KR20020043445A - 진공펌프 - Google Patents

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KR20020043445A
KR20020043445A KR1020010075644A KR20010075644A KR20020043445A KR 20020043445 A KR20020043445 A KR 20020043445A KR 1020010075644 A KR1020010075644 A KR 1020010075644A KR 20010075644 A KR20010075644 A KR 20010075644A KR 20020043445 A KR20020043445 A KR 20020043445A
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야마시타요시히로
노나카마나부
가바사와다카시
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핫토리 쥰이치
세이코 인스트루먼트 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 운전 비용의 감소 이외에, 높은 응답성으로 처리 압력 제어 및 장치 전체의 소형화와 비용 감소가 가능한 진공펌프를 제공한다. 제2 펌프 기구부는 제1 펌프 기구부중에 배기측이 가스 배기구와 통해 있는 배기관 통로에 장착된다. 제2 펌프 배기부는 제1 펌프 기구부에 독립적으로 펌프 회전수를 변화시킬 수 있도록 구성된다. 제2 펌프 기구부의 펌프 회전수가 변화될 때, 제1 펌프 기구부의 배기측의 압력(배킹압)이 변화한다. 따라서, 가스 흡기구에서 제1 펌프 기구부측로의 가스 흡입의 효율이 증가되거나 또는 감소되고, 프로세스 챔버의 압력이 변화하게 된다.

Description

진공펌프{VACUUM PUMP}
본 발명은 반도체 제조장치, 전자 현미경, 표면 분석장치, 질량분석기, 분자가속기, 핵융합 실험 장치 등에 사용되는 진공펌프에 관한 것이다.
반도체 제조는 건식 에칭, CVD 등과 같은 종류의 처리를 포함한다. 이러한 처리는 프로세스 챔버로 불리는 진공 용기에서 실시된다. 이 프로세스 챔버의 처리 압력을 제어하는 방법으로서, (1) 컨덕턴스(conductance) 밸브를 이용하는 방법 및 (2) 질량 흐름 제어(이하, "MFC"로 축약됨)를 이용하여 챔버에 가스를 도입하는 시스템이 공지되어 있다. 또한, (3) 프로세스 챔버를 진공하기 위해 터보분자펌프의 배기측에 가스를 도입하는 시스템 역시 고안되어 있다.
전술한 (1)의 컨덕턴스 밸브를 이용하는 방법에서, 컨덕턴스 밸브는 프로세스 챔버에 연결된 진공펌프의 가스 흡기구에 설치된다. 이 컨덕턴스 밸브의 개구가 조정될 때, 이 프로세스 챔버에서 진공 펌프측으로 흐르는 가스의 유속(컨덕턴스로 불림)이 조정됨으로써, 프로세스 챔버의 처리 압력을 제어한다.
MFC를 이용하는 전술한 방법(2)은 MFC에 의해 프로세스 챔버에 도입되는 가스량을 제어한다.
진공펌프로 진공 용기의 내부를 진공하는 중에, 질소 가스 등이 진공펌프의 배기측에 도입되는 경우, 진공펌프의 배기측의 압력(종종 "배킹압(backing pressure)"로 불림)은 증가한다. 이러한 압력의 증가는 펌프의 공기 흡입 작동에 대한 저항을 유발하므로, 진공펌프에 의한 가스 흡입의 효율은 감소한다. 그러나, 전술한 (3)의 가스 도입 시스템은 진공 펌프에 의해 가스 흡입의 효율이 질소 가스 등의 이러한 도입에 기인하여 증가됨으로써 프로세스 챔버의 처리 압력을 제어한다.
그러나, 전술한 (1)의 컨덕턴스 밸브는 고비용이며 크다. 또한, 컨덕턴스 밸브가 밸브를 개폐하기 위한 작동부를 포함하기 때문에, 그 응답성이 제한된다. 종래의 이러한 종류의 컨덕턴스 밸브를 적용하여 처리 압력을 제어하는 시스템에서는, 고비용 및 장치 전체의 크기가 증가되는 등의 문제가 있다. 또한, 종래의 시스템은 높은 응답성으로 처리 압력을 제어하는 것이 불가능하는 문제가 있다.
MFC를 이용하는 (2)의 전술한 방법은 처리 가스의 조성이 변화되어, 추종성이 낮은 문제가 있다.
