TWI249741B - Optical record playing medium, mother disk for manufacturing of optical record playing medium and optical record playing device, optical record regeneration medium, original disk for manufacturing of optical record regeneration medium - Google Patents

Description

γ 1249741一————t I 冬;：ί ' π '·：·αι1 ^ 〜〜-〜一》_’--·，‘—·.，—.《〜〜·、，，—.，—一、...... 玖、發明說明： 發明所屬之技術領域 本發明係關於沿著記錄軌道形成溝槽，利用照射特定波 長之光而施行記錄及/或播放之光學記錄播放媒體、製造該 媒體用<光學記錄播放媒體製造用母盤及使用該光學記錄 播放媒體之光學記錄播放裝置，特別係關於適合於使用作 為ν a錄密度之光碟、光磁碟等之光學記錄播放媒體、光 學記錄播放媒體製造用母盤及光學記錄播放裝置。 先前技術 作為光學記錄播放媒體已有各種形成圓碟狀，用於施行 光學的記錄及/或播放之光碟邁入實用化之階段。在此種光 莱中有利用預先在光? 莱基板形成對應於資料之壓印凹痕 所製成之播放專用光碟、利用磁光學效應施行資料之記錄 乏光磁碟、及利用記錄膜之相位變化施行資料之記錄之相 位變化型光碟等。 例如’有 CD(Compact Disc :音碟）、LD(Laser Disc ·•雷 射光碟）、DVD(Digital Versatile Disc)-ROM( Read Only

Memory)(數位多用途光碟播放專用記憶體）等播放專用型 光碟光磁碟之可改寫型之MD(Mini Disc :小型磁碟）等、 預先形成作為預格式之離散的資訊圖案、追蹤用之導溝 (即所謂溝槽）之可寫入型之光碟之〇¥]：)+11貿或DVD — rw (均為光碟之註冊商標）或光磁碟之MO(Magneto 〇pitieal : 磁光碟）、MD Data2(Sony公司之光磁碟之註冊商標）等之各 種光學1己錄播放媒體之提案存在。

82830-940719.DOC 1249741 在此，所謂溝槽，主要係為了能夠施行追蹤伺服而沿著 記錄軌道形成，溝槽與溝槽之開口端間稱為島。 而，在形成溝槽所構成之光學記錄播放媒體中，通常係 利用依據得自被溝槽反射繞射之光之推挽訊號之追蹤誤差 訊號施行追蹤伺服動作。在此，推挽訊號係利用對稱地配 置於軌道中心之多數光檢出器檢出被溝槽反射繞射之光， 利用特定之計算式計算來自多數光檢出器之輸出所獲得。 而，以往，在此等光碟中，係利用提高搭載於播放裝置 之光拾取裝置（即入射光碟之播放用光之光學系）之播放分 解能力之方式，達成高記錄密度化。而，光拾取裝置之播 放分解能力之提高主要係以光學的方式，利用縮短使用於 資料之播放之雷射光之波長又，或增大將雷射光會聚在光 碟上之物鏡之數值孔徑NA之方式加以實現。 在上述之 CD 或 MD、DVD-ROM、DVD+RW、MD Data2 等各種光學記錄播放媒體中，其播放用之雷射光之波長λ 、數值孔徑ΝΑ、軌道間距Τρ如以下之表1所示。由此可知 :播放用之雷射光之波長Λ之短波長化及播放透鏡之高ΝΑ 化，可使軌道間距變小，達成高記錄密度化。 表1 雷射光波 數值孔徑 λ / 2ΝΑ 軌道間距 長 λ [nm] ΝΑ [nm] CD、MD 780 0.45 867 1600 DVD-ROM 650 0.60 542 740 DVD+RW 650 0.60 542 800 MD Data2 650 0.52 625 950

82830-940719.DOC 軌道間距係對應於播放裝置之光拾取裝置之截止頻率、2 NA /又而選定其下限。實際上係設定為對應於2 ΝΑ / λ之 軌道間距之2倍〜3/2倍之程度。此係因為，為了施行穩定 之追蹤伺服，需要充分之追蹤播放訊號振幅之故。 近年來，在DVD+RW、MDData2等之高密度光碟中，追 蹤播放訊號使用推挽訊號。在現在狀態下，施行穩定之追 蹤伺服所需之充分之推挽訊號振幅量（peak_peak值；峰-峰 值）在0.15以上之程度。 例如，MDData2如同以模式顯示其一例之平面構成之圖 8所不，通常之溝槽（直溝槽）81與擺動溝槽82之雙螺旋狀之 溝槽係將軌道間距Τρ形成〇.95 μηι，將溝槽間之週期之軌道 週期Td形成1.90㈣，2個溝槽間之島部為軌道似料，被 形成作為記錄區域。推挽訊號振幅量為〇3〇之程度，由於 可獲得充分之訊號振幅量，故可實現較之追㈣服特性 0 一而，近年來，謀求更大容量化乃至於光碟之小型化用之 高記錄密度化時’有人提出將記錄區域設於溝槽與島雙方 之所謂島溝槽記錄方式，軌道間距為i.⑽_時，推挽訊號 振幅量為0.48之程度’可獲得敎之追料谨特性。 但，如此將記錄區域㈣島與溝槽雙方時，僅溝槽之側 面成為未記錄區域，財化島及溝槽本身之寬度時，3此溝 槽之侧面也會被窄化，由於涉及鄰接之記錄區域間之“ 《問題，故有難以施行某種程度以上之高記錄密度化之問

