JP5952616B2 - 真空ポンプ装置 - Google Patents
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Description
図1は、従来技術における真空ポンプ装置の概略図を示している。この真空ポンプ装置は、真空チャンバ側に配置されるブースターポンプ2と、外気側に配置されるメインポンプ4とを備えており、ブースターポンプ2とメインポンプ4は直列に接続されている。ブースターポンプ2は、メインポンプよりも高い排気速度を有しており、真空ポンプ装置全体として、メインポンプ単体のものと比較して、真空チャンバ内のプロセスをより迅速に排気できるようになっている。
本発明の第1実施形態に係る真空ポンプ装置は、真空チャンバ(図示せず)からプロセスガスを排気するためのドライ真空ポンプ(ガス排出用のポンプ部)30と、ドライ真空ポンプを駆動するための電動モータ(モータ部)32と、電動モータ32で発生した熱を真空ポンプに伝達するための熱伝達装置36とを備えている。本実施形態においては、ドライ真空ポンプは、ルーツ型となっているが、スクリュー型など他の構造のものであっても良い。
ドライ真空ポンプは、多段型ポンプとすることができ、本実施形態実施においては、3段のロータ48がシャフト46に固定されている。そして、3段のロータ48の径方向外側に圧縮ガス通路52が形成されており、吸込口42から導入されたプロセスガスは、3段のロータの各により圧縮され、圧縮ガス通路52を介して後段のロータ48に移送されるようになっている。
部に取り付けられたモータロータ62と、モータケーシング60の内周面に設けられたステータ64とを備えている。また、本実施形態においては、モータロータ62とステータ64との間にそのステータとロータとを隔離するキャン66が配置されて、キャン構造モータとなっている。シャフト46は、このモータロータ62が固定されたシャフト46の端部が片持ち構造となるように軸受50によって支持されている。
モータ側循環通路86は、配管としての循環パイプを備えており、循環パイプは、モータケーシング60に埋設されている。ポンプ側循環通路88も配管としての循環パイプを備えており、この循環パイプは、ポンプケーシング38に埋設されている。
左側から右側に向けて螺旋状に配管されている。モータケーシング60に埋設されたモータ側循環通路86は、ステータコア64にできるだけ隣接して配置されている。電動モータ32で発生する熱は、主に、ステータコア64で発生する鉄損と、ティース72に巻かれたコイル74で発生する銅損とからなっている。そのため、銅損で発生する熱をより効率的に吸収できるように、モータ側循環通路86を構成する循環パイプは、ステータコア64やティース72に隣接するようにモータケーシングに埋め込むことが好ましい。また、モータ側循環通路86は、循環パイプをモータケーシング60に鋳包んでモータケーシング60に埋設することが好ましい。
続通路90の入口部96を介して、ポンプ側循環通路88に供給できるようになっている。
制御装置106は、温度センサ104で検出されたポンプケーシング38の温度を検知している。そして、ポンプケーシング38の温度が所定温度以上になったとき、制御装置106は、入口側電磁弁114と出口側電磁弁116とを開くとともに、バイパス側電磁弁118を閉じる。これにより、液体がラジエータ108を通って放熱され、液体の温度を下げることができる。温度センサ104で検出されたポンプケーシング38の温度が所定温度以下の場合、制御装置106は、入口側電磁弁114と出口側電磁弁116とを閉じるとともに、バイパス側電磁弁118を開ける。これにより、液体は、連通部98を通ってラジエータ108をバイパスし、液体の温度を下げることがなく、ポンプケーシング38の温度を迅速に上げることができる。
電動モータ32の温度が上がってきた場合、モータ側循環通路内を流れる液体の温度も上がり、この温度が上がった液体が、ポンプケーシング38に埋設されたポンプ側循環通路88を流れため、ポンプケーシング38やポンプロータ48が暖められる。このようにして、電動モータ32の温度が十分に上がった場合、制御装置106はインバータ120タを制御して力率を改善し、電動モータ32の電流を抑え、効率的な運転を行う。一方、制御装置106は、温度センサ104で検出されたポンプケーシング38の温度が所定温度以上になったとき、入口側電磁弁114と出口側電磁弁116とを開くとともに、バイパス側電磁弁118を閉じ、液体をラジエータ108で冷却して、液体の温度を下げるよう液体の温度を調節する。
