JPS62121887A - オイルフリ−式真空ポンプ - Google Patents
オイルフリ−式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS62121887A JPS62121887A JP26327885A JP26327885A JPS62121887A JP S62121887 A JPS62121887 A JP S62121887A JP 26327885 A JP26327885 A JP 26327885A JP 26327885 A JP26327885 A JP 26327885A JP S62121887 A JPS62121887 A JP S62121887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- oil
- ceramics
- scroll
- free vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C1/00—Rotary-piston machines or engines
- F01C1/08—Rotary-piston machines or engines of intermeshing engagement type, i.e. with engagement of co- operating members similar to that of toothed gearing
- F01C1/082—Details specially related to intermeshing engagement type machines or engines
- F01C1/084—Toothed wheels
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、オイルフリー式真空ポンプの改良に係り、特
に、腐食性気体や、異物粒子が混在する気体を吸引する
場合においても耐食性および耐摩耗性が求められる真空
ポンプに関するものである。
に、腐食性気体や、異物粒子が混在する気体を吸引する
場合においても耐食性および耐摩耗性が求められる真空
ポンプに関するものである。
（従来技術）
従来半導体製造装置に使用されている粗引用真空ポンプ
には、油回転ポンプ、メカニカルブースタポンプ等が用
いられているが、半導体製造過程で発生する腐食性ガス
及び固形粒子に対する耐性が充分でなく、また油の逆拡
散による半導体製造における歩留り低下などの問題があ
った。またクリーンな真空が得られる事に特徴を持つ容
積型のスクロールポンプでは、従来スクロール部材に金
属を用いており、旋回部の運動に伴う遠心力が多大であ
る事、またこの遠心力を軽減するために軽合金（例えば
アルミ合金）を利用すると腐食性ガスに対する耐性の無
いこと、などの問題点があった。またスクロールラップ
形状を得るための金属切削工程は多大の時間を必要とし
、また寸法精度も厳密さが要求されるため、低価格で製
作するのが困難であった。
には、油回転ポンプ、メカニカルブースタポンプ等が用
いられているが、半導体製造過程で発生する腐食性ガス
及び固形粒子に対する耐性が充分でなく、また油の逆拡
散による半導体製造における歩留り低下などの問題があ
った。またクリーンな真空が得られる事に特徴を持つ容
積型のスクロールポンプでは、従来スクロール部材に金
属を用いており、旋回部の運動に伴う遠心力が多大であ
る事、またこの遠心力を軽減するために軽合金（例えば
アルミ合金）を利用すると腐食性ガスに対する耐性の無
いこと、などの問題点があった。またスクロールラップ
形状を得るための金属切削工程は多大の時間を必要とし
、また寸法精度も厳密さが要求されるため、低価格で製
作するのが困難であった。
（解決しようとする問題点）
本発明は、無潤滑で、腐食性ガスに耐性を有し、耐摩耗
性も良好、しかもクリーンな真空を得ることのできる真
空ポンプを安価に提供するものであるＯ （問題点を解決するための手段および作用）この発明に
おいては、オイルフリー式真空ポンプの、吸引する気体
と接触する部分、すなわちスクロールポンプにおいては
固定スクロールおよび旋回スクロール、ルーツ式真空ポ
ンプではローター羽根、油回転ポンプではケーシングと
ローターなどに、ポリイミド樹脂にセラミックスを混合
分散させて加熱成形した特殊樹脂ｔたは更にふっ素樹脂
を加えて加熱成形した特殊樹脂を使用する。
性も良好、しかもクリーンな真空を得ることのできる真
空ポンプを安価に提供するものであるＯ （問題点を解決するための手段および作用）この発明に
おいては、オイルフリー式真空ポンプの、吸引する気体
と接触する部分、すなわちスクロールポンプにおいては
固定スクロールおよび旋回スクロール、ルーツ式真空ポ
ンプではローター羽根、油回転ポンプではケーシングと
ローターなどに、ポリイミド樹脂にセラミックスを混合
分散させて加熱成形した特殊樹脂ｔたは更にふっ素樹脂
を加えて加熱成形した特殊樹脂を使用する。
ポリイミド樹脂にセラミックスを混合分散させ加熱成形
する特殊樹脂成形体は他の自己潤滑性材料、例えばフッ
素樹脂に比べ非常に硬質な表面を有し、このため高い摺
動面正に無潤滑で耐えることができる。またこの成形体
は高温耐性も良好であり約３００℃での使用も可能であ
る。ここに使用するセラミックスとしては、高耐摩耗性
材料として知られる炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタ
ン、アルミナ等が適用でき、その形状は、粒子状又は繊
維状のいずれでも良い。またこのポリイミド樹脂にセラ
ミックスを混入する特殊樹脂中に四フッ化エチレン樹脂
等のフッ素樹脂を混入分散することにより、その成形体
の自己潤滑性はさらに改良される。
する特殊樹脂成形体は他の自己潤滑性材料、例えばフッ
素樹脂に比べ非常に硬質な表面を有し、このため高い摺
動面正に無潤滑で耐えることができる。またこの成形体
は高温耐性も良好であり約３００℃での使用も可能であ
る。ここに使用するセラミックスとしては、高耐摩耗性
材料として知られる炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタ
ン、アルミナ等が適用でき、その形状は、粒子状又は繊
維状のいずれでも良い。またこのポリイミド樹脂にセラ
ミックスを混入する特殊樹脂中に四フッ化エチレン樹脂
等のフッ素樹脂を混入分散することにより、その成形体
の自己潤滑性はさらに改良される。
この様にして成形された特殊樹脂成形体は半導体製造時
に発生する腐食性ガスに対し強い耐性を示し、またエツ
チング時に発生するシリコン粒子に対しても耐摩耗性が
良好であり、なおかつ無潤滑で運転可能であるため、ク
リーンな真空を供給することが可能である。
に発生する腐食性ガスに対し強い耐性を示し、またエツ
チング時に発生するシリコン粒子に対しても耐摩耗性が
良好であり、なおかつ無潤滑で運転可能であるため、ク
リーンな真空を供給することが可能である。
（実施例）
スクロール形真空ポンプに適用した一実施例について第
１図を用いて説明する。
１図を用いて説明する。
端板１ａと、内外側面はインボリュートまたはそれに近
似した曲線に形成され、端板１ａに直立しているラップ
ｌｂからなる固定スクロール１は、ポリイミド樹脂中に
セラミックスを混合分散させて加熱成形した特殊樹脂製
であり、フレーム５と向かい合わせ、端板１ａの外周部
で図示しない数本のボルトにより結合されている。
似した曲線に形成され、端板１ａに直立しているラップ
ｌｂからなる固定スクロール１は、ポリイミド樹脂中に
セラミックスを混合分散させて加熱成形した特殊樹脂製
であり、フレーム５と向かい合わせ、端板１ａの外周部
で図示しない数本のボルトにより結合されている。
固定スクロールとほぼ同様、端板２ａとラップ２ｂから
なる旋回スクロール２も、前述同様の特殊樹脂製で、ラ
ップ２ｂの高さと厚さはラップ１ｂとほぼ同じでほぼ一
様に仕上げられており、両ラップが組み合うようにして
フレーム５内に納められている。
なる旋回スクロール２も、前述同様の特殊樹脂製で、ラ
ップ２ｂの高さと厚さはラップ１ｂとほぼ同じでほぼ一
様に仕上げられており、両ラップが組み合うようにして
フレーム５内に納められている。
固定スクロール１の端板１ａの中心には排出ポート３が
設けられ、外周には別の吸入ポート４が設けられている
。
設けられ、外周には別の吸入ポート４が設けられている
。
旋回スクロール２の背面にはスクロールピン２Ｃが突設
されており、２個の軸受け７．８によってフレーム５に
支持されているクランク軸の頭部に設けられたボス穴１
０にはめ込まれている。ボス穴１０はクランク軸６の軸
心から偏心εした位置にその軸心があり、二一ドルベベ
アリング１１を介してスクロールビン２ｃを支持してい
る。クランク軸６にはバランスウエート９が設けられて
いる。
されており、２個の軸受け７．８によってフレーム５に
支持されているクランク軸の頭部に設けられたボス穴１
０にはめ込まれている。ボス穴１０はクランク軸６の軸
心から偏心εした位置にその軸心があり、二一ドルベベ
アリング１１を介してスクロールビン２ｃを支持してい
る。クランク軸６にはバランスウエート９が設けられて
いる。
リング状に形成した自転阻止材１２は、旋回スクロール
２の端板２ａとフレーム５との間に設けられており、端
板２ａに対向する面およびフレーム５と対向する面には
、それぞれ、図示しない直線溝をもっている。
２の端板２ａとフレーム５との間に設けられており、端
板２ａに対向する面およびフレーム５と対向する面には
、それぞれ、図示しない直線溝をもっている。
これらの直線溝はそれぞれ直交しており、それぞれ、端
板２ａに対向する側には図示しないオルダムキーが、ま
友フレーム５と対向する側にはオルダムキー１３がはめ
込まれている。
板２ａに対向する側には図示しないオルダムキーが、ま
友フレーム５と対向する側にはオルダムキー１３がはめ
込まれている。
クランク軸６がフレーム５を貫通する部分に設るＯ
ｑノ
フレーム５を貫通して外出したクランク軸は、図示しな
い原動機と結合される。
い原動機と結合される。
前述実施例のように固定または旋回スクロール全体を前
述特殊樹脂製とする以外に、他の実施例として、第２Ａ
図のように相手方スクロールと対向する端板の部分１ｂ
ｌやラップ１ａだけを前述特殊樹脂製とすることや、ラ
ップおよび端板の、相手方ヌクロールと対向する面１ａ
ｌ、ｌｂｌを前述特殊樹脂製とすることなどができる。
述特殊樹脂製とする以外に、他の実施例として、第２Ａ
図のように相手方スクロールと対向する端板の部分１ｂ
ｌやラップ１ａだけを前述特殊樹脂製とすることや、ラ
ップおよび端板の、相手方ヌクロールと対向する面１ａ
ｌ、ｌｂｌを前述特殊樹脂製とすることなどができる。
スクロールラップ部は高精度で製作する必要があるうえ
、形状が複雑であるため金属加工に多大の時間を要する
