JPS584138A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造用の半田マスク（永久保躾マスク）等に使用し
得る接着性が改善された感光性樹脂組成物に関する。

感光性樹脂組成物が印刷配線板を製造するためのフォト
レジストとして使用されることはよく知られている。

印刷配線板製造用の感光性樹脂組成物はその使用目的に
よって２１１［に大別できる。

一つは、エツチングあるいは金属めつ舞の際のレジスト
像を形成する配線パターン形成用の感光性樹脂組成物で
あシ、一つは、半田マスク形成用の感光性樹脂組成物で
ある。このいずれにしても適用する基材との接着性に優
れていることが望まれるが、その接着性の意味する所は
大きく異なっている。即ち、前者、、にあっての接着性
は、エツチング又はめつき時にのみ、室温あるいは高々
１００℃のエツチング液又はめつき液がしみこまないで
、かつそれらのエツチング又はめつき処理後は容易にか
つ完全にレジストが基材から剥離されることが必要であ
る。即ち必要とされる接着性は一時的なものにすぎない
。

これに対して後者にあっての接着性は永久的なものであ
りかつ、高温度（通常２４０〜３００℃）の半田浴に浸
漬し友場合に半田のもぐ夛あるいはマスクの浮きが発生
してはならないという非常に過酷な接着性である。

前者の用途においては９％開昭５５−６５２０２号公報
及び特開昭５５−６５２０３号公報において、インダゾ
ール、フタラジン又はそれらの誘導体の添加によシ銅基
板と光重合層との接着力が増し耐エツチング性及び耐め
っき性を向上させるということが提案されている。しか
しながら、かかる添加剤は後者の場合への効果は知られ
ておらず、該公報中にもそのような実施例はない。又９
本発明者らの検討によっても全く効果を示さないことが
分った。これは前述のように後者の場合に要求される接
着性が耐めっき性等とは異なるものであシ、非常に過酷
なものであると考えられる。

１＾ 特公昭５３−４４３４６号公報中では、感光性樹脂組成
物を構成する光重合性不飽和化合物の例としてリン含有
アクリル酸誘導体が挙げられているが、それが半田耐熱
性に関して効果があるとの示唆はなく、又２本発明者ら
の検討によっても単独ではほとんど効果を示さないこと
が分った。

しかるに１本発明者らが種々検討した結果インダゾール
、フタラジン又はこれらの誘導体と光重合性不飽和結合
を有するリン酸化合物とを組み合わせたときには半田耐
熱性が顕著に向上することが見い出された。

本発明の目的は、半田マスクの形成等に使用しうる基材
への接着性の改善された感光性樹脂組成物を提供するこ
とである。

本発明は、（ａ）インダゾール、フタラジン及びこれら
の誘導体からなる群よシ選ばれた化合物の少なくとも１
種。

（ｂ）光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物。

（Ｃ１末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性
化合物。

ｆｄｌ熱可塑性有機高分子化合物。

および （ｅ）活性光線の照射によって前記不飽和化合物（ｂｌ
及び（Ｃ）の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系 を含有する感光性樹脂組成物に関する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物について以下に詳細
に説明する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物はインダゾール、フ
タラジン及びこれらの誘導体からなる群より選ばれた化
合物の少なくとも１種を必須成分として含有する。

好ましい化合物の例としては、インダゾール。

Ｎ−メチルインダゾール、Ｎ−クロルインダゾール、５
−ニドロイ／ダゾール、フタラジン。

Ｎ−メチルフタラゾ／ＴＮ−クロルフタラゾン。

４−エチルフタラジン等があるが、これに限定されるも
のではない。この化合物の添加の効果は感光性樹脂組成
物中０．００１重量部以上から得られるが、金属表面上
の光重合層の耐クロスカット性等の点から５重量部以下
が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、光重合性不飽和
結合を有するリン酸化合物を必須成分として含有する。

