JPH09242688A - ターボ形真空ポンプ排気系 - Google Patents
ターボ形真空ポンプ排気系Info
- Publication number
- JPH09242688A JPH09242688A JP8052884A JP5288496A JPH09242688A JP H09242688 A JPH09242688 A JP H09242688A JP 8052884 A JP8052884 A JP 8052884A JP 5288496 A JP5288496 A JP 5288496A JP H09242688 A JPH09242688 A JP H09242688A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- high vacuum
- pump
- power supply
- low
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】高真空ポンプを真空チャンバに直付けが容易
で、高真空ポンプの種類，台数の変化が容易で、しかも
一台の低真空ポンプも含めて電源コントローラが一つな
ので簡潔な駆動制御ができる高真空排気系を提供する。 【解決手段】ターボ形の高真空ポンプの排気口と大気へ
直接排気可能なターボ形の低真空ポンプの吸入口を連通
して構成したターボ形真空ポンプ排気系において、前記
高真空ポンプの駆動モータと低真空ポンプの駆動モータ
を、一つの電源コントローラで駆動する。
で、高真空ポンプの種類，台数の変化が容易で、しかも
一台の低真空ポンプも含めて電源コントローラが一つな
ので簡潔な駆動制御ができる高真空排気系を提供する。 【解決手段】ターボ形の高真空ポンプの排気口と大気へ
直接排気可能なターボ形の低真空ポンプの吸入口を連通
して構成したターボ形真空ポンプ排気系において、前記
高真空ポンプの駆動モータと低真空ポンプの駆動モータ
を、一つの電源コントローラで駆動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ形真空ポン
プ排気系に関する。
プ排気系に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の真空ポンプの第１の公知例とし
て、特願昭62−226378号明細書がある。本例の構造を、
図３の断面図に示す。図３で、駆動軸３は吸気口１と排
気口２を有するハウジング２０を貫通し、軸受５，６を
介して回転自在に支持されており、該駆動軸３に組込ま
れたモータ４により駆動される。
て、特願昭62−226378号明細書がある。本例の構造を、
図３の断面図に示す。図３で、駆動軸３は吸気口１と排
気口２を有するハウジング２０を貫通し、軸受５，６を
介して回転自在に支持されており、該駆動軸３に組込ま
れたモータ４により駆動される。
【０００３】吸気口側から排気口側に至る間のハウジン
グ内には、軸流ターボ分子ポンプロータ翼７，軸流ター
ボ分子ポンプステータ翼８，ステータ翼抑えリング９，
遠心圧縮ポンプロータ１３，遠心圧縮ポンプステータ１
４，円周流圧縮ポンプロータ１５，円周流圧縮ポンプス
テータ１６が順次に配設されている。上部軸受６の上方
にはパージガスポート２１からガスパージされ、軸シー
ルされている。
グ内には、軸流ターボ分子ポンプロータ翼７，軸流ター
ボ分子ポンプステータ翼８，ステータ翼抑えリング９，
遠心圧縮ポンプロータ１３，遠心圧縮ポンプステータ１
４，円周流圧縮ポンプロータ１５，円周流圧縮ポンプス
テータ１６が順次に配設されている。上部軸受６の上方
にはパージガスポート２１からガスパージされ、軸シー
ルされている。
【０００４】真空ポンプを排気口２での圧力が大気圧の
状態で運転し、吸気口１での圧力が十分に低下した定常
運転状態では、真空ポンプ内の気体の流れは、吸気口側
から排気口側に向かって分子流，中間流，粘性流と変化
する。一方、各ポンプ段が最も有効に排気作用をする圧
力範囲はそれぞれ異なり、軸流ターボ分子ポンプロータ
翼７，軸流ターボ分子ポンプステータ翼８は分子流域で
の性能がよく、遠心圧縮ポンプロータ１３，遠心圧縮ポ
ンプステータ１４は分子流から中間流域での性能がよ
く、円周流圧縮ポンプロータ１５，円周流圧縮ポンプス
テータ１６は中間流域から粘性流域での性能がよいとい
う特性を持っている。
状態で運転し、吸気口１での圧力が十分に低下した定常
運転状態では、真空ポンプ内の気体の流れは、吸気口側
から排気口側に向かって分子流，中間流，粘性流と変化
する。一方、各ポンプ段が最も有効に排気作用をする圧
力範囲はそれぞれ異なり、軸流ターボ分子ポンプロータ
翼７，軸流ターボ分子ポンプステータ翼８は分子流域で
の性能がよく、遠心圧縮ポンプロータ１３，遠心圧縮ポ
ンプステータ１４は分子流から中間流域での性能がよ
