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Die Erfindung betrifft eine Vakuumvorrichtung zum Erzeugen eines Unterdrucks, insbesondere zur Verwendung mit einem Elektronenmikroskop.
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Bei Elektronenmikroskopen wird die Probenkammer für die Untersuchung evakuiert. Dazu ist in der Regel eine Turbopumpe vorgesehen, welche Bestandteil des Elektronenmikroskops und in diese integriert ist. Die Turbopumpen sind jedoch meist nicht in der Lage, direkt in die Atmosphäre hinein abzupumpen. Daher ist es bekannt, der Turbopumpe nachgeschaltet eine Vorvakuumpumpe anzuordnen, welche diese Restgasmengen abfördert. Diese Vorpumpen werden extern an das Elektronenmikroskop angeschlossen. Im Betrieb störend ist, dass die zusätzlichen Vorpumpen zusätzliche Geräusche erzeugen und einen zusätzlichen Energiebedarf aufweisen.
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Im Hinblick auf diese Problematik ist es Aufgabe der Erfindung, eine Vakuumvorrichtung bereitzustellen, welche es ermöglicht, den Pumpenvorgang mit minimiertem Energieaufwand und minimiertem Geräuschpegel ablaufen zu lassen, insbesondere zur Verwendung mit einem Elektronenmikroskop.
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Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vakuumvorrichtung mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen, der nachfolgenden Beschreibung sowie den beigefügten Figuren.
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Die erfindungsgemäße Vakuumvorrichtung dient als Absaugvorrichtung, um in einer angeschlossenen Anlage einen Unterdruck bzw. ein Vakuum zu erzeugen und aus dieser angeschlossenen Anlage Gas abzusaugen. Die Verbindung mit dem externen Bauteil bzw. einer externen Anlage erfolgt über einen Unterdruckanschluss, welcher an der Vakuumvorrichtung vorgesehen ist. Die erfindungsgemäße Vakuumvorrichtung ist als eine autarke Baugruppe ausgebildet, welche über den Unterdruckanschluss mit einer externen Anlage, beispielsweise einem Elektronenmikroskop, aus welchem Gas abgefördert werden soll, verbunden werden kann. Die Ausbildung als autarke Baugruppe hat den Vorteil, dass die Anlage unabhängig von dem Elektronenmikroskop bereitgestellt und auf einfache Weise mit diesem verbunden werden kann, um herkömmliche Vorvakuumpumpen zu ersetzen. Einen Eingriff in die Steuerung des Elektronenmikroskops ist nicht notwendig, da die autarke Baugruppe alle zum Erzeugen des Unterdrucks an dem Unterdruckanschluss erforderlichen Komponenten, gegebenenfalls Ventile, Sensoren und eine geeignete Steuereinrichtung enthält.
