JPS5854335A - 画像形成材料 - Google Patents
画像形成材料Info
- Publication number
- JPS5854335A JPS5854335A JP15259881A JP15259881A JPS5854335A JP S5854335 A JPS5854335 A JP S5854335A JP 15259881 A JP15259881 A JP 15259881A JP 15259881 A JP15259881 A JP 15259881A JP S5854335 A JPS5854335 A JP S5854335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image forming
- forming material
- photopolymerizable composition
- image
- photosensitive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は透明支持体上に特定の光重合性組成物層を設
けてなる画像形成材料に関するもので、さらに詳しくは
画像形成用基板に貼り合わせて露光後、剥離することに
よって未露光部分を支持体と共に取り去り、基板上に残
した露光部分にて画像を形成する際の露光部分の基板に
対する接着性が良好で現像の信頼性が高く、且つ特性の
経時的変化の少ない画像形成材料に係るものである。
けてなる画像形成材料に関するもので、さらに詳しくは
画像形成用基板に貼り合わせて露光後、剥離することに
よって未露光部分を支持体と共に取り去り、基板上に残
した露光部分にて画像を形成する際の露光部分の基板に
対する接着性が良好で現像の信頼性が高く、且つ特性の
経時的変化の少ない画像形成材料に係るものである。
従来、プリント配線板作製用フォトレジストとして溶液
タイプのものやフィルム状のものが市販されていたが、
これらはいずれも露光部と未露光部の溶液に対する溶解
性の差を利用して画像を形成するものであった。
タイプのものやフィルム状のものが市販されていたが、
これらはいずれも露光部と未露光部の溶液に対する溶解
性の差を利用して画像を形成するものであった。
しかしながら、近年、現像液を使用する操作が煩雑であ
り、しかも現像液を使用することはその廃液が公衆衛生
を害する恐れのあることから特公昭38−9663号、
特公昭43−22901号、特開昭47−7728号、
特公昭48−43126号、特開昭47−33623号
、特公昭51−48516号、特公昭53−40537
号、特公昭53−19205号、特公昭53−3572
2号の各公報に記載されているような剥離現像可能な画
像形成材料および画像形成方法が提案されている。
り、しかも現像液を使用することはその廃液が公衆衛生
を害する恐れのあることから特公昭38−9663号、
特公昭43−22901号、特開昭47−7728号、
特公昭48−43126号、特開昭47−33623号
、特公昭51−48516号、特公昭53−40537
号、特公昭53−19205号、特公昭53−3572
2号の各公報に記載されているような剥離現像可能な画
像形成材料および画像形成方法が提案されている。
これらは露光部分と未露光部分の基材と支持体に対する
接着力の差を利用して剥離によって画像を形成する方法
であるが、剥離現像が可能となるには次の条件が必要で
ある。
接着力の差を利用して剥離によって画像を形成する方法
であるが、剥離現像が可能となるには次の条件が必要で
ある。
すなわち、支持体と感光層の露光部分との単位面積当た
りの接着力を31、未露光部分とのそれをa2とし、基
板と感光層の露光部分との単位面積当たりの接着力をb
l、未露光部分とのそれをb2とすれば、al〈bt
、a2’) b2であることが最低限必要である。さら
に実際の剥離現像では感光層の露光部分と未露光部分と
の界面の切断に要する力を考慮せねばならない。ここで
、上記界面の単位長さ当たりの切断に要する力をCとす
ると、例えは面積Aで上記界面の総延長がしてある独立
パターンの露光部分が剥離現像で基板上に残るには、A
−bl)A−at +L−Cの関係を満足する必要があ
る。この不等式の両辺をAで除すれば、bl>a1十L
−C/A −+ bl−a 1) L−C/Aとなり、
右辺はLとAによって変動することから明らかなように
、面積Aが小さく界面長さが長くなるほど、つまり画像
パターンが微細化および複雑化するほど上記関係を満足
するためにblとatとの差を大きくすることが要求さ
れる。
りの接着力を31、未露光部分とのそれをa2とし、基
板と感光層の露光部分との単位面積当たりの接着力をb
l、未露光部分とのそれをb2とすれば、al〈bt
、a2’) b2であることが最低限必要である。さら
に実際の剥離現像では感光層の露光部分と未露光部分と
の界面の切断に要する力を考慮せねばならない。ここで
、上記界面の単位長さ当たりの切断に要する力をCとす
ると、例えは面積Aで上記界面の総延長がしてある独立
パターンの露光部分が剥離現像で基板上に残るには、A
−bl)A−at +L−Cの関係を満足する必要があ
る。この不等式の両辺をAで除すれば、bl>a1十L
−C/A −+ bl−a 1) L−C/Aとなり、
右辺はLとAによって変動することから明らかなように
、面積Aが小さく界面長さが長くなるほど、つまり画像
パターンが微細化および複雑化するほど上記関係を満足
するためにblとatとの差を大きくすることが要求さ
れる。
ところが、従来より剥離現像によって画像形成を行なう
ための感光層組成や材料が種々提案されているか、いず
れも前記接着力b1とalとの差が充分に大きくないた
めに、微細なI/浅シ複雑な画像パターンを形成する場
合、感光層の露光部分が剥離する支持体と共に取り去ら
れ易(、画像の信頼性に乏しいという欠点があった。
ための感光層組成や材料が種々提案されているか、いず
れも前記接着力b1とalとの差が充分に大きくないた
めに、微細なI/浅シ複雑な画像パターンを形成する場
合、感光層の露光部分が剥離する支持体と共に取り去ら
れ易(、画像の信頼性に乏しいという欠点があった。
一方、上記欠点を改善するために何らかの手段、例えば
基板と感光層の露光部分との接着力を高めるような添加
剤の配合によって剥離現像時をこ露光部分の剥がれを抑
制するようにしても、微細なII)し複雑な画像パター
ンに適用する場合、感光層の未露光部分が基板上に残留
