JPS5946642A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造用の半田マスク（永久保護マスク）４９に使用
し得る接着性が改善された感光性樹脂組成物に関する。

感光性樹脂組成物が印刷配線板を製造するだめのフ第１
・レジストとして使用されることはよく知られている。

印刷配線板製造用の感光性樹脂組成物はその使用目的に
よって２柚に大別できる。

一つは、エツチングあるいは金属めっきの際のレジスト
像を形成する配線パターン形成用の感光性樹脂組成物で
あり、一つｔよ、半田マスク形成用の感光性樹脂組成物
である。このいずれにしても適用する基材との接着性に
優れていることが望まれるが、その接着性の意味する所
は大きく異なっている。即ち、前者にあっての接着性は
、エツチング又はめつき時にのみ、室温あるいは高々１
００℃のエツチング液又はめつき液がしみこまないで、
かつそれらのエツチング又はめつき処理後は容易にかつ
完全にレジストが基材から剥離されることが必要である
。即ち必要とされる接着性は一時的なものにすぎない。

これに対し７て後者にあっての接着性は永久的なもので
ありかつ、高温度（通常２４０〜３００℃）の半田浴に
浸漬した場合に半田のもぐりあるいはマスクの浮きが発
生してはならないという非常に過酷な接着性である。

前者の用途においては、１時開昭５６−６７８４４号公
報において、モノアザインドール又はその誘導体の添加
により銅基板と光重合層との接着力が増し耐エツチング
性及び耐めっき性を向上させるということが提案されて
いる。しかしながら、かかる添加剤は後者の場合への効
果は知られておらず、該公報中にもそのような実施例は
ない。又９本発明者らの検討によっても全く効果を示さ
ないことが分った。これは前述のように後者の場合に要
求される接着性が耐めっき性等とは異なるものであり、
非常に過酷なものである為と考えられる。

特公昭５３−４４３４６号公報中でしょ、感光性樹脂組
成物を構成する光重合性不飽和化合物の例としてリン含
有アクリル酸誘導体が挙げられているが、それが半田耐
熱性に関して効果があるとの示唆はなく、父４本発明者
らの検討によっても単独でθ：はとんどべｊ）果を示さ
ないことが分つ／ヒ。

しかるに１本発明者らが拙々検討した結果。

モノアザインドール又はその誘導体と光重合性不飽和結
合を有するリン酸化合物とを組み合わせたときにり、半
田耐熱性が顕著に向上することが見い出された。

本発明の目的は、半Ｈ」マスクの形成等に使用しうる基
材への広着性の改善された感光１１樹脂組成物を提供す
ることである。

本発明’ｉ！：　、　（ａ）モノアザイン）・−ル及び
その誘導体からなる群よシ選ばれた化侶−物の少なくと
も１種。

（ｂｌ光重合性不飽和結合を・有するリン酸化合物。

（Ｃ）末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性
化合物。

＋ｄｊ熱可塑性有機亮分子化合物。

および （ｅ）活性光線の照射によって前記不飽和化合物（ｂｌ
及び（Ｃ）の重・代を開始する増感剤及び／又は増感剤
系 を含有する感光性樹脂組成物に関する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物について以−トに詳
細に説明する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、モノアザインド
ール及びその誘導体からなる群より選ばれた化合物の少
なくとも１種を必須成分とじて含イコする。

好ましい化上′物の例としては、　４−　／”ザインド
ール、７−アザインドール、３−クロロ−７−アザイン
ドール、３−メチル−７−アザインドール、２−アミノ
−７−アザインドール等があるが、これに限定されるも
のではない。この化合物の添加の効果は感光性樹脂組成
物中ｏ、　ｏ　ｏ　ｉ重匍部以トから得られるが、金属
表面上の光重合層の耐クロスカット性等の点から５重量
部以下が好゛ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、光重置注不飽和
結合を冶するリン酸化合物を必須成分として含有する。

