JPH04272492A - 多段メカニカルブースタポンプ - Google Patents
多段メカニカルブースタポンプInfo
- Publication number
- JPH04272492A JPH04272492A JP5598691A JP5598691A JPH04272492A JP H04272492 A JPH04272492 A JP H04272492A JP 5598691 A JP5598691 A JP 5598691A JP 5598691 A JP5598691 A JP 5598691A JP H04272492 A JPH04272492 A JP H04272492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- booster pump
- mechanical booster
- intake port
- atmospheric pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は各段に吸気口と制御バル
ブを設け、該制御バルブを制御しながら大気圧状態より
連続運転ができる多段メカニカルブースタポンプに関す
る。 【０００２】 【従来技術及び発明が解決しようとする課題】従来、メ
カニカルブースタポンプは真空状態で運転されるので、
モータの容量、すなわち馬力は小さく、そのため大気圧
からの起動が不可能である。これを詳述すれば次のよう
である。ポンプの圧縮による軸動力は次式で表される。 Ｌ＝ΣＫ・Ｖｉ・ΔＰｉ ここで、Ｌは 圧縮による軸動力、Ｖｉは各段の理論排
気量及びΔＰｉは各段の圧力差を示す。Ｋは比例定数で
ある。 【０００３】図４は従来のメカニカルブースタポンプ１
の各段の吸気圧力と軸動力との関係を示す図である。通
常圧縮比を高めるため各段の理論排気量Ｖｉは１段目が
最大で、それより２段目、３段目の順に小さくなってい
る。従って、大気圧に近い範囲では軸動力Ｌは１段目が
最大で２段目、３段目の順に小さくなつている。また、
１段目の理論排気量Ｖｉが大きく、大気圧状態での軸馬
力がモータの馬力を越えるため、この従来のメカニカル
ブースタポンプは大気圧からの起動が不可能である。そ
のため、ある圧力以下から起動されるが、その運転切り
替え点を境に圧力を変化させる場合は起動と停止を繰返
し、そのためポンプの機械的寿命を縮める問題があつた
。 【０００４】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
、上記問題点を除去し、大気圧からの起動が可能であり
、安定運転により機械的寿命を延ばすことができる多段
メカニカルブースタポンプを提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、同一回転軸に複数段のロータを取り付けると
共に、各段を隔壁で仕切った多段メカニカルブースタポ
ンプにおいて、前記各段に吸気口及び該吸気口にそれぞ
れ連結した制御バルブを有することを特徴とする。 【０００６】 【作用】本発明の多段メカニカルブースタポンプを運転
するとき、吸気口を切り替えることにより各段の軸動力
の和がモータ馬力を越えないように調整できるので大気
圧からの起動が可能となる。 【０００７】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明による多段メカニカルブースタポンプ
１を含む真空装置の略図である。図２は前記ポンプの断
面図である。図示するように、この多段メカニカルブー
スタポンプ１は同一回転軸１６に、１段目のロータ９、
２段目のロータ１０及び３段目のロータ１１が取付けら
れており、各ロータはケーシング２と該ケーシング内を
仕切る隔壁１７でかこまれた各段のロータ室１９、２０
、２１に配置されている。 【０００８】１段目のロータ９の吸い込み側に第１吸気
口６を設け、該第１吸気口６に第１制御バルブ３が連結
されている。２段目のロータ１０の吸い込み側に第２吸
気口７を設け、該第２吸気口７に第２制御バルブ４が連
結されている。更に３段目のロータ１１の吸込み側に第
３吸気口８を設け、該第３吸気口８に第３制御バルブ５
が連結されている。これら制御バルブ３、４、５はすべ
てチャンバー１８に連結されている。また、前記ポンプ
１の排気口１２は粗引ポンプ１４の吸気口１３に連結し
、且つ該粗引ポンプ１４は排気口１５を備えている。 【０００９】本発明の多段メカニカルブースタポンプを
運転するとき、各段の軸動力の和がモータ馬力を超えな
いように各段の吸気口６、７、８を切り替えることによ
り、大気圧からの起動を可能にするものである。 【００１０】図３は本発明の多段メカニカルブースタポ
ンプを運転した場合の吸気圧力、すなわち吸込圧力Ｐと
軸動力Ｌの関係を示す図である。チャンバー１８内の圧
力が大気圧（７６０Ｔｏｒｒ．）からＰ１までの圧力内
にある場合は第３制御バルブ５を開いて第３吸気口８か
ら吸気を行う。したがって、軸動力は３段目の軸動力と
なり、この３段目の大気圧状態での軸動力がモータ馬力
を超えないように３段目のロータ１１の排気量Ｖ３を決
めれば、メカニカルブースタポンプの大気からの起動が
可能となる。 【００１１】Ｐ１点において吸気口を２段目の第２吸気