82830-9407l9.DOC 1249741 因此，在實質上難以將軌道間距窄化至某種程度以上， p不可把做到接近於對應於由播放用雷射光之波長又與光 拾取裝置之數值孔徑NA所決定之截止頻率之軌道間距。 、有鑒於上述問題，本發明之目的在於提供即使在採用島 溝槽記錄方式時，也可一面抑制在島部與溝槽部之記錄訊 號之串訊，一面謀求軌道間距之窄化，更可穩定地獲得充 刀大之推挽訊號振幅量之構成之光學記錄播放媒體、製造 忒媒把之際所使用之光學記錄播放媒體製造用母盤及使用 該光學記錄播放媒體之光學記錄播放裝置。 發明内容 ‘ 本發明疋光學記錄播放媒體係沿著記錄軌道形成溝槽， 利用照射特定波長Λ之光而騎崎及/或播放，且將溝槽 構成包含第一溝槽、與比該第一溝槽淺之第二溝槽，將第 二溝槽鄰接配置於第一溝槽之兩側。 另外，本發明 < 光學記錄播放媒體製造用母盤係在製造 沿著記錄軌道形成溝槽，利用照射特定波長λ之光而施行 記錄及/或播放之光學記錄播放媒體之際所使用；且將對應 於光學記錄播放媒體之溝槽之溝槽圖案構成包含對應於第 「溝槽：第一溝槽圖案、與對應於比該第一溝槽淺之第二 毒才曰之第—溝槽圖案，將第二溝槽圖案鄰接配置於第一溝 槽圖案之兩側。 另外’本發明之光學記錄播放裝置係使用上述構成之光 學⑽播放媒體，即使用沿著記錄軌道形成溝槽，利用照 射特足波長λ之光而施行記錄及/或播放之光學記錄播放

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[X249741 I \ .Λ ν· ! ! "Γ" · ： : ι:. 丨丨 * 1 ! • ·**、 ...... .， .........* 媒體；且將光學記錄播放媒體之溝槽構成包含第一溝槽、 -與比該第一溝槽淺之第二溝槽，將第二溝槽鄰接配置於第 一溝槽之兩侧之光學記錄播放裝置。 如上所述，在本發明之光學記錄播放媒體中，係利用包 含第一溝槽、與比該第一溝槽淺之第二溝槽，且將第二溝 槽鄰接配置於第一溝槽之兩側之構成，以獲得充分大之推 挽訊號振幅量。 尤其，由光學記錄播放媒體之光入射面至第一及第二溝 - 槽之媒質之折射率為η時，將第一及第二溝槽之相位深度χι馨麵^ 及X2分別設定為： λ / 32η^ χ / 3.23η Χ2< Χι 時’可獲得充分大之推挽訊號*，並獲得穩定之追緞伺服- 特性。 η精此可有化構成記錄區域之島及第一溝槽之寬度，故可 提供滿足穩定之追踉伺服及記錄播放特性，且可施行高密 度記錄之光學記錄播放媒體、光學記錄播放媒體製造用母·· 盤及光學記錄播放裝置。 _ 實施方式 明之適當實施形態，但本 可執行其他種種變形、變 以下’參照圖式詳細說明本發 發明並不限定於以下各例，當然 更。 ^ 1, Λ, ’子冗綠播放媒體之一例之 杈式的剖面構成及光照射情 Θ< 圖。圖i中，1為PC(聚碳

82830-940719.DOC 1249741 酸酯）等所構成之基板，2為形成於其上之第一溝槽，3為鄰 接配置设在此第一溝槽兩側，且比第一溝槽淺之第二溝槽 4為夾在第二溝槽間之島。在此基板丨上包覆例如電介質 層5、光磁材料及相位變化材料等形成之記錄層6、電介質 層7、A1等形成之反射層8、紫外線硬化型樹脂等形成之保 護層9 ’而構成光學記錄播放媒體。 在圖1之例中，係表示記錄及/或播放（例如播放用）之光 子系之光拾取裝置1 〇 (即物鏡）由基板1之背面侧（即與形成 有記錄層等之面相反之侧）被照射之例。又，在此圖丨中， Tp係表示軌道間距。在本例中，係表示將記錄區域設在第 一溝槽2之底邵與島4之間之例，軌道間距為形成第一溝槽2 與島4之週期。又，Td表示第一溝槽2之週期之軌道週期。 在此種構成中，尤其，由光入射面至第一及第二溝槽之 媒質之折射率（即在上述之圖丨之例中，基板丨之折射率）為〇 時’將弟一及弟二溝槽之相位深度Χι及Χ2分別設定為： λ / 32η^ X! ^ λ / 3.23η X2< Xl 時，如在後段之實施例中所詳述，可獲得充分大之推挽訊 號振幅量，而可穩定地施行追蹤伺服，保持良好記錄播放 特性。 其次，參照圖2Α〜C之光學記錄播放媒體製造用母盤之 製程圖說明此種本發明之光學記錄播放媒體之製程之一 例0 在圖2Α中’ 51為玻璃等形成之母盤用基板。在此母盤用 82830-940719.DOC -10- 1249741 基板51之表面包覆形成有光阻材料等構成之感光層52，在 圖2A中’如對應於第一溝槽之曝光用光B2、與對應於鄰接 於此兩侧之第二溝槽之曝光用光Bll及b12之強度分部之模 式所示’以各曝光用光之光點局部重疊方式施行特定之圖 案曝光，以形成對應於第一及第二溝槽圖案之階差形狀之 潛影5 3。在圖2 A中，在潛影5 3處附上斜線加以表示。 此後’塗敷或浸潰特定之顯影液，以施行顯影，如圖2B 所示，將對應於第一及第二溝槽之第一及第二溝槽圖案54 及55形成於母盤用基板51上之感光層52，即可獲得光學記 錄播放媒體製造用母盤56。 在此光學記錄播放媒體製造用母盤56中，對光學記錄播 放媒體之播放光之波長為λ，基板丨之折射率為11時，將光 學記錄播放媒體製造用母盤56之各溝槽圖案54及55之相位 深度χΓ及x2’分別構成為： λ / 32η^Χ!?^ χ / 3.23η X2f < χΓ 此後，覆蓋圖案化之感光層52上，全面地利用無電場電 鍍法等，包覆鎳包覆膜等形成之導電化膜後，利用將被包 覆導笔化膜之母盤用基板51固定於電積成型裝置等之電梦 法，以在導電化膜層上形成例如3〇〇± 5 μιη程度之厚度方^ 形成Ni等組成之電鍍層，如圖2C所示，形成由此電 構成之光學記錄播放媒體製造用之光碟原模57。此後Y例 如利用刀具等由母盤用基板51將電鍍層剝離，利用丙酮^ 洗淨包覆在其表面之感光層而獲得製造本發明構成之光= 82830-940719.DOC -11 - 1249741 記錄播放媒體之基板用之光碟原模，惟此部分並未予以圖 不 〇 圖3係表示此光碟原模57之一例之概略線的平面構成之 模式。在本例中，係將第一溝槽構成擺動溝槽之例，58表 不第一溝槽圖案，59表示鄰接配置於第一溝槽圖案之兩侧 <第一溝槽圖案，60表示各第二溝槽圖案間之島圖案。 如此，在本發明構成中，設有對應於較深第一溝槽之第 一溝槽圖案、與對應於在其兩侧較淺之第二溝槽之第二溝 槽圖案。採用此種構成之情形時，由此光碟原模57，利用 /主塑成型法或2Ρ (Photo-Polymerization ··光聚合法）等成型 基板時，與使用僅設置深的溝槽之構成之光碟原模之情形 相比’可將其成型後之基板上之凹凸形狀良好地予以保持。 就此情形加以說明時，以往，如表示其一例之基板表面 惑凹凸圖案之剖面構成之圖4所示，基板8〇上之溝槽81之深 度較深時，在島85之兩側角部會有產生形成峭立狀之所謂 島角（尖角）86之問題。此係由於在凹凸圖案與形成在母盤 <感光層之凹凸圖案相反之光碟原模中，流入島以對應於 光碟原模之凹邵之樹脂在由光碟原模剝離之際變形所致。 在由上述本發明構成之光學記錄播放媒體用母盤所製成 之光碟原模中，由於採用將較淺之第二溝槽設於較深之第 一溝槽之兩侧之構成，故可抑制此種島角之產生。 其次，將上述圖2A中所述之光學記錄播放媒體製造用母 盤之具體的曝光工序，參照圖5而與光學記錄裝置之構成例 共同地予以詳細說明如下。

82830-940719.DOC -12- :1249741 ! !——...—:………——」 首先，說明有關此光學記錄裝置之構成。 在上述之圖案曝光工序中，一般係採用以物鏡會聚雷射 光束，並將母盤用基板上之光阻等感光層曝光之方法。此 光學記錄裝置之一例如圖5所示。 在圖5中，20表示氣體雷射等之光源。作為光源，並無特 別限定，可適當地選擇使用，但在本例中，係使用振盪產 生Kr雷射（波長λ =3 5 1 nm)之記錄用雷射光之雷射源。 由此雷射源出射之雷射光通過電光调制益 (Electro-Opitical Modulator: EOM)24、透過S偏振光之檢 光器25後，被分束器BS2局部反射。透過分束器BS2之雷射 光再度被分束器BS1局部反射，透過分束器BS1之光被光檢 出器（PD)26所檢出。雷射光束被施加至電光調制器24之施 加訊號電場V調制強度，並以將其光輸出，即光檢出器26 之輸出控制於一定之方式被施行自動光量控制（APC)處理 ，惟此部分在此未予圖示。 如此，光輸出被控制於一定之雷射光束在分束器B S1及 BS2被反射之第1及第2雷射光束B1及B2係分別被入射於第 一及第二調制部27及28。在第一及第二調制部27及28中， 雷射光束B 1及B2被透鏡L11及L2 1所會聚，在其焦點上配置 有由AOM(Acousto-Opitic Modulator :聲光調制元件）構成 之AO調制器29(ΑΟΜ1)及AO調制器31(AOM2)。 對應於記錄訊號之超音波由驅動器30及32被輸入至AO 調制器2 9及3 1，依據此超音波調制雷射光束之強度，再被 AO調制器29及31之繞射光柵繞射，在其繞射光中，僅使1 82830-940719.DOC -13 - 1249741 Μ 氕！ :9 次繞射光透過狹縫。 文強度调制之1次繞射光分別被透鏡L12及L22所會聚。 由第一調制部27出射之雷射光束⑴被分束器BS3局部反射 透過此分束器BS3之第1-1雷射光束Bll被反射鏡Ml反射 而使其行進方向彎曲9〇。後，透過1/2波長板Hwp而水平且 /口著光軸被導至移動光學轉盤4〇。又，被分束器BS3反射 之第1-2雷射光束之行進方向被彎曲9〇。後，水平且沿著 光軸被導至移動光學轉盤40。 又，由第二調制邵28出射之雷射光束B2也同樣利用反射 鏡M2使其行進方向彎曲9〇。後，水平且沿著光軸被導至移 動光學轉盤40。 被導至移動光學轉盤40之第1-1雷射光束Bn被1/2波長 板H WP鍵成p偏振光平行光束，透過偏振光分束器pBs。另 一万面，第1-2雷射光束Bl2被分束器BS4反射，再被偏振光 分束态PBS反射，而以與第丨-丨雷射光束保持特定間隔被導 向平行方向。 另一方面，第2雷射光束B2在移動光學轉盤4〇上之偏向 光學系38中，被施以光學偏向後，被反射鏡M4反射而使行 進方向再彎曲90。，透過分束器BS4而被導入偏振光分束器 PBS’在此被反射而在第丨—丨及第丨_2雷射光束之間，與此等 第1-1及第1-2雷射光束平行地被導入。 而，藉偏振光分束器PBS而使行進方向再弯曲9〇。之雷射 光束、Bu及B2被放大透鏡L3變成特定之光束徑後，被 反射鏡M5反射而導入物鏡39,利用此物鏡39會聚於母盤用 82830-940719.DOC -14- 1249741 基板51之感光層52 即’在放大透鏡L3中，改變對物鏡之

