JP5328322B2

JP5328322B2 - 空冷式ドライ真空ポンプ

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Publication number: JP5328322B2
Application number: JP2008308040A
Authority: JP
Inventors: 信一関口; 智柏原; 恵弘新村
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2008-12-02
Filing date: 2008-12-02
Publication date: 2013-10-30
Anticipated expiration: 2028-12-02
Also published as: JP2010133289A

Description

本発明は、吸気口と排気口を有するケーシング内に２軸１組のロータを配置した容積移送式の空冷式ドライ真空ポンプに関するものである。

近年、大気圧から動作が可能で、クリーンな真空環境が容易に得られるドライ真空ポンプが、幅広い分野で使用されている。通常このような真空ポンプは、吸気側が締め切りに近い状態にて運転が行われるため、吸気口側と排気口側の差圧を維持する為に、動力を消費している。つまり、排気口側からポンプ内部に逆流する気体を排気し続けることにより、吸気口側の真空度を維持している。このため真空ポンプ運転の消費動力のほとんどは排気口側にて熱に変換される。真空ポンプの容量の大きさにもよるが、上記発熱に対して、従来はケーシングに水冷ジャケット等を設け、該水冷ジャケット内を通る水に熱を放熱する対策が採られていた。
特開平８−３１９９６７号

しかしながら、真空ポンプを水冷で冷却するには、冷却水を得るための冷却水設備が必要になり、使用者の負担が大きくなるばかりではなく、真空ポンプを使用する場所も制限され、任意の場所で容易に真空を得られないという問題がある。

本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、冷却水設備が必要なく、気体圧縮により発生する熱をケーシングの発熱量が最も多く高温となる部分から効率的に放熱し、小型で任意の場所で容易に真空を得ることができる空冷式ドライ真空ポンプを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため本発明は、吸気口と排気口を有するケーシングと、該ケーシング内に配置される２軸１組のロータを具備する容積移送式の空冷式ドライ真空ポンプであって、２軸１組のロータはスクリュー式であり、ケーシングは、内部に吸気口と排気口が連通し、２軸１組のロータが並設して回転自在に収容され、ロータの軸方向に直交する断面の両側が円弧状で、該２軸１組のロータの軸間の略中央部が位置する部分が凸状に形成されたロータ収容空間が形成された構成であり、２軸１組のロータの同期反転回転により吸気口から吸気された気体がロータとケーシングで囲まれた空間で圧縮されながら移送され排気口より排出されるようになっており、ケーシングのロータ収容空間が形成された部分の外表面でロータの気体移送下流端近傍から所定量上流側で且つ並設されたロータの並設面と対向する両面の所定範囲に冷却促進構造を設けたことを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、冷却促進構造は、放熱面を拡大するフィン構造であることを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、前記フィンがケーシングと一体であることを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、前記冷却促進構造は、熱を他の部材へ伝える伝熱部材であることを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、冷却促進構造を設けたケーシングの外表面の所定範囲は、ロータの少なくとも全スクリュー巻数の排気口側の略３分１の範囲であることを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバーのいずれかの側面に冷却ファンを取り付け、該冷却ファンで外装カバー内に外気を導入することを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバー内に生じる空気流れがロータ軸と直交する方向で且つ冷却促進構造に導かれるように、外装カバーに冷却ファン及び空気取り入れ口を設けたことを特徴とする。

また、本発明は、上記空冷式ドライ真空ポンプにおいて、ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバー内に生じる空気流れがロータの回転軸と並行する方向で且つ冷却促進構造に導かれるように、外装カバーに冷却ファン及び空気取り入れ口を設けたことを特徴とする。

本発明によれば、ケーシングのロータ収容空間が形成された部分の外表面でロータの気体移送下流端近傍から所定量上流側で且つ並設されたロータの並設面と対向する両面の所定範囲に冷却促進構造を設けた、この所定範囲はケーシング内で気体圧縮により発生する熱量が最も多く温度が高くなる部分であるから、ここに冷却促進構造を設けたことにより、真空ポンプの気体圧縮による発熱を効率よく放熱できる。例えば冷却促進構造を放熱面を拡大するフィン構造とすることにより、冷却は促進される。更にフィンをケーシングと一体とすることにより、フィンとケーシングの間での伝熱ロスを低減できるので、より効率のよい放熱が可能となる。

