JP2001184726A - 光記録媒体基板、光記録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法 - Google Patents
光記録媒体基板、光記録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法Info
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Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ランドグルーブ記録を行う場合において、ラ
ンドとグルーブの段差を小さくした状態で、これらラン
ドとグルーブ間の熱的クロストークを効果的に抑制し、
ランドとグルーブとの特性の不均一性の抑制、ノイズの
抑制を効果的に行うことができるようにする。 【解決手段】 溝状の凹部２と、隣り合う凹部２間に形
成された凸部とを有し、隣り合う凹部と凸部との境界側
壁４を、少なくとも凹部の底部側に位置する第１の側壁
面４１と、これに対し凸部の頂部側に位置する第２の側
壁面４２とを有する複数の側壁面を有する構造とし、第
１の側壁面は、これと凹部の底面とのなす角度θ1 を１
４０°以上１８０°未満とし、第２の側壁面は、これと
凹部の底面とのなす角度θ2 を９０°以上１２０°以下
として、この１２０°以下の角度を有する部分に不連続
部６を形成して、この不連続部６の存在によって凹部２
および凸部３間の熱クロストークを低減化する。
ンドとグルーブの段差を小さくした状態で、これらラン
ドとグルーブ間の熱的クロストークを効果的に抑制し、
ランドとグルーブとの特性の不均一性の抑制、ノイズの
抑制を効果的に行うことができるようにする。 【解決手段】 溝状の凹部２と、隣り合う凹部２間に形
成された凸部とを有し、隣り合う凹部と凸部との境界側
壁４を、少なくとも凹部の底部側に位置する第１の側壁
面４１と、これに対し凸部の頂部側に位置する第２の側
壁面４２とを有する複数の側壁面を有する構造とし、第
１の側壁面は、これと凹部の底面とのなす角度θ1 を１
４０°以上１８０°未満とし、第２の側壁面は、これと
凹部の底面とのなす角度θ2 を９０°以上１２０°以下
として、この１２０°以下の角度を有する部分に不連続
部６を形成して、この不連続部６の存在によって凹部２
および凸部３間の熱クロストークを低減化する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特にいわゆるラン
ドグルーブ記録態様による光記録媒体基板、光記録媒
体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法に関わ
り、その隣接するトラック間、すなわち隣接するランド
記録部およびグルーブ記録部間の熱クロストークの低減
化、ノイズの低減化を図り、より高い記録密度の向上を
図るものである。
ドグルーブ記録態様による光記録媒体基板、光記録媒
体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法に関わ
り、その隣接するトラック間、すなわち隣接するランド
記録部およびグルーブ記録部間の熱クロストークの低減
化、ノイズの低減化を図り、より高い記録密度の向上を
図るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の情報のデジタル化により、大容量
のデジタルデータを記録できる媒体が市場から強く要求
されている。このような要求に応えられる媒体として
は、熱記録によって結晶性を変化させて光学特性を変化
させることによってその記録がなされる、いわゆる相変
化光記録媒体例えば相変化ディスク、あるいは熱もしく
は磁界印加によって光磁気効果を変化させた記録がなさ
れる光記録媒体例えば光磁気ディスクがある。一般に、
相変化光ディスク、あるいは光磁気ディスクは、図９に
その要部の概略断面図を示すように、光透過性の光記録
媒体１１上に、例えばＳｉＮあるいはＺｎＳ−ＳｉＯ2