또한, 전술한 (3)의 질소 가스를 도입하는 시스템은 질소 가스를 진공 펌프측에 공급하기 위한 가스 배관 및 질소 가스의 공급량을 조절하기 위한 유속 제어장치 등이 요구된다. 따라서, 전체 장치의 구조는 더욱 복잡하고 전체 장치의 크기가 커진다. 또한, 처리 압력이 제어될 때마다, 질소 가스가 소비된다. 따라서, 운전 비용이 높다는 문제가 있다.
본 발명은 전술된 문제들을 해결하기 위해 고안되었다. 본 발명의 목적은 높은 응답성으로 처리 압력을 제어할 수 있어, 운전 비용의 감소뿐만 아니라, 장치 전체의 소형화 및 비용의 감소시킬 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의하면, 진공 용기측과 연결된 가스 흡기구, 상기 가스 흡기구로부터 진공 용기에 가스를 흡입 및 배기하는 제1 펌프 기구부, 상기 제1 펌프 기구부의 배기측과 통해 있는 가스 배기구, 및 상기 제1 펌프 기구부의 배기측이 상기 가스 배기구와 통해 있는 배기관의 통로에 제공되어상기 제1 펌프 기구부에 독립적으로 펌프 회전수를 변화시킬 수 있는 제2 펌프 기구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프가 제공된다.
본 발명은 진공 용기의 압력이 상기 제2 펌프 기구부의 펌프 회전수를 변화시킴으로써 제어되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 제2 펌프 기구부가 나선형 펌프 기구부를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제1 펌프 기구부는 고진공측에 배치되는 터보분자펌프 기구부가 이 터보 분자 펌프 기구부의 하단부에 배치되는 나사홈펌프 기구부와 일체로 형성되는 혼합식 펌프 구조를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 제2 펌프 기구부의 펌프 회전수가 변화될 때, 제1 펌프 기구부의 배킹(배기측의 압력)압이 변화한다. 예를 들면, 배킹압이 증가될 때, 가스 흡기구에서 제1 펌프 기구부로의 가스 흡입의 효율이 감소되고, 그 다음 프로세스 챔버의 압력이 증가된다. 따라서, 본 발명은 제2 펌프 기구부의 펌프 회전수를 변화시킴으로써 프로세스 챔버의 처리 압력을 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공펌프의 실시예를 도시하는 단면도,
도 2a 및 도 2b는 도 1의 진공펌프에 채택된 나선형펌프 기구부를 도시하는 설명도이며, 도 2a는 나선형펌프 기구부의 평면도이며, 도 2b는 나선형펌프 기구부의 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 진공 펌프의 또 다른 실시예를 도시하는 단면도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 펌프 케이스2 : 터보분자펌프 기구부
3 : 나사홈펌프 기구부4 : 나선형 펌프 기구부
5 : 가스 흡기구6 : 가스 배기구
7 : 회전자 축8 : 볼 베어링
200 : 회전자201 : 회전자 블레이드
202 : 고정자 블레이드203 : 스페이서
이후, 본 발명에 따른 진공펌프의 실시예가 도 1, 도 2a 및 도 2b를 참조로 상세히 설명된다.
도 1에 도시된 본 발명의 진공펌프는 제1 펌프 기구부(A) 및 제2 펌프 기구부 (B)가 원통형 펌프 케이스(1)에 포함되도록 형성되어 있다.
펌프 케이스(1)의 상부측에는 가스 흡기구(5)가 장착된다. 펌프 케이스(1)의 하부측에는 가스 배기구(6)가 장착된다. 제1 펌프 기구부(A)는 펌프 케이스(1)의 가스 흡기구(5)측에 설치된다. 제2 펌프 기구부(B)는 제1 펌프 기구부(A)의 배기측(Aout)이 펌프 케이스(1)의 하부에 장착된 배기 포트(6)와 통해 있는 배기관(C)의 통로에 설치된다. 가스 흡기구(5)는 반도체 제조장치 등의 프로세스 챔버 등과 같은, 고진공의 진공 용기측에 연결된다. 한편, 가스 배기구(6)는 대기측과 통해 있다.
각종 형태의 펌프 구조는 제1 펌프 기구부(A)의 특정 펌프 구조로서 고려될 수 있다. 본 실시예에서 펌프 구조는 터보분자펌프 시스템의 배기 기능을 갖는 터보분자펌프 기구부(2)를 나사홈 펌프 시스템의 배기 기능을 갖는 나사홈펌프 기구부(3)와 통합한 혼합식 펌프 구조를 사용한다. 이 혼합식 펌프 구조에서, 터보분자펌프 기구부(2)는 고진공측, 즉, 펌프 케이스(1)의 상부의 가스 흡기구(5)에 배치된다. 나사홈 펌프기구(B)는 터보분자펌프 기구부(2)의 하부측에 배치된다.