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Zum Erzeugen des Unterdrucks weist die Vakuumvorrichtung zum einen eine Vakuumpumpe und zum anderen einen Unterdruckbehälter auf. Die Vakuumpumpe ist mit dem Unterdruckbehälter verbunden, um diesen evakuieren zu können und in dem Unterdruckbehälter einen Unterdruck relativ zum Umgebungsdruck erzeugen zu können. Der Unterdruckanschluss zum Verbinden mit einer externen Anlage steht in Verbindung mit dem Unterdruckbehälter, sodass durch den Unterdruck im Unterdruckbehälter an dem Unterdruckanschluss ein erforderlicher Sog bzw. Unterdruck bereitgestellt werden kann. Dies ermöglicht es, auch ohne Dauerbetrieb der Vakuumpumpe am Unterdruckanschluss den gewünschten Unterdruck bereitzustellen. So muss die Vakuumpumpe nicht kontinuierlich laufen, vielmehr kann die Vakuumpumpe immer nur für vergleichsweise kurze Betriebszeiten in Betrieb genommen werden, um in dem Unterdruckbehälter einen Unterdruck zu erzeugen. In den Zeiten, in den die Vakuumpumpe nicht läuft, stellt dann der evakuierte Unterdruckbehälter an dem Unterdruckanschluss den gewünschten Sog bereit. Erst wenn der Unterdruck in dem Unterdruckbehälter unter eine bestimmte Grenze fällt, d. h. der Druck in dem Behälter über einen vorbestimmten Druckwert ansteigt, wird die Vakuumpumpe dann wieder in Betrieb genommen. Dadurch, dass die Vakuumpumpe nicht dauerhaft laufen muss, wird zum einen der Energieverbrauch reduziert und zum anderen der Lärmpegel reduziert, da die Anlage auch bei ausgeschalteter Vakuumpumpe dann nahezu geräuschlos betrieben werden kann. Zur Steuerung weist die Vakuumvorrichtung als Bestandteil der autarken Baugruppe eine Steuereinrichtung auf, welche zur Steuerung der Vakuumpumpe ausgebildet ist. Insbesondere ist die Steuereinrichtung so ausgebildet, dass sie die Vakuumpumpe so ein- und ausschaltet, dass stets ein gewünschtes Unterdruckniveau in dem Unterdruckbehälter gehalten werden kann. Dazu kann im Inneren des Unterdruckbehälters oder mit dem Innenraum des Unterdruckbehälters verbunden ein Drucksensor vorgesehen sein, welcher den Druck im Inneren überwacht. Der Drucksensor kann z. B. in Form einer an den Unterdruckbehälter angesetzten Messröhre ausgebildet sein. Der Drucksensor ist mit der Steuereinrichtung in geeigneter Weise verbunden und die Steuereinrichtung so ausgestaltet, dass sie in Abhängigkeit eines von dem Drucksensor erfassten Sensorsignals die Vakuumpumpe ein- und ausschaltet, um das gewünschte Unterdruckniveau im Inneren des Unterdruckbehälters zu halten.
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Bevorzugt weist die Vakuumvorrichtung zumindest ein Ventil auf und die Steuereinrichtung ist zur Steuerung dieses zumindest einen Ventils ausgebildet. Bei diesem Ventil kann es sich beispielsweise um ein Absperrventil handeln, welches durch Betätigung der Steuereinrichtung geöffnet und geschlossen wird. Insbesondere kann es sich um ein Absperrventil handeln, welches den Unterdruckbehälter verschließt und öffnet, insbesondere in einem Strömungsweg, welcher von dem Unterdruckbehälter zu dem Unterdruckanschluss führt. Alternativ oder zusätzlich kann ein entsprechendes Ventil in einem Strömungsweg zwischen Unterdruckbehälter und Vakuumpumpe angeordnet sein. Ferner kann ein Ventil zum Belüften der Vakuumpumpe vorgesehen sein, wenn diese nicht läuft.
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Wie ausgeführt, ist die Vakuumvorrichtung besonders bevorzugt zur Verwendung mit einem Elektronenmikroskop ausgebildet. Dazu ist die Vakuumvorrichtung so ausgebildet, dass sie als autarke Baugruppe an ein Elektronenmikroskop angeschlossen werden kann, um dort eine herkömmliche Pumpe zum Abführen von Restgasmengen zu ersetzen. Die Vakuumvorrichtung wird dabei von ihrer eigenen Steuereinrichtung gesteuert.
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Dazu ist die Vakuumvorrichtung weiter bevorzugt so ausgestaltet, dass sie mit ihrem Unterdruckanschluss in der Weise mit einem Elektronenmikroskop verbindbar ist, dass die Vakuumvorrichtung einer Turbopumpe des Elektronenmikroskops nachgeschaltet ist. So führt die Vakuumvorrichtung dann die Restgasmengen ab, welche von der Turbopumpe herausgeführt werden.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist in einem Strömungsweg zwischen dem Unterdruckbehälter und der Vakuumpumpe zumindest ein erstes Absperrventil angeordnet, welches von der Steuereinrichtung betätigbar ist, d. h. von der Steuereinrichtung geöffnet und geschlossen werden kann. So kann der Strömungsweg nach Erzeugen des Unterdrucks in dem Unterdruckbehälter verschlossen werden.