また、冷却促進構造は、熱を他の部材へ伝える伝熱部材であるので、例えば、使用環境やコスト等の問題により、ケーシング材に熱伝導性の高い材料を使用できない場合などに、ケーシングの発熱の多い部分から伝熱部材を介して他の部材に効率よく放熱することが可能となる。

また、真空ポンプの発熱量は真空ポンプの吐出し容積×圧力差で決まるから、冷却促進構造をロータの少なくとも全スクリュー巻数の排気口側の略３分の１の箇所に設置することにより、発熱量が大きい部分から、効率よく放熱することができる。

また、本発明によれば、ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバーのいずれかの側面に冷却ファンを取り付け、該冷却ファンで外装カバー内に外気を導入するので、冷却促進構造に積極的に空気流れを発生させることができ、冷却効率を更に向上させることが可能となる。

また、本発明によれば、ケーシングを外装カバーで覆うと共に、ケーシングに冷却促進構造を設け、冷却ファンを冷却促進構造の近傍に設置すると共に、冷却ファンにより生じる空気流れがロータ軸と直交するように、外装カバーの側面に前記冷却ファン及び空気取り入れ口を設けたので、冷却促進構造への空気流を多くすることができ、冷却効率が更に向上する。

また、本発明によれば、ケーシングを外装カバーで覆うと共に、冷却ファンを外装カバーの排気口側の側面に設け、冷却ファンにより生じる空気流れがロータの回転軸と略並行となるように外装カバーに冷却ファン及び空気取り入れ口を設けたので、冷却促進構造と空気との熱交換により熱せられた空気が比較的熱に弱いモータや軸受を加熱することなく、速やかに外気へ放出できる。また、外装カバー内に吸込まれた空気が冷却促進構造に到達する前に不要に加熱される心配もない。

以下、本願発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成を示す図で、図１（ａ）は平断面図、図１（ｂ）はＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）はＢ−Ｂ断面図、図１（ｄ）は（ｂ）のポンプケーシングと冷却促進構造を示す図である。図示するように、本空冷式ドライ真空ポンプは、ポンプ部Ｐとモータ部Ｍから構成されている。ポンプ部Ｐのケーシング３（ポンプケーシング）は、吸気口１と排気口２を備え、その内部には２軸１組のロータ（ポンプロータ）５が回転自在に収容されるロータ収容空間９が形成されている。該ロータ収容空間９の横断面は両側が円弧状でポンプロータ５の間に位置する部分に凸部１０が形成された形状である。また、ロータ収容空間９に配置された各ポンプロータ５は、その両端部を軸受７及び軸受８で回転自在に支承されている。

モータ部Ｍはポンプケーシング３の端部に取り付けたケーシング（モータケーシング）１１を備え、該ケーシング１１内にモータステータ１２が配置されている。該ステータ内には２本のモータロータ１３が回転自在に配置されたロータ収納空間１４が形成されている。各ポンプロータ５の軸端にはモータ部Ｍのモータロータ１３の端部が連結されている。モータ部Ｍは後に詳述するように、２軸が同期反転する２軸同期反転駆動モータを用いる。該２軸同期反転駆動モータを起動することにより、ポンプ部Ｐの２軸１組のポンプロータ５が同期反転駆動されるようになっている。

上記のようにポンプ部Ｐの２軸１組のポンプロータ５が同期反転することによって、ポンプロータ５とポンプケーシング３で囲まれた空間の気体を圧縮する。ポンプケーシングには、上記のように吸気口１と排気口２が設けられており、排気口が大気圧下にて吸気口を１０^-3〜１０Ｔｏｒｒに排気することができる。このように真空ポンプを吸気口１を締め切りに近い状態で運転すると、例えば、ねじ巻数が６巻のスクリュー式真空ポンプの場合、圧縮仕事は図２及び図３に示すようにその大部分を排気口２側からみて３巻程度までで行っている。