光光束之光點徑縮小。

在此，偏向光學系38係由楔形稜鏡33、聲光偏向器（A0D • Acousto Opitical Deflector)34、楔形稜鏡35所構成。雷 射光束B2經由楔形棱鏡33入射至聲光偏向器34，被聲光偏 向器34以對應於所希望之曝光圖案之方式施以光學偏向。 作為使用於此聲光偏向器34之聲光元件，例如，以使用 氧化碲（Te〇2)形成之聲光元件較為合適。而，被聲光偏向 器34施以光學偏向之雷射光束B2經楔形棱鏡35而由偏向 光學系38出射。此等楔形棱鏡33、35與聲光偏向器34係以 聲光偏向器34之聲光元件之光柵面對於雷射光束B2滿足 布喇格條件，且不改變由偏向光學系38出射時之雷射光束 之水平高度之方式被配置。 在此，在聲光偏向器34上，安裝驅動此聲光偏向器34之 驅動用驅動器36，來自電壓控制振盪器（Vc〇 : VQhage Controlled Oscillator)37之高頻訊號被正弦波調制後供應 至此驅動用驅動器3 6。而，在感光層曝光之際，對廣於所 希望之曝光圖案之訊號由電壓控制振盪器37被輸入至驅動 82830-940719.DOC -15- 1249741 用驅動器36，依照此訊號，利用驅動用驅動器“驅動聲光 偏向器34，藉以對雷射光束B2施以對應於所希望之擺動之 光學偏向。 又，在製造光學記錄播放媒體之際，例如欲在記錄區域 外之内周部形成凹痕時，也可不使此第二雷射光束B2光學 偏向而利用反射鏡M4使其反射，並入射於偏振光分束器 PBS，例如由上述驅動器36輸入對應於特定之圖案之 ON/OFF(開或關）’藉以形成目的之凹痕圖案。 以一例加以說明時，作為擺動訊號，例如，由電壓袒制 振盪器37，將中心頻率為224 MHz之高頻訊號以控制訊號 (84.6 kHz之位址資訊：FM調制）調制成FM訊號後，由端子 供應至聲光偏向器34。在聲光偏向器34,利用由端子供應 之控制訊號，改變布喇格角，84.6 kHz之訊號成為記錄位 址之擺動資訊之訊號。 利用以上之方法所偏向之第2雷射光束B2之圖案曝光， 可將兒錄ADIP(Address In Pregroove :預溝槽位址）之第一 溝槽2形成於感光層52。 另一方面，第1-1及第1-2雷射光束bu及β12係以鄰接配置 於被施以擺動偏向之第2雷射光束B2之兩側之方式，調整 分束咨BS4、偏振光分束器pbs之方向，其曝光部如前述圖 2A中所述，以與雷射光束…局部重疊方式施行曝光。利用 此等第1-1及第1-2雷射光束Bll及Bi2使較淺之第二溝槽深 度保持一定之方法可利用適切地選定分束器BS3、BS4之反 射率（透光率），使各光束之記錄功率保持一定之方式予以 82830-940719.DOC •16- 1249741 實現。又，較深之第一溝槽之深度變化可利用改變感光層 5 2之厚度’並以對此感光層5 2之全厚施以曝光方式控制記 錄功率，藉以施行良好精確度之控制。 實施例 利用上述光學記錄裝置，製作本發明構成之光學記錄播 放媒體製造用母盤。在以下之實施例中，將放大透鏡以之 焦距設為80 mm，將物鏡39之數值孔徑NA設為〇·9。作為 ΑΟ調制器29及31之ΑΟΜ1及ΑΟΜ2，使用氧化碲。由輸入 端子經驅動器30及32被供應之訊號在形成溝槽時，為一定 位準之DC(直流）訊號。在本例中，作為調制光學系27及28 之光學透鏡，將聚光透鏡L11及L21之焦距之焦距設為8〇 mm，將準直透鏡L12及L22之焦距設為100 mm。 上述構成之光學記錄裝置之曝光條件為：線速2 〇 m/s程 度、輸送間距（即上述圖1中所示之軌道週期）i.OO μιη，雷 射功率在記錄較淺之第二溝槽時，為0.35 mw程度，在記 錄較深之第一溝槽時，為0.50 mW。 接著，以感光層52位於上部之方式將母盤用基板51載置 於顯影機之轉盤上，以使此母盤用基板51之表面呈水平面 方式使其旋轉。在此狀態下，將顯影劑滴在感光層52上， 而施行感光層52之顯影處理，在訊號形成區域形成依據記 錄訊號之凹凸圖案，以形成上述圖2B中所述之光學記錄播 放媒體製造用母盤。 此後，利用上述圖2C中所述之製程，形成與利用上述光 學1己錄裝置之圖案曝光及顯影工序製成之凹凸圖案相反轉 82830-940719.DOC -17- ψ 之凹凸圖案之光學記錄播放媒體製造用之光碟原模。即， · 利用無電場電鍍法等，形成鎳包覆膜組成之導電化膜，將 形成有導電化膜之光學記錄播放媒體製造用母盤固定於電 積成型裝置，利用電鍍法，在導電化膜上形成3〇〇土5 μιη 程度之厚度之Ni電鍍層，利用刀具等由母盤將此電鍍層剝 離，利用丙酮等洗淨殘留在訊號形成面之感光層而製成光 碟原模。 利用原子間力顯微鏡（Atomic Force Microscope : AFM) -’將此光碟原模測定對應於第一及第二溝槽之第一及第二馨U 溝槽圖案之寬及深（高）。如其剖面構成之圖6所示，具有由 第一及第二溝槽圖案之58及59構成之階差之凸部整體之底 邵寬W!約為720 nm，僅第一溝槽圖案之58之底部寬賈2約為 360 nm，第一溝槽圖案58之上寬，即其頂部之寬1約為26() nm，第二溝槽圖案59之平坦部分之寬W4約為120 nm，另外 . ，對應於島之島圖案60之底部寬W5約為280 nm。 _ 接著’對評價用之光學記錄播放媒體，利用2p法或注塑 成型法將形成於上述光碟原模之訊號形成面之凹凸圖案轉 印於光學記錄播放媒體之基板。在本例中，係利用2P法成-型PC構成之光學記錄播放媒體用之基板。 又，基板厚度為1.2 mm，在形成其凹凸圖案之訊號形成 面如前述之圖1中所述，包覆形成有各層5〜9。。在本例中 ，依次利用濺射法成膜形成AhO3、Si〇2、si3N4等之例如 Si〇2構成之電介質材料作為電介質層5，形成在md Data2 等所使用之光磁材料之GdFeCo、TbFeCo等光磁膜作為記 82830-940719.DOC -18 - 1249741 錄層6 ’再形成Si02構成之電介質層7、A1構成之反射層8 · ’更以覆蓋其上方式塗敷並硬化形成紫外線硬化型樹脂等 構成之保護層9。利用以上之工序形成MD Data2型構成之 光學I己錄播放媒體。 利用具有波長；I =65 0 nm、數值孔徑ΝΑ=0·52之光學系之 光學記錄播放裝置進行如此所形成之光學記錄播放媒體之 凹凸圖案之播放特性之評價。此裝置之模式的構造如圖7 所示。 在圖7中’ 61表示波長又=650 nm之半導體雷射等之光源讀I® ’由此出射之雷射光束被準直透鏡62變成平行光，被光柵 63分成〇次光（主光束）及土 1次光（副光束）之3個光束。此等3 個光束（P偏振光）透過偏振光分束器64(PBS)、1/4波長板65 後變成圓偏振光後，被數值孔徑ΝΑ=〇·85之物鏡構成之光 、 拾取裝置66會聚在光學記錄播放媒體丨丨之特定之記錄軌道 、 上。主光束之中央之光點係使用於記錄資訊之記錄播放， 副光束之光點係使用於追蹤誤差之檢出用。 在圖7中，67表示例如使用於記錄用之磁頭，68表示使光·φ 子Α錄播放媒體1 1如箭號b所示旋轉之旋轉手段。實線d表-示光學記錄播放媒體1 1之旋轉軸。 而’來自光學記錄播放媒體i丨之反射光再經由光拾取裝 置66、1/4波長板65，圓偏振光變成s偏振光，被偏振光分 束器64反射而入射於偏振光分束器7〇。偏振光分束器7〇將 入射之雷射光偏振光分離成8偏振光與p偏振光，並使雷射 光入射於組合透鏡71與透鏡74。