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Der Unterdruckanschluss ist vorzugsweise an den Strömungsweg zwischen dem ersten Absperrventil und der Vakuumpumpe angeschlossen. Der Unterdruckanschluss kann dabei direkt an dem Strömungsweg angeordnet sein oder mit dem Strömungsweg mittels einer von dem Strömungsweg abzweigenden Leitung verbunden sein. Bei dieser Anordnung dient das erste Absperrventil dazu, das Innere des Unterdruckbehälters mit dem Unterdruckanschluss zu verbinden oder von diesem zu trennen, je nachdem ob das Absperrventil geöffnet oder geschlossen ist. So kann die Absaugfunktion, welche von dem Unterdruckbehälter erzeugt wird, durch Betätigung des Absperrventils ein- und ausgeschaltet werden.
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In dem Strömungsweg zwischen dem Unterdruckbehälter und der Vakuumpumpe ist bevorzugt zwischen dem Unterdruckanschluss und der Vakuumpumpe ein zweites Absperrventil angeordnet, welches von der Steuereinrichtung betätigbar ist. So ist der Unterdruckanschluss vorzugsweise in einem Abschnitt des Strömungsweges zwischen dem ersten und dem zweiten Absperrventil gelegen bzw. zweigt von diesem Abschnitt ab. Durch Betätigung der Absperrventile ist es möglich, den Unterdruckanschluss wahlweise mit der Vakuumpumpe oder mit dem Unterdruckbehälter in Strömungsverbindung zu bringen. Durch gleichzeitiges Öffnen beider Absperrventile kann der Unterdruckanschluss auch mit dem Unterdruckbehälter und der Vakuumpumpe gleichzeitig in Verbindung gebracht werden. Es könnte auch lediglich das zweite Absperrventil zwischen dem Unterdruckanschluss und der Vakuumpumpe vorgesehen sein und auf das erste Absperrventil zwischen dem Unterdruckanschluss und dem Vakuumbehälter verzichtet werden. Bei dieser Anordnung wäre der Unterdruckanschluss dann stets mit dem Unterdruckbehälter in Verbindung. Die Betätigung der Absperrventile erfolgt von der Steuereinrichtung. Diese ist so ausgebildet, dass sie die Absperrventile bevorzugt abhängig von Sensorsignalen betätigt, insbesondere dem Signal eines Drucksensors an bzw. in dem Unterdruckbehälter. So kann für den Fall, dass der Unterdruck im Unterdruckbehälter nicht ausreicht, die Vakuumpumpe in Betrieb genommen werden und durch Öffnen der Absperrventile mit dem Unterdruckbehälter und gegebenenfalls zusätzlich mit dem Unterdruckanschluss in Verbindung gebracht werden, um dort den gewünschten Unterdruck aufrecht zu erhalten.
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Es ist zu verstehen, dass auch eine andere Anordnung von Unterdruckbehälter, Unterdruckanschluss und Vakuumpumpe mit eventuell erforderlichen Ventilen möglich ist, wobei die Anordnung bevorzugt so ausgebildet sein sollte, das die Vakuumpumpe zum einen den Unterdruck in dem Unterdruckbehälter erzeugen kann, zum anderen aber auch direkt einen Unterdruck an dem Unterdruckanschluss bereitstellen kann. Ferner sollte der Unterdruckbehälter mit dem Unterdruckanschluss in Verbindung bringbar sein. Um die einzelnen Strömungswege zu schalten, werden entsprechende Absperrventile angeordnet, welche von der Steuereinrichtung betätigbar sind.