し易いという問題がある。すなわち、画像形成材料を保
存中、とくに画像形成材料を基板に貼り合わせた状態で
比較的高温度下で保存中に感光層がゲル化等を生じて特
性変化をきたし、これを露光して剥離現像した際シこ支
持体と共に取り去られるべき感光層の未露光部分が基板
上に付着残留し易くなる傾向があり、これは画像パター
ンが微細ないし複雑となるほど顕著となる。
基板と感光層の露光部分との接着力を高めるような添加
剤の配合によって剥離現像時をこ露光部分の剥がれを抑
制するようにしても、微細なII)し複雑な画像パター
ンに適用する場合、感光層の未露光部分が基板上に残留
し易いという問題がある。すなわち、画像形成材料を保
存中、とくに画像形成材料を基板に貼り合わせた状態で
比較的高温度下で保存中に感光層がゲル化等を生じて特
性変化をきたし、これを露光して剥離現像した際シこ支
持体と共に取り去られるべき感光層の未露光部分が基板
上に付着残留し易くなる傾向があり、これは画像パター
ンが微細ないし複雑となるほど顕著となる。
この発明者らは、上記問題を解決するために鋭意研究を
重ねた結果、光重合性組成物からなる感光層中に特定の
2種の化合物を併用配合することにより、微細ないし複
雑な画像/寸ターンに適用しでも感光層の露光部の剥が
れを生じずに剥離現像を確実に行うことができ、且つ比
較的高温度下で基板に貼り合わせた状態で長期保存を行
なっても感光層の特性変化が少なく剥離現像時に未露光
部が基板に残留しにくくなること究明し、この発明をな
すに至った。
重ねた結果、光重合性組成物からなる感光層中に特定の
2種の化合物を併用配合することにより、微細ないし複
雑な画像/寸ターンに適用しでも感光層の露光部の剥が
れを生じずに剥離現像を確実に行うことができ、且つ比
較的高温度下で基板に貼り合わせた状態で長期保存を行
なっても感光層の特性変化が少なく剥離現像時に未露光
部が基板に残留しにくくなること究明し、この発明をな
すに至った。
すなわちこの発明は、透明支持体上に皮膜形成性高分子
物質と付加重合性不飽和結合を少なくとも1個含有する
化合物と光重合開始剤とを必須成分として含有する光重
合性組成物層を設けてなる画像形成材料において、上記
光重合性組成物層中に一般式; %式%() 〔但し、R1は置換もしくは未置換の芳香族残基あるい
は異部環状化合物残基、R2は)・ロダンあるいはCI
fmYn (YはIsロロダ、m −1−n = 3で
nは1以上)〕 で表わされる化合物と、一般式; %式% 水素原子またはC113基、R3はアルキレン基)で表
わされる化合物とを、それぞれが全光重合性組成物(固
形分)の量に対して0.01〜5重量%の範囲で添加さ
れてなる画像形成材料に係るものである。
物質と付加重合性不飽和結合を少なくとも1個含有する
化合物と光重合開始剤とを必須成分として含有する光重
合性組成物層を設けてなる画像形成材料において、上記
光重合性組成物層中に一般式; %式%() 〔但し、R1は置換もしくは未置換の芳香族残基あるい
は異部環状化合物残基、R2は)・ロダンあるいはCI
fmYn (YはIsロロダ、m −1−n = 3で
nは1以上)〕 で表わされる化合物と、一般式; %式% 水素原子またはC113基、R3はアルキレン基)で表
わされる化合物とを、それぞれが全光重合性組成物(固
形分)の量に対して0.01〜5重量%の範囲で添加さ
れてなる画像形成材料に係るものである。
上記一般式(A)で示される化合物はその配合によって
光重合性組成物層からなる感光層の露光部分の基板に対
する接着力を大きく向上させる。その理由は明確ではな
いが、露光によってこの化合物よりハロゲンラジカルが
生じ、これがさらに水素引き抜きを行なってハロゲン化
水素となって基板、例えばプリント配線板用銅張り積層
板の表面を活性化することにより、露光部分と基板との
接着力が向上するものと推定される。
光重合性組成物層からなる感光層の露光部分の基板に対
する接着力を大きく向上させる。その理由は明確ではな
いが、露光によってこの化合物よりハロゲンラジカルが
生じ、これがさらに水素引き抜きを行なってハロゲン化
水素となって基板、例えばプリント配線板用銅張り積層
板の表面を活性化することにより、露光部分と基板との
接着力が向上するものと推定される。
このような一般式(A)で示される化合物としては、o
S O2C11 C1(3(yS02Br 、 CI S02 (yS0
2C1α5o2cc+3 α5OzCJ(C12α5
O2CI−12C1α5OzcBr3(I)−5O2C
HRr2 α5O2CI(2B rなどがあり、前記
の如く全光重合性組成物(固形分)に対して0.01〜
5重量%の範囲で添加される。添加量が上記範囲より過
少であると接着性の向上効果が充分に得られず、また過
多であると感光層の凝集力等の物性を変えて画像の精度
を低下させる恐れがある。
S O2C11 C1(3(yS02Br 、 CI S02 (yS0
2C1α5o2cc+3 α5OzCJ(C12α5
O2CI−12C1α5OzcBr3(I)−5O2C
HRr2 α5O2CI(2B rなどがあり、前記
の如く全光重合性組成物(固形分)に対して0.01〜
5重量%の範囲で添加される。添加量が上記範囲より過
少であると接着性の向上効果が充分に得られず、また過
多であると感光層の凝集力等の物性を変えて画像の精度
を低下させる恐れがある。
前記一般式(B)で示される化合物は、その配合によっ
て、前記一般式(A)で示される化合物の配合効果を損
なうことなく、画像形成材料の保存中における光重合性
組成物感光層の特性変化を大きく抑制する機能を示す。
て、前記一般式(A)で示される化合物の配合効果を損
なうことなく、画像形成材料の保存中における光重合性
組成物感光層の特性変化を大きく抑制する機能を示す。
このような一般式CB)で示される化合物としては、2
−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、2−ヒ
ドロキシエチルメタクリロイルホスフェート、ビス−(
2−ヒドロキシエチルアクリロイル)ホスフェート、ビ
ス−(2−ヒドロキシエチルメタクリロイル)ホスフェ
ート、2−ヒドロキシプロピルアクリロイルホスフェー
ト、2−ヒドロキシプロピルメタクリロイルホスフェー
ト、ビス−(2−ヒドロキシプロピルアクリロイル)ホ
スフェート、ビス−(2−ヒドロキシプロピルメタクリ
ロイル)ホスフェートなどがあり、前記の如く全光重合
性組成物(固形分)に対して0.01〜5重量%の範囲
