JPS58136027A - 感光性エレメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性エレメントに関する。

感光性樹脂組成物からなるフォトレジスト材料は印刷配
線板、印刷用刷版、銘板等の製造のためのレジストとし
て多用されている。これらのフォトレジスト材料は感光
性樹脂組成物溶液あるいは実質的に溶剤を含まない感光
性樹脂組成物フィルムとして供給されている。後者の場
合、フォトレジスト材料は無溶剤の感光性樹脂組成物層
（以下、単に感光層と言う）と透明なはく離性フィルム
とを積層した感光性エレメントである。かかる感光性エ
レメントを使用するにあたっては、捷ずレジスト画像を
形成すべき線 基体上に感光層を表面にはく離フィルムを積載△ した１ま積層し、ついでネガを通して露光し。

最後にはく離性フィルムを除去し７た後現像Ｌ７゜レジ
スト画像を形成する。溶液状レジスト材料に比較してか
かる感光性エレメントを用いたレジスト画像の形成法は
塗工、乾燥が年弱で単に積層するのみで基体上に感光層
を形成できる点で、多くの利点を有することが認められ
ている。

感光性エレメントの感光層は岸に積Ｊ−するのみで基体
上に十分に密着するような粘着性を有していることが必
要である。この感光層の粘着性は逆に露光時にネガ等の
マスク材料を直接感光層上に密着させることを不可能と
している。

露光後マスク材料をはがすことが困難であり。

マスク材料への感光層の転着、すなわちマスク材料の汚
染を生起するからである。現在の感光性エレメントの場
合には透明なはく離性フィルムがこの露光時のマスク材
料と感光層との遮断層となっている。はく離性フィルム
は積層時にも露光時と同様、積層用プレス表面あるいは
積層用ロール表面と感光層との粘着を遮断する役割を果
たしている。これらのことから現在の感光性エレメント
における透明なはく離性フィルムが重要な役割を果たし
ていることは十分理解されよう。しかし、一方、このは
く離性フィルムの存在は大きな不利益をも生起している
。その第一は解像性であり、第二は作業性の点である。

まず第一の解像性の点について述べると。

はく離性フィルムの存在は、良好な解像度を可能にする
だめの有効な手段である露光時のマスク材料と感光層と
の直接密着を採用不能としている。第二の作業性につい
て述べると、はく離性フィルムの除去が露光後、現像前
にしか行なえないため、はく離性フィルムの除去の自動
化が困難となっているのである。即ち、もしはく離性フ
イルノ、が露光時に不要で、従って露光前に除去してよ
いのであれば、連続したロール状の感光性エレメントの
個々の基体」二への積層時に、はく離性フィルムのみは
連続的に除去し。

感光層のみを個々の基体のザイズに合わせて切断するこ
とが可能になるが、現在の感光性エレメントの場合の露
光後のはく離性フィルムは個々の基体上から除去せざる
を得す、そのことがフィルムはく離の連続的自動化を困
難としているのである。

かかる現在の感光性エレメントの問題点をｍ決する試み
が特開昭４６−２１２１号公報、特開昭５４−２２８２
１号公報及び特開昭５４−１３９７２０−Ｑ公報に提案
されている。これらの提案は種々の態様を乱んでいるが
９本質的にはマスク材料を密着すべき感光層表面上に、
非粘着性で現像液で可溶な層（中間層）を設けた感光性
エレメントである。この中間層は露光時におけるマスク
材料と感光層との転着を防止することができ、そのため
、現在の感光性エレメントの場合のは゛、く離性フィル
ムは露光時にはもはや不要であり、はく離性フィルムは
積層前後に連続的に除去可能である。また、中間層は現
像液に可溶なため９個々の基体からのこの中間層の除去
は、自動化困難な機械的なはく離除去でなく、現像操作
中に同時に行なわれ、現像時間が感光層のみの場合より
延長されることはあるにしても、別途のはく離操作を要
しない点で前述した現在の感光性エレメントの第二の作
業性を改善し得る。−に述の提案には、かかる中間層を
薄くすることによって解像性の向上が可能なことが記載
されているが、この効果は現在の感光性エレメントにお
いてもはく離性フィルムを薄くすることによって得られ
る改善効果と同等であるに止まっている。