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Weiter bevorzugt weist die Vakuumvorrichtung zumindest eine durch ein Ventil verschließbare Belüftungsöffnung auf. Auch dieses Ventil ist vorzugsweise von der Steuerung steuerbar, sodass die Steuereinrichtung dieses Ventil Öffnen und Schließen kann. Die Belüftungsöffnung kann geöffnet werden, um die Anlage zu belüften, wenn sie außer Betrieb genommen wird.
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Bei der Steuereinrichtung handelt es sich vorzugsweise um eine speicherprogrammierbare Steuerung, sodass in dieser auf einfache Weise gewünschte Betriebsprogramme eingestellt und abgelegt werden können.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Steuereinrichtung zumindest einen Signaleingang auf, über welchen der Steuereinrichtung ein Schaltsignal zuführbar ist, wobei die Steuereinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie bei Empfang des Schaltsignals die Vakuumpumpe oder zumindest ein Ventil derart ansteuert, dass an dem Unterdruckanschluss ein Unterdruck bereitgestellt wird. Der Signaleingang kann beispielsweise mit einem Signalausgang eines Elektronenmikroskops verbunden werden, sodass von der Steuerung des Elektronenmikroskops der Steuereinrichtung der autarken Vakuumvorrichtung signalisiert werden kann, dass ein Absaugen durch die Vakuumvorrichtung zur Evakuierung der Probenkammer des Elektronenmikroskops erforderlich ist. Bevorzugt ist der Signaleingang mit Netzspannung als Schaltsignal beaufschlagbar. Dies ermöglicht es, die erfindungsgemäße Vakuumvorrichtung sehr einfach statt einer üblichen Vorpumpe mit einem Elektronenmikroskop zu verbinden. Elektronenmikroskope weisen in der Regel einen Netzspannungsanschluss zur Verbindung mit einer solchen Vorpumpe auf, wobei der Netzspannungsanschluss von der Steuerung des Elektronenmikroskops ein- und ausgeschaltet wird, um die Pumpe ein- und auszuschalten. Diese geschaltete Netzspannung kann so als Schaltsignal für die autarke Vakuumvorrichtung verwendet werden.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann die Steuereinrichtung derart ausgebildet sein, dass Betriebszeiten für die Vakuumpumpe voreinstellbar sind. So kann die Vakuumvorrichtung so betrieben werden, dass die Vakuumpumpe zu vorzugsweise zuvor eingestellten Daten oder Uhrzeiten betrieben wird, beispielsweise zu Zeiten, in welchen nicht an einem angeschlossenen Elektronenmikroskop gearbeitet wird, sodass die Arbeit am Elektronenmikroskop vorzugsweise nicht durch den Betrieb der Vakuumpumpe gestört wird. Ferner können die Betriebszeiten so gewählt werden, dass beispielsweise am Wochenende die Vakuumvorrichtung außer Betrieb genommen oder mit einem verringerten Unterdruck betrieben wird, um Energie einzusparen.
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Die Steuereinrichtung ist weiter bevorzugt derart ausgebildet, dass sie durch Ein- und Ausschalten der Vakuumpumpe den Unterdruck im Inneren des Unterdruckbehälters unterhalb eines vorbestimmten Grenzwertes hält, wobei verschiedene Grenzwerte zeitabhängig vorgebbar sind. So kann beispielsweise zu Zeiten, an denen wenig gearbeitet wird, wie beispielsweise am Wochenende, der Unterdruck verringert werden, um Energie zu sparen. Dafür kann dann zu den Hauptarbeitszeiten ein größerer Unterdruck, d. h. ein geringerer absoluter Druck in dem Unterdruckbehälter vorgehalten werden, um eine größere Absaugleistung ohne Betrieb der Vakuumpumpe zu gewährleisten.