ものである０しかし、前述の特殊樹脂成形体を使用すれ
ば、この特殊樹脂成形体の持つ優れた耐摩耗、耐摩擦性
により、スクロールラップ同志が当初接触摺動しても、
なじみ効果により運転が可能であるため、金属を加工成
形する場合よりも寸法精度をやや荒くすることが可能と
なる。また、樹脂加工特有のインジェクション成形が可
能となり、製作工程の大巾な低減を図ることが可能とな
る。更にまた、旋回スクロールの軽量化が計れ、旋回運
動に伴なう遠心力を軽減することができるので、特に軸
受部の長寿命化にもなるＯ 更に他の実施例として第３図に示すようなルーツ式真空
ポンプ２１のローター羽根２２．２３を前述特殊樹脂成
形体とすることができる。
、形状が複雑であるため金属加工に多大の時間を要する
ものである０しかし、前述の特殊樹脂成形体を使用すれ
ば、この特殊樹脂成形体の持つ優れた耐摩耗、耐摩擦性
により、スクロールラップ同志が当初接触摺動しても、
なじみ効果により運転が可能であるため、金属を加工成
形する場合よりも寸法精度をやや荒くすることが可能と
なる。また、樹脂加工特有のインジェクション成形が可
能となり、製作工程の大巾な低減を図ることが可能とな
る。更にまた、旋回スクロールの軽量化が計れ、旋回運
動に伴なう遠心力を軽減することができるので、特に軸
受部の長寿命化にもなるＯ 更に他の実施例として第３図に示すようなルーツ式真空
ポンプ２１のローター羽根２２．２３を前述特殊樹脂成
形体とすることができる。
この場合、ローター羽根２２．２８間のクリアランスを
精密に限定する事なく性能の向上が可能となる。これも
通常の場合ローター羽根間のクリアランスは非接触構造
をとらなければならないのに対し、この成形体の特徴で
ある優れた耐摩耗、耐摩擦性のため、摺動に近い状態ま
で、ローター間隙をつめることが可能となるからである
。
精密に限定する事なく性能の向上が可能となる。これも
通常の場合ローター羽根間のクリアランスは非接触構造
をとらなければならないのに対し、この成形体の特徴で
ある優れた耐摩耗、耐摩擦性のため、摺動に近い状態ま
で、ローター間隙をつめることが可能となるからである
。
更に他の実施例として、特に図示はしないが油回転ポン
プのケーシングやローターなどにこの発明を実施するこ
とができる。
プのケーシングやローターなどにこの発明を実施するこ
とができる。
（効 果）
以上の通り、この発明によれば、無潤滑で、腐食性ガス
に耐性を有し、耐摩耗性も良好な真空ポンプを安価に提
供できる。
に耐性を有し、耐摩耗性も良好な真空ポンプを安価に提
供できる。
更に、製作の容易化、軽量化をはかることができるなど
の副次的な効果もある。
の副次的な効果もある。
図面はこの発明の実施例を示すものであり、第１図、第
２図および第３図とも断面図である。 図面において、１は固定スクロール、２は旋回スクロー
ル、２２．２８はローター羽根である。
２図および第３図とも断面図である。 図面において、１は固定スクロール、２は旋回スクロー
ル、２２．２８はローター羽根である。
Claims (3)
- （１）吸引する気体が接触する部分に、ポリイミド樹脂
中にセラミックスを混合分散させて加熱成形した特殊樹
脂部材を用いてなる、オイルフリー式真空ポンプ。 - （２）前記特殊樹脂部材はポリイミド樹脂、セラミック
ス及びふっ素系樹脂でなる特許請求の範囲第１項記載の
オイルフリー式真空ポンプ。 - （３）前記オイルフリー式真空ポンプはスクロール形真
空ポンプである特許請求の範囲第１項および第２項記載
のオイルフリー式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26327885A JPS62121887A (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 | オイルフリ−式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26327885A JPS62121887A (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 | オイルフリ−式真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62121887A true JPS62121887A (ja) | 1987-06-03 |
Family
ID=17387241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26327885A Pending JPS62121887A (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 | オイルフリ−式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62121887A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005057618A1 (de) * | 2005-12-02 | 2007-06-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe |
| WO2007088103A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolben-vakuumpumpe |
