JPS5948752A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関し，更に詳しくは印刷配
υ板製造用の半田マスク（永久作僅マスク）等に１史用
（２得る接名・性が改善された感光性樹脂組成物に関す
る。

感光性樹ｊバｉ　、Ｔｆｉ成物放物刷配線板を製造する
ためのフォトレジストとして使用されることはよく知ら
れている。

印刷配線板４８！３竜川の感光性樹脂、ｔ１１成物はそ
の使用目的によって２神に大別できる。

一つは、エツチングあるいは金属めつきの際のレジスト
像を形成する配線パターン形成用の感光性樹脂組成物で
あり、一つは、半田マスク形成用の感光１ｊ、（Ω↑脂
徂成放物ある。このいずれにしても適月１する基材との
接着性に優れていることが望まれ、乙が、その接着性の
意味するｆ’Ｊｒは大きく異なっている。Ｉ〕（１ち、
前者に２ちっての接着性は、エツチング又はめつき時に
のみ、室温あるいは高々１００°Ｃのエツチング液又は
めつき液がしみこまないで、かつそれらのエツチング又
はめつき処理後汀容易にかつ完全にレジス）・が基材か
ら剥離されることが必要である。即ち必要とされる接着
１牛は一時的なものにすぎない。

これに対して後者にあっての接着性は永久的なものであ
りかつ、高温度（通常２４０〜３００℃）の半田浴に浸
漬した場合に半田のもぐりあるいけマスクの浮きが発生
してはならないという非常に過酷な接着性である。

特公昭５３−４４３４６号公報では、感光性樹脂組成物
を構成する光重合性不飽和化合物の例としてリン含有ア
クリル酸誘導体が挙げられ−Ｃいるが、それが半［］１
耐熱イ１に関して効果があるとの示１変はなく、又２本
発明者らの検討によっても単独ではほどんど幼果を示さ
な、いことが分った。

１に、イミダゾール、チアゾール、テトラゾール、１．
リアゾール又はこれらの誘導体が銅および銅合金の腐食
抑制及び変色防止剤として作用することは公知であるが
これらの添加が半田マスクの半田耐熱性を向上させるこ
とは知られておらず１本発明者らの検討によっても全く
効果を示さないことが分った。

しかるに９本発明者らが柚々検討【−だ結果。

イミダゾール、チアゾール、テトラゾール、トリアゾー
ル又はこれらの誘導体と光重合性不飽和結合を有するリ
ン酸化合物と全組み合わせたときには半田耐熱性が顕著
に向上することが見い出され／？：、。

本発明の目的０１．半田マスクの形成等に使用１〜うる
基材への接７ｔＪ性の改善された感光性樹脂組成物を提
供することである。

本発明は、（ａ）イミダゾール、チアゾール、すトラゾ
ール、トリアゾール及びこれらの誘導体からなる肝より
選ばれた化合物の少なくとも１オ虫　。

（ｂ）光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物。

（Ｃ）末端エチ１／ン基を少なくとも１個有する光重合
性化合！丙。

（ｄ）熱町塑件有機υＪ４）子化合物。

お・よび （ｅｌ活性光砂の照射によって前記小胞第１１化付物（
ｂ）及び（Ｃ）のｉＩ【合を開始する増感剤及び／又は
増感剤系 を含有する感光性樹脂組成物に関する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物について以下に詳細
に説明する。

本発明の提案する感光１！Ｂ　４１ｔ）脂組放物／ｊイ
ミダゾール、チアゾール、デトラゾール、トリアゾール
及びこれらの誘導体からなる群よりＳ　ｔＪ：れた化合
物の少なくとも１種を必須成力と（〜て舌付する。

好ましい化合９勿のト１］と１７てば、イミダゾール。

２−メチル−ｒミタ゛ゾール、２−エチル−４−メチル
・イミグゾール、２−ノエニル・ｒミダゾール。

２−フェニル−４−メｆルイミｆｉ’ソーｋ　、　２−
アミノ−ｒミダゾール、チアゾール、２−メチルチアゾ
ール、２−アミノチアゾール、ｌ１１−テ１、ラゾール
、５−アミノ−Ｉ　Ｈ−テトラゾール。