による透明誘電体層５１を介して光磁気記録層、あるい
は相変化記録層等の記録層５が積層されて成る。
のデジタルデータを記録できる媒体が市場から強く要求
されている。このような要求に応えられる媒体として
は、熱記録によって結晶性を変化させて光学特性を変化
させることによってその記録がなされる、いわゆる相変
化光記録媒体例えば相変化ディスク、あるいは熱もしく
は磁界印加によって光磁気効果を変化させた記録がなさ
れる光記録媒体例えば光磁気ディスクがある。一般に、
相変化光ディスク、あるいは光磁気ディスクは、図９に
その要部の概略断面図を示すように、光透過性の光記録
媒体１１上に、例えばＳｉＮあるいはＺｎＳ−ＳｉＯ2
による透明誘電体層５１を介して光磁気記録層、あるい
は相変化記録層等の記録層５が積層されて成る。
【０００３】相変化光ディスクは、記録された情報信号
を、所定の光に対する反射率の変化を検出することによ
り再生しており、光磁気ディスクは、情報信号を所定の
光の偏光状態の変化を検出することにより再生してい
る。これら光ディスクにおいては、これらディスクを構
成する基板表面に、記録再生装置の光ピックアップから
出射されるレーザビームを情報列に沿って導くための、
すなわち、トラッキングサーボ信号を得るための案内
溝、すなわち溝状の凹部２いわゆるグルーブが、螺旋状
あるいは同心円状に形成されている。
を、所定の光に対する反射率の変化を検出することによ
り再生しており、光磁気ディスクは、情報信号を所定の
光の偏光状態の変化を検出することにより再生してい
る。これら光ディスクにおいては、これらディスクを構
成する基板表面に、記録再生装置の光ピックアップから
出射されるレーザビームを情報列に沿って導くための、
すなわち、トラッキングサーボ信号を得るための案内
溝、すなわち溝状の凹部２いわゆるグルーブが、螺旋状
あるいは同心円状に形成されている。
【０００４】そして、高密度記録化のためには、そのグ
ルーブ内と、これら隣り合うグルーブ間の凸部３いわゆ
るランドとの双方に情報信号を記録する、いわゆるラン
ドグルーブ記録方式が採られる。
ルーブ内と、これら隣り合うグルーブ間の凸部３いわゆ
るランドとの双方に情報信号を記録する、いわゆるラン
ドグルーブ記録方式が採られる。
【０００５】これら相変化光ディスクあるいは光磁気デ
ィスクにおける情報信号の記録方法は、いずれもレーザ
光を集光して記録層を昇温させるいわゆる熱記録によっ
ている。この場合において、より大きな記録密度を得る
ためには、前述したランドグルーブ記録において、グル
ーブの形成周期、すなわち凹凸ピッチをできるだけ小さ
くすることになる。ところが、このようにグルーブの形
成周期を小さくすると、隣接トラック間すなわち隣接グ
ルーブ記録部とランド記録部との間のの熱クロストー
ク、クロスライト、クロスイレーズ等の熱干渉の影響が
大きくなり、記録信号の不所望な消去、消滅により、再
生信号の劣化や消失が生じることから、これらが高記録
密度化を阻害している。
ィスクにおける情報信号の記録方法は、いずれもレーザ
光を集光して記録層を昇温させるいわゆる熱記録によっ
ている。この場合において、より大きな記録密度を得る
ためには、前述したランドグルーブ記録において、グル
ーブの形成周期、すなわち凹凸ピッチをできるだけ小さ
くすることになる。ところが、このようにグルーブの形
成周期を小さくすると、隣接トラック間すなわち隣接グ
ルーブ記録部とランド記録部との間のの熱クロストー
ク、クロスライト、クロスイレーズ等の熱干渉の影響が
大きくなり、記録信号の不所望な消去、消滅により、再
生信号の劣化や消失が生じることから、これらが高記録
密度化を阻害している。
【０００６】この問題の解決を図るために、特開平１１
−２５５３４号公報に開示された光磁気ディスクの提案
がなされている。この構成においては、グルーブとラン
ドと境界壁面が傾斜面とされ、その幅を１６０ｎｍ以上
とするものであり、このようにすることによってグルー
ブとランドとの間の実質的距離を大として熱クロストー