| US9366254B2 (en) | 2011-03-14 | 2016-06-14 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vehicular scroll compressor having housing arrangements for improved vibration isolation |
| GB2564381A (en) * | 2017-06-12 | 2019-01-16 | Edwards Ltd | Twin shaft pumps and a method of pumping |
-
1985
- 1985-11-22 JP JP26327885A patent/JPS62121887A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005057618A1 (de) * | 2005-12-02 | 2007-06-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe |
| WO2007088103A1 (de) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolben-vakuumpumpe |
| US9366254B2 (en) | 2011-03-14 | 2016-06-14 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vehicular scroll compressor having housing arrangements for improved vibration isolation |
| GB2564381A (en) * | 2017-06-12 | 2019-01-16 | Edwards Ltd | Twin shaft pumps and a method of pumping |
| GB2564381B (en) * | 2017-06-12 | 2020-07-01 | Edwards Ltd | Twin shaft pumps and a method of pumping |
| US11401935B2 (en) | 2017-06-12 | 2022-08-02 | Edwards Limited | Twin shaft pumps and a method of pumping |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1081190A (en) | Rotary fluid pump or compressor | |
| US4734020A (en) | Scroll type compressor with spiral oil feeding grooves in thrust bearing | |
| US4362480A (en) | Rotary roller vane pump made of specific materials | |
| WO1998017895A1 (en) | Scroll fluid displacement apparatus with improved sealing means | |
| JP4514493B2 (ja) | スクロール型流体機械 | |
| JPH01271680A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
| JPH02233892A (ja) | スクロール流体機械 | |
| JPH0549831B2 (ja) | ||
| JPS6358273B2 (ja) | ||
| JPS62121887A (ja) | オイルフリ−式真空ポンプ | |
| EP0697522A1 (en) | Scroll compressor | |
| JPS61197794A (ja) | 容積形オイルフリ−式ガス圧送ポンプ | |
| JPS61197782A (ja) | スクロ−ル形流体機械 | |
| JPH02277985A (ja) | スクロール形流体機械 | |
| US6544014B2 (en) | Scroll-type compressors | |
| JPS63105293A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| US6213742B1 (en) | Scroll-type fluid mover having an eccentric shaft radially aligned with a volute portion | |
| US20050207926A1 (en) | Scroll compressor | |
| JPH0544401A (ja) | スクロール流体機械 | |
| JPH033988A (ja) | 冷凍空調用スクロールコンプレッサ | |
| JP7010202B2 (ja) | 流体機械 | |
| JP2001342979A (ja) | スクロール型圧縮機およびそのスクロール部材の製造方法 | |
| JP4032694B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPH04330392A (ja) | スクロールコンプレッサ | |
| JPH0633780B2 (ja) | スクロールコンプレッサ |