で添加され、特に前記一般式fAlの化合物とほぼ同量
の添加量とすることが推奨される。
−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、2−ヒ
ドロキシエチルメタクリロイルホスフェート、ビス−(
2−ヒドロキシエチルアクリロイル)ホスフェート、ビ
ス−(2−ヒドロキシエチルメタクリロイル)ホスフェ
ート、2−ヒドロキシプロピルアクリロイルホスフェー
ト、2−ヒドロキシプロピルメタクリロイルホスフェー
ト、ビス−(2−ヒドロキシプロピルアクリロイル)ホ
スフェート、ビス−(2−ヒドロキシプロピルメタクリ
ロイル)ホスフェートなどがあり、前記の如く全光重合
性組成物(固形分)に対して0.01〜5重量%の範囲
で添加され、特に前記一般式fAlの化合物とほぼ同量
の添加量とすることが推奨される。
この発明の画像形成材料を構成する透明な支持体として
は光重合性組成物層を光重合させうる300〜500n
m の波長域の光の透過性が良好で、表面が均一である
ものが選ばれる。
は光重合性組成物層を光重合させうる300〜500n
m の波長域の光の透過性が良好で、表面が均一である
ものが選ばれる。
このような支持体の具体例を挙げるとポリエチレンテレ
フタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セ
ルロース、二酢酸セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリビ
ニルアルコール、ポリカルボネート、ポリスチレン、セ
ロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合物、ポリアミド(
たとえば6−ナイロン、6・6−ナイロン、6・10−
ナイロンなど)、ポリイミド、塩化ビニル−酢酸ビニル
共重合物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリトリフル
オロエチレン等の多種のプラスチックフィルムが使用で
きる。更にこれ等の二種以上からなる複合材料も使用す
ることができる。
フタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セ
ルロース、二酢酸セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリビ
ニルアルコール、ポリカルボネート、ポリスチレン、セ
ロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合物、ポリアミド(
たとえば6−ナイロン、6・6−ナイロン、6・10−
ナイロンなど)、ポリイミド、塩化ビニル−酢酸ビニル
共重合物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリトリフル
オロエチレン等の多種のプラスチックフィルムが使用で
きる。更にこれ等の二種以上からなる複合材料も使用す
ることができる。
支持体は、一般的には1oから150 pmの厚さのも
の、好ましくは2oから50μmの厚さのものが使用さ
れるが、上記範囲以外のものでも使用することができる
。
の、好ましくは2oから50μmの厚さのものが使用さ
れるが、上記範囲以外のものでも使用することができる
。
この発明に使用できる皮膜形成性高分子物質としては、
広範な高分子物質の中がら選ぶことができるが他の構成
成分との相溶性が極度に悪いものは好ましくない。
広範な高分子物質の中がら選ぶことができるが他の構成
成分との相溶性が極度に悪いものは好ましくない。
好ましい皮膜形成性高分子物質の例としては、塩素化ポ
リオレフィン(たとえば塩素化ポリエチレン、塩素化ポ
リプロピレン〕、ポリメチル・メタアクリレート、ポリ
メチルアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセテート、
塩化ビニル−酢酸ビニル共重合物、塩化ピニリデンーア
クリロニ) IJル共重合物、ポリイソプレン、塩化ゴ
ム、ポリクロロプレン、ポリクロルスルホン化エチレン
およびポリクロルスルホン化プロピレン、溶剤可溶性線
状飽和ポリエステルなどがある。これらの高分子物質は
2種以上を混合しても使用することができる。
リオレフィン(たとえば塩素化ポリエチレン、塩素化ポ
リプロピレン〕、ポリメチル・メタアクリレート、ポリ
メチルアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセテート、
塩化ビニル−酢酸ビニル共重合物、塩化ピニリデンーア
クリロニ) IJル共重合物、ポリイソプレン、塩化ゴ
ム、ポリクロロプレン、ポリクロルスルホン化エチレン
およびポリクロルスルホン化プロピレン、溶剤可溶性線
状飽和ポリエステルなどがある。これらの高分子物質は
2種以上を混合しても使用することができる。
この発明に使用される付加重合性不飽和結合を少なくと
も1個有する化合物としては、広範な付加重合性化合物
があげられる。その例としては、アクリル酸エステル類
、アクリルアミド類、メタアクリル酸エステル類、メタ
アクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、
ビニルエステル類、N−ビニル化合物、スチレン類、ク
ロトン酸エステル類などがある。付加重合性不飽和結合
を1個有する化合物の具体例としては、アクリル酸エス
テル類、例えば、アクリル酸、アルキルアクリレート(
例えばアクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリ
ル酸アミル、アクリル酸エチルヘキシル、アクリル酸オ
クチル)、メタアクリル酸ニステール類、例えば、メタ
アクリル酸、アルキルメタアクリレート(例えばメチル
メタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピル
メタアクリレート、イソプロピルメタアクリレート〕、
アクリルアミドi、例えばアクリルアミド、N−アルキ
ルアクリルアミド、(該アルキル基トシては、例えばメ
チル基、エチル基、ブチル基、イソプロピル基、【−ブ
チル基、エチルヘキシル基などがある)、メタアクリル
アミド類、例えばメタアクリルアミド、N−アルキルメ
タアクリルアミド(該アルキル基としては、メチル基、
エチル基、イソプロピル基、【−ブチル基、エチルヘキ
シル基などがある)、アリル化合物、例えばアリルエス
