TWI326330B - Evacuation apparatus - Google Patents

Description

1326330 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 . 本發明係關於用以使基板加工裝置之真空室排氣的真 空排氣襄置。 【先前技術】 真空排氣裝置已經廣泛地用於排除已經供入基板加工 裝置的真空室當中之加工氣體。在cVD裴置或蝕刻裝置等_ 此類基板加工裝置當中，必須自真空室排除加工氣體，以. 便於真空室内產生穩定的真空狀態，並且使用複數個串聯_ 連接的真空泵以達到所需时抽速度（卿ping speed)及 所需的最終壓力。 · 以上提到的真空排氣裝置包含連接至真空室的增壓 泵，以及連接至增壓泵的主栗。增壓果和主果皆為呈有一 對設置於轉子殼體内的泵轉子之正排氣量真空泵。在此類 型真空泵中，由於泵轉子之間會形成小間陽:，而且泵轉子 與轉子殼體内表面之間也會形成小間隙，所以這些果轉子 在轉子殼體内以非接觸的方式轉動。 .-般而言’以含-對魯氏單段式泵轉子㈤ts_咖 smgle-stage pump加㈣的單段式真空泵作為增壓果。 =為：知CVD裝置及餘刻裝置並不需要大量的加工氣 體來加工基板，因此要排除的加工氣體量並不是那麼的大。 然而，因為半導體晶圓或液晶面板等基板’這此要加 =的物體尺寸變大，所以逐漸需要排除大量的加工^體。 為了排除大量的加工氣體，必須使用大型栗轉子，=加 (修正本)3】6403 5 泵轉子的轉動速度，進而提高果抽速度。秋而， :::籌’驅動增遷泵的馬達會超载(。veri〇 知耗增加。此外，由於壓纩* ^ A ¥致此里 可能會使泵轉子膨脹，、進:可：:使達產生的熱 主n 句了此會使泵轉子與轉子殼靜内 直::=ΓΓ障。因此，含單段式_的習知 具二排軋裝置難以為保持直 加H — 巧忏得真工至内的真空狀態排除大量的 力工乳體。在此情形之下，需 工务驊、^ 而要了排除大罝氣體（例如，加 乳體）’並且可防止其馬達超載的真空排氣 【發明内容】 有鑑於以上的問題點而6 β 的在於提供可排除大量氣體明。因此本發明的@ 空排氣裳置。體並且可防止其馬達超載的真 為了達到以上的目的，根據本發明之—態樣，提供一 ==排氣農置’包含：連接至真空室的第一真空果；以 含d第：真空栗的第二真空果；其甲該第-真空果 :有-對多段式泵轉子，且其中作為增壓泵之 用以增加作為主泵之該第m的泵抽速度。 在本發日㈣較《樣t，各多段絲轉子都含有入口 侧轉子和出口側轉子，而且^ 轉子的轴寬。 _子的軸見大於出口侧 根據本發明，即使是在第m的轉子（人口侧轉子 見叹叶得較大的情況中，加諸於第—真空泵的馬達之負 =會是小的。因此’可以有大的泵抽速度（公升/分鐘， 母早位時間排除的氣體體積），因而可排除大量的氣體。 (修正本)316403 6 1326330 在本發明的較佳態樣中，等第二真 動第一真空果。 起動之後再起 根據本發明，可以在第—真空果的 壓，受到第二直办笮的於β 土力’亦即背 泵。 “系的作用而降低之後，再起動第一真空 在本發明的較佳態樣中， 之氣體的溫度、氣體屡力、容 置所運送 的温度’或流八馬達以供該多之轉子殼體 控制多段式轉子的轉動速度。 _的電流’以 根據本發明，可防止氣 多段式栗轉子的膨 υ馬達的熱造成該 與轉子殼體内表面接觸4者了:::二2轉子泵轉子 可降低馬達的能量損耗和熱的產生，馬達超载，因而 在本發明的較佳態樣 收納於單一套件中。 ㈣具工泵和弟二真空泵 馬達在本U的較佳態樣中’該第二真空果包括無刷式沉 裝置真空排氣裝置的操作方法，該真空排氣 泵，該增壓泵且古文段王忑增&泵之主 驟：起動該主泵.:段式栗轉子，該方法包括下列步 該主聚的牛，額定轉動速度操作該主泵；從該起動 二的開始經過預定時段之後’起動該增壓果；以 動、度操作該增壓泵；以及當該真空室内之氣體 ^至預疋壓力時，增加該增壓泵之轉動速度。 (修正本)316403 7 【實施方式】 農置町將對照圖式說明根據本發明的實施例之真空排氣 第1圖係顯示根據本發明之實施例的直 側視圖。第2圖係顯示第i圖所示之第一直：排乳裝置的 第3A至3D圖係說明運 …泵的截面圖。 々 逐k虱體的方法之概略圖。 如苐1圖所示，兮首处# tt 4真空排氣裝置包含作為增壓泵的第 -真空泵卜作為主栗的第 二泵的弟 真空泵1和該第二直气2的冰士 f及用以收納該第一 在底板4的4 A 外殼（套件）3。將外殼3固定 _ 、义，並且將該第二真空泵2裳設於此底板 4上。將四個輪子吖f 士一 衣叹於此底板 的下邱—山 /、中一個如第1圖所示）固定在底板4 的下4，猎此可運輸真空排氣裝置。 - 僅示為含有一對魯氏泵轉子20(们圖中 2 Α :古 魯氏正排氣量真空泵，而且該第二直空泵 —對螺旋式泵轉子衝第〗 : 螺旋式正排氣量真空泵 二：之）的 之泵轉子具有互為不同之形狀。第—真空泵 直 空泵2在外殼3中彼此相互平行 〃 ” 果以置於第二真空系2上^叹置，並且將第一真空 M 含有與注入管6連通的注入部❿，而 _ i注入官6連至併於基板加工裝置的真空室（第1圖未 板加工裝置的實例包括分別用於半導體晶圓或 cvdV. 一栗1的下。P形成出口部23b，而且使 (修正本)316403 8 1326330 此出口部23b經由連結管7連至第二真空泵 43a。使弟二真空泵2的出口部饥連至出’ γ，^ 由出口管謂氣體（例如加工氣體 中，第一真空泵1和第《直处$ Q 士 外邛。在此方法 ^ 0 真空泵2串聯連接，並且將第- ;;泵2設置於第-真空。的下游。明確地說， 二：置於真空側(真空室側），並且將第二真空泵2 設置於大氣側。設計使此第直 ’ 真空泵1無法在室壓下自己起動 另-方面，第一丄真…可在室壓下起動。 明 …％王生r目匕起動。 確地說’等第-真空泵i的出口側壓力（亦即背壓 pressure))降至特定程度之後才可起動第一真空泵^。此 第-真空泵（亦即增壓泵M用以增加第二真空泵（亦即主 泵）2的泵抽速度。第二真空栗（主栗）2可在真空至大氣麗 力的範圍内操作’並且用以降低第一真空泵i的出口側壓 力（亦即背壓）。 在此實施例中，第一真空泵丨對第二真空泵2的泵抽 速度比係50, 〇〇〇 : 2, 500。若真空室所需的真空度高於本 實施例的真空排氣裝置之極限壓力，可在第一真空泵i的 上游進一步設置渦輪分子泵（turb〇_m〇 i ecu丨ar pUrap)等超 高真空泵。 將用以供應電流至第一真空泵1的馬達Ml的馬達驅動 器D1和用以供應電流至第二真空泵2的馬達M2的馬達驅 動器D2設立於外殼3的上部。馬達Ml和馬達M2的轉動速 度分別獨立地經由馬達驅動器D1和D2，以控制板（控制單 元）10加以控制。