く、円周流圧縮ポンプロータ１５，円周流圧縮ポンプス
テータ１６は中間流域から粘性流域での性能がよいとい
う特性を持っている。
【０００５】第２の公知例として、一般に図４に示すよ
うな高真空排気系がある。この高真空排気系は、高真空
ポンプ（例えばターボ分子）２８と、高真空ポンプ２８
と配管２４で接続された低真空ポンプ（例えばターボ粗
引真空ポンプ）２７からなる。低真空ポンプ２７はイン
バータ付電源コントローラ２２で、高真空ポンプ２８は
インバータ付電源コントローラ２５で駆動される。定常
運転状態では、高真空ポンプ２８は分子流域から中間流
域を受け持ち、低真空ポンプ２７は分子流域の高圧側か
ら中間流域，粘性流域を受け持って、大気へ排気する。
うな高真空排気系がある。この高真空排気系は、高真空
ポンプ（例えばターボ分子）２８と、高真空ポンプ２８
と配管２４で接続された低真空ポンプ（例えばターボ粗
引真空ポンプ）２７からなる。低真空ポンプ２７はイン
バータ付電源コントローラ２２で、高真空ポンプ２８は
インバータ付電源コントローラ２５で駆動される。定常
運転状態では、高真空ポンプ２８は分子流域から中間流
域を受け持ち、低真空ポンプ２７は分子流域の高圧側か
ら中間流域，粘性流域を受け持って、大気へ排気する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、排気
口側が大気圧下で運転されるため、排気口側ポンプロー
タの気体の撹拌等により、ロータ，ステータ等が相当高
温に熱せられる。その熱が、分子流域で性能を発揮して
高真空を作り出す軸流ターボ分子ポンプロータ７まで伝
わり、常に脱ガスを行っている状態になり、高温による
性能低下をもたらし、高真空までもっていけないことに
なるおそれがある。また縦形で高さの設置上の制限もあ
るので、真空引きを行うチャンバに直付けできずに配管
を介した接続となることもあり、この場合は配管コンダ
クタンスの制限で、排気速度が減じられるおそれがあ
る。
口側が大気圧下で運転されるため、排気口側ポンプロー
タの気体の撹拌等により、ロータ，ステータ等が相当高
温に熱せられる。その熱が、分子流域で性能を発揮して
高真空を作り出す軸流ターボ分子ポンプロータ７まで伝
わり、常に脱ガスを行っている状態になり、高温による
性能低下をもたらし、高真空までもっていけないことに
なるおそれがある。また縦形で高さの設置上の制限もあ
るので、真空引きを行うチャンバに直付けできずに配管
を介した接続となることもあり、この場合は配管コンダ
クタンスの制限で、排気速度が減じられるおそれがあ
る。
【０００７】第２の公知例では、第１の公知例の課題で
ある高真空側ロータの過熱と真空チャンバへの配管接続
の問題は小さくなる。しかし高真空ポンプ２８はインバ
ータ付電源コントローラ２５で、低真空ポンプ２７はイ
ンバータ付電源コントローラ２２で制御しなければなら
ないので、運転制御系が繁雑になり、かつコストもかか
るという問題があった。
ある高真空側ロータの過熱と真空チャンバへの配管接続
の問題は小さくなる。しかし高真空ポンプ２８はインバ
ータ付電源コントローラ２５で、低真空ポンプ２７はイ
ンバータ付電源コントローラ２２で制御しなければなら
ないので、運転制御系が繁雑になり、かつコストもかか
るという問題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】ほぼ同じ回転数で運転す
るように設計した高真空域を受け持つターボ形高真空ポ
ンプ段と、低真空から大気圧までを受け持つターボ形低
真空ポンプ段を別々のケーシングに納めて各々に設置し
たモータで駆動する構造とし、高真空ポンプ段排気口と
低真空ポンプ段吸気口は、配管で接続する。この両者の
モータを共通の一つのコントローラで駆動する。
るように設計した高真空域を受け持つターボ形高真空ポ
ンプ段と、低真空から大気圧までを受け持つターボ形低
真空ポンプ段を別々のケーシングに納めて各々に設置し
たモータで駆動する構造とし、高真空ポンプ段排気口と
低真空ポンプ段吸気口は、配管で接続する。この両者の
モータを共通の一つのコントローラで駆動する。
【０００９】高真空ポンプ段と低真空ポンプ段を共通の
コントローラで同時に起動する。起動の経過は第１の公
知例と概略同じで、回転数が上昇するに従ってポンプ内
の圧力が低下し、定常状態に達すると、吸入ガス量に応
じて、高真空ポンプの吸入口の圧力が分子流域から中間
流域、低真空ポンプの吸入口の圧力が中間流域から粘性
流域になる。高真空ポンプは分子流域から中間流域の気
体密度の低い領域で運転されるので、ポンプは高温には
ならない。
コントローラで同時に起動する。起動の経過は第１の公
知例と概略同じで、回転数が上昇するに従ってポンプ内
の圧力が低下し、定常状態に達すると、吸入ガス量に応
