JPH02301694A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- JPH02301694A JPH02301694A JP12155589A JP12155589A JPH02301694A JP H02301694 A JPH02301694 A JP H02301694A JP 12155589 A JP12155589 A JP 12155589A JP 12155589 A JP12155589 A JP 12155589A JP H02301694 A JPH02301694 A JP H02301694A
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- Japan
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- rotor
- vacuum pump
- contact
- casing
- lubrication layer
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- Pending
Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置などに用いられるドライ真空
ポンプのロータとケーシングの表面処理に関するつ 〔従来り技術〕 半導体製速製（ｔなどのように特殊な腐食性ガス（例え
１ＩＣ１４′、５ｉｃ１４）を用いる真空排気系用のド
ライ真空ポンプは、ポンプケーシング、ロータの腐食を
防止するためにガスの通路となるケーシング、ロータの
表面に耐食性を有する金属のコーティングが施されてお
り、それにより腐食な防止していた。
ポンプのロータとケーシングの表面処理に関するつ 〔従来り技術〕 半導体製速製（ｔなどのように特殊な腐食性ガス（例え
１ＩＣ１４′、５ｉｃ１４）を用いる真空排気系用のド
ライ真空ポンプは、ポンプケーシング、ロータの腐食を
防止するためにガスの通路となるケーシング、ロータの
表面に耐食性を有する金属のコーティングが施されてお
り、それにより腐食な防止していた。
上記従来技術はガスに対する耐食性については配慮され
ているが、微少な隙間を有して高速回転するロータ同志
、あるいはロータ、ケースが接触したときの摩擦の緩和
や、反応ガスによる生成物を吸い込んだときの生成物と
ロータ、ケースとの４擦の緩和については配慮がされて
いなかった。
ているが、微少な隙間を有して高速回転するロータ同志
、あるいはロータ、ケースが接触したときの摩擦の緩和
や、反応ガスによる生成物を吸い込んだときの生成物と
ロータ、ケースとの４擦の緩和については配慮がされて
いなかった。
そのためドライ真空ポンプは運転条件の急Ｉ！にな変化
によりロータ同志、ロータケース間の接触、あるいは生
成物のかみ込みによりひんばんに停止すＱなど安定的な
真空ポンプの運転に問題があった本発明は、信頼性のあ
る、安定した運転が可能なドライ真空ポンプを提供する
ことを目的とする〔課題を解決する九めの手段〕 上記目的を達成するために、耐食コーティングを施行し
たロータ及びロータを収納するケーシングにさらに固体
潤滑ノーを設けたものである。
によりロータ同志、ロータケース間の接触、あるいは生
成物のかみ込みによりひんばんに停止すＱなど安定的な
真空ポンプの運転に問題があった本発明は、信頼性のあ
る、安定した運転が可能なドライ真空ポンプを提供する
ことを目的とする〔課題を解決する九めの手段〕 上記目的を達成するために、耐食コーティングを施行し
たロータ及びロータを収納するケーシングにさらに固体
潤滑ノーを設けたものである。
急激な負荷の変化等によりロータ間の隙間がなくなりロ
ータ同志が接触し九とするとロータの表面層である固体
潤滑層同志が接触するため、摩擦力が格的に小ざくなリ
ロータ同志やロータケース関のかじりや焼つきが生じに
くくなる。また反応生成物が吸い込まれた場合にも潤滑
層と生成物がぶつかるので潤滑層をやわらかい材料で形
成しておけば潤滑ノーが削り取られ、隙間が大きくなる
ため、ロータ間に生成物をかみ込みにくくなり長時間に
わたり安定した運転を確保することができる〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を５＄１図、第２図および第８
図により説明する。第１図は本発明の一実施例を示し九
スクリュ一式ドライ真空ポンプの縦断面図、第２図はロ
ータケージングの断面図、第８図はコーティング部の拡
大断面図である。２はロータ、■はオスロータ２ａ１メ
スロータ２ｂを収納するケーシングで、ロータは吐出側
軸受３と吸込側軸受４により回転支持されている５、６
は軸封部である。８はギヤゲージングで、モードルｌＯ
の軸に直結された増速ギヤ９とａ−夕に直結されたタイ
ミングギヤ７より構成される増速機構を収納している。
ータ同志が接触し九とするとロータの表面層である固体
潤滑層同志が接触するため、摩擦力が格的に小ざくなリ