馬達Ml和馬達M2的轉動速度可藉由改 9 (修正本)316403 1326330 變分別施於馬達Ml和馬達M2的電流頻率而加以控制。在 此實施例中，馬達Ml和馬達M2係二軸式無刷式^馬達。 如第2圖所示，第一真空果i包含一對面向彼此的多 段式泵轉子20,以及設置多段式泵轉子2〇的轉子殼體 由於泵轉子20之間還有泵轉子20與轉子殼體23之間會形 成小間隙，所以這些泵轉子20可以非接觸的方式在轉|殼 體23中轉動。各泵轉子2〇都含有設置於入口側的第一^ 魯氏轉子（入口侧轉子）2〇a、設置於出口側的第二段魯氏轉 子（出口側轉子）20b以及固定這些魯氏轉子2〇a和2此的 轉軸21。第一段魯氏轉子2〇a的軸寬π大於第二段魯氏 2子20b的軸寬W2。明確地說，第一段魯氏轉子2〇a的轴 九W1對第二段魯氏轉子2〇b的軸寬W2之比率係2至1 〇 : 1 ’ #父佳為5至1〇 :；[。在此實施例中，此比率為卜1。換 句話說，第一段魯氏轉子2〇a的軸寬W1係第二段魯氏轉子 20b的軸寬μ的二至十倍，較佳為五至十倍。第一段魯氏 轉子20a的泵抽速度係介於2〇, 〇〇〇至1〇〇, 〇〇〇(公升/分 鐘）’較佳為介於50,000至1〇〇,〇〇〇(公升/分鐘）。在=實 =例中，第一段魯氏轉子20a的泵抽速度係50, 〇〇〇(公升/ 刀知）。此實施例的第二段魯氏轉子2〇b的泵抽速度係 000(公升/分鐘）。 又、 各轉軸21皆由入口側軸承22A和出口側軸承22β以可 轉動的方式支撐。注入部23a係形成於轉子殼體23中，並 =第一段魯氏轉子20a的上方。丨口部23b亦形成於轉 豉體23中，並位於第二段魯氏轉子2〇b的下方。、 (修正本)3] 6403 10 1326330 驅動第一真空泵1的馬達M1包含 末端部分之二馬達轉子MH，以及呈放射^定於轉轴21 馬達轉子M1-1表面上的馬達定子们_2，、式设置於 覆蓋馬達轉子MH和馬達定子们_2室$馬達外设24 馬達轉子其中之一’以及二馬達定子μ!:::不： 將馬達定子連接至以上提到的_ ^ =了 對馬達定子M1-2供應電流，使得轉軸 / D1。错者 朝相反方向同步地跡在馬達外殼24周圍=二20’ =卻管25B ’以便藉由流過冷卻管咖的冷卻: -對彼此嚙合在—起的定時齒輪28，固定於 的另-末端部分。這些㈣絲28係容 Γ齒輪殼體29的周圍器壁中嵌入冷卻管祝二^ 流過冷卻管25A的冷卻液冷卻定時齒輪28和軸承 為藉由馬達Ml執行泵轉子2〇的 因 28的功能在於防止泵轉子 / ，所以定時齒輪 受到干擾。果轉子2〇的同步轉動由於意外因素而 … 顯不於第2圖中)分別地固定在 別地-置曲ST第一段魯氏轉子2Ga之間的轉轴2i上。分 :权置曲折軸封32A(其中之一顯示於第 刀 套川的外表面。此外，將麵套^^ m之問㈣/ 勒承22奸第二段魯氏轉子 S、 2]上，並且分別地設置曲折軸封3沈（苴中 之一顯示於第2圖幻以便環繞在轴套3]β的外表面。= Π (修正本)3丨64〇3 丄 曲折軸封32A * 32B可防止來自設置軸承22A、轴承22B 矛馬達M1區域的氣體（加工氣體）被泵轉子20所壓縮。以 油作為轴承22A* 22B的潤滑劑，以致於即使當加工氣體 =副產物沈積於軸承22A和22B上時，該副產物仍可藉由 々il過轴承22A和22B的油加以移除。 