前述したようにかかる提案は作業性向上の点で有効なも
のであるが、マスク材料と感光層とを密着して露光でき
ないために解像性の向上には応えていない上に、更に新
たな問題を生起している。即ち、中間層は現像時に現像
液中に溶解除去されるものであるため、現像液の疲労が
激しいという問題である。現像液はそれ自体高価であり
、一方、現像液廃液の処理コストも大５− きい。従って、従来の感光性エレメントの倍以上（中間
層の厚みによって異なるが９通常の２０μｍの場合）の
現像液の疲労は容認できないことである。

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものである。本発
明の目的は、解像性にすぐれた１／リ一フ画像を作業性
よく形成し得る感光性エレメントを提供するにある。

本発明は、感光層とはく離性フィルム又はさらにはく離
性フィルム上の感光層」二に更に第二のはく離性フィル
ムを有し、該感光層が実質的に非粘着性を有する表面と
、実質的に粘着性を有する反対表面とを有してなる感光
性エレメントに関する。

本発明の感光性エレメントの例を第１図、ｖＫ２図及び
第３図に示す。第１〜第３図においては感光層は非粘着
性感光層１．粘着性感光１４２とからなることによって
、非粘着性を有する表面と粘着性を有する反対表面とを
有している。

本発明における感光層は第４図のように、感光＝６− 層中に任意の中間感光層５を有することもできる。第１
図の感光性エレメントは感光層の両側にはく離性フィル
ム３，４を有しており、第２図及び第３図の感光性エレ
メントは感光層の片側にのみはく離性フィルム３又は４
を有している点では同じであるが、はく離性フィルムが
積層されているのが感光層の非粘着性面であるか粘着性
面であるかにおいて異なっている。本発明になる感光性
エレメントははく離性フィルムを少なくとも片側に有し
ていることが必要である。このはく離性フィルムは感光
性エレメントを長尺のロール状で提供する際の、感光層
相互の融着を防止する効果があり、また保存時のゴミ付
着を防止する効果をも与えるものである。

本発明の感光性エレメントを用いて基体上にレリーフ画
像を形成する方法は以下の通りである。まず、感光層の
粘着性表面にはく離性フィルムが存在する場合には、こ
れを除去したのちレリーフ画像を形成すべき基体表面に
感光層の粘着性表面が基体表面に接するように積層する
。

感光層の非粘着性表面にはく離性フィルムが存在する場
合には、積層の前あるいは後にこのフィルムを除去する
。積層は必要ならば加熱下に行なわれ９通常は加圧して
行なわれる。感光層の非粘着性表面上のはく離性フィル
ムを積層時には、そのまま−緒に積層することは、特に
加熱積層時の積層プレスあるいは積層ロールへの感光層
の転着を完全に防止する点で好ましく。

また所望ならば次の露光工程までの保管時に感光層への
ゴミの付着を防止するために除去せずにおくこともでき
る。積層前後のはく離性フィルムの除去は簡単であり１
巻き取りロールを用いて連続的に除去し得、また、積層
時に非粘着性感光層上にはく離性フィルムが存在しない
場合には１％願昭５５−１０７８７５号に提案された積
層装置を用いることも好ましい。該特杵出願には基体と
無加熱ないし低温加熱のガイドロールで感光層を積層し
、ついで加熱ロールで固く積層するに適当な装置が提案
されている。

このようにして感光性エレメントから基体上に感光層を
積層した後、？いてネガ等のマスク材料を感光層の非粘
着性表面上に直接密着せしめて露光が行なわれる。感光
ｊ−とマスク材料との密着は通常行なわれているように
真空焼枠装置を用いて行なわれる。露光後現像を行なう
と基体−ヒにレリーフ画像が得られ、このレリーフ画像
を有する基体に画像的にエツチング、めっき等の処理を
行ないレリーフ画像をレジストとすることもできる。こ
れらの処理なしでレリーフ画像を表面に有する基体は印
刷刷版用の版材となり得る。