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Weiter bevorzugt ist die Steuereinrichtung derart ausgebildet, dass sie die Vakuumpumpe und zumindest ein Ventil derart steuert, dass der Vakuumbehälter und die Vakuumpumpe wahlweise und/oder gleichzeitig mit dem Unterdruckanschluss in Saugverbindung gebracht werden können. So kann der Unterdruck an dem Unterdruckanschluss gegebenenfalls auch allein von der Vakuumpumpe erzeugt werden, beispielsweise wenn in dem Unterdruckbehälter ein zu hoher Druck herrscht, um die gewünschte Absaugleistung bereitzustellen. Entsprechend kann bevorzugt auch der Unterdruckbehälter allein die gewünschte Absaugleistung bereitstellen, um die Vakuumvorrichtung besonders geräuschminimiert arbeiten zu lassen. Darüber hinaus kann über den Unterdruckbehälter beispielsweise beim Anfahren bzw. Anpumpen ein Unterdruck bereitgestellt werden, um die Leistungsaufnahme beim Anpumpen zu minimieren. So können gerade dann, wenn eine hohe Absaugleistung gewünscht ist, auch der Unterdruckbehälter und die Vakuumpumpe gleichzeitig mit dem Unterdruckanschluss verbunden werden.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Steuereinrichtung zumindest einen Sensoranschluss auf und ist derart ausgebildet, dass eine Steuerung der Vakuumpumpe und/oder zumindest eines Ventils in Abhängigkeit eines an dem Sensoranschluss anliegenden Sensorsignals erfolgt. So kann über den Sensoranschluss zumindest ein externer Parameter erfasst werden, in dessen Abhängigkeit die Vakuumvorrichtung betrieben wird, beispielsweise eine Temperatur. Dazu kann der Sensoranschluss mit einem Temperatursensor verbunden oder verbindbar sein, beispielsweise um die Temperatur der Turbopumpe des Elektronenmikroskops zu erfassen und die Vakuumvorrichtung in Abhängigkeit dieser Temperatur zu steuern. So kann die Steuereinrichtung die Grenzwerte für das Vakuum bzw. den Unterdruck in dem Unterdruckbehälter in Abhängigkeit der Temperatur der Turbopumpe einstellen, um zu verhindern, dass bestimmte Temperaturgrenzwerte an der Turbopumpe überschritten werden.
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Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand der beigefügten Figuren beschrieben. In diesen zeigt:
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1 schematisch eine erste Ausführungsform der Erfindung und
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2 schematisch eine zweite Ausführungsform der Erfindung.
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Die 1 zeigt eine erfindungsgemäße Vakuumvorrichtung 2 in Verbindung mit einem Elektronenmikroskop 4. Das Elektronenmikroskop 4 weist in bekannter Weise eine Turbopumpe sowie eine Steuereinrichtung zur Steuerung der Turbopumpe in seinem Inneren auf. Das Elektronenmikroskop 4 weist einen Absauganschluss 6 auf, über welchen in bekannter Weise durch eine externe Vorpumpe, welche der Turbopumpe nachgeschaltet ist, das Restgas abgefördert werden kann.
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Erfindungsgemäß ist nun statt einer solchen Vorpumpe die erfindungsgemäße Vakuumvorrichtung 2 an das Elektronenmikroskop 4 angeschlossen. Die Vakuumvorrichtung 2 weist als zentrale Bestandteile einen Unterdruckbehälter 8 sowie eine Pumpe bzw. Vakuumpumpe 10 auf. Die Vakuumpumpe 10 ist mit dem Unterdruckbehälter 8 über eine Leitung 12 verbunden, welche einen Strömungsweg von dem Strömungsweg von dem Unterdruckbehälter 8 zu der Vakuumpumpe 10 herstellt, sodass die Vakuumpumpe 10 in der Lage ist, den Unterdruckbehälter 8 zu evakuieren. In der Leitung 12 sind ein erstes Absperrventil 14 und ein zweites Absperrventil 16 angeordnet. Ferner zweigt von der Leitung 12 zwischen dem ersten Absperrventil 14 und dem zweiten Absperrventil 16 ein Unterdruckanschluss 18 ab, welcher hier mit dem Absauganschluss 6 des Elektronenmikroskops 4 verbunden ist. An dem dem Unterdruckbehälter 8 abgewandten Ende der Leitung 12 ist darüber hinaus ein Belüftungsventil 20 angeordnet. Die drei Ventile, d. h. das Absperrventil 14, das zweite Absperrventil 16 und das Belüftungsventil 20 sind als elektrisch schaltbare Ventile ausgebildet.
