TWI270982B - Memory devices based on electric field programmable films - Google Patents

Description

!27〇982 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本揭示内容係關於以電場可程式化薄膜為主之電子記憶 裝置。 【先前技術】 電子記憶與轉換裝置目前係製自無機材料，譬如結晶矽。

雖然此等裝置已經於技術上與商業上成功，但其具有許多 缺點，包括複雜構造與高製造成本。在易失性半導體記= 裝置之情況中，電路系統必須不斷地被供應電流，以保持 所儲存之資訊。這會造成加熱與高功率消耗。非易失性半 導體裝置可避免此項問題’但具有由於電路設計上之較高 複雜性所造成之經降低資料儲存能力，其因此會造成較: 製造成本。 替代之電子記憶與轉換裝置係採用雙安定元件，盆可於 由對該裝置施加電流或其他類型之輸入，而在高阻抗狀: 與低阻抗狀態之間轉化。有機與無機薄膜半導體材料兩者， 均可被使用於電子記憶與轉換裝置中，例如非晶質硫屬化 合物半導體有機電荷轉移複合物之薄膜，譬如銅伽-四 亂基喹啉开二甲烷(Cu_TCNQ)薄膜，及有機基質中之某些無 機氧化物。此等材料已被提出作為非易失性記憶體之潛： 候選者。 許夕不同構造已經對於以半導電性材料為主之電子記憶 與轉換裝置施行。此等構造係 " 疋1尔從吹出朝向關於不同工作之 專門化之傾向。例如，扁置 纟早-平面譬如薄膜中，記憶位置 100218 1270982 土貝4址係為一種達成大數目易取用記憶位置，同時利 用合理數目之線路供電選址之簡單而有效方式。因此，對 於在兩包]拉仝+ / , 方向上具有η條線之方形柵極，記憶位置之齡 目為η2。此；^不田。+ ^ 原理已在許多固態半導體記憶體甲施行。在此 種系、、先中，每一個記憶位置具有連通至外部之專用電子電 7。此種連通係經由記憶位置達成，該記憶位置係藉由2η ::線：„中任兩條之交點決定。此交點-般係被稱為柵極交 17八有易失性或非易失性記憶元件。栅極交點可進 步包含隔離裝置’譬如隔離二極體，以使得能夠在作為 、:的與不作為標的之記憶位置之間與之中，以降低之串擾 選址。此種柵極交點已由G Μ_，现也^，9月烈日 第56頁詳述。 、Λ 數種易失性與㈣失性記憶元件已經使用各種雙安定材 抖’在柵極交點處施行 仁疋，淬多目前已知之雙安定薄 =為猎由蒸發性方法製造之不均勾多層複合結構，其很 二以控制。此外’此等雙安定薄膜並未提供製 =覆:至平面狀範圍之表面形態薄膜之機會。使用聚 貝與微粒子物質所製造之雙安定薄膜-般為不均 勻，因此不適合製造亞微米盥 4^,, ^ ^ ^ ^ ^未尺度之電子記憶與轉 換凌置。又其他雙安定薄 ,J精由&準工業方法以控制方 式I k，但其操作需要柵極 插^ _ 乂點處之向溫熔解與回火。此 種4 Μ —般會遭遇到熱管理 ο ^ ^ ^ π ^ ^ ^蟪具有向功率消耗需要量， 且僅k供”導電性”與”非導電 ^ , ^ L ^ ^ ^狀悲間之小程度差別。再 者，由於此種溥膜係在高溫 未作故難以設計允許高密 100218 1270982 度記憶儲存之堆疊裝置結構。 因此，於此項技藝中％铁 安…立… 改良之電場可程式化雙 女疋溥Μ，其可在電子印橹也Μα 用，立中此㈣胺τ 裝置中作為次級系統使 二：1 被塗敷至多種基材，並製成具有多種 1:疋之义面形恶。進一步需要包含電場可程式化雙安定 缚膜之電子記憶與轉換裝置， 其可比已知裝置更容易且較 不昂貴地製成，其會提供低邋蕾 、'導電性與尚導電性狀態間之較 有用差別，其具有降低之電源與熱需要量，且其可被堆疊 呈各種組態，以製造較高密度之電子裝置。 【發明内容】 於本文中所揭示者為—種電場可程式化薄膜，其包含一 種結合至電活性部份物質之聚合體。 亦於本文中揭示者為一種電場可程式化薄膜，其包含一 種交聯聚合體，其具有共價結合至該交聯聚合體之電子供 體及/或電子受體及/或供體—受體複合物。 亦於本文中揭示者為一種電場可程式化薄膜，其包含一 種聚合體’其中該聚合體為曱基丙烯酸9_蒽甲酯/曱基丙烯 酸2-羥乙酯/曱基丙烯酸3乂三甲氧基矽烷基）丙酯三聚物、曱 基丙稀酸竣琳-8-基酯/曱基丙稀酸2-經乙g旨共聚物、曱基丙 烯酸9-蒽曱酯/曱基丙烯酸2-羥乙酯共聚物、曱基丙烯酸喹 啉各基酯/曱基丙烯酸2-羥乙酯/曱基丙烯酸3-(三甲氧基矽 烧基）丙酯三聚物、曱基丙稀酸9-蒽甲酯、曱基丙稀酸p奎琳 各基酯，或包含至少一種前述聚合體之組合；與共價結合 至該聚合體之電活性部份物質，其中該電活性部份物質包 100218 1270982 含萘、蒽、菲、四苯環、五苯環、苯并菲、三蝶烯、第酮、 笨一甲藍素、四笨并口卜吩、2-胺基-1H-咪嗤-4,5-二曱腈、咔 唑、二環戊二烯鐵、二苯并查爾吩、酚嘧畊、四硫富瓦烯、 雙芳基偶氮基、香豆素、吖咬、啡畊、p奎琳、異峻p林、五 氟苯胺、蒽醌、四氰基蒽醌二甲烷、四氰基喳啉并二甲烷， 或包含至少一種前述電活性部份物質之組合。

亦於本文中揭不者為一種製造電場可程式化薄膜之方 法，其包括使一種包含聚合體與共價結合至該聚合體之電 活性部份物質之組合物，沉積在基材上。 亦於本文中揭示者為-種資料處理機器，其包含執行指 令之處理器；肖包含電場可程式化薄膜之記憶裝置，其中 電場可程式化薄膜包含一種共價結合至電活性部份物質之 聚合體，且進一步其中記憶裝置係與處理器呈電連通。 發明詳述 於-項具體實施例巾，被使用於電場可程式化薄膜中之 聚合體’係結合至無論是電子供體及/或電子受體及/或電 子供體-受體複合物。於另一項且骰音 、力貝-體貫施例中，被使用於電 場可程式化薄膜中之聚合體俜為可六 來口股你馮可父聯，且係結合至無論 是電子供體及/或電子受體及/或；登田& ^ 丁又篮及/ ¾璉用之電子供體-受體複 合物。可交聯一詞係意謂聚合體絲 〜月本。骽鏈具有平均官能基度大於 2，且若需要，可互相結合。 中之聚合體可具有介電常數 中’聚合體具有足夠化學與 蝕刻障壁層、晶種層、金屬 被使用於電場可程式化薄膜 為2至1000。於一項具體實施例 熱抵抗性，以忍受涉及金屬、 100218 1270982

先貝、光阻及抗反射塗層之沉積之製程。一般亦期望此聚 合體對於呈”斷開’’狀態之電場可程式化薄膜賦予低程度之 導電性，並允許電子供體與電子受體之足夠高濃度，以使 得月b夠在f接通’’狀悲下有足夠高導電性，以致使在，，斷開，， 狀恶與’’接通’’狀態間之差異容易辨識。此聚合體之導電性 係低於或等於約KM2歐姆μ公分μ。一般期望呈，，接通，，狀 態對於呈”斷開”狀態之電流比例係大於或等於5，其中大 於或等於100為一項實例，而大於或等於500為另一項實例。 大於5之接通/斷開比例係允許電場可程式化薄膜之”接 通”與"斷開”狀態容易辨識’同時大於100之接通/斷開比例 係允許"接通"與"斷開"狀態更易於辨識，而大於5〇〇之接通 \斷開比例係允許”接通”與"斷開"狀態最容易辨識。接通/ 斷開比例可經設計，以滿足裝置之要求條#。例如，具有 高阻抗感測放a器且需要較高速度操作之裝£，需要較大 接通/斷開比例，而在具有較低速度需要之裝置中，較=接 通/斷開比例是可接受的。 如上文所述，可使用具有介電常數為2至!，_《聚合體。 可4擇基質材料之介電常數（藉k表示），以致使m ”斷開"切換電壓係經設計，以順應該應用 1 前述範圍内，具有介電當動丨# +哲 疋而要。在 〜 士…數小於或等於約4之聚合體為一項 广具有小於或等於約6為另一項實例，而大於約6為又 :項貫例。在不期望被理論束缚下，咸認具 带數之聚合體可用以势泸 1電 具有較高介電常數之::二切換電壓之裝置。但是， ♦ β體亦可較慢地回應外加電場刺 100218 -10- 1270982 2雖然如此’裝置速度與切換電遂可使用具有各種介電 數之來σ體，及其他裝置參數（譬如場致可程式化薄膜之 厚度，及被頂部與底部電極所包圍之面積）加以設計，以滿 足特定應用之需要。 可使用於電場可程式化薄膜中之聚合體，係為寡聚物、 ΑΧ合體、離子鍵聚合體、樹枝狀體，共聚物，譬如嵌段與 無規則共聚物、接枝共聚物、星形嵌段共聚物或其類似物， 或包含至少一種前述聚合體之組合。如上文所述，聚合體 可結合至無論是電子供體及/或電子受體及/或選用之電子 供體_文體複合物。電子供體、電子受體及電子供體-受體 複合物係總稱為”電活性部份物質，，。 可使用於電場可程式化薄膜之聚合體之適當實例為聚縮 駿、聚丙烯酸酯樹脂、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚酯、聚醯 胺、聚醯胺醯亞胺、聚芳基化物、聚芳基砜、聚醚颯、聚 笨硫、聚砜、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚四氟乙稀、聚醚 酮、聚醚醚酮、聚醚酮酮類、聚苯并吟唑、聚吟二唑、聚 苯并嘧畊并酚噻畊、聚苯并嘧唑、聚吡啼并喹呤啉、聚焦 蜜石酸醯亞胺、聚喹哼啉、聚苯并咪唑、聚氧化啕哚、聚 酮基異吲哚啉、聚二酮基異Hi哚啉、聚三畊、聚嗒畊、聚 六氫吡畊、聚吡啶、聚六氫吡啶、聚三唑、聚吡唑、聚碳 硼烷、聚氧雙環壬烷、聚二苯并呋喃、聚鄰苯二甲内酯、 聚縮醛、聚酐、聚乙烯基醚、聚乙烯基硫醚、聚乙烯醇、 聚乙烯基酮、聚乙烯基鹵化物、聚乙烯基腈、聚乙烯基酯、 聚磺酸酯、聚硫化物、聚硫酯、聚颯、聚磺醯胺、聚脲、 100218 -11 - 1270982 聚苯并環丁稀、聚磷腈、聚石m μ氧炫或其類似物， 或包含至少一種前述聚合體之組合。 可使用於電場可程式化薄臈中之共聚物之適當實例，包 括共聚醋碳酸醋、丙烯腈丁二烯苯乙烯、苯乙稀丙烯腈、 聚醯亞胺-聚矽氧烷、聚醋-聚醚醯亞胺、聚甲基丙烯酸甲 醋-聚矽氧烷、聚胺基甲酸醋-聚矽氧烷或其類似物，或包 含至少-種前述聚合體或共聚物之組合。於一項具體實施 例中，電子供體及/或電子受體可結合至嵌段共聚物之至少 一個鍵段。由於相分離，故電子供體及/或電子受體可分離 至彼等所共價結合之嵌段之相域中。 聚合體之混合物亦可使用於電場可程式化之薄膜中。當 使用聚合體之混合物時，一般可能期望將結合至無論是^ 子供體及/或電子受體及/或電子供體_受體複合物之第一 種聚合體，與第二種聚合體混合。於—項具體實施例中， 第一種聚合體係為一種可以或可以不共價結合至無論是電 子供體及/或電子受體及/或電子供體_受體複合物之聚合 體。第-種及/或第二種聚合體可為可交聯。聚合體混合物 之適當實例包括㈣腈.丁二烯苯乙尼龍、聚碳酸醋/ 丙稀腈-丁二稀笨乙烯、丙稀腈丁二稀笨乙烤/聚氣乙稀、 聚本喊/聚苯乙稀、聚苯尼龍、聚職/丙稀猜-丁二稀-苯 乙烯、聚碳酸酯/熱塑性胺基甲酸醋、聚碳酸醋/聚對苯二 甲酸乙二醋、聚錢酯/聚對苯二甲酸丁二自旨、熱塑性彈性 體合金、尼龍/彈性體、聚醋/彈性體、聚對苯二甲酸乙二 S旨/聚對苯二甲酸丁二酯、縮醛/彈性體、苯乙烯·順丁烯二 100218 -12- 1270982 酐/丙烯腈-丁二烯_苯乙烯、聚醚醚酮/聚醚砜、聚乙烯/尼 處聚乙烯/聚縮醛或其類似物，或包含至少一種前述聚合 體混合物之組合。 如上文所述，聚合體可結合至無論是電子供體及/或電子 又體及/或選用之電子供體-受體複合物。此種結合可為例 如共價結合或離子結合。為使電子供體及/或電子受體及/ 或供體-受體複合物結合至聚合體，係使聚合體官能基化。 此等官能基亦可用以使聚合體交聯。經共價結合至聚合體 之主鍵，及/或結合至已共價結合至電子受體及/或電子供 體之基團之官能基，其適當實例包括溴基、氯基、碘基、 氟基、一級與二級胺基、羥基、硫基、膦基、烷硫基、醯 月女基、羧基、醛基、酮基、内酯基、内醯胺基、羧酸酐基、 羧酸氯化物基團、磺酸基、氯化磺醯基、膦酸基團、膦酸 氯化物基團、芳基、雜環基，二環戊二烯鐵基，包含π 5_ 環戊二烯基-Μ (M = Ti，Cr，Mn，Fe，Co, Ni，Zr，Mo, Tc，Ru，Rh，Ta，W， Re，Os，Ir)之基團，雜芳基、烷基、羥烷基、烷氧基矽烷基、 烧芳基、烷雜芳基、芳烷基、雜芳烷基、酯基、羧酸基、 醇基，包含一級、二級及三級醇類之醇基，經氟取代之羧 酸基、1，2-二羧酸基、ι，3-二羧酸基，ι，η_烷-二羧酸基，其中 η會改變，從2至9 ; m，n-烷-二醇基團，其中m為1或2,且其 中η會改變，其量為2至9; 1，2-二羧酸酯基；1，3-二羧酸酯基、 乙烯基、環氧基，η_羥烷酸基團，其中η會改變，其量為1 至m-1，且m會改變，其量為2至9;具有6至22個碳原子之 芳基二羧酸基團、具有5至21個碳原子之雜芳基二羧酸基 100218 -13- 1270982 團、具有6至22個碳原子之芳基二醇基團、具有5至21個碳 原子之雜芳基二醇基團、具有6至22個碳原子之羥芳基_魏 酸基、具有5至21個碳原子之羥基_雜芳基·羧酸基、二羧 酸酯基、1，3-二羧酸酯基，丨斤烷-二羧酸酯基，其中η會改變， 其置為2至9，具有6至22個碳原子之芳基二羧酸酯基、具 有5至21個碳原子之雜芳基二羧酸酯基、具有6至22個碳原 子之經芳基-緩酸酯基、具有5至21個碳原子之羥基-雜芳基 -敌酸酯基或其類似物，或包含至少一種前述之組合。 例如，包含（甲基）丙烯酸重複單位之聚合體可具有經結合 之電活性部份物質，以懸垂方式連接至聚合體鏈作為酯類。 這可一般性地經由使曱基丙烯酸9_蒽曱酯聚合而達成，該 曱酯具有一個經結合之電活性部份基團（例如9·蒽曱醇 基）。於舉例之具體實施例中，此單體亦可與具有不飽和基 團之其他單體聚合及/或共聚合，譬如（甲基）丙浠酸（(^_c7 ; 線性或分枝狀）烷酯、（甲基）丙烯酸（cvc?;線性或分枝狀） 羥烷酯、（曱基）丙烯酸(Ci -C8 ;線性或分枝狀）烧氧烷酯、（甲 基）丙烯酸（Ci -c8 ;線性或分枝狀）氰基烷酯、（甲基）丙烯酸 (Ci -〇7 ;線性或分枝狀）鹵烷S旨、（甲基）丙烯酸(c! -c7 ;線性 或分枝狀）全氟烷基-甲酯，（甲基）丙烯酸三-(c! -C7 ;線性或 分枝狀）烧氧基石夕烧基(Ci -C7，線性或分枝狀）烧g旨，譬如甲 基丙浠酸3-(三甲氧基矽烷基)-丙酯，（甲基）丙烯酸(C6-C22)芳 基酯、（甲基）丙烯酸(q-C7 ;線性或分枝狀）烧基-(C6_C22)芳 基酯、（曱基）丙烯酸(c5-c21)雜芳基醋、（甲基）丙烯酸(q-G ; 線性或分枝狀）烷基-(C5-C2 !)雜芳基酯或其類似物。或者， 100218 -14- 1270982 甲基丙烯酸9-蒽曱酯或丙烯酸9-蒽曱酯可與具有不飽和位 置之其他單體共聚合，譬如苯乙烯性單體，其實例為苯乙 烯，2, 3或4乙醯氧基苯乙烯，2,3或4羥基苯乙烯，2,3或4 (Ci -Q)烧基苯乙稀，2, 3或4 (C! -C0)烧氧基苯乙稀或其類似 物0 其他電活性部份物質可經適當地併入，作為（甲基）丙稀酸 系單體上之懸垂基團。其包括（甲基）丙烯酸(C10-C22)稠合環 芳基酯、（甲基）丙烯酸(Ci -C7 ;線性或分枝狀）燒基(Ci 〇_c22) 稠合環芳基酯、（曱基）丙烯酸(C9-C2 i)稠合環雜芳基酯、（甲 基）丙烯酸(Ci -C7 ;線性或分枝狀）烷基(C9-C2 i)稠合環雜芳基 酯，（曱基）丙烯酸金屬烷二烯圜基酯，譬如甲基丙烯酸二環 戊二烯鐵基酯與（曱基）丙烯酸四硫富瓦烯基-甲酯，及其硒 與碲類似物。 包含直接結合至電活性部份基團之不飽和基團之單體， 可與具有不飽和基團之其他單體聚合及/或共聚合，譬如 (曱基）丙烯酸（C「C7 ;線性或分枝狀）烧I旨、（曱基）丙烯酸 (q -C7 ;線性或分枝狀）經烷酯、（曱基）丙烯酸（Cl ;線性 或分枝狀）烧氧烧酯、（曱基）丙烯酸（C! -C8 ;線性或分枝狀） 氰基烧酯、（曱基）丙烯酸(Ci -C7 ;線性或分枝狀）烧酯、（曱 基）丙烯酸-C7 ;線性或分枝狀）全氟烷基-甲酯，（甲基）丙 烯酸三-(q-C7 ;線性或分枝狀）烷氧基矽烷基(Cl_c7 ;線性或 分枝狀）烧酯，譬如曱基丙浠酸3-(三曱氧基矽烷基)-丙酯，（甲 基）丙烯酸(even)縮水甘油酯、（曱基）丙烯酸芳基酯、（曱基） 丙烯酸(Ci -〇7 ;線性或分枝狀）烧基_(C6_C22)芳基酯、（曱基） 100218 -15· l27〇982 丙烯酸（c5-c21)雜芳基酯、（甲基）丙烯酸(cvc?;線性或分枝 狀）烷基-(c5-c21)雜芳基酯或其類似物。 替代或另外地，乙烯基取代之電活性部份物質可與具有 不飽和位置之其他單體共聚合，譬如苯乙烯性單體，其實 例為苯乙烯，2,3或4乙醯氧基苯乙烯，2,3或4羥基苯乙烯， 2, 3或4烷基（q -Q)苯乙烯，2, 3或4烷氧基（C! -C6)苯乙烯或其 類似物。乙烯基取代之電活性部份物質，譬如乙烯基取代 Φ 之稠合環芳基或稠合環雜芳基單體，N_乙烯基取代之雜芳 基單體，乙烯基金屬烷二烯圜單體，譬如乙烯基二環戊二 烯鐵，乙稀基四硫富瓦稀或其類似物，可與至少一種前述 單體共聚合，以製造適當聚合體。一般可能期望在聚合反 應後移除乙醯氧基酯上之乙醯氧基，以提供交聯之位置。 亦可使用其他聚合體，以將電活性部份基團併入聚合體 鏈内，例如聚酯、聚醯胺、聚醯亞胺等。於此情況中，電 活性部份物質為雙官能性單體，並與具有互補化學之單體 進行聚合反應。例如， 團之電活性部份物質， 聚酿。或者，可製成具有至少兩個羥基（_0H)之電活性部份 具有至少兩個羧酸或羧酸氯化物基 可適當地與二醇單體反應，以形成 物質， 物貝，以與二羧酸單體或二羧酸酐單體反應 ，以形成不同