本発明の感光性エレメントは、はく離性フィルム上に感
光性樹脂組成物溶液を塗工し乾燥し。

更に別のはく離性フィルムを設ける場合には最後に該フ
ィルムを感光層に積層して製造できる。

感光層の形成は感光性樹脂組成物溶液を直接塗工、乾燥
するかわりに、別途に乾燥した感光層とし、これを積層
する方法、あるいは溶液の塗工、乾燥とこの乾燥した感
光層の積層との組合せによっても可能である。

９一 本発明の感光性エレメントの感光層表面の粘着性の程度
をあられす［実質的に１の意味は次の通りである。本発
明における「実質的に非粘着性を有する表面」とは、マ
スク材料をその表面に密着して露光後、マスク材料を感
光層からの転着なくはく離除去できる程度に非粘着性で
ある表面を意味し、一方１−実質的に粘着性を有する表
面」とは、感光層を基体表面に適用する際に積層という
工程によって円滑に適用可能であり、積層後に感光層の
反対表面のはく離性フィルムがある場合にはそれを感光
層と基体表面との密着に影響を及ぼさずにはく離除去で
き。

以後の露光、現像によって基体上にはく離せず。

良好に密着したレジスト画像が得られる程度に粘着性で
ある表面を意味する。

本発明の感光性エレメントに用いる感光層は従来公知の
感光性樹脂組成物から形成できるが。

膜厚の大きな感光層とし得る点で主と１−て光重合性樹
脂組成物から形成することが好ましい。

光重合性樹脂組成物としては２％公昭４５−１０− ２５２３１号公報、前述の特開昭４６−２１２１号公報
、特開昭５４−２２８２１号公報９％開昭５４−１３９
７２０号公報等に記載されたものも用い得る。これらに
は、フィルム性付与のためのポリマーと光反応性成分と
しての多官能ビニルモノマー及び光重合開始剤を主要成
分とする組成物が記載されている。

本発明における感光層は層の両表面の粘着性が異なるも
のとなっており、このような感光層を得るもつとも簡単
な方法は、非粘着性感光層及び粘着性の感光１−をおの
おの最外層とすることである。

例えば、はく離性フィルム上に、非粘着性を有する感光
層を形成しうる感光性樹脂組成物を塗工、乾燥し、この
上にさらに粘着性を有する感光層を形成しうる感光性樹
脂組成物を塗工。

乾燥して得られる。この場〜、粘着性を有する１１１１ 感光層を形成しつる感光性樹脂組成物中の溶媒は、既に
はく離性フィルム上に形成された非粘着性を有する感光
層を溶解しないものであることが好ましい。また、はく
離性フィルム上に非粘着性又は粘着性を有する感光層を
形成しつる感光性樹脂組成物を塗工、乾燥しこの感光層
の上に、既にはく離性フィルム上に塗工、乾燥された粘
着性又は非粘着性を有する感光層を貼り合わせてもよい
。感光層の両面の粘着性が異なる感光性エレメントを製
造する方法には９％に制限はない。

感光層の粘着性の調整は、前述した光重合性組成物の場
合には、フィルム性付与ポリマーの割合、フィルム性付
与ポリマーの分子量、更に。

モノマーの粘度の調整によって行なうのが最も容易であ
る。これらの手法は後述の実施例によっても明らかとな
る。

本発明になる感光性エレメントの非粘着性を有する感光
層表面は、酸素が光反応を阻害することを防ぐために、
酸素透過性の小さなものとすることが好ましい。そのた
めには感光層中のフィルム性付与ポリマーとして、酸素
透過性の小さいポリマー、例えばポリアクリルアミド共
重合体、塩化ビニリデン共重合体、ポリビニルアルコー
ル、ポリスチレン、メタクリル酸トメチルメタクリレ−
１・の共重合体等を用いることが好ましい。又、特開昭
４６−２１２１号公報に記載されているポリケイ皮酸ビ
ニル系樹脂組成物、ビスアジド系樹脂組成物等のような
酸素による光反応阻害の少ない感光性樹脂組成物を感光
層、特に感光層の表面層とすることが好ましい。

