JP2010127157A - ドライ真空ポンプユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外気圧側に配置されるメインポンプ15と、真空側に配置されてメインポンプ15に直列に接続されるブースターポンプ16とを備える。メインポンプ15は、一対の平行に配置されたスクリューロータ52a,52bと、ケーシング50と、一対のスクリューロータ52a,52bと一体に回転する一対のマグネットロータ54,54とを有する。一対のスクリューロータ52a,52bの回転軸51a,51bを上下方向に向けて縦置きに設置すると共に、ケーシング50に設けた吸気口15aを排気口15bよりも上方に位置し、さらに回転軸51a,51bのスラスト及びラジアル軸受(スラスト軸受)53−1,53−1を回転軸51a,51b上部の吸気側に設置する。
【選択図】図3
Description
図1は本発明の一実施形態にかかるドライ真空ポンプユニット1の概略側面図、図2はドライ真空ポンプユニット1の模式図である。図1に示すようにドライ真空ポンプユニット1は、メインポンプ15とブースターポンプ16とをポンプ設置台60に取り付け、ドライ真空ポンプユニット1を駆動する電装機器17と前記ポンプ設置台60とを放熱板21上に載置して固定し、上記各部材を覆うように外装ケース29を取り付けて構成されている。
15 メインポンプ(真空ポンプ)
15a 吸気口
15b 排気口
16 ブースターポンプ(真空ポンプ)
17 電装機器
21 放熱板
29 外装ケース
40 冷却ファン
50 ケーシング
51a,51b 回転軸
52a,52b スクリューロータ
54 マグネットロータ
53−1 スラスト及びラジアル軸受(スラスト軸受)
53−2 ラジアル軸受
56 流体通路
60 ポンプ設置台
Claims (2)
- 外気圧側に配置されるメインポンプと、
真空側に配置されて前記メインポンプに直列に接続されるブースターポンプとを備え、
少なくとも前記メインポンプは、一対の平行に配置されたスクリューロータと、これら一対のスクリューロータを収納するケーシングと、前記一対のスクリューロータと一体に回転する一対のマグネットロータとを有し、前記一対のスクリューロータの回転軸を上下方向に向けて縦置きに設置すると共に、前記ケーシングに設けた吸気口を排気口よりも上方に位置し、さらに前記回転軸のスラスト軸受を回転軸上部の吸気側に設置したことを特徴とするドライ真空ポンプユニット。 - 請求項1に記載のドライ真空ポンプユニットにおいて、
前記スラスト軸受は、セラミックボール軸受であることを特徴とするドライ真空ポンプユニット。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP2008301737A JP5133224B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | 真空ポンプユニット |
PCT/JP2009/070072 WO2010061939A1 (ja) | 2008-11-25 | 2009-11-20 | ドライ真空ポンプユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008301737A JP5133224B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | 真空ポンプユニット |
Publications (3)
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Family
ID=42327726
Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013083211A (ja) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Ebara Corp | 真空ポンプ及び真空ポンプユニット |
JP2016156373A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ |
-
2008
- 2008-11-26 JP JP2008301737A patent/JP5133224B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101791519B1 (ko) * | 2015-02-25 | 2017-10-30 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 진공 펌프 |
TWI649498B (zh) * | 2015-02-25 | 2019-02-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 真空泵 |
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---|---|
JP5133224B2 (ja) | 2013-01-30 |
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