JPS589138A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造用の半田マスク（永久保護マスク）等に使用し
得る接着性が改善された感光性樹脂組成物に関する。

感光性樹脂組成物が印刷配線板を製造するためのフォト
レジストとして使用されることはよく知られている。

印刷配線板製造用の感光性樹脂組成物はその使用目的に
よって２種に大別できる。

一つは、エツチングあるいは金属めっきの際のレジスト
像を形成する配線パターン形成用の感光性樹脂組成物で
あり、一つは、半田マスク形成用の感光性樹脂組成物で
ある。このいずれにしても適用する基材との接着性に優
れていることが望まれるが、その接着１性の意味する所
は大きく異なっている。即ち、前者にあっての接着性は
、エツチング又はめつき時にのみ、室温あるいは高々１
００℃のエツチング液又はめつき液がしみこまないで、
かつそれらのエツチング又はめつき処理後は容易にかつ
完全にレジストが基材から剥離されることが必要である
。即ち必要とされる接着性は一時的なものにすぎない。

これに対して後者にあっての接着性は永久的なものであ
りかつ、高温度（通常２４０〜３００℃）の半田浴に浸
漬した場合に半田のもぐりあるいはマスクの浮きが発生
してはならないという非常に過酷な接着性そ゛ある。

前者の用途においては、特公昭５０−９１７７号公報で
、ベンズイミダゾール、２−アミノベンゾチアゾール、
ベンゾトリアゾール又はそれらの誘導体の添加により耐
エツチング性及び耐めっき性を向上させるということが
提案されている。

又、特開昭５５−６５２０２号公報及び特開昭５５−６
５２０３号公報ではインダゾール。

フタラジン又はこれらの誘導体の添加によし銅基板と光
重合層との接着力が増し、耐エツチング性及び耐めっき
性を向上させることが提案されている。しかしながら、
かかる添加剤は後者の場合への効果は知ちれておらず、
又９本発明者らの検討によっても全く効果を示さないも
ので”りった。これは前述のように後者の場合に要求さ
れる接着性が耐めっき性等とは異なるものであり、非常
に過酷なものである為と考えられる。

特公昭５６−３５３９号公報中では側鎖にテトラヒドロ
フルフリル基、水酸基およびリン酸基を有する線状高分
子化合物を含有する感光性樹脂組成物が′耐熱性に優れ
た保瞳被膜を与えるものとして提案されている。しかし
１本発明者らの検討によれば、半田付けの際に７ラツク
スを用いない場合は優れた耐熱性を示すが、フラックス
を使用して半田付けする場合の半田耐熱性は不十分であ
った。一般的な印刷配線板の製造においては金属表面の
汚れ、金属酸化膜の除去等のためにフラックスの使用は
必須でおり。

フラックスを用いた場合での半田耐熱性の向上が望まれ
ていた。

しかるに９本発明者らは、Ｓ々検討した結果。

ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、ベンゾチア
ゾール、インダゾール、７タラゾン又はこれらの誘導体
と側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高分子化合物と
を組み合わせたときには、フラックスを用いた場合の半
田耐熱性が顕著に向上することを見い出した。

本発明の目的は、半田マスクの形成等に使用しうる一基
材への接着性の改善された感光性樹脂組成物を提供する
ことである。

本発明は。

（ａｌ　　ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール。

ベンゾチアゾール、インダゾール、フタラジン及びこれ
らの誘導体からな′る群より選ばれた化合物の少なくと
も１ｇ。

（ｂ）　　側鎖にリン酸基を宥する熱可塑性有機高分子
化合物。

（Ｃ）　　末端エチレン基を少なくとも１個有する光重
合性化合物。

および （ｄ）　　活性光線の照射によって前記光重合性化合物
（Ｃ１の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系を含
有してなる感光性樹脂組成物に関する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物について以下に詳細
に説明する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、ベンゾトリアゾ
ール、ベンズイミダゾール、ベンゾチアゾール、インダ
ゾール、フタラジン及びこれらの誘導体からなる群よし
′選ばれた化合物の少なくとも１種を必須成分として含
有する。

