JPS60142092A - 多段排気形回転真空ポンプ - Google Patents

多段排気形回転真空ポンプ

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Publication number
JPS60142092A
JPS60142092A JP58251034A JP25103483A JPS60142092A JP S60142092 A JPS60142092 A JP S60142092A JP 58251034 A JP58251034 A JP 58251034A JP 25103483 A JP25103483 A JP 25103483A JP S60142092 A JPS60142092 A JP S60142092A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
gas
chamber
rotor
stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58251034A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadao Ishizawa
石沢　資男
Masami Kakinuma
柿沼　雅巳
Hirobumi Odaka
小高　博文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Seiki KK
Original Assignee
Seiko Seiki KK
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Filing date
Publication date
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Priority to GB08422494A priority patent/GB2152144B/en
Priority to FR8418282A priority patent/FR2557644A1/fr
Priority to US06/684,126 priority patent/US4697994A/en
Priority to DE19843446482 priority patent/DE3446482A1/de
Publication of JPS60142092A publication Critical patent/JPS60142092A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F04C18/3446—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along more than one line or surface

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） −この発明は、１絹のロータとステータで多段排気を行
なうようにした多段排気形回転真空ポンプに関する。
（従来技術とその問題点） 従来の回転真空ポンプは、例えばゲーデ型に見られるよ
うに、シリンダ室内に１個の作業室を形成するのがほと
んどである。
このような回転真空ポンプで高真空を得ようとする場合
には、従来は、複数組のロータとステータを共通のロー
タ軸を介してタンデムに連結し、各ポンプの吐出し口と
吸込み口とを連結することで、多段排気を行なうように
していた。
しか（）、このような構成では、装置が大型化、かつｆ
２雄化し、また駆動動力が増大するという欠点かあっ／
ζ。
（発明の目的） この発明は、１組のロータとステータＣ多段排気するこ
とにより、装置の小形化ならびに駆動動力の低減を図る
ことを目的とする。
（発明の構成） 上記目的を達成するために、この発明は、シリング窄内
に回転自在に横架され、該シリンダ室を複数の作業室に
区画するロータと、このロータの径方向に進退可能に配
置された複数のベーンと、前段側作業室の吐出し口と次
段側作業室の吸込み口を結ぶ連通路とを備えた多段排気
団回転真空ポンプであって、前記連通路に形成され、前
記前段側作業室で排気された排気気体を蓄積する中間室
と、この中間室に蓄積された排気気体のり１気圧が所定
圧となったときこれを前記次段側作業室の吸込み口に排
出する中間弁とを設けたことを特徴とづる。
（実施例の説明） 添イ］図は、この発明の一実施例に係る２段排気形回転
真空ポンプを示す。
図において、ケーシング１には内周略惰円等状のステー
タ２が収容されている。このステー９２の前後部には図
示しないフロントサイドブロックおよびリアサイドブロ
ックがそれぞれ装着され、これらによって楕円筒状のシ
リンダ室４が形成される。
シリンダ室４には複数のベーン６・・・が径方向に進退
可能に装着されたロータ５が回転自在に横架され、その
軸５ａはフロントサイドブロックとりャサイドブロック
に軸支さゼである。
前記ロータ５はシリンダ室４の短軸側に両端を接し、こ
れにより、シリンダ室４は２等分され、長径方向両側に
等容積の三日月型作業室７，８が形成される。
ステータ２には作業室７に連通ずる第１の吸込みボート
１２．吐出しボート１３および作業室８に連通づ−る第
２の吸込みボート１５．吐出しボート１８が形成されて
いる。また、各吐出しボー１−１３．１８の外側部には
それぞれ吐出し弁１４゜１９が装着されている。
また、ステータ２とケーシング１間には空間部からなる
２つの中間室９ａ、９ｂが設けられ、これら中間室９ａ
　、９ｂは連絡孔１０で連通している。そして、一方の
中間室９ａの内壁には前記吐出し弁１４が設けられてい
る。また他方の中間室９ｂには前記吸込みボート１５に
連通づる吐出しボート１７か設りられ、中間弁１６が吸
込みボート１５の内壁に装着されている。この中間弁１
６は雨中間室９ａ、９ｂ内のＪＪＩ気圧が所定値になっ
たとき開放されるようになっている。
さらに、第１の吸込みボート１２は、フロントリイドブ
ロックＩＩＩ！Ｉに開口づる吸込み口１１を介して低圧
気体側に連通し、ｊ：だ吐出しボート１８はステータ２
とケーシング１間に形成された空間部２０およびリアサ
イドブロックに形成された排気［」を通じて外部に連通
している。
このような構成としたので、ロータ５がＩＩＭａ１回り
方向に回転すると、ベーン６が突出してぞの先端がシリ
ンダ室内壁面に摺接し、各作業室７，８で吸込み・排気
が行なわれる。
まず、作業室７では、ロータ５の回転に伴うベーン６の
移動により、吸込み口１１および第１の吸込みボート１
２を介して低圧側気体を吸込み、吐出し弁１４が開かれ
てＪｊＩ気気体が吐出しボー１−１３を介して中間室９
ａに１１１出される。これが繰り返されて、中間室９ａ
　、９ｂに排気気体が充満し、排気圧が所定値に達する
と、中間弁１６が聞かれて、排気気体が吐出し口１７か
ら第２の吸込みボート１５に排出される。
次いで、作業室白では、第２の吸込みボート１５から排
気気体を吸込み、これにさらに排気作用を加える。その
結果、吐出し弁１９が開かれて、吐出しボート１８を介
して４）１気気体が人気中に排出される。
このようにして、２つの作業室７，８によって２段排気
が行なわれる。このとき、両作業室７゜８間に中間ｖ９
ａ、９ｂを設ｉ：Ｌ　Ｉｃので、排気効率が高められる
。
（発明の効果） この発明は、以上のように構成したので、１紺のロータ
とステータで多段排気が可能となり、装置の小形化並び
に駆動動力の低減を図ることができる。このとき、中間
室の作用によって、当該真空ポンプの排気能率を高める
ことができる。
【図面の簡単な説明】
添イ］図（よこの発明の一実施例に係る２段排気型回転
真空ポンプを示す側面断面図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
ケーシング２・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・ステータ４・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・シリンダ室５・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・ロータ６・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・ベーン７．８・・
・・・・・・・・・・・・・・・・作業室９ａ、９ｂ・
・・・・・・・・・・・中間室１０・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・連絡口１２・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・第１の吸込みボー１〜１３
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・吐出しポ
ート１４．１６．１９・・・吐出し弁 １５・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・第２
の吸込みポート１３．１８・・・・・・・・・・・・吐
出しポート１６・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・中間弁特許出願人 セイコー精機株式会社 代理人　弁理士　最　上　務