じて、高真空ポンプの吸入口の圧力が分子流域から中間
流域、低真空ポンプの吸入口の圧力が中間流域から粘性
流域になる。高真空ポンプは分子流域から中間流域の気
体密度の低い領域で運転されるので、ポンプは高温には
ならない。
【００１０】また一つの電源コントローラで駆動するの
で、駆動制御系は簡潔で、かつ消費動力は高真空ポンプ
段が数百ワット、低真空ポンプ段が数キロワットなの
で、両ポンプ共通の電源コントローラの容量は、低真空
ポンプ単独駆動の場合と殆ど変わらない。
で、駆動制御系は簡潔で、かつ消費動力は高真空ポンプ
段が数百ワット、低真空ポンプ段が数キロワットなの
で、両ポンプ共通の電源コントローラの容量は、低真空
ポンプ単独駆動の場合と殆ど変わらない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
１，図２で説明する。図１は第１の実施例の高真空排気
系を示す。高真空ポンプ２８と低真空ポンプ２７が配管
２４で連通されており、両ポンプは一台の電源コントロ
ーラ２２と、配線２３で結線されている。高真空ポンプ
の駆動軸３３は吸気口３１と排気口３２を有するハウジ
ング３７内にあり、軸受３５，３６を介して回転自在に
支持されており、駆動軸３３に組込まれたモータ３４に
より駆動される。高真空ポンプの吸気口側から排気口側
に至る間のハウジング３７内には、軸流ターボ分子ポン
プロータ翼７，軸流ターボ分子ポンプステータ翼８が配
置されている。低真空ポンプの駆動軸３は吸気口１と排
気口２を有するハウジング２０内にあり、軸受５，６を
介して回転自在に支持されており、駆動軸３に組込まれ
たモータ４により駆動される。低真空ポンプの吸気口側
から排気口側に至る間のハウジング内には、遠心圧縮ポ
ンプロータ１３，遠心圧縮ポンプステータ１４，円周流
圧縮ポンプロータ１５，円周流圧縮ポンプステータ１６
が配置されている。ポンプ起動の場合は、高真空ポンプ
２８内の圧力は大気圧であり、大気圧運転が続くと高真
空ポンプ２８は過負荷になってしまうが、高真空ポンプ
２８と低真空ポンプ２７は同時起動なので回転上昇とと
もに低真空ポンプ２７の排気作用によって高真空ポンプ
２８の背圧が低くなり、高真空ポンプ２８は正常運転を
継続できる。また高真空ポンプ２８は小形で真空チャン
バへの直付けが容易である。
１，図２で説明する。図１は第１の実施例の高真空排気
系を示す。高真空ポンプ２８と低真空ポンプ２７が配管
２４で連通されており、両ポンプは一台の電源コントロ
ーラ２２と、配線２３で結線されている。高真空ポンプ
の駆動軸３３は吸気口３１と排気口３２を有するハウジ
ング３７内にあり、軸受３５，３６を介して回転自在に
支持されており、駆動軸３３に組込まれたモータ３４に
より駆動される。高真空ポンプの吸気口側から排気口側
に至る間のハウジング３７内には、軸流ターボ分子ポン
プロータ翼７，軸流ターボ分子ポンプステータ翼８が配
置されている。低真空ポンプの駆動軸３は吸気口１と排
気口２を有するハウジング２０内にあり、軸受５，６を
介して回転自在に支持されており、駆動軸３に組込まれ
たモータ４により駆動される。低真空ポンプの吸気口側
から排気口側に至る間のハウジング内には、遠心圧縮ポ
ンプロータ１３，遠心圧縮ポンプステータ１４，円周流
圧縮ポンプロータ１５，円周流圧縮ポンプステータ１６
が配置されている。ポンプ起動の場合は、高真空ポンプ
２８内の圧力は大気圧であり、大気圧運転が続くと高真
空ポンプ２８は過負荷になってしまうが、高真空ポンプ
２８と低真空ポンプ２７は同時起動なので回転上昇とと
もに低真空ポンプ２７の排気作用によって高真空ポンプ
２８の背圧が低くなり、高真空ポンプ２８は正常運転を
継続できる。また高真空ポンプ２８は小形で真空チャン
バへの直付けが容易である。
【００１２】第２の実施例を図２で説明する。本実施例
は、図１の第１の実施例に対して、異種の高真空ポンプ
２９（例えばねじ形分子ドラッグポンプ）を追加して、
低真空ポンプ２７に連通させ、この高真空ポンプ２９
も、他のポンプと共通の電源コントローラ２２で駆動す
るものである。本実施例によれば、一台の電源コントロ
ーラの駆動制御により、複数の真空チャンバを同時に、
しかも要求によっては異なる圧力に排気することが可能
になる。また高真空ポンプ２８，２９は低真空ポンプ２
７と比較して消費動力が数分の１なので、電源コントロ
ーラの容量に数十％の余裕をもたせれば、高真空ポンプ
の接続台数を増やすことが容易となる。
は、図１の第１の実施例に対して、異種の高真空ポンプ
２９（例えばねじ形分子ドラッグポンプ）を追加して、
低真空ポンプ２７に連通させ、この高真空ポンプ２９
も、他のポンプと共通の電源コントローラ２２で駆動す
るものである。本実施例によれば、一台の電源コントロ
ーラの駆動制御により、複数の真空チャンバを同時に、