ロータ同志やロータケース関のかじりや焼つきが生じに
くくなる。また反応生成物が吸い込まれた場合にも潤滑
層と生成物がぶつかるので潤滑層をやわらかい材料で形
成しておけば潤滑ノーが削り取られ、隙間が大きくなる
ため、ロータ間に生成物をかみ込みにくくなり長時間に
わたり安定した運転を確保することができる〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を５＄１図、第２図および第８
図により説明する。第１図は本発明の一実施例を示し九
スクリュ一式ドライ真空ポンプの縦断面図、第２図はロ
ータケージングの断面図、第８図はコーティング部の拡
大断面図である。２はロータ、■はオスロータ２ａ１メ
スロータ２ｂを収納するケーシングで、ロータは吐出側
軸受３と吸込側軸受４により回転支持されている５、６
は軸封部である。８はギヤゲージングで、モードルｌＯ
の軸に直結された増速ギヤ９とａ−夕に直結されたタイ
ミングギヤ７より構成される増速機構を収納している。
ロータ表面およびロータを収納するケーシング内面には
第３図に示すよりにロータやケーシングの地肌１１の上
に耐食コーティング層１１ａおよび固体潤滑層１１ｂが
形成されている。モードルｌＯが駆動されると、増速ギ
ヤ９、タイミングギヤ７を介して第２図に示すようにオ
スロータ、メスロータが回転し、吸込口１ａより気体を
吸い込み吐出口１ｂより排気する。このときオスロータ
とメスロータ間、および各々のロータとケーシング間は
微少な数十ミクロンのすき間を確保しながらロータの回
転がなされる。真空ポンプ使用中に急激な負荷変化や使
用環境の変化などが発生レオスロータ、メスロータの接
触、あるいはケースとロータ間での接触があった場合、
第３図に示す表面の固体潤滑層が接触するため金属同志
の接触とはならないのでかじ抄や焼きつきを防止できる
。また反応生成物が吸い込まれた場合にも潤滑層と接触
するって摩擦力が小さくなるため真空ポンプの致命的な
損傷とはならない。
第３図に示すよりにロータやケーシングの地肌１１の上
に耐食コーティング層１１ａおよび固体潤滑層１１ｂが
形成されている。モードルｌＯが駆動されると、増速ギ
ヤ９、タイミングギヤ７を介して第２図に示すようにオ
スロータ、メスロータが回転し、吸込口１ａより気体を
吸い込み吐出口１ｂより排気する。このときオスロータ
とメスロータ間、および各々のロータとケーシング間は
微少な数十ミクロンのすき間を確保しながらロータの回
転がなされる。真空ポンプ使用中に急激な負荷変化や使
用環境の変化などが発生レオスロータ、メスロータの接
触、あるいはケースとロータ間での接触があった場合、
第３図に示す表面の固体潤滑層が接触するため金属同志
の接触とはならないのでかじ抄や焼きつきを防止できる
。また反応生成物が吸い込まれた場合にも潤滑層と接触
するって摩擦力が小さくなるため真空ポンプの致命的な
損傷とはならない。
以上のように本実施例によればドライ真空ポンプの致命
的な損傷を避けることができるので長時間の安定的な運
転を確保できる効果がある。
的な損傷を避けることができるので長時間の安定的な運
転を確保できる効果がある。
本発明によれば、ド２イ真空ポンプのロータ接触や、反
応生成物のかみ込みに対して安定した運転が可能な構造
を提供できるので、ドライ真空ポンプの信頼性を格段に
向上することができる。
応生成物のかみ込みに対して安定した運転が可能な構造
を提供できるので、ドライ真空ポンプの信頼性を格段に
向上することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すスクリュ一式ドライ真
空ポングの縦Ｆ！ｆｒ面図、第２図は第１図のＩｆ−Ｉ
１１１ｉ面図、第８図はロータ、ケーシング表面のコー
ティング部を拡大した断面図である。 ■・・・ケーシング ２・・・ロータ ８・・・吐
出側軸受 令・・・吸込間軸受 ８・・・ギヤケー
シング１０・・・モート＃ １１・・・ロータケー
シング地肌 、１１ ａ・・・耐大コーティング層
１１ｂ・・・固体潤滑層。 ず２１ ￥３図 １ｈ
空ポングの縦Ｆ！ｆｒ面図、第２図は第１図のＩｆ−Ｉ
１１１ｉ面図、第８図はロータ、ケーシング表面のコー
ティング部を拡大した断面図である。 ■・・・ケーシング ２・・・ロータ ８・・・吐
出側軸受 令・・・吸込間軸受 ８・・・ギヤケー
シング１０・・・モート＃ １１・・・ロータケー
シング地肌 、１１ ａ・・・耐大コーティング層
１１ｂ・・・固体潤滑層。 ず２１ ￥３図 １ｈ
Claims (1)
- ドライ真空ポンプのロータと、ロータを収納するケーシ
ング地肌の表面に耐食性を有するコーティング層を設け
、さらにその上に潤滑性のある固体潤滑剤のコーティン