好ましい化合物の例としては、油脂製品■製の登録商標
ホスマーＭ　（ア／ツドノオスノオキノエチルメククリ
レ−１・）。

ボスマーＣＬ（３−クロロ−２−アシッドフォスフオキ
シフ”口ビルメタアクリレート）１日本化薬■製の登録
商標に、ＡＹＡＭＥＲシリーズの１）Ｍ−２（ビス（メ
タアクリロキシエチル）フォスフニー１−）、Ｉ）Ａ−
１（アクリロキシエチルフォスフェート）、ＰＡ−２（
ビス（アクリロキシエチルンフオスフエ−１・）、■太
へ化学工業所製の登録商標ビニエイト−几、ＰＳ−Ａ、
４等がある。この化合物の添加の効果は感光性樹脂組成
物中、０．００１重量部以−にから得られるが耐電食性
等の点から５重量部以下が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は末端エチレン基を
少なくとも１個有する光重合性化合物を必須成分として
含有する。この化合物の例としては、特公昭５３−３７
２１４号公報で提案された光重合性化合物、特開昭５３
−５６０１８号公報中ＶＣｉｔ＋２：ｌｌＩ、　サＩシ
ルＪｔ’−ｉＪｌ　体、　４ｉ　Ａ’Ａ　昭５５−１３
１３２２号Ｏ（示される光重合性ウレタン化合物等を挙
げ得る。。

感光性樹脂組成物中の末脚・；Ｍエチレン基を少なくと
も１個イ“〕するブ（：　’ｊＪｉ合性化ａ物の含有量
はフィルム性及び光硬化性の点から２０〜８０重量部が
好まし、い。

本発明の提案ずＺ、感光性樹脂ホ１１成物ｔよ熱可塑性
有機高分子化合物を必須成分として含イｊする。

使用できる例とじてＩｔｌ　１１’４ｊ公昭４１−１５
９３２号公報中に記載さｉまた熱町塑注亀合体等を示す
ことができるが、他の組成との相溶性、適用する基板表
面との密着性等の点からビニル系共重合線状高分子化合
物が好ましい。共重合成分としては各種のビニル単剛体
を用いることができる。ヒニル単゛…体の適当な例とし
てはメタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル、アクリ
ル酸エチル、スヂレン、α−メチルスチレン、ビニルト
ル］′−ン、２−ヒドロキシエチルメタク＋）　Ｌ／−
トウ２−ヒドロキシプロピル′ｒクリレート。

アクリル酸、メタクリル酸、グリ／ジルメタクリレート
、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、２．３−ジ
ブロモプロピルメタクリレート。

３−クロロ−２−ヒドロギシグロビルメタクリレート、
テトラヒドロフルフリルメタクリレート、トリブロモフ
ェニルアクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリ
ル、ブタジェン等を誉げ得る。感光性樹脂組成物中の熱
可塑性有機高分子化合物の含有量はフィルム性及び光硬
化性の点から２０〜８０重頚部が好ましい。

本発明の提案する感光性樹脂組成物は活性光線の照射に
よって前記の光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物
及び末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性化
合′吻の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤糸を必
須成分として含有する。使用できる増感剤としてｉ／ｉ
２−エチルアントラキノン、２−１−ブチルアントラキ
ノン、オクタメチルアントラキノン、１．２−ベンスア
ン（−５キノン、　２．３−ジンェニルアントラキノン
等の置換又は非置換の多核キノン類。

ジアセチル、ベンジル等のケトアルドニル化合物、ベン
ゾイン、ピバロン等のα−ケタルドニルアルニｔ−ルｍ
ｕ、−ヨヒエーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α
、α−ジェトキシアセトフェノン等のα−炭化水素置換
芳香族アシロイン類、ペンゾノエノン、４．４’−ビス
ジアルキルアミノベンゾノエノン等の芳香族ケトン類な
どを例示でき、これらは単独でも組合せてもよい。

使用できる増感、剤系としては２．４．５−　トリアリ
ールイミダゾールニ魁体と２−メルカプトベンゾギナゾ
ール、ロイコクリスタルバイオレット。

トリス（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）メ
タン等との組合せなどを例示できる。

また、それ自体で光開始性はないが、前述した物質と組
合せ−Ｃ用いることにより全体として光開始性能のより
良好な増感剤系となるような添〃１１剤を用いることが
できる。例えばベンゾフェノンに対するｌ・リエタノー
ルアミン等の三級アミンなどである。感光性樹脂組成物
中の増感剤及び／又は増感剤系は、０，５〜１０重量部
含有されることが好ましい。