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Zur Steuerung dieser Ventile sowie der Vakuumpumpe 10 ist eine Steuereinrichtung 22 in Form einer speicherprogrammierbaren Steuerung (SPS) vorhanden. An dem Unterdruckbehälter 8 ist ein Drucksensor 24 angeordnet, dessen Ausgangssignal der Steuereinrichtung 22 zugeführt wird. Die beschriebenen Ventile, die Vakuumpumpe 10, der Unterdruckbehälter 8 und die Steuereinrichtung 22 bilden eine autarke Vakuumvorrichtung 2, welche als autarke Baueinheit mit einem Elektronenmikroskop 4 verbindbar ist. Dabei ist insbesondere die Steuereinrichtung autark ausgebildet, sodass die Vakuumvorrichtung 2 unabhängig von dem Elektronenmikroskop 4 gesteuert werden kann. Im hier gezeigten Beispiel weist die Steuereinrichtung 22 neben einem Netzanschluss 26 zur Stromversorgung einen Signaleingang 28 auf. An den Signaleingang 28 ist eine elektrische Leitung 30 angeschlossen, welche mit einem schaltbaren Ausgang des Elektronenmikroskops 4 verbunden ist. Dieser schaltbare Ausgang dient üblicherweise dem Anschluss einer externen Pumpe an das Elektronenmikroskop 4 und weist Netzspannung auf. Diese Netzspannung, welche üblicherweise zum Betrieb der Pumpe verwendet wird, wird hier als reines Schaltsignal verwendet, welches dem Signaleingang 28 der Steuereinrichtung 22 zugeführt wird. So ist keine weitere Vernetzung mit der Steuerung des Elektronenmikroskops 4 erforderlich. Die Steuerung des Elektronenmikroskops 4 beaufschlagt den Ausgang, an welchen üblicherweise eine externe Pumpe angeschlossen wird, mit Spannung, wenn eine Gasabsaugung von außen erforderlich ist. Dieses Signal erfasst über die elektrische Leitung 30 die Steuereinrichtung 22 der Vakuumvorrichtung 2 und kann dann entsprechend das erste Absperrventil 14 öffnen, um den Unterdruckanschluss 18 mit Unterdruck aus dem Unterdruckbehälter 8 zu beaufschlagen und so einen Sog bzw. Unterdruck in dem Unterdruckanschluss 18 zu erzeugen. Alternativ könnte die Steuereinrichtung 22 das zweite Absperrventil 16 öffnen und die Vakuumpumpe 10 in Betrieb nehmen, um an dem Unterdruckanschluss 18 einen Unterdruck zu erzeugen. Für eine hohe Absaugleistung können von der Steuereinrichtung 22 auch beide Absperrventile 14 und 16 geöffnet werden.
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Bevorzugt ist es jedoch, dass die Absaugleistung an dem Unterdruckanschluss 18 von dem Unterdruckbehälter 8 bereitgestellt wird. Die Steuereinrichtung 22 überwacht über den Drucksensor 24 den Unterdruck in dem Druckbehälter 8 und schaltet, wenn der Unterdruck in dem Unterdruckbehälter 8 zu gering wird, d. h. der Absolutdruck über einen vorgegebenen Sollwert steigt, die Vakuumpumpe 10 ein und öffnet beide Absperrventile 14 und 16, sodass die Vakuumpumpe 10 den Unterdruckbehälter 8 evakuiert. Zur Steuerung der Ventile 14, 16 und 20 sowie der Vakuumpumpe 10 sind diese mit der Steuereinrichtung 2 über elektrische Leitungen 32 verbunden. Das Belüftungsventil 20 wird von der Steuereinrichtung 22 geöffnet, wenn die Gesamtanlage belüftet werden soll.