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）シリンダ室内に回転自在に横架され、シリンダ室
    を複数の作業室に区画するロータと、この日−タの径方
    向に進退可能に配置された複数のベーンと、前段側作業
    室の吐出し口と次段側作業室の吸込み口を結ぶ連通路と
    を備えた多段排気形回転真空ポンプであって、前記連通
    路に形成され、前記前段側作業室で排気された排気気体
    を蓄積Ｊる中間室と、この中間室に蓄積された排気気体
    のＪＪＩ気圧が所定圧となったときこれを前記次段側作
    業室の吸込み口に排出する中間弁とを設けｌζことを特
    徴とする多段排気形回転真空ポンプ。
JP58251034A 1983-12-28 1983-12-28 多段排気形回転真空ポンプ Pending JPS60142092A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58251034A JPS60142092A (ja) 1983-12-28 1983-12-28 多段排気形回転真空ポンプ
GB08422494A GB2152144B (en) 1983-12-28 1984-09-06 Two-stage rotary vacuum-pump
FR8418282A FR2557644A1 (fr) 1983-12-28 1984-11-30 Pompe a vide rotative du type a evacuation a plusieurs etages
US06/684,126 US4697994A (en) 1983-12-28 1984-12-20 Multistage discharge type rotary vacuum pump
DE19843446482 DE3446482A1 (de) 1983-12-28 1984-12-20 Rotations-vakuumpumpe

Applications Claiming Priority (1)

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JP58251034A JPS60142092A (ja) 1983-12-28 1983-12-28 多段排気形回転真空ポンプ

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JPS60142092A true JPS60142092A (ja) 1985-07-27

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ID=17216626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58251034A Pending JPS60142092A (ja) 1983-12-28 1983-12-28 多段排気形回転真空ポンプ

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US (1) US4697994A (ja)
JP (1) JPS60142092A (ja)
DE (1) DE3446482A1 (ja)
FR (1) FR2557644A1 (ja)
GB (1) GB2152144B (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5135368A (en) * 1989-06-06 1992-08-04 Ford Motor Company Multiple stage orbiting ring rotary compressor
US5015161A (en) * 1989-06-06 1991-05-14 Ford Motor Company Multiple stage orbiting ring rotary compressor
NO308962B1 (no) * 1998-07-20 2000-11-20 Hokon Sverre Pedersen Hydraulisk skovelmotor og hydraulisk system innbefattende en hydraulisk skovelmotor
GB0130717D0 (en) * 2001-12-21 2002-02-06 Wabco Automotive Uk Ltd Vacuum pump
EP1761706B1 (de) * 2004-06-24 2013-05-15 ixetic Hückeswagen GmbH Pumpe
US7866962B2 (en) * 2007-07-30 2011-01-11 Tecumseh Products Company Two-stage rotary compressor
CN103982429B (zh) * 2014-02-18 2016-02-17 浙江飞越机电有限公司 复合真空泵泵腔结构及带有该泵腔结构的真空泵使用方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5738691A (en) * 1980-08-14 1982-03-03 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Rotary compressor

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1983997A (en) * 1934-12-11 Multistage rotary compressor
GB153327A (en) * 1919-11-04 1922-02-03 Walther Schmied Multiple-acting rotary pumps
FR617377A (fr) * 1926-06-10 1927-02-18 Cfcmug Compresseur rotatif
US1895816A (en) * 1930-04-15 1933-01-31 Fuller Co Compressor and vacuum pump
DE657213C (de) * 1933-04-06 1938-02-26 Siegfried Wurzinger Zweistufiger Exzenterdrehkolbenverdichter
US3381891A (en) * 1966-03-02 1968-05-07 Worthington Corp Multi-chamber rotary vane compressor
GB1303430A (ja) * 1969-06-12 1973-01-17
FR2133192A5 (ja) * 1971-04-13 1972-11-24 Fives Lille Cail
US4239466A (en) * 1979-01-22 1980-12-16 Abbey Harold Rotary machine with adjustable means for its eccentric rotor
JPS5681291A (en) * 1979-12-03 1981-07-03 Sharp Corp Rotary compressor
DE3240523A1 (de) * 1982-11-03 1984-05-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Fluegelzellenverdichter

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5738691A (en) * 1980-08-14 1982-03-03 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Rotary compressor

Also Published As

Publication number Publication date
DE3446482A1 (de) 1985-07-11
FR2557644A1 (fr) 1985-07-05
US4697994A (en) 1987-10-06
GB2152144B (en) 1987-07-29
GB2152144A (en) 1985-07-31
GB8422494D0 (en) 1984-10-10

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