１．２．３−ｉ・リアゾール、２，１．３−トリアゾー
ル。

３−アミン−１，２，４−トリアゾール等があるが。

これらに制限されるものではない。これらは２柿以十用
いでもよい。この化合物の添加の効果は感光性樹脂組成
功中０．００１重用部以上から得られるが、全属人面上
の光重合層の耐りロスカット性停の点から５重財部以下
が好ましい。

本発明の提案するｔ、ｓ＜光４（Ｌｇ樹脂Ａ」１成物は
、光重Ｂ性不ＩＱ和結合を汀するリン酸化合物を必須成
分どして含有する。好−上しい化合１方の例としてに寸
、油脂２製品（１・１月・Ｊのび録トζｊ匪ホスマーＭ
（γ／ソ１′７オスフオキシエチルメタクリレート）。

ホスマーＣＬ（３−クロＬ＋〜２−ｒ７ノドフオスフオ
キンブロビルメタアクリレート 化檗（Ｆ（ｊ　’；提（７）　？Ｌ　録ｒｉｊ自；’；
ＫＡＹｉ〜へＩＥＩＩ　シリーズのＰへ■−２（ビス（
メタアクリロキシエチル）フォスフニー１）、Ｐｊへ−
１（γクリロキシエチルフオスフエート）、１）Ａ−２
（ビス（アクリル酸エチル）フォスフニー１・）　、　
（１＃Ｊ大八比へ工業ｎ丁製の登録商（巧１ヒ゛ニエイ
トー几，ＰＳーＡ４等がある。この出自゛１′Ｊ（１）
添加の効果ｄ、感光性樹脂用成」勿中，ｏ．ｏｏｉ重ｉ
ｔｆ１１＋ｌり１″−ＬＩＪ・ら得られるがｍ’ｌ　ｆ
ＩＬ　：’迂１−′［秀の点から５　７ｉＱ−’Ｈ’１
部以Ｆが好゛ましい。

本発明の提案する１よ１光１２−樹脂組成物は末端エチ
レン基を少なくとも１個有するうｔ重合性化合物を必須
成分として含有する。この化合物の１．＋ｌＪとしては
，特公昭５３−３７２１４号公報で提案された光１「８
１生１ヒ合物，特開昭５３〜５６０１８号公報中に記載
される単１＋１体，特願１１，ｊ　５　５−１３１３２
２号に示される光重合トドウレタン化合物等を挙げ得る
。

感光性樹脂組成物中の末端エチレン基を少なくとも１個
有する光重合性化合物の含有Ｍはフィルム性及び光硬化
性の点から２０〜８０重掖部が好液しい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物に［熱可塑１１１ユ
有機高分子化合物を必須成分として含有する。

使用できる例としては特公昭４１−１５９３２号公報に
記載された熱０Ｔ塑性重罰体等を示すことができるが，
他の組成との相溶性，適用する基板表面との密着件等の
点からビニル系共重合線状高分子化合物が好ましい。共
重合成分としては名拙のビニル単打１体を用いることが
できる。

ビニル単Ｌ−ｉ体の適当な例と１，ではメタクリル酸メ
チル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、スチレ
ン、ａ−メチルスチレン、ビニルトルエン、２−ヒドロ
キジエチルメタクリレート。

２−ヒドロキンプロビルアクリレート、アクリル醇．メ
タクリル市，グリシジルメタクリ１／ート，ｔ−ブチル
アミノエチルメタクリレート。

２、３−ジブロモゾロビルメタクリレート，３−クロロ
−２−ヒドロキシゾロピルメタクリレート；テ］・ラヒ
ドロフルフリルメタクリレート。

トリブロモフェニルアクリレート、アクリルアミド、ア
クリロニトリル、ブタジェン等を挙げ得る。感光性樹脂
組成物中の熱可塑性有機高分子化合物の含有縫はフィル
ム性及び光硬化ｉ生の点から２０〜８０重し１部が好捷
しい。

本発明の提案するＩＩ・＼光ｉ生（１＋１脂ホＩ■成′
吻は活ＴＪ−光線の照射によ゛つて前Ｍ［Ｆ　Ｃｌ）−
ｊ’ｅ　’ＩＡ汀訃不飽和結合を有するリン酸［ヒ占物
及びト）′・１１ジエチレン基を少なくともＩＩＩＩＩ
Ｊイ１す４光１０合１生化合物の重合を開始する噌感剤
没び／又し１増／ＬＬ削系を必須成句としてＳ有する。