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Die Steuereinrichtung 22 ist so ausgebildet, dass die Laufzeit der Vakuumpumpe 20 vorzugsweise minimiert wird, um Energie zu sparen und das Geräuschniveau der Vakuumvorrichtung 2 möglichst gering zu halten. Darüber hinaus kann sie so ausgestaltet sein, dass sie eine zeitabhängige Steuerung ermöglicht, sodass beispielsweise zu Arbeitsbeginn in einem Labor ein maximaler Unterdruck in dem Unterdruckbehälter 8 durch Betrieb der Vakuumpumpe 10 erzeugt wird und die Vakuumpumpe 10 dann für eine möglichst lange Zeit abgeschaltet werden kann, sodass keine Geräusche oder Vibrationen der Vakuumpumpe stören und die erforderliche Absaugleistung allein durch den Unterdruckbehälter 8 bereitgestellt wird. Ferner ist es möglich, durch entsprechende Programmierung der Steuereinrichtung 22 das Unterdruckniveau in dem Unterdruckbehälter 8 an verschiedene Tageszeiten oder Wochenzeiten anzupassen. Beispielsweise kann das Unterdruckniveau am Wochenende abgesenkt werden, d. h. in dem Unterdruckbehälter wird nur ein geringerer Unterdruck, d. h. höherer Absolutdruck, vorgehalten, um so die Betriebszeiten der Vakuumpumpe 10 und damit den Energieverbrauch zu verringern.
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Es ist denkbar, die Steuereinrichtung 22 mit weiteren Signaleingängen zu versehen, um beispielsweise noch eine temperaturabhängige Steuerung, beispielsweise in Abhängigkeit der Temperatur einer Turbopumpe in dem Elektronenmikroskop 4 zu ermöglichen.
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Die Anordnung der Ventile und Komponenten kann auch in anderer Weise erfolgen. So kann beispielsweise auf das erste Absperrventil 14 gegebenenfalls auch verzichtet werden. Diese Anordnung hat jedoch dann den Nachteil, dass dann, wenn das Elektronenmikroskop 4 belüftet wird, auch stets der Unterdruckbehälter 8 mit belüftet wird. Diese zwangsweise Mitbelüftung des Unterdruckbehälters 8 wird durch das erste Absperrventil 14 verhindert.
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Eine alternative Anordnung ist darüber hinaus in 2 gezeigt. Diese Anordnung unterscheidet sich von der Anordnung in 1 dadurch, dass das zweite Absperrventil 16 nicht mit dem Strömungsweg von dem ersten Absperrventil 14 zu dem Unterdruckanschluss 18 verbunden ist, sondern direkt mit dem Unterdruckbehälter 8 verbunden ist. Der Vorteil dieser Anordnung ist, dass auch während der Belüftung des Elektronenmikroskopes 4 gleichzeitig der Unterdruckbehälter 8 evakuiert werden kann. Eventuell nachteilig bei dieser Anordnung ist, dass das Abpumpen stärker als mit einer langsam startenden Pumpe erfolgt, sodass es im Elektronenmikroskop 4 zu unerwünschten Wirbeln kommen kann.
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Bezugszeichenliste
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- 2
- Vakuumvorrichtung
- 4
- Elektronenmikroskop
- 6
- Absauganschluss
- 8
- Unterdruckbehälter
- 10
- Vakuumpumpe
- 12
- Leitung
- 14
- erstes Absperrventil
- 16
- zweites Absperrventil
- 18
- Unterdruckanschluss
- 20
- Belüftungsventil
- 22
- Steuereinrichtung
- 24
- Drucksensor
- 26
- Netzanschluss
- 28
- Signaleingang
- 30
- elektrische Leitungen
- 32
- elektrische Leitungen