上記のようにスクリュー式真空ポンプでは、圧縮仕事はポンプロータ５の全体巻数の排気口側からみて略５０％の部分で大部分が行われ、圧縮仕事による発熱は、殆ど排気口に近いポンプロータ５で発生し、該発生した熱は、ポンプケーシング３より大気中に放熱される。しかしケーシング３の断面形状がポンプロータ５の外周方向で均一でないこと、ポンプケーシング３の内側と外側で温度分布を有することから、ポンプケーシング３の変形は一様とならない。特にポンプケーシング３のポンプロータ５、５の間に位置する部分の凸部１０は他の部分に比して温度が上昇しやすく熱により歪み変形が生じやすい。そこで発生する熱を効果的に大気中に排熱するため、ポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で、且つ排気口側の発熱量の多い部分に冷却促進構造４を設けた。

上記のように冷却促進構造４をポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で、且つ排気口側の発熱量の多い部分に設けたことにより、ポンプケーシング３の横断面のロータ収容空間９の両側の円弧部９ａ、９ａに比して温度が高くなりやすい凸部１０の冷却効率を上げることができるので、ポンプケーシング３の周方向での温度不均一を抑制でき、ポンプケーシング３の歪み変形によるクリアランス変化を防止できる。また、ポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で、最も温度が高くなる部分に冷却促進構造４を設置するので、高効率の放熱が可能となる。なお、冷却促進構造４は多数の放熱フィン４ａを具備する構成で、ここでは冷却促進構造４をポンプケーシング３と一体に設けている。また、放熱フィン４ａと放熱フィン４ａの間の間隙溝４ｂの方向をポンプロータ５の軸方向と直交する方向にしているが、この軸方向はポンプロータ５の軸方向と平行する方向に設けてもよい。

図４、図５、図６はそれぞれ冷却促進構造４の一例を示す図である。図４に示す冷却促進構造４は、放熱板４ｃに多数の放熱フィン４ａを設け、放熱フィン４ａと放熱フィン４ａの間に間隙溝４ｂを設けた構造である。この冷却促進構造４をポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で、且つ排気口側の発熱量の多い部分（図１参照）に取り付ける。また、間隙溝４ｂの方向はポンプロータ５の軸方向と直交する方向でも、該軸方向と平行する方向でもよい。

また、図５に示す冷却促進構造４は、内部に多数の空間４ｄを設けた構成であり、この多数の空間を設けた冷却促進構造４を上記のようにポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で、且つ排気口側の発熱量の多い部分（図１参照）に取り付ける。そして空間４ｄに積極的に空気を流すことにより、より優れた冷却効果を発揮させることができる。

また、図６に示す冷却促進構造４は、図５に示す冷却促進構造４の上面に多数の放熱フィン４’ａを設け、放熱フィン４’ａと放熱フィン４’ａの間に間隙溝４’ｂを設けた構造である。このような構造の冷却促進構造４を、ポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で、且つ排気口側の発熱量の多い部分（図１参照）に取り付ける。そして空間４ｄに積極的に空気を流すことにより、図５の冷却促進構造と同様の冷却効果が得られると共に、放熱フィン４’ａにより放熱面が更に拡大し、より優れた放熱効果が得られる。

図７は本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの平面構成例を示す図である。本空冷式ドライ真空ポンプは、図１に示す真空ポンプの外周全体を覆う大きさの外装カバー２０を備え、該外装カバー２０内部に、図１に示すポンプ部Ｐとモータ部Ｍからなる真空ポンプを収容配置した構成である。そして外装カバー２０のポンプ部Ｐ側で冷却促進構造４の近傍の側面に排気口２３を設け、該排気口２３内に冷却用ファン２１を取り付け、該排気口２３の反対側の側面に空気取り入れ口２２を設けている。冷却用ファン２１を運転することにより発生する空気の流れは、矢印Ｃに示すように、外部から空気取り入れ口２２を通って外装カバー２０内に流入し、冷却促進構造４の放熱フィン４ａや放熱フィン４ａと放熱フィン４ａの間の溝４ｂの方向に沿って流れ、冷却用ファン２１が取り付けられている排気口２３から外部に流出する。

上記のように冷却用ファン２１を運転することにより、発生する外気の流れはポンプ部Ｐのポンプロータ５の軸方向（図１参照）に対して直交するように流れ、冷却したい冷却促進構造４付近の空気流速を効果的に上げることができる。これにより冷却効率は向上する。なお、外装カバー２０内に流入した空気流が分散しないように、外装カバー２０内に冷却促進構造４の放熱フィン４ａと平行にガイド板２４を設けることにより、より冷却効率を向上させることができる。