使用できるＪ’ｌ’ｊ　Ａ’．＜ハ１１としてシー１２
−工チルアントラキノン，２−１−プチルアノトラギノ
ン，オクタメチルアントラギノン，１，２，。

ベンズアントラキノン、２．３−ジンエニルγントラキ
ノン等の置換又は非１ａ換の多核上ノン類。

ジアセチル、ベンジル等のケトγルドニル什合４３、、
ベンゾイン、ビバロン寺（１）　（Ｉ　　ｆ　ｐ　ル１
．＋ニルアルコール５ｉ１　オニ０：エーテルＪ．＋’
ｌ　、　（Ｚ−フェニル−ベンゾイン、α，αージェト
ギシアセトフエノン等のａ−炭１ヒ水素置換芳香族アシ
ロイン類，ベンゾフェノン、４．４’−ビスジγルキル
ーｒミノベンゾノエノ７等の芳香庇ケトン類などを例示
でき，こ〕しらは屯独でも１ト１１台すでもよい。

使用できる増／１＆剤系としては２，　４．　５　〜ト
リアリールイミタ゛ゾールニド□′．、体と２−メルｂ
ゾトベンゾ−ヤナゾール，ロイコクリスタルバイオレッ
ト。

トリス（４−ジエチルアミン−２−メチルフェニル）メ
タン等とのｒｒ．［を合せｌどをＶ／１１示できる。

ま／ｒ′．，ぞれ自（（、で尤［；ｉ’ｌ始（ｔは’１
　イカ、前述Ｌｉ’１４Ｊ　＋７＋４とｆ！Ｉｆ　ｉ′
３″ｉｔで用いることにより全体として光開始１′Ｉ：
ｉ止Ｃ／．）より良好々゛壇感剤系と７＋：ろような／
ＪＳ加削を用いることが１″きる。例えばベンゾフェノ
ンＫｒｆｆるトリエタノールアミン等の三級アミンなど
である。感光性樹脂組成物中の増感剤及び／又は増感剤
系は、０．５〜１０重量部含有されることが好ましい。

さらに１本発明の感光１／Ｉ：樹脂組成物は他の副次的
成分を含有することができる。副次的成分としては熱重
合防止剤、染料１Ｍ科料。ィラー。

分散安定剤、堕工性向上剤、雌燃削、難燃助剤等であり
、これらの選択は通常の感光１！ｊ：樹脂組成１ニダと
同様の考ノばのもとに行なわれる。

次に９本発明の提案する感光性樹脂組成物の使用方法の
例についてｄ）ト明する。

基板」ニへの１県光性樹脂組成物の層の形成は常法によ
り行なうことができる。たとえば感フし性４６４　ＪＡ
Ｗ　６ｔ　ｈシ勿ｔ　７’　ｆルエチルケｊ・ン、トル
エン塩化メチレン等の有機浴剤に均一に溶り子させ（但
し．フーｆラー，顔料等は均一に分ｔｉ（させ）。

この溶液をデーｆソノコート法，フローコーＩ・注等で
基板に直接塗布［７，溶剤乾燥することにより亘，ない
得る。その後，感光性樹脂組成にさらに特公昭４６−３
５６８７号公報．特公昭４６−３２７１４号公報等に示
される酸素不透過性保Ｈ’Ａ　Ｉ＊を設け，あるいけポ
リエステルフィルム等の活性光に透明なフィルムを積層
してもよい。

父，本発明になる感光性樹脂）組成物は，支持体フィル
ムＬ：に感光１イＪｌ：樹脂組成物の層を設けた感光性
エレメントの製造用にも好適である。

支持体フィルム上への感光性樹脂組成物の層の形成は常
法により行なうことができる。たとえば１１べ光性樹脂
組成物をメチルエチルケトン。

トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ
（　（ｆｌ　Ｌ　、顔料等は均一に分散させン。

この溶液を支持体フィルム−Ｆにティフコ−１法。

〔Ｊ−ルコート法等で塗布し，乾燥し，で行なわれる。

感ブｔ：層中の残存溶剤騎ｉ１特匪保持のに，めに２重
吋−以下におさえることが好゛ましく，１重゛ｌｄφ以
下におさえることが特に好ましい。

支持体）・ｒルムｔｉ感光件エレメントの製造時に必要
な耐熱性，ＩｉｌｉＩ溶剤性を有（〜でいることが必要
で，活性光に対１７透明でをＪつても不透明であっても
よい。ｆｆｆ−４しい例として，ポリエステルフィルム
、ポリイミドフィルム等の公知のフィルムを挙げること
ができ，乙。