好ましい化合物の例としてはベンゾ）　ＩＪアゾール、
ベンゾトリアゾール塩酸塩、１−クロルベンゾトリアゾ
ール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、ナフトトリアゾ
ール、ベンズイミダゾール、２−アミノベンズイミダゾ
ール、５−ニトロベンズイミダゾール、２−アミノベン
ゾチアゾール、インダゾール、Ｎ−メチルインダゾール
、Ｎ−クロルインダゾール、５−ニトロインダゾール、
フタラゾン、Ｎ−メチルフタラゾン、Ｎ−クロルフタラ
ゾン、４−エチルフタラゾン等があるが、これに限定さ
れるものではない。この化合物の添加の効果は０．００
１重量部以上から得られるが、金属表面上の光重合層の
耐クロスカット性等の点から５重量部以下が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、側鎖にリン酸基
を有する熱可塑性有機高分子化合物を必須成分として含
有する。他の組成との相溶性、適用する基板表面との密
着性等の点から側鎖にリン酸基を有するビニル系共重合
線状高分子化合物＝傳に好ましい。このような高分子化
合物はリン酸基含有ビニル単量体と他のビニル単量体と
を共重合するくとによって容易に製造さ′れる。

リン酸基含有ビニル単量体の例として、油脂“／ 製品■製の登録商標ホスマーＭ（アシッドフォスフオキ
シエチルメタクリレート）、ホス−％ＣＬ（３−クロロ
−２−アシッドフォスフオキシエチルメタクリレート）
９日本化薬■製の登録商標ＫＡＹＡＭＥＲ，シリーズの
ＰＭ−２（ビス（メタアクリロキシエチル）フォスフェ
ート）。

＝ＰＡ−１（アクリロキシエチルフォスフェート）。

ＰＡ−２（ビス（アクリロキシエチル）フォスフェート
）、■大へ化学工業新製の誓録商標ビニエイ）−４，Ｐ
ａ−Ａ４等を挙げ得る。

共重合威容と１．ては各種のビニル単量体を用いること
が！きる。ビニル単量体の適当な例としてはメタクリル
酸メチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、ス
チレン、α−メチルチルメタクリレ−綽、２−ヒドロキ
シグロビルアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸、
ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、ｚ３−ジブロ
モプロピルメタクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキ
シプロピルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメ
タクリレート、トリブロモフェニルアクリレート、アク
リルアミド、゛アクリロニトリル、ブタジェン等を挙げ
得る。

リン酸基含有ビニル単量体の共電−倉量は特性の点から
、他のビニル単量体１００重量部に対して０．００１〜
１０重量部が好ましく、０．０１〜２重量部力“特に好
声しい・ 、側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高分子化合物は
、リン、酸基含有化合物と該リン酸基含有化合物と付加
反応する基を有する熱可塑性有機高分子化合物との付加
反応によっても製造できる。

このような付加外応の例としては、グリシジルメタクリ
レート又はグリシジルアクリレートを共重合成分とし下
含むビニル系共重合線状高分子化合物とリン酸基含有化
合物との付加反応等を挙げ得る。付加反応の反応温度は
常温〜１００℃が好ましく、無触媒でも、４級アンモニ
ウム塩等の触媒を用いてもよい。リン酸基含有化合物の
例としては、前記のリン酸基含有ビニル単量体、■大入
化学工業所製の酸性燐酸エステル類、登録商標ＡＰシリ
ーズ、ＭＰシリーズ、例えばＡＰ−１（メチルアシッド
ホスヘー）　）、ＡＰ−３（イソプロビルアシッドポス
ヘ−）　）、ＭＰ−４（モノプチルホスヘート）等を挙
げつる。リン酸基含有化合物の付加量は特性の点から該
リン酸基含有化合物と付加反応する基を有する熱可塑性
有機高分子化合物１ｏ。

重量部に対し０．００１〜１０重量部が好ましく。

０．０１〜２重量部が特に好ましい。

感光性樹脂組成物中の側鎖にリン酸基を有する熱可塑性
有機高分子化合物の含有量はフィルム性及び光硬化性の
点から２０〜８０重量部が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物ぽ末端エチレン基を
少なくとも１個有する光重合性化合物を必須成分とずて
含有する。この化合物の例としては、特公昭５３−３７
２１４号公報で提案された光重合性化合物、４１開昭５
３−５６０１８号公報中に記載される単量体９％願＠５
５−１３１３２２号に示される光重合性ウレタン化合物
等を挙は得る。