グ層を設けたことを特徴とするドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12155589A JPH02301694A (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12155589A JPH02301694A (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02301694A true JPH02301694A (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=14814142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12155589A Pending JPH02301694A (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02301694A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5401149A (en) * | 1992-09-11 | 1995-03-28 | Hitachi, Ltd. | Package-type screw compressor having coated rotors |
| JPH1148241A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 成形機の樹脂材料供給装置 |
| US6572350B2 (en) * | 2000-06-30 | 2003-06-03 | Hitachi, Ltd. | Screw compressor |
| JP2010133289A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Ebara Corp | 空冷式ドライ真空ポンプ |
| CN105545747A (zh) * | 2014-10-27 | 2016-05-04 | 株式会社日立产机系统 | 压缩机和无油螺杆压缩机及其壳体的制造方法 |
| CN106640638A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-10 | 西安航天动力研究所 | 一种空间用爪型干式真空泵 |
| CN108980037A (zh) * | 2018-09-18 | 2018-12-11 | 深圳市泉天下泵业有限公司 | 一种干式爪型真空泵 |
-
1989
- 1989-05-17 JP JP12155589A patent/JPH02301694A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5401149A (en) * | 1992-09-11 | 1995-03-28 | Hitachi, Ltd. | Package-type screw compressor having coated rotors |
| US5613843A (en) * | 1992-09-11 | 1997-03-25 | Hitachi, Ltd. | Package-type screw compressor |
| JPH1148241A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 成形機の樹脂材料供給装置 |
| US6572350B2 (en) * | 2000-06-30 | 2003-06-03 | Hitachi, Ltd. | Screw compressor |
| US6679689B2 (en) * | 2000-06-30 | 2004-01-20 | Hitachi, Ltd. | Screw compressor |
| JP2010133289A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Ebara Corp | 空冷式ドライ真空ポンプ |
| CN105545747A (zh) * | 2014-10-27 | 2016-05-04 | 株式会社日立产机系统 | 压缩机和无油螺杆压缩机及其壳体的制造方法 |
| US10316841B2 (en) | 2014-10-27 | 2019-06-11 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. | Compressor, oil-free screw compressor, and method of manufacturing casing used therefor |
| CN106640638A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-10 | 西安航天动力研究所 | 一种空间用爪型干式真空泵 |
| CN108980037A (zh) * | 2018-09-18 | 2018-12-11 | 深圳市泉天下泵业有限公司 | 一种干式爪型真空泵 |
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