テル類(例えば酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリ
ル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル〕
、ビニルニーデル類、例えばアルキルヒニルエーテル(
例エバヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテ
ル、テシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエー
テル)、ビニルエステル類、例えばビニルブチレート、
ビニルインブチレート、ビニルトリメチルアセテート、
ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニル
カプロエート等がある。他にスチレン類、例エバスチレ
ン、メチルスチレン、クロルメチルスチレン、アルコキ
シスチレン、ハロゲン化スチレン、安息香酸スチレン等
がある。クロトン酸エステル類としてはクロトン酸メチ
ル、クロトン酸エチル、クロトン酸ブチル、クロトン酸
ヘキシル、クロトン酸イソプロピルなどがある。
も1個有する化合物としては、広範な付加重合性化合物
があげられる。その例としては、アクリル酸エステル類
、アクリルアミド類、メタアクリル酸エステル類、メタ
アクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、
ビニルエステル類、N−ビニル化合物、スチレン類、ク
ロトン酸エステル類などがある。付加重合性不飽和結合
を1個有する化合物の具体例としては、アクリル酸エス
テル類、例えば、アクリル酸、アルキルアクリレート(
例えばアクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリ
ル酸アミル、アクリル酸エチルヘキシル、アクリル酸オ
クチル)、メタアクリル酸ニステール類、例えば、メタ
アクリル酸、アルキルメタアクリレート(例えばメチル
メタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピル
メタアクリレート、イソプロピルメタアクリレート〕、
アクリルアミドi、例えばアクリルアミド、N−アルキ
ルアクリルアミド、(該アルキル基トシては、例えばメ
チル基、エチル基、ブチル基、イソプロピル基、【−ブ
チル基、エチルヘキシル基などがある)、メタアクリル
アミド類、例えばメタアクリルアミド、N−アルキルメ
タアクリルアミド(該アルキル基としては、メチル基、
エチル基、イソプロピル基、【−ブチル基、エチルヘキ
シル基などがある)、アリル化合物、例えばアリルエス
テル類(例えば酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリ
ル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル〕
、ビニルニーデル類、例えばアルキルヒニルエーテル(
例エバヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテ
ル、テシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエー
テル)、ビニルエステル類、例えばビニルブチレート、
ビニルインブチレート、ビニルトリメチルアセテート、
ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニル
カプロエート等がある。他にスチレン類、例エバスチレ
ン、メチルスチレン、クロルメチルスチレン、アルコキ
シスチレン、ハロゲン化スチレン、安息香酸スチレン等
がある。クロトン酸エステル類としてはクロトン酸メチ
ル、クロトン酸エチル、クロトン酸ブチル、クロトン酸
ヘキシル、クロトン酸イソプロピルなどがある。
次に、付加重合性不飽和結合を2個以上有する化合物の
具体例を例示するが、これらは上記付加重合性不飽和結
合を1個有する化合物よりも、好適に使用される。先ず
アクリル酸エステル類及びメタアクリル酸エステル類と
しては、多価アルコールのポリアクリレート類及びポリ
メタアクリレート類(ここで「ポ1月とはジアクリレー
トU上を指す)がある。上記多価アルコールとしては、
ポリエチレングリコール、ポリプロピレンオキシド、ポ
リブチレンオキシド、(β−ヒドロキ7エトキシ)ベン
ゼン、グリセリン、ジグリセリン、ネオペンチルグリコ
ール、トリメチロールプロパン、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリトリト−ル、ジペンタエリトリトール、
ソルビタン、ソルビトール、1・4−ブタンジオール、
1・2・4−ブタントリオール、2−ブテンート4−ジ
オール、2−ブチル−2−エチル−プロパンジオール、
2−プテンート4−ジオール、1・3−プロパンジオー
ル、トリエタノールアミン、デカリンジオール、3−ク
ロルート2−プロパンジオール等がある。
具体例を例示するが、これらは上記付加重合性不飽和結
合を1個有する化合物よりも、好適に使用される。先ず
アクリル酸エステル類及びメタアクリル酸エステル類と
しては、多価アルコールのポリアクリレート類及びポリ
メタアクリレート類(ここで「ポ1月とはジアクリレー
トU上を指す)がある。上記多価アルコールとしては、
ポリエチレングリコール、ポリプロピレンオキシド、ポ
リブチレンオキシド、(β−ヒドロキ7エトキシ)ベン
ゼン、グリセリン、ジグリセリン、ネオペンチルグリコ
ール、トリメチロールプロパン、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリトリト−ル、ジペンタエリトリトール、
ソルビタン、ソルビトール、1・4−ブタンジオール、
1・2・4−ブタントリオール、2−ブテンート4−ジ
オール、2−ブチル−2−エチル−プロパンジオール、
2−プテンート4−ジオール、1・3−プロパンジオー
ル、トリエタノールアミン、デカリンジオール、3−ク
ロルート2−プロパンジオール等がある。
さらにオリゴエステルアクリレート、オリゴエステルメ
タクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリ
レートなどの名称で市販されているアクリレート、メタ
クリレート類なども好適に使用できる。
タクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリ
レートなどの名称で市販されているアクリレート、メタ
クリレート類なども好適に使用できる。
かかる付加重合性不飽和結合を少なくとも1個ましくは
30から200重量部の範囲で用いられる。
30から200重量部の範囲で用いられる。
この発明に使用される光重合開始剤としては従来公知の
ものを好適に用いることができ、それらとしてはカルボ
ニル化合物、有機硫黄化合物、過酸化物、レドックス系
化合物、アゾ並びにジアゾ化合物、光還元性色素などが
ある。代表的な具体例を挙げれば、カルボニル化合物と
しては例えばイリテロピルエーテル、ベンゾインイソブ
チルエーテル、ベンジルジメチルケタール、ベンゾフェ
ノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2
−【−ブチルアントラキノン、9・10−7エナントレ
ンキノン、ジアセチル、ベンジル、ミヘシーズケトン、
4・4′−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等がある
。
ものを好適に用いることができ、それらとしてはカルボ
ニル化合物、有機硫黄化合物、過酸化物、レドックス系
化合物、アゾ並びにジアゾ化合物、光還元性色素などが
ある。代表的な具体例を挙げれば、カルボニル化合物と
しては例えばイリテロピルエーテル、ベンゾインイソブ
チルエーテル、ベンジルジメチルケタール、ベンゾフェ
ノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2
−【−ブチルアントラキノン、9・10−7エナントレ
ンキノン、ジアセチル、ベンジル、ミヘシーズケトン、
4・4′−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等がある
。
有機硫黄化合物としては、゛ジプチルジスルフィド、ジ
オクチルジスルフィド、ジベンジルジスルフィド、ジフ
ェニルジスルフィド、ジベンゾイルジスルフィド、ジア
セチルジスルフィドなどがある。
オクチルジスルフィド、ジベンジルジスルフィド、ジフ
ェニルジスルフィド、ジベンゾイルジスルフィド、ジア
セチルジスルフィドなどがある。
過酸化物としては、過酸化水素、ジー【−ブチルペルオ
キシド、過酸化ベンゾイル、メチルエチルケトンペルオ
キシドなどがある。
キシド、過酸化ベンゾイル、メチルエチルケトンペルオ
キシドなどがある。
レドックス系化合物は、過酸化物と還元剤の組合わせか
らなるものであり、第一鉄イオンと過酸化水素、第一鉄
イオンと過硫酸イオン、第二鉄イオンと過酸化物などが
ある。
らなるものであり、第一鉄イオンと過酸化水素、第一鉄
イオンと過硫酸イオン、第二鉄イオンと過酸化物などが
ある。
アゾ及びジアゾ化合物としては、α・α′−アゾビスイ
ソブチロニトリル、2−アゾビス−2−メチルブチロニ
トリル、1−アゾ−ビス−シクロヘキサンカルボニトリ
ル、P−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム塩など
がある。
ソブチロニトリル、2−アゾビス−2−メチルブチロニ
トリル、1−アゾ−ビス−シクロヘキサンカルボニトリ
ル、P−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム塩など
がある。
光還元性色素としては、ローズベンガル、エリスロシン
、エオシン、アクリフラビン、リボフラビン、チオニン
などがある。
、エオシン、アクリフラビン、リボフラビン、チオニン
などがある。
これら光重合開始剤は単独であるいは必要に応じて2種
以上を組合せて用いることができる。これらの光重合開
始剤は不飽和化合物100重量部に対して通常0.1〜
20重量部の範囲で使用することができる。
以上を組合せて用いることができる。これらの光重合開
始剤は不飽和化合物100重量部に対して通常0.1〜
20重量部の範囲で使用することができる。
この発明の画像形成材料の感光層は、上記したような皮
膜形成性高分子物質、付加重合性不飽和化合物、光重合
開始剤、特定の密着性向上剤および保存性向上剤からな
るものであるが、さらに必要に応じて熱重合防止剤、着
色剤、充てん剤、可塑剤などの各種添加剤を含有させる
事もできる。
膜形成性高分子物質、付加重合性不飽和化合物、光重合
開始剤、特定の密着性向上剤および保存性向上剤からな
るものであるが、さらに必要に応じて熱重合防止剤、着
色剤、充てん剤、可塑剤などの各種添加剤を含有させる
事もできる。
この発明に使用される感光層を形成する各成分は、溶剤
に溶解して塗布液となし支持体上に塗布し乾燥される。
に溶解して塗布液となし支持体上に塗布し乾燥される。
塗布液の溶剤としてはアセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトンなどのケトン類、トルエン、ベ
ンゼン、キシレンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチル、
酢酸ブチル、酢酸アミルなどのエステル類、四塩化炭素
、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレンな
どのハロゲン化炭化水素、ジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルなどのエーテル類、ジメチルホルムアミド、
ジメチルスルホキシドなどがある。
メチルイソブチルケトンなどのケトン類、トルエン、ベ
ンゼン、キシレンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチル、
酢酸ブチル、酢酸アミルなどのエステル類、四塩化炭素
、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレンな
どのハロゲン化炭化水素、ジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルなどのエーテル類、ジメチルホルムアミド、
ジメチルスルホキシドなどがある。
感光層は支持体の上に塗布液を塗り乾燥させた後の厚み
が5〜100μmとなる範囲とすることができるが、微
細な画像パターンに適用するという観点からすれば薄い
感光層はど露光部分と未露光部分との界面の切断に要す
る力も少なくてよいため、5〜25μmの厚みとするこ
とが望ましい。
が5〜100μmとなる範囲とすることができるが、微