感光性樹脂組成物中の末端エチレン基を少なくとも１個
有する光重合性化合物の含有量はフィルム性及び光硬化
性の点から２０〜８０重量部が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は活性光線の照射に
よって前記不飽和化合物の重合を開始する増感剤及び／
又は増感剤系を必須成分として含有する。使用できる増
感剤としては、２−ニチルアントラキノン、２−１−ブ
チルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１
，２−ベンメアントラキノン、２．３−ジフェニルアン
トラキノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ジアセ
チル、ベンジル等のケトアルドニル化合物、ベンゾイン
、ビパロン等のα−ケタルドニルアルコール類およびエ
ーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェト
キシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族アシロ
イン類、ベンゾフェノン、４．４’−ビスジアルキルア
ミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類などを例示でき
、これらは単独でも組合せてもよい。使用できる増感剤
系としては２．４５−）リアリールイミダゾールニ量体
と２−メルカプトペンツキナソール、ロイコクリスタル
バイオレット、トリス（４−ジエチルアミン−２−メチ
ルフェニル）メタン等との組合せなどを例示できる。ま
た、それ自体で光開始性はないが、前述した物質と組合
せて用いることにより全体と　・“して光開始性能のよ
）良好な増感剤系となるような添加剤を用いることがで
きる。例えばベンゾフェノンに対するトリエタノールア
ミン等の三級アミンなどである。感光性樹脂組成物中の
増感剤及び／又は増感剤系は、０．５〜１０重量部含有
されることが好ましい。

さらに９本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成分を
含有することができる。副次的成分としては熱重合防止
剤９、染料、顔料、フィラー。

分散安定剤、塗工性向上剤、Ｓ燃剤、難燃助剤等であり
、これらの選択は通常の感光性樹脂組成物と同様の考慮
のもとに行なわれる。

次に１本発明の提案する感光性樹脂組成物の使用方法の
例について説明する。

基板上への感光性樹脂組成物の層の形成は常法により行
なうことができる。たとえば感光性樹脂組成物をメチル
エチルケトン、トルエン。

塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ（但し、フ
ィラー、顔料等は均一に分散させ）９１、この溶液をデ
ィップコート汰、フｐ−コート法等で基板に直接塗布し
、溶剤乾燥することにより行ない得る。その後、感光性
樹脂層上にさらに特公昭４６−３５６８７号公報、特公
昭４６−３２７１４号公報等に示される酸素不透過性保
膜層を設け、あるいはポリエステルフィルム等の活性光
に透明なフィルムを積層してもよい。

又９本発明になる感光性樹脂組成物は、支持体フィルム
上に感光性樹脂組成物の層を設けた感光性エレメントの
製造用にも好適である。

支持体フィルム上への感光性樹脂組成物の層の形成は常
法により行なうととができる。たとえば感光性樹脂組成
物をメチルエールケトン。

トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ
（但し、Ｓ料等は均一に分散させ）。

この溶液を支持体フィルム上にナイフコート法。

ロールコート法等で塗布し、乾燥して行なわれる。感光
層中の残存溶剤量は特性保持のために２重量％以下にお
さえることが好ましく、１重量−以下におさえることが
特に好ましい。

支持体フィルムは感光性エレメントの製造時に必要な耐
熱性、耐溶剤性を有していることが必要で、活性光に対
し透明であっても不透明であってもよい。好ましい例と
して、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等の
公知のフィルムを挙げることができる。

長尺の感光性エレメントを製造する場合は。

製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。

との場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背
面処理した支持体フィルムを用いることにより、ロール
状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体フ
ィルム背面への転着を防ぐことが可能である。同じ目的
。

塵の付着を防ぐ目的等で骸エレメントの感光性樹脂組成
物の層上に剥離可能なカバーフィルムを積層することが
好ましい。　　′ 剥離可能なカバーフィルムの例としては、ポリエチレン
フィルム、ポリプロピレンフィルム。

テフロンフィーシム１表面処理をした紙等があり。

カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層
と支持体フィルムとの接着力よりも。

感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの接着力がよ
り小さいものであればよい、。

このようにして製造した感光性エレメントの基板上への
積層は容易である。すなわち、カバーフィルムのない場
合はそのまま、カバーフィルムのある場合はカバーフィ
ルムを剥離して又は剥離しながら、基板上に加熱・加圧
積層する。

