構成，其特徵在於該感光性樹脂組成物含有 由酚醛清漆樹脂所構成之鹼可溶性樹脂及由含醌二疊氮 基之化合物所構成之感光劑， 【化1】

(式中’ R1係表示氫原子、羥基、Cl〜C5之烷基、可具有 取代基之苯基、-R21OH、-R22OR23、胺基、氰基丫 -r24nh2 、-R25CN或可具取代基之吲哚基，R21、r22、r24、及r25 係各表示獨立的可具取代基之伸烷基或伸苯基，R23係表 示可具取代基之烷基或苯基，X係表示碳原子或氮原子， A與X係表示爲形成可具取代基之芳香族雜環所必要的碳 原子及/或氮原子群） 【化2】 1336814 (式中，R11及R12係各表示獨立的氫原子、鹵素原子、硫 酿基、胺基、磺胺基、烷基、過氟烷基、可具取代基之苯 基，或R11及R12鍵結形成以硝基或胺基取代的縮合環之 基）。

2. —種感光性樹脂組成物，其係含有由酚醛清漆樹脂所構成 之鹼可溶性樹脂及由含醌二疊氮基之化合物所構成之感 光劑的感光性樹脂組成物，其特徵爲感光性樹脂組成物至 少含有一種如申請專利範圍第1項之通式（1)所示擴酸基 取代氮化合物或通式（7)所示之噻二唑化合物° -2-