JPH01309050A - 感光性樹脂組成物および感光性フイルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、感光性樹脂組成物及び感光性フィルムに関す
る。更に詳しくは、本発明は、永久マスクを形成するプ
リント配線板の製造に用いられる感光性樹脂組成物及び
感光性フィルムに関する。

〔従来の技術〕

従来、精密加工業界、例えはプリント配線板製造等にお
いて、めっき或いはエツチングのためのレジスト形成に
感光性樹脂組成物を用いることはよく知られている。ま
た、最近では無電解めっきマスク、ソルダマスク等の永
久マスクの分野にも感光性樹脂組成物が用いられてきて
いる。ソルダマスクの主な目的は、はんだ付は時のはん
だ付は領域を限定し、はんだブリッジ等を防ぐこと、裸
の銅導体の腐食を防止すること及び長期にわたって導体
間の電気絶縁性を保持することである。

永久マスクには、耐熱性、耐溶剤性、耐薬品性、電気的
特性、機械的特性等の優れた特性が要求されているため
、使用できる感光性樹脂は限られている。これらの樹脂
は、印刷インキとして配線基板に印刷され或いは支持体
フィルム上に実質的に乾燥した感光性樹脂組成物の層を
形成した、いわゆる感光性フィルムとして配線基板に積
層され、又はいわゆる液状レジストとして配線基板に塗
工、乾燥された後、加熱或いは光照射により硬化し、保
護被膜とされる。

これまで、ソルダマスク等の永久マスクとしては、エポ
キシ樹脂、アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成
分とするもの（印・刷マスク）が多く用いられてきた。

しかし近年、印刷配線板の配線密度が高まり、また導体
間の電気絶縁性も厳しくなり、それに用いる永久マスク
も厚膜で寸法精度の優れたものが要求されるようになり
、スクリーン印刷方式のものでは対処できなくなってい
る。

そこで写真法（画像露光に続く現像により画像を形成）
で厚膜（通常導体上１５μｍ以上が望まれている）で、
かつ寸法精度の優れた高信頬の永久マスクを形成する感
光性樹脂組成物の出現が望まれてきた。

このような永久マスク形成用感光性樹脂組成物として、
アクリル系ポリマー及び光重合モノマー及び光開始剤を
主成分とする感光性樹脂組成物（特開昭５３−５６０１
８号公報、特開昭５４−１０１８号公報等）が知られて
いるが、このような感光性樹脂組成物は、フィルム性付
与のためアクリル系ポリマーを多量に使用しているため
、硬化被膜の耐熱性が不十分であるという欠点がある。

硬化被膜の特性を向上させるため、エポキシ樹脂を併用
した感光性樹脂組成物（特公昭５２−３７９９６号公報
、特開昭５８−６２６３６号公報等）が知られているが
、これらのものは硬化被膜特性の向上は見られるものの
、安定性が不十分であり、特に、アクリル系ポリマーに
カルボン酸基がある場合には、室温での長期保存が困難
である。

ヘキサメトキシメチルメラミン等、アルデヒド縮合樹脂
前駆体を用いた感光性樹脂組成物（特開昭４８−７３１
４８号、同５　Ｂ−４２０４０号公報等）は、保存安定
性が良好であり、はんだ付は時の耐熱性等、硬化被膜の
特性も良好であるが、用いるフラックスによってはレジ
スト表面にはんだ付は後、はんだボールが付着する問題
がある。

また、アルデヒド縮合樹脂前駆体が低分子量化合物であ
るため、得られる感光性樹脂組成物は、粘度が低くなり
、感光性フィルムにした場合、フィルムを円筒状に巻取
った物の端部から樹脂が流れ出し易くなる問題もある。

一方、熱硬化性樹脂を添加する系とは異なり、バインダ
ーポリマーに熱硬化性の基を有するものを用いることも
検討されている。

アクリル系ポリマーの側鎖にアルコキシカルバモイル基
を有するポリマーを用いた感光性樹脂組成物（特公昭５
２−４３０９０号公報）が知られている。このものは、
有機溶剤で現像するタイプのため、アルコキシカルバモ
イル基と反応する、カルボン酸基を系内に含まず、エポ
キシ化合物を併用しているので硬化被膜特性は良好であ
るが保存安定性に問題がある。