加熱・加圧積層は印刷配線板製造業者では周知の常圧ラ
ミネータを用いて行なうことができる。

基板が、導体配線ラインの形成された印刷配線板のよう
Ｋ１０μｍ以上の凹凸のあるものの場合は、減圧下又は
真空下で積層することが好ましい。

このための装置としては特開昭５２−５２７０３号公報
又は特公昭５５−１３３４１号公報に記載される積層装
置等がある。

積層後の露光および現像処理は常法によ抄行ない得る。

すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明である場合
は支持体フィルムを剥離した後、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光す
る。

露光後支持体フィルムが残っている場合は支持体フィル
ムを剥離し、現像する。現像液には。

１、１．１−　）リクロルエタン等の有機溶剤、アルカ
リ性水溶液、有機溶剤の水溶液等が用いられる。

更に現像後の８０℃ないし２００℃での加熱処理及び活
性光の露光によ抄優れた特性を有する半田マスクとなる
。現像後の加熱処理及び活性光の露光の順序はどちらが
先でもよく、′ｔたそれぞれを何度かに分けて行なって
もよい。現像後の加熱処理及び活性光の露光によって得
られる保護被膜は優れた半田耐熱性を示す。

更に該保護被膜はトリクレン、インプロピルアルコール
、トルエン等の有機溶剤に十分耐え。

酸性水溶液又はアルカリ性水溶液にも耐えるので半田マ
スク等の永久的な保護被膜として好適である。

次に本発明の実施例を示す。

本発明はこの実施例によ、りて限定されるものではない
。

実施例中及び比較例中の「部」は重量部を示すＯ′ 参考例１ 末端エチレン基を有する光重合性化合物の合成トルエン
　　　　　　１２００部 トルエン　　　　　　　３００部 ｐ−メトキシフェノール　　　　０．３部Ｃメタノ−”
　　　　　　　　２０部 上記Ａを温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及
び滴下器のついた。加熱及び冷却の可能な容積的５ｔの
反応器に加え攪拌しながら６０℃に昇温した。反応温度
を５５〜６５℃に保ちながら約５時間で均一にＢを滴下
した。

Ｂ滴下後、約５時間かけて徐々に反応温度を８０’ｌ：
まで昇温した。その彼温度を６０℃に下げ。

Ｃを加え約１時間攪拌を続けた。その後、減圧乾燥して
溶剤を除去し、粘稠な末端エチレン基を有する光重合性
化合物（１１を得た。

実施例１ 参考例１で得られた光重合性化合物（１）　　５０１１
゜ホスマーＭ・メタクリル酸メチル・アクリル酸メチル
−２−ヒドロキシエチルメタクリレート・テトラヒドロ
フルフリルメタクリレート（ｏ、２／８”３１５／２／
１０重量比）共重合物（分子量＃１０万）ｓｏＫｆ。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　１７に４゜ミ
ヒラーケトン　　　　　　　　　　　　０．３匂。

ｐ−メトキシフェノール　　　　　　　ｏ、ｏ♀〜。

ビクトリアピュアブルー　　　　　　　α０５４゜トル
エン　　　　　　　　　　　　　　５ｏＬｆ。

メチルエチルケトン　　　　　　　　　５ｏ〜。

上！組成の配合液２０１１に対しベンゾ）　ＩＪアゾー
ルをそれぞれＩｌｌの通妙添加した５種の感光性樹脂組
成物の溶液を準備した。

第１図に示す装置を用いて上記５種の感光性樹脂組成物
の溶液ｌをそれぞれ２５μｍ厚さのポリエチレンテレフ
タレートフィルム２上に均一ニ塗布し８０〜１００℃の
熱風対流式乾燥機３を約１０分間通して乾燥した。感光
性樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは約７５μｍであった
。感光性樹脂組成物の層の上には、更に第１図のように
厚さ約２５μｍのポリエチレンフィルム４をカバーフィ
ルムとして張り合わせた。

第１図において１，５はポリエチレンテレフタレートフ
ィルム〈り出しロール、６．？、８はロール、９はナイ
フ、１０はポリエチレンフィルム〈抄出しロー７−．１
１．１２はロール、１３は感光性エレメント巻き取りロ
ールである。