図８は本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの平面構成例を示す図である。本空冷式ドライ真空ポンプは、図７に示す真空ポンプと同様、図１に示す真空ポンプの外周全体を覆う大きさの外装カバー３０を備え、該外装カバー３０の内部に、ポンプ部Ｐとモータ部Ｍからなる真空ポンプを収容配置した構成である。そして外装カバー３０のモータ部Ｍ側の側面に外部空気を取り入れる空気取り入れ口３２を設け、その反対側であるポンプ部Ｐ側の側面で、且つ冷却促進構造４近傍に排気口３３を設け、該排気口３３内に冷却用ファン３１を取り付けている。冷却用ファン３１を運転することにより発生する空気の流れは、矢印Ｄに示すように、外部から空気取り入れ口３２を通って外装カバー３０内に流入し、冷却促進構造４の放熱フィン４ａや放熱フィン４ａと放熱フィン４ａの間の溝４ｂの方向に沿って流れ、冷却用ファン３１が取り付けられている排気口３３から外部に流出する。

上記のように冷却用ファン３１を運転することにより、発生する外気の流れは外装カバー３０のモータ部Ｍの側面に設けた空気取り入れ口３２から該外装カバー３０内に流入し、温度の低いモータ部Ｍからポンプ部Ｐに流れ、ポンプケーシング３の表面を吸気口１側からポンプロータ５の軸端部側に流れ、更に冷却促進構造４を通って排気口３３から流出することになり、外装カバー３０内に流入した空気は温度の低い部分から高い部分へと流れることになる。このように温度の低い部分から温度の高い部分に冷却用空気が流れることにより、効率のよい放熱ができ、冷却効率を向上させることができる。更にモータ部Ｍにはモータ効率の高いＤＣモータ等を用いることにより、モータの排熱は少なくなるので、温度の低い方から外気を吸込み、発熱量の多いポンプケーシング３のポンプロータ５の排気側部を通って排気口３３から排出されるため、外装カバー３０内に流入した外気の加熱による悪影響を他の部分に与えることがない。

なお、冷却促進構造４の放熱フィン４ａや伝熱部材の材料として、アルミニウム及びその合金、黒鉛などがある。ポンプケーシング３やモータケーシング１１を上記材料で製作する場合は、放熱フィン４ａをポンプケーシング３と一体に形成するとよい。ケーシングの軽量化や加工性改善に伴うコスト安を目的に、各種樹脂材料（例えば、ポリアセタールＰＯＭ、ポリアミドＰＡ、ポリフェニレンスルフィドＰＰＳ等）、即ち熱伝導性の悪い材料を使用する場合は、伝熱部材を介して放熱フィンを設けたほうがよい。

図９は本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの平面構成を示す図で、図９（ａ）は平面図、図９（ｂ）はＥ−Ｅ断面図である。本空冷式ドライ真空ポンプではポンプケーシング３に熱伝導性の悪い材料を用いている。ポンプ部Ｐ及びモータ部Ｍの内部構成は、図１に示す空冷式ドライ真空ポンプと同一であるのでその説明は省略する。ポンプケーシング３のロータ収容空間９が形成されている部分で最も温度が高くなる部分（図１のドライ真空ポンプのケーシング３の冷却促進構造４を設置している部分）に熱伝導性の良い材料からなる伝熱部材４０を設け、該伝熱部材４０に多数の放熱フィン４１ａを有する放熱板４１を設けている。放熱フィン４１ａ及び放熱フィン４１ａと放熱フィン４１ａの間の溝４１ｂの方向は、ポンプロータ５の軸方向と平行である。

ポンプケーシング３が熱伝導率の悪い材料で構成された場合、ポンプケーシング３に直接放熱フィンを設けても放熱効率が悪い。そこで上記のようにポンプケーシング３の最も温度が高くなる部分に熱伝導性の良い材料からなる伝熱部材４０を取り付け、該伝熱部材４０に多数の放熱フィン４１ａを有する放熱板４１を取り付けることにより、最も温度が高くなる部分で発生した熱は、伝熱部材４０を通して放熱板４１に伝熱し、放熱板４１の本体表面や放熱フィン４１ａの表面から効率良く放熱される。