また、アルカリ水溶液で現像するタイプのものでは、ア
クリル系ポリマー中にアルコキシカルバモイル基とカル
ボン酸基の両方を含むものを用いた感光性樹脂組成物（
特開昭６０−６７９７６号公報）が知られている。この
ものは、保存安定性と硬化被膜の特性は良好であるが、
アルコキシカルバモイル基とカルボン酸基が熱架橋する
ため、ゲルを生じやすくなり、バインダーポリマーとし
て有効な高分子量ポリマーの合成が困難である。

（発明が解決しようとする課題〕 永久マスク用感光性樹脂組成物として、耐熱性等の硬化
被膜特性、保存安定性、はんだボール付着問題、更にフ
ィルム化した場合には、フィルム端部からの樹脂のしみ
出し、全てに優れたものはなかった。本発明は、以上の
点を満足させる感光性樹脂組成物を提供するものである
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、（ａ）少なくとも２個の炭素−炭素二重結合
を有し、活性光の照射によって重合体を形成できる非ガ
ス状エチレン性不飽和化合物、（ｂ）カルボン酸基を有
する熱可塑性有機重合体バインダー、 （ｃ）活性光によって活性化し得る光重合開始剤又は光
重合開始剤系及び （ｄ）一般式（Ｉ）： Ｒ＋ 〔式中Ｒ＋は水素又はＣＨｘを示し、Ｒ２は炭素数１〜
６のアルキル基を示す〕で示される構成単位を有する重
量平均分子１３３０００〜５００００の重合体（ただし
、共重合体とするときにもカルボキシル基及び水酸基を
有しない）を含有してなるアルカリ水溶液で現像可能な
感光性樹脂組成物に関する。

本発明の感光性樹脂組成物について、以下に詳細に説明
する。

本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも２個の炭素−
炭素二重結合を有し、活性光の照射によって重合体を形
成できる非ガス状エチレン性不飽和化合物を必須成分と
して含有する。この化合物は、既に公知の化合物であり
、その例としては、特公昭５３−３７２１４号公報に開
示された光重合性化合物、特開昭５３−５６０１８号公
報に記載されている単量体、特公昭５９−２３７２３号
公報に記載されている光重合性ウレタン化合物等を挙げ
られる。

この化合物の例としては、例えばトリメチロールプロパ
ン、トリメチロールエタン、ペンタエリトリット、ジペ
ンタエリトリット、１．６−ヘキサンジオール、プロピ
レングリコール、テトラエチレングリコール、ジブロム
ネオペンチルグリコール、ラウリルアルコール等の一価
又は多価アルコールのアクリル酸エステル又はメタクリ
ル酸エステルを挙げ得る。更に環状脂肪族エポキシ樹脂
、エポキシ化ノボラック樹脂、ビスフェノールＡ−エビ
クロルヒドリン系エポキシ樹脂等のエポキシ基を有する
化合物とアクリル酸或いはメタクリル酸との反応生成物
なども使用し得る。

感光性樹脂組成物中の少なくとも２個の炭素−炭素二重
結合を有し、活性光の照射によって重合体を形成できる
非ガス状エチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性樹
脂組成物の粘度及び光硬化性の点から組成物中２０〜８
０重量％が好ましい。

本発明の感光性樹脂組成物は、更にカルボン酸基を有す
る熱可塑性有機重合体バインダーを必須成分として含有
する。この熱可塑性有機重合体バインダーとしては、既
に公知の化合物が使用され、その例としては、特公昭４
１−１５９３２号公報に記載されている熱可塑性重合体
等を挙げることができるが、他の成分との相溶性、適用
する基板表面との密着性等の点からビニル系重合線状高
分子化合物が好ましい、この高分子化合物の重合成分と
しては、各種のビニル単量体を用いることができる。ビ
ニル単量体の適当な例としては、メタクリル酸メチル、
メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、スチレン、α
−メチルスチレン、ビニルトルエン、２−ヒドロキシエ
チルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレ
ート、アクリル酸、トリフルオロエチルメタクリレート
、テトラフルオロプロピルアクリレート、メタクリル酸
、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、２゜３−ジ
ブロモプロピルメタクリレート、３−クロロ−２−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、テトラヒドロフルフリ
ルメタクリレート、トリブロモフェニルアクリレート、
アクリルアミド、アクリロニトリル、ブタジェン等を挙
げ得る。これらは１種又は２種以上が用いられるが、メ
タクリル酸、アクリル酸等のカルボン酸基を有するビニ
ル単量体を重合成分の必須成分とする必要がある。