さらに１本発明の感光性樹脂組成物ｅよ他の副次的成分
を含有することができる。副次的成分としてＣよ熱重合
防止剤、染料、顔料、フィラー。

分Ｉｉｋ安屋剤、塗工性向上剤、難燃剤、難燃助剤等で
あり、これらの選択は通常の感光性樹脂組成物と同様の
考慮のもとに行なわれる。

次に９本発明の提案する感光性樹脂組成物の使用方法の
例について説明する。

基板とへの感光性樹脂組成物のノーの形成は常法により
行なうことができる。たとえば感光性樹脂組成物をメチ
ルエブールケトン、トルエン。

塩化メチレン笠の有機溶剤傾均−に溶解させ（但し、フ
ィラー、顔料等は均一に分散させ）。

この溶液をディップコート法、フローコート法等で基板
にＦＭ接塗布し、溶剤乾燥することにより行ない得る。

その後、感光性樹脂層上にさらに特公昭４６−３５６８
７号公報、特公昭４６−３２７１４号公報等に示される
酸素不透過性保設層を設け、あるいはポリエステルフィ
ルム等の活性光に透明なフィルムを積層してもよい。

又９本発明になる感光性樹脂組成物は、支持体フィルム
上にＩＩｋ光性樹脂組成物のＪｆＡを設けた感光性エレ
メントの製造用にも好適である。

支持体フィル１、−１−・＼の感光１′：＋１樹脂組成
物の層の形成Ｑよ′帛法により行ムうことかできる。た
とえば感光性（０１脂組成物をメチルエチルケトン。

トルて、ン、山化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解さ
ぜ（但ｌ−７．顔料等＆；ｔ　、１つ−に分散させ）。

この溶液を支持体フィルム上にナイフコート法。

ロールコート法等で塗布し、乾燥して行なわれる。感光
層中の残ｒ（、溶剤量は特性保持のために２Ｍか多重下
におさえることが好葦しく、１重紙多重下におさえるこ
とが特に好ましい。

支持体フィルムは感光性エレメントの製造時に８蟹な耐
熱性、ｌｌｌ１１溶１１す性を有していることが必２ン
で、活１クー光に対し、透明であっても不透明でおって
もよい。好ましい例として、ポリエステルフィルム、ポ
リイミドフィルム等の公知のフィルムをψげろことがで
きる。

長尺の感光性エレメントを製造する場合は。

製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。

この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背
面処理（〜た支持体フィルムを用いることによシ、ロー
ル状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体
フィルム背面への転着を防ぐことが可能である。同じ目
的。

塵の伺着を防ぐ目的等で該エレメントの感光性樹脂組成
物の層−Ｈに剥離可能なカバーフィルムを積１轡するこ
とが好ましい。

剥離可能なカバーフィルム・の例とし７てに１１．ボリ
エヂレンフイルム、ポリフロピレンフィルム。

テフロンフィルム、表面処理をした紙等があり。

カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層
と支持体フィルムとの接着力よりも。

感光性樹脂組成物の層とカバーフィルム・との接着力が
より小さいものであればよい。

このようにし、て製造した感光性エレメントの基板上へ
の積層は容易である。すなわち、カバーフィルムのない
場合はそのまま、カバーフィルムのめる場合はカバーフ
ィルムを剥離して又は剥離しながら、基板−Ｆに加熱・
加圧積層する。

加熱・加圧積層は印刷配線板製造業者では周知の常圧ラ
ミネータを用いて行なうことができる。

基板が、導体配線ラインの形成された印刷配線板のよう
に１０７ｚｔｎ以上の凹凸のあるものの場合は、減圧下
又は真空下で積層することが好ましい。

このための装置としては特公昭５３−３１６７０号公報
又は特開昭５１−６３７０２号公報に記載される積層装
置Ｐｔ等がある。

積層後の露光および現像処理は常法により行ない得る。

すなわち　支持体フィルムが活性光に不透明である場合
は支持体フィルムを剥離した陵、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して像画に露光す
る。