長尺のΔ１にブ１ｊ：エレメントを製造する場合は。

製造のＭ終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。

この場合，感圧１生粘着テープ等で公知の方法を用い，
背面処理した支持体フィルムを用いることにより，ロー
ル状に巻き取ったときの感光性樹脂組成！Ｉ’ｙ）（７
）層の支持体フィルム１１面への転着を防ぐことがり能
である。同じ目的。

塵の付着を防ぐ１］的等で該エンメントのＡ＆光性樹脂
組成物のＡ．ｙ上に／４１ｊ喘ｄＦ１１ヒなカバーフィ
ルムをオ責層すること／ｌ；〃了ｆしい。

剥比′を可ｒ＋ｆ：なカパーフ・「ルムの例とｌ〜では
，ポリエチ【／ンフイルム，ポリプロピレンフィルム。

テフロンフィルム、表面処理をした紙等があり。

カバー７・ｆルムを剥ＰａｌするときにｌＩＩヒ、光性
１：樹脂組成物の層と支持体フィルムとのＪ並７ｔＵ’
力よりも。

感光匹樹脂，ｆ１１成物の層と力・・−フィルムとの接
着力がより小さ斐へものであればよい。

このようにして製造した感光性エレメントの基板上への
積層は容易である。すなわち、カバーフィルムのない場
合はその１ま，カバーフィルムのある場合はカバーフィ
ルムを珀ｊ離して又は剥離しながら，基板上に加熱・加
圧積層する。

加熱・加圧積層は印刷配線板製造業者では周知の常圧ラ
ミネータを用いて行なうことができる。

基板が，２ｉ．体配線ラインの形成された印刷配線板の
ように１０μ０１以上の凹凸のあるものの場合は，減圧
下又は真空下で積層することが好ましい。

このための装置としては特開昭５１＝６３７（１２号公
報又は特公昭５３−３１６７０号公報に記載される積Ｉ
儲装置等がある。

積層後の露光および現像処理は常法により行ない得る。

すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明である場合
は支持体フィルムを剥離した後，高圧水銀灯，超高圧水
銀灯等の光源を用い，ネガマスクを通（〜で像的に露光
する。

露光陵支持体フ・ｆルムが残っている場Ｕは支持体フィ
ルムを！１ｊ喘し、現職する。現像液には。

１．１．１−１クロルエタン等の有機溶剤、アルカリ性
水溶液、；汀（良溶剤の水溶液等が用いられる。

更に現像後の８０℃ないし２００　℃での／ＩＩｌ熱処
ｊ里及び活性光の露光によ＃）潰れた特性金石する半田
マスクとなる。現＋７＋友のカｌ熱処理及び活性光の露
光の順序はどちらか先でもよく、またそれぞれをＦＪ度
かに分けて行なってもよい。現像後の加熱処理及び活性
光の露光によって得られる保映被膜は反れた半田１Ｆｊ
ｔ熱四を示す。

更に該保護被膜はトリクレン、イングロビルアルコール
、トルエン等の有ａｍＡｌｌに十分＋Ｉｕｆ　、ｔ　。

酸１生水溶液又はアルカリ性水浴液にも耐えるので半田
マスク等の永久的な保躾被膜として好適である。

次に本発明の実施し０を示す。

本発明はこの実施例によって限定されるものではない。

実施例中及び比較例中の１一部」は重量部を示す。

実施例１ ａ）末端エチレン基全壱する光重合性化合物の合成 トルエン　　　　　　　　１２００部 ジラウリン１夜ジーｎ　−１部 ７゛チルスス′ トルエン　　　　　　　　３００部 ｐ〜７トキシフエノール　　　０．３部Ｃメタノール　
　　　　　　　２０部 −１−ｉｆ［：　Ａを温度計、攪拌装置、冷却管、窒素
ガス導入管及び滴下器のついた。　ＪＩＩＩ熱及び冷却
の可能な谷績約５１の反応器に加え撹拌しながら６０℃
に昇温した。反応温度を５５〜６５℃に保ちながら約５
時間で均一にＢを滴下しｔｃ。