好ましい化合物の例としては、油脂製品■製の金銀商標
ホスマーＭ（アシッドフォスフオキシエチルメタクリレ
ート）。

ホスマーＣＬ（３−クロロ−２−アシッドフォスフオキ
シエチルメタクリレート）９日本化薬■製の登録商標Ｋ
ＡＹＡＭＥＲシリーズのＰＭ−２（ビス（メタアクリロ
キシエチル）フォスフェート）、ＰＡ−１（アクリロキ
シエチルフォスフェート）、ＦＡ−２（ビス（アクリロ
キシエチル）フォスフェート）、■大人化学工業所製の
登録商標ビニエイ）　−１’Ｌ、　Ｐ８−Ａ４等がある
。この化合物の添加の効果は感光性樹脂組成物中、α０
０１重量部以上から得られるが耐電食性等の点から５重
量部以下が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は末端エチレン基を
少なくとも１個有する光重合性化合物を必須成分として
含有する。この化合物の例としては２％公昭５３−３７
２１４号公報で提案された光重合性化合物、特開昭５３
−５６０１８号公報中に記載される単撤体９％願昭５５
−１３１３２２号に示される光重合性ウレタン化合物等
を挙げ得る。

感光性樹脂組成物中の末端エチレン基を少なくとも１個
有する光重合性化合物の含有量はフィルム性及び光硬化
性の点から２０〜８０重量部が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は熱可塑性有機高分
子化合物を必須成分として含有する。

使用できる例としては特公昭４１−１５９３２号公報中
に記載された熱可塑性重合体等を示すことができるが、
他の組成との相溶性、適用する基板表面との密着性等の
点からビニル系共重合線状高分子化合物が好ましい。共
重合成分としては各種のビニル単量体を用いることがで
きる。ビニル単量体の適当な例としてはメタクリル酸メ
チル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、スチレ
ン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、２−ヒドロ
キシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシグロビルア
クリレート。

アクリル酸、メタクリル酸、グリシジルメタクリレート
、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、λ３−ジブ
ロモプロピルメタクリレート。

３−クロロ−２−ヒドロキシエチルメタクリレート、テ
トラヒドロフルフリルメタクリレート、トリブロモフェ
ニルアクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル
、ブタジェン等を挙げ得る。感光性樹脂組成物中の熱可
塑性有機高分子化合物の含有量はフィルム性及び光硬化
性の点から２０〜８０重量部が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は活性光線の照射に
よって前記の光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物
及び末端エチレン轟を少なくとも１個有する光重合性化
合物の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系を必須
成分として含有する。使用できる増感剤としては２−エ
チルアントラキノン。２−１−ブチルアントラキノン、
オクタメチルアントラキノン、１．２−べ／ズアントラ
キノン、２．３−ジフェニルアントラキノン等の置換又
は非置換の多核キノン類。

ジアセチル、ベンジル等のケトアルドニル化合物、ベン
ゾイン、ビスロン等のα−ケタルドニルアルコール類お
よびエーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α、α−
ジェトキシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族
アシロイン類、ベンゾフェノン、４．４’−ビスジアル
キルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類などを例
示でき、これらは単独でも組合せてもよい。

丈用できる増感剤系としては２，４．５−）リアリール
イミダゾールニ量体と２−メルカプトベンゾキナゾール
、ロイコクルスタルバイオレット。

トリス（４−ジエチルアミン−２−メチルフェニル）メ
タン等との組合せなどを例示できる。

また、それ自体で光開始性はないが、前述した物質と組
合せて用いることにより全体として光開始性能のより良
好な増感剤系となるような添加剤を用いることができる
。例えばぺ／ゾフエノンに対するトリエタノールアミン
等の三級アミンなどである。感光性樹脂組成物中の増感
剤及び／又は増感剤系は、０．５〜１０重量部含有され
ることが好ましい。・ さらに９本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成分を
含有することができる。副次的成分としては熱重合防止
剤、染料、Ｓ料、フィラー。