上記ア得られた５種の感光性エレメントｔ、前処理によ
り銅表面を清浄にした銅張積層板（日立化成工業■製、
　ＭＣＬ−Ｅ６１　、銅箔厚さ３５／Ａｍ、。

基材厚さ１．６１１１１　）上に、曙産業■製Ａ−５０
０１１常圧ラミネータを用いカッミーフィルムを剥離シ
ながら、積層した。積層後第２図に示した試験用ネガマ
スクを用い、■オーク製作新製フェニックスａｏｏｏｍ
露光機を使用してＩ　Ｓ　ＯｒｎＪ／ｅｒａ”の露光量
の紫外線を照射した。第２図において１４はネガマスク
の不透明部分、１５はネガマスクの透明部分を示し、数
字の単位は■である。

室温で３０分間放置したのち、支持体フィルムを剥離し
、１，１．１−）リクロルエタンを用い、２０℃で１２
０秒間スプレー現偉し九。現偉後８０℃で１０分間加熱
乾燥し、さらに１５０℃で３０分間加熱処理した。その
後東芝電材■製紫外線照射装置を使用し露光量として５
　Ｊ　／ｃｓ慟照耐照射。

このようにして保護被膜を形成した１０枚の試験基１ｔ
、ロジン系フラックスＡ−２２６（タムラ化研■製）を
用いて２５５〜２６５℃のフ誼−半田浴に２０秒間接触
させ半田試験を行なった。

その結果を表２にまとめて示した。

表企　半田試験後の保護被膜の状態 比較例１ 参考例１で得られた光重合性化合物（１１５０Ｋｐ。

メタクリル酸メチル・アクリル酸メチル＋１２−とドロ
キシエチルメタクリレート・テトラヒドロフルフリルメ
タクリレート（８３１５／２／１０重量比）共重合物（
分子量約１０万＞　　５ｏＫ４゜ベンゾフェノン　　　
　　　　　　　　　２７麺。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　　　０．３　ｋ。

ｐ−メトキシフェノール　　　　　　　０．０２麺。

ビクトリアピュアブルー５、　　　　　　ｏ、ｏｓｂ。

トルエン　　　　　　　　　　　　　　　ｓ　ｏＫ４゜
メチルエチルケトン　　　　　　　　　５０助。

上記組成の配合液２０ｋに対しペンシトリアゾ９− 一ルをそれぞれ表３の通り添加した５ｓの感光性樹脂組
成物の溶液を準備した。

表３　（配合液２０ｋに対する添加量）実施例１と同様
にして第１図に示す装置を用いて感光性樹脂組成物の層
の厚さ約７５μｍの５種の感光性エレメントを製造し、
実施例１と同様にしてフラックスＡ−２２６を用いた半
田試験を行なった。その結果を表４にまとめて示した。

実施例２ 、参考例１で得られた光重合性化合物（１）　４０部。

アローニツクスＭ−８０６０（東亜合成■製登録商標、
多価アクリレート）　　　　　　１２部。

ホスマーＣＬ・メタクリル酸メチル・アクリル酸・アク
リル酸エチル・２−ヒドロキシエチルメタ・クリレート
・トリブロモフェニルアクリレート（０，１／７０／２
／４／４／２０重量比）共重合物（分子量約１２万）　
　　　　４５部。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　　（Ｌ２部。

インダゾール　　　　　　　　　　　　α５部。

フタロシアニン・グリーン８ＡＸ（三洋色素■製登骨商
標、＊料）　　　　　　　　　α３部。

二酸化アンチモン　　　　　　　　　　　１部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　　６０部。

トルエン　　　　　　　　　　　　　　５０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を、第１図に示す装
置を用いて２５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレート
フィルム２上に均一に塗布し、８０〜１００℃の熱風対
流式乾燥機３を約１２分間通して乾燥した。感光性樹脂
組成物の層の乾燥後の厚さは約９０μｍであった。感光
性樹脂組成物の層の上には、更に第１図のように厚さ約
２５μｍのポリエチレンフィルム４をカバーフィルムと
して張知合わせた。このようにして得た感光性エレメン
トを、第３図に示す銅パターン（銅厚さ約７０μｍ）の
形成された試験用印刷配線板（ガラスエポキシ基板、基
材厚さＬ６■）上に日立化成工業■製真空ラミネータ（
真空度３０■Ｈｇ、ラミネート温度１００℃、ラミネー
トスピード１ｍ／分）を用い、カバーフィルムを剥離し
ながら加熱・加圧積層した。第３図において、１６は銅
パターン部分、１７は基材の露出部分を示し、数字の単
位は■である。室温で３時間放置した後第２図に示した
試験用ネガマスクを通して１５０　ｍＪ／３”の露光量
の紫外線を照射した。室温３０分間放置したのち、支持
体フィルムを剥離し１．１．１−）リクロルエタンを用
い２０℃で１５０秒間スプレー現像した。現像後８０℃
で１０分間加熱乾燥し、露光量３　Ｊ　／ａｎ”の紫外
線照射した。さらに１５０℃で３０分間加熱処理した。