第2の実施形態は、図5に示されているように、ラジエータ108の位置が第1の実施形態と異なっている。第2の実施形態においては、ラジエータ108は、ポンプ側循環通路88を出た液体を圧送ポンプ82及び図示しないタンクに供給する、循環通路80のうちの下流側通路92に配置されている。ラジエータ108の入口通路110は、一端が、下流側通路92のうちポンプ側循環通路の出口側に接続され、他端がラジエータの入口に接続されて、ポンプ側循環通路を出た液体をラジエータ内に取り込むことができるようになっている。一方、ラジエータの出口通路112は、一端がラジエータの出口に接続され、他端が、下流側通路92のうち圧送ポンプ側に接続されている。第2の実施形態においては、ラジエータ108で冷却された液体を、圧送ポンプ82を介して、まず、電動モータ側に供給できる。このため、モータ温度異常時等にモータ温度を効果的に下げることができるという特徴をもっている。
8を開けて、冷却水をラジエータ108を通ることなくバイパスさせ、ブースターポンプとメインポンプのポンプケーシングの温度を迅速に上げることができる。
32 モータ部(電動モータ)
36 熱伝達装置
38 ポンプケーシング
40 ルーツロータ
42 吸込口(吸気ポート)
44 吐出口(排気ポート)
46 シャフト(軸)
48 3葉ロータ
50 軸受
52 圧縮ガス通路
54 谷部
56 タイミングギヤ
60 モータケーシング(ステータフレーム)
61 開口部
62 モータロータ
63 フランジ部
64 ステータ
66 キャン
68 ステータコア
70 スロット
72 ティース
74 コイル
80 循環通路
82 圧送ポンプ
84 上流側通路
86 モータ側循環通路
88 ポンプ側循環通路
90 接続通路
92 下流側通路
100 冷却装置
102 弁装置
104 温度センサ
106 制御装置
108 ラジエータ
110 入口通路
111 冷却経路
112 出口通路
114 入口側電磁弁
116 出口側電磁弁
118 バイパス側電磁弁
120 インバータ
200 ブースターポンプ
300 メインポンプ
500 冷却経路
Claims (12)
- 真空ポンプ装置であって、
ガスを排気するためのガス排出用のポンプ部と、
該ポンプ部を駆動するためのモータ部と、
該モータ部で発生した熱を前記ポンプ部に伝達するための熱伝達装置とを備え、
前記ポンプ部は、ポンプケーシングと、該ポンプケーシング内に配置されたロータとを備えており、
前記モータ部は、モータケーシングと、該モータケーシング内に配置されたステータとモータロータとを備えており、
前記熱伝達装置は、前記モータケーシングと前記ポンプケーシングとに設けられた循環通路と、
前記循環通路を通して熱媒体を圧送するための圧送ポンプとを備え、該圧送ポンプにより前記熱媒体を前記循環通路で循環できるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプ装置おいて、
前記循環通路は、
前記モータケーシングに埋設されたモータ側循環通路と、
前記ポンプケーシングに埋設されたポンプ側循環通路と、
前記モータ側循環通路と前記ポンプ側循環通路とを接続する接続通路とを備え、
前記接続通路を介して、前記モータ側循環通路と前記ポンプ側循環通路との間で前記熱媒体を循環できるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプ装置において、さらに、
前記ポンプケーシングの温度を検出するための温度センサと、
前記モータ部を制御するためのインバータと、
前記インバータを制御する第1の制御装置とを備え、
前記第1の制御装置は、前記温度センサからの前記ポンプケーシングの温度に基づいて、前記インバータを制御して前記モータ部の力率を制御できるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプ装置において、さらに、
前記熱媒体を冷却するための冷却装置と、
該冷却装置と、前記循環通路との間を液体連通可能に遮断する弁装置と、
前記ポンプケーシングの温度を検出するための温度センサと、
該温度センサで検出されたポンプケーシングの温度に基づいて前記弁装置を制御する第2の制御装置とを備えたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項4に記載の真空ポンプ装置おいて、さらに、
前記熱媒体は液体からなり、
前記冷却装置は、前記液体の熱を放熱させることにより該液体を冷却するためのラジエータを備え、
前記循環通路は、
前記ラジエータの入口とを接続する入口通路と、
前記ラジエータの出口とを接続する出口通路と、
前記ラジエータに前記液体が流れないように、前記入口通路と前記出口通路とを直接的に連通して該ラジエータをバイパスするためのバイパス通路とを備え、
前記弁装置は、前記入口通路に設けられた入口側電磁弁と、
前記出口通路に設けられた出口側電磁弁と、
前記バイパス通路に設けられたバイパス側電磁弁とを備え、
前記第2の制御装置は、前記温度センサで検出されたポンプケーシングの温度が所定温度以上になったとき、前記入口側電磁弁と前記出口側電磁弁とを開くとともに、前記バイパス側電磁弁を閉じ、前記液体が前記ラジエータを通ることができるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項4または5に記載の真空ポンプ装置において、