感光性樹脂組成物中の熱可塑性有機重合体バインダーの
含有量は、感光性樹脂組成物の粘度及び光硬化性の点か
ら組成物中の２０〜８０重景％が好ましい。それらカル
ボン酸基を有するビニル単量体の共重合成分中の量は、
アルカリ水溶液による現像性の点から、得られる重合体
の酸価が５０以上が好ましい。

本発明の感光性樹脂組成物は、更に前記の不飽和化合物
の重合を開始する活性光によって活性化しうる光重合開
始剤又は光重合開始剤系を必須成分として含有する。

使用しうる光重合開始剤としては、２−エチルアントラ
キノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチル
アントラキノン、１．２−ベンズアントラキノン、２．
３−ジフェニルアントラキノン等の置換又は非置換の多
核キノン類、ジアセチル、ベンジル等のジケトン類、ベ
ンゾイン、ビバロン等のα−ケタルドニルアルコール類
及ヒエ−チル類、α−フェニルベンゾイン、α、α−ジ
ェトキシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族ア
シロイン類、ベンゾフェノン、４．４’　−ビスジアル
キルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類等を例示
でき、これらは単独でも組み合わせて用いてもよい。使
用しうる光重合開始剤系としては、２，４．５−１リア
リ一ルイミダゾール二量体と２−メルカプトベンゾキナ
ゾール、ロイコクリスタルバイオレット、トリス（４−
ジエチルアミン−２−メチルフェニル）メタン等との組
み合わせなどを例示できる。また、それ自体では光開始
性はないが、前述した物質と組み合わせて用いることに
より全体として光開始性能のより良好な光重合開始剤系
となるような添加剤を用いることができる。例えばベン
ゾフェノンに対するトリエタノールアミン等の三級アミ
ン等である。

本発明の感光性樹脂組成物は、更に一般式（Ｉ）％式％
（Ｉ） 〔式中Ｒ８は水素又はＣＨ，を示し、Ｒ２は炭素数１〜
６のアルキル基を示す〕で示される構成単位を有する重
量平均分子量３０００〜５００００の重合体（ただし、
共重合体とするときにもカルボキシル基及び水酸基を有
しない）を必須成分として含有する。

この重合体は、対応するビニル単量体（Ｉ［）ＩＩ Ｈｚ　Ｃ＝　ＣＲ＋　ＣＮ　ＨＣＨｚ　ＯＲｚ　　　　
（ＩＩ　）（式中Ｒ１及びＲ２は式（Ｉ）におけると同
じ〕の重合物として容易に得られる。この重合体の重量
平均分子量は、他の成分との相溶性と得られる感光性樹
脂組成物の粘度の点から３０００〜５００００の範囲と
される。５００００を超える場合、他の成分と混合が困
難になり、一方、３０００未満の場合は低粘度になる。

殊に、重量平均分子量が５０００〜２００００のものが
好ましい。構造式（Ｉ）で示される構成単位を有する重
合体は、ビニル単量体（ＩＩ）の単独重合体又は共重合
体である。共重合体である場合に、他の共重合成分とし
ては、各種のビニル単量体を用いることができる。他の
ビニル単量体の量は、硬化被膜の特性を得られる範囲で
用いることができるが、構造式（ＩＩ）の単量体を５０
重重量以上とすることが好ましい。

他の共重合成分として用いるビニル単量体の適当な例と
しては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル、ア
クリル酸エチル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニ
ルトルエン、トリフルオロエチルメタクリレート、テト
ラフルオロプロピルアクリレート、ジメチルアミノエチ
ルメタクリレート、２，３−ジブロモプロピルメタクリ
レート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、トリ
ブロモフェニルアクリレート、アクリロニトリル、ブタ
ジェン等が挙げられる。

カルボキシル基を有するビニル単量体、例えばアクリル
酸、メタクリル酸又は水酸基を有するビニル単量体、例
えば２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロ
キシエチルアクリレートは、ビニル単量体（ｎ）と反応
して重合中にゲル化しやすいので用いられない。

感光性樹脂組成物中の構造式（Ｉ）で示される構成単位
を有する重合体の含有量は、感光性樹脂組成物の粘度及
びアルカリ水溶液での現像性、硬化被膜の特性の点から
組成物中の１〜５０重量％が好ましい。現像性と硬化被
膜の特性の点で３〜２０重量％がより好ましい。