터보분자펌프 기구부(2)에는 회전가능하게 설치된 원통형 회전자(200)의 외주에 복수의 가공된 회전자 블레이드(201) 및 고정자 블레이드(202)가 제공된다. 회전자(200)의 상단은 가스 흡기구(5)측으로 안내된다. 회전자 블레이드(201)와 고정자 블레이드(202)는 회전자(200)의 회전 중심축을 따라 교대로 배열되어 있다. 회전자 블레이드(201)는 회전자(200)와 일체로 처리되고 회전자(200)와 일체로 회전할 수 있다. 고정자 블레이드(202)는 스페이서(203)를 통해 펌프 케이스(1)의 내면에 고정되어 있다.
전술한 구조를 갖는 터보분자펌프 기구부(2)는 회전가능한 회전자블레이드(201)와 고정된 고정자 블레이드(202) 사이에 상호 작용을 이용하여 가스분자를 배출한다. 이 배기 동작은 고진공(진공도: 10-6Pa)을 유발할 수 있다.
나사홈펌프 기구부(3)는 회전가능하게 설치된 원통형 회전자(300)와 나사홈 스페이서(301)로 구성되어 있다. 이 나사홈펌프 기구부(3)의 회전자(300)는 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자(200)의 스커트부로서 회전자(200)의 하부와 일체로 제공되어 있다. 또한, 회전자(300)는 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자(200)의 동축에 형성되어 있다. 나사홈 스페이서(301)의 일방이 회전자(300)의 내측에 배열되고 타방이 회전자(300)의 외측에 배열되어 있다. 회전자(300)의 내측에 구비된 스페이서(301)와 회전자(300)의 외측에 구비된 나사홈 스페이서(301)는 나사홈(302)을 갖고 있다. 나사홈 스페이서(301)의 나사홈(302)은 회전자(300)를 향하는 측면에 형성되어 있다. 이 조합은 상대적이고, 나사홈(302)이 또한 회전자(200) 측에 형성되어도 좋다.
회전자 축(7)은 회전 중심축을 따라 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자(200)에 일체 고정 가압되어 있다. 이와 같이 회전자(200)가 회전자 축(7)에 연결되기 때문에, 회전자 축(7)과 회전자(200)의 외주면에 형성된 회전자 블레이드(201)는 일체로 구성되어 있다. 또한, 나사홈펌프 기구부(2)의 회전자(200)가 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자(200)와 일체로 구비되기 때문에, 회전자(300), 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자(200), 및 회전자 축(7)은 일체 구조를 형성한다.
따라서, 전술한 바와 같이 구성된 제1 펌프 기구부(A)의 경우, 회전자 축(7)이 회전 구동되는 경우, 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자(200), 회전자블레이드(201) 및 나사홈 펌프 기구부(3)의 회전자(300) 모두 동일 회전수로 동기적으로 회전한다.
각종 구조가 이 회전자 축(7)의 베어링 수단에 채택될 수 있다. 본 실시예의 구조에 따르면, 회전자 축(7)이 볼 베어링(8)으로 지지된다. 구동 모터(9)가 회전자 축(7)을 회전 구동한다. 이런 종류의 구동 모터(9)에 있어서, 모터 고정자(9a)에 대향하기 위해서 모터 고정자(9a)는 나사홈펌프 기구부(3)의 회전자(300)의 내측에 배열된 고정자 컬럼(10)에 부착되고 모터 회전자(9b)는 회전자 축(7)의 외주면에 제공되어 있다.
각종 형태의 펌프 구조가 제2 펌프 기구부(B)의 특정 펌프 구조로 고려될 수 있다. 본 실시예는 제2 펌프 기구부(B)로서 나선형 펌프 시스템의 배기 기능을 갖는 나선형 펌프 기구부(4)를 사용한다.