、以軸承殼體33A覆蓋軸承22A和曲折軸封32A，並且 乂軸承7；又體33B覆蓋軸承22B和曲折轴封32B。轉子殼體 23、馬達殼體24及軸承殼體33A和33β彼此獨立地裝設， 並且依序組裝轉子殼體23、軸承殼體33A和33B及馬達殼 體 24。 a 為了防止加工氣體的副產物沈積在軸承22A和及 曲折軸封32A和32B上，所以分別地在齒輪殼體29和軸承 八又體33B中裝δ又供應清潔氣體用的供應部和mb。由 供應部35Α供應的清潔氣體將會填滿齒輪殼體別的内部空 間，然後依序流過軸承22Α和曲折軸封32Α，藉以防止轴 1 承22Α和曲折軸封32Α暴露於加工氣體下。以相同的方式， 使供應部35Β供應的清潔氣體依序流過軸承22Β .和曲折軸 封32Β，藉以防止軸承22Β和曲折轴封32β暴露於加工氣 體下。該清潔氣體可包含不會與加工氣體起反應的安定性 氣體，例如空氣或氮氣（鈍性氣體）。 如第3Α和3Β圖所示’設置使第—段魯氏轉子2〇&(和 第二段魯氏轉子20b)在轉子殼體23中彼此面對。若魯氏 轉子20a(亦即泵轉子20)受到馬達们作用而同步地轉動， 入口側的氣體將會被侷限於魯氏轉子2〇a與轉子殼體Μ (修正本)316403 12 I326330 的内表面所定的& 行這樣Μ ^ 運送至出σ側。持續地進 =樣的乳體運送，進而自連接至注入部23a(參見第 ^空至排除該氣體。儘管本實施射使 ==式(~)轉子代替。在使用這‘ 早的开；能"#之各種情況中，泵轉子皆為多段式粟轉 、4多段式泵轉子含有依轴向排列的多段式 二=:20的段數並不限於二段。舉例來說，-對粟轉 子备中的母一個皆有二或更多段可供使用。 —如以上說明的，根據現在這個使用多段式泵轉子20

々實把例即使將第—段魯氏轉子2Ga的軸寬W 習知的泵更大，加料馬達M1的㈣也會是小的，因= 降低馬達Ml的電力損耗。再者’由於可防止馬㈣產生 熱’所以可避免泵轉子2〇與轉子殼體23内表面接觸。 第4圖係顯示第u所示之第二真空泵的截面圖。此 、真二栗與第冑空泵的不同之處在於泵轉子係螺旋 式。第二真空泵的其他零件與第一真空果的零件相同，以 下不再重複說明。 ' 如第4圖所示，在轉子殼體43令設置一對螺旋式多段 泵轉子4G(g 4圖中僅示其，之―），使其面對彼此。這些 栗轉子40藉由包含馬達轉子|M2-1和馬達定子M2_2之馬達 M2的作用而依相反方向同步;地轉動。各個泵轉子4〇都含 有第-段螺旋式轉子（人口側轉子）術、第二段螺旋式轉子 (出口側轉子）4〇b及固定螺旋轉子術和_的轉轴4ι。 分別地設置使第-段和第二段螺旋式轉子4Qa和概使其 (修正本)316403 13 1326330 彼此嗜合。第-段螺旋式轉子術具有比第二段螺 子40b更大的轴寬和更大的螺 ^ ^ 又八日螺紋間距。儘官本實施例 二真空泵2中使用的是螺旋型轉子，但也 轉子代替。 八及爪式 由於泵轉子4G之間還有泵轉子4Q與轉子殼體43内 面之間會形成小間隙，所以這些泵轉子4〇可以非接觸的‘ 式在轉子殼體43中轉動。注人部43a係於轉子殼體43中 形成’並位於第—段螺旋式轉子術的上方。ά 口部伽 亦係於轉子殼體43巾形成，並位於第二段螺旋式轉子_ 的下方。經由連結管7將該注入部4%連接至上述之第_ 真空泵1的出π部23b(參見第！和2圖）。 处利用故樣的配置，經由連結管7自注入部43a將第一 1排放的氣體（例如加工氣體）導入轉子殼體43中。 