更に、本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成分を含
有することができる。副次的成分としては、熱重合防止
剤、染料、顔料、微粒状充填剤、塗工性向上剤、難燃剤
、難燃助剤等であり、これらの選択は通常の感光性樹脂
組成物と同様の考慮のもとに行われる。

本発明の感光性樹脂組成物は、デイツプコート法、フロ
ーコート法、スクリーン印刷法等の常法により、加工保
護すべき基板上に直接塗工し、厚さ１０゛〜１５０μｍ
の感光層を容易に形成することができる。塗工にあたり
、必要ならば組成物を溶剤に溶解させて行うこともでき
る。溶剤としては、例えばメチルエチルケトン、メチル
セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、
シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、塩化メチレン、
１．１．１−）リクロルエタン等を挙げることができる
。

また、上記感光性樹脂組成物は、核層を支持体フィルム
上に形成したいわゆる感光性フィルムとしても用いられ
る。感光性フィルムは、以下の様にして作成することが
できる。

支持体フィルム上への感光性樹脂組成物の層の形成は、
常法により行うことができる。例えば、感光性樹脂組成
物をメチルエチルケトン、トルエン、塩化メチレン等の
有機溶剤に均一に溶解させ（但し、溶解しないもの、例
えば難燃剤の二酸化アンチモン、顔料等は均一に分散さ
せ）、この溶液を該支持体フィルム上にナイフコート法
、ロールコート法等で塗布し、乾燥して行われる。本発
明に用いられる支持体フィルムは、活性光に対して透明
であっても不透明であってもよい、好ましい例としては
、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリス
チレンフィルム等の公知のフィルムを挙げることができ
る。

長尺の感光性フィルムを製造する場合は、製造の最終段
階で該感光性フィルムをロール上に巻き取る。この場合
、感圧性粘着テープ等の製造において採用されている公
知の方法を用い、背面処理した支持体フィルムを用いる
ことにより、ロール状に巻き取うたときの感光性樹脂組
成物の層の支持体フィルム背面への転着を防ぐことが可
能である。同じ目的、塵の付着を防ぐ目的等で、感光性
樹脂組成物の層上に剥離可能なカバーフィルムを積層す
ることが好ましい。

剥離可能なカバーフィルムの例としては、ポリエチレン
フィルム、ポリプロピレンフィルム、テフロンフィルム
、表面処理した紙等があり、カバーフィルムを剥離する
ときに感光性樹脂組成物の層と支持体フィルムとの接着
力よりも、感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの
接着力がより小さいものであればよい。

本発明の感光性樹脂組成物よりなる感光性フィルムの感
光性樹脂組成物の層の厚さは、適用する印刷配線板の導
体間の高度の電気絶縁性を保持するため、また、形成さ
れる半田マスクパターンの解像度の点から２０〜２００
μｍであることが好ましい。

次に、感光性フィルムの使用方法の例について説明する
。感光性フィルムの基板上への積層は容易である。すな
わち、カバーフィルムの無い場合はそのまま、カバーフ
ィルムのある場合はカバーフィルムを剥離して又は剥離
しなから感光性エレメントの感光性樹脂組成物の層を基
板側にして加熱、加圧積層する。加熱、加圧積層は印刷
配線板製造業者では周知のラミネートを用いてｉテうこ
とができる。基板が、導体配線ラインの形成された印刷
配線板のように１０ａｍ以上の凹凸のあるものの場合は
、減圧下又は真空下で積層することが好ましい。

積層装置としては、特開昭５２−５２７０３号公報、特
公昭５５−１３３４１号公報等に記載されている装置が
ある。

次に、基板上に感光性樹脂組成物を塗工した後の工程又
は感光性フィルムとして積層した後の工程について説明
する。露光及び現像処理は常法により行い得る。感光性
フィルムの支持体フィルムが活性光に不透明である場合
は支持体フィルムを剥離した後、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光す
る。露光前後の５０°Ｃないし１００　’Ｃでの加熱処
理は基板と感光性樹脂層との密着性を高めるために好ま
しいが、加熱処理を行わなくともよい。

現像は、１％炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液
を用いて行う。

更に、現像後の８０°Ｃ〜２００°Ｃでの加熱処理及び
活性光での露光により優れた特性を有する半田マスクと
なる。現像後の加熱処理及び活性光での露光の順序はど
ちらが先でもよく、また、それぞれを何度かに分けて行
ってもよい。現像後の加熱処理及び活性光での露光によ
って得られる保護被膜は優れた半田耐熱性を示す。

〔実施例〕

次に、実施例により本発明を更に詳しく説明するが、本
発明はこれに限定されるものではない。

なお、例中の「部」は、特に断らない限り「重量部」を
示す。

（合成例） 一般式（Ｉ）で示される構成単位を有する重合体の合成 第１表に示す配合で合成を行った。Ａを温度計、撹拌装
置、冷却管、窒素ガス導入管及び滴下器の付いた加熱及
び冷却の可能な容積約１１の反応器に加え、撹拌しなか
ら９０°Ｃに昇温した。反応温度を９０°Ｃに保ちなが
ら約２時間で均一にＢ−ｔ−滴下した。

Ｂの滴下後、約２時間反応を続けた。次に、Ｃを入れ、
反応を停止した。構造式（Ｉ）で示される構成単位を有
する重合体の溶液を得た。固形分及びＧＰＣによる重量
平均分子量を第１表にまと実施例１ メタクリル酸メチル、メタクリル酸、２−エチルへキシ
ルアクリレート（６０：２０：２０重量比）の共重合物
　　　　　　　　　　　　４５重置部トリメチルへキサ
メチレンジイソシアナート、１．４−シクロヘキサンジ
メタツール、２−ヒドロキシエチルアクリレ−）（Ｉ６
：５：８当量比）の反応物　　　　　　　　　　　　　
５５重量部ベンゾフェノン　　　　　　　　　　４．０
重量部４．４′−ジエチルアミノベンゾフェノン０．２
重量部 ｐ−メトキシフェノール　　　　　　０．１重量部ビク
トリアピュアブルー　　　　　０．０５重量部２−メタ
クリロオキシエチルアシッドホスフエートのベンゾトリ
アゾール塩　　０．１重量部三酸化アンチモン　　　　
　　　　　２．０重量部トルエン　　　　　　　　　　
　　　３０重量部メチルエチルケトン　　　　　　　　
７０重量部を均一に溶解した溶液に次の架橋剤をそれぞ
れ添加した。

■メタクリル酸グリシジル（和光純薬■製）１０重量部 ■エピコー）８２８　（シェル化学■製エポキシ樹脂の
商品名）　　　　　　　　　　１０重量部■エピコート
１５２（シェル化学■製エポキシ樹脂の商品名）　　　
　　　　　　　１０重量部■サイメル３００（三井東圧
■製ヘキサメトキシメチルメラミンの商品名）　　　　
　１０重量部■（合成例）の重合体ｋｌ　　固形分　１
０重量部■（合成例）の重合体磁２　固形分　１０重量
部■（合成例）の重合体Ｎａ２　　固形分　２０重量部
■（合成例）の重合体に３　　固形分　２０重量部■（
合成例）の重合体１ｌｋ１５　　固形分　２０重量部＠
（合成例）の重合体Ｎａ６　　固形分　２０重量部■　
架橋剤を用いない。

上記の配合で感光性樹脂組成物の溶液■〜■を調製した
。この溶液を厚さ２０μｍのポリエチレンテレフタレー
トフィルム上に塗布し、引き続き乾燥（８０〜１００℃
、約１０分間）して、厚さ１５ａｍの感光層を形成した
後、この上をポリエチレンフィルムでカバーした。この
工程を連続的に行うことによって長い感光性フィルムを
得た。

次いで、ポリエチレンフィルムを剥がしながら市販の積
層装置でレジスト層面を前処理により銅表面を清浄にし
た銅張積層板（日立化成工業■製、ＭＣＬ−Ｅ６１、銅
箔の厚さ３５μｍ、基板の厚さ１．６＋＋ａｍ）上に積
層した。

次いで、ネガマスクを通してオーク製作所■製２０１Ｂ
型露光機を用い、３００ａ＋Ｊ／ａａで露光した。常温
で３０分間放置した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用
いて３０℃で１５０秒間スプレー現像した０次いで、東
芝電材■製、東芝紫外線照射装置（定格電圧２００ｖ、
定格消費電カフ、　２　ＫＷ。

適合ランプ、Ｈ５６００Ｌ／２、ランプ本数１本）を使
用し、３Ｊ／ｃｄで照射した後１．１５０℃で６０分間
加熱処理してネガマスクに相応する寸法精度の優れたソ
ルダーマスクを得た。