分散安定剤、塗工性向上剤、難燃剤、ｌｌ燃助剤等であ
り、これらの選択は通常の感光性樹脂組成物と同様の考
慮のもとに行なわれる。

次に１本発明の提案する感光性樹脂組成物の使用方法の
例について説明する。

基板上への感光性樹脂組成物の層の形成は常法によシ行
なうことができる。九とえは感光性樹脂組成物をメチル
エチルケトン、トルエン。

塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ（但し、フ
ィラー、顔料勢は均一に分散させ）。

この溶液をディップコート法、フローコート法郷で基板
に直接塗布し、溶剤乾燥することにより行ない得る。そ
の後、感光性樹脂層上にさらに特公昭４６−３５６８７
号公報、特公昭４６−３２７１４号公報等に示される酸
素不透過性保護層を設け、あるいはポリエステルフィル
ム等の活性光に透明なフィルムを積層してもよい。

又９本発明になる感光性樹脂組成物は、支持体フィルム
上に感光性樹脂組成物の層を設けた感光性エレメントの
製造用にも好適である。

支持体フィルム上への感光性樹脂組成物の盾の形成は常
法により行なうことができる。たとえば感光性樹脂組成
物をメチルエチルケトン。

トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ
（但し、顔料等は均一に分散させ）。

この溶液を支持体フィルム上にナイフコート法。

ロールコート法等で塗布し、乾燥して行なわれる。感光
層中の残存溶剤量は特性保持のために２重量−以下にお
さえることが好ましく、１重量饅以下におさえることが
特に好ましい。

支持体フィルム□は感光性エレメントの製造時に必要な
耐熱性、耐溶剤性を有していることが必要で、活性光に
対し透明であっても不透明であってもよい。好ましい例
として、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等
の公知のフィルムを挙げることができる。

長尺の感光性ニレメイトを製造する場合は。

製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。

この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背
面処理した支持体フィルムを用いることによシ、ロール
状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体フ
ィルム背面への転着を防ぐことが可能である。同じ目的
。

塵の付着を防ぐ目的等で該エレメントの感光性樹脂組成
物の層上に剥離可能なカバーフィルムを積層することが
好ましい。

剥離可能なカバーフィルムの例としては、ポリエチレン
フィルム、ポリクロピレンフィルム。

テフロンフィルム、表面処理をした紙等があり。

カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層
と支持体フィルムとの接着力よシも。

感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの接着力がよ
り小さいものであればよい。

このようにして製造した感光性エレメントの基板上への
積層は容易である。すなわち、カバーフィルムのない場
合はそのまま、カバーフィルムのある場合はカバーフィ
ルムを剥離して又は剥離しながら、基板上に加熱・加圧
積層する。

加熱・加圧積層は印刷配線板製造業者では周知の常圧ラ
ミネータを用いて行なうことができる。

基板が、導体配線ラインの形成された印刷配線板のよう
に１０μｍ以上の凹凸のあるものの場合は、減圧下又は
真空下で積層することが好ましい。

このための装置としては特開昭５２−５２７０３号公報
又は特公昭５５−１３３４１号公報に記載される積層装
置等がある。

積層後の露光および現儂処理は常法により行ない得る。

すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明である場合
は支持体フィルムを剥離した後、高圧水釧灯、超高圧水
銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して偉的に露光す
る。

露光後支持体フィルムが残っている場合は支特休フィル
ムを剥離し、　３ｊ１６する。現俸液には。

１，１．１−トリクロルエタン等の有機溶剤、アルカリ
性水溶液、有機溶剤の水溶液等が用いられる。

更に現像後の８０℃ないし２００℃での加熱処理及び活
性光の露光によシ優れた特性を有する半田マスクとなる
。現像後の加熱処理及び活性光の露光の順序はどちらが
先でもよく、ま九それぞれを何度かに分けて行なっても
よい。現像後の加熱処理及び活性光の露光によって得ら
れる保鏝被膜は優れ九半田耐熱性を示す。

更に該保膜被膜はトリクレン、イソプロピルアルコール
、トルエン等の有機溶剤に十分耐え。

酸性水溶液又はアルカリ性水溶液にも耐えるので半田マ
スク等の永久的な保−被膜として好適である。

次に本発明の実施例を示す。

本発明はこの実施例によって限定されるものではない。

実施例中及び比較例中の「部」は重量部を示す。

実施例１ ａ）末端エチレン基を有する光重合性化合物の合成 トルエン　　　　　　　１２００部 トルエン　　　　　　　　３００部 ｐ−メトキシフェノール　　０．３部 Ｃメタノール　　　　　　　　２０部 上記Ａを温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及
び滴下器のついた。加熱及び冷却の可能な容積約５１の
反応器に加え攪拌しながら６０℃に昇温した。反応温度
を５５〜６５℃に保ちながら約５時間で均一にＢを滴下
した。