나선형 펌프 기구부(4)에는 상부 회전판(400)과 하부 회전판(400)으로 구성되는 한 쌍의 회전판(400) 사이에 설치된 나선형상 임펠러(401)(이하, "나선형 임펠러" 라 함)가 제공되어 있다. 이들 회전판(400)과 나선형 임펠러(401)로 구성되는 회전팬기구 본체는 제1 펌프 기구부(A)와 동일 회전 중심축을 공유한다. 이 회전팬기구 본체를 회전 구동하는 방법에 관해서, 회전팬기구 본체가 제1 펌프 기구부(A)의 회전자 축(7)에 독립적으로 회전 구동된다.
즉, 전술한 회전판(400)과 나선형 임펠러(401)로 구성되는 회전팬기구 본체는 제1 펌프 기구부(A)의 회전자 축(7)을 회전 구동하기 위해 구동 모터(9)와 독립적으로 장착된 구동 모터(11)의 회전자 축(11a)에 나사로 고정된다. 구동모터(11)는 회전팬기구 본체의 하부측에 배열되어 있다. 따라서, 전술한 회전팬기구 본체의 하부에 설치된 구동 모터(11)를 제어함으로써, 이런 구성을 갖는 나선형 펌프 기구부(4)는 제1 펌프 기구(A)에 독립적으로 펌프 회전수를 가변시킬 수 있다.
다음에, 전술한 진공펌프 구조의 사용과 동작의 실시예가 도 1을 참조로 설명된다. 도면에서, 화살표는 본 발명의 진공펌프에서 배기 가스의 흐름 방향을 지시한다.
도면에 도시한 진공펌프는, 예컨대 반도체 제조장치의 프로세스 챔버을 진공하기 위한 수단으로 사용될 수 잇다. 이 실시예의 경우에 있어서, 본 진공펌프의 펌프 케이스(1)의 가스 흡기구(5)는 프로세스 챔버측에 연결되어 있다.
이와 같이 연결된 진공펌프에 있어서, 작동시동 스위치(도시 생략)가 켜지면, 제1 펌프 기구부(A)측의 구동 모터(9) 및 제2 펌프 기구부(B)(나선형 펌프 기구부(4))측 구동모터(11)가 시동된다.
따라서, 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자 블레이드(201) 및 나사홈펌프 기구부(3)의 회전자(300) 및 나선형 펌프 기구부(4)의 나선형 임펠러(401)가 회전한다. 이 경우, 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자 블레이드(201) 및 나사홈펌프 기구부(3)의 회전자(300)가 회전자 축(7)과 일체로 구성되기 때문에, 회전자 블레이드(201) 및 회전자(300)는 이런 구조에 의해 회전자 축(7)과 동일한 회전수로 회전한다. 그러나, 나선형 임펠러(401)가 회전자 축(7)과 일체로 구성되지 않기 때문에, 나선형 임펠러(401)는 회전자 축(7)과 독립적으로 회전한다.
이 진공펌프의 동작 시작시, 진공펌프의 내측 및 프로세스 챔버의 내측은 대기압에 밀폐되는 점성 유동 영역이다. 여기서, 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자 블레이드(201)의 저항이 증가한다. 따라서, 제1 펌프 기구부(A)의 펌프 회전수(특히 회전자(200)의 회전수와 회전자(300)의 회전수)가 증가하지 않는다. 그러나, 이 때, 독립 구동 모터(구동 모터(11))를 포함하는 나선형펌프 기구부(4)에 의해 신속하게(3000 rpm - 5000 rpm), 격렬하게(50 Torr 이하) 회전한다.
이 경우에 있어서, 프로세스 챔버의 가스는 나선형 펌프의 흡입력에 의해 펌프 케이스(1)의 가스 흡기구(5)에서 펌프 케이스(1)로 흐르고 터보분자펌프 기구부(2)의 회전자 블레이드(201)와 고정자 블레이드(202) 사이 공간을 통과하며, 다음 하부 섹션인 나사홈펌프 기구부(3)로 유입한다. 이와 같이 나사홈 펌프 기구부(3)에 전달된 가스는 또 다음 하부 섹션인 나선형 펌프 기구부(4)의 측면으로 흡입된다. 이와 같이 나사형 펌프 기구부(4) 측에 흡입된 가스가 나선형 임펠러(401)의 회전에 의해 배기관(C)을 통해 펌프 케이스(1)의 가스 배기포트(6)측에 전달되고, 이것에 의해 가스가 펌프의 외측으로 배출되고, 대기압으로 변환된다.