次いで、ロジン系フラックスＭＨ−８２０Ｖ（タムラ化
研■製）を用いて２６０℃で１０秒間はんだ付は処理し
、半田耐熱性を観察し、ロジン系フラックスＭＨ−８２
０Ｖ又は水溶性フラッスク２２１１（ケスターソルダー
社製）を用いて半田ボール付着を観察した。

また、ソルダーマスクを形成した基板を熱湯で１０分間
煮沸した後、ロジン系フラックスＭＨ−８２０ｖを用い
て２６０℃で１０秒間はんだ付は処理し、煮沸後の半田
耐熱性を評価した。結果を実施例２ 実施例１で作成した感光性フィルムを、４０゛Ｃの恒温
槽内に入れ、保存安定性を評価した。評価方法は、一定
期間抜恒温槽に入れた感光性フィルムを実施例１と同様
に積層し、引き続き現像（Ｉ％炭酸ナトリウム水溶液、
液温３０℃）を行い、現像不可能になるまでの日数で比
較した。結果を第３表 実施例３ 実施例１で作成した感光性フィルム（幅３０ｃｍ、長さ
５０ｍ）を、直径７．６　ｃｍの塩化ビニル管（幅３５
Ｃ１ｍ）に感光性フィルムの端部をそろえて巻き付けた
。このものを２３°Ｃの雰囲気下に遮光放置し、一定期
間後、端部を観察し、感光性樹脂層のにじみ出しが発生
する日数で評価した。結果を第４表にまとめて示す。

第４表 実施例４ メタクリル酸メチル、メタクリル酸、２−エチルへキシ
ルアクリレート（６０：２０：２０重量比）の共重合物
　　　　　　　　　　　　４３重量部トリメチルへキサ
メチレンジイソシアナート、１．４−シクロヘキサンジ
メタツール、２−ヒドロキシエチルアクリレ−）（Ｉ６
：５：８当量比）の反応物　　　　　　　　　　　　　
５７重量部ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　４重
量部４．４′−ジエチルアミノベンゾフェノン０、２重
量部 ｐ−メトキシフェノール　　　　　　０１１重量部ビク
トリアピュアブルー　　　　　０．０５重量部５−アミ
ノ−１，３，４−チアジアゾール０．３重量部 二酸化アンチモン　　　　　　　　　２．０重量部トル
エン　　　　　　　　　　　　　３０重量部メチルエチ
ルケトン　　　　　　　　７０重量部を均一に溶解した
溶液に次の架橋剤をそれぞれ添加した。

＠（合成例）の重合体Ｎα２　固形分　１０重量部＠（
合成例）の重合体Ｎｏ、　３　　固形分　１０重量部［
相］（合成例）の重合体Ｎα７　固形分　１０ｆｉ量部
［相］Ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド１０重量部上
記の配合で感光性樹脂組成物の溶液＠〜［相］を調製し
た。実施例１と同様に厚さ７５μｍのフィルムを作成し
、評価した。結果を第５表に示す。

第５表 〔発明の効果〕 以上のとおり、本発明の感光性樹脂組成物は、保存安定
性が良好で、感光性フィルムとした場合、フィルム端部
から感光性樹脂組成物のにじみ出しが少なく、半田ボー
ル付着を防止することができる。

；“−１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）少なくとも２個の炭素−炭素二重結合を有し
   、活性光の照射によって重合体を形成できる非ガス状エ
   チレン性不飽和化合物、 （ｂ）カルボン酸基を有する熱可塑性有機重合体バイン
   ダー、 （ｃ）活性光によって活性化し得る光重合開始剤又は光
   重合開始剤系及び （ｄ）一般式（ I ）： ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ） 〔式中Ｒ＿１は水素又はＣＨ＿３を示し、Ｒ＿２は炭素
   数１〜６のアルキル基を示す〕で示される構成単位を有
   する重量平均分子量３０００〜５００００の重合体（た
   だし、共重合体とするときにもカルボキシル基及び水酸
   基を有しない）を含有してなるアルカリ水溶液で現像可
   能な感光性樹脂組成物。 ２、熱可塑性有機重合体バインダーが酸価５０以上のも
   のである請求項１記載の感光性樹脂組成物。 ３、構造式（ I ）で示される構成単位を有する重合体
   が組成物中の１〜５０重量％を構成する請求項１記載の
   感光性樹脂組成物。 ４、請求項１記載の感光性樹脂組成物層を支持体フィル
   ム上に形成した感光性フィルム。