Ｂ滴下後、約５時間かけて徐々に反応温度を８０℃まで
昇温した。その後温度を６０℃に下げ、Ｃを加え約１時
間攪拌を続けた。その後。

減圧乾燥して溶剤を除去し、粘稠な末端エチレン基を有
する光１１（臼−１１化合物ｆｉ＋を得た。

ｌ））感光性樹脂組成１１′ｄと感光性ニレメン］・の
製造上記方法で１）ＪらＪした光重合性化合物（１）５
’ＯＫり。

メタクリル？實メチル・アクリル酸メチル・アクリル酸
・２〜ヒドロキシエチルメタクリｌ／−ト（８３／１０
／２１５重量比）共重合物（分子計約１２万）　　　　
　　　　５０に９゜ベンゾフェノン　　　　　　　　　
　２．７　Ｋｐ　。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　０．３にグ。

■）−ノドキシフェノール　　　　０．０２に７゜ビク
トリアピュアブルー　　　　０．０５に７゜トルエン−
５０に７゜ メチルエチルケトン　　　　　　　５０Ｋｐ。

−Ｉ：　ＷＩ：組成の配合液２０Ｋｚに対しイミダゾー
ル及びホスマーＭ（油脂製品（１８ｇ製登録商標、メタ
クリル基を含有するリン酸化合物）をそれぞれ表１の通
り添加した１０種の感光性樹脂組成物のｍ液を準備した
。

２４３１図に示す装置ａを用いて上記１０種の！函光−
性樹脂肩１成物の溶ン戊１をそれぞれ２５１ｔｍ厚さの
ポリエチレンテレフタレー用・フィルム２」二に均一に
砧布し８０〜１００℃の熱風対流式乾燥機３を約１０分
間通して乾燥した。感光性樹脂組成９・（ｄの層の乾燥
後の厚さは約７５μｎ１であつた。感光性樹脂組成物の
層の上には、更に第１図のように厚さ約２５μｍのポリ
エチレンフィルム４をカバーフィルムとして張シ合わせ
た。

第１図において、５はポリエチレンテレフタレートフィ
ルムぐり出しロール、６，７．８はロール、９はナイフ
、１０けポリエチレンフィルムくり出しロール、１１．
１２はロール、１３は感光性エレメント巻き取りロール
である。

Ｃ）半田マスクの形成 上記ｂ）で得られた１０種の感光１’ｌエレメントを、
前処理により銅表面を清浄にしだ鋼張積層板（日立化成
工業ｆＩｎｎ製、ＭＣＬ−Ｅ６１．銅箔厚さ３５μｍ１
１　、基材厚さ１．６−）−ヒに、曙産業（（（１）製
Ａ−５００型常圧ラミネータを用いカバー、フィルムを
剥ＮｉＩ　ｆ、なから、積層した。積層後第２図に示し
た試験用ネガマスクを用い、（（力オーク製作新製クエ
ニソクス３０００型露光機を１史用して１５０　ｍ　Ｊ
／ａｒｔ２の躇光廿の紫外縁を照射した。第２図におい
て１４けネガマスクの不透明部分、１５）士ネガマスク
の透明部分を示し。

数字の単位は關である。

８０℃で５分間加熱し室温で３０分間故１ｔシたのち、
支持体フィルムを剥離し、１，１．ｌ）リクロルエタン
を用い、２０℃で１２０　＋Ｊ’間スジスプレー現像。

現像後８０℃で１０分間ｊＩＩＩ熱乾燥し、東芝電材（
４４４）ｄ紫外線照射装置ｉ’４をＩ車用］−露光ｈ１
を５Ｊ／ｃＪとして照射した。その後さらに１５０℃で
４５分間加熱処理した。

このようにして保護被膜を形成した１０枚の試験基板を
、ロジン系フラックスＡ−２２６（タムラ化研（固装）
を用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に２０秒間接
触させ半田試験を行なった。その結果を表２にまとめて
示した。