クの低減化を図るものである。
−２５５３４号公報に開示された光磁気ディスクの提案
がなされている。この構成においては、グルーブとラン
ドと境界壁面が傾斜面とされ、その幅を１６０ｎｍ以上
とするものであり、このようにすることによってグルー
ブとランドとの間の実質的距離を大として熱クロストー
クの低減化を図るものである。
【０００７】一方、再生信号レベルについては、再生に
用いるレーザ光の波長をλ、ディスク基板の屈折率をｎ
とするとき、プッシュプル信号の変調度については、ラ
ンドとグルーブの段差Ｄが、約（２ｍ−１）λ／（８
ｎ）（ｍは自然数，１，２，３・・・）のとき極大にな
る。また、隣接するトラックすなわち隣接するランドお
よびグルーブに記録された情報信号を再生する際の、相
互のクロストーク信号は極小となる。
用いるレーザ光の波長をλ、ディスク基板の屈折率をｎ
とするとき、プッシュプル信号の変調度については、ラ
ンドとグルーブの段差Ｄが、約（２ｍ−１）λ／（８
ｎ）（ｍは自然数，１，２，３・・・）のとき極大にな
る。また、隣接するトラックすなわち隣接するランドお
よびグルーブに記録された情報信号を再生する際の、相
互のクロストーク信号は極小となる。
【０００８】光ディスクにおいて検出できる記録信号の
限界周期長は、レーザ光の波長をλとし、対物レンズの
開口数をＮＡとすると、λ／ＮＡに比例することから、
より大きい記録密度を達成するためには、レーザ光の短
波長化を図り、対物レンズの開口数ＮＡを大きくすれば
良い。近年、例えば固体レーザからのレーザ光を、ＳＨ
Ｇ（第２高調波発生）素子によって波長変換して波長λ
が４１５ｎｍ以下の光源を得ること、更に、半導体レー
ザ技術の進歩により、４０５ｎｍ，４０７ｎｍのレーザ
光を得ることができる半導体レーザの開発がなされてい
る。
限界周期長は、レーザ光の波長をλとし、対物レンズの
開口数をＮＡとすると、λ／ＮＡに比例することから、
より大きい記録密度を達成するためには、レーザ光の短
波長化を図り、対物レンズの開口数ＮＡを大きくすれば
良い。近年、例えば固体レーザからのレーザ光を、ＳＨ
Ｇ（第２高調波発生）素子によって波長変換して波長λ
が４１５ｎｍ以下の光源を得ること、更に、半導体レー
ザ技術の進歩により、４０５ｎｍ，４０７ｎｍのレーザ
光を得ることができる半導体レーザの開発がなされてい
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、光デ
ィスクにおいて、レーザ波長が、４１５ｎｍ以下、例え
ば４０７ｎｍを用いる場合、基板の屈折率ｎが１．６の
場合、例えばトラックキングサーボのためのプッシュプ
ル信号の変調度を極大にするためには、ランド（凸部）
とグルーブ（凹部）との段差Ｄは、上述した関係から、
約３２ｎｍ、９５ｎｍ、１５９ｎｍ・・・とすれば良い
が、高記録密度化において、より強い熱クロストーク抑
制効果を得るには、上述の段差Ｄの値の中で、できるだ
け大きな値に選定することになる。
ィスクにおいて、レーザ波長が、４１５ｎｍ以下、例え
ば４０７ｎｍを用いる場合、基板の屈折率ｎが１．６の
場合、例えばトラックキングサーボのためのプッシュプ
ル信号の変調度を極大にするためには、ランド（凸部）
とグルーブ（凹部）との段差Ｄは、上述した関係から、
約３２ｎｍ、９５ｎｍ、１５９ｎｍ・・・とすれば良い
が、高記録密度化において、より強い熱クロストーク抑
制効果を得るには、上述の段差Ｄの値の中で、できるだ
け大きな値に選定することになる。
【００１０】しかしながら、ランドとグルーブとの段差
Ｄが大きくなると、基板表面上の光透明誘電体層５１
や、記録層５の厚さの影響で、基板１１の表面形状を、
そのまま追従することが困難となる。すなわち、これら
層を例えばスパッタリングによって基板に形成する場
合、凹部と凸部の間の側壁部分にも、成膜がなされるこ
とから、この成膜によって凹部が幅狭となり、またこの
側壁部分の成膜によって凹部に到達するスパッタリング
粒子が減少し、凹部における膜厚は薄くなる。このた
め、凹部と凸部とにおける記録層の熱容量に差が生じ、
グルーブとランドにおける感度のばらつきなどの不均一
となる。
Ｄが大きくなると、基板表面上の光透明誘電体層５１
や、記録層５の厚さの影響で、基板１１の表面形状を、
そのまま追従することが困難となる。すなわち、これら
層を例えばスパッタリングによって基板に形成する場
合、凹部と凸部の間の側壁部分にも、成膜がなされるこ
とから、この成膜によって凹部が幅狭となり、またこの
側壁部分の成膜によって凹部に到達するスパッタリング
粒子が減少し、凹部における膜厚は薄くなる。このた
め、凹部と凸部とにおける記録層の熱容量に差が生じ、
グルーブとランドにおける感度のばらつきなどの不均一
となる。
【００１１】本発明は、記録密度の向上のために、ラン
ドとグルーブとの双方に記録がなされる、いわゆるラン
ドグルーブ記録を行う場合において、ランドとグルーブ
の段差を小さくした状態で、これらランドとグルーブ間
の熱的クロストークを効果的に抑制し、ランドとグルー
ブとの特性の不均一性の抑制、ノイズの抑制を効果的に
行うことができるようにした光記録媒体基板、光記録媒
体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法を提供
するものである。尚、本発明において、光記録再生方法
とは、光記録もしくは再生の少なくとも一方のみを行う
場合をも含んで呼称するものとする。
ドとグルーブとの双方に記録がなされる、いわゆるラン
ドグルーブ記録を行う場合において、ランドとグルーブ
の段差を小さくした状態で、これらランドとグルーブ間
の熱的クロストークを効果的に抑制し、ランドとグルー
ブとの特性の不均一性の抑制、ノイズの抑制を効果的に
行うことができるようにした光記録媒体基板、光記録媒
体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法を提供
するものである。尚、本発明において、光記録再生方法
とは、光記録もしくは再生の少なくとも一方のみを行う
場合をも含んで呼称するものとする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述したよう
に、ランドグルーブ記録を対象とするものである。そし
て、本発明による光記録媒体基板は、その少なくとも１
主面に、溝状の凹部と、これら隣り合う凹部間に形成さ
れた凸部とを有し、隣り合う凹部と凸部との境界側壁
が、凹部の底面と隣り合う第１の側壁面と、これに対し
て相対的に凸部の頂面側に位置する第２の側壁面とを少
なくとも有して成る。そして、第１の側壁面は、凹部の
底面とのなす角度θ1 が１４０°以上１８０°未満とさ
れ、第２の側壁面は、凹部の底面とのなす角度θ2 が９
０°以上１２０°以下とされた構成とする。
に、ランドグルーブ記録を対象とするものである。そし
て、本発明による光記録媒体基板は、その少なくとも１
主面に、溝状の凹部と、これら隣り合う凹部間に形成さ
れた凸部とを有し、隣り合う凹部と凸部との境界側壁
が、凹部の底面と隣り合う第１の側壁面と、これに対し
て相対的に凸部の頂面側に位置する第２の側壁面とを少
なくとも有して成る。そして、第１の側壁面は、凹部の
底面とのなす角度θ1 が１４０°以上１８０°未満とさ
れ、第２の側壁面は、凹部の底面とのなす角度θ2 が９
０°以上１２０°以下とされた構成とする。
【００１３】また、本発明による光記録媒体基板は、そ
の少なくとも１主面に、隣り合う凹部と凸部との境界側
壁が、少なくとも凹部の底面側に位置する第３の側壁面
と、第１の側壁面に対し中間面を介して凸部側に位置す
る第４の側壁面とを有し、これら第３および第４の各側
壁面と、凹部の底面とのなす各角度θ3 およびθ4 が共
に９０°以上１２０°以下とされ、中間面と第４の側壁
面とのなす角度θ5 が、９０°以上１２０°以下とされ
た構成とする。
の少なくとも１主面に、隣り合う凹部と凸部との境界側
壁が、少なくとも凹部の底面側に位置する第３の側壁面
と、第１の側壁面に対し中間面を介して凸部側に位置す