細な画像パターンに適用するという観点からすれば薄い
感光層はど露光部分と未露光部分との界面の切断に要す
る力も少なくてよいため、5〜25μmの厚みとするこ
とが望ましい。
この発明の画像形成材料は支持体上に感光層を設けた構
成からなるものであるが、必要に応じて感光層の上に保
護フィルムを設けることもできる。
成からなるものであるが、必要に応じて感光層の上に保
護フィルムを設けることもできる。
保護フィルムとしてはポリエチレン、ポリプロピレンあ
るいは非着処理をほどこした各種フィルム、紙などが使
用できる。
るいは非着処理をほどこした各種フィルム、紙などが使
用できる。
この発明の画像形成材料を用いて画像形成する方法につ
いて説明すると、の発明の画像形成材料が保護フィルム
を有している場合は保護フィルムをはがしてから感光層
を所望の基板に圧着させる。
いて説明すると、の発明の画像形成材料が保護フィルム
を有している場合は保護フィルムをはがしてから感光層
を所望の基板に圧着させる。
次に透明な支持体を通して画像露光する。
光源としては350〜5000mの範囲の波長の光を含
む光源、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン灯
、カーボンで−ク灯などを使用することができる。その
他にレーザー光線、電子線、X線などを光源として使用
してもよい。画像露光後必要ならば熱処理を加えてもよ
いが(50℃〜120℃で1分〜120分程反〕、支持
体を基板から剥離すると画像露光における露光部分は硬
化して基板に残り、未露光部分は硬化しないまま支持体
と共に除去され、かくして基板上に所望の画像が形成さ
れる。
む光源、例えば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン灯
、カーボンで−ク灯などを使用することができる。その
他にレーザー光線、電子線、X線などを光源として使用
してもよい。画像露光後必要ならば熱処理を加えてもよ
いが(50℃〜120℃で1分〜120分程反〕、支持
体を基板から剥離すると画像露光における露光部分は硬
化して基板に残り、未露光部分は硬化しないまま支持体
と共に除去され、かくして基板上に所望の画像が形成さ
れる。
なお、どの発明の画像形成材料はプリント配線板作製用
のフォトレジストに好適に使用できるが、さらに平版印
刷、画板印刷等の刷版の作製や他のレリーフ画像の作製
などの用途にも使用することができる。
のフォトレジストに好適に使用できるが、さらに平版印
刷、画板印刷等の刷版の作製や他のレリーフ画像の作製
などの用途にも使用することができる。
以下実施例によって具体的に説明するが、この発明はこ
の実施例により限定されるものではない。
の実施例により限定されるものではない。
実施例1
塩素化ポリエチレン(出隅国策パルプ社製スーパークロ
ンCPEgO7HA) 70(重量部)ポリメタクリ
ル酸メチル(三菱レーヨン社製ダイヤナールBR−75
) 30ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト 50オリゴエステルアクリレート(東亜合成化学工
業社製アロニツクスM−6300) 80ベンゾフエ
ノン 2.0(重量部)ミヘシーズケトン
2.0 パラメトキシフエノール 0.1 2−ナフタレンスルホニルクロライド 0.52−ヒド
ロキシエチルアクリロイルホスフェート
0.5パラメトキシフエノール
0.1エチルバイオレツト 0
.3トルエン 400上記
材料を均一に溶解混合することにより光重合性組成物の
溶液を作成し、この液を厚さ25μmのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に乾燥後の厚みが20μmにな
るように塗布し、80℃で5分間乾燥を行なうことによ
り画像形成材料を得た。
ンCPEgO7HA) 70(重量部)ポリメタクリ
ル酸メチル(三菱レーヨン社製ダイヤナールBR−75
) 30ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト 50オリゴエステルアクリレート(東亜合成化学工
業社製アロニツクスM−6300) 80ベンゾフエ
ノン 2.0(重量部)ミヘシーズケトン
2.0 パラメトキシフエノール 0.1 2−ナフタレンスルホニルクロライド 0.52−ヒド
ロキシエチルアクリロイルホスフェート
0.5パラメトキシフエノール
0.1エチルバイオレツト 0
.3トルエン 400上記
材料を均一に溶解混合することにより光重合性組成物の
溶液を作成し、この液を厚さ25μmのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に乾燥後の厚みが20μmにな
るように塗布し、80℃で5分間乾燥を行なうことによ
り画像形成材料を得た。
この画像形成材料を表面を清浄した銅張りガラスエポキ
シ積層板の銅表面に加圧積層し、さらに画像形成材料の
表面に75〜300μmの各種線幅パターンを有する陰
画原稿を密着させ、3KWの超高圧水銀灯で60mの距
離より10秒間の露光を行なった。次に基板を35℃に
加温した状態で画像形成材料の支持体であるポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを基板から引き剥がしたとこ
ろ、未露光部分はフィルムと共に基板から除去されて、
基板の銅表面には硬化して残った露光部分からなる陽画
画像が形成された。この画像は75μmや100μm等
の細い線幅パターンも剥がれることなく陰画原稿に忠実
に対応するパターンであることが確認された。さらに、
同様の操作によって9枚の基板に画像形成したが、全く
同様の結果を得た。
シ積層板の銅表面に加圧積層し、さらに画像形成材料の
表面に75〜300μmの各種線幅パターンを有する陰
画原稿を密着させ、3KWの超高圧水銀灯で60mの距
離より10秒間の露光を行なった。次に基板を35℃に
加温した状態で画像形成材料の支持体であるポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを基板から引き剥がしたとこ
ろ、未露光部分はフィルムと共に基板から除去されて、
基板の銅表面には硬化して残った露光部分からなる陽画
画像が形成された。この画像は75μmや100μm等
の細い線幅パターンも剥がれることなく陰画原稿に忠実
に対応するパターンであることが確認された。さらに、