口７に切り替える。２段目から吸気した場合に、軸動力
は２段目と３段目の軸動力の和となるので、これがモー
タ馬力を越えないよう２段目、３段目のロータ１０、１
１の排気量Ｖ２、Ｖ３を決めれば連続運転が可能である
。 【００１２】吸込圧力Ｐ２点において、吸気口を１段目
の第１吸気口６に切り替える。１段目から吸気した場合
、軸動力は１段目、２段目及び３段目の軸動力の和とな
るが、これがモータ馬力を越えないよう１段目、２段目
及び３段目のロータ９、１０、１１の排気量Ｖ１、Ｖ２
及びＶ３を決めれば連続運転が可能となる。 【００１３】このように軸動力がモータ馬力を越えない
ように吸気口をＰ１点及びＰ２点で切り替えることによ
り、多段メカニカルブースタポンプの大気圧からの起動
が可能となる。
【００１４】 【発明の効果】本発明の多段メカニカルブースタポンプ
は吸気口にそれぞれ制御バルブを設け、該制御バルブを
切り替えて運転するので大気圧から起動できるようにな
り、従来のようにメカニカルブースタポンプの起動と停
止を頻繁に繰返していたような運転状態でも、安定な運
転を行うことができる。また、大気圧から連続運転でき
るようになったので、排気時間の短縮にもつながる効果
がある。
ブを設け、該制御バルブを制御しながら大気圧状態より
連続運転ができる多段メカニカルブースタポンプに関す
る。 【０００２】 【従来技術及び発明が解決しようとする課題】従来、メ
カニカルブースタポンプは真空状態で運転されるので、
モータの容量、すなわち馬力は小さく、そのため大気圧
からの起動が不可能である。これを詳述すれば次のよう
である。ポンプの圧縮による軸動力は次式で表される。 Ｌ＝ΣＫ・Ｖｉ・ΔＰｉ ここで、Ｌは 圧縮による軸動力、Ｖｉは各段の理論排
気量及びΔＰｉは各段の圧力差を示す。Ｋは比例定数で
ある。 【０００３】図４は従来のメカニカルブースタポンプ１
の各段の吸気圧力と軸動力との関係を示す図である。通
常圧縮比を高めるため各段の理論排気量Ｖｉは１段目が
最大で、それより２段目、３段目の順に小さくなってい
る。従って、大気圧に近い範囲では軸動力Ｌは１段目が
最大で２段目、３段目の順に小さくなつている。また、
１段目の理論排気量Ｖｉが大きく、大気圧状態での軸馬
力がモータの馬力を越えるため、この従来のメカニカル
ブースタポンプは大気圧からの起動が不可能である。そ
のため、ある圧力以下から起動されるが、その運転切り
替え点を境に圧力を変化させる場合は起動と停止を繰返
し、そのためポンプの機械的寿命を縮める問題があつた
。 【０００４】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
、上記問題点を除去し、大気圧からの起動が可能であり
、安定運転により機械的寿命を延ばすことができる多段
メカニカルブースタポンプを提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、同一回転軸に複数段のロータを取り付けると
共に、各段を隔壁で仕切った多段メカニカルブースタポ
ンプにおいて、前記各段に吸気口及び該吸気口にそれぞ
れ連結した制御バルブを有することを特徴とする。 【０００６】 【作用】本発明の多段メカニカルブースタポンプを運転
するとき、吸気口を切り替えることにより各段の軸動力
の和がモータ馬力を越えないように調整できるので大気
圧からの起動が可能となる。 【０００７】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明による多段メカニカルブースタポンプ
１を含む真空装置の略図である。図２は前記ポンプの断
面図である。図示するように、この多段メカニカルブー
スタポンプ１は同一回転軸１６に、１段目のロータ９、
２段目のロータ１０及び３段目のロータ１１が取付けら
れており、各ロータはケーシング２と該ケーシング内を
仕切る隔壁１７でかこまれた各段のロータ室１９、２０
、２１に配置されている。 【０００８】１段目のロータ９の吸い込み側に第１吸気
口６を設け、該第１吸気口６に第１制御バルブ３が連結
されている。２段目のロータ１０の吸い込み側に第２吸
気口７を設け、該第２吸気口７に第２制御バルブ４が連
結されている。更に３段目のロータ１１の吸込み側に第
３吸気口８を設け、該第３吸気口８に第３制御バルブ５
が連結されている。これら制御バルブ３、４、５はすべ
てチャンバー１８に連結されている。また、前記ポンプ
１の排気口１２は粗引ポンプ１４の吸気口１３に連結し
、且つ該粗引ポンプ１４は排気口１５を備えている。 【０００９】本発明の多段メカニカルブースタポンプを
運転するとき、各段の軸動力の和がモータ馬力を超えな
いように各段の吸気口６、７、８を切り替えることによ
り、大気圧からの起動を可能にするものである。 【００１０】図３は本発明の多段メカニカルブースタポ
ンプを運転した場合の吸気圧力、すなわち吸込圧力Ｐと
軸動力Ｌの関係を示す図である。チャンバー１８内の圧
力が大気圧（７６０Ｔｏｒｒ．）からＰ１までの圧力内
にある場合は第３制御バルブ５を開いて第３吸気口８か
ら吸気を行う。したがって、軸動力は３段目の軸動力と
なり、この３段目の大気圧状態での軸動力がモータ馬力
を超えないように３段目のロータ１１の排気量Ｖ３を決