體中電活性部份物質之電子結構之 之方式所支配。 100218 -16- 1270982 由前述基團之組合所形成之適當鏈結，包括酯類、醯胺 類、醯亞胺類、硫酯類、醚類、硫醚類、二甲醇縮甲醛類、 縮醛類、縮酮類、Friedel-Crafts反應之產物等。下述為適當 電子供體與電子受體之實例，伴隨著將彼等結合至聚合體 之舉例化學部份物質。 電活性部份物質之適當實例係示於下文，伴隨著將彼等 以共彳貝方式結合至聚合體之取代圖式。此外，亦給予電活 鲁 性部份物質是否能夠充作電子供體（D)、電子受體（A)，抑 或月b夠充作無論是供體及/或受體（d/a)之指徵，以半實驗 PM3分子軌道近似法中之電離能與電子親和力之計算值為 基礎。 緃取代之蒎部份物質可共價結合至根據下列結構①與 (Π)之聚合體：

其中在結構(1)中，A可為乙烯基、羥甲基(-CH2OH)、羥基、 、、女一、、及胺、叛酸、繞酸氣化物或績酸。乙浠基會使 派礼物質共價結合至聚合體，其方式是使乙烯基併入聚 f體之主鏈中。經甲基、«、-級胺及二級胺基係將蔽 刀物質以共價方式結合至聚合體作為懸垂基團。此種鍵 結之適當實例可發生在（甲基）丙烯酸酯單體基團中。羧酸、 100218 -17- 1270982 羧酸氣化物及磺酸基係將蒎部份物質以共價方式結合至聚 合體作為懸垂基團，譬如可在乙烯醇羧酸酯或乙烯醇磺酸 酯中言正實。 在上文結構（II)中，B與C可為相同或不同，且可為氫、 乙嫦基、經甲基（-CH；2 OH)、經基、一級胺、二級胺、叛酸、 羧酸氣化物或磺酸。在B與C兩者均為乙烯基之情況中，該 乙烯基B可共價結合至第一種聚合體之主鏈，而第二個乙 烯基C可共價結合至第二種聚合體之主鏈，其方式係致使 幫助聚合體之父聯。當B為乙稀基，而c為無論是經甲基 (-CH2〇H)、羥基、一級胺或二級胺時，乙烯基可將蒎部份 物質以共價方式結合至聚合體，同時羥甲基、羥基、一級 胺或二級胺基團可藉由胺基塑料樹脂，異三聚氰酸縮水甘 油酯樹脂，譬如異三聚氰酸三縮水甘油酯或其類似物，用 於交聯。 作為進一步實例，當B與C兩者均為羧酸或羧酸氯化物 時，經取代之蒎部份物質可經由與二醇反應 ’而形成聚S旨，

共價結合至聚合體。 100218 -18- 1270982 如結構（III)中所示之經取代2-胺基咪唑-4,5-二曱猜 (AIDCN)部份物質，可以如將於下文描述之數種方式，共價 結合至聚合體：

其中，在結構(III)中，D與E可為氫，對羧酸基（例如（甲基） 丙:酸單體）、經甲基或乙浠基之直接醯胺鍵結。D或e可 為芳基，或線性、分枝狀或環狀烷基，具有1至26個碳原子。 如上文所洋述’痴·基可與緩酸基形成S旨類，例如在（甲基） 丙烯酸酯單體中’以產生懸垂基團，且乙烯基可直接偶合 至聚合體之主鏈中。此外，亦可形成醯胺-酯類型之聚合體。 經取代之咔唑部份物質，譬如結構（IV)中所示者，係為電 子供體，且可共價結合至聚合體：

其中F可為氫，對例如（甲基）丙烯酸單體中之羧酸基，羥曱 基或乙烯基之直接醯胺鍵結，且G可為氳、乙烯基、羥曱 基、1½•基、一級胺、一級胺、紱酸、魏酸氯化物或續酸。 乙烯基可將咔唑部份物質共價結合至聚合體，其方式是使 100218 •19- 1270982 乙稀基併人聚合體之主鏈中，㈣甲基、祕、—級胺及 二級胺基可將°卡唾部份物質以共價方式結合至聚合體，作 為懸垂基團。_、《氯化物及確酸基係料唾部份物 質以共價方式結合至聚合體，作為懸垂基團，如可在乙烯 醇羧酸S曰或乙烯醇磺酸酯中証實。

經取代之二環戊二烯鐵，譬如在結構（V)、及以印中 所不者係表現得有如電子供體，且可共價結合至聚合體，

其中結構(v)中之1可為乙烯基、羥甲基、羥基、一級胺、 二級胺、羧酸、绫酸氣化物或磺酸。乙烯基係將二環戊二 T鐵"卩伤物質共價結合至聚合體，其方式是將乙烯基併入 聚合體之主鏈中，而羥甲基、羥基、一級胺及二級胺基係

將一％戊二烯鐵部份物質以共價方式結合至聚合體，作為 芯垂基團，譬如在（曱基）丙烯酸酯單體基團中可能是此情 况緩酸、羧酸氣化物及磺酸基係將二環戊二稀鐵部份物 貝乂 4垂方式共價結合至聚合體，譬如在乙烯醇羧酸酯或 乙烯醇磺酸酯中可能是此情況。 於結構（VI)與（VII)中之J，K可為相同或不同，且可為氫、 乙歸基、經曱基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯 化物或續酸。應明瞭的是，此處所概述之化學亦允許形成 聚S旨與聚酸胺、乙烯基取代之聚合體及類似上文所概述之 經交聯聚合體。 100218 -20- 1270982 經取代之二 (IX)中見及者 笨并查爾吩部份物質，譬如可在結構(VIn)與 ’亦可共價結合至聚合體。

在結構(VIII)與（IX)中，χ可為硫屬元素，L可為乙烯基、羥 曱基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯化物或磺酸。 乙稀基係將二苯并查爾吩部份物質共價結合至聚合體，其 方式是使乙烯基併入聚合體之主鏈中，而羥曱基、經基、 一級胺及二級胺基係將二苯并查爾吩部份物質以共價方式 結合至聚合體，作為懸垂基團，譬如可在（曱基）丙烯酸酯單 體中証實。羧酸、羧酸氣化物及磺酸基係將二苯并查爾吩 部份物質以懸垂方式共價結合至聚合體，譬如可在乙烯醇 鲮酸酯或乙烯醇磺酸酯中所見及者。在上文所示之結構 (VIII)與（IX)中，當χ為硫時，部份物質表現得有如供體，而 當X為砸時，此結構表現得有如受體。 Μ與N可為相同或不同，且可為氫、乙烯基、羥曱基、 羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯化物或磺酸。應明 瞭的是，此處所概述之化學亦允許形成聚酯與聚醯胺、經 乙烯基取代之聚合體及類似上文所概述之經交聯聚合體。 為了 Μ及/或Ν將使二苯并查爾吩部份物質共價結合至聚 合體’若Μ為氫’則Ν不能為氫，且反之亦然。 經取代之酚噻畊（D/A)部份物質，譬如結構⑻中所示者， 亦可共價結合至聚合體， 100218 1270982

Q

其中Q可為氫、羥甲基或乙烯基，且R可為氫、乙烯基、羥 甲基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯化物或磺酸。 乙烯基係使酚噻畊部份物質共價結合至聚合體，其方式是 使乙烯基併入聚合體之主鏈中，而羥甲基、羥基、一級胺 及二級胺基係將酚嶁畊部份物質以共價方式結合至聚合 體，作為懸垂基團，譬如當醯胺或酯以共價方式結合至（甲 基）丙烯酸酯單體基團時所可能見及者。羧酸、羧酸氯化物 及磺酸基係將酚嘧畊部份物質以共價方式結合至聚合體， 作為懸垂基團，譬如可在乙烯醇羧酸酯或乙烯醇磺酸酯中 所見及者。 應明瞭的是，此處所概述之化學亦允許形成聚酯、聚醯 月女乙燁基聚合體及類似上文所概述之經交聯聚合體。為 了 Q及/或R將使酚嘍畊部份物質以共價方式結合至聚合 豆右Q為虱’則R不能為氫，且反之亦然。可以類似關於 酚嘧畊之方式使用之其他分子，係為二氫_喳呤啉，其表 現得有如供體受體複合物，5，1〇_二氫_啡畊，其表現得有^ 供體，及5,7，12，14-四氫峙喏啉[2,3_b]徘畊，其表現得有 體。 〇仏 經取代之四硫富瓦烯（TTF)，譬如結構（XI)中所示者，。 共價結合至聚合體， 可 100218 -22- 70982 <K〕

XI :二為硫或硒，而T可為乙烯基，甲基、羥基、一級胺、 女㈣夂、羧酸氣化物或磺酸。乙烯基係將四硫富瓦 ’或四碼富瓦烯部份物質共價結合至聚合體，其方式是使 乙烯基併人聚合體之主鏈中，同時經甲基、經基、一級胺 及—級胺基係將四硫富輯或㈣富瓦稀部份物質以共價 、σ至聚。體，作為懸垂基團，譬如可在（甲基）丙烯酸 所見及者1酸、《氯化物及續酸基係將 :硫富瓦烯或四硒富瓦烯部份物質以懸垂方式共價結合至 聚口體§如可在乙烯醇羧酸酯或乙烯醇磺酸酯中所見及 者。 經取代之雙芳基偶氮基部份物質，譬如可在結構(ΧΙΙ)、 (XIII)或（XVI)中所見及者’一般係表現得有如供體-受體複 合物’且亦可共價結合至聚合體。 Ν II Ν

XII

XIII

結構(XII)、（XIII)或（XVI)可呈無論是同側或對側異構形式。 在結構(XII)、（XIII)或（XVI)中，Τ可為乙烯基、羥甲基、羥 基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯化物或磺酸，其中乙 100218 -23- 1270982 烯基係將雙芳基偶氮基部份物質共價結合至聚合體，其方 式是使乙烯基併入聚合體之主鏈中，然而羥曱基、經基、 一級胺及二級胺基係將雙芳基偶氮基部份物質以共價方式 結合至聚合體，作為懸垂基團，譬如可在（甲基）丙烯酸酯單 體基團中所見及者。羧酸、羧酸氯化物及磺酸基係將雙芳 基偶氮基部份物質以共價方式結合至聚合體，作為懸垂基 團，譬如可在乙烯醇羧酸酯或乙烯醇磺酸酯中所見及者。 在結構(XIII)與（XVI)中，U與V可為相同或不同，且可為氫、 乙烯基、羥曱基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氣 化物或^酸。應明瞭的是，此處所概述之化學亦允許形成 聚醋與聚醯胺、經乙烯基取代之聚合體及類似上文所概述 之經交聯聚合體。為了U及/或V將使雙芳基偶氮基部份物 質以共價方式結合至聚合體，若U為氫，則V不能為氫，且 反之亦然。 經取代之香豆素部份物質，譬如結構（XV)中所示者，表 現得有如電子受體，且亦可共價結合至聚合體，

其中AA、BB及CC可為相同或不同，且可為氫、乙烯基、 經曱基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯化物或磺 酸。應明瞭的是，此處所概述之化學亦允許形成聚醋與聚 醯胺、經乙烯基取代之聚合體及類似上文所概述之經交聯 聚合體。為了 AA及/或BB及/或CC將以共價方式使香豆素 100218 -24- 1270982 AA、BB或CC中至少一個不能為 部份物質結合至聚合體 氫。 一丨丨々切貝， 中所示者’亦可共價結合至聚合體

在結構(XVI)與（XVII)中，郎細可為相同或不同，且可為 氫、乙烯基”里甲基、經基、一級胺、二級胺、叛酸、缓 酸氯化物或錢。應明瞭較，此處所概述之化學亦允許 形成聚S旨與聚醯胺、經乙烯基取代之聚合體及類似上文所 概述之經交聯聚合體。為7DD及/或邱將使啡ρ井或口丫咬部 份物質以共價方式結合至聚合體，若為氮，則ΕΕ不能為 氫，且反之亦然。 經取代之喳啉或異喳啉部份物質，譬如結構（XVIII)或 (XIX)中所示者此兩者均表現得有如電子受體，亦可共價 結合至聚合體。

在結構(XVIII)與（XIX)中，FF與GG可為相同或不同，且可為 氫、乙烯基、羥甲基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、叛 酸氯化物或磺酸。應明瞭的是，此處所概述之化學亦允許 形成聚酯與聚醯胺、經乙烯基取代之聚合體及類似上文所 100218 -25- 1270982 概述之經交聯聚合體。為了 ff及/或GG將使喳啉或異喳啉 部份物質以共價方式結合至聚合體，若FF為氫，則GG不能 為氫，且反之亦然。 經取代之五氟苯胺部份物質，譬如結構（XX)中所示者， 表現得有如電子受體，且亦可共價結合至聚合體。

XX 在結構(XX)中，JJ可為乙烯基或羥甲基。 經取代之蒽醌部份物質，譬如結構（χχι)中所示者，亦表 現得有如電子受體，且亦可共價結合至聚合體。

在結構（XXI)中，ΚΚ與LL可為相同或不同，且可為氫、乙 烯基、搜曱基、羥基、一級胺、二級胺、羧酸、羧酸氯化 =或續酸。應明瞭的是，此處所概述之化學亦允許形成聚 酯與聚醯胺、經乙烯基取代之聚合體及類似上文所概述之 、二又聯♦合體。為了 ΚΚ及/或LL將使蒽醌部份物質以共價 方式結合至聚合體，若LL為氯，則叹不能A氮，且反之亦 ,。具有二氰基亞曱基以取代一或兩個氧原子之化合物， -如四氰基慈酉昆二曱烧（TCNAX 一般為電？受體），亦可以 100218 -26- 1270982 類似上述之方式，共價結合至聚合體。 於結構（XXII)中所示之經取代四氰基喳啉并二甲烷 (TCNQ)部份物質，一般係表現得有如電子受體，且可共價 結合至聚合體。