前記モータ部を制御するためのインバータを備え、前記第2の制御装置は、前記温度センサからの前記ポンプケーシングの温度に基づいて、前記インバータを制御して前記モータ部の力率を制御できるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の真空ポンプ装置において、
前記ポンプ部は、真空側に配置されるブースターポンプを備えており、
前記真空ポンプ装置は、さらに、大気側に配置されるメインポンプと、該メインポンプを駆動するためのメインポンプ用モータ部とを備え、
前記ブースターポンプは、前記メインポンプよりも高い排気速度を有しており、
前記ブースターポンプと前記メインポンプは直列に接続されていることを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項7に記載の真空ポンプ装置において、さらに、
前記メインポンプの排気側で発生した圧縮熱を、該メインポンプのほぼ全体に伝達するためのメインポンプ用熱伝達装置を備え、
前記メインポンプは、メインポンプ用ポンプケーシングと、該メインポンプ用ポンプケーシング内に配置されたメインポンプ用ロータとを備えており、
前記メインポンプ用ポンプケーシングは、吸込口と吐出口とを有しており、
前記メインポンプの吸込口が、前記ブースターポンプの吐出口に接続されており、
前記メインポンプ用熱伝達装置は、前記メインポンプ用ポンプケーシングに設けられたメインポンプ用循環通路と、
前記メインポンプ用循環通路を通してメインポンプ用熱媒体を圧送するためのメインポンプ用圧送ポンプとを備え、該メインポンプ用圧送ポンプにより前記メインポンプ用熱媒体を前記メインポンプ用循環通路で循環できるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項8に記載の真空ポンプ装置おいて、
前記メインポンプ用循環通路は、前記メインポンプ用ポンプケーシングだけに埋設され、前記ポンプケーシング内で前記メインポンプ用熱媒体を循環できるようにしたメインポンプ用の循環パイプを備えたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 真空ポンプ装置であって、
ガスを排気するためのガス排出用のポンプ部と、
該ポンプ部を駆動するためのモータ部と、
前記ポンプ部の排気側で発生した圧縮熱を、該ポンプ部のほぼ全体に伝達するための熱伝達装置とを備え、
前記ポンプ部は、ポンプケーシングと、該ポンプケーシング内に配置されたロータとを備えており、
前記ポンプケーシングは、吸込口と吐出口とを有しており、
前記熱伝達装置は、
前記吐出口付近を通して前記ポンプケーシングに設けられた循環通路と、
前記循環通路を通して熱媒体を圧送するための圧送ポンプとを備え、
前記圧送ポンプにより前記熱媒体を前記循環通路で循環できるようにしており、
前記真空ポンプ装置は、さらに、
前記熱媒体を冷却するための冷却装置と、
該冷却装置と、前記循環通路との間を液体連通可能に遮断する弁装置と、
前記ポンプケーシングの温度を検出するための温度センサと、
該温度センサで検出されたポンプケーシングの温度に基づいて前記弁装置を制御する第3の制御装置とを備えたことを特徴とする真空ポンプ装置。 -
請求項10に記載の真空ポンプ装置おいて、さらに、
前記熱媒体は液体からなり、
前記冷却装置は、前記液体の熱を放熱させることにより該液体を冷却するためのラジエータを備え、
前記循環通路は、
前記ラジエータの入口とを接続する入口通路と、
前記ラジエータの出口とを接続する出口通路と、
前記ラジエータに前記液体が流れないように、前記入口通路と前記出口通路とを直接的に連通して該ラジエータをバイパスするためのバイパス通路とを備え、
前記弁装置は、前記入口通路に設けられた入口側電磁弁と、
前記出口通路に設けられた出口側電磁弁と、
前記バイパス通路に設けられたバイパス側電磁弁とを備え、
前記第3の制御装置は、前記温度センサで検出されたポンプケーシングの温度が所定温度以上になったとき、前記入口側電磁弁と前記出口側電磁弁とを開くとともに、前記バイパス側電磁弁を閉じ、前記液体が前記ラジエータを通ることができるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。 - 請求項10または11に記載の真空ポンプ装置において、
前記モータ部を制御するためのインバータを備え、前記第3の制御装置は、前記温度センサからの前記ポンプケーシングの温度に基づいて、前記インバータを制御して前記モータ部の力率を制御できるようにしたことを特徴とする真空ポンプ装置。
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