また、図９に示す構成の空冷式ドライ真空ポンプを図８に示すような、モータ部Ｍ側の側面に外部空気を取り入れる空気取り入れ口３２を設け、その反対側であるポンプ部Ｐ側の側面で、且つ冷却促進構造４近傍に排気口３３を設け、該排気口３３内に冷却用ファン３１を取り付けている外装カバー３０内に収容配置する。そして冷却用ファン３１を運転することにより発生する空気の流れは、放熱板４１の放熱フィン４１ａの表面に沿って流れるから放熱板４１に伝わった熱を効率よく放熱することができる。特に外装カバー３０内に流入した空気は、温度の低いモータ部Ｍを通って放熱板４１の温度の低いポンプ部Ｐの吸気口１側から温度の高い排気口２側に流れ、排気口３３から流出することになり、温度の低い部分から高い部分へと流れるから、効率のよい放熱ができ、冷却効率が向上する。

図１０は本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成を示す図で、図１０（ａ）は側断面図、図１０（ｂ）はＧ−Ｇ断面図である。本空冷式ドライ真空ポンプは、ポンプ部Ｐとモータ部Ｍから構成される図１と略同じ構成の２台の空冷式ドライ真空ポンプ１０１と１０２を伝熱部材４３にそれぞれ横置き、縦置きに取り付けた構成のものである。横置に取付けた空冷式ドライ真空ポンプ１０１のポンプ部Ｐの排気口２と縦置に取付けた空冷式ドライ真空ポンプ１０２のポンプ部Ｐの吸気口１を伝熱部材４３を設けた通路を介して接続して、両空冷式ドライ真空ポンプを直列に接続している。

図１１はポンプ部Ｐの２軸１組のポンプロータ５を同期反転させる２軸同期反転駆動モータ、即ちモータ部Ｍの一例構成例を示す図である。図示するように、２軸同期反転駆動モータは、同一の構成を有する一対のマグネットロータ（モータロータ）１３、１３を具備し、ブラシレスＤＣモータとして２軸１組のポンプロータ５、５を反転駆動すると共に、マグネットカップリングによりポンプロータ５、５の同期反転を確保している。図示するように、各マグネットロータ１３は、磁性材のヨーク１３ｂの外周にリング形状のマグネット１３ａを周設している。本実施形態例では、マグネットロータ１３の外周上には着磁したマグネット１３ａが周設され、互いのマグネットロータ１３、１３の異磁極が引き合うように対向して、且つクリアランスＦを保って配置されている。なお、マグネットロータ１３の極数は４、６、８、・・・などの偶数であり、ここでは６としている。

ポンプロータ５、５、マグネットロータ１３、１３のマグネットカップリング作用により、同期して反対方向に回転する。これにより、タイミングギヤが無くても安定した２軸同期反転が可能なスクリューポンプが構成される。また、タイミングギヤが無いことは、潤滑油が不要であると共に、２軸の安全な同期機構を含めた非接触回転が可能であり、スクリューポンプの高速運転が可能なことを意味している。即ち、タイミングギヤを用いた接触式の同期機構では、３０００〜７０００ｍｉｎ^-1の回転速度であるが６極のマグネットロータ１３、１３のマグネットカップリングを用いることにより、１００００〜３００００ｍｉｎ^-1の同期反転高速回転が安定してできるようになり、これにより真空ポンプを小型にしても、高い到達真空度等の排気性能の向上が達成できる。

各マグネットロータ１３の外周面の一部に近接して、鉄心１２ａと巻線１２ｂから成る三相（Ｕ，Ｖ，Ｗ）のモータステータ１２が配置されている。三相のモータステータ１２はマグネットロータ１３どうしがマグネットカップリングする側とは回転軸に関して反対側に配置されている。これにより、マグネットロータ１３どうしが互いに吸引するマグネットカップリング力をマグネットロータ１３とモータステータ鉄心１２ａに作用する吸引力でキャンセルすることができる。また、三相のモータステータ磁極は、マグネットロータ１３の磁極数６極に対応し、図１０の矢印Ｇ、Ｈに示すようにマグネットロータ１３の４極に磁界をかけるようにしている。三相の巻線１２ｂに所要の矩形パルス状波形の直流電流を供給することで、任意の回転数で２軸１組のポンプロータ５を同期反転駆動することができる。