しかも要求によっては異なる圧力に排気することが可能
になる。また高真空ポンプ２８，２９は低真空ポンプ２
７と比較して消費動力が数分の１なので、電源コントロ
ーラの容量に数十％の余裕をもたせれば、高真空ポンプ
の接続台数を増やすことが容易となる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、高真空ポンプを真空チ
ャンバに直付けが容易で、高真空ポンプの種類，台数の
変化が容易で、しかも一台の低真空ポンプも含めて電源
コントローラが一つなので簡潔な駆動制御ができる高真
空排気系を提供する。
ャンバに直付けが容易で、高真空ポンプの種類，台数の
変化が容易で、しかも一台の低真空ポンプも含めて電源
コントローラが一つなので簡潔な駆動制御ができる高真
空排気系を提供する。
【図１】本発明の一実施例の系統図。
【図２】本発明の別の実施例の系統図。
【図３】従来例の断面図。
【図４】別の従来例の系統図。
１，３１…吸気口、２，３２…排気口、３，３３…駆動
軸、４，３４…モータ、５，６，３５，３６…軸受、７
…軸流ターボ分子ポンプロータ翼、８…軸流ターボ分子
ポンプステータ翼、１３…遠心圧縮ポンプロータ、１４
…遠心圧縮ポンプステータ、１５…円周流圧縮ポンプロ
ータ、１６…円周流圧縮ポンプステータ、１９…パージ
配管、２０，３７…ハウジング、２１…パージガスポー
ト、２２…電源コントローラ、２３…配線、２４…配
管。
軸、４，３４…モータ、５，６，３５，３６…軸受、７
…軸流ターボ分子ポンプロータ翼、８…軸流ターボ分子
ポンプステータ翼、１３…遠心圧縮ポンプロータ、１４
…遠心圧縮ポンプステータ、１５…円周流圧縮ポンプロ
ータ、１６…円周流圧縮ポンプステータ、１９…パージ
配管、２０，３７…ハウジング、２１…パージガスポー
ト、２２…電源コントローラ、２３…配線、２４…配
管。
Claims (1)
- 【請求項１】ターボ形の高真空ポンプの排気口と大気へ
直接排気可能なターボ形の低真空ポンプの吸入口を連通
して構成したターボ形真空ポンプ排気系において、前記
高真空ポンプの駆動モータと低真空ポンプの駆動モータ
を、一つの電源コントローラで駆動することを特徴とす
るターボ形真空ポンプ排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052884A JPH09242688A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | ターボ形真空ポンプ排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052884A JPH09242688A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | ターボ形真空ポンプ排気系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09242688A true JPH09242688A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=12927312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8052884A Pending JPH09242688A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | ターボ形真空ポンプ排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09242688A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100376802C (zh) * | 2005-08-08 | 2008-03-26 | 沈阳市耐蚀合金泵厂 | 高速透平真空泵 |
| JP2015135214A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社東芝 | 空気調和装置 |
-
1996
- 1996-03-11 JP JP8052884A patent/JPH09242688A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100376802C (zh) * | 2005-08-08 | 2008-03-26 | 沈阳市耐蚀合金泵厂 | 高速透平真空泵 |
| JP2015135214A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社東芝 | 空気調和装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |