JP3432679B2 - 容積式真空ポンプ - Google Patents

容積式真空ポンプ

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等にお
ける真空排気装置のうち、ポンプ吸気圧力が大気圧から
駆動でき、主に約１０-4Torr〜数Torr程度の真空を得る
為の容積式ドライ式真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造等の分野において使用される
真空ポンプは、清浄雰囲気を維持するために、ポンプ内
部のガス通路に油を使用しないドライ式であることが必
要である。ドライ式の２軸容積式真空ポンプには、ルー
ツ型、スクリュー型等の方式がある。
【０００３】図８に示すのは、スクリュー型のポンプの
一種である２本ねじ形ポンプである。これは、ポンプケ
ーシング１００の中に２本の平行なシャフト１０１，１
０２が支持され、これには互いに噛み合うねじ溝を有す
るねじロータ１０３，１０４が固着されている。一方の
シャフト１０１はモータ１０５によって回転駆動され、
この回転はシャフト１０１の他端に形成されたギア１０
６により他のシャフト１０２に伝達される。このように
ねじロータ１０３，１０４を同期して反転させることに
より、ねじロータ１０３，１０４とケーシング１００に
閉じ込めた気体を回転により軸方向に移動して排気す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようなポンプは構
造が単純であるが、ロータ１０３，１０４の回転により
一定の体積を移動するだけで圧縮機能がなく、１段のポ
ンプのみでは単位排気量あたりの消費動力が大きくなっ
てしまう欠点があった。
【０００５】この欠点を解決する為には、排気量の異な
るポンプを、吸気（真空）側に排気量の大なるポンプ、
排気（大気）側に排気量の小なるポンプを組合わせれば
よい。この場合、それぞれの駆動機構を有する２つの異
なるポンプを組み合わせる方法と、同じ駆動軸上に２つ
のねじロータを取り付ける方法とが考えられる。
【０００６】別々のポンプを組合わせた場合は、２つの
装置が必要なのでスペースや装置コストが大きくなり、
さらに消費動力も増大する。また、ポンプ間をつなぐ配
管が必要となり、この配管の温度が低くなると、半導体
製造プロセス（エッチング、成膜）に使用するガス等の
反応生成物が付着堆積し易く、ポンプを短期間にメンテ
ナンスしなければならなくなる欠点があった。
【０００７】一方、同じ駆動軸に２つのねじロータを取
り付ける場合は、当然に同じ回転数で回転するので、定
常運転時は問題がないが、スタート時に大気圧から始動
する場合はポンプ間の気体が圧縮されて真空側の排気が
困難となり、結局は大きな動力が必要になる。また、２
種類のポンプを同軸上に配置すると、ロータ自体が長く
なって片持ち支持が困難となり、軸受間にロータを配置
すれば、ポンプのメンテナンス性が悪くなるとともに、
真空側に軸受があるので汚染が懸念されるという欠点も
あった。
【０００８】本発明は、このような欠点を除去し、２本
ねじ形の容積式真空ポンプではあっても、単位排気量あ
たりの消費動力を小さくでき、かつ小型でメンテナンス
性の良いドライ式真空ポンプを提供することを目的とす
る。また、本発明の他の目的は、プロセスによる反応生
成物の有無や性質に応じて、また冷却水等のユーティリ
ティの有無に応じて、ポンプの温度と排気量を選択する
ことができ、小型で汎用性が高く、長寿命かつ省エネル
ギーなドライ式真空ポンプを提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の容積式真空ポン
プは、平行な２つのシャフトに設けたねじロータが互い
に噛み合いながら反対方向に回転することにより、該ね
じロータとポンプケーシング間に閉じ込められた気体を
移動して排気する容積式真空ポンプにおいて、一対のシ
ャフトの軸に沿って両側に吸気側ねじロータと排気側ね
じロータとからなる吸気側ポンプ部と排気側ポンプ部を
構成し、これらのポンプ部の間に上記一対のシャフトを
回転させるモータ部を配置し、上記ポンプ部と上記モー
タ部の間に上記一対のシャフトをそれぞれ支持する軸受
を設け、吸気側ねじロータと排気側ねじロータを片持ち
支持し、吸気側ねじロータの軸端部近傍の前記ポンプケ
ーシング端部カバーに吸気口を配置し、排気側ねじロー
タの軸端部近傍の前記ポンプケーシング端部カバーに排
気口を配置したことを特徴とする。
【００１０】これにより、両ポンプ部のねじロータはそ
れぞれ短くて済み、片持ち支持が可能となるので、構造
の簡素化とメンテナンス性の向上が図られ、また、軸受
が内側に配置されるので、潤滑グリス等の揮発成分が真
空側へ逆拡散しにくい。そして、軸受部分を、特に第２
段のポンプ部の排気側から遠い位置に配置し、温度を低
くすることができる。
【００１１】ここで、上記２段のポンプ部のうち、上流
側の排気量を下流側よりも大きくしたことを特徴とする
ので、吸気圧力が低い範囲において単位排気量あたりの
消費動力を小さくすることができる。
【００１２】ここで、液体状の潤滑油を用いないことを
特徴とする。 ここで、上記モータ部は上記２つの回転軸
を磁気的手段により同期させて回転させることを特徴と
する。これは、例えば、モータを２軸同期ブラシレス直
流モータとすることにより達成され、これにより、同期
性を高めてポンプの運転を円滑にするとともに、軸受以
外の部分に潤滑剤を使用する必要がなくなった。
【００１３】ここで、吸気側ポンプ部の出口と排気側ポ
ンプ部の入口を連通する気体流路が上記モータ部のステ
ータ内部を貫通して設けられていることを特徴とするの
で、外部に設ける場合に比べてコンパクトになるととも
に、ポンプ気体流路をモータ巻線の発熱で加温すること
ができる。
【００１４】ここで、吸気側ポンプ部の出口と排気側ポ
ンプ部の入口を連通する気体流路が上記モータ部の外側
に設けられていることを特徴とする。これにより、気体
流路の温度制御やメンテナンスが容易となる。
【００１５】ここで、吸気側ポンプの出口圧力が排気側
ポンプの出口圧力よりも高くなった場合に、吸気側ポン
プ出口から直接排気側ポンプ出口へ排気する為のバイパ
ス通路を設けたことを特徴とする。これにより、吸気圧
力が高い範囲においてポンプ内部圧力を大きくせずに済
み、従って、所要トルクを削減することができる。
【００１６】ここで、定格トルクを超える圧力範囲にお
いては回転数を下げ、消費電力がおよそ一定となるよう
にモータを制御する制御手段を有することを特徴とする
ので、モータの所要動力を立ち上がり時と定常運転時に
おいてほぼ一定にすることができ、結果としてモータの
定格を下げることができ、また、過電流によるトラブル
を回避することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の１つの実施の形態
のドライ式真空ポンプを図面を参照して説明する。この
真空ポンプは、ケーシング中に一対のシャフト２ａ，２
ｂが平行に配置され、このシャフトの軸に沿って３つの
部屋が区画されて構成されている。すなわち、中央には
筒状のモータケーシング３の中にモータ室４が形成さ
れ、その左右両側にはポンプケーシング５，６により第
１及び第２のポンプ室７，８が形成されている。モータ
室４とポンプ室７，８の間にはこれらを区画する環状の
モータ側板９，１０が配置され、ポンプケーシング５，
６の両端は中央に吸気口１１又は排気口１２が形成され
た端部カバー１３，１４により閉止されている。
【００１８】上記各シャフト２ａ，２ｂは、上記の３つ
の部屋を挿通しており、各モータ側板９，１０に設けら
れた一対の軸受１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ（ボー
ルベアリング）によって回転自在に支持されている。シ
ャフト２ａ，２ｂの端部はフリーとなっており、ポンプ
室７，８の中では片側で支持されたいわゆる片持ち支持
となっている。各軸受１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ
はグリスで潤滑され、モータ側板９，１０に固定された
それぞれの軸受ハウジング１７，１８に嵌入されてい
る。
【００１９】次に、モータ室４内のモータ部４Ａの構成
を説明する。各シャフト２ａ，２ｂの外周にはマグネッ
トロータ２０ａ，２０ｂが取付けられ、このマグネット
ロータ２０ａは、この例ではＮ，Ｓ極４極が周方向交互
に着磁されている。一方、マグネットロータ２０ａ，２
０ｂを取り巻くステータ鉄芯２１ａ〜２６ｂは、図２に
示すように２つのシャフトの互いに面対称の位置にある
ものが連結されており、これによって、マグネットロー
タ２０ａ，２０ｂの各磁極が通電時あるいは無通電時の
いずれにおいても磁気結合して連動する２軸同期モータ
Ｍが構成されている。
【００２０】このモータＭはブラシレス直流モータであ
り、これを駆動する際は、図３に示すモータドライバに
て１次電流を整流した後、ロータ２０ａ，２０ｂの位置
角に応じてモータ巻線への通電を切替える。これによ
り、２つのシャフト２ａ，２ｂは同期したままで互いに
反対の方向に回転する。
【００２１】また、本ポンプ例では、モータケーシング
３内部に冷却水を通水する為の通路２７が形成されてお
り、これに通水する配管には、冷却水の流量を制御する
流量制御弁が設けられている。真空ポンプにおいて要し
た動力のほとんどは、圧縮熱としてポンプ・モータを発
熱させる。一方、ポンプの所要トルクは回転数にあまり
関係なく圧力差により略決定されるので、ポンプの発熱
量は回転数に対応する。従って、この発明のポンプ各部
の温度は、回転数と冷却水の流量を制御することによっ
てある程度制御することが可能である。
【００２２】次に、ポンプ部５Ａ，６Ａの構造を説明す
る。各シャフト２ａ，２ｂのポンプ室７，８内の部分に
は、２本のねじ３０ａ，３０ｂ（本例では台形ねじ）を
外周に切ったねじロータ２８ａ，２８ｂ，２９ａ，２９
ｂがシャフト２ａ，２ｂに嵌め込まれ、くさびリング４
０及びボルト４１を使って締結されている。各シャフト
のロータのねじ溝同士は、その間に若干のクリアランス
を保って噛み合わせられており、また、それぞれのねじ
ロータ外周はポンプケーシング５，６と若干のクリアラ
ンスを保っている。このねじロータ２８ａ〜２９ｂとポ
ンプケーシング５，６により容積式ポンプが構成されて
いる。
【００２３】第１ポンプ部５Ａと第２ポンプ部６Ａのね
じロータ２８ａ〜２９ｂのねじ３０ａ，３０ｂの形状や
寸法は、以下のように設定されている。すなわち、第１
のポンプ部５Ａと第２のポンプ部６Ａは回転軸２ａ，２
ｂの軸間距離は同じであるが、ねじピッチ、外径、谷径
等を変えることにより、第２のポンプ部よりも１回転あ
たりの排気量を大きくしている（本例では４：１）。
【００２４】第１のポンプ部５Ａの排気口３１と第２の
ポンプ部６Ａの吸気口３３は、本例ではモータステータ
内部を貫通して形成された気体流路３２によって連通し
ている。図２で分かるように、この気体流路３２はモー
タ巻線３４に近接しているので運転中は巻線の発熱を受
けて温められている。また、第２のポンプ部６Ａの吸気
口３３と排気口１２の間には、逆止弁３５を備えたバイ
パス通路３６が形成されており、この逆止弁３５は第２
の吸気口３３部分の圧力が第２の排気口１２の圧力より
も所定の圧力だけ高くなった時に“開”となるように設
定されている。
【００２５】次に、この容積式真空ポンプの電源制御回
路（モータドライバ）について、図３を参照して説明す
る。この電源制御回路は、整流回路４０とスイッチング
回路４１及びスイッチング回路を制御する制御部４２を
備えており、この制御部４２では、モータＭに設けたロ
ータ位置検出・回転数検出センサ４３及び電源回路に設
けた電流検出センサ４４の出力信号に基づいて回転数基
準と電流値基準の２つの制御を切換えて行なうようにな
っている。
【００２６】この容積式真空ポンプにおいては、ねじロ
ータ２８ａ〜２９ｂを軸方向に２つ設けているので、個
々のねじロータ２８ａ〜２９ｂの長さは図に示す一体型
の場合よりも短縮される。すなわち、通常１組で６巻の
ねじが必要であるとすると、本例のように吸気側２巻、
排気側４巻と２つのポンプに分割すれば、同じ到達真空
度であってもそれぞれのねじロータ２８ａ〜２９ｂは短
くなる。従って、図示の実施の形態のように両軸端側を
フリーとする片持ち支持としても軸芯のずれを実用上問
題とならない程度に抑えることができる。
【００２７】そして、このようにねじロータ２８ａ〜２
９ｂが内側にある軸受１５ａ〜１６ｂによって片持ち支
持されており、吸気又は排気側には軸受が無いので、ポ
ンプ部分の分解は端部カバー１３，１４を外し、くさび
リング４０及びボルト４１を外してねじロータ２８ａ〜
２９ｂを取り出せば良い。従って、ポンプの分解作業が
容易であり、メンテナンス性に優れている。また、吸気
側ポンプ５Ａの入口側にベアリングがないので、ベアリ
ングを潤滑するグリス等の揮発成分が真空側に逆拡散す
ることが防止される。
【００２８】このポンプの駆動は、以下のように行われ
る。駆動用モータＭを作動させると、モータドライバか
ら所定の周波数の交流がステータコイル３４に供給さ
れ、発生する磁界により一対のロータ２０ａ，２０ｂが
回転する。この際に、２つのシャフト２ａ，２ｂが磁気
結合によって連動して逆方向に回転するので、機械的結
合の場合のように駆動側、被駆動側の別が無く、回転が
滑らかで同期性が高い。
【００２９】シャフト２ａ，２ｂの回転により、各ポン
プ部５Ａ，６Ａにおいてねじロータ２８ａ〜２９ｂの噛
み合わせによって気体が移送される。すなわち、気体は
第１のポンプ部５Ａの吸気口１１からねじロータ２８
ａ，２８ｂ、排気口３１を経て気体流路３２に移送さ
れ、さらに気体流路３２から第２のポンプ部６Ａの吸気
口３３、ねじロータ２９ａ，２９ｂを経て排気口１２か
ら排出される。
【００３０】上述したように、第１のポンプ部５Ａは第
２のポンプ部６Ａよりも１回転あたりの排気量を大きく
しており、定常運転時には、容積式ポンプであっても消
費動力を大きくすることなく高真空度を得ることができ
る。しかし、立ち上がり時においては、２つのポンプ部
５Ａ，６Ａの排気量の違いによって、気体流路３２部分
の圧力が上昇する。第２のポンプ部６Ａの入口圧力が出
口圧力（通常は大気圧）よりも高くなった時に、バイパ
ス通路３６の逆止弁３５が“開”となる。これにより、
気体は第２のポンプ部６Ａをバイパスして流れ、所定以
上の圧力上昇が抑えられる。従って、安全性が維持され
るとともに、第１のポンプ部５Ａの必要トルクも大幅に
改善されて、図４に示すように消費動力が節約される。
【００３１】電源制御部においては、通常は回転数が一
定となるようにモータを制御している。しかし、立ち上
がり時においては、上述したように大きなトルクが掛か
り、このときに回転数一定の制御をすると過大のモータ
定格出力を必要とすることになる。そこで、この現象を
回避する為に定格トルクを超える圧力範囲において、ト
ルクに応じて回転数を下げる制御を行っている。これに
より、どの圧力範囲であっても略一定の電力で運転する
ことが可能となる（図５参照）。トルクに応じて回転数
を下げる制御は、図６に示すように直流モータの基本特
性をそのまま利用することも可能であるが、電源制御部
において、電力をモータへの供給電圧を制御しても可能
である。
【００３２】本例のような排気量の異なる２種類のポン
プを組合わせた場合、定常運転時において、第１のポン
プ部５Ａの吸気口１１圧力が１０-2Torr、第２のポンプ
部６ａの排気口１２が大気圧とした場合、第１のポンプ
部５Ａの排気口３１（＝第２のポンプ部の吸気口３３）
の圧力を数 Torr 程度とすることができる。
【００３３】ポンプロータの必要トルクは、回転数には
あまり関係なく、ポンプ入口、出口の圧力差により決ま
るが、第１のポンプ部５Ａの入口、出口の圧力差による
トルクはほとんど無視できるので、運転中の必要トルク
は、図４に示すように、第２のポンプ部のみのトルクと
同等のトルクで済み、１種類のポンプで駆動する場合に
比べて単位排気量あたりの必要動力は小さくて済み、エ
ネルギーを節約することができる。さらに、第１のポン
プ部５Ａの排気口３１（＝第２のポンプ部の吸気口）の
圧力を数 Torr 程度であるので、軸受付近の温度はポン
プの圧縮熱の影響を受けにくくなって温度上昇が少な
く、安定した潤滑がなされる。
【００３４】第１のポンプ部５Ａにおいて排気された気
体は第２のポンプ部６Ａの入口へ接続されるが、本例で
はモータステータ内部を貫通して形成された気体流路３
２によって接続されている。図２で分かるように気体流
路３２は、モータ巻線３４に近接しているので運転中は
巻線の発熱を受けて温められる。従って、低温で析出す
るような気体であってもこの部分で分解したりすること
が無い。
【００３５】また、本ポンプ例では、モータフレーム３
内部に冷却水を通水する為の通路２７を設けてある。真
空ポンプにおいて要した動力のほとんどは、圧縮熱とし
てポンプ・モータを発熱させる。一方、ポンプの所要ト
ルクは回転数にあまり関係なく圧力差により略決定され
るので、ポンプの発熱量は回転数により制御することが
できる。従って、ポンプ各部の温度は回転数の制御と、