る第４の側壁面とを有し、これら第３および第４の各側
壁面と、凹部の底面とのなす各角度θ3 およびθ4 が共
に９０°以上１２０°以下とされ、中間面と第４の側壁
面とのなす角度θ5 が、９０°以上１２０°以下とされ
た構成とする。
【００１４】また、本発明による光記録媒体は、上述し
た本発明による各光記録媒体基板の、上述した凹凸面を
有する主面上にこれら凹凸面に差し渡ってすなわち光記
録媒体基板の凹部および凸部に情報の記録層を形成した
構成とする。
た本発明による各光記録媒体基板の、上述した凹凸面を
有する主面上にこれら凹凸面に差し渡ってすなわち光記
録媒体基板の凹部および凸部に情報の記録層を形成した
構成とする。
【００１５】また、本発明による光記録媒体の製造方法
は、記録層の成膜に際して、上述の境界側壁において、
凹部の深さ方向を横切って延在する記録層の不連続部を
形成するものである。
は、記録層の成膜に際して、上述の境界側壁において、
凹部の深さ方向を横切って延在する記録層の不連続部を
形成するものである。
【００１６】また、本発明による光記録再生方法は、上
述した特定された構成による光記録媒体が用いられて、
これに対する記録および／または再生、すなわち記録お
よび再生の少なくともいづれかを光照射によって行う。
この光照射は、波長３３０ｎｍ〜４１５ｎｍ、例えば４
００ｎｍ程度のレーザ光照射によって行う。
述した特定された構成による光記録媒体が用いられて、
これに対する記録および／または再生、すなわち記録お
よび再生の少なくともいづれかを光照射によって行う。
この光照射は、波長３３０ｎｍ〜４１５ｎｍ、例えば４
００ｎｍ程度のレーザ光照射によって行う。
【００１７】上述した本発明による光記録媒体基板構成
とすることにより、この光記録媒体基板上に形成する記
録層、すなわち記録および／あるいは再生を光照射によ
って行う光記録層を形成した光記録媒体は、熱クロスト
ークが効果的に低下した。これは、記録層のグルーブ部
の両側縁すなわち隣り合うランド部との間に記録層の構
成膜に、その膜質ないしは厚さが変化し熱伝導性が低下
する不連続部が形成されることに因ると考えられる。
とすることにより、この光記録媒体基板上に形成する記
録層、すなわち記録および／あるいは再生を光照射によ
って行う光記録層を形成した光記録媒体は、熱クロスト
ークが効果的に低下した。これは、記録層のグルーブ部
の両側縁すなわち隣り合うランド部との間に記録層の構
成膜に、その膜質ないしは厚さが変化し熱伝導性が低下
する不連続部が形成されることに因ると考えられる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１にその一実施形態の要部の概
略断面図を示すように、本発明による光記録媒体基板１
は、例えば光透過性の例えばポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）、ガラス等の例えば円板状の基板より成り、その少
なくとも一方の主面に、螺旋状あるいは同心円状に形成
された溝状の凹部（グルーブ）２が形成されて、これら
隣り合う凹部２間に凸部（ランド）３が形成されて成
る。
略断面図を示すように、本発明による光記録媒体基板１
は、例えば光透過性の例えばポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）、ガラス等の例えば円板状の基板より成り、その少
なくとも一方の主面に、螺旋状あるいは同心円状に形成
された溝状の凹部（グルーブ）２が形成されて、これら
隣り合う凹部２間に凸部（ランド）３が形成されて成
る。
【００１９】そして、その隣り合う凹部２と凸部３との
境界側壁４を、少なくとも凹部２の底面２ａ側に位置す
る第１の側壁面４１と凸部３の頂面３ａ側に位置する第
２の側壁面４２とを有する複数の側壁面を有する構成と
する。底面２ａと頂面３ａは、基板１の主面に沿う互い
に平行な面とされ、第１の側壁面４１は、凹部２の底面
２ａとのなす角度θ1 が１４０°以上１８０°未満とさ
れた構成とし、第２の側壁面４２は、凹部２の底面２ａ