表２　半１−１１試躾段の保護波膜の状態表２から明ら
かなように、イミダゾール及びホスマーＮ１を共に３有
した感光はエレメント（ＥＸ−８，ＥＸ−９及びＥＸ−
１０）から形成された保護θｌ　ｉｉｕのみが良好な半
田耐熱性を示すのに対し、その他のムベ元１で仁エレメ
ント、すなわちイミターゾール及びホスマーΔ■を共に
含有し々い１県光１イ）ミニレノ）−１−（ＥＸ−１）
、イミダゾールを含有するがホスマーλ１を含有（〜な
い感光性エレメント（Ｅ　Ｘ−２、Ｅ　Ｘ　−３及びＥ
　Ｘ　−４）、ホスマーへｆを含有するがイミダゾール
を含有しない感光性ニレメン）・（ＥＸ−５，ＥＸ−６
及びＥＸ−７）から形成された保護被膜は−に記の半田
試験により著しい浮き又ははがれを生じ、半田もぐりが
認められた。

実施例２ 実施例１−ａ）で合成した末端エチレン基を有する光重
合付化合物（１）　　　　　　　　４０部。

アローニツクスへ１−８０６０（東亜合成（陶製登録商
標、多価アクリレート）　　　　　　１２部。

メタクリル酸メチル・２−ヒドロキシエチルメタクリレ
−１・・テトラヒドロフルフリルメタクリレート・トリ
ブロモフェニルアクリレート（６０／４メ１０／２６重
蓋比）共重合物（分子’ｉＩｉ約ｌＯ万）　　　　　　
　　　　４８部。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　０．２部。

２−メチルイミダゾール　　　　　　０．５部。

ＫＡ、ＹＡＤ、ｆＥＲ−Ｐ　Ａ　２　（日本化薬（（ｊ
）製登録商標。

アクリル基を含有するリン酸化合物）０．２部。

フタロシアニン・グリーン５ＡＸ（三洋色素（４１製登
録商標、顔ｆ’ｓ）　　　　　　　　　０．３部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　１部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　６０部。

トルエン　　　　　　　　　　　　　　５０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を、第１図に示す装
置を用いて２５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレート
フィルム２上に均一に塗布し、８０〜１００℃の熱風対
流式乾燥機３を約１２分間通して乾燥した。感光性樹脂
組成物の層の乾燥後の厚さは約９０μＩＩＩであった。

感光性樹脂組成物の層の上には、更に第１図のように厚
さ約２５μｍ１１のポリエチレンフィルム４をカバーフ
ィルムとして張り合わせた。このようにして得た感光性
エレメントを、第３１ｍｌに示すｔ＋Ｖパターン（銅厚
さ約７０μｒｎ　）の形成された試験用印刷配線板（ガ
ラスエボギシ基板、基材厚さ１．６　Ｔ１１ｍ　）上に
日立化成工業（＋：ＩＪ製真空ラミネータ（真空度３０
　ｒｍａｒＩＩ　ｇ　、ラミネート温度１０００Ｇ　、
ラミネートスピード１＋＋ｔ／分）を用い、カバーフ・
ｆルムを剥らｌ　Ｌ、なから力［１熱・加圧積）−した
。菌３図において、１６は銅パターン部分、１７は基材
の露出部分を示し、数字の単位は關である。室温で３時
間放置した後第２図に示した試験用ネガマスクを通して
１５０　ｎｌＪ　１０ｒｒ”の露光量の紫外線を照射し
た。８０’Ｃで５分間加熱］−室温で３０分間放置した
のち、支持体フ・ｒルムを剥離し１，１．１−トリクロ
ルエタンを用い２０’Ｃで１５０秒間スプレー現像した
。現像後８０’Ｃで１０分間加熱乾燥し７．露光ｆｐＨ
３Ｊ　／ａｌｒ”の紫夕１腺照射した。さらに１５０’
Ｃで３０分間加熱処理した。

このようにして保護被膜を形成した試験基板を。

ロジン系フラックスＭｌ−１−３２０Ｖ（タムラ化研（
（も１を用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１５
秒間接触させ半円状ｒＪを行なっｌこ。保検被膜の浮き
、はがれはなく、良好な半田耐熱性を示した。