藉著第-段螺旋.式轉子術和第二段螺旋式轉子伽的轉 動來壓縮該氣體，然後自出口部傷排放。 ^在此實施例中，藉由第一段魯氏轉子2〇a，接著第二 I又魯氏轉子2〇b、第一段螺旋式轉子術和第二段螺旋式 轉子40b而達到最大的泵抽速度。 立口為第一真空泵2的位置比第一真空泵1更靠近大氣 j刀，所以第二真空泵2的内壓比第一真空泵1的内壓更 向口此加工氣體的副產物可能會沈積在第二真空泵2 中。在此實施例中，因為第二真空泵2使用螺旋式泵轉子 所以'尤積在第二真空泵2中的副產物會受到泵轉子40 轉動的作$而被刮除。明確地說，即使副產物沈積在第一 14 (修正本)316403 1326330 &和第一段螺旋式轉子4〇a和4〇b及轉子殼體内表面 上，該副產物也會被刮除，然後再藉由螺旋式轉子4〇a和 40b(亦即螺旋式泵轉子4〇)的轉動作用來運送至出口部 43b。依此方式，適合以螺旋式轉子4〇a和4仳除去副產物。 連結管7内含有量測自第一真空泵丨排放之氣體（例如 加工氣體）壓力用的壓力感測器5〇。將該壓力感測器5〇連 接^控制板1〇(參見第i圖）’使控制板1G得根據麗力感 測器50的輸出訊號（亦即氣體壓力）而控制第一真空泵^ 的泵轉子20(參見第丨和2圖）之轉動速度。 接下來將對照第5圖說明根據本實施例的真空排氣裝 置之操作。 、第5圖係說明第一真空泵和第二真空泵的轉動速度與 壓力感測益測得的氣體壓力之圖形。 如第5圖所示，先起動第二真空泵2，一直提高苐二 真空泵2之泵轉子4G的轉動速度直到轉動速度達到額定轉 動速度S4為止。之後，操作第二真空泵2，使其維 定轉動速度。從第二真空泵2起動時開始，經過預定時間 周期^之後再起動第一真空泵1。至於替代性方法，可以 在氣體壓力達到預定壓力P0之後再起動第一真空泵丨，該 預定壓力P0係介於第二真空栗2可真空排氣的壓力範圍以 内H真空泵1之泵轉子2G的轉動速度達到幻之後， 使泵轉子20以固定的轉動速度S3轉動。 在操作第一真空泵i和第二真空系2時，復降低氣體 ί加工氣體）的壓力。#氣體壓力降至p2時’復提高果轉子 (修正本)316403 15 1326330 的轉動速度。當泵轉子 轉子？η絲I、，β α 的轉動速度達到S2時，使泵 〜千20轉動以便維持轉 了使泵 到Η時，復使泵轉子20的轉·;S ；^當氣體壓力達 S1。接著，使泵轉子2〇在^=度^至較轉動速度 轉子2〇達到額定轉動、亲/^轉動速度（S1)時轉動。等泵 而接一 、又之後，若氣體壓力由於某虺因辛 而鈥向的話，就接著操作使早一 或S3。 1轉子20降至其轉動速度S2 :此方法’根據真空排氣裝置所運送的氣體壓力改變 遠、工泵、1《泵轉+ 20的轉動速度，藉以可降低施於馬 的負载。儘官在本實施例中麗力感測器5〇係設置於 ^結管7巾，但壓力感測器也可設置於位在第—段螺旋式 轉子40a和第二段螺旋式轉子働之間的第二真空果2之 轉:殼體43中。或者，可將壓力感㈤器設置於注入管6(參 見第1圖）、第一真空泵]的轉子殼體23或注入部23a中。 另外，第一真空泵1的泵轉子20之轉動速度可根據真 空排氣裝置運送的氣體之溫度、第一真空泵丨的轉子殼體 23之溫度或流入第一真空泵i的馬達M1之電流而改變。 舉例來說，在利用氣體溫度的例子中，需將量測氣體溫度 用的’孤度感測态設置於第一真空系1的轉子殼體2 3中。