Ｂ滴下後、約５時間かけて徐々に反応温度を８０℃まで
昇温した。その後温度を６０℃に下げ、Ｃを加え約１時
間攪拌を続けた。その後。

減圧乾燥して溶剤を除去し、粘稠な末端エチレン基を有
する光重合性化合物（Ｉ）を得た。

ｂ）感光性樹脂組成物と感光性エレメントの製造上記方
法で得られた光重合性化合物（１）５０Ｋｇ。

メタクリル酸メチル・アクリル酸メチル・アクリル酸・
アクリロニトリル（８３／１０／２１５重量比）共重合
物（分子蓋約１２万）５０〜。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　Ｚ７Ｋｇ。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　０．３匂。

ｐ−メトキシフェノール　　　　０．０２匂。

ビクトリアピュアブルー　　　　ｏ、ｏｓ４゜トルエン
　　　　　　　　　　　５０Ｋｇ。

メチルエチルケトン　　　　　　　５０ＫＩＰ。

上記組成の配合液２０Ｋｇに対しインダゾール及びホス
マーＭ（油脂製品１１＃製登録商標、メタクリル基を含
有するリン酸化合物）をそれぞれ表１の通り添加した１
０糧の感光性樹脂組成物の溶液を準備した。

第１図に示す装置を用いて上記１０種の感光性樹脂組成
物の溶液１をそれぞれ２５μｍ厚さのポリエチレンテレ
フタレートフィルム２上に均一に塗布し８０〜１００℃
の熱風対流式乾燥機３を約１０分間通して乾燥した。感
光性樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは約７５μｍであっ
た。感光性樹脂組成物の層の上には、更に第１図のよう
に厚さ約２５μｍのポリエチレンフィルム４をカバーフ
ィルムとして張り合わせた。

第１図において、５はポリエチレンテレフタレートフィ
ルムくり出しＰ−ル、６，７．８はロール、９はナイフ
、１０はポリエチレンフィルム〈り出しロール、１１．
１２はロール、１３は感光性エレメント巻き取りロール
である。

Ｃ）半田マスクの形成 上記ｂ）で得られた１０種の感光性エレメントを、前処
理によシ銅表面を清浄にした銅張積層板（日立化成工業
■製、ＭＣＬ−Ｅ６１．銅箔厚さ３５μｍ、基材厚さ１
．６■）上に、曙産業■１Ａ−５００１１常圧ラミネー
タを用いカバーフィルムを剥離しながら、積層した。積
層後第２図に示した試験用ネガマスクを用い、■オーク
製作所製フェニックス３０００型露光機を使用して１５
０　ｍＪ／ｃｒｒ１”の露光量の紫外線を照射した。第
２図において１４はネガマスクの不透明部分、１５はネ
ガマスクの透明部分を示し。

数字の巣位°は■である。

室温で３０分間放置したのち、支持体フィルムを剥離し
、１，１．１−）リクロルエタンを用い、２０℃で１２
０秒間スプレー現像した。現像後８０℃で１０分間加熱
乾燥し、さらに１５０℃で３０分間加熱処理した。その
後東芝電材■製紫外線照射装置を使用し露光量として５
　Ｊ　／ｃｍ”照射した。

このようにして保線被膜を形成した１０枚の試験基板を
、ロジン系スラックスＡ−２２６（タムラ化研■製）を
用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に２０秒間接触
させ半田試験を行なった。その結果を表２にまとめて示
し丸。

表２から明らかなように、インダゾール及びホスマーＭ
を共に含有した感光性エレメント（ＥＸ−８，ＥＸ−９
及びＥＸ−１０）から形成され九保護被膜のみが良好な
半田耐熱性を示すのに対し、その他の感光性エレメント
、すなわちインダゾール及びホスマーＭを共に含有しな
い感光性ニレメン）　（ＥＸ−１）、インダゾールを含
有するがホスマーＭを含有しない感光性エレメント（Ｅ
Ｘ−２，ＥＸ−３及びＢＸ−４）、ホス−ｒ　−Ｍを含
有するがインダゾールを含有しない感光性ニレメン？　
（ＥＸ−５，ＥＸ−６及びＥＸ−７）から形成された保
護被膜は上記の半田試験により著しい浮き又ははがれを
生じ、半田もぐりが認められ九。

実施例２ 実施例１−ａ）で合成した末端エチレン基を有する光重
合性化合一１１　　　　　　　　４０部。

アローエックスＭ−８０６０（東亜合成■製金銀商標、
多価アクリレート）　　　　　　１２部。

メタクリル酸メチル・アクリル酸エチル、テトラヒドロ
フルフリルメタクリレート・トリブロモフェニルアクリ
レート（６０／４／１０／　２６重量比）共重合物（分
子量約１０万）４８部。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　０．２部。

Ｎ−メチルインダゾール　　　　　　０．５部。

ＫＡＹＡＭＥＲ−ＰＡ２　（日本化系■製登録商標。

アクリル基を含有するリン酸化合物）　α２部。

７タロシアニン・グリーン５ＡＸ（三洋色素■製登鎌商
標、顔料）０．３部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　１部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　６０部。

トルエン　　　　　　　　　　　　　５０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を、第１図に示す装
置を用いて２５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレート
フィルム２上に均一に塗布し、８０〜１００℃の熱風対
流式乾燥機３を約１２分間通して乾燥した。感光性樹脂
組成物の層の乾燥後の厚さは約９０μｍであった。感光
性樹脂組成物の層の上には、更に第１図のように厚さ約
２５μｍのポリエチレンフィルム４をカバーフィルムと
して張）合わせた。このようＫして得た感光性エレメン
トを、第３図に示す銅パターン（銅厚さ約７０μｍ）の
形成され九試験用印刷配線板（ガラスエポキシ基板、基
材厚さ１．６■）上に日立化成工業■製真空ラミネータ
（真空度３０■Ｈｇ、ラミネート温度１００”Ｃ，′ｙ
ミネートスビード１ｍ／分）を用い、カバーフィルムを
剥離しながら加熱・加圧積層した。第３図において、１
６は鋼パターン部分、１７は基材の露出部分を示し、数
字の単位は■である。室温で３時間放置した後第２図に
示した試験用ネガマスクを通して１５０　ｍＪ／ＩＩ−
の露光量の紫外線を照射し九。室温で３０分間放置した
のち、支持体フィルムを剥離し１，１．１−トリクロル
エタンを用い２０℃で１５０秒間スプレー現偉した。現
俸後８０℃で１０分間加熱乾燥し、露光量３　Ｊ　／１
ｗｚ”の紫外線照射した。さらに１５０℃で３０分間加
熱処理した。このようＫして保護被膜を形成した試験基
板を、ロジン系フラックスＭＨ−３２０Ｖ（タムラ化研
■製）を用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１５
秒間接触させ半田試験を行なった。保護被膜の浮き、は
がれはなく、良好な半田耐熱性を示した。

比較例Ｉ ＫＡＹＡＭＥＲ−ＰＡ２を添加しない他は実施例２と同
様にして感光性エレメントを製造し、試験基板上に像的
な保護被膜を形成し、半田試験を行なった。保護被膜に
浮き及びふくれが認められ、半田もぐシが生じた。

実施例３ アローニツクスＭ−６１００（東亜合成■製登録商標、
多価アクリレート）　　　　　　１５部。

ＭＥＣＨＰＰ（大阪有機■製登録商標、１価メタクリレ
ート）　　　　　　　　　　　　　　５部。

Ａ−ＴＭＭ３Ｌ（新中村化学■製登録商標、多価アクリ
レート）　　　　　　　　　　　　　２０部。

メタクリル酸メチル・アクリル酸エチル・スチレン・メ
タクリル酸・トリブロモフェニルアクリレート（３５／
２０／１０／２５／１０重量比）共重合物（分子量約８
万）　　　　６０部。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　０．２部。