82830-940719.DOC -19- 1249741 入射於組合透鏡7 1之雷射光經由提供像散像差之透鏡而 入射於光電二極體72，被變換成對應於光束強度之電訊號 後，被輸出至伺服電路，以作為伺服訊號，即作為聚焦誤 差訊號及追蹤誤差訊號。光電二極體72具有被分割之檢出 器73 (A〜H)。主光束之回射光入射於位於檢出器73之中央 部之4分割檢出器之A〜D，副光束之回射光入射於位於檢 出器73之兩侧部之E〜Η。 又，偏振光分束器70所反射之雷射光經由透鏡74入射於 另一方之光電二極體75。光電二極體75具有檢出器76(1)， 用於檢出在偏振光分束器70被反射之雷射光。 又，在本例中，係利用以特定間隔配置而照射之3條雷射 光之差動推挽（DPP : Diffrential Push-Pull)方式獲得追蹤伺 服訊號。 即構成：將由各檢出器73、76之A〜I被輸出之訊號A〜I ，在未予圖示之特定電路中，如以下被施行加法減法處理 :即 光學記錄播放媒體之播放訊號（MO訊號）

= (A+B + C+D)- I 凹痕播放訊號（例如EFM訊號） = (A+B + C+D)或 I 推挽訊號=(B + C) — (A+D) 差動推挽（追蹤伺服）訊號 = (B + C) — (A+D) — k((E — F)+(G— H)) (k為特定常數）。 又，搜尋器係檢出推挽訊號之極性，右下之情形，即一 82830-940719.DOC -20- Γ 1249741 9i，