同様の操作によって9枚の基板に画像形成したが、全く
同様の結果を得た。
一方、同様に画像形成材料を積層した基板を23℃、8
0%の雰囲気中に1日間放置したものおよび3日間放置
したものについて、同様に露光、剥離現像を行なったが
、いずれも放置しないものと変わらぬ良好な画像パター
ンが得られた。
0%の雰囲気中に1日間放置したものおよび3日間放置
したものについて、同様に露光、剥離現像を行なったが
、いずれも放置しないものと変わらぬ良好な画像パター
ンが得られた。
このようにして得られたレジストパターンを有する各銅
張り基板を、塩化第1鉄水溶液を用いて40℃の温度で
銅層のエツチング処理を行なったが、この処理中もレス
シストは銅表面に強く接着しており、剥がれやピンホー
ルを全く生じていないことか確認された。さらに、エツ
チング後のレジストの除去は塩化メチレンによって容易
に行なうことができた。
張り基板を、塩化第1鉄水溶液を用いて40℃の温度で
銅層のエツチング処理を行なったが、この処理中もレス
シストは銅表面に強く接着しており、剥がれやピンホー
ルを全く生じていないことか確認された。さらに、エツ
チング後のレジストの除去は塩化メチレンによって容易
に行なうことができた。
比較例1
実施例1の光重合性組成物中の2−ナフタレンスルホニ
ルクロライドおよび2−ヒドロキシエチルアクリロイル
ホスフェートを除いた以外は実施例1と同様にして画像
形成材料を得た。これを用いて実施例1と同様の操作に
よって10枚の基板上にレジストパターンを形成したと
ころ、5枚の基板のレジストパターンに75μmおよび
100μm ノ線幅パターンの剥がれが確認された。
ルクロライドおよび2−ヒドロキシエチルアクリロイル
ホスフェートを除いた以外は実施例1と同様にして画像
形成材料を得た。これを用いて実施例1と同様の操作に
よって10枚の基板上にレジストパターンを形成したと
ころ、5枚の基板のレジストパターンに75μmおよび
100μm ノ線幅パターンの剥がれが確認された。
比較例2
実施例1の光重合性組成物中の2−ヒドロキシエチルア
クリロイルホスフェートを除いた以外は実施例1と同様
にして画像形成材料を得た。これを用いて実施例1と同
様の操作で10枚の基板上にレジストパターンを形成し
たところ、比較的良好な画像パターンが得られたが、画
像形成材料を1日間放置した後に露光、剥離現像したも
のでは未露光部分が半ばゲル化した状態で基板上に残留
していることが確認された。
クリロイルホスフェートを除いた以外は実施例1と同様
にして画像形成材料を得た。これを用いて実施例1と同
様の操作で10枚の基板上にレジストパターンを形成し
たところ、比較的良好な画像パターンが得られたが、画
像形成材料を1日間放置した後に露光、剥離現像したも
のでは未露光部分が半ばゲル化した状態で基板上に残留
していることが確認された。
実施例2
塩化ゴム(山間国策パルプ社製スーパークロンCR−5
) 80(重量部)ポリメタクリル
酸メチル(三菱レーヨン社製ダイヤナールBR−80)
20 オリゴエステルアクリレート(東亜合成化学工業社製ア
ロニックスM−8060) 40オリゴエステルアク
リレート(東亜合成化学工業社製70.1m ’7クス
M−6100) 1002−【−ブチルアントラキノ
ン 2.04・4′−ビスジエチルアミノベンゾフ
ェノン2.0 トリブロモメチルフェニルスルホン 1.02−ヒドロ
キシアクリロイルボスフェート1.0 パラメトキシフェノール 0.1エチルバイ
オレート0.3(重量部) トルエン 400 上記材料を用いて実施例1と同様にして画像形成材料を
得た。これを実施例1と同様の方法でレジストパターン
を形成したところ、全く剥がれのない良好な画像パター
ンが得られ、また実施例1と同様の放置を行なったもの
も特性の変化が認められず良好な画像パターンが得られ
た。
) 80(重量部)ポリメタクリル
酸メチル(三菱レーヨン社製ダイヤナールBR−80)
20 オリゴエステルアクリレート(東亜合成化学工業社製ア
ロニックスM−8060) 40オリゴエステルアク
リレート(東亜合成化学工業社製70.1m ’7クス
M−6100) 1002−【−ブチルアントラキノ
ン 2.04・4′−ビスジエチルアミノベンゾフ
ェノン2.0 トリブロモメチルフェニルスルホン 1.02−ヒドロ
キシアクリロイルボスフェート1.0 パラメトキシフェノール 0.1エチルバイ
オレート0.3(重量部) トルエン 400 上記材料を用いて実施例1と同様にして画像形成材料を
得た。これを実施例1と同様の方法でレジストパターン
を形成したところ、全く剥がれのない良好な画像パター
ンが得られ、また実施例1と同様の放置を行なったもの
も特性の変化が認められず良好な画像パターンが得られ
た。
比較例3
実施例2の光重合性組成物中のトリブロモフェニルスル
ホンおよび2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェ
ートを除いた以外は実施例2と同様にして画像形成材料
を得た。これを用いて実施例2と同様の操作で10枚の
基板上にレジストパターンを形成したところ、8枚の基
板のレジストパターンに75μm 、 l Q 9μm
、および125μmの線幅パターンの剥がれが確認され
た。
ホンおよび2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェ
ートを除いた以外は実施例2と同様にして画像形成材料
を得た。これを用いて実施例2と同様の操作で10枚の
基板上にレジストパターンを形成したところ、8枚の基
板のレジストパターンに75μm 、 l Q 9μm
、および125μmの線幅パターンの剥がれが確認され
た。
比較例4
実施例2の光重合性組成物中の2−ヒドロヤシエチルア
クリロイルホスフェートを除いた以外は実施例1と同様
にして画像形成材料を得た。これを用いて実施例2と同
様の操作で10枚の基板上にレジストパターンを形成し
たところ、いずれも比較的良好な画像パターンが得られ
たが、画像形成材料を積層した基板を23℃、80%R
Hの雰囲気中で1日間放置した後に露光現像したもので
は比較例2と同様に未露光部分が半はゲル化した状態で
基板上に残留していることが確認された。
クリロイルホスフェートを除いた以外は実施例1と同様
にして画像形成材料を得た。これを用いて実施例2と同
様の操作で10枚の基板上にレジストパターンを形成し
たところ、いずれも比較的良好な画像パターンが得られ