本発明になる感光性エレメントに用いるはく離性フィル
ムとしては、特公昭４５−２５２３１号公報、特開昭４
６−２１２１号公報９％開昭５４−２２８２１号公報、
特開昭５４−１３９７２０号公報等に記載されているフ
ィルムを用い得る。

感光層の粘着性表面側に用いるはく離性フィルムは感光
層表面から容易にはく離可能なフィルムとすべきであっ
てポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなど
が好ましい。またそのはく離性を保持する為に、特に粘
着性感光層表面へのはく離性フィルムの形成は乾燥した
感１３− 光層とフィルムとの積層法が好ましい。非粘着性を有す
る感光層表面へのはく離性フィルムの形成の場合には、
感光層樹脂溶液の塗工、乾燥によっても良好なはく離性
が維持される。はく離性フィルムは感光層との離型性向
上のためにその表面に離型剤層を設けることも可能であ
り。

特に感光層の両表面にはく離性フィルムを有しない場合
には、感光層に接する側と反対側のはく離性フィルム上
にかかる層を設けることは。

感光性エレメントを長尺のロール状で提供する際に、は
く離性フィルムとその背面に位置する感光層間での感光
層の転着を防止する上で好ましい。

以下に本発明を実施例により説明する。実施例において
チ及び部はすべて重量％及び重量部である。

実施例１ 溶液１−Ａ １４− ２−エチルアントラキノン　　　　　　２．５ｙ−エチ
ルセロソルブ　　　　　　　　　１３０ｙ−メチルエチ
ルケトン　　　　　　　　　１０ｙ−クロロホルム　　
　　　　　　　　　　ＩＯＰ溶液１−Ｂ ２−エチルアントラキノン　　　　　　２５ｙ−ビクト
リアビアブルー　　　　　　　０．０９ｙエチルセロソ
ルブ　　　　　　　　　１３０ｙメチルエチルケトン　
　　　　　　　　１０ｐクロロホルム　　　　　　　　
　　　　　１（［’感光性樹脂溶液１−Ａ、１−Ｂを調
製した。溶液１−Ａは非粘着性感光層面、溶液１−Ｂは
粘着性感光面を各々形成するためのものである。まず。

厚み２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に溶液１−Ａを塗布し、１２０’Ｃの熱風乾燥機中で５
分間乾燥した。感光層の乾燥後の厚みは１５μｍであっ
た。一方、溶液１−Ｂを国策化工製のはく離紙（ＥＫ−
７０Ｄ）上に塗工し、同様に１２０℃で乾燥して厚み３
５１ｚｍの感光層を得た。次に両者を感光層が互いに密
着するようにしてデュポン社製ラミネータ（Ａ−２４型
）を用いて常温ではり合わせた。

得られた感光性エレメントからはく離紙を除去し、あら
かじめ清浄化処理した銅張り積層板（Ｅｌ立化成工業株
式会社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）に感光層側が銅表
面と接するようにして、前記のラミネータを用いて感光
性エレメントを積層した。

積層にあたっては積層板は６０℃で１０分間加熱した直
後のものを用い、ラミネータの加熱温度は１２０℃とし
て行なった。次に積層された感光性水銀灯（オーク製作
所製　商品名フェニックスａｏｏｏ）で１５０　ｍＪ／
ｃｍ”の露光を行なった。

露光後、ネガマスクを除去しく除去は容易であり感光層
の転着は認められなかった）、３２℃の２チ炭酸ソーダ
水溶液で８０秒間スプレー現像し。

最後に水を２０秒間スプレーすると６０μｍのライン間
、ライン幅の解像度を有するレリーフ画像が得られた。

このレリーフ画像は塩化第二鉄、塩化第二銅等の通常の
エツチング液あるいは半田めっき液、硫酸鋼めっき液に
十分な耐性を有し、印刷配線板製造用のレジストとして
有用であることがわかった。

＝１７− 比較のためＫこの実施例にかえて、露光時にポリエステ
ルフィルムを除去せずにポリエステルフィルムを残した
ままネガマスクを真空密着させた場合には、得られるレ
リーフ画像の解像度は８０μｍが最高であり、６０μｍ
は得られなかった。