」七り」２１多り１ ＫＡＹＡＩ’ｖｌＥ１１．−　Ｐ　Ａ　２を添加しない
曲は実ｂｍ例２と同様にして感う゛Ｃ性エレメントを製
造し、試験基板トに像的な保護被膜を形成し、半［口試
験を行なつた。保設彼膜に浮き及びふくれが認められ、
半田もぐりが生じ／ζ。

実施例３ アローニツクスＮ１〜６１００（東亜合成（４勺製登録
商標、多価アクリレート）　　　　　　　１５部。

ＭＥＣＩＩＰＰ　（大阪有様（（＋ＩＪ製登録商標、１
１曲メタクリレート）５部。

Ａ−ＴＭＭ３Ｌ（新中村化字（＋、ｉ）装登録商標、多
画アクリレート）　　　　　　　　　　　　２０部。

メタクリルＣｄメチル・アクリル酸エチル・スチレン・
メククリル酸畳］・リブロモフェニルアクリレート（３
５／２０／１０／２５／１０重批比）共重合物（り〕子
量的８万）　　　　　　６０部。

ベンゾンエノン　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケト７０．２部。

２−γミノナアゾール　　　　　　　０．１部。

ホスマーＣＬ（油脂製品（印製会録面標、メタクリル基
を八−有するリン「波比、、’４＋！ｌ刀）０．１部。

ビクトリアピュアブルー　　　　　０．０１部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　１部。

エチルセロンルプ　　　　　　　　　８０部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　４０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例２と
同様にして感光性樹脂組成物の層の厚さ約６０μｎ１の
感光性エレメントを得た。該感光性エレメントを第３図
に示す銅パターン（銅ノリさ約３５μｍ　）の形成され
た試験用印刷配線板（ガラスエポキシ基板、基材厚さ０
．８ｎｚｍ　）上にカバーフィルムを剥離しながら減圧
下（＊空度２０　ｂ’ＡＩＩｇ　）でｈ１熱・加圧積層
（−た。室温で２４時間放１ｉｉＬ＊後第２図に示しｆ
？Ｌ試験ｊ■Ｉネガマスクを）１旧〜で１５０口Ｉ　Ｊ
　ｋｍ”の露光量の紫外線を照射した。８０℃で５分間
７Ｊｎ熱し室温で３０分間放置（〜たのち、支持体フィ
ルムを剥離し、２％、３５℃の炭酸ナトリウム水浴液を
７０秒間スプレーすることに１り現イ床ｌ−た。

水洗後８０℃で２０分間力［１熱乾燥し、露光量３　、
Ｔ　１０１の紫外線照射しｔｃ、さらに１６０℃で４Ｇ
力間加熱処理した。

このようにして保勲被膜を形成した１・（験基板を。

水溶性フラックスＷＳ−３７（タムラ化研■製）を用い
て、２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１５秒間接触さ
せ手口１試験を行なった。保護被膜の浮き、はがれはな
く、良好な半田耐熱性を示した。

実施例４ 実施例２の２−メチルイミダゾール０．５部にかえて５
−γミノーＩＩＩ−テトラゾール０．１部を用い、他は
実施例２と同様の操作を行なった。最終的に得られた保
護被膜は１５秒間の半田試験に耐え、良好な半ＦＢ耐熱
性を示した。

実施例５ 実施例２の２−メチルイミダゾール０．５部にかえて１
，２．３−トリアゾール０，１部を用い、他は実施例２
と同様の操作を行なった。最終的に得られた保護破膜は
１５秒間の半田試験に耐え、良好な半田耐熱性を示し７
た。

実施例６ 実施例２の２−メチルイミダゾール０．５部にかえてチ
アゾール０．２部を用い１曲は実が１例２と同様の操作
を行なった。最終的に得られた保護被膜は１５秒間の半
田試験に耐え、良好な半田耐熱性を示した。

実施例７ 実ｂｉ例２の２−メチルイミダゾール０．５部にかえて
Ｉ　Ｈ−テトラゾール０．１部を用い、仙ｔｔ実施例２
と同様の操作を行なった。最終的に得られた保護被膜は
１５秒間の半田試験に耐え、良好な半田耐熱性を示した
。