I-R 之if形，^第一溝槽施行搜尋及追縱，右上之情形，即+ <，形，在島施行搜尋及追蹤。在本例中，記錄區域設定 於第溝槽之底邵與島，故在兩區域之光磁記錄層施行追 縱。 、在此種構成 < 光學記錄播放裝置中，施行上述本發明構 成之光學記錄播放媒體之評價。 、在以下之例中，改變第一及第二溝槽之深度而製作光學 Z錄播放媒體，測定各媒體之推挽訊號量及cts(交又軌道） 訊號τ ’藉以評價對各溝槽深度之變化。又，⑽訊號在 本發明實施例中，ϋ未被使用料追縱飼服訊號，記載之 目的只供參考。 各例均由深度換算相位深度，並記載於以下之表2〜表7 。在本例中，如上所述，光拾取裝置之波長λ為650 nm， 由光入射側至記錄區域之媒質為由pc所構成之基板，此折 射率η為1.58。相位深度乂由深度d換算為χ = λ /(d ·咖 650/(1.58d) 〇 表2 第一溝槽相位深度 __ 丄ϋ j λ /4 第二溝槽深度[nm] —__26 52 78 第二溝槽相位深度 λ /16 λ /8 ι · vJ 3 λ /16 推挽訊號量 ._0,252 0.332 ’、/ JL \J — 0.2S? CTS訊號量 ._0.206 0 -0.206 表3 82830-940719.DOC -21 - 1249741 第一溝槽深度[nm] 52 第一溝槽相位深度 λ /8 第二溝槽深度[nm] 13 26 49 第二溝槽相位深度 λ /32 λ /16 3 λ /32 推挽訊號量 0.238 0.254 0.238 CTS訊號量 0.077 0 -0.077 表4 第一溝槽深度[nm] 26 第一溝槽相位深度 λ /16 * 第二溝槽深度[nm] 6.5 13 19.5 第二溝槽相位深度 λ /64 λ /32 3 λ /64 推挽訊號量 0.278 0.282 0.278 CTS訊號量 0.021 0 -0.021 表5 第一溝槽深度[nm] 13 第一溝槽相位深度 λ /32 ^ 第二溝槽深度[nm] 3.3 6.5 1 9.8 第二溝槽相位深度 λ /128 λ /64 3 λ /128 推挽訊號量 0.148 0.148 0.148 CTS訊號量 0.006 0 -0.006 82830-940719.DOC -22- 1249741 表6 第一溝槽深度[nm] 118 第一溝槽相位深度 λ /3.5 第二溝槽深度[nm] 44 59 74 第二溝槽相位深度 3 λ /28 λ /7 5 λ /28 推挽訊號量 0.2 0.226 0.2 CTS訊號量 0.124 0 -0.124 表7 第一溝槽深度[nm] 127 i 第一溝槽相位深度 λ /3.23 第二溝槽深度[nm] 59 69 第二溝槽相位深度 λ /7 λ /6 推挽訊號量 0.152 0.152 CTS訊號量 0.041 -0.041 如上所述’第一溝槽深度在13 nm〜12 7 nm，即其相位 深度在；I /32 η以上λ /3.23 η以下，第二溝槽深度淺於第一 溝槽深度時，推挽訊號量可獲得〇· 15以上，並可獲得穩定 之追蹤伺服特性。 搜尋器如上所述，係檢出推挽訊號之極性，在右下-之情 形，在第一溝槽施行搜尋及追蹤，在右上+之情形，在島 施行搜尋及追蹤。即，利用推挽訊號之極性之檢出，容易 實現穩定地追蹤記錄區域之第一溝槽及島。 另外，在上述之構成所製成之各光學記錄播放媒體中， 82830-940719.DOC -23- 1249741 己錄第溝槽以±l〇 nm之振幅擺動之84·6 kHz之ADIP，利 用穩疋《切舰，在Amp之播放上可獲得&好之特性。 ^所述，依據本發明，利用在較深之第一溝槽兩側， 即鄰接於光學記錄播放媒體之半徑方向設置較淺之第二溝 、、冓成方式，即使在島與溝槽兩區域施行記錄，且其軌 ^門距小於對應於0 ·5 μιη程度、及播放光波長與光學系之 光t取裝置之數值孔徑所規定之截止頻率之軌道間距 (λ /2NA-625 nm)，也可穩定地施行追蹤伺服，且可良好地 播放作為擺動訊號記錄於該第一溝槽之ADIp。 又，如上所述，本發明構成之光學記錄播放媒體在其基 板之形狀上，利用在深的溝槽兩側設置較淺的溝槽之構成 方式，由光碟原模成型樹脂等構成之基板之際，可使樹脂 谷易剝離，確實避免轉印凹凸圖案形狀之際因島角等之產 生所引起之良率之降低及生產性之降低。 以上已就本發明構成之實施形態及實施例予以說明，但 本發明並不限足於上述之各例，可依據本發明之技術思想 施行種種變形及變更。又，作為光學記錄播放媒體，不僅 限於適用在資訊之記錄播放用之媒體，也可適用於訊號記 錄播放用之媒體或使用此媒體之裝置。 如上所述，在本發明之光學記錄播放媒體中，採用設有 第一及第二溝槽之構成，尤其採用將較淺之第二溝槽鄰接 設於較深之第一溝槽之兩側之構成，終於可獲得充分大之 推挽訊號振幅量。 因此，在採用將記錄區域設於島與溝槽雙方之所謂島溝 82830-940719.DOC -24- 1249741 —丨 f !ϊ:. .. 槽記籙芳式時，也可窄化島及第一溝槽之寬度，故可提供 可施行滿足穩定之追縱伺服及記錄播放特性之高密度記錄 之光學記錄播放媒體、使用此媒體之光學記錄播放裝置。 即’隨著高記錄密度化而窄化軌道間距時，也可提供可 施行良好追蹤伺服特性之光學記錄播放媒體。 另外，在至第一及第二溝槽之媒質之折射率設定為η時， 利用將第一及第二溝槽之相位深度Χι及&分別設定為： λ / 32η^ χι ^ λ / 3.23η Χ2< Χι 時，可使推挽訊號量達到〇·15以上，並獲得穩定之追蹤伺 服特性。 另外，將第一溝槽構成為擺動溝槽，並施行ADIp訊號之 記錄時，可獲得良好之記錄播放特性。 又，將上述之光學記錄播放媒體之第一溝槽之軌道間距 设定於對應於對此光學記錄播放媒體施行記錄及/或播放 之光之光學系之截止頻率之軌道間距以下時，可獲得良好 之記錄播放特性。 另外，本發明構成之光學記錄播放媒體在由光碟原模成 型樹脂等構成之基板之際，可使樹脂容易剥離，確實避免 轉印凹凸圖案形狀之際因島角等之產生所引起之良率之降 低及生產性之降低，謀求成本之降低。 圖式簡單說明 圖1係表不光學記錄播放媒體之一例之要部之概略線的 放大剖面圖，圖2A、圖2B、圖2C係光學記錄播放媒體之一

82830-940719.DOC -25- 1249741 例 < 製程之說明圖’圖3係光學記錄播放媒體製造用光碟原 播 、 < —例之平面構成之說明圖，圖4係島角之說明圖，圖5 係光學記錄裝置之一例之構成圖，圖6係光學記錄播放媒體 义一例之要部之概略線的放大剖面圖，圖7係光學記錄播放 裝置之一例之構成之說明圖，圖8係光學記錄播放媒體之一 例之要部之平面構成之說明圖。 圖式代表符號說明 1 · · •基板 2 · · •第一溝槽 3 · · •第二溝槽 4 · · •島 5 · · •電介質層 6 · · •記錄層 7 · · •電介質層 8 · · •反射層 9 · · •保護層 10 · ••光拾取裝置 11 · ••光學記錄播 20 · • •光源 24 · ••電光調制器 25 · ••檢光器 26 · ••光檢出器 27 · ••第一調制部 28 · ••第二調制鄯

82830-940719.DOC -26- 1249741 29 · · •聲光調制器 30 · · •驅動器 31 · · •聲光調制器 32 · · •驅動器 33 · · •楔形棱鏡 34 · · •聲光偏向器 35 · · •楔形棱鏡 36 · · •驅動器 37 · · •電壓控制振盪器 38 · · •偏向光學系 39 · · •物鏡 40 · · •移動光學轉盤 51 · · •母盤用基板 52 · · •感光層 53 · · •潛影 54 · · •第一溝槽圖案 55 · · •第二溝槽圖案 56 · · •光學記錄播放媒體製造用母盤 57 · · •光碟原模 58 · · •第一溝槽圖案 59 · · •第二溝槽圖案 60 · · •島圖案 61 · · •光源 62 · · •準直透鏡