本実施例の感光性エレメントは、全体の厚みを減するた
めにはく離紙を除去し、はく離紙の代りに２５μｍの厚
みのポリエチレンフィルムあるいは、ポリプロピレンフ
ィルムを積層した感光性エレメントとして、長尺ロール
状で保存できる。またポリエチレンフィルムを用いない
で、はく離紙を除去したママ、すなわちポリエチレンテ
レフタレートフィルムと感光層とからなる感光性エレメ
ントとしても長尺のロール状で保存できる。

エチレングリコール　　　　　　　　　０．２チ１８− 水　　　　　　　　　　　　　　　　　　残部第一の非
粘着性感光層用感光性組成物の溶液である溶液２−Ａと
、第二の非粘着性感光層用感光性組成物の溶液として、
実施例１で用いた溶液１−Ｂを用いて実施例１と同様に
してポリエチレンフタレートフィルム上に感光層を有す
る感光性エレメントを得た。

第一の非粘着性感光層は約７μｍであり、第二の非粘着
性感光層は約４３μｍであった。実施例１と同様にして
、基板−ヒに感光性エレメントをラミネートし露光した
。ポリエチレンフィルムは。

ラミネート直後容易に除去できた。また、ネガマスクは
感光層から抵抗なく除去することができた。

現像は３５℃、１．０　’ｌｙ　Ｎａｔ　ＣＯｓ水溶液
を９０秒間スプレーすることによって達成され、レリー
フ画像が得られた。　　　　　□ 得られたレリーフ画像は５０μｍのラインが解像でき、
良好な解像性を示した。更にこのレリーフ画像は塩化第
二銅、塩化第二鉄等の通常のエツチング液に耐性を有し
ており印刷配線板製造用レジストとして、使用できるも
のであった。

実施例３ 溶液３−Ａ トリメチロールプロパントリアクリレ−５，０’／ト ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　　　　３．０
ｙ４．４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン　
　０．２１エチルセロソルブ　　　　　　　　　１３０
　Ｐメチルエチルケトン　　　　　　　　　１０７クロ
ロホルム　　　　　　　　　　　　　１０ノ溶液３−Ｂ ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　３．０１４．
４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンシフ　　　０．２１
エノン ビクトリアビアブルー　　　　　　　０．１４Ｐエチル
セロンルプ　　　　　　　　　１３０１メチルエチルケ
トン　　　　　　　　　１０１クロロホルム　　　　　
　　　　　　　１ｏｚ第一の非粘着性感光層用感光性組
成物の溶液である溶液３−Ａと第二の非粘着性感光層用
感光性組成物の溶液である溶液３−Ｂを用いて実施例１
と同様にして感光性エレメントを得た。

実施例１と同様に基板に感光性エレメントをラミネート
し露光し現像した。現像は３０℃、１．５％Ｎ　ａ　ｔ
　ＣＯｓ水溶液を９０秒間スプレーすることＫよって行
なった。５０１１ｍのラインが解像でき良好な解像性を
示し９通常のエツチング液及び半田２１− 相 メッキ、硫酸鋼メッキに対して耐性し、印刷配線△ 板製運用レジストに使用できるレリーフ画像を得た。

実施例４ カキマゼ機、還流冷却器１滴下ロートおよび温度計を備
えた２１の四つロフラスコに反応溶媒としてエチルセロ
ソルブ５００？を入れ窒素ガス置換を行ないながら、８
０℃に加熱した。滴下ロートにエチルセロソルブ６４０
　？、メタクリル酸１２６Ｐ（１，４６３モル）、メチ
ルメタクリレート２３４１（２３３７モル）及び重合触
媒としてＮ、Ｎ’−アゾビスイソブチロニトリル０．７
２ｔ（０，２チ対モノマ）を入れ、それを４時間かけて
均一に滴下し、更に５時間加熱ｆして第１段の重合反応
を完結した。