たが、画像形成材料を積層した基板を23℃、80%R
Hの雰囲気中で1日間放置した後に露光現像したもので
は比較例2と同様に未露光部分が半はゲル化した状態で
基板上に残留していることが確認された。
特許出願人 日東電気工業株式会社
Claims (1)
- (1)透明支持体上に皮膜形成性高分子物質と付加重合
性不飽和結合を少なくとも1個含有する化合物と光重合
開始剤とを必須成分として含有する光重合性組成物層を
設けてなる画像形成材料において、上記光重合性組成物
層中に一般式; %式%() 〔但し、klは置換もしくは未置換の芳香族残基あるい
は異部環状化合物残基、k2は)・ロダンあるいはC)
hnYn (YはI−6ゲン、m −4−n=3でnは
1以上)〕 で表わされる化合物と、一般式; %式% は水素原子またはCH3基、R3はアルキレン船で表わ
される化合物とを、それぞれが全光重合性組成物(固形
分)の量に対して0,01〜5重量%の範囲で添加され
てなる画像形成材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15259881A JPS5854335A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 画像形成材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15259881A JPS5854335A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 画像形成材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5854335A true JPS5854335A (ja) | 1983-03-31 |
JPS6410057B2 JPS6410057B2 (ja) | 1989-02-21 |
Family
ID=15543919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15259881A Granted JPS5854335A (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 画像形成材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5854335A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58196762A (ja) * | 1983-03-30 | 1983-11-16 | Canon Inc | 画像記録装置 |
EP0780731A3 (en) * | 1995-12-22 | 1997-07-30 | Mitsubishi Chemical Corporation | Photopolymerizable composition for a color filter, color filter and liquid crystal display device |
EP0795790A2 (en) * | 1996-03-11 | 1997-09-17 | Eastman Kodak Company | Peel-developable lithographic printing plate |
US5677096A (en) * | 1995-09-19 | 1997-10-14 | Ricoh Company, Ltd. | Electrophotographic photoconductor |
WO2004109404A1 (ja) * | 2003-06-09 | 2004-12-16 | Az Electronic Materials (Japan) K.K. | 感光性樹脂組成物密着性向上剤及びそれを含有する感光性樹脂組成物 |
-
1981
- 1981-09-26 JP JP15259881A patent/JPS5854335A/ja active Granted
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58196762A (ja) * | 1983-03-30 | 1983-11-16 | Canon Inc | 画像記録装置 |
US5677096A (en) * | 1995-09-19 | 1997-10-14 | Ricoh Company, Ltd. | Electrophotographic photoconductor |
EP0780731A3 (en) * | 1995-12-22 | 1997-07-30 | Mitsubishi Chemical Corporation | Photopolymerizable composition for a color filter, color filter and liquid crystal display device |
US5800952A (en) * | 1995-12-22 | 1998-09-01 | Mitsubishi Chemical Corporation | Photopolymerizable composition for a color filter, color filter and liquid display device |
EP0795790A2 (en) * | 1996-03-11 | 1997-09-17 | Eastman Kodak Company | Peel-developable lithographic printing plate |
EP0795790A3 (en) * | 1996-03-11 | 1998-08-19 | Eastman Kodak Company | Peel-developable lithographic printing plate |
WO2004109404A1 (ja) * | 2003-06-09 | 2004-12-16 | Az Electronic Materials (Japan) K.K. | 感光性樹脂組成物密着性向上剤及びそれを含有する感光性樹脂組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6410057B2 (ja) | 1989-02-21 |
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