이 진공펌프에서, 나선형펌프 기구부(4)가 전술한 바와 같이 시동시 신속하게 회전되고, 진공펌프의 진공도와 프로세스 챔버의 진공도가 신속하게 증가할 수 있다. 제1 펌프 기구부(A)의 펌프 회전수는 신속하게 증가될 수 있다. 또한, 터보분자펌프 기구부(2)에서, 회전하는 회전자 블레이드(201)와 고정된 고정자 블레이드(202) 사이의 상호 작용에 의해, 가스분자 흐름의 배기 동작은 효율적으로 실행된다.
즉, 터보분자펌프 기구부(2)에서, 신속하게 회전하는 최상 회전자 블레이드(201)는 가스 흡기구(5)에서 유입하는 가스 분자 군으로 하향 모멘트를 부여한다. 이 하향 모멘트에 의한 가스 분자는 고정자 블레이드(202)에 의해 다음 하부 회전자 블레이드(201)의 측면으로 전달되도록 안내된다. 이런 모멘트 부여를 반복함으로써, 가스 분자가 배기를 위해 가스 흡기구(5)에서 나사홈펌프 기구부(3)측을 향해 전달된다.
나사홈 펌프 기구부(3)에서, 회전하는 회전자(300)와 나사홈(302) 사이의 상호 작용에 의해, 나사홈펌프 기구부(3)로 전달되는 가스 분자가 중간 흐름에서 점성 흐름으로 변환되도록 압축된다. 그 다음 이와 같은 점성흐름 가스가 나선형 펌프 기구부(4)측으로 전달되고 나선형 임펠러(401)의 회전에 의해 배기관(C)을 통해 펌프 케이스(1)의 가스 배기 포트(6)측으로 전달된다. 가스 배기 포트(6)로 전달된 가스는 펌프의 외측으로 배출되어, 대기압으로 변환된다.
또한, 프로세스 챔버의 처리 압력은 이 진공펌프측에서 제어 가능하다.
즉, 이 진공펌프에서는, 각기 제1 펌프 기구부(A)의 구동 모터(9)와 제2 펌프 기구부(B)의 구동 모터(11)를 제어함으로써, 제1 펌프 기구부(A)의 펌프 회전수와 제2 펌프 기구부(B)(나선형 펌프 기구부(4))의 펌프 회전수는 서로 같게 될 수 있다. 그러나, 이들은 또한 다르게 될 수도 있다. 이것을 이용하여, 예를 들면, 펌프가 동작하는 동안에, 제2 펌프 기구부(B)의 펌프 회전수를 제1 펌프부(A)보다 작게 설정함으로써, 제2 펌프 기구부(B)의 가스 배기 속도가 감소하고 제1 펌프 기구부(A)의 배킹압(배기측(Aout)의 압력))이 증가한다. 따라서, 가스 흡기구(5)에서 제1 펌프 기구부(A)측으로의 가스 흡입의 효율이 증가하고 프로세스 챔버의 압력이 증가한다. 이러한 상태로, 제2 펌프 기구부(B)의 펌프 회전수가 증가될 때, 그 시간부터, 제2 펌프 기구부(B)의 가스 배기 속도는 증가하고 제1 펌프 기구부(B)의 배킹압은 감소한다. 따라서, 가스 흡기구(5)에서 제1 펌프 기구부(A)측으로의 가스 흡입의 효율이 향상되고 프로세스 챔버의 압력이 감소한다.
전술한 바와 같이, 제2 펌프 기구부(B)의 펌프 회전수를 변화시킴으로써, 본 실시예의 진공펌프는 제1 펌프 기구부(A)의 배킹압을 변화시킬 수 있고 이 배킹압을 이용하여 프로세스 챔버의 처리 압력을 제어할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시예의 진공펌프에서는, 배기관(C)의 통로에, 펌프 회전수를 변화시킬 수 있는 제2 펌프 기구부(B)로서의 나선형 펌프 기구부(4)가 제1 펌프 기구부(A)에 독립적으로 설치된다. 나선형 펌프 기구부(4)의 이러한 구조에 의하면, 나선형 펌프 기구부(4)의 펌프 회전수를 변화시킴으로써, 프로세스 챔버의 처리 압력이 제어될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진공펌프는 전도성 밸브를 사용하는 종래의 방법에 비해 높은 응답성으로 처리 압력을 제어할 수 있다. 또한, 질소 가스를 도입하는 종래의 시스템이 가스 배관 및 유속 제어장치를 필요로 하지만, 본 발명의 진공펌프는 이들을 필요로 하지 않는다. 또한, 본 발명의 진공펌프는 불필요한 가스를 소비하지 않는다. 그 결과, 장치 전체의 소형화와 단순 구성 및 운전 비용을 감소시킨다.