露）’Ｃ：後支持体フイルノ・が残っている場合は支持
体フィルムを剥１’ｌ＃シ、現像する。現像液には。

１．１．１−１リクロルエタン等の有機溶剤、アルカリ
性水溶液、有機溶剤の水溶液等が用いられる。

更に現像後の８０℃ないし２００℃での加熱処理及び活
性光の露光により優れた特性を有する半田マスクとなる
。現像後の加熱処理及び活、性光の露光の順序はどちら
が先でもよく、またそれぞれを何度かに分けて行なって
もよい。現像後の加熱処理及び活性光の露光によって得
られる保護被膜は優れた半ト）１耐熱性を示す。

更に該保護被膜けトリクレノ、イソプロピルアルコール
、トルエン等の有機溶剤に十分耐え。

酸１′］二水溶液又はアルカリ性水溶液にも耐えるので
半Ｅｆｔマスク等の永久的な保勲被１１にとして好適で
ある。

次に本発明の実施例を・示す。

本発明ｄ、この実施例によって限定されるものではない
。

実施例中及び比較例中の１部」は重沼部を示す。

実施例１ ａ）末端エヂレン基を有する光重合性化合物の合トルエ
；−１２００部 ンシウリー・酸ノーｕ−１部 ブチルスズ Ｂ　２−ヒドロキシエチル　１８５６ＶＡ費１６当量）
”７′クリＶ−１・ トルーＬ　　　　　　　　　３００部 １）−メトキシフェノール　　　０．３部（−゛　　メ
タ、ノール　　　　　　　　２０部上記Ａを温度計、攪
拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及び滴下器のついた。

加熱及び冷却の可能な容積約５１の反応器に加え攪拌し
ながら６０℃に昇温した。反応温度を５５〜６５℃に保
ちながら約５時間で均一にＢを滴下した。

Ｂ滴下後、約５時間かけて徐々に反応温度を８０℃まで
昇温した。その後温度を６０℃に下げ、Ｃを加え約１時
間攪拌を続けた。その後。

減圧乾燥して溶剤を除去し、粘稠な末端エチレン基を有
する光重合性化合物ｆｉｌを得た。

ｂ）感光性樹脂組成物と感光性エレメントの製造ヒＦｉ
＋Ｅ力法で得られた光重合１テ」ユ化合物＋１１５０に
９゜ メタクリル酸メチル・アクリル酸メチル・アクリル酸・
アクリロニｉ・リル（８３／ｉｏ／２１５重量比ン共重
合物（分子量約１２万）５０Ｋｐ。

ベンジノエノン　　　　　　　　　　２．７　Ｋ９　。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　０．３　Ｋｙ。

ｐ−メトキシフェノール　　　　０．０２Ｋｐ。

ビクトリアピュアブルー　　　　０．０５Ｋｐ。

トルエン　　　　　　　　　　　　　５０Ｋｐ。

メチルエチルケトン　　　　　　　５０Ｋｐ。

上記組成の配合液２０Ｋｆに対し７−アザインドール及
びホスマーＭ（油脂１！品■製登録商標。

メタクリル基を含有するリン酸化合物）をそれぞれ表１
の通り添加した１０種の感光性樹脂組成物の溶液を準備
した。

賢１　　（配ｆＹ液２０に２に対する添加ｆ＋　）第１
図に示す装置６を用いて十ＭＩ’４　ｌ　Ｑ種の感光性
樹脂組成吻の浴液１−をそれぞれ２５　ｌｔｍ厚さノホ
ｌ）　、−ｃナレーノラーレノタレ−トノイルム２−Ｉ
ＪＣ均一に塗布し８０〜ｉｏｏ℃の熱風対流式乾燥機３
を約１０分量刑（−で乾燥１〜た。感光性樹脂組成′吻
の層の乾燥後のｊすさは約７５μｒｎであった。感光性
樹脂組成物の層の上には、更に第１図の、１−うに）１
，１さ約２５７団１のポリ、：Ｉ−ナレ／フイルム４を
カバーフィルムとして張り合わせた。

第１図において、５はポリエチレンブレツクレートフィ
ルムくり出しロール、６，７．８はロール、９はナイフ
、１０はポリエチレンフィルムくシ出しロール、ｉｉ、
１２はロール、１３は感光性エレメント巻き取りロール
である。

Ｃ）半田マスクの形成 上記ｂ）で得られた１０種の感光性エレメントを、前処
理によシ銅表面を清浄にした銅張積層板（日立化成工業
■製、ＭＣＬ−Ｅ６１．銅箔厚さ３５　／ＡｌＴｌ　；
基材厚さ１．６　Ｍ　）上に、曙産業側製Ａ−５００型
常圧ラミネータを用いカバーフィルムを剥離しながら、
積層した。積層後第２図に示した試験用ネガマスクを用
い、■オー、り製作新製フェニックス３０００型露光機
を使用して１５０　ｍ　Ｊ／ｃｍ２の露光量の紫外線を
照射し／こ。第２図において１４はネガマスクの不透明
部分、１５はネガマスクの透明部分を示し。

数字の単位は咽である。

８０℃で５分間加熱し、室温で３０分間放置したのち、
支持体フィルムを剥離し、１，１．１−トリクロルエタ
ンを用い、２０℃で１２０秒間スプレー現像した。現像
後８０℃で１０分間加熱乾燥し、東芝電材■製紫外線照
射装置を使用し露光量として５　Ｊ　／ｃｍ２照射した
。その後、さらに１５０℃で３０分間加熱処理した。

このようにして保護被膜を形成した１０枚の試験基板を
、ロジン系フラックスＡ−２２６（タムラ化研■製）を
用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に２０秒間接触
させ半田試験を行なった。その結果を衣２にまとめて示
した。

表２から明らかなように、７−アザインドール及びポス
マーＭを共に含有した感光性エレメント（ＥＸ−８，Ｅ
Ｘ−９及びＥＸ−１０）から形成された保護被膜のみが
良好な半田耐熱性を示すのに対し、その他の感光性エレ
メント。

すなわち７−アザインドール及びホスマーＭを共に含有
しない感光性エレメント（ＥＸ−１）。

７−アザインドールを含有するがホスマーＭｅ含有しな
い感光性エレメント（ＥＸ−２，ＥＸ−３及びＥＸ−４
）、ホスマーＭを含有するが７−アザインドールを含有
しない感光性エレメント（ＥＸ−５，ＥＸ−６及びＥＸ
−７＞から形成された保護被膜は上記の半田試験によシ
著しい浮き又ははがれを生じ、半田もぐシが認められた
。

実施例２ 実施例１−ａ）で合成した末端エチレン基を有する光重
合性化合物ｆｉｌ　　　　　　　　　４０部。

アロ一二ツクスＭ−８０６０（東亜合成■製登録商標、
多価アクリレート）　　　　　１２部。

メタクリル酸メチル・アクリル酸エチル、テトラヒドロ
フルフリルメタクリレート°ｌＪ７’０モフェニルアク
リレート（６０／４／１０／２６＠址比）共重合・吻（
分子量約１０万）４８部。

、２ノ、エノ、　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラーケトン　　　　　　　　　　０．２部。

４−アザインドール　　　　　　　　０．５部。

ＫＡＹＡＭＥＲ−ＰＡ２　（日本化系■製登録商標。

アクリル基を含有するリン酸化合物）０．２部。

フタロノアニ／・グリーン８ＡＸ（三洋色素■製登録商
標、顔料）　　　　　　　　０・３部・三酸化アンチモ
ン　　　　　　　　　　１部。

メチルエチルケ１ン　　　　　　　　６０部。

トルエン　　　　　　　　　　　　　　５０部。

−上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を、第１図に示す
装置を用いて２５μｎ１厚さのポリエチレンテレフタレ
ートフィルムｚ上に均一に塗布し、８０〜１００℃の熱
風対流式乾燥機３を約１２分間通して乾燥した。感光性
樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは約９０μｍであった。

感光性樹脂組成物の層の上には、更に第１図のように厚
さ約２５μｒ！ｌのポリエブーレ７ノイルノ、４をカバ
ーノイルムとして張り合わせた。このようにして得た感
光性エレメントを、第３図に示す銅パターン（鋼厚さ約
７　Ｑ　／ｆｒｎ　）の形成された試験用印刷配線板（
ガラスエポキシ基板、基材厚さ１．６　ｍ　）上に日立
化成工業■製真空ラミネータ（真空度３０ｍｍＨｇ、ノ
ミネート温度ｉｏｏ℃、２ミネ一トスピード１？ｎ／分
）を用い、カバーフィルム全剥離しながら加熱・加圧積
層した。第３図において、１６は銅パターン部分、１７
は暴利の露出部分を示し、数字の単位は間である。室温
で３時間放置した後第２図に示した試験用ネガマスクを
通して１５０　ｍ　Ｊ　／ｃｍ２の露光値の紫外線を照
射した。８０’Ｃで５分間加熱し、室温で３０分間放置
したのち、支持体フィルムを剥離し１，１．１−）リク
ロルエタンを用い２０℃で１５０秒間スプレー現像した
。現像後８０℃で１０分間加熱乾燥し、露光量３Ｊ／Ｃ
１ｒ？の紫外線照射した。さらに１５０℃で３０分間加
熱処理した、このようにして保護被膜を形成した試験基
板を９０ジン系ノノソクスΔ［４−３２０Ｖ（タムラ比
研■製）を用いて２５５〜２６５℃のフロー半田浴に１
５秒同量〉触させ半田試験を行なった。保護被膜の浮き
、はがれはンよく、良好な半田耐熱性を示した。

比較例１ １（ＡＹＡΔｉＥ、ａ−ｐ　Ａ　２を添加しない他は実
施例２と同様にして感光性エレメント射製造し、試験基
板上に作曲４、保護被膜を形成し、半田試験を行なつグ
こ。保護ＩＡ　Ｉ＋１に浮き及びふくれが認められ、半
１月もぐりが生じグζ。

実〃龜卜用　３ ｒロー二ノクスＭ−６１００（東亜合成ｍＪ製登録商標
、〉価アクリレ−］・）　　　　　１５部。

ＭＥＣＩＨ］Ｐ　（大阪有機（掬規登録商標、１価メタ
クリレ−１・）　　　　　　　　　　　　５部。

Ａ−Ｔｈｑｈｘ３■、　＜　￥＋ｉ中村化学ｆｌ！ｔｅ
ａ！登録商標、多価アクリレ−１−）　　　　　　　　
　　　　　２０部。

メタクリル酸メチル・アクリル酸エチル・スチレン・メ
タクリル酸・トリブロモフェニルアクリ　レー　ト　（
３５／　２０　／　１　０　／　２　５　／　１　０　
重１−し比）共重合物（分子量約８万）　　　　６０部
。

ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　４部。

ミヒラー−ケトン　　　　　　　　　　０．２部。

２−アミノ−７−アザイノドール　　　１部。

ホスマーＣＬ（油脂製品叶ａ製登録商標、メタクリル基
を含有するリン酸化合物）０．１部。

ビクトリアピュアブルー　　　　　０．０１部。

三酸化アンチモン　　　　　　　　　　１部。

エチルセロソルブ　　　　　　　　　８０部。

メチルエチルケトン　　　　　　　　４０部。

上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例２と
同様にして感光性樹脂組成物の層の厚さ約６０μＩ１１
の感光性エレメントを得た。該感光性エレメントを第３
図に示す銅パターン（銅厚さ約３５μｍ月）の形成され
た試験用印刷配線板（ガラスエポキシ基板、基材厚さ０
．８ｍｍ　）上にカバーノイルムを剥離しながら減圧下
（真空に２ｏ關Ｈｇ）で加熱・加圧積層した。室温で２
４時間放置した後第２図に示した試験用ネガマスクを通
して１５０ｍ　Ｊ　７ｃｍ”の露光ｌ］の紫外線を照射
した。８０℃で５分間加熱し、Ｍ！？！ｉｉ！−でご３
０分間放置したのち、支楯体フ・イルノ、を剥１’１ｌ
ｆｆｌＬ、、　２　％　、　３５℃の炭酸ナトリウノ・
水ｒＭｒ液ｋ　７０　ＡＪ）間スプレーすることにより
ｊｌ！（−７ｋ。

水洗＋４８０℃で２（］分間加熱乾燥し、露光量３　、
Ｉ　／ａｎ２の紫外線照射した。さらに１６０℃で４０
分間加熱処丹！　Ｌ、　ｆｃ。

このようにし、て保護被膜を形成した試験基板を。

水溶性フラックスＷＳ−３７（タムラ化研■製）を用い
て、２５５〜２６５℃の７０−半田浴に１５秒間接触さ
せ半田試験を行なりた。保護被膜の浮き、はがれＣ１１
ｊｆｆ：（、良好な半田耐熱性を示した。

以ヒ、実施例で詳〃Ｉ１１に説明した様に、各々単独で
ｔよ増−ｒｔ’ｉ、　ｔ、でも５ＪＪ果を・示さなかっ
た２種類の添加剤を組み合わせ）「、ときのみに顕著に
半田耐熱性が向上することにｔｍ＜べきことである。本
発明になる感光性樹脂組成物は基材表面への接着性が優
れた保護被膜を形成し、形成された保護被膜は半田マス
ク用レジスト等に好適である。

尚＋　−、ｔｍ　Ｌは本発明になる感光性樹脂組成物の
一実施例にすぎず、当然１本発明の精神を逸脱しない範
囲で種々の変形及び使用方法が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は実ＫＭ例で用いた感光性エレメントの製造装置
１ｔの略図、・、勇２１Ｆ４＆よ実施例で用いた試験用
ネガマスク金示す図、第３図は実施例で用い／こ試験基
板の銅パターンを示す図である。 符号の説明 ｌ・・・感光性樹脂組成物の溶液 ２・・・ポリエチレン！レノタレ−１−フィルム３　・
・・乾六■］！を ４・・・ポリエチレンフィル人 ５・・・ポリエチレンプレツクＬ・′−トフイルムクリ
出しロール ６．７．８　−・ロール ９・・ナイフ １０・・・ポリエチレンノィルムくり出しロール１１．
１２・・・ローノ

【・ １３　・・感光性二Ｖメ／１・巻き取り１】−ル１４・
・・ネガマスクの不透明部分 １５・・・ネガマスクの透明部分 １６・・・銅パターン部分 １７・・・基材の露出部分 第　１　図 第　２　図 ■■■■■■ ■■■■■■ ■■■■■■ ■■■■■■

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　　（ａ）モノアザインドール及びその誘導体から
   なる／ＩＦ　、ｊ：り選ばれた化合物の少なくとも１種
   。 （ｂ）光重合性不飽和結合を有するリン酸化合物。 ｆｃｌ末端エチレン基金少なくとも１個有する光重合性
   化合物。 （ｒｌ　Ｊ熱可塑性有機高分子化合物。 および （ｅｌ活性光線の照射によって前記不飽和化合物（１）
   ）及び（Ｃ）の重合を開始する増感剤及び／又は増感剤
   系 を含有１〜でなる感光性樹脂組成物。 ２、熱可塑性有機高分子化合物がビニル系共重合線状高
   分子化合物である特許請求の範囲第１項記載の感光性樹
   脂組成物。 ３、　　（＋１モノアザインドール及びその誘導体から
   なる群より選ばれた化合物の少なくとも１ｆｌｉを０．
   ００１〜５重川１用。 （１））光重合計１不飽、１′■結合を有するリン酸化
   合物 を、ｏ、ｏｏｉ〜５重景部。 （Ｃ１末端エチレン基を少なくとも１個有する光重合性
   化合で吻 を２０〜８０重量部。 （ｄ）熱可塑性有機高分子化合物 を２０〜８０　ｊｌｌ’ｉ、’部。 および （ｅ）活性光線の照射によって前記不飽和化合物（ｂｌ
   及び（Ｃ１の重合を開始する増感剤及び／又ｎ、増感剤
   系 を０゜５〜１０重量部とした特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の感光性樹脂組成物。