以上、本発明の実施形態例を説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお、直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用効果を奏する以上、本願発明の技術範囲である。例えば、図７、図８に示す空冷式ドライ真空ポンプでは、外装カバー２０、３０内に収容配置される真空ポンプは図１に示す構成の真空ポンプとしたが、この真空ポンプに限定されるものではなく、吸気口と排気口を有するケーシングと、該ケーシング内に配置される２軸１組のロータを具備する容積移送式の空冷式ドライ真空ポンプであればよい。

本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成例を示す図であり、（ａ）は平断面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図、（ｃ）はＢ−Ｂ断面図、（ｄ）は（ｂ）のポンプケーシングと冷却促進構造を示す図である。スクリュー式真空ポンプのねじ巻数と吸気圧力（Ｐａ）の関係を示す図である。スクリュー式真空ポンプのねじ巻数と圧縮仕事の関係を示す図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの冷却促進構造例を示す図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの冷却促進構造例を示す図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの冷却促進構造例を示す図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成例を示す図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成例を示す図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＥ−Ｅ断面図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプの構成例を示す図であり、（ａ）は側断面図、（ｂ）はＧ−Ｇ断面図である。本発明に係る空冷式ドライ真空ポンプのポンプ駆動モータの構成例を示す図である。

符号の説明

１吸気口
２排気口
３ポンプケーシング
４冷却促進構造
４’ 冷却促進構造
５ポンプロータ
９ロータ収容空間
１０凸部
１１モータケーシング
１２モータステータ
１３マグネットロータ（モータロータ）
２０外装カバー
２１冷却用ファン
２２空気取り入れ口
２３排気口
２４ガイド板
３０外装カバー
３１冷却用ファン
３２空気取り入れ口
３３排気口
４０伝熱部材
４１放熱板
４３伝熱部材

Claims

吸気口と排気口を有するケーシングと、該ケーシング内に配置される２軸１組のロータを具備する容積移送式の空冷式ドライ真空ポンプであって、
前記２軸１組のロータはスクリュー式であり、
前記ケーシングは、内部に前記吸気口と排気口が連通し、前記２軸１組のロータが並設して回転自在に収容され、前記ロータの軸方向に直交する断面の両側が円弧状で、該２軸１組のロータの軸間の略中央部が位置する部分が凸状に形成されたロータ収容空間が形成された構成であり、
前記２軸１組のロータの同期反転回転により前記吸気口から吸気された気体が前記ロータとケーシングで囲まれた空間で圧縮されながら移送され前記排気口より排出されるようになっており、
前記ケーシングの前記ロータ収容空間が形成された部分の外表面で前記ロータの気体移送下流端近傍から所定量上流側で且つ前記並設されたロータの並設面と対向する両面の所定範囲に冷却促進構造を設けたことを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項１に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記冷却促進構造は、放熱面を拡大するフィン構造であることを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項２に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記フィンが前記ケーシングと一体であることを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項１に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記冷却促進構造は、熱を他の部材へ伝える伝熱部材であることを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項１に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記冷却促進構造を設けた前記ケーシングの外表面の所定範囲は、前記ロータの少なくとも全スクリュー巻数の排気口側の略３分１の範囲であることを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバーのいずれかの側面に冷却ファンを取り付け、該冷却ファンで前記外装カバー内に外気を導入することを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバー内に生じる空気流れが前記ロータ軸と直交する方向で且つ前記冷却促進構造に導かれるように、前記外装カバーに前記冷却ファン及び空気取り入れ口を設けたことを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の空冷式ドライ真空ポンプにおいて、
前記ケーシングを外装カバーで覆うと共に、該外装カバー内に生じる空気流れが前記ロータの回転軸と並行する方向で且つ前記冷却促進構造に導かれるように、前記外装カバーに前記冷却ファン及び空気取り入れ口を設けたことを特徴とする空冷式ドライ真空ポンプ。