在結構(XXII)中，MM可為乙烯基、羥甲基、羥基、一級胺、 一級胺、魏酸、羧酸氯化物或磺酸。此等官能基係用以將 TCNQ部份物質以共價方式結合至聚合體，無論是如上述經 由將其併入聚合體之主鏈中，與乙烯基取代一樣，或經由 將其併入作為懸垂基團。 亦可作為電活性部份物質使用者，係為本性上導電性或 半導電性聚合體。此種本性上電活性部份物質之導電性或 半導電性聚合體之實例，包括聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩、 聚石西苯、聚苯并噻吩、聚苯并砸苯、聚（2,3_二氫_噻吩并 [3,4领1，4]二氧陸圜稀）(PED〇T)、聚次苯基-乙烯類、聚（對_苯）、 聚（對-吡啶基苯）、聚乙炔、熱解聚丙烯腈或其類似物，或 包含至少一種前述導電性或半導電性聚合體之組合。此等 本性上導電性或半導電性聚合體一般係充作電子供體，且 可與一或多種電子受體調配，無論該電子受體是否共價結 合至另一種聚合體。適合作為電子受體使用之聚合體，係 為聚[(7’基-7H，12H-苯并[de]-味唑并[4，，5, ： 5,6]笨并咪唑并 100218 -27- 1270982 [2山幻異，奎琳-3,4: ιι，ΐ2-四基）_12_羰基](BBL)。 在前文以及下文中，一級與二級胺基係以-NHR表示，其 中R可為氫、具有1至2〇個碳原子之烷基、具有6至26個碳 原子之芳基，二烷基醚基團，其具有丨至12個碳原子在第一 個鏈段中，與丨至12個碳原子在第二個鏈段中，具有7至％ 個石反原子之烷基芳基、具有7至24個碳原子之芳烷基、具有 1至20個碳原子之羥基封端烷基、具有3至2〇個碳原子之經 酮基取代烷基，烷基或芳基羧酸酯，其具有丨至丨2個碳原子 在羧酸鏈段中，與丨至12個碳原子在醇性或酚性鏈段上，碳 H曰，其具有i至12個碳原子在第一個醇鏈段中，與1至Μ 個碳原子在第二個醇鏈段中，或其類似基團。再者，意欲 涵盍可以或可以不參與共價鍵結至聚合體之其他取代基， 譬如烷基，其具有U2〇個碳原子，醛類、酮類、羧酸類、 酿類、醚類及其類似物，其具有個碳原子，烷基芳基 化合物，其具有7至2〇個碳原子，芳烷基化合物，其且有7 至20個碳原子，或可施行其他取代，以改良溶解度、-聚人 體相容性、成膜特性、熱性質等。例如，可使用6姻冰 甲基咣烯！酮，作為經取代之香豆素。 此等聚合體具有數目平均分子量為至卿〇〇克/莫 耳。於一項具體實施例中，聚合體具有數目平均 為 3,000至500,000克/莫耳。於另— 里為 八體貝靶例中，聚合體且 有數目平均分子量為5，_至⑽麟克/莫耳。於又另二 體實施例中’聚合體具有數 … 古/苗1取人 』刀于里為10,000至3〇,〇〇〇 克莫耳4合體之分子量可藉由凝膠渗透層析測定。 100218 -28· 1270982 交聯作用-般係藉由共價結合至聚合體主鏈之宫能基產 生。但是，未共價結合至聚合體之其他交聯劑亦可^交 聯作用。-般期望交聯劑具有官能基度大於或等於約2。此 種交聯劑之適當實例，係為石夕燒、乙稀系不飽和樹脂、胺 基塑料樹脂、酚醛塑料、酚_甲醛樹脂、環氧類或其類似物， 或包含至少一種前述之組合。 矽燒之適當實例係為四院氧基石夕烧、烧基三炫氧基石夕院、 六甲基二石夕氮燒、三氯基院基石夕烧或其類似物，或包含至 少一種前述之組合。Γ祕会丁私 乙烯糸不飽和樹脂之適當實例，包括 烯煙（乙烯、丙稀）、（甲基）丙烯酸CrC12烧醋、丙稀腈、 烯‘ 丁一烯、異戊二烯、乙烯系不飽和矽氧烷、酐類及 醚類。在本專利說明書中，（甲基）丙烯酸酉旨-詞係涵蓋丙烯 酸醋或甲基丙婦酸酿’而（甲基）丙稀腈一詞係涵蓋丙婦腊或 甲基丙稀腈。 其他類型交聯劑之摘者宭 ^ 、 週田貫例，包括酚甲醛酚醛清漆、酚 7可溶_樹脂、咬喃三聚物、咬喃樹月旨、顏塑料盥 喃之組合（㈣可溶祕_或㈣清漆）、環氧基改質 之㈣清漆、尿素亀、三聚氛胺修環氧基改質之 齡t塑料，縮水甘油基取代之異三聚氰酸醋，譬如異三聚 鼠酉夂二縮水甘油酉旨’其他環氧樹脂或其類似物，或包含至 >'一種前述交聯劑之組合。 胺基塑料樹脂可為烧基化之經甲基三聚氛胺樹脂、貌基 化之經甲基脲或其類似物，或包含至少一種前述之組合。 诉生自醇類及/或《與三聚氰胺、甘脲、尿素及/或苯并 100218 -29- 1270982 脈胺之反應之胺基塑料樹脂，—般為較佳。 代或其他經取代之醇類， 其類似物，或包含至少一 可用於製造胺基塑料樹脂之醇類，其適當實例為單經醇 類，譬如甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、庚醇或 其：似物：芳族醇類，譬如爷醇、間苯二盼、五倍子齡、 兒茶盼、_苯二盼或其類似物，環狀醇，譬如環己醇，二 醇之單謎類’譬如㈣素、卡必醇或其類似物，經函素取 譬如3-氣基丙醇、丁氧基乙醇或 種前述醇類之組合。可用於製造

胺基塑料樹脂之酸類之適當實例為甲越、乙駿、巴豆酸、 丙烯醛、”醛、糠醛、二醇類或其類似物，或包含至少 一種前述酸類之組合。 亦可採用其他胺類與醯胺類之縮合產物作為交聯劑。三 畊、二畊、三唑、胍類、胍胺類及此種化合物之烷基_與芳 基取代衍生物（包括烷基_與芳基取代之尿素類，及烷基· 與芳基取代之三聚氰胺）之醛縮合物，亦可採用作為交聯 劑。此種化合物之適當實例係為N，N，_二甲脲、苯并脲、雙 氰胺、甲龜脈胺、乙醯脈胺、三聚氰酸二醯胺、2_氯基 二胺基-1，3,5-三畊、6-甲基-2,4-二胺基-1，3,5-三畊、3,5-二胺基 三唑、三胺基嘧啶、2-巯基-4,6-胺基嘧啶、3,4,6-參（乙胺 基）-1，3,5-三畊、1，3,4,6-肆（甲氧基曱基）四氫-味唾并[4,5-d]咪唑 -2,5-二酮（以 Powderlink 1174 為名銷售，Cytec 工業公司）、ΐ，3,4,6· 肆（丁氧基甲基）四氫-咪唑并[4,5-d]咪唑-2,5-二酮、 N5N5N’，N\N’’，N’’-陸（曱氧基甲基）-1，3,5-三畊-2,4,6-三胺、 N，N，Nf，Nf，N”，N”-陸（丁氧基甲基）-l，3,5-三 4 -2,4,6-三胺、3a-丁基 100218 -30- 1270982 -1，3,4,6-甘脲、1，3A6-肆（曱氧基甲基）、3a-丁基-1，3,4,6-肆（丁氧 基甲基）6a-甲基，氫-味唑并[4,5_d]咪唑-2,5·二酮或其類似物。 於一項具體實施例中，一般期望利用含有羥烷基之胺基 塑料樹脂。一般期望使此等羥烷基之一部份醚化，以提供 溶劑可溶性樹脂。更佳胺基塑料樹脂係為以甲醇或丁醇所 醚化者。 一般期望以0.01至20重量％之量使用交聯劑，以電場可程 式化薄膜之總重量為基準。於一項具體實施例中，一般期 羞以0.1至15重量％之量使用交聯劑，以薄膜之總重量為基 準。於另一項具體實施例中，一般期望以〇·5至1〇重量％之 量使用交聯劑，以薄膜之總重量為基準。於又另一項具體 實施例中，一般期望以丨至7重量％之量使用交聯劑，以薄 膜之總重量為基準。酸及/或酸發生劑之舉例量為6重量％， 以電場可程式化薄膜之總重量為基準。 電％可程式化薄膜組合物可進一步包含酸及/或酸發生 劑，以在薄膜組合物之熟化期間催化或促進交聯作用。適 當酸包括芳族磺酸，譬如曱苯磺酸、苯磺酸、對叶二基苯 磺酸；氟化烷基或芳族磺酸，譬如鄰_三氟甲基笨磺酸、三 氟曱烷％酸、全氟丁烷磺酸、全氟辛烷磺酸，或其類似物， 或包含至少一種前述酸之組合。於一項具體實施例中，酸 發生劑為熱酸發生劑。於另一項具體實施例中，該熱酸發 生劑係於活化作用時產生續酸。適當熱酸發生劑為有機確 酸之烧基㈣，譬如2,4,4,6_四溴基環己二稀，1^ 息香酯、曱苯磺酸2-确基爷_、甲苯石黃酸4-硝基»或其類 100218 !27〇982 似物，或包含至少一種前述之組合。 痛又期望以0.01至10重量％之量，將酸及/或酸發生劑使 用於電場可程式化薄膜中，以薄膜之總重量為基準。於一 項具體實施例中，一般期望以〇·ΐ至δ重量％之量，將酸及/ 或酉文t生劑使用於電場可程式化薄膜中，以薄膜之總重量 為土準。於另一項具體實施例中，一般期望以0.5至5重量 。之里，將酸及/或酸發生劑使用於電場可程式化薄膜中， 、★膜之總重1為基準。於又另一項具體實施例中，一般 、 3重I %之量，將酸及/或酸發生劑使用於電場可 辁式化薄膜中，以薄膜之總重量為基準。酸及/或酸發生劑 之舉例量為2重量％，以電場可程式化薄膜之總重量為基 #如上文所述，聚合體係經由官能基結合至電活性部份物 貝，其可為電子供體及/或電子受體及/或供體-受體複合 物右而要，電活性部份物質可具有保護性殼層。電活性 部份物質可為例如官能基、分子、毫微粒子或粒子。 電子供體可為有機或無機電子供體。電子供體可例如具 有平均大小為至高100毫微米，且可視情況含有保護性有機 或無機殼層。電子供體可包含金屬、金屬氧化物、類金 原=、半導體原子，或包含至少一種前述之組合。保護 (生有機及/或無機殼層係預防電子供體聚集。所使用之電子 H車乂佳係小於或等於10毫微米直徑。毫微粒子之大小可 ，以！!足特定裝置與操作溫度之需要。包含金屬原 有特疋大小之毫微粒子之帶隙5，可藉由Kubo式（I) 100218 -32- 1270982 估計 AEf (ι) 3·Ν =為整體金屬之費米能量(通常約5ev)，_由電子 原子所形成粒子中之原子數目。由電子供體之原子所 形ί之粒t可顯示金屬行為、半導電性行為或絕緣行為， 依皿度而定。粒子之大小_般為溫度依存性，且係血温产 成反比。於較低溫度下，為顯示金屬行為，故粒子：小： 般性為較大，然而，於較高溫度下，粒子可在較 小下顯示金屬行為。 -丁穴 子之粒子可展示庫侖阻抑作用，其係為半導體粒 子之特性。這在其中關於裝置之操作僅需要小數目 流：之狀況中’是所想要的。在此種狀況中，i毫微米二譜 之笔微粒子，係為室溫操作所想要的。 如上文所述，一般期望電子供體具有平均粒子大小 高約刚毫微米。在此範圍内，一般期望具有有機電子供體 大於或專於2，大於或等於3，及大於或等於5毫微米。亦 期望的是，在此範圍内，一般期望具有有機電子供體小於 或切90，小於或等於乃，及小於或等於的毫微米。電子 i、體與電子文體之大小可藉由—些技術度量，譬如低角度X I線散射、掃描或透射式電子顯微鏡術或原子力顯微鏡Z 選用之保龜殼I时使得電子供體粒子可溶於適當溶 劑中。保護性殼層之厚度亦可改變可發生之電子透納作用 之里因此’保護層之厚度可依電子透納作用與系統所要 100218 -33- 1270982 之/合解特彳玫而改變。例如，在其中一般期望所儲存之電荷 具有長壽命之記憶裝置中，環繞電荷供體之較厚保護性殼 層將預防電子重組，藉以保存所儲存之電荷。保護性殼層 之厚度係依特定部份物質以及溶液中之溶劑與溶質而定。 有機電子供體之平均保護性殼層係為至高約1〇毫微米厚 度。在此範圍内，一般期望具有保護性殼層大於或等於15， 且大於或等於2毫微米。亦期望的是，在此範圍内，一般期 望保護性殼層小於或等於9，小於或等於8，及小於或等於 6毫微米。 有機電子供體部份物質之適當實例，包括但不限於四硫 虽瓦烯、4,4’，5-三甲基四硫富瓦烯、雙（乙烯二硫基）四硫富瓦 烯、對-苯二胺、N-乙基咔唑、四硫基四苯環、六曱苯、四 曱基四石西富瓦烯、六亞甲基四硒富瓦烯或其類似物，或包 含至少一種前述之組合。 無機電子供體一般係經由使過渡金屬之金屬-_化物鹽 或金屬-函化物複合物還原而形成，該金屬譬如鐵（Fe)、錳 (Μη)、鈷（Co)、鎳（Ni)、銅（Cu)、釕（Ru)、鍺（Rh)、鈀（Pd)、 銀（Ag)、銖（Re)、锇（〇s)、銀（Ir)、舶（Pt)或金（Au)。鹵化物複 合物及鹽一般係以NaBEt3H或NR4+BEt3H·、NaBH4、抗壞血 酸、檸檬酸或其他適當還原劑，於RSH、RR，R，，N、RR，R，，R，，，N+、 RR’RnP或其類似物存在下還原，其中R、R’、R”及R”’各可為 相同或不同，且表示氫、具有4至20個碳原子之烷基、具有 6至26個碳原子之芳基或稍合環芳基，二烧基鱗，其具有1 至12個碳原子在第一個鏈段中，與1至12個碳原子在第二個 100218 -34- 1270982 鏈ί又中，具有7至24個碳原子之烧基芳基、具有7至24個碳 原子之芳烷基、具有1至20個碳原子之羥基封端烷基、具有 4至20個碳原子之酮基取代烷基，烷基或芳基羧酸酯，其具 有1至12個碳原子在羧酸鏈段中，與丨至12個碳原子在醇性 或酚性鏈段上，碳酸酯，其具有丨至12個碳原子在第一個醇 鏈段中，與1至12個碳原子在第二個醇鏈段中，或其類似物。 在前文中，烷基可為線性、環狀或分枝狀。此還原作用一 φ 般係於四氫呋喃、2,2’聯吡啶、8-羥基喳啉或會幫助保護性 冗又層在電子供體上形成之其他適當配位體存在下進行。 於一項具體實施例中，保護性殼層包含氧化矽；Rs_基團， 其中R為具有1至24個碳原子之烷基、具有丨至24個碳原子 之環烷基、具有7至24個碳原子之芳烷基、具有7至24個碳 原子之烧基芳基、具有1至24個碳原子之醚、具有1至24個 碳原子之酮、具有〗至24個碳原子之酯、具有丨至24個碳原 子之硫醚或具有1至24個碳原子之醇；基團，其中r • 與11，可為相同或不同，且可為氫、具有1至24個碳原子之烷 基、具有1至24個碳原子之環烷基、具有7至24個碳原子之 芳烷基、具有7至24個碳原子之烷基芳基、具有丨至以個碳 原子之醚、具有1至24個碳原子之酮、具有丨至24個碳原子 之酯、具有1至24個碳原子之硫醚或具有1至24個碳原子之 醇；四氫呋喃、四氫嘧吩，或包含至少一種前述之組合。 四氫嘧吩可用以使含有錳（Μη)、鈀（Pd)及鉑（Pt)之電子供 體安定化。此等無機電子供體係經由使金屬鹽，譬如二漠 化欽（Μ.2)、氣化鉑（PtCU)及氯化鈀（PdClJ，以三乙基爛氣 100218 -35- 1270982 化鉀（Κ+ΒΕ^ίΤ)或硼氳化四烷基銨(其中r為具 有6至20個碳原子之烷基），於四氫噻吩存在下還原而製成。 甜菜鹼界面活性劑亦可作為安定劑使用，以在電子供體粒 子上形成保護性殼層。 於另一項具體實施例中，無機及/或有機金屬毫微粒子電 子供體係衍生自過渡金屬，譬如 1^，0\11*，朽及入11，其方式是使其鹵化物鹽、鹵化物複合物或 其乙醯基丙酮酸鹽（ACAC)複合物，以還原劑還原，譬如 NaBEtsΗ、NR4+BEt3H·、NaBH4、抗壞血酸、擰檬酸或其類似 物。於又另一項具體實施例中，混合之金屬無機電子供體 可經由使過渡金屬_化物鹽、其鹵化物複合物及其ACAC複 合物之混合物還原而獲得。於又另一項具體實施例中， Fe，Co, Ni，Cu，Ru，Rh，Pd，Ag，Re，Os，Ir，Pt 及 Au 之 _ 化物鹽、鹵化 物複合物或ACAC複合物之電化學還原，亦使用多種安定 劑，譬如THF、四氫嘧吩、具有1至20個碳原子之烷硫醇類、 具有1至20個碳原子之烧基胺類或甜菜驗界面活性劑，用以 製備無機電子供體。 電子供體一般係以1至30重量百分比（重量％)之量，存在 於電場可程式化薄膜中；其中重量百分比係以電場可程式 化薄膜之總重量為基準。於一項具體實施例中，電子供體 可以5至28重量％之量，存在於電場可程式化薄膜中。於另 一項具體實施例中，電子供體可以10至26重量％之量，存 在於電場可程式化薄膜中。於又另一項具體實施例中，電 子供體可以15至25重量％之量，存在於電場可程式化薄膜 100218 -36- 1270982 中。 最適宜電子受體之通 用-或多種電子受體、系被其電子親和力所影響。可使 改良之寶…峰’以使_降至最低，同時提供經 或供體/〜“ 冑用夕種不同電子供體、受體及/ . 又體複“勿，以提供多重轉換特 位元之儲存在薄膜u —ο 仃多重 包括8rA太 早—70件中。電子受體之適當實例， 8免基喹啉、酚噻啡、

甲誌去入友 y，10 一甲基感、五氟苯胺、苯二 “ i氟苯一甲藍素、四苯基卟吩、銅 鋼全貌苯二甲藍素、銅四苯基十甲；素 问亞十〜3_冬4.概終 ::氣物二醇、苯并 林开H料、氯Η _>Φ—)或其類似物， 或包含至少一種前述電子受體之組合。 電子受體較佳為毫微粒子，且一般係具有粒子大小為工 ^ 100毫微米。在此範圍内，一般期望具有電子受體大於或 寺於1·5，大於或等於2毫微米。亦期望的是，在此範圍内， 一般期望具有電子受體小於或等於50，小於或等於25，及 小於或等於15毫微米。適當受體毫微粒子包括但不限於氧 化銻錫、氧化銅及針鐵礦（Fe〇〇H)。 電子受體一般係以丨至3〇重量％之量，存在於電場可程式 化薄膜中’以薄膜之總重量為基準。於一項具體實施例中， 電子受體可以5至28重量％之量，存在於電場可程式化薄膜 中。於另一項具體實施例中，電子受體可以1〇至26重量％ 之量’存在於電場可程式化薄膜中。於又另一項具體實施 100218 -37- 1270982 存在於電場可程 例中’電子受體可以15至25重量％之量 式化薄膜中。

愚電子供體與電子受體，無論其是否結合至聚合體，係 欲被合併在相同調配物中時，咸認一些供體與受體將會反 心、开/成（、體_文體複合物，或者，電荷轉移鹽。反應之 私度係依電子供體之電子親和力、電子受體之電離電位， 動力學因f ’譬如活化能、活化熵及活化體積，及可歸因 於基質作用之能量而定。除了由於電子供體與電子受體間 之反應結果而自發性地形成以外，可將供體_受體複合物視 情況添加至調配物中，以調整”接通，，與"斷開”閥電壓、” 接通”狀態電流、”斷開”狀態電流等。亦意欲涵蓋的是，供 體受體複合物，無論其是否結合至聚合體，可個別地添加 至薄膜中，以調整閥值接通與斷開電壓。進一步意欲涵蓋 的是，供體-受體複合物之供體與受體部份，兩者均可結合 至聚合體。 可使用廣泛列舉之供體_受體複合物。此種複合物，包括 但不限於四硫富瓦烯_四氰基喳琳并二曱烷；六亞甲基四硫 畜瓦烯-四氰基P奎琳并二曱烧；四石西富瓦烯_四氰基峻p林并二 曱烷；六亞甲基四硒富瓦烯-四氰基喳啉并二甲烷；曱基叶 唑-四氰基喹啉并二曱烷；四甲基四硒富瓦烯_四氰基峻p林并 二甲烷；包含金、銅、銀或鐵之金屬毫微粒子，氰基p奎琳 并二曱烷複合物，二環戊二烯鐵，氰基^奎啉并二甲烷複合 物；四硫基四苯環、四曱基-對-笨二胺或六曱苯_四氰基喹 啉并二曱烷複合物；四硫富瓦烯、六亞曱基四硫富瓦烯、 100218 -38- 1270982 四石西富瓦稀、六亞曱基四硒富瓦烯或四甲基四硒富瓦烯-N-烷基咔唑（CrCiQ，線性或分枝狀）複合物；四硫基四苯環、 四曱基-對-苯二胺或六曱苯-Buckminster富勒稀C6 〇複合物；四 硫富瓦烯、六亞甲基四硫富瓦烯、四硒富瓦烯、六亞甲基 四硒富瓦烯或四曱基四硒富瓦烯烷基咔唑（CVQo，線性 或分枝狀）複合物；四硫基四苯環、四甲基-對-苯二胺或六 曱苯-四氰基苯複合物，四硫富瓦烯、六亞甲基四硫富瓦烯、 四石西富瓦稀、六亞曱基四硒富瓦烯或四甲基四石西富瓦稀 烷基咔唑（q-qo，線性或分枝狀）複合物，四硫基四苯環、 四曱基-對-苯二胺或六曱苯-四氰基乙烯複合物；四硫富瓦 烯、六亞甲基四硫富瓦烯、四石西富瓦稀、六亞甲基四石西富 瓦烯或四曱基四硒富瓦烯烷基咔唑〇，線性或分枝 狀）複合物，四硫基四苯環、四甲基-對-苯二胺或六曱苯· 對-四氯酿複合物，或包含至少一種前述供體-受體複合物 之組合。 當使用供體-受體複合物時，其一般係以〇_〇5至5重量〇/0 之量，存在於電場可程式化薄膜中，以薄膜之總重量為基 準。於一項具體實施例中，供體-受體複合物係以〇·5至4重 量〇/〇之量，存在於電場可程式化薄膜中，以薄膜之總重量 為基準。於另一項具體實施例中，供體-受體複合物係以1 至3.5重量％之量，存在於電場可程式化薄膜中，以薄膜之 總重量為基準。於又另一項具體實施例中，供體-受體複合 物係以L5至3重量％之量，存在於電場可程式化薄膜中， 以薄膜之總重量為基準。 100218 -39- 1270982 、二可程式化薄膜可藉由數種不同方法製造。於-種製 、之方法中，係使包含共價結合至電子受體及/或電子 供體及/或供體-受體複合物之聚合體之組合物，沉積在基

:上。：4 ’使組合物無論是乾燥或熟化，以形成電場可 私式化；I膜。於製造薄膜之另—種方法中，聚合體可與所 要之電子受體及/或電子供體及/或供體-受體複合物，於選 用溶劑存在下反應。然後，自溶液鑄造薄膜，並於適當溫 度：蒸發溶劑。薄膜可藉由多種不同方法鑄膜。適當實例 為旋轉塗覆、t塗、靜電塗覆、浸塗、刮刀塗覆、槽縫塗 是或八類似方式。電場可程式化薄膜亦可藉由以下方法製 造’譬如射出成型、真空形成、吹製、壓縮成型、小片塊 ^模塗覆、壓出塗覆、滑動或級聯塗覆、簾塗覆，輥塗， 譬如向前與逆轉輥塗，凹版印刷塗覆、彎月面塗覆、刷塗、 二氣到刀塗覆、絲網印刷方法、熱印刷方法、喷墨印刷方 法，直接轉印，譬如自載體之雷射辅助燒蝕、自組或直接 生長、電解沉積、無電沉積、電引發聚合或其類似方式。 於另種製造方法中’可首先使聚合體之反應性先質， 與所要之電子受體及/或電子供體及/或供體-受體複合物 反應。然後，使反應性先質反應，以形成聚合體。若需要， 可另外使聚合體交聯。 痛又期望在製程期間所使用之溶劑能夠使聚合體及/或 電子供體及/或電子受體及/或選用供體-受體複合物溶解。 適當溶劑包括二氣-苯、曱笨醚、混合之二曱笨異構物、 鄰-二曱笨、對-二曱苯、間-二曱苯、碳酸二乙酯、碳酸丙 100218 -40- 1270982 烯酯、R1 -CO-R2、Ri -C00_R2 及 Rl _c〇aR3 c〇〇 r2，其中 r1 與 • R2可為相同或不同，且表示線性、環狀或分枝狀烷基、次 烷基、炔類、苄基或芳基部份基團，具有丨至1〇個碳原子， " 且妒為線性或分枝狀二價次烷基，具有1至ό個碳原子。再 者’其他適當溶劑系統可包含任何前述之摻合物。 電％可程式化薄膜亦可視情況含有處理劑，譬如界面活 性劑、脫模劑、加速劑、抗氧化劑、熱安定劑、抗臭氧劑、 鲁 填料、纖維等。 一般期望電場可程式化薄膜具有厚度為5至5000毫微米， 依裝置之需要而定。一般而言，切換電壓在薄膜厚度上係 為線性。對於需要切換電壓量低於約10ν之記憶裝置，期 !、力10至100毫微米之薄膜厚度（在視情況熟化後）。對於需 要切換電壓量低於約5 ν之裴置，一般期望5至5〇毫微米之 /專膜厚度（在視情況熟化後）。 電場可程式化薄膜可被使用於交叉點陣列中。當薄膜被 • 使用於交又點陣列中時，電極可以電方式聯結至電場可程 式化薄膜。父又點陣列可有利地包含電偶合元件。電偶合 元件為一種被插入電場可程式化薄膜或電場可程式化薄膜 元件與電極間之組件。電偶合元件之實例為金屬合金薄膜、 金屬複合膜、金屬硫屬化合物薄臈，其中硫屬化合物為氧 化物、硫化物、硒化物或碲化物或其組合，金屬氮屬化合 物薄膜’其中氮屬化合物為氮化物、碟化物、石申化物、録 化物或其組合，與位元線或字元線接觸。舉例之偶合元件 可為銅氧化物、硫化物及硒化物，譬如聯結至銥或鎢電極 100218 -41 - 1270982 “氧化銀或氧化鉦。電偶合元件可提供歐姆接點、經由導 • 電性柱塞之接點、電容性接點、經由插入透納接面之接點， . 5戈經由插入隔離裝置之接點，譬如接合二極體、Schottky二 極體或電晶體，或、經由其他電裝置之接點。電偶合元件之 進步功此可為提供電極與場可程式化薄膜間之化學或物 理P早壁，藉以緩和場可程式化薄膜之電潛移或其他物理污 染。 • 其他具體實施例包括對光學現象回應之裝置。於一項具 體實施例中，電場可程式化薄膜可經由施加電場而被程式 化/、咳取，並經由施加具有適當波長之光線而被消除。例 如，具有金毫微粒子之電場可程式化薄膜可經由施加波長 小於約400毫微米之光線而被有效地消除，且更有效為小於 、、勺365笔微米。電程式化可有利地經由採用不會屏蔽該消除 光源之電極型態達成，譬如壕溝型態，具有垂直延伸於任 側上之電極，或呈水平層合型態，具有一個透明電極， 馨、電方式知結至電場可程式化薄膜，且被插入電場可程式 化薄膜與光源之間。 於另一項具體實施例中，電場可程式化薄膜可經由施加 具有適當波長之光線而被程式化且視情況被消除，並以電 方式讀取。光學程式化及視情況選用之消除，可有利地經 由採用不會屏蔽該程式化光源之電極型態達成，譬如壕溝 型態，其具有垂直延伸於任一側上電極，或呈水平層合型 態，具有一種透明電極，其係以電方式聯結至電場可程式 化薄膜，並插入電場可程式化薄膜與光源之間。例如，具 100218 -42- 1270982 有金毫微粒子之電場可程式化薄膜可經由施加波長小於約 540毫微米之光線被有效地程式化，且更有效為小於約5〇〇 毫微米’並經由施加波長小於約400毫微米之光線視情況消 除，且更有效為小於約365毫微米。位元方式之光學選址可 使用近場光學裝置達成，其中來自具有比其包層較高折射 率核心之選用錐形光學纖維或毫微吸量管之光線，係被導 引朝向電場可程式化薄膜，或藉由所配置之經構圖發光二 極體導引。 透明電極可包含氧化銦錫（IT0)，其中Sn〇2係被摻雜至 ϊ%〇3中，相對於恥〇3，其範圍為UO% w/w，尤其是5_12% w/w，或氧化銦鋅，其中Zn〇係被摻雜至In2〇3中，相對於 恥〇3，其範圍為l-20%w/w，尤其是5-12%w/w。1丁〇可含有其 他金屬氧化物，譬如Ή〇2、Pb〇2、Zr〇2、Hf02、ZnO等，在 至南約1% w/w之含量下，以氧化物為基準。氧化銦鋅（IZ〇) 可έ有其他金屬氧化物，譬如Ti〇2、Pb02、ΖιΌ2、ϋί02、Sn02 等，在至南約1%之含量下，以氧化物為基準。導電性有機 透明電極亦可使用。其包括聚（3,4_次乙二氧基喧吩y聚（苯乙 烯磺酸酯XPEDOT-PSS)，導電性聚酯，譬如〇rgac〇nTM透明 導電性薄膜，可得自Agfa-Gevaert NY，Bdgium等。透明電極薄 膜應展示透明度大於約40%，且更有效地為大於約5〇%，在 於或低於約365毫微米波長下。 侍自電場可程式化薄膜組合物之電場可程式化薄膜，可 使用於電子s己憶與轉換裝置或資料儲存裝置中。此等裝置 可含有無論是單一薄膜或多重薄膜。具有多4薄膜之裝置 100218 -43- 1270982 一般被稱為堆疊裝置。下文圖表係描繪多種其中可使用電 場可程式化薄膜之列舉具體實施例.圖丨係描繪可作為記憶 裝置使用之交又點陣列之一項實例。此交又陣列包含單一 電場可程式化薄膜2 ’經聯結至第—個電極3、第二個電極 4、，連接至第一個電極之可變程式/讀取電麼來源$及連接 至第二個電極之參考物或接地6。此電極係被配置在電場可 程式化薄膜之表面上，並與其密切接觸。於另一項具體實 施例中，如稍後將討論者，電極可相對於電場可程式化薄 膜之表面私動。圖2(a)係描緣交叉點陣列記憶裝置之剖視 圖，其^有以7表示之連續電場可程式化薄膜，一陣列字元 線’其實例為8，一陣列位元線，其實例為9，及電場可程 薄膜7L件10 ’其係經由將電場可程式化薄膜7插入字元 ==元線9之交點而形成。圖·係描繪交又點陣列資 :炉J、置之剖視圖，其具有多個以11表示之像元化電場 °广化薄臈元件。各電場可程式化薄膜 =至以叫例之字元線，及以13為例之位元線。此外式 有多個以14為例之雷彳 薄膜與字元線之間。牛，其係被插入電場可程式化 表圖：騎交又點陣列記憶裝置之示意圖，其包含以16 如不、％可程式化薄膜元件，其係經由舉例之接頭19血 20，以電方式個別聯結 ^ 、口牛例之位元線17與舉例之字元線 18。亦在方塊圖形式中 ^ Λ中顯不者為感測電子系統21，與徵詢 '、、、’充2 °圖3(b)係描繪 含電場可程式化薄膜元：又又點陣W置之-意圖’其包 寻M 7L件，其實例係由23顯示，以電方式 100218 -44- 1270982 聯結至舉例之位元線24與舉例之字元線25。電場可 件係以電方式聯結至其個別位元線’以在24處：接 u列’經由隔離二極體’其實例係藉由27顯示，且進一 處’以電方式聯結至其個別字元線。亦在方塊圖形 式中顯示者為徵詢電子系統29,與感測電子系統3〇,用以 使個別位元選址，並使得自彼等之訊息放大。

解Ξ “IV會基,31上之堆疊資料儲存裝置之剖視部份分 解圖’八包含第一個裝置戶且右 導電性…… 線車列，具有多個 s 〃性電極’以32為例’與具有介電常數之絕 緣材料33，電場可程式化薄膜34，以電方式聯結至導電性 或+導電性電極，以32為例，與導電性或半導電性電極， 以35為例’呈水平線陣列’其中各電極係藉由具有介電常 數之絕緣材料，以36為例，與其最接近相鄰者隔離，第二 個裝置層，藉由介電絕緣層37與第一個裝置層分隔，具有 垂直線陣列，具有多個導電性或半導電性電極，錢為例， 與具有介電常數之絕緣材料39，電場可程式化薄膜糾，以 電方式聯結至導電性或半導電性電極，以％為例，盘導電 性或半導電性電極，以41為例，呈水平線陣列，其中各電 極係藉由具有介電常數之絕緣材料，以42為例，與其最接 近相鄰者隔離。 般而5，水平線與垂直線係互相交又，而無直接物理 與電接點’且其中在水平線與垂直線之每—個指示交點處， 水平線係以電方式聯結至電場可㈣化薄膜元件之第一個 表面，而垂直線係以電方式聯結至電場可程式化薄膜元件 100218 -45- 1270982 之第二個表面，且其中該堆疊資料儲存裝置包含一種型 態，選自 ’ [HPVDUPV， [VPHD]n]VPH， [HPVP]mH& [VPHP]mV? 其中n-1與m係表示重複層之數目，n=1_32，m==M6，H為 _ 水平線陣列’ V為垂直線陣列，ρ為一組電場可程式化薄膜 疋件，以基本上共平面方式排列，且D為介電絕緣層。 除了上述單層記憶結構以外，亦可建造多層結構，譬如 圖5及6中所示者。雖然為了簡化起見，圖形僅顯示少 數裝置層，純據隨文所附之請求項，係、意欲《函蓋較大數 目〇 圖4與5係顯示藉由介電絕緣層分隔之堆疊結構。此種層 係形成實質上平面層狀結構，使得能夠堆疊此種平面層狀 •、結:，因此形成體積記憶裝置。本發明之絕緣層係意欲於 電學上、電容上及視情況於光學上，將各種層互相隔離。 此外，材料必須能夠被蝕刻，以致可賦予通孔，以達互相 連接σ種層之目的。無機絕緣材料，譬如氧化石夕，其係藉 =學4氣沉積，由原矽酸四乙酯（TE〇s)或其他原矽酸酯之 分解所形成’氮切、減化梦、二氧化鈦（氧化鈦）、氧 化鋁、氧化锆、氧化钍、氧化銥及其類似物，係用於此項 的此外’有機與有機^夕絕緣材料，譬如旋轉塗覆玻璃 調配物，包括具有Ci_Cig烷取代之矽氧烷，具有Ci_c^烷基、 100218 -46- Ϊ270982 芳基或燒基芳基取代之經取代矽倍半氧烷，包含四氣乙稀 之說聚合體，聚醯亞胺等，為適當絕緣材料。 、沿者例如字元線之個別位元之絕緣，係使用圖5中所描 述與顯示種類之接觸二極體結構達成。其中電極係於裝置 層之間共用之堆疊裝置，係舉例於圖6中。此等堆疊裝置之 特徵在於其並未使用隔離層。替代地，係於相鄰場可程式 化薄膜層之間共用字元線。 > _ 圖5係描繪堆疊資料儲存裝置之剖視部份分解圖，其具 有基材43、第一個裝置層及第二個裝置層。第一個裝置層 包含垂直線陣列，其具有導電性或半導電性線，以44為例， 與以45為例之導電性或半導電性材料接觸，其具有與44不 同之功函數，因此形成接觸二極體，及具有介電常數之絕 緣體，以47為例，電場可程式化薄膜46，與水平線陣列， 其包含導電性或半導電性線，以48為例，與具有介電常數 之絕緣體，以49為例。該二極體包含陽極，其包含金屬， • 具有功函數在2·7與4.9eV之間，與導電性聚合體，具有功函 數大於4.5 eV。46之底部表面部份係經由44與45所形成之接 觸二極體，以電方式聯結至線44。46之頂部表面部份係以 電方式聯結至線48。 圖5進一步以剖視形式描繪第二個裝置層，其係藉由具 有介電常數之隔離薄膜50，與第一個裝置層隔離。第二個 裝置層包含垂直線陣列，具有導電性或半導電性線，以Μ 為例，與導電性或半導電性材料接觸，以52為例，其具有 與51不同之功函數，因此形成接觸二極體，及具有介電常 100218 -47- 1270982 數之絕緣體，以54為例，電場可程式化薄膜53 ’與水平線 .卩車列’其包含導電性或半導電性線，以55為例，與具有介 電常數之絕緣體，以56為例。53之底部表面部份係經由51 ， 肖52所形成之接觸二極體’以電方式聯結至線5卜46之頂 部表面部份係以電方式聯結至線55。圖5中之第—個與第二 個裝置層係經顯示為彼此對準，但可偏移以幫助互相連接。 在圖6中’係提供又另—種堆疊資料儲存記憶裝置之部 鲁❾剖視圖，其包含基材57與三個裝置層。第一個裝置層包 含垂直線陣列，具有導電性或半導電性線，以％為例，與 導電性或半導電性材料接觸，以59為例，其具有與％不同 _函數因此形成接觸二極體，及具有介電常數之絕緣 體’以61為例，電場可程式化薄膜6〇，與水平線陣列，其 包含導電性或半導電性線，以62為例，與具有介電常數之 緣體卩63為例。60之底部表面部份係經由58與59所形 成之接觸二極體，以電方式聯結至線58。6〇之頂部表面部 _ 料以電方式聯結至線62之底側。 圖6中之第二個裝置層包含與第一個裝置層相同之水平 線^列，具有導電性或半導電性線，以62為例，與具有介 電吊數之絕緣體，以63為例，電場可程式化薄膜64，與垂 直線陣列，其包含導電性或半導電性線’以66為例’與導 電性或半導電性材料接觸，以65為例，具有與66不同之功 函數、’因此形成接觸二極體，及具有介電常數之絕緣體， ^ 69為例。64之底部表面部份係以電方式聯結至線62<τ| #表面。64之頂部表面部份係經由65與66所形成之接觸二 100218 -48- 1270982 極體 ，以電方式聯結至線66。水平線陣列，装 或半導電性線62與絕緣體63 Ά 3導電性 共用。 係破弟-個與第二個裝置層 圖6中之第三裝置層包含垂直線陣列， 導電性線，以66為例，盎導雷w + Α 八有導電性或半 、導電性或半導電性材科接觸，以 及且有入… 门之力函數，因此形成接觸二極體， 及”有"電吊數之絕緣體，以69為例，電場 68,與水平線陣列，包含導電性或半導電 ^例、 與具有介電常數之絕緣體，—卜68之=為= =:6:所形成之接觸二極體，以電方式聯結至： ^個裝置層係經由67 ’與第二個裝置層共用電 之/66為例。68之頂部表面部份係以電方式聯結至線7〇 之底側。 圖7係以剖視方式提供資料儲存記憶裝置之一部份之 接7⑷與分解7(b)目，其中記憶元件係藉由接合二極^隔離。 P-型半導體72係作為基材使用，具有垂直奸位元線陣列， 以73為例，多個摻雜在各位元線中之p+區帶，以％為例， 用於隔離電場可程式化薄膜元件之經構圖基質乃，電場可 私式化薄膜元件，以76為例，及導電性或半導電性字元線 77，各與一橫列之電場可程式化薄膜元件接觸。ρ+區域74 與η+位元線73係形成一陣列之隔離二極體，其係以電方弋 隔離用於讀取、寫入及選址之所意欲位元。 將交叉點陣列中之個別位元（譬如在圖2與3中者）選址， 需要將經選擇之位元與鄰近位元以及沿著相同字元線之位 100218 -49- 1270982 元隔離。一般而言，此種隔離係經由對裝置引進呈”接通" 與·’斷開，，閥電塵之不對稱性…“料呈接通 %生而達成，其中，，接通，，與，，斷開” 閥電壓之量係顯著地不同。 一種產生此種不對稱性古 及士人而 稱性之方法’係於電場可程式化薄膜 -積之削，經由在電極之一上形成無機氧化物。這可經由 允許電極之金屬在空氣中 ^ , ，、形成天；、、、、虱化物，或較活潑地， 、，座由在臭氧中使金屬電極氧化 电從軋化而達成。依此方式，兩個電 極表面係以不同方诖 J万式以電方式聯結至電場可程式化薄膜； 一個係經由電容性偶合雷士 電方式聯結，而另-個係呈直接 接觸。於電極上之氧化物塗 初土層义須足夠溥，以使得電荷能 ^透納作用、熱載流子注人或電子跳躍，注入電場可 程式化薄膜中。例如，具有氧化銘時，係使用厚度為0.5至 3·0毫微米。 童另-種產生此種不對稱性之方法，係利用具有不同功函 文之金屬。功函數係被定義為自金屬表面移除電子至益窮 所需要之能量。雖然金屬及其他元件之不同晶面會展示不 同功函數’但在電場可程式化薄膜上所使用之電極為多晶 性。因此’功函數包括與電場可程式化薄膜接觸之結晶形 式之平均。舉例言之，考量電場可程式化薄膜在一個侧面 上與鋁電極接觸（φ〜4.2電子_伏特（ev))，而在另一個側面上 :、鎳電極接觸（φ〜5.2 eV)。若正向偏壓係被定義為從銘電極 ^订至錄電極’其中紹電極為陽極，則引發"接通"狀態所 :要之正向偏壓里，將尚於施加"斷開"狀態所需要之逆偏 壓量。在過渡元素中’八卜Cr、Fe、Re、Ru、孔、ή、v、 100218 •50- 1270982 貿及办均展示功函數小於5eV，Rh係展示功函數大約5eV， 而Au、Cu、ir、Ni、柯及朽係展示功函數大於5以。 將不對稱性加諸於包含場可程式化薄膜之裝置之又另一 種方式，係引進利用有機導體與半導體之接觸二極體。此 種極體係彳田述於 L.S. Roman 與 〇· Inganas，Synthetic Metals，125, ()’ 419中，並可經由參考圖2(b)與5而進一步明瞭。簡言 之，此等二極體包含一種低功函數導電性聚合體，譬如聚 φ (3-(2呷氧基彳_辛基苯基 >塞吩)(P〇MeOPT)(〇〜3 ev}，在一個側 面上與A1電極（φ〜4.2 ev)接觸，並在另一個側面上，與換雜 聚（4笨乙烯石頁酸酯）之聚（3,4_次乙二氧基嘧吩 (Φ〜5·2 eV)接觸，其依次係與鋁電極接觸。在該裝置中，係 將POMeOPT插入電場可程式化薄膜與金屬電極之間。鋁或 具有類似功函數電極之一些其他金屬，譬如銅<ιι〇>(φ 4·5 eV)，係被施加至電場可程式化薄膜之相反側。被使用 :本t月中之其他有機導體與半導體，係為經摻雜聚苯胺、 馨經摻雜聚吡咯、聚噻吩及聚苯二乙烯。此外，吾人可使用 氧化錮錫（ITO)，以類似上文實例之方式，將不對稱性引進 π接通”與”斷開”電壓中。 將不對稱性引進"接通”與"斷開"電壓中之又另一種方 式，係將裝置放置而與圖7中所示之半導體二極體種類接 觸。隔離"接通"與”斷開"電壓之又另一種方式，係放置此 裝置而與場效隔離電晶體呈電接觸。這可被達成，以致使 場可程式化薄膜無論是經由金屬”柱塞"電極或直接地，以 電方式聯結至電晶體之源極或;:及極，以致使該裝置僅可在 100218 -51 - 1270982 閘極呈"打開”情況時被探測或程式化。 时在it或貝料儲存模式巾，程式化、讀取及消除該記憶 單兀可以下述方式達成，脈衝此單元高於闕電屢，以將其 置王接if jf況，在次閥值電麼下脈衝，以讀取此單元， 以測定其係為"接通"抑或”斷開"，且在足夠負電壓下脈衝 此單元，以丨’斷開”丨士留& ., 心 一 ^ 開此早兀。此外，已發現此單元可經由在 门；第個正電壓閥值之足夠正電壓下脈衝而被”斷開”， 因此避免負脈衝之需要。 在不同應用中，本文中所述之場可程式化薄膜可作為大 量資料儲存之介質使用。於一項具體實施例中，場可程式 化薄膜具有厚度為5至500毫微米。於一項具體實施例中， %可程式化薄膜具有厚度為1〇至200毫微米。於又另一項具 體實施例中，場可程式化薄膜具有厚度為10與H)〇毫微 薄膜係被配置於導電性或半導電性基材上。半導電性基材 之實例為經摻雜石夕晶圓、碳化石夕、石夕鍺、石夕錯外延石夕、砷 化鎵、砷化銦鎵、氮化鎵、填化鎵、銻化鎵、砷化銦、氮 化銦、填化銦、硫化編、石西化锅、碲化錢、氧化辞、硫化 鋅、硒化鋅、碲化鋅、硫化鉛、碲化鉛、砷化鋁、氮化鋁、 磷化鋁、銻化鋁、氮化硼、磷化硼、鍺，或任何具有帶隙 在約0.05 eV與約2.5 eV間之半導體材料，而導電性基材之實 例為鋁、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、錘、鈮、 鉬、釕、铑、鈀、銀、鎘、铪、钽、鎢、銖、锇、銥、鉑、 金、水、錫、鍺、鉛或其類似物，或具有至少一種前述之 組合。 100218 -52- 1270982 於一項具體實施例中，資料儲存係經由施加足夠幅度之 交流（AC)、直流（DC)或DC形成偏壓之AC電信號而達成，以

驅動此薄膜成為導電性或接通狀態。電信號通常為約-10 V 至約10 V，使用導電性尖頭，譬如在掃描探針顯微鏡術中 所使用者。若使用AC信號，則AC信號為約0.5 kHz至約 100 MHz，通常約1〇 kHz至約1 MHz。此電場可以接觸模式或 非接觸模式，藉由尖頭施加，且在場可程式化薄膜内造成 導電性域，具有直徑為約0.5毫微米至約500毫微米，且更頻 繁地具有直徑為約0.5至約50毫微米。該域可以無論是接觸 或非接觸模式，藉由掃描力顯微鏡尖頭，使用約_1() V至約 10 V之AC、DC或DC形成偏壓之AC信號讀取，同時監測電 流、阻抗、電壓降落、電容、分接相移或前述之任何組合。 此外，場可程式化薄膜可藉由光學方式或光學方式與一或 多種前述電信號之組合，進行寫入、消除或讀取。導電性 域之大小可針對所要之應用達最佳化。例如，可以掃描探 參 針顯微鏡尖頭讀取之域，可為約1毫微米至約100毫微米， 然而’可以雷射探針（譬如可在CD電唱機中發現者）讀取之 域，可具有直徑為約1〇〇毫微米至約5〇〇毫微米。依此方式， 場可程式化薄膜可在其中至少一個電極，相對於場可程式 化薄膜之表面，不被固定在固定位置之型態中，被程式化。 依此方式用於儲存資訊之裝置實例，係在專利申請案 WO02/077986 中提出。 記憶設置，譬如上文所詳述者，可使用於多種應用，包 括其中採用習用記憶裝置之任何應用。於一項具體實施例 100218 -53- 1270982

中，非易失性聚合體記憶體係與習用易失性記憶體整合， 譬如SRAM、DRAM或其他易失性記憶體。這可以多種方式 完成，包括將一或多個習用記憶裝置與一或多個含有電場 可私式化薄膜之圯憶裝置封裝。或者，含有電場可程式化 薄膜之記憶裝置可與一或多種類型之習用記憶裝置整合在 單晶片上。例如，手機或其類似物，係利用易失性!5^以或 DRAM作為執行記憶體，而非易失性FLASH作為密碼與資料 儲存之記憶體。因此，在手機中，DRAM或sram晶片經常 係與FLASH晶片-起封裝，並以單—單位銷f。電場可程 式化薄膜可在手機應用中，使用於可置換凡八紐之記憶裝 置中，無淪是作為一個電場可程式化記憶裝置晶片，在多 晶片封裝物中，或作為電場可程式化記憶裝置，被整合在 習用（例如DRAM、SRAM)晶片上。電場可程式化薄膜記憶 裝置可作為非易失性記憶體、背襯儲存器或影子使用。 於替代具體實施例中，含有電場可程式化薄膜之記憶裝置 _ 可與PR0M、EPROM或其他實質上唯讀記憶體一起整合或封 裝。於此等具體實施例中，含有電場可程式化薄膜之記憶 裝置係充作可修改、工作或執行之記憶體，因其能夠讀取/ 寫入。進一步具體實施例包括含有電場可程式化薄膜之記 憶裝置與其他非易失性記憶體之整合，以提供施行另一種 非易失性§己憶體之功能性；例如，與EEpR〇M、FLASH、FeRAM 或MRAM整合。另一項具體實施例係將電場可程式化薄膜 記憶元件整合至習用記憶元件電路中，以提供狀態資訊之 永久儲存。 100218 -54- 1270982 於另-項具體實施例中’含有電場可程式化薄膜之記情 裝置可與邏輯而非與其他類型之記憶體整合。在與邏輯整 合之含有電場可程式化薄膜之記憶裝置之第一項實例中， 記憶裝置係作為記憶陣列使用，被整合在邏輯晶片上。這 可允許在晶片上，於先前無法以習用記憶類型達成之位置 處製造記憶體’例如被包埋在奶或在邏輯晶片上方之較^ 層次處。當與習用記憶體比較時，其亦會增加記憶大小Γ 將記憶體直接定位在晶片上，會改良記憶存取速度，因為 避免針銷/佈線潛伏期，並藉由減少晶片數與封裝成本，以 降低成本。含有電場可程式化薄臈之記憶裝置可作為晶片 上尚速緩衝器使用，以增加高速緩衝區大小，然而保持石夕 面積下降，且同時導致宾砝經& w 1 ° 、緩衝裔為非易失性。含有電 可程式㈣膜之記憶裝置與邏輯整合之此種利用，其舉例 之應用譬如在SOC盘CPT T旛田rtr __ 〃、PU應用中之記憶陣列、緩衝器、插銷 及對齊物，或其類似物。 I輯/、3有電％可程式化薄膜之記憶裝置之整合，係提 =項技術，以整合控制器、界面或記憶承載功能在記憶 …爷低/曰伏期及/或成本。可被整合在記憶裝置上之 舉例邏輯功能，包括高於 m 一 輸、擬案邏輯或記憶控制器，例如 用於咼性能記憶單元·古 如用於高性能高逮緩衝：緩衝控制器或橫棒轉換器，例 ” ^，界面，譬如用於網路或匯流排 界面’例如用於網路儲 由器； 子破置、界面、DMA控制器或路 D办1 ，例如用於RAMDAC或影像記憶丨整合栌 制裔，譬如整合USB "

仏制咨與固件裝置驅動器，用於USB 100218 -55. 1270982 ”拇指驅動”;記憶處理或檢查邏輯，譬如位移側向緩衝器， 頁傾表帛於位移側向緩衝器，·片段側向緩衝器。應明瞭 的是，其他組件可利用含有電場可程式化薄膜之記憶裝置; ’ 被整合於晶片上。 3有電场可私式化薄膜之記憶裝置亦可與承載邏輯電 路，在邏輯單元層次以及較高層次下整合。此種整合係提 供:再配置邏輯單元，其中邏輯單元之連接、狀態或功能 ❿#猎由圮憶裝置之狀態所控制或界定。此種裝置包括可程 式化邏輯陣列（PLA)或場致可程式化間極陣列（FpGA)。再者， π有電穷可私式化薄膜之記憶裝置可充作内容可選址記憶 早元之一部份。 含有電場可程式化薄膜之記憶裝置之具體實施例，可用 以承载極多種資料結構。此記憶裝置亦可心施行、儲存、 頌不、傳送或處理資料結構。此種資料結構包括歸咖、 數元組、整數（有記號與無記號）、浮點、文字；文字串； • 複^型式（例如由素子製成）；純量、點群、向量、矩陣； 目：取向描述符號，譬如亞型與衍生類型目標為基礎之描 述:號，規則表、連結清單、隊列、堆積及堆疊；二元與 車父向規則樹；混雜表；關連資料庫及其索引表；圖表或其 類似物。 含有電場可程式化薄膜之記憶裝置亦可在複雜機器中利 並充作儲存元件、處理器之—部份或兩者。聚合體記 隐之項應用係在Turing計算機或Universal Turing計算機内。 聚合體記憶體可被包含在狀態機器中，譬如㈣狀態機器、 100218 -56- 1270982