とのなす角度θ2 が９０°以上１２０°以下とされた構
成とする。
境界側壁４を、少なくとも凹部２の底面２ａ側に位置す
る第１の側壁面４１と凸部３の頂面３ａ側に位置する第
２の側壁面４２とを有する複数の側壁面を有する構成と
する。底面２ａと頂面３ａは、基板１の主面に沿う互い
に平行な面とされ、第１の側壁面４１は、凹部２の底面
２ａとのなす角度θ1 が１４０°以上１８０°未満とさ
れた構成とし、第２の側壁面４２は、凹部２の底面２ａ
とのなす角度θ2 が９０°以上１２０°以下とされた構
成とする。
【００２０】図２は、他の本発明による光記録媒体基板
の一実施形態の要部の概略断面図を示す。この構成で
は、上述したと同様の凹部２と凸部３とを有する構成と
するものの、その隣り合うの境界側壁４を、凹部２の底
面２ａ側に位置する第３の側壁面４３と、この第３の側
壁面４３に、中間面４５を介して凸部３側に位置する第
４の側壁面４４とを有する構成とする。そして、この場
合においては、第３および第４の側壁面４３および４４
と、凹部２の底面２ａとのなす角度θ3 およびθ4 を共
に９０°以上１２０°以下とする。また、中間面４５と
これに隣接する第４の側壁面４４とのなす角度θ5 は９
０°以上１２０°以下とする。
の一実施形態の要部の概略断面図を示す。この構成で
は、上述したと同様の凹部２と凸部３とを有する構成と
するものの、その隣り合うの境界側壁４を、凹部２の底
面２ａ側に位置する第３の側壁面４３と、この第３の側
壁面４３に、中間面４５を介して凸部３側に位置する第
４の側壁面４４とを有する構成とする。そして、この場
合においては、第３および第４の側壁面４３および４４
と、凹部２の底面２ａとのなす角度θ3 およびθ4 を共
に９０°以上１２０°以下とする。また、中間面４５と
これに隣接する第４の側壁面４４とのなす角度θ5 は９
０°以上１２０°以下とする。
【００２１】ここで、凹部２の相対向する境界壁面４
は、凹部２の中心面に対して対称的形状とすることもで
きるし、図１、図２で示すように、非対称的形状とする
こともできる。
は、凹部２の中心面に対して対称的形状とすることもで
きるし、図１、図２で示すように、非対称的形状とする
こともできる。
【００２２】また、上述の各構成において、凹部２の底
面２ａと、凸部３の頂面３ａとの段差Ｄは、８０ｎｍ〜
１６５ｎｍ以下とする。また、互いに隣り合う凹部２の
中心間の距離、すなわち凹部２の形成周期Ｔｐは、０．
９５μｍ以下とする。記録および／または再生の光照射
は、波長３３０ｎｍ〜４１５ｎｍの例えばレーザ光が用
いられる。
面２ａと、凸部３の頂面３ａとの段差Ｄは、８０ｎｍ〜
１６５ｎｍ以下とする。また、互いに隣り合う凹部２の
中心間の距離、すなわち凹部２の形成周期Ｔｐは、０．
９５μｍ以下とする。記録および／または再生の光照射
は、波長３３０ｎｍ〜４１５ｎｍの例えばレーザ光が用
いられる。
【００２３】そして、本発明による光記録媒体は、例え
ば図３および図４にその要部の概略断面図を示すよう
に、例えば図１および図２で説明した光記録媒体基板１
の凹部２および凸部３が形成された基板面に、これら凹
部２および凸部３に差し渡って記録層５が形成される。
この記録層５は、例えば書き換え可能の記録層とするこ
とができる。この記録層５としては、例えば情報磁区の
形成による情報の記録がなされ、再生レーザ光照射によ
ってカー効果あるいはファラデー効果に基く偏光状態の
変化を検出することによる記録情報の読み出し、すなわ
ち再生がなされる光磁気効果を有する記録層によって構
成し、光磁気記録媒体を構成することができる。
ば図３および図４にその要部の概略断面図を示すよう
に、例えば図１および図２で説明した光記録媒体基板１
の凹部２および凸部３が形成された基板面に、これら凹
部２および凸部３に差し渡って記録層５が形成される。
この記録層５は、例えば書き換え可能の記録層とするこ
とができる。この記録層５としては、例えば情報磁区の
形成による情報の記録がなされ、再生レーザ光照射によ