在 利用第一真空泵1的轉子殼體23之溫度的例子中，需將溫 度感測器設置於轉子殼體23的外表面。在利用馬達M1之 電流的例子中’需將量測流入馬達Ml之電流用的電流感測 器併入控制板1 〇中。 接下來’將對照第6圖說明以本實施例的真空排氣裝 (修正本)316403 括;if = :f板加工裝置的真空室之範例。第6圖係顯示包 乂 〃矣明之實施例的真空排氣裝置之基板加工裝置。 源61如#第/圖所示，在真空室60的上游設置加工氣體供應 身' 61，使加工裒轉士 經由輸送管Μ以直：二應源61供應至真空室6〇。 f 一二至60連接至根據本實施例的真空排 使真“ ^送管62含有間門64。藉著打開此閥門64, 二^ /真㈣氣裝置63透過輸送管62彼此連通。 裝置65 亦即加工氣體）處理為無害氣體用的廢氣清潔 ^實施例勹；於a真工排氣裝置63的下游。廢氣清潔裝置65 以第-二^式、渔式、燃燒型及觸媒型等數種類型。 單元67μΓΓ 67連接至真空室6〇 ’以便經由第一控制 工制基板在真空室6〇中加工的加工 在真空室60Φ6Α甘1 丨不丨仗乂 r 的基板上進行之加工稱為主要加工）。舉例 件包括供應至真空室6°的加工氣體之類型 門64,以便秭制早兀68連接至真空排氣裝置63及閥 操作條件和^ 控制單元68控制真空排氣裝置63的 ^ σ句64的開關操作。舉例來說，直空排氣穿置 63㈣作條件包括 ：排乳裝置 度及起動第―和裳“ （參見第1圖）之轉動速 將I:真空泵1和2之時間安排⑴―)。 第-押制^ ^連接至第一控制單元67，以便使 控制早το 67可將加工條件以訊號 控制單元.第二控制單元 =-至第二 件）控制真空排氣裝置63和闊門64。^訊棄^即加工條 第三控制單元66連接至第一控制單元二制:：過程用的 b (此第三控制單 (修正本)31640 17

1JZOJJU 元66可傳送訊號至第一控制單元 到適合整個過程之主要加 4號表示以上提 『可根據此訊號來控制主要力…將數種真第控二早- 經進行之主要加工的結果 已 .,, 禾夂饋至第一控制單元67。 土板加工裝置的操作順序按照以下進行 基板（未圖示）轉運至真空室6 ’將 的同時，起動真空排氣裝置63,、，^在打開閥門64 作。接著，等真空室且以較轉動速度操 , 中形成的真空度保持固定時，白a 工规體供應源61將加工氣體供應 σ 基板上進行預定的加工（主要加工）。一至6〇,猎以在該 在停止加工氣體的供應而完成主要加m =64，然後自真空室60中移除基板。當閥門64關閉時， 真空排氣裝置63會以比額定轉動速度更低的轉動速 二真空排氣裝置63的操作會被停止。因此，可降γ真 工排軋裝置63的電力損耗。在真空室6〇中形成的真空度 不需保持固定的情況_，在打開闕門64的同時，可以比ς 定轉動速度更低的轉動速度操作真空排氣震置63。、 如以^之說明，根據本發明，可排除大量的氣體而不 _對驅動第一真空泵之馬達施加過度的負载。 本發明可應用於排除基板加工襄置 的真空排氣裝置。 虱體用 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示根據本發明之實施例的真空排 側視圖； t 3 (修正本)3】6403 18 1326330 第2圖係顯示第1圖所示之第一真空泵的截面圖； 第3A至3D圖係說明運送氣體的方法之概略圖； 第4圖係顯示第丨圖所示之第二真空泵的截面圖； β第、係說明第一真空泵和第二真空泵的轉動速度與 壓力感測益測得的氣體壓力之圖形；以及 υ国你顯不加入根 置之基板加工農置 【主要元件符號說明 馬達驅動器 馬達 馬達轉子 馬達轉子 預定壓力 氣體壓力 額定轉動速度 轉動速度 軸寬 第一真空泵 外殼 輪子 連結管 控制板 魯氏泵轉子（多段式泵轉子） 第一段魯氏轉子 -