Moore機裔、Mealy機|§、Rabin或Buchi自動裝置或樹狀自動 裝置。ίχ合體s己憶體可被包含在神經網路中，譬如單一戍 多階層知覺機、反覆網路、H〇pfldd網路、B〇ltzmann機器、 ’ Koho_Map或Kak網路。聚合體記憶體可被包含在 von Neumann構造機器（共用資料與密碼）或Haryard構造機器 (個別資料與密碼）。這將被察覺係包含實際上以 vonNeumarm元件之群集體施行之平行電腦之構造。此記憶 t置亦可被包含在平行、不連續、非決^性或資料流為基 礎之處理電腦構造之施行中。 多種類型之計算裝置可利用含有電場可程式化薄膜之記 憶裝置。界定不㈤種類計算裝置之一種方式，係經過數學 規則，其被稱為語法。例如，機器可被分類為辨識藉由類 型3 5吾法產生之浯言；此種機器係被定義為相應於類型3語 法。在此種類中之舉例機器，包括決定性限定狀態機器（或 自動裝置），包括Moore機器、Mealy機器、Rabin自動裝置、 φ BUCW自動裝置、8加ett自動裝置或樹狀自動裝置。機器可被 分類為辨識藉由類型2語法所產生之語言，或其係相應於類 型2語法。在此種類中之舉例機器，包括計數自動裝置與決 定性或非決定性下推式自動裝置。 機裔可被分類為辨識藉由類型〇或丨語法所產生之語言， 或其係相應於類型〇或丨語法。在此種類中之舉例機器，包 括線性範圍自動裝置、Turing計算機或Universal Turing計算機， 具有一個以上”磁帶”或超過一個尺寸，，磁帶”之Turing計算 機0 100218 -57- 1270982 利用含有電場可程式化薄膜之記憶裝置之機器，亦可以 ，令與資料處理構造為基礎作分類。機器可為單一指令、 單:資料機’譬如vonNeumann構造機器或H，d構造機器。 機σ。可為I才曰令、多重貢料機，譬如在記憶機器中之處 理器或向量或陣列處理器。機器可為多重指令、多重資料 機^譬如資㈣為基礎之處理器或其他非決定性處理器。 機器可為多重指今、罝—- 早貝枓機。在此種機器中之處理器 可使用已知二元表示法’譬如位元，或具有兩種以上分立 表丁法&括一些替代表示法，譬如四位元或其類似 物。 /此記憶裝置可被利用於包含一或多種上述類型混合種之 糸統中，例如高螺紋或指令層次平行(ILP)则Neum咖構造， 其係將資料流處判之諸方面與_細_構造合併，或 使用多重vonNeumann機器施RMIMD機器。機器之此種組合 可相繼地、平行地或作成複合物進行操作。 此記憶裝置亦可在較不複雜組件中使用，譬如計數器、 緩衝器、記錄器或其類似物。此記 再者’此記憶裝置可使用於複雜電腦系統中，譬如多處理 器伺服器。 、電场可程式化薄膜具有許多優點，勝過其中電子供體及/ 或電子受體及/或供體-受體複合物未結合至聚合體之其他 薄膜。例如’易失性電活性部份物質於供烤期間將不會餘 留在薄膜中。這使得難以控制場可程式化薄膜之組成，特 100218 -58 - 1270982 Z是在低於毫微米下。對於受體材料譬如8似口奎 係二广女、二甲基1等’當厚度趨近約1〇〇毫微米時， ::广烤溫度低於靴，以避免受體材料之實質上完全 時m烤時間一般為约30分鐘。需要此種長烘烤 θ卩低溫下移除鑄騎狀顯著部份 體材料亦會經由形成薄膜或結晶性沉積物，而污== 此種染會顯著地助長半導體裝置中粒子所引致之缺 尸曰〇

電场可程式化薄膜’ t經交聯時，係於⑽至赋之高 溫下’為熱與尺寸上安^。於另—項具體實施例中，電場 可程式化薄膜係於15〇至·。〇之高溫下，為熱與尺寸上安 定。再者，可進行製造襄置所需要之後續處理步驟，而不 會傷害場可程式㈣膜。此種步驟包括以溶劑為基礎之光 阻塗敷、姓刻、減射塗覆、真空蒸鍍、㈣促進、化學機 械拋光、另一種場可程式化薄膜之塗敷等。 現在將詳細於下述實例中描述本發明之一些具體實施 例在6周配貫例中，所有重量百分比均以電場可程式化薄 膜組合物之總重量為基準，除非另有表示。 【實施方式】 實例 實例1 此K例係說明作為電子供體使用之金毫微粒子之合成。 金毫微粒子係於室溫下，使用由M.J· Hostetler等人，Langmuk， 14 (1998) 17所洋述之兩相遏制生長方法合成。於一項典型合 100218 -59- 1270982 成中，係將含有0.794克（2毫莫耳）四氯金酸（HAuCl4.3H2〇)在 50毫升水中之水溶液，添加至含有3·〇克（5·5毫莫耳）溴化四 辛基銨之80毫升甲苯溶液中。將混合物激烈攪拌丨小時。在 已分離之甲苯溶液中，添加〇.81克（4毫莫耳）十二烷硫醇 (DSH)。將所形成之混合物於室溫下攪拌1〇分鐘。然後，將 50毫升四氫化硼酸鈉（NaBH4)(20毫莫耳）水溶液添加至混合 物中，歷經10秒期間，並激烈攪拌，且將所形成之混合物 於室溫下再攪拌1小時。收集暗色曱苯相，使用分液漏斗以 水洗滌，並在真空下減少體積達大約9〇%。一旦甲苯溶液 已被減少，即經由與20至40毫升乙醇混合，使金毫微粒子 沉澱，並使用離心機分離。然後，將產物以乙醇，接著以 丙酮，父替地洗滌數次，並於真空中乾燥。此程序係產生 金毫微粒子，當藉由低角度χ-射線散射度量時，其在己烷 溶劑中具有回轉半徑大約U7毫微米（nm)。 實例2-18 不同尺寸之宅微粒子係在添加NaBH4溶液與後續攪拌期 間’藉由改變減少體積之溫度而獲得。不同尺寸之毫微粒 子亦藉由改變NaBH4溶液之添加時間，或_對似^· 3%0之莫耳此而獲得。其結果摘錄於下表2中。 100218 -60- 1270982 表2

底甲基丙烯酸9_蒽甲醋之合成。於兩升3頸圓 入口管。於、滴加添液漏斗、機械擾拌器及氣體 _产、70争添加9-蒽〒醇（48·9克，0.235莫耳），並以 氮滌氣10分鐘。將I ^ 字…、水四虱呋喃（300毫升）、吡啶（33毫升 及三乙胺（50毫升）添加 至〇。〇使隸麵㈣成之溶液冷卻 ^將虱化甲基丙烯醯（工業級，37·5毫升， 40.1 克，0.345 莫耳）禾 4 s ’、、口至λ』、、液漏斗中，並慢慢地逐滴添加 至正激烈授拌之溶液中，歷經1小時期間。形成褐色沉殿物， 100218 1270982 並聚集成膠黏團塊，其係週期性地以攪拌干擾。使反應物 在〇 C之溫度下保持2小時，然後使其逐漸溫熱至室溫過夜。 以水（400毫升）使反應淬滅。將乙醚（3〇〇毫升）添加至燒瓶 中’並在兩升分液漏斗中分離液相。將有機相以2〇%鹽酸 (HC1)水溶液（400毫升）、飽和碳酸氫鈉（NaHC03)水溶液（8〇〇 毫升）及飽和氯化鈉（NaCl)水溶液(400毫升）連續洗滌。使有 機相以硫酸納（Na〗 SO# )脫水乾燥，過濾、，及在真空中移除溶 劑。使用甲醇（MeOH)(400毫升）使所形成之粗產物分兩批再 結晶。 實例20 此貫例係說明曱基丙烯酸p奎琳-8-基醋之合成。典型合成 係以類似實例19之方式進行，惟使用8_羥基喳啉（341克， 0.235莫耳）代替9-蒽甲醇。 實例21 此實例係說明甲基丙烯酸9-蒽曱酯/甲基丙烯酸2_羥乙酯 參 共聚物之合成。將50〇毫升3頸圓底燒瓶安裝冷凝器與氣體 入口苔，並以氮滌氣15分鐘。然後，於燒瓶中添加12〇毫升 已脫氣之四氫味喃（THF)、甲基丙烯酸9-蒽甲酯（ΑΝΤΜΑχι〇 〇 克，36·2耄莫耳）及甲基丙烯酸2-羥乙酯（ΗΕΜΑ)(9·3毫升，10.0 克，76_8毫莫耳）。於此混合物中，添加u，_偶氮雙 <環己烷 曱月肖）（可以VAZO 88市購得自DuP〇nt)(0_57克，2.33毫莫耳， 2.85% w/w)，並將溶液加熱至回流。％小時後，添加另一份 VAZO 88引發劑卿克，3·64毫莫耳，4·45% w/w)，並使混合 物再回流24小時。然後，使反應物冷卻至室溫，並將此thf 100218 -62- 1270982 溶液倒入含有20體積百分比己烷在乙醚中之500毫升己烷/ 乙醚溶液中，以使聚合體沉澱。藉抽氣過濾收集固態聚合 體，並於真空中乾燥，而產生19.5克（98%)，為蓬鬆白色固 體。 實例22 此實例係說明曱基丙烯酸4 4各基酯/甲基丙稀酸2-經乙 醋共聚物之合成。此合成係以類似實例21之方式進行，惟 添加甲基丙烯酸喳啉各基酯（7.71克，36.2毫莫耳），替代甲 •基丙烯酸9-慈甲醋。 實例23

此實例係說明甲基丙烯酸9-蒽甲酯/甲基丙烯酸2-羥乙酯 /甲基丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基）丙酯三聚物之合成。在此 合成中’係於500毫升圓底側臂燒瓶（”反應物儲槽”）中，添 加丙二醇甲基醚醋酸酯（PGMEA)(117 5克）、曱基丙烯酸9_蒽 甲酯（46.0克’ 166毫莫耳）、甲基丙烯酸2-羥乙酯（6·82克，52 4 φ 毫莫耳）、曱基丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基）丙酯（22·2克，89·4 宅莫耳）及過氧三甲基醋酸第三-戊酯（7·5克，39·8毫莫耳）。 將燒瓶安裝橡膠隔蓋。將已連接至以電子方式控制泵之出 口管件，經過隔蓋插入。將具有底部閥之丨升3頸燒瓶（，，反 應容器”）安裝加熱罩、變阻器（Variac)、Friedrich氏冷凝器、 機械攪拌器、Claisen頭、熱探針（連接至電源控制器之熱電 偶）及氮氣入口管。於燒瓶中添mPGMEA(275克），然後使溫 度提升至85°C，並使其平衡。將上述單體·引發劑溶液，於 反應物進料速率大約⑽毫升/分鐘下，使用先前以PGMEA 100218 -63- l27〇982 校準流率且以電子方式控制之泵（由SciLog製造），自反應物 儲槽，餵入反應容器中，以致達成約120分鐘之總反應物進 料時間。於進料完成時，將反應物於85°C之溫度下攪拌3〇 分鐘，此時，於約1.14毫升/分鐘之速率下，將已脫氣之過 氧三曱基醋酸第三-戊酯（7·5克，27.5毫莫耳）與PGMEA(25克） 餵入反應物中。將已脫氣之過氧三曱基醋酸第三_戊酯與 PGMEA以溶出方式餵入，並餵入反應器中，歷經30分鐘。 在已脫氣之過氧三曱基醋酸第三-戊酯與PGMEA進料完成 後，將反應物於85°C之溫度下再攪拌一小時，接著冷卻至 室溫，並轉移至適當容器中。 實例24 進行此實例，以合成曱基丙烯酸喹啉各基酯/甲基丙稀酸 2-羥乙酯/甲基丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基）丙酯三聚物。典型 合成係以類似實例23之方式進行，惟添加甲基丙烯酸喳啉 各基酯（35.4克，166毫莫耳），替代曱基丙烯酸9_蒽曱酯，且 反應物進料速率為約1·60毫升/分鐘，以致總添加時間為120 分鐘。 實例25 此項實例之調配物係以下述方式製成，使得自實例21之 曱基丙烯酸9-蒽甲酯/曱基丙烯酸2-羥乙酯共聚物（0.3克）， 與得自實例1之金毫微粒子（〇·075克），及曱氧基苯與2-庚酮 之50/50 w/w摻合物（14.63克）反應。將調配物於實驗室滾筒上 攪拌過夜，以使成份溶解，在超音波浴中音振1〇分鐘，並 經過0.2微米膜濾器過濾。待測記憶單元係經由將調配物旋 100218 :64- 1270982 轉塗覆在具有直徑100毫米之矽晶圓上而製成。此矽晶圓為 P-型晶圓’具有電阻率為約0 0001至約〇1歐姆-公分。然後， 使矽晶圓於110°C下，在加熱板上烘烤6〇秒，而得具有厚度 為約20至約100毫微米之薄膜。平均厚度為約5〇毫微米。接 著，使約0.5毫米直徑與約45毫微米厚度之鋁網點，於約1〇_6 至5xl(T5托之壓力下，經過陰影罩蓋，以熱方式蒸發在薄 膜上方。電流-電壓特性係使用Kdthley 6517Α靜電計度量， 其具有經配置作為接地端子之矽晶圓，與經配置作為工作 電極之銘電極。整體度量係使用Labview軟體（〇丨运拉1儀器公 司）控制，其係首先經程式化，以從〇〇 ¥掃描至約7〇v，從 7.0V至〇·〇ν，及從〇〇至_7〇¥。然後，調整電壓範圍，以避 免在正與負電壓掃描期間過度驅動該單元。在斷開狀態中 之電流一般係低於或等於約1〇毫微安培（nA)，然而在接通 狀恶中之典型電流係大於或等於約丨微安培。 實例26 此實例之調配物係以下述方式製成，將得自實例21之甲 基丙烯酸9-蒽曱酯/甲基丙烯酸2_羥乙酯共聚物（〇·3克），與 得自實例1之金毫微粒子（〇.1〇1克）、^卜肆（甲氧基甲基） 四氫-咪唑并[4,5-d]咪唑-2,5-二酮（0.101克）、對·甲苯磺酸溶液 (i%ww對-甲苯磺酸溶液，在甲氧基苯與2_庚_之5〇/5(^& 払a物中，0.201克）及甲氧基苯與2_庚酮之5〇/5〇 摻合物 (16.1克）合併。將調配物於實驗室滾筒上攪拌過夜，以使成 份溶解，在超音波浴中音振1〇分鐘，並經過〇·2微米膜濾器 過濾。製造使用此實例調配物之待測記憶單元，並按實例 100218 -65- 1270982 25進行測試’惟使聚合體為主之薄膜於2〇〇〇c下，在加熱板 上烘烤第二次，歷經60秒。 實例27 此實例之調配物係以下述方式製成，將得自實例22之甲 基丙烯酸喹啉各基酯/甲基丙烯酸2_羥乙酯共聚物（〇·3克）， 與得自實例1之金毫微粒子（0.075克）及曱氧基苯與2-庚酮之 摻合物（14.63克）合併。曱氧基苯與2_庚酮係以丨：1之比例混 合。將調配物於貫驗室滾筒上授拌過夜，以使成份溶解， 在超音波浴中音振10分鐘，並經過〇·2微米膜濾器過遽。製 造使用此貫例調配物之待測記憶單元，並以類似實例中 之方式測試。 實例28 此實例之調配物係以下述方式製成，將得自實例22之甲 基丙烯酸ρ奎琳-8-基酯/甲基丙浠酸2-羥乙酯共聚物（〇 3克）， 與付自貫例1之金毫微粒子（〇·1〇1克）、1，3,4,6-肆（曱氧基甲美） 四氫4嗤并[4,5-d]咪唑-2,5-二酮（〇·1〇1克）、甲苯磺酸對_硝基 爷醋溶液（0·201克）（甲苯磺酸對-硝基苄酯溶液，包含i甲 苯績酸對-硝基苄酯在甲氧基苯與2-庚酮之1 : 1混合物中） 及甲氧基苯與2-庚酮之1 ·· 1混合物（^丨克）合併。將調配物 於實驗室滾筒上攪拌過夜，以使成份溶解，在超音波、、谷中 音振10分鐘，並經過〇·2微米膜濾器過濾。製造使用此實例 調配物之待測記憶單元，並以類似實例25中所述之方气、則 試，惟使聚合體為主之薄膜於2〇(TC下，在加熱板上供烤第 二次，歷經60秒。 100218 -66- 1270982 實例29 此實例之調配物係以下述方式製成，將在具有pgmea之 溶液中之得自實例23之曱基丙烯酸9-蒽曱酯/曱基丙稀酸2_ 羥乙酯/甲基丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基）丙酯三聚物（2〇克此 溶液），與得自實例1之金毫微粒子（0.075克）及曱氧基苯與 2- 庚酮之1: 1重量比摻合物（12·93克）合併。將調配物於實驗 至滾请上攪;拌過仪’以使成份溶解，在超音波浴中音振 分鐘，並經過0.2微米膜濾器過濾。製造使用此實例調配物 •之待測記憶單元，並按實例25測試，惟使聚合體為主之薄 膜於200°C下，在加熱板上烘烤第二次，歷經6〇秒。 實例30-46 各此等實例之調配物係以下述方式製成，將得自實例23 之曱基丙婦酉文9-蒽甲酉曰/甲基丙稀酸2-經乙g旨/甲基丙浠酸 3- (三曱氧基矽烷基）丙酯三聚物之2·〇克溶液，與金毫微粒子 (得自實例2-18)及曱氧基苯與2-庚酮之1 : i重量比混合物合 _ 併，其方式係為提供約略相等數目之毫微粒子，藉由尺寸 加權，如表3中所示。曱基丙烯酸9-蒽甲酯/曱基丙烯酸2_ 沒乙酯/曱基丙稀酸3-(二甲氧基石夕烧基）丙g旨三聚物之溶液 係包含15重量％甲基丙烯酸9-蒽曱酯/曱基丙烯酸孓經乙酉旨/ 甲基丙稀酉文3-(二甲乳基碎烧基）丙|旨三聚物在中。 100218 -67- 1270982