冷却水の流量によってある程度制御することが可能であ
る。
【００３６】これらのことは、真空ポンプを例えば半導
体製造装置に使用する場合に重要である。成膜やエッチ
ングプロセスによる反応生成物は、温度−圧力の関係で
昇華して気体から固体に変化し、ポンプ内部に附着して
ポンプの寿命を左右する。またエッチングプロセス等で
使用する腐食性ガスは、ポンプ内部を連通する際にポン
プを腐食させることがあるが、このポンプの腐食に関し
てもポンプの温度によって違いが生じる。
【００３７】よって本ポンプのように、冷却水を通水す
るかしないか、また回転数が高いか低いかを選択するこ
とができれば、使用するプロセスに応じて、最適なポン
プ運転温度を選定することが可能であり、ポンプの寿命
を長くすることができる。
【００３８】以上、この発明を図１の実施の形態に基づ
いて詳しく説明してきたが、この発明はこれに限られる
ものではない。図７はさらに他の実施の形態を模式的に
示すもので、（ａ）は図１の実施の形態と同じもの、す
なわち、駆動源として２軸同期モータＭを用い、２つの
ポンプ部５Ａ，６Ａを連通する気体流路３２をモータＭ
の内部に形成したものを示している。（ｂ）は、気体流
路３２ａを外部配管３５として構成したもので、必要に
応じてこの外部配管３５を加熱するヒータ３６が設けら
れている。外部配管であるので、取り外し可能とするこ
とができ、この部分のメンテナンスも容易である。
【００３９】（ｃ）は、駆動源として通常の１軸モータ
Ｍ’を用い、この回転をギア３７により他軸に伝えて２
軸を連動させるようにしている。また、（ｄ）は、２軸
同期モータＭに連動ギア３７を併用して同期性をさらに
高めるようにしたものである。いずれの場合も、１つの
駆動源で２つのポンプ部５Ａ，６Ａを構成し、低消費動
力で高い真空度を得ることができるとともに、ねじロー
タ２８ａ〜２９ｂの片持ち支持により構造の簡単化とメ
ンテナンスの容易化が図られている。（ｃ），（ｄ）の
各実施の形態においても、気体流路３２，３２ａは内部
及び外部のいずれとしても良い。
【００４０】また、本発明内容については、真空ポンプ
としての説明を行ったが、吸気側を大気圧とし、排気側
を高圧とする為の圧縮機としても全く同様の効果が得ら
れる。
【００４１】
【発明の効果】
（１）２本ねじ容積式真空ポンプのねじロータを２段に
分割し、モータを中央に配置するとともに主軸両軸端に
ねじロータを取付けたことにより、 ａ）両ねじロータは１段に比べ短くて済み、片持ち支持
が可能となると共に、ポンプのメンテナンス性が向上し
た。 ｂ）軸受が内側に配置されるので、潤滑グリス等の揮発
成分が真空側へ逆拡散しにくくなった。 ｃ）軸受部分がポンプ排気側から遠くなって、温度を低
くすることができた。
【００４２】（２）２段のうち吸気側ポンプの排気量を
排気側ポンプよりも大きくすることにより、吸気圧力が
低い範囲において単位排気量あたりの消費動力を小さく
することができた。 （３）モータを２軸同期ブラシレス直流モータとするこ
とにより、軸受を潤滑するグリス以外の潤滑剤を使用し
なくてよくなった。
【００４３】（４）さらに、排気側ポンプ入口圧力が出
口圧力よりも高くならないようなバイパス通路と逆止弁
を取付けることにより、バイパスがない場合に比べ吸気
圧力が高い範囲において、 ａ）ポンプ内部圧力を大きくせずに済んだ ｂ）大きい所要トルクを削減できた （５）吸気側ポンプ出口から、排気側ポンプ入口へ通じ
る連通管をモータステータ内部を貫通させることによ
り、連通管をモータ巻線にて加温することができた。
【００４４】（６）水冷するかしないかの選択と運転回
数の調整により、ポンプ運転温度を制御することができ
た。 （７）モータの定格トルクを超える圧力範囲において、
回転数を下げる制御を行うことにより、モータの所要動
力をほぼ一定にすることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施の形態の平面断面図であ
る。
【図２】図１の矢Ａの沿った断面図である。
【図３】この発明の真空ポンプの電源回路制御部を示す
図である。
【図４】真空ポンプのトルク特性を説明するグラフであ
る。
【図５】真空ポンプの消費動力特性を説明するグラフで
ある。
【図６】真空ポンプの制御方法を示すグラフである。
【図７】この発明の真空ポンプの他の実施の形態を示す