めれば、メカニカルブースタポンプの大気からの起動が
可能となる。 【００１１】Ｐ１点において吸気口を２段目の第２吸気
口７に切り替える。２段目から吸気した場合に、軸動力
は２段目と３段目の軸動力の和となるので、これがモー
タ馬力を越えないよう２段目、３段目のロータ１０、１
１の排気量Ｖ２、Ｖ３を決めれば連続運転が可能である
。 【００１２】吸込圧力Ｐ２点において、吸気口を１段目
の第１吸気口６に切り替える。１段目から吸気した場合
、軸動力は１段目、２段目及び３段目の軸動力の和とな
るが、これがモータ馬力を越えないよう１段目、２段目
及び３段目のロータ９、１０、１１の排気量Ｖ１、Ｖ２
及びＶ３を決めれば連続運転が可能となる。 【００１３】このように軸動力がモータ馬力を越えない
ように吸気口をＰ１点及びＰ２点で切り替えることによ
り、多段メカニカルブースタポンプの大気圧からの起動
が可能となる。
【００１４】 【発明の効果】本発明の多段メカニカルブースタポンプ
は吸気口にそれぞれ制御バルブを設け、該制御バルブを
切り替えて運転するので大気圧から起動できるようにな
り、従来のようにメカニカルブースタポンプの起動と停
止を頻繁に繰返していたような運転状態でも、安定な運
転を行うことができる。また、大気圧から連続運転でき
るようになったので、排気時間の短縮にもつながる効果
がある。
【図１】本発明の多段メカニカルブースタポンプを含む
真空装置の略図である。
真空装置の略図である。
【図２】本発明の多段メカニカルブースタポンプの概略
軸方向断面図である。
軸方向断面図である。
【図３】本発明のメカニカルブースタポンプを運転した
場合の吸気圧力と軸動力との関係を示す図である。
場合の吸気圧力と軸動力との関係を示す図である。
【図４】従来のメカニカルブースタポンプの各段の圧力
と軸動力との関係を示す図である。
と軸動力との関係を示す図である。
１ 多段メカニカルブースタポ
ンプ２ ケーシング３
第１制御バルブ４
第２制御バルブ５ 第３
制御バルブ６ 第１吸気口７
第２吸気口８
第３吸気口９ １段目
のロータ１０ ２段目のロータ
１１ ３段目のロータ１２
排気口 １３ 吸気口 １４ 粗引ポンプ１５
排気口 １６ 回転軸 １７ 隔壁
ンプ２ ケーシング３
第１制御バルブ４
第２制御バルブ５ 第３
制御バルブ６ 第１吸気口７
第２吸気口８
第３吸気口９ １段目
のロータ１０ ２段目のロータ
１１ ３段目のロータ１２
排気口 １３ 吸気口 １４ 粗引ポンプ１５
排気口 １６ 回転軸 １７ 隔壁
Claims (1)
- 【請求項１】同一回転軸に複数段のロータを取り付ける
と共に、各段を隔壁で仕切つた多段メカニカルブースタ
ポンプにおいて、前記各段に吸気口及び該吸気口にそれ
ぞれ連結した制御バルブを設けたことを特徴とする多段
メカニカルブースタポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5598691A JPH04272492A (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 多段メカニカルブースタポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5598691A JPH04272492A (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 多段メカニカルブースタポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04272492A true JPH04272492A (ja) | 1992-09-29 |
Family
ID=13014407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5598691A Pending JPH04272492A (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 多段メカニカルブースタポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04272492A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9541088B2 (en) | 2003-10-17 | 2017-01-10 | Ebara Corporation | Evacuation apparatus |
-
1991
- 1991-02-27 JP JP5598691A patent/JPH04272492A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9541088B2 (en) | 2003-10-17 | 2017-01-10 | Ebara Corporation | Evacuation apparatus |
| EP1673539B1 (en) * | 2003-10-17 | 2019-07-31 | Ebara Corporation | Evacuation apparatus |
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