將各調配物於實驗室滾筒上攪拌過夜，以使成份溶解， 在超音波浴中音振10分鐘，並經過〇·2微米膜濾器過濾。製 造使用此實例調配物之待測記憶單元，並按實例25測試， 惟使聚合體為主之薄膜於2〇〇。(：下，在加熱板上烘烤第二 次，歷經60秒。 實例47 將在PGMEA溶液中之2.0克實例24之曱基丙烯酸喳啉冬 基酯/曱基丙烯酸2-羥乙酯/甲基丙烯酸3-(三曱氧基矽烷基） 丙酉旨三聚物，與得自實例1之金毫微粒子（〇·〇75克）及甲氧基 苯與2-庚酮之1 : 1重量比混合物（12.93克）合併。曱基丙烯酸 100218 -68- 1270982 喹啉各基酯/曱基丙烯酸2·羥乙酯/曱基丙烯酸3_(三甲氧基 石夕烧基）丙酯三聚物佔PGMEA中溶液之15重量％。將調配物 於實驗室滾筒上攪拌過夜，以使成份溶解，在超音波浴中 音振10分鐘，並經過0.2微米膜濾器過濾。製造使用此實例 調配物之待測記憶單元，並按實例25測試，惟使聚合體為 主之薄膜於200°C下，在加熱板上烘烤第二次，歷經6〇秒。 實例48 將包含15 wt%實例23之曱基丙烯酸9-蒽甲酯/曱基丙烯酸 2-經乙酯/曱基丙烯酸3·(三曱氧基矽烷基）丙酯三聚物在 PGMEA中之2.0克溶液，與二環戊二烯鐵（0·075克）及甲氧基 苯與2-庚酮之1 : 1重量比混合物（丨2·93克）合併。將調配物於 貫驗室滾筒上擾拌過夜，以使成份溶解，並經過〇·2微米膜 濾器過濾。製造使用此實例調配物之待測記憶單元，並以 類似實例25中之方式測試，惟使聚合體為主之薄膜於2〇〇°c 下，在加熱板上烘烤第二次，歷經60秒。此調配物之接通 電流（I〇n)電流係大於或等於約10 /zA。 實例49 將包含15重量％實例23之甲基丙烯酸9-蒽甲酯/甲基丙烯 酸2-羥乙酯/甲基丙烯酸3-(三曱氧基矽烷基）丙酯三聚物在 PGMEA中之2.0克溶液，與4,4，，5,5，-雙（五亞曱基）四硫富瓦烯 (0.137克），及曱氧基苯與2-庚酮之1 ·· 1混合物（12.44克）合併。 將調配物於實驗室滾筒上攪拌過夜，以使成份溶解，並經 過0.2微米膜濾器過濾。待測記憶單元係經由將調配物旋轉 塗覆在具有直徑1〇〇毫米之矽晶圓上而製成。矽晶圓為P-型 100218 -69- 1270982 晶圓，具有電阻率為約0.0001至約01歐姆_公分。然後，使 矽晶圓於1HTC下，在加熱板上供烤60秒，獲得具有厚度為 約20至約100毫微米之薄膜。平均厚度為約％毫微米。接著， 使約〇·5毫米直徑與約45毫微米厚度之鋁網點，於約瓜6至 5XHT5托之壓力下，經過陰影罩蓋，以熱方式蒸發在薄膜 上方。電流-電壓特性係使用Keithley6517A靜電計度量，其 具有接地之矽晶圓，及經配置作為工作電極之鋁電極。整 體度量係藉由市購得自Digital儀器公司之L_ew軟體控制， 並百先經程式化，以從0·0ν掃描至約7〇v，從7〇v至〇〇v， 及從0·0至-7.0V。然後，調整電壓範圍，以避免在正與負電 壓掃描期間過度驅動該單元。 實例50 此實例之調配物係以下述方式製成，將得自實例23之曱 基丙烯酸9-蒽甲酯/甲基丙烯酸2_羥乙酯/甲基丙烯酸3_(三 曱氧基矽烷基）丙酯三聚物與得自實例丨之金毫微粒子 % (〇·075克）合併。首先，將得自實例3之三聚物與PGMEA混合， 以形成第一種溶液，其包含15重量％三聚物。然後，將2〇 克第一種溶液與得自實例丨之金毫微粒子，在包含甲氧基苯 與2-庚酮1 : 1混合物（12·93克）之溶劑中混合，以形成第二種 /谷液。將第二種溶液於實驗室滾筒上攪拌過夜，以使成份 浴解，在超音波浴中音振1〇分鐘，並經過〇.2微米膜濾器過 濾。待測記憶單元係經由將第二種溶液旋轉塗覆在具有直 徑100毫米之矽晶圓上而製成。矽晶圓為型晶圓，具有電 阻率為約0.0001至約（^歐姆-公分。使晶圓於12〇。〇下，在加 100218 -70- 1270982 熱，上烘烤60秒，獲得厚度約20至約100毫微米之薄膜。平 二薄膜厚度為約5〇宅微米。接著，使約〇.5毫米直徑與約必 :微米厚度之鋁網點，於約讥6至5 xHT5托之壓力下，經過 陰影罩蓋，以熱方式蒸發在薄膜上方。電流_電壓特性係使 用Keithley6517A靜電計度量，具有經配置為接地之矽晶圓， 與經配置為工作電極之鋁電極。整體度量係藉由Labview (可 得自National儀态公司）軟體控制，並首先經程式化，以從 〇·〇 v掃描至約7·〇 v，從7 〇 v至〇 〇 v，及從〇 〇至_7 〇 v。然後， 調整電壓範圍’以避免在正與負電壓掃描期間過度驅動該 單兀。在’’斷開”狀態中之電流係低於約1〇nA，然而在，，接 通狀悲中之電流係高於約i从。使該單元於約6 v下脈衝 100毫秒’然後在4 v及100毫秒脈衝寬度下重複脈衝，同時 度置’f接通’’電流。於各4 V脈衝後，將電壓關閉1〇〇毫秒。 約7000次脈衝後，未發現"接通”電流之顯著減退。 實例51 此實例之調配物係以類似實例5〇之方式製成。調配物係 以類似實例50中之方式測試。使單元於約6 V下脈衝100毫 秒’然後，在’’接通11狀態中，使用約5 Hz之0至3 V正弦波， 對單元重複加壓。’’接通’’電流係於約每1〇〇〇次循環後度量。 約5 X 107次循壞後，未發現π接通”電流之顯著減退。 實例52 製造待測單元，並按實例51測試，惟對單元重複加壓在" 接通Ί犬態中，使用0至4V梯形波，具有上升時間30微秒， 4 V恒定電壓時間30微秒，下降時間30微秒，及斷開時間90 100218 -71 - 1270982 微秒（約5.556 kHz)。”接通”電流係於約每1000次循環後度 量。場可程式化裝置可因電壓之突然改變而被傷害。電壓 上之此種迅速增加可被描述為傅里葉級數，其項係於振幅 上隨著增加基頻之倍數而減少。例如，方波之傅里葉級數， 係比具有電壓激升之梯形波之傅里葉級數較慢收斂。對於 特疋振幅’方波之南頻成份具有比梯形波較大之振幅。場 可程式化裝置之電容性電抗係與頻率成反比。因此，高頻 _ 傅里葉成份將傾向於迫使電流在約略正比於其振幅之定額 下經過裝置。因此，以較長上升時間信號程式化或讀取場 可程式化裝置，譬如可在梯形波中所見及者，將降低迫使 經過裝置之電流，並減少裝置疲勞。 實例53 此實例之調配物係以下述方式製成，將實例35之調配物 與實例44之調配物以i :丨重量比摻合。將已掺合之調配物 於實驗室滾筒上攪拌20分鐘，並經過〇.2微米膜濾器過濾。 • 待測記憶單元係經由將本發明實例之調配物旋轉塗覆在 100毫米矽曰曰圓上，並於110°c下，在加熱板上烘烤秒，且 於200C下，在加熱板上烘烤第二次，歷經6〇秒而製成，獲 得厚度約20至約100毫微米之薄膜。平均薄膜厚度為約⑽毫 微米。然後，使約0.5毫米直徑與約45毫微米厚度之鋁網點， 於約ΚΓ6至5 χ1(Γ5托之壓力下，經過陰影罩蓋，以熱方式蒸 發在薄膜上方。電流-電壓特性係使用以池丨巧6517α靜電計 度里，具有經配置為接地之矽晶圓，與經配置為工作電極 之鋁電極。整體度量係被LabView軟體所控制，其係首先經 100218 -72- 1270982 程式化’以從0.0V掃描至約7.0V，從7.0V至〇.OV，及從〇.〇 至-7.0V。然後，調整電壓範圍，以避免在正與負電壓掃描 期間過度驅動該單元。 < 實例54 此實例之調配物係以下述方式製成，將實例29之調配物 與實例47之調配物以1:丨重量比摻合。將已摻合之調配物 於只驗室滾筒上檀拌2〇分鐘，並、經過〇·2微米膜遽器過滤。 製造使用此實例調配物之待測記憶單元，並按實例53測試。 W 實例55-58 進行此等實例，以展示具有受體部份物質之聚酯結合劑 之合成。在所有情況中，係首先將試劑加入反應器中，幾 乎無關於添加之順序。反應裝配包括無論是1〇〇毫升或25〇 笔升二頸圓底燒瓶，裝有機械攪拌器、溫度控制箱、溫度 探針、加熱罩、冷凝器、Dean-Stark集氣瓶及氮滌氣入口管（掃 射）。將各反應物加熱至下表3中所指示之時間與溫度。對 φ 所有聚合體試樣與溶液進行凝膠滲透層析（GPC)，以測定重 量平均分子量與數目平均分子量，如下表4中所示。所有固 態聚合體係在瓷漏斗中藉過濾收集，風乾，然後，於約4〇 至70°C之溫度下，在真空中乾燥。對於單銷製備，係使炼 融態聚合體接著溶於溶劑中。溶液百分比係以理論產率為 基準。涉及各個別實例之合成係詳細討論於下文。 實例55 將2,6-蓁二羧餿二甲酯（24.33克，99.63毫莫耳）、對苯二甲 酸二甲酯（19.44克，100.1毫莫耳）、乙二醇（7·63克，123毫莫 100218 -73- 1270982 耳）、甘油（7.29克，79.2毫莫耳）及對-甲苯磺酸(PTSA)(〇,46克， 2.4毫莫耳）添加至反應燒瓶中。反應條件係示於下表4中。 使所形成之聚合體以10重量％之量，溶於2-羥基異丁酸甲酉旨 (HBM)、2-曱氧基異丁酸曱酯（MBM)及甲苯醚之混合物中， 其中重量百分比係以聚合體之總重量，以及HBM、MBM及 甲苯醚之重量為基準。 實例56 將2,6-莕二羧酸二甲酯（30.5克，125毫莫耳）、對苯二甲酸 二甲酯（14.5克，74.7毫莫耳）、乙二醇（7.20克，116毫莫耳）、 甘油（7.30克，79.3毫莫耳）及PTSA (0.47克，2.5毫莫耳）添加 至反應燒瓶中。反應條件係示於下表4中。使所形成之聚合 體以10重量％之量，溶於四氫呋喃曱醇與曱苯醚之混合物 中，其中重量百分比係以聚合體之總重量，以及四氫吱口南 甲醇與甲苯醚之重量為基準。 實例57 將2,6-莕二羧酸二甲酯（47.70克，195.3毫莫耳）、對苯二甲 酸二甲酯（25·90克，133.4毫莫耳）、甘油（32.90克，357.2毫莫 耳）、PTSA(0.84克，4_4毫莫耳）及甲苯醚（36克）添加至反應 燒瓶中。反應條件係示於下表4甲。使所形成之聚合體以1〇 重量％之量，溶於HBM與甲苯醚之混合物中，其中重量百 分比係以聚合體之總重量，以及HBM與甲苯驗之重量為義 準。 實例58 將2,6-奈二缓酸一曱酉旨（25.61克，104.8毫莫耳）、對苯一甲 100218 -74- 1270982 酸一甲酉旨（13.58克，69.93毫莫耳）、甘油（ΐ6·72克，181.5毫莫 耳）、PTSA(0.45克，2.4毫莫耳）及甲苯醚（18·8克）添加至反應 燒瓶中。反應條件係示於下表4中。使所形成之聚合體溶於 四氫呋喃（THF)中，並於異丙醇（ΙΡΑ)中沉澱，以獲得36·9克 聚合體，具有產率83%。使所形成之聚合體以1〇重量％之量， 溶於ΗΒΜ與甲苯醚之混合物中，其中重量百分比係以聚合 體之總重量，以及ΗΒΜ與曱苯醚之重量為基準。 表4 實例 反應溫度 (°C) 反應時間 (小時） Mw㈣克 /莫耳 Mn(RI)克 / 莫耳 多分散性 55 150-200 4 4065 1782 2.28 56 160 15 8638 2318 3.72 57 150-160 5.5 1225 (UV) 425 (UV) 2 88 58 150-160 13 16459 3902 4.22 實例59-62 將得自實例55-58之各聚合體溶液（3·〇克溶液，含有〇·3克 聚合體）’與得自實例1之金毫微粒子（〇〇93克）、甘脲、ι，3,4,6_ φ 肆（甲氧基曱基)(0·070克）、對-曱苯續酸(PTSA)溶液(0.233克， 1 /〇 PTSA >谷液，在丙二醇曱基喊/環己酮/2_經丁酸甲酉旨之 30/40/30 w/w摻合物中）及丙二醇曱基醚/環己酮/2_羥丁酸甲 酯之30/40/30WW摻合物（12.11克）合併。將調配物於實驗室滾 疴上擅：拌過仪，以使成份溶解，在超音波浴中音振分鐘， 並經過0.2微米膜濾器過濾。待測記憶單元係經由將本發明 實例之調配物旋轉塗覆在100毫米直徑矽晶圓^型， 0.0001-0.1 Ω-公分）上，並於120 c下，在加熱板上烘烤6〇秒而 製成，獲得厚度約20-100毫微米之薄膜，典型上為約5〇毫微 100218 -75- 1270982 米。然後’使約〇·5毫米直徑與約45毫微米厚度之鋁網點， 於約ΗΓ6至5 xlO·5托之壓力下，經過陰影罩蓋，以熱方式蒸 發在薄膜上方。電流_電壓特性係使用Kdthley 6517Α靜電計 度量’具有經接地之矽晶圓，與經配置為工作電極之鋁電 極。整體度量係被LabView軟體（National儀器公司）所控制， 其係首先經程式化，以從〇·〇 V掃描至約7.0 V，從7.0 V至 0·0 V，及從〇·〇至-7.0 V。然後，調整電壓範圍，以避免在正 與負電壓掃描期間過度驅動該單元。 實例63 進行此貫例’以展示C〇4 (775 -C5 H5 )4 (//3 -Te)4 -環戊二稀基始 碲金屬群集體之合成。將〇>(7?5-(：5115)(〇))2(2.0克，11.1毫莫 耳）稱重置於裝有磁攪拌棒與活塞側臂之5〇〇毫升燒瓶中。 於其中添加250毫升甲苯與200網目碲粉末（5·〇克，39·2毫莫 耳）。使混合物於氬氣下回流，並迅速攪拌48小時。於反應 過程内，鮮紅橘色溶液逐漸改變成深紅褐色。經過 號遽紙立即過渡熱反應混合物，使用過濾轉移裝置，具有 20-規格鋼管與管狀玻璃貯藏器，以環氧基膠固定至末端_ 於其上經渡紙佈線。以10笔升液份之熱曱苯進行剩餘固體 之重複洗條，接著過濾直到濾液無色為止。將曱苯洗液與 最初過濾之溶液合併。於此粗產物溶液中添加50毫升戊烧。 使所形成之溶液冷卻至-15°C之溫度，歷經數小時。自已冷 卻之產物溶液沉澱出C04 (7?5 -C：5 % \ (的-Te)4，為黑色結晶性 固體，後文以[CpCoTe]4表示。此金屬群集體系統為電子供 體，能夠經歷至少四個氧化步驟，而產生個別具有電荷為 100218 -76- 1270982 0、+1、+2、+3及+4之安定物種。 實例64 進行此實例，以展示Co^-C^CH3)5)4^^)4五曱基環戊 二烯基鈷碲金屬群集體之合成。使用實例64之合成方法， 惟使 C〇U5 (CH3 & )(C0)2 (3·0 克，12·〇 毫莫耳）與碲粉末(2〇〇 網目，5.0克，39·2毫莫耳）反應，並於真空下汽提粗產物溶 液之甲苯溶劑。將所形成之固體O^y^^CH3)5)4(均_Te)4無 論是以本身使用，或再溶解於最少量之熱甲苯中，並在冷 凍庫中，放置於-15°C之溫度下，而產生黑色結晶 Co4 (7?5 -C5 (CH3 )5 )4 (//3 -Te)4，後文以[PMCpCoTe]4 表示。此金屬 群集體系統為電子供體，能夠經歷至少三個氧化步驟，而 產生個別具有電荷為0、+1、+2及+3之安定物種。 實例65 在此實例中’將貫例23之聚合體（在PGMEA中之15% w/w 溶液，2.0克溶液）與[CpCoTe]4(0.075克）及甲氧基苯與2_庚酮 之50/50 w/w摻合物（12.93克）合併。將調配物於實驗室滾筒上 攪拌過夜，以使成份溶解，並經過0.2微米膜濾器過遽。按 實例25製造使用此實例調配物之待測記憶單元。 實例66 將實例23之聚合體（在PGMEA中之15% w/w溶液，2.0克溶 液）與[PMCpCoTe]4 (0.10克）及曱氧基苯與2-庚酮之50/50 w/w摻 合物（11.23克）合併。將調配物於實驗室滾筒上攪拌過夜， 以使成份溶解，並經過0·2微米膜濾器過濾。按實例25製造 使用此實例調配物之待測記憶單元。 100218 -77- 1270982 實例67 將具有100毫微来石夕膝之1〇〇毫米直徑石夕晶圓心塗覆 (約l%w/w矽，45毫微米厚度，壓力··約价6至5乂袱5托）。 使晶圓於200 C下，在加熱板上烘烤6〇秒，接著塗敷 Shipley 1813光阻。使晶圓於1〇(rc下再一次烘烤_、。塗層 厚度為L3微米。使光阻曝露在丨：i投影印表機中，然後展 色，而得額定線條與間隙，具有最小特徵尺寸為3微米。使 其下方之鋁藉由濕蝕刻構圖，使用包含8〇wt%H3p〇4、5wt% CH3 COOH、5wt% HNO3及l〇wt% % 〇之溶液。蝕刻係於4〇它下 進行30至60秒。接著剝離殘留光阻。使得自實例29之調配 物旋轉塗覆，於iio°c下，在加熱板上烘烤6〇秒，並於2〇〇 C下，在加熱板上供烤弟二次’歷經60秒，而得呈有厚产 約50宅彳放米之聚合溥膜。將約45宅微米厚度之|呂層塗覆在 聚合薄膜上方。塗敷Shipley 1813光阻，並於1〇(rc下，在加 熱板上烘烤60秒，獲得1.3微米塗層。使光阻在1 : i投影印 表機中曝露至光線，並展色，獲得線條與間隙，具有最小 特徵尺寸為3微米，實質上垂直於上文所詳述者，於12〇<^ 下’在加熱板上烘烤60秒’並使其下方之鋁藉由濕蝕刻構 圖，使用具有 80wt% H3 P04、5wt% CH3 COOH、5wt% HN〇3 及 l〇wt% H2〇之調配物。蝕刻係於40°c下進行30至60秒時期。 藉由溢流曝露與展色’剝離殘留光阻。交又點陣列試驗圖 樣係依此方式成功地製成。 實例68 此貫例係說明場可程式化薄膜之程式化，其中至少一個 100218 -78- 1270982 電極並未在相對於薄膜之固定位置上。使得自實例25之調 配物旋轉塗覆於具有電阻率約0 01歐姆-公分之型石夕晶圓 上，並於100°C下烘烤60秒，及在2〇〇艺下第二次烘烤，歷經 > 60秒。使約0·5 X 0·5平方公分之金屬樣件自經塗覆之晶圓分 裂，以少量銀糊將聚合體面朝上裝載在磁性基材上，並放 置在Digital儀益多模式3A掃描探測顯微鏡中，其裝有鈦塗覆 之尖頭，電壓來源能夠施加Dc偏壓至該尖頭，與微微電流 計，以度量施加電壓時，經過尖頭之電流。尖頭係經網格 越過％可程式化薄膜，呈接觸模式，使用1〇 V偏壓，其方 式係致使在場可程式化薄膜中，產生約3微米又約1〇微米之 矩形圖樣。場可程式化薄膜係經由施加4V偏壓，並以垂直 最初矩形圖樣之方向，掃射約3微米义約⑴微米之矩形網格 圖樣而嗔取，同時監控電流。先前已接受電場之區域，相 較於先前並未接《電場之區支或，典型上顯示較高電流達大 於10之因數。或者，使場可程式化薄膜逐點程式化，其方 • 式是將具有無論是lov偏壓或ον偏壓之尖頭分接在薄膜 之表面上，然後相對於薄膜移動尖頭。讀取逐點程式化之 薄膜=藉由度量其中可能已經或可能未施加偏壓之位置處 電a而達成。在任一情況中，係將負偏壓於約j至約v 下施加至先前已寫入之薄膜，以消除此程式化。 實例69 盆待測^憶單元係按下述製成：普半氧烧結合劑聚合體， 系广苯基、甲基及二甲基矽氧烷基團，在約4卜允及3 、耳％之組成下任意取代’以苯基三乙氧基矽烷、甲基三 100218 -79- 1270982 乙氧基矽烷及二甲基二乙氧基矽烷之進料流（以商標名 GR150F銷售，得自Technoglass公司）為基準，將其在具有約等 份w/w之戊二酸二曱酯、琥珀酸二甲酯及己二酸二甲酯（後 文稱為DBE)之92克溶劑中之1〇%溶液，與約29毫微米大小 之CuO毫微粒子（以U1102DBE由毫微相公司銷售）在4 〇克 DBE溶劑中之43%w/w懸浮液，及約3〇毫微米大小之氧化銻 錫毫微粒子，其中Sb/Sn莫耳比為約19 (以S1222DBE由毫微 相公司銷售），在4.0克DBE溶劑中之50.7%懸浮液摻合。將 所形成之摻合物在瓶中，於實驗室滚筒上滾動過夜，並經 過具有孔隙大小約200毫微米之聚乙烯膜濾器過濾。將所形 成之混合物於旋轉速度约500-5000 rpm下，旋轉塗覆在呈有 電阻率約0.001-1.0歐姆-公分之1〇〇毫米矽晶圓上，而得厚度 為約100毫微米。首先使經塗覆之晶圓於12〇°C下，在加熱板 上烘烤60秒，然後轉移至第二個加熱板，並於20(rc下烘烤 60秒。使直徑〇·2毫米之鋁墊蒸發於經塗覆之晶圓上，並將 材料裝載在探測站，且按前文所述測試。 實例70 製造實例69之待測記憶單元，惟結合劑聚合體為氫化石夕 倍半氧烷，具有約略實驗式為HSiOi .5。 實例71-81 製造實例69之待測記憶單元，惟調配物成份係呈％ w/w 量，如下文所示： 100218 -80 - 1270982 聚合體 結合劑， %w/w CuO毫微粒子， %w/w (實例 93-103) SbSnO毫微粒子， %w/w (實例 82-82) 實例71 85 10 5 實例72 98 1 1 一 實例73 85 5 10 ~ 例 74 85 7.5 7.5 一^列 75 89 1 10 例 76 89 10 1 實例77 87 10 3 實例78 87 3 10 實例79 89.2 5.4 5.4 ^^7列 8〇1 93.5 5.5 1 實例81 93.5 1 5.5 實例82-92 製造貫例71-81之待測記憶單元，並經測試，惟以氧化錮 錫在DBE中之類似懸浮液，置換氧化銻錫毫微粒子懸浮液。 實例93-103 製造貫例71-81之待測記憶單元，並經測試，惟以非化學 計量之硫化銅在DBE中之類似懸浮液，置換氧化銅毫微粒 0子懸浮液。 比較實例104 在此實例中，係將聚甲基丙烯酸甲酯與金粒子混合。將 具有重量平均分子量254,000克/莫耳與多分散性指數低於 或等於約1.1之0.3克聚甲基丙烯酸甲酯，和得自實例i之金 毫微粒子（0.1克）、8-羥基喳啉（0·1克）及鄰-二氯苯（1617克） 合併。金粒子並未共價結合至聚甲基肉烯酸甲酯。8_羥基 ρ奎琳亦未結合至聚甲基丙稀酸甲酯。將混合物於實驗室滾 100218 -81 · 1270982 筒上撲拌過夜，以使成份溶解，在超音波浴中音振約1〇分 鐘，並經過0.2微米膜濾器過濾。製造使用此實例調配物之 待測記憶元件，並按實例25測試，惟使聚合體薄膜於8〇ι 下，在加熱板上供烤30分鐘。工作單元係以類似實例25之 參數獲得。 比較實例105 使用實例104之調配物，按實例25製造待測記憶單元。未 獲传工作早元’推測係因為大部份8-經基峻琳係在烘烤步 驟期間，自薄膜蒸發。 比較實例106 將具有100毫微米矽膠之100毫米直徑矽晶圓以鋁塗覆 (約l%w/w矽，45毫微米厚度，及約1〇_6至5Χ 1〇·5托壓力）。 使晶圓於200°C下，在加熱板上烘烤60秒，並塗敷Shipiey 1813 光阻，及在100t：下烘烤60秒，而得1.3微米塗層。使光阻曝 路在1 · 1投影印表機中，並展色，獲得額定線條與間隙， • 具有最小特徵尺寸為3微米，並使其下方之鋁使用標準蝕刻 化學，藉由濕蝕刻構圖。剝離殘留光阻。首先，將得自實 例56之調配物旋轉塗覆，然後，於8〇〇c下，在加熱板上烘 烤30分鐘，而得約50毫微米厚度之聚合體為主之薄膜。將 具有厚度約45毫微米之鋁塗覆在聚合體為主之薄膜上方。 塗敷Shipleyl813光阻，並於100tT，在加熱板上烘烤6〇秒， 獲付1.3微米塗層。使光阻曝露在丨：i投影印表機中，並展 色，而得線條與間隙，具有最小尺寸為3微米，實質上垂直 於上文所詳述者，然後於赋下，在加熱板上烘烤60秒。 100218 -82 - 1270982 於取後一個供烤步驟後，於鋁線條下發現顯著起泡。此起 泡顯不係來自上文聚合體為主之薄膜之除氣作用，並產生 足夠缺’以致可測試之工作單元之成功製造呈現困難。 【圖式簡單說明】 圖1係描％電場可程式化薄膜之示意圖； 圖2(a)係描緣具有連續電場可程式化薄膜之交叉點陣列 資料儲存裝置之剖視圖； 圖2(b)係描繪具有多個像元化電場可程式化薄膜元件之 父叉點陣列資料儲存裝置之剖視圖； 圖3⑻係描繪包含電場可程式化薄膜元件之交又點陣列 圖3⑼係描綠包含電場可程式化薄膜元件之交叉點陣列 ’置之示意圖； 圖圖4係_基材上之堆疊資料料裝置之剖視部份分解

圖5係描繪基材上之堆疊資料儲存裝 圖； 置之剖視部份分解 &係描繪包含基材與 丨间衣直層之 存裝置之部份分解剖視圖；及 圖7係以剖視方式提供資料儲存裝 7(a)與分解7(b)圖，其中記憶元件係藉由 【主要元件符號說明】 種堆疊資料儲 一部份之鄰接 二極體隔離。 單一電場可程式化薄臈 第一個電極 100218 -83- 1270982 4 第二個電極 5 可變程式/讀寫電壓來源 6 參考物或接地 7 連續電場可程式化薄膜 8 字元線 9 位元線 10 電場可程式化薄膜元件 11 像元化電場可程式化薄膜元件

12 字元線 13 位元線 14 電偶合元件 16 電場可程式化薄膜元件 17 位元線 18 字元線 19 接頭 20 接頭 21 感測電子系統 22 徵詢電子系統 23 電場可程式化薄膜元件 24 位元線 25 字元線 27 絕緣二極體 28 聯結處 29 徵詢電子系統 100218 - 84- 1270982 30 感測電子系統 31 基材 32 導電性或半導電性電極 33 絕緣材料 34 電場可程式化薄膜 35 導電性或半導電性電極 36 絕緣材料 37 介電絕緣層 38 導電性或半導電性電極 39 絕緣材料 40 電場可程式化薄膜 41 導電性或半導電性電極 42 絕緣材料 43 基材 44 導電性或半導電性線 45 導電性或半導電性材料 46 電場可程式化薄膜 47 絕緣體 48 導電性或半導電性線 49 絕緣體 50 隔離薄膜 51 導電性或半導電性線 52 導電性或半導電性材料 53 電場可程式化薄膜 100218 -85- 1270982 54 絕緣體 55 導電性或半導電性線 56 絕緣體 57 基材 58 導電性或半導電性線 59 導電性或半導電性材料 60 電場可程式化薄膜 61 絕緣體 62 導電性或半導電性線 63 絕緣體 64 電場可程式化薄膜 65 導電性或半導電性材料 66 導電性或半導電性線 67 導電性或半導電性材料 68 電場可程式化薄膜 69 絕緣體 70 導電性或半導電性線 71 絕緣體 72 p-型半導體 73 n+位元線 74 p+區域 75 經構圖基質 76 電場可程式化薄膜元件 77 導電性或半導電性字元線 100218 -86-

Claims (1)

1270982 十、申讀專利範圍·· L 一種電場可程式化薄膜，其包含： 一種結合至電活性部份物質之聚合體。 2·如清求項丨之電場可程式化薄膜，其 t -f ^ ^ 電活性邛份物質為 兔于仏體及/或電子受體及/或供體-受體複合物。 3.=請之電場可程式化薄膜，其中電活性部份物質為 :、,、蒽、菲、四苯環、五苯環、苯并菲、三蝶烯1 本一甲藍素、四苯并口卜吩、2_胺基视味d坐妙二甲猜、 嫌唾錐Γ環戍二稀鐵、二苯并查爾吩、紛㈣、四硫富瓦 =方基偶氮基、香豆素”丫咬H料、異心林、 五I笨胺、慈酿、四氰基蒽酉昆二甲燒、四氰基口奎淋并二甲 烷，或含有至少一種前述電活性部份物質之組合。 4·::求項1之電場可程式化薄膜，其中電活性部份物質為 吕此基、分子、毫微粒子或粒子。 5·如明求項1之電場可程式化薄膜，其中電活性部份物質為 毫微粒子，包括金屬、金屬氧化物、類金屬原子、半導體 原子或包含至少一種前述之組合。 6· 士明求項1之電場可程式化薄膜，其中聚合體具有介電常 數為2至1000。 如睛求項1或2之電場可程式化薄膜，其中聚合體為聚縮 醛、來（曱基）丙烯酸或聚丙烯酸、聚碳酸酯、聚苯乙烯、 聚酯、聚醯胺、聚醯胺醯亞胺、聚烯烴、聚芳基化物、聚 芳基砜、聚醚颯、聚苯硫、聚颯、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、 聚四1乙烯、聚笨并環丁烯、聚醚酮、聚醚醚酮、聚醚酮 100218 1270982 嗣、聚苯并十坐、聚吟二0坐、聚苯并㈣并盼㈣、聚苯 并嘍唑、聚吡啡并喳呤啉、聚焦蜜石酸醯亞胺、聚喳嘮啉、 聚苯并咪唑、聚氧化吲哚、聚酮基異吲哚啉、聚二酮基異 ㈣淋、聚三_、聚。荅唯、聚六氫峨哨、聚p比咬、聚六氛 吡啶、聚三唑、聚吡唑、聚碳硼烷、 苯并咬喃、聚鄰苯二甲内醋、聚縮酸、聚二:稀二 聚乙烯基硫醚、聚乙烯醇、聚乙烯基酮、聚_化乙烯、聚

乙烯基腈、聚乙稀醋、聚確酸醋、聚硫化物、聚硫醋、聚 颯、聚續醯胺、聚脲、聚麟腈、聚石夕氮炫、聚石夕氧烧，或 包含至少一種前述聚合體之組合。 =如請求項1之電場可程式化薄膜，其中聚合體係經交聯。 •如睛求項1至8中任-項之電場可程式化薄膜，其中電極 係與電場可程式化薄膜呈電接觸，且電極位置相對於電場 I程式化薄膜係被固定，或電極可改變其相對於電場可程 式化薄膜之位置。

10· 一種記憶裝置 程式化薄膜。 其包含如請求項丨至9中任 一項之電場可 種機益'，其包含如請求項10之記憶裝置。 12·—種製造電場可程式化薄膜之方法，其包括： ^包含聚合體與結合至該聚合體之電活性部份物質之 、、且&物，沉積在基材上。 3·如明求項12之方法，豆進一牛 /、進/包括使聚合體交聯。 •種貪料處理機器，其包含： 執行指令之處理器；與 100218 1270982 包含電場可程式化薄膜之記憶裝置，其中電場可程式 * '匕έ、’Ό合至電活性部份物質之聚合體，且進一步其 中記憶裝置係與處理器呈電及/或光學連通。 15·如請求項9之電場可程式化薄膜，其中電極係經由隔離元 件/、電場可耘式化薄膜呈電接觸，其中隔離元件為接合二 極體、接觸二極體、MOS電晶體之源極、M〇s電晶體之汲 極、MOS電晶體之閘極、雙極電晶體之基底、雙極電晶體 之發射體或雙極電晶體之收集器。 16·如請求項9之電場可程式化薄膜，其中電場可程式化薄膜 係藉由足夠程度與延績時間之脈衝被切換成”斷開，，，其中 脈衝之特徵在於該脈衝相對於寫入脈衝之偏壓係選自正 向偏壓或逆偏壓。

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