この上うＫして保護被膜を形成した試験基板を、ロジン
系フラックスＭＨ−３２０Ｖ［タムラ化研■１１）を用
いて２５５、〜２６５℃のフロー半田浴に２０秒間接触
させ半田試験を行なった。保護被膜の浮き、はがれはな
く、良好な半田耐熱性を示した。

比較例２ インダゾールを添加しない他は実施例２と同様にして感
光性エレメントを製造し、試験基板上に偉的な保護被膜
を形成し、半田試験を行なった。

保護被膜に浮き及びふくれが認められ、半田もぐ抄が生
じた。

実施例３ アフーニツクスＭ−６１００（東亜合成■製登録商標、
多価アクリレート）　　　　　　　１５部。

ＭＥＣＨＰＰ（大阪有機■製章録商標、１価メタクリレ
ート）　　　　　　　　　　　　　　　５部。

Ａ−ＴＭＭ３．Ｌ（新中村化学■製登録商標、多価アク
リレート）　　　　　　　　　　　　２０部。

ＫＡＹＡＭＥＲＰＡ−１−メタクリル酸メチル−アクリ
ル酸エチル拳スチレン・メタクリル酸・トリブロモフェ
ニルアクリレート（１／３５／１９／１０／２５／１０
重量比）共重合物（分子量約８万）　　　　　　　　　
　　　　６０部。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　　　０，２部。

ベンズイミダゾール　　　　　　　　　０．０５部。

ビクトリアピュアブルー　　　　　　　０．０１部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　　１部。

エチルセロンルブ　　　　　　　　　　８０部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　　　４０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例２と
同様にして感光性樹脂組成物の層の厚さ約６０μｍの感
光性エレメントを得た。該感光性エレメントを第３図に
示す鋼パターン（銅厚さ約３５μｍ）の形成され九試験
用印刷配線板（ガラスエポキシ基板、基材厚さα８■）
上にカバーフィルムを剥離しながら減圧下（真空度２０
＋ｗｓＨｇ）で加熱・加圧積層したつ室温で２４時間放
置した後第２図に示した試験用ネガマスクを通して１５
０ｍＪ／α１の露光量の紫外線を照射した。室温で３０
分間放置したのち、支持体フィルムを剥離し、２チ、３
５℃の炭酸ナトリウム水溶液を７０秒間スプレーするこ
とにより現像した。

水洗後８０℃で２０分間加熱乾燥し、露光量３Ｊ／♂の
紫外線照射し喪。さらに１゛６０℃で４０分間加熱処理
した。

このようにして保護被膜を形成した試験基板を。

水溶性フラックスＷ８−３７（タムラ化研■Ｉｌ）を用
いて、２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１５秒間接触
させ半田試験を行なった。保護被膜の浮き、はがれはな
く、良好な半田耐熱性を示した。

実施例４ 参考例１で得られた光重合性化合物（１）　　５５部。

グリシジルメタクリレート・メタクリル酸メチル・アク
リル酸メチル番テトラヒドロフルフリルメタクリレート
・トリフロ レート（５／６５／１０／１０ン１０重量比）共重合物
１００部とメチルアシッドホスへ−ト０．１部とを付加
反応させて得た線状高分子化合物　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　４５部。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　３部・ミヒラ
ーケトン　　　　　　　　　　　　０．２部。

フタラジン　　　　　　　　　　　　　　０．５部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　　２部。

ビクトリアピュアブルー　　　　　　　０．０２部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　　６０部。

トルエン　　　　　　　　　　　　　　　５０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例２と
同様にして感光性樹脂組成物の層の厚さ約ｉｏμｍの感
光性エレメントを得た。