82830-940719.DOC -27- 124^41 63 · •光柵 64 · •偏振光分束器 65 · • 1/4波長板 66 · •光拾取裝置 67 · •磁頭 68 · •旋轉手段 70 · •偏振光分束器 71 · •組合透鏡 72 · •光電二極體 73 · •檢出器 74 · •透鏡 75 · •光電二極體 76 · •檢出器 80 · •基板 81 · •溝槽 82 · •擺動溝槽 83 · •軌道 84 · •軌道 85 · •島 86 · •島角

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Claims (1)

1249741 拾、申請專利範園： 、種光學記錄播放媒體，其特徵在於··沿著記錄軌道形 成溝槽，利用照射特定波長Λ之光而施行記錄及/或播放 ，且 上述溝槽係包含第一溝槽、與比該第一溝槽淺之第二 溝槽， 將上述第二溝槽鄰接配置於上述第一溝槽之兩側所 構成者。 2·如申請專利範圍第1項之光學記錄播放媒體，其中由上述馨 光學1己錄播放媒體之光入射面至上述第一及第二溝槽之 媒貝之折射率為η時，將上述第一及第二溝槽之相位深度 χ1及X2分別設定為： λ / 32η^Χι^ λ / 3.23η . Χ1所構成者。 3·如申請專利範圍第1項之光學記錄播放媒體，其中至少上 · 述第一溝槽係形成擺動溝槽所構成者。 4·如申請專利範圍第丨項之光學記錄播放媒體，其中記錄區春^ 域係設於上述第一溝槽之底部、與夾在上述第二溝槽間〜 之島部所構成者。 5 ·如申明專利範圍第1項之光學記錄播放媒體，其中上述光 學記錄播放媒體之上述第—溝槽之軌道間距係設定成對 應於對上述光學記錄播放媒體施行記錄及/或播放之光 學系之截止頻率之軌道間距以下所構成者。 6· —種光學記錄播放媒體製造用母盤，其特徵在於：在製 82830-940719.DOC 1249741 ^著記錄軌道形成溝槽，利用照射特定波長Λ之光而· >仃口己錄及/或播放之光學記錄播放媒體之際所使用；且 安對尤ι上述光學記錄播放媒體之上述溝槽之溝槽圖 衣係包含對應於第—溝槽之第-溝槽圖案、與對應於比 之第二溝槽之第二溝槽圖案； 將上述第一溝槽圖案鄰接配置於上述第一溝槽圖案 之兩侧所構成者。 申μ專利範圍第6項之光學記錄播放媒體製造用母盤. ’其中由上述光學記錄播放媒體之光人射面至上述第-βφ 及第二溝槽之媒質之折射率為η時’將上述第-及第二溝 ^圖木4相位深度Xl，及Χ2,分別設定為： λ 7 32η- χι?^ λ / 3.23η χ2’<Χ^所構成者。 力申π專利I巳圍第6項之光學記錄播放媒體製造用母盤 、中V上述第一溝槽圖案係形成擺動溝槽圖案所構 成者。 9. 10. 如申請專利_第6項之光學記錄播放媒體製造用母盤_ ’其中上述光學記錄播放媒體之上述第一溝槽之軌道間— 距係设疋成對應於對上述光學記錄播放媒體施行記錄及 或播放之光學系之截止頻率之軌道間距以下所構成者。 :種光學記錄播放裝置，其特徵在於：使用沿著記錄軌 C /成溝;f曰，利用照射特定波長^之光而施行記錄及/ 或播放之光學記錄播放媒體；且 上述光學記錄播放媒體之上述溝槽係&♦第一溝槽 82830-940719.DOC -2- 1249741 、與比該第一溝槽淺之第二溝槽， 將上述第一溝槽鄰接配置於上述第一溝槽之兩側所 構成者。 1 ·如申請專利範圍第i 〇項之光學記錄播放裝置，其中由上 述光學記錄播放媒體之光入射面至上述第一及第二溝槽 又媒質之折射率為，將上述第一及第二溝槽之相位深 度Χι及X2分別設定為：

λ / 32n^ λ / 3.23η 。〈乂以斤構成者。 12.如申請專利範圍第10項之光學記錄播放裝置，其中上述 光學記錄播放媒體之至少上述第一溝槽係形成擺動溝槽 所構成者。 13·如申請專利範圍第10項之光學記錄播放裝置，其中上述 · 光學記錄播放媒體之記錄區域係設於上述第一溝槽之底 4、與夾在上述第二溝槽間之島部所構成者。 - it如申請專利範圍第10項之光學記錄播放裝置，其中上述 光學記錄播放媒體之上述第—溝槽之軌道間距係設定成_ 對應於對上述光學記錄播放媒體施行記錄及/或播放之_ 光學系之截止頻率之軌道間距以下所構成者。 82830-940719.DOC 1249741 柒、指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為··第（1 )圖。 (二) 本代表圖之元件代表符號簡單說明·· 1 基板 2 第一溝槽 3 第二溝槽 4 島 5 電介質層 6 記錄層 7 電介質層 8 反射層 9 保護層 10 光拾取裝置 Tp 軌道間距 Td 軌道週期 捌、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： 82830-940719.DOC