Ｎ−クロルフタラジン　　　　　　　　１部。

ホスマー＃Ｌ（油脂製品■製登録商標、メタクリル基を
含有するリン酸化合物）０．１部。

ビクトリアピュアブルー　　　　　０．０１部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　１部。

エチルセロソルブ　　　　　　　　　８０部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　４部部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例２と
同様にして感光性樹脂組成物の層の厚さ約６０μｍの感
光性エレメントを得た。該感光性エレメントを第３図に
示す銅バター／（銅厚さ約３５μｍ）の形成された試験
用印刷配線板（ガラスエポキシ基板、基材厚さｏ、　ｓ
　ｓｍ　）上にカバーフィルムを剥離しながら減圧下（
真空度２０■Ｈｇ）で加熱・加圧積層した０型温で２４
時間放置した後第２図に示した試験用ネガマスクを通し
て１５０ｍ　Ｊ　１０ｎ”の露光量の紫外線を照射し九
。室温で３０分間放置したのち、支持体フィルムを剥離
し、２俤、３５℃の炭酸ナトリウム水溶液を７０秒間ス
プレーすることにより現偉した。

水洗後８０℃で２０分間加熱乾燥し、Ｗ光量３　Ｊ　／
ｃｍ”の紫外線照射した。さらに１６０℃で４０分間加
熱処理した。

このようにして保護被膜を形成した試験基板を。

水溶性フラックスｗｓ−３７（タムラ化研■製）を用い
て、２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１５秒間接触さ
せ半田試験を行なった。保護被膜の浮き、はがれはなく
、良好な半田耐熱性を示した。

以上、実施例で詳細に説明した様に、各々単独では増量
しても効果を示さなかった２種類の添加剤を組み合わせ
たときのみに顕著に半田耐熱性が向上することは驚くべ
きことである。本発明になる感光性樹脂組成物は基材表
面への接着性が優れた保護被膜を形成し、形成された保
護被膜は半田マスク用しジス）［に好適である。

尚、上記は本発明になる感光性樹脂組成物の一実施例に
すぎず、当然９本発明の精神を逸脱しない範囲で種々の
変形及び使用方法が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例で用いた感光性エレメントの製造装置の
略図、第２図は実施例で用いた試験用ネガマスクを示す
図、第３図は実施例で用込た試験基板の銅パターンを示
す図である。 符号の説明 １・・・感光性樹脂組成物の溶液 ２・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム３・・・
乾燥機 ４・・・ポリエチレンフィルム ５・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム〈シ出し
ロール ６．７．８・・・ロール ９・・・ナイフ １０・・・ポリエチレンフィルム＜す出シロール１１．
１２・・・ロール １３・・・感光性エレメント巻き取シロール１４・・・
ネガマスクの不透明部分 １５・・・ネガマスクの透明部分 １６・・・銅パダーン部分 １７・・・基材の露出部分 第　１　図 Ｓ ％２　　口 一一一一一 ■■−一■− ■　３　図 第１１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　　（りインダゾール、フタラジン及びこれらの誘
   導体からなる群よシ選ばれた化合物の少なくとも１種。 （ｂ）光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物。 （Ｃ）末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性
   化合物 （ｄ）熱可履性有機高分子化合物。 および （ｅ）活性光線の照射によって前記不飽和化合物（ｂ）
   及び（Ｃ）の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。 ２　熱可履性有機高分子化合物がビニル系共重合線状高
   分子化合物である特許請求の範囲第１項記載の感光性樹
   脂組成物。 ３、　　（ａ）インダゾール、フタラジン及びこれらの
   誘導体からなる群より選ばれた化合物の少なくとも１種 を０．００１〜５重量部。 （ｂ）光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物 を０．００１〜５重址部。 （Ｃ）末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性
   化合物 を２０〜８０重量部。 （ｄｌ熱可塑性有機高分子化合物 を２０〜８０重量部。 および （ｅ）活性光線の照射によって前記不飽和化合物（ｂ）
   及び（Ｃ）の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤系 を０．５〜１０重量部とした特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の感光性樹脂組成物。