該感光性エレメントを第３図に示す銅・２ターン（鋼厚
さ約５０μｍ）の形成された試験用印刷配線板（ガラス
エボ゛キシ基板、基板厚さ１．６１１１１　）上にカバ
ーフィルムを剥離しながら減圧下（真空度１０１０１１
１１Ｈで加熱・加圧積層した。室温で２時間放置した後
”第２図に示し九試験用ネガマスクをを通してｌ　Ｑ　
Ｑ　ｍＪ　７０１１”の露光量の紫外線を照射した。、
８０℃で５分間加熱したのち、支持体フイルムを剥離し
、１，１．１−）リクロルエタンを用い２０℃で１５０
秒間スプレー現偉現像。現像後８０℃で１０分間、さら
に１５０℃で３０分間加熱した。加熱後５　Ｊ　１０ｎ
”の紫外線照射した。このようにして保護被膜を形成し
た試験基板を、ロジン系フラックスＹ−２０（タムラ化
研■製）を用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１
５秒間接触させ半田試験を行なった。保護被膜の浮き、
はがれはなく、良好な半田耐熱性を示した。

、以上の実施例で詳細に説明した様に、各々単独ではほ
とんど効果を示さなかったベンゾトリアゾール等の添加
剤と側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高分子化合物
を組み合わせたときのみ顕著に半田耐熱性が向上するこ
とは驚くべきことである。本発明になる感光性樹脂組成
物は基材表面への接着性１が優れた保護被膜を形成し、
形成された保護被膜は半田マスク用しジスト畔、に好適
である。

尚、上記は本発明になる感光性樹脂組成物の一実施例に
すぎす、当然９本発明の精神を逸脱しない範囲で種々の
変形及び使用方法が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例で用いた感光性エレメントの製造装置の
略図、第２図は実施例で用いた試験用ネガマスクを示す
図、第３図は実施例で用いた試験基板の銅パターンを示
す図である。 符号の説明 １・・・感光性樹脂組成物の溶液 ２・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム３・・・
乾燥機 ４・・・ポ・リエチレンフイルム ５・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム〈す出し
ロール ６．７．８・・・ロール　、 ９・・・ナイフ １０・・・ポリエチレンフィルム＜ｂ出ｔ、ロール１１
．１２・・・ロール １３・・・感光性エレメント巻、き取９０−ル１４・・
・ネガマスクの不透明部分 １５・・・ネガマスクの透明部分 １６・・・銅パターン部分 ｆＪ　２　図 ■■■■■■ ■■■■■■ ■■■■■■ 第　３　図 特許庁長官殿 事件の表示 昭和５６年特許願第１ｏｇＶ−Ｉｏ号 発明の名称 感光性樹脂組成物 補正をする者 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 補正の内容

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）　　ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾー
   ル、ベンゾチアゾール、インダゾール、フタラジン及び
   これらの誘導体からなる群より選ばれた化合物の少なく
   とも１種。 （ｂ）−側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高分子化
   合物。 （Ｃ）末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性
   化合物。 および （ｄ）　　活性光線の照射によって前記光重合性化合物
   （Ｃ）の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。 ２（ｂ）側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高分子化
   合物がビニル系共重合線状高分子化合物である特許請求
   の範囲第１項記載の感光性樹脂組成物。 ａ、　　（ｂ）側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高
   分子化合物がリン酸基着有ビニル単量体０．０１〜２重
   量部及び他のビニル単量体１００重量部との共重合物で
   ある特許請求の範囲第１項又は第２項記載の感光性樹脂
   組成物。 ４、　　（ｂ）側鎖にリン酸基を有する熱可塑性有機高
   分子化合物が、リーン酸基含有化合物０．Ｃ１１〜２重
   量部及び該リン駿基含有化合物と付加反、応する基を有
   する熱可塑性有機高分子化合物１００重量部の付加反応
   物である特許請求の範囲第１項、又は第２項記載の感光
   性樹脂組成物Ｏ Ｓ、（ａ）　　ペンツトリアゾール、ベンズイミダゾー
   ル　ベンゾチアゾール、インダゾール、フタラゾ／及び
   これらの誘導体からがる群より選ばれた化金物の少なく
   とも１種が０．００１〜５重量部・ （ｂ）　　側鎖にり／酸基を有する熱可塑性有機高分子
   化合物が２０〜８０重量部。 （Ｃ）　　末端エチレン基を少なくとも１個有する光重
   合性化合物が２０〜８０重量部。 および ［（１）　　活性光線の照射によって前記光重合性化合
   物（Ｃ）の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系が
   ０．５〜１０重量部 である特許請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４
   項記載の感光性樹脂組成物。