図である。
【図８】従来の真空ポンプ示す図である。
【符号の説明】
２ａ，２ｂ 回転軸 ４Ａ モータ部 ５，６ ポンプケーシング ５Ａ，６Ａ ポンプ部 １５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ 軸受 ２８ａ，２８ｂ，２９ａ，２９ｂ ねじロータ ３２ 気体流路 ３６ バイパス通路
フロントページの続き (72)発明者 久部 泰史 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目１番１号 株式会社 荏原電産内 (56)参考文献 特開 平１−167487（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−91387（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−33492（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−36086（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−43281（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−129384（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−119666（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04C 25/02 F04C 23/00 F04C 18/16 H02K 16/00

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 平行な２つのシャフトに設けたねじロー
    タが互いに噛み合いながら反対方向に回転することによ
    り、該ねじロータとポンプケーシング間に閉じ込められ
    た気体を移動して排気する容積式真空ポンプにおいて、一対のシャフトの軸に沿って両側に吸気側ねじロータと
    排気側ねじロータとからなる吸気側ポンプ部と排気側 ポ
    ンプ部を構成し、 これらのポンプ部の間に上記一対のシャフトを回転させ
    るモータ部を配置し、 上記ポンプ部と上記モータ部の間に上記一対のシャフト
    をそれぞれ支持する軸受を設け、吸気側ねじロータと排
    気側ねじロータを片持ち支持し、 吸気側ねじロータの軸端部近傍の前記ポンプケーシング
    端部カバーに吸気口を配置し、排気側ねじロータの軸端
    部近傍の前記ポンプケーシング端部カバーに排気口を配
    置し たことを特徴とする容積式真空ポンプ。
  2. 【請求項２】 上記２段のポンプ部のうち、吸気側の排
    気量を排気側よりも大きくしたことを特徴とする請求項
    １に記載の容積式真空ポンプ。
  3. 【請求項３】 液体状の潤滑油を用いないことを特徴と
    する請求項１に記載の容積式真空ポンプ。
  4. 【請求項４】 上記モータ部は上記２つの回転軸を磁気
    的手段により同期させて回転させることを特徴とする請
    求項１に記載の容積式真空ポンプ。
  5. 【請求項５】 上記２つのポンプ部を連通する気体流路
    が上記モータ部のステータ内部を貫通して設けられてい
    ることを特徴とする請求項１に記載の容積式真空ポン
    プ。
  6. 【請求項６】 上記２つのポンプ部を連通する気体流路
    が上記モータ部の外側に設けられていることを特徴とす
    る請求項１に記載の容積式真空ポンプ。
  7. 【請求項７】 吸気側ポンプの出口圧力が排気側ポンプ
    の出口圧力よりも高くなった場合に、吸気側ポンプ出口
    から直接排気側ポンプ出口へ排気する為のバイパス通路
    を設けたことを特徴とする請求項５又は６に記載の容積
    式真空ポンプ。
  8. 【請求項８】 定格トルクを超える圧力範囲においては
    回転数を下げ、消費電力がおよそ一定となるようにモー
    タを制御する制御手段を有することを特徴とする請求項
    １に記載の容積式真空ポンプ。
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