実施しｊｊ８ 実ｈ１′！ＩＩクリ２の２−メチシイミグゾール０．５
部にかえてｊｊ−アミノ−１，２，４−トリアゾールｏ
、　ｉ部を用い、他は実施１５’１１２と同様の操作を
行なった。最終的に得られた保護被膜は１５秒間の半１
）］試験に耐え、良好な半ａ１耐熱性を示した。

実施例９ 実施例２の２−メチル−ｆ　ミダゾール０．５部にかえ
てイミタゾール０．１部及び２−アミノチアゾール０．
１部を用い９曲は実施例２と同様の操作を行なった。最
終的に得られた保護被膜は１５秒間の半田試験に耐え、
良好な半田耐熱性を示した。

」ユ十、実施例で詳細に説明ｊ７た様に、各々単独では
増景しても効果を示式なかった２柚頼の添加剤を組み合
わせたときのみに顕著に半田耐熱性が向上することは篤
くべきことである。本発明になる感光性樹脂組成物は基
材表面への接着性が優れた保護被膜を形成し、形成され
た保護被膜は半田マスク用しジス］・等に好適である。

尚、上記は本発明になるｈ＜＜光１イＥ樹脂組成吻の一
実ＡＩ！’ｉ例にすさ′ず、当然９本発明の精神を逸脱
しない範囲で４重々の変ル及び使用方法が可能でめる。

４、［ン１面のｉｉ＋Ｈ単なｉ＊！ｊ明第１図は実施例
で用いた感光性エレメントの製造装置の略図、第２１Ｙ
ＩＨ実施例で用いた試験用ネガマスクを示す図、第３図
は実施例で用いた試験基４１ｉの（ｊ・・］パターンを
示す図である。

ｔ、）号の説明 ［・・・感光・ｔ：１ｇ　１６（脂ｊ［ｉ代物の１容？
＋に２・・・ポリエチＬ／ンテレフタＬ／−１フィルム
３　・・・乾燥イに遍 ４・・・ポリエチレンフィルム ５・・・ポリエチレンプレツタレートフィルム＜す出し
ロール ６．７．８・・・ロール ９・・・ナイン １０・・・ポリエチレンフィルム＜すｔｉｌｔ、ロール
１１　、１２・・・ロール ＩＪ　・・感光゛１−［エレメント巻き取りロール１４
・・・ネガマスクの不透明部分 １５・−不ノノマスクの逍１ｊＪＪ　部分１６・・・銅
パターン部力 第　１　図 第　２　図 ■■■■■■ ■■■■■■ ■■■■■■ ■■■■■■ 第　３ ２８９− １ｔ″″

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　　（ａｌイミダゾール、チアゾール、テトラゾー
   ル、トリアゾール及びこれらのＶｊ　Ｌ１体からなる群
   よシ選ばれた化合物の少なくとも１種。 ｆｂｌ光重光重合胞不飽和結合するリン酸化合物。 （Ｃ）末端エチレン基を少なくとも１飼有する光重合性
   化合物。 ｆｄｌ熱可塑性有機高分子化合物。 ｆｅ）活性光りの照射によって前記不飽和化合物（ｂｌ
   及び（Ｃ１の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。 ２、　　（ａ）イミダゾール、チアゾール、テトラゾー
   ル、トリアゾール及びこれらの誘導体からなる群より選
   ばれた化合物の少なくとも１柚を０、０　０　１　〜５
   重土ト部。 （ｂｌ光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物 をｏ、ｏｏｉ〜５重量部。 （Ｃ１末端エチレン基を少なくとも１飼有する光重合性
   化合物 を２０〜８０重量部。 （（１）熱可塑性有機高分子化合物 を２０〜８０重１丘部。 および （ｅｌ活１イト光紳の照射によって前記小胞第１１化合
   物（ｌす及び（Ｃ１の重合を開始する増感剤及び／又は
   増感剤系 ｆｆ１０．５〜１（１重−ｈト部と１．た特許ｈ１°ｊ
   水（ニ）範囲４１３１項記載のｔｒｉ＜光性樹脂わｌ放
   物。 ３、熱可塑性有機と６分子化合物がビニル系共重合繊状
   高分子化合物でおる特許請求の範囲第１項又は第２項記
   載の感光性樹脂組成物。