본 실시예의 진공펌프에 의하면, 터보분자펌프 기구부(2)가 고진공측에 배치되고 나선형펌프 기구부(4)가 대기측에 배치되며 나사홈 기구부(3)가 터보분자펌프 기구부(2)와 나선형펌프 기구부(4) 사이에 배치되므로, 대기에서 고진공(진공도: 10-6Pa)으로의 효율적인 진공이 본 발명의 하나의 진공펌프만으로 수행될 수 있다.
제1 펌프 기구부(A)는, 예를 들면, 터보분자펌프 기구부(2)와 나사홈펌프 기구부(3)를 포함하는 혼합식 펌프 구조 이외에, 터보분자펌프 기구부(2)만을 갖는 구조 또는 나사펌프를 사용하는 구조를 사용할 수 있다.
제2 펌프 기구부(B)는 전술한 나선형 펌프 기구부(4) 뿐만 아니라 나선형 펌프 기구부(4)와 동등한 배기 기능을 갖는 다른 펌프 기구를 사용할 수 있다.
전술한 실시예는 일단의 나선형 임펠러(401)의 예를 나타낸다. 도 3에 도시된 바와 같이, 나선형 임펠러(401)는 상부 임펠러 및 하부 임펠러를 포함하는 이단 나선형 임펠러로 구성될 수도 있다. 또한, 이것에 대해 다단 구조도 적용될 수 있다. 나선형 임펠러(401)가 복수단을 포함하는 구조를 사용할 때, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부측 나선형 임펠러(401a)와 하부측 나선형 임펠러(401b) 사이에 분할벽(402)이 제공된다. 또한, 상부측 나선형 임펠러(401a)에서 하부측 나선형 임펠러(401b)로 배기 가스를 도입하는 개구부(403)가 장벽(402)의 일부에 형성된다.
회전자 축(7)의 베어링 수단으로서 전술한 볼 베어링(8)외에, 예를 들면, 자기 베어링 등의 비접촉식 베어링이 적용될 수 있다.
본 발명에 의한 진공펌프에서는, 전술한 바와 같이, 배기관 통로에, 펌프 회전수를 변화시킬 수 있는 제2 펌프 기구부가 제1 펌프 기구부(A)에 독립적으로 설치된다. 제2 펌프 기구부의 이러한 구조에 의하면, 제2 펌프 기구부의 펌프 회전수를 변화시킴으로써, 프로세스 챔버의 처리 압력 등이 제어될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진공펌프는 컨덕턴스 밸브를 사용하는 종래의 방식보다 높은 응답성으로 처리 압력을 제어할 수 있다. 또한, 질소 가스를 도입하는 종래의 시스템이 가스 배관 및 유속 제어장치를 필요로 하지만, 본 발명의 진공펌프는 이들을 필요로 하지 않는다. 또한, 본 발명의 진공펌프는 불필요한 가스를 소비하지 않는다. 그 결과, 장치 전체의 소형화와 단순 구성 및 운전 비용을 감소시킨다.

Claims (7)

  1. 진공 용기측과 연결된 가스 흡기구,
    상기 가스 흡기구로부터 진공 용기에 가스를 흡입 및 배기하는 제1 펌프 기구부,
    상기 제1 펌프 기구부의 배기측과 통해 있는 가스 배기구, 및
    상기 제1 펌프 기구부의 배기측이 상기 가스 배기구와 통해 있는 배기관의 통로에 제공되어 상기 제1 펌프 기구부에 독립적으로 펌프 회전수를 변화시킬 수 있는 제2 펌프 기구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    진공 용기의 압력은 상기 제2 펌프 기구부의 펌프 회전수를 변화시킴으로써 제어되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 펌프 기구부는 나선형 펌프 기구부를 가지는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 나선형 펌프 기구부는 나선형 임펠러를 가지는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 나선형 펌프 기구부는 복수의 임펠러를 가지는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 나선형 펌프 기구부는 복수의 임펠러를 가지고, 나선형 임펠러들 사이에 장벽을 갖는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 펌프 기구부는 고진공측에 배치되는 터보분자펌프 기구부가 이 터보 분자 펌프 기구부의 하단부에 배치되는 나사홈펌프 기구부와 일체로 형성되는 혼합식 펌프 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
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