次いで１１０℃に昇温し、グリシジルメタクリレート５
６．９？（０，４モル）、付加反応触媒として塩化ベン
ジルトリメチルアンモニウム１．８８Ｐ（３，３％対ダ
グリシジルメタクリレート９重合禁止剤としてハイドロ
キノン１．１４１　（２，ｏ％対ク２２− リシジルメタクリレート）及びエチルセロソルブ３ｏ１
塩化ベンジルトリメチルアンモニウムは先にエチルセロ
ノルブに溶解させる）を１時間かけて滴下し、更に１５
時間反応を続けた。反応終了後、室温に冷却して不揮発
分３８．０％の重合体溶液を得た。重合体の還元粘度は
０．２５６ｄｇ／Ｐであり９重合体中のカルボキシル基
のうちの２７モル係にグリシジルメタクリレートが付加
していた。

このようにして得た重合体溶液Ｐ−４を用いて第一の非
粘着性感光層用感光性組成物の溶液である溶液１−Ａを
作成した。

溶液４−Ａ 重合体溶液Ｐ−４２２４５４ ベンゾフエノン　　　　　　　　　　　３．５！！−４
，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンシフ　　　０．１
’エノン メチルエチルケトン　　　　　　　　　２０ｙまた第二
の粘着性感光層用感光性組成物とＬ７て実施例１で用い
た溶液１−Ｂを用いた。

まず２５μｍの延伸したポリプロピレンフィルム上に溶
液１’　−Ｂをアプリケーター（上島製作所株式会社製
　商品名ペイカーフィルムアプリケーター）で塗布し５
（）℃で２０分間熱風乾燥した。

乾燥後の皮膜の厚さは３５μｍであった。更にその上に
別途に実施例１で用いたと同様のはく離紙上にアプリケ
ーターを用いて溶液４−Ａを塗布し。

乾燥し１５μｍの厚みを有する感光層を実施例１と同様
にして積層し、ついではく離紙を除去し。

ポリプロピレンフィルム上に厚み１５０　ｔｚｍの感光
層を有する感光性エレメントを得た。次に感光性エレメ
ントからポリプロピンレフイルムを除去し１次に実施例
１と同様にあらかじめ清浄化処理した銅張り積層板に、
第二の非粘着性感光層が積層板に接するように積層し、
ついで１２０℃に加熱した２本のゴムロールの間を通し
た。次に実施例１と同様にして露光を行なった。露光後
ネガマスクを除去する際は、抵抗なく除去することがで
きた。次に現像液スプレーすることによってレリーフ画
像を得た。現像液及び現像条件は実施例１と同様であっ
た。レリーフ画像は第一層及び第二層の光硬化物より形
成されていた。また６０μｍのラインが解像でき良好な
解像性を示した。

更にこのレリーフ画像は塩化第二鉄、塩化第二銅等の通
常のエツチング液及び半田メッキ液、硫酸銅メッキ液の
通常の処理条件に耐性を有しており、印刷配線板製造用
レジストとして十分使用できるものであった。

実施例５ ５１四つロフラスコにメタクリル酸メチル１３２８５４
、アクリル酸エチル９０１．メタクリル酸シクロヘギシ
ル１６０５１’、アクリルアミド３２１からなるモノマ
溶液のうち６００ｙ−を１０００．７）ルエンとともに
いれ、窒素気流下＝２５− ９０℃に加熱した。次いで残りのモノマ溶液にアゾビス
イソブチロニトリル１．９６ｙ−、）ルエン６００？を
加えたものを３時間にわたって滴下した。滴下終了後更
に７時間保温後アゾビスイソブチロニトリル０．９８Ｌ
ｉ−をトルエン３００ｙに溶解したものを３０分で滴下
し９滴下終了後４時間保温した。これをトルエン３０ｏ
ｚで希釈することにより不揮発分４１重量係、還元温度
０３８（０，２５１１／ｄｌ、　３０°ＣＭＥＫ）を有
するポリマを得た。次にこのポリマを用い以下にｔ７１
（べろ感電性組成物（溶液５−Ａ）を得た。

溶液５−Ａ ポリマ　　　　　　　１９５１（乾燥重駄８０ｆｆ）ト
） ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　　　７１−２６
＝ トリブロモメチルフェニルスルホン　　　　　１．．５
５’スピロンプル−２ＢＮＩ−Ｔ　　　　　　　　Ｏ，
１ｙ−次いで以下に記した配合により感光液５−Ｂを調
整した。