Ml Ml-jΜ2-ι P〇 P2SI S3Wl1 3 5 710202〇a D2 M2 Ml-2 M2-2PI PT S2 S4W2 2 4 6 8 馬達驅動器 馬達 馬達定子 馬達定子 氣體壓力 預定時間周期 轉動速度 額定轉動迷度 軸寬 第二真空泵 底板 注入管 出口管 20b 第二段魯氏轉子 (修正本)316403 19 1326330 21 轉軸 22B 出口側軸承 23a 注入部 24 馬達外殼 25B 冷卻管 29 齒輪殼體 31B 軸套 32B 曲折軸封 33B 軸承殼體 35B 供應部 40a 第一段螺旋式轉子 41 轉軸 43a 注入部 50 壓力感測器 61 加工氣體供應源 63 真空排氣裝置 65 廢氣清潔裝置 67 第一控制單元 22A 入口側軸承 23 轉子殼體 23b 出口部 25A 冷卻管 28 定時齒輪 31A 轴套 32A 曲折轴封 33A 軸承殼體 35A 供應部 40 螺旋式泵轉子 40b 第二段螺旋式轉子 43 轉子殼體 43b 出口部 60 真空室 62 輸送管 64 閥門 66 第三控制單元 68 第二控制單元 20 (修正本)316403

Claims (1)

132^330 第93131306號專利申請案 (99年2月24曰） ί’： · 十、申請專利範圍： 1. 一種真空排氣裝置，包含： 第一真空泵，連接至真空室；以及 第二真空泵，連接至該第一真空泵； 其中該第-真^泵含有—對多段式泵轉子；且 其中作為增壓泵之該第―真Μ用明加作為主 泵之該第二真空泵的泵抽速度。 2. 如申請專利範圍帛丄項之真空排氣裝置，其中，該多段 式泵轉子各自含有“側轉子和出口側轉子，而且該入 口側轉子的㈣大於該出口側轉子雜寬。 3. ”請專利範圍第1或2項之真空排氣裝置，其中，該 第二具空泵起動之後再起動該第一直空泵。 4. 如申請專利範圍第142項之真空排氣裝置，i中，係 :據：f真空排氣裝置所運送之氣體的溫度、氣體壓 合直該多段式泵轉子之轉子殼體的溫 ==段式泵轉子轉動的電流，來控制該多段式泵 轉子的轉動速度。 5. 如申請專利範圍第1或2項之真空排氣裝置， 該第一真空泵和該第二真空泵收納於單-套件;。 6. 如申請專利範圍第丨.項胃^ ^ 吉允石κ具工排虱裝置，其中，該第j …工泵匕括無刷式DC馬達。 7. 種真二排氣農置的择竹古'土 41 接至直厂 該真空排氣裝置具有驾 壓泵具有一對多 增㈣之主泵，該增 式泵轉子，該方法包括T列步驟： (修正版）316403 21 1326330 第93131306號專利申請案 (99年2月24曰） 起動該主泵； 以額定轉動速度操作該主泵； 從該起動該主泵的步驟開始經過預定時段之後，起 動該增壓泵； 以怪定的轉動速度操作該增壓泵；以及 當談真空室内之氣體壓力降至預定壓力時，增加該 增壓泵之轉動速度。 22 (修正版）316403