溶液５−Ｂ ＮＫエステルＡ−４（）　　　　　　　　　　　１０１
ｉ’ベンゾフエノン　　　　　　　　　　　　４，８？
トリブロモメチルフエニルスルホン　　１．５ｇ−一。

スビロンプルー２ＢＮＨＯ，：１ メチルエチルケトン　　　　　　　　　　　　５０１ト
ルエン　　　　　　　　　　　　　　　８０ｙ−厚み２
５μｎ〕を有する２軸延伸ポリプロピレンフイルムに先
に配合した溶液５−Ｂを乾燥後膜厚が２５μｍとなるよ
うに塗工し、６０°ＣＩＯ分熱風乾燥した。

次に厚み２５／１ｍを有するポリエチレンテレフタレー
トフィルムに溶液５−Ａを乾燥後膜厚が１０μｍとなる
ように塗工し、８０°Ｃ２分熱風乾むかい合わせて５０
℃に加熱されたラミネートロールを通すことにより貼り
合わせたものを感光性エレメントとした。

この感光性エレメントを、スコッチプライト■バフロー
ルで研磨することにより清浄にした銅張積層板に１００
℃に加熱されたゴムロールを用いて積層した。このとき
鋼張積層板は６０℃に予熱されておシ、また。積層は感
光性エレメントからポリプロピレンフィルムを積層前に
連続的に除去し、露出した感光層（溶液５−Ｂを塗付し
乾燥した層）を銅張積層板に圧着する形で行なわれた。

引き続き積層物から溶液５−Ａを塗付し、乾燥した感光
層をおおっているポリエステルフィルムを除去し、感光
層を露光した。このときポリエステルフィルムの剥離は
容易に行なえた。父、露光した感光層は指触によるタッ
クは々く、粘着性は有していなかった。

この積層物を１時間以上放置したあと２１段ステップタ
ブレットネガフィルムおよび解像度ネガフィルムを密着
しておき、真空焼付わくを有する２ＩＣｗ超高圧水銀灯
（オーク社製ＨＭＷ−２０００）１゜ で減圧下１００ｍＪ／−露光した。露光後ネガはハ 抵抗なくとれ、ネガの汚れもなかった。１５分放置後積
層物を１＋１＋１−　）　’）クロロエタンを現像液と
して６０秒間噴霧しく１８℃、　１．５　Ｋｒ／′ｃＷ
？）、次いて１，１．１−）リクロルエタン新液で１５
秒間噴霧した。水洗、乾燥後現像によって洗い出されな
かったステップタブレット段数を測定したところ７段で
あった。また５０μｍの解像度が得られた。

２９− ガマスフと感光層の粘着を防止するための中間層が存在
しないので、良好な解像度を有するレリーフ画像を基体
上に形成し得る。また、現像時に溶解除去される成分は
感光層の未露光部分のみであり、従来の現像液溶解性の
中間層を存在せしめた感光性エレメントの場合の現像液
の疲労は少ない。

また、感光性エレメントのはく離性フィルムは露光時に
は存在せしめる必要がなく、露光前、即ち基体への感光
性エレメントの積層の前後に除去できるため、ロール状
の長尺で感光性エレメントを使用する場合１個々の基体
上に感光性エレメントを積層する前後で、積層した基体
毎に切断する前に除去できるので、はく離性フィルムを
切断しないで連続的な長尺のままで除去できる。以上の
利・を償 点により１本発明になる感光層エレメントは作業性に優
れた方法によって解像度の良好なレリーフ画像を基体上
に形成することを可能とする。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本発明になる感光性エレメントの実施
例を模式的に示す図である。 −３０＝ 符号の説明 １・・・非粘着性感光層　　２・・・粘着性感光層３・
・・はく離性フィルム　４・・・はく離性フィルム５・
・・中間感光層 ３１−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、感光層とはく離性フィルム又はさらにはく離性フィ
   ルム上の感光層上に更に第２のはく離性フィルムを有し
   、該感光層が実質的に非粘着性を有する表面と実質的に
   粘着性を有する反対表面とを有してなる感光性エレメン
   ト。