ってカー効果あるいはファラデー効果に基く偏光状態の
変化を検出することによる記録情報の読み出し、すなわ
ち再生がなされる光磁気効果を有する記録層によって構
成し、光磁気記録媒体を構成することができる。
【００２４】あるいは、記録層５は、その再生に当たり
レーザ光の照射による温度分布を利用した磁区の拡大お
よび縮小の少なくともいずれかを行う、例えば特開平６
−２９０４９６号公報に開示された磁壁移動動作による
情報の読み出しを行う、いわゆるＤＷＤＤ媒体における
記録層構造による光磁気記録媒体を構成することができ
る。
レーザ光の照射による温度分布を利用した磁区の拡大お
よび縮小の少なくともいずれかを行う、例えば特開平６
−２９０４９６号公報に開示された磁壁移動動作による
情報の読み出しを行う、いわゆるＤＷＤＤ媒体における
記録層構造による光磁気記録媒体を構成することができ
る。
【００２５】更にあるいは、この記録層５は、例えばレ
ーザ光照射による熱記録によって、非晶質あるいは結晶
化状態の相変化による光学的特性の変化による情報記録
がなされ、レーザ光照射によってこの光学的特性の変化
を検出することによって記録情報の読み出しがなされる
相変化記録層として、相変化光記録媒体を構成すること
ができる。
ーザ光照射による熱記録によって、非晶質あるいは結晶
化状態の相変化による光学的特性の変化による情報記録
がなされ、レーザ光照射によってこの光学的特性の変化
を検出することによって記録情報の読み出しがなされる
相変化記録層として、相変化光記録媒体を構成すること
ができる。
【００２６】上述した記録層５は、図示の単層構造によ
る場合に限られるものではなく、所要特性を得るため
に、２層以上の多層構造とすることができる。
る場合に限られるものではなく、所要特性を得るため
に、２層以上の多層構造とすることができる。
【００２７】そして、本発明による再生方法において
は、前述した本発明による光記録媒体の記録層５に対
し、基板１側から、あるいはこれとは反対側からの再生
レーザ光照射のもとでなされる。この再生レーザ光は、
波長３３０ｎｍ〜４１５ｎｍのレーザ光を用いる。
は、前述した本発明による光記録媒体の記録層５に対
し、基板１側から、あるいはこれとは反対側からの再生
レーザ光照射のもとでなされる。この再生レーザ光は、
波長３３０ｎｍ〜４１５ｎｍのレーザ光を用いる。
【００２８】そして、この再生レーザ光の照射によっ
て、上述したように、光磁気効果を有する記録層の記録
情報磁区を、偏光状態の変化として検出する。あるい
は、上述したＤＷＤＤ媒体においては、レーザ光照射に
よる温度分布を利用した磁区の拡大および縮小の少なく
ともいずれかを行い、この磁区による光磁気効果による
同様の偏光状態の変化として検出する。またあるいは、
記録層５の相変化による記録部における光学的特性、例
えば光反射率、あるいは透過率の変化として検出する。
て、上述したように、光磁気効果を有する記録層の記録
情報磁区を、偏光状態の変化として検出する。あるい
は、上述したＤＷＤＤ媒体においては、レーザ光照射に
よる温度分布を利用した磁区の拡大および縮小の少なく
ともいずれかを行い、この磁区による光磁気効果による
同様の偏光状態の変化として検出する。またあるいは、
記録層５の相変化による記録部における光学的特性、例
えば光反射率、あるいは透過率の変化として検出する。
【００２９】上述した光記録媒体基板１において、凸部
３と凹部２の段差Ｄを、８０ｎｍ〜１６５ｎｍとし、か
つ凹部２の形成周期Ｔｐを、０．９５μｍ以下とするこ
とにより記録容量の高密度化がなされる。すなわち、８
０ｎｍ〜１６５ｎｍの段差Ｄは、再生レーザ光を３３０
ｎｍ以上で、６８５ｎｍ以下の場合の、前記式（２ｍ−
１）λ／（８ｎ）のｍ＝２、すなわち３λ／８ｎ（ｎは
基板１の屈折率＝１．５５）に相当する段差を示すもの
である。
３と凹部２の段差Ｄを、８０ｎｍ〜１６５ｎｍとし、か
つ凹部２の形成周期Ｔｐを、０．９５μｍ以下とするこ
とにより記録容量の高密度化がなされる。すなわち、８
０ｎｍ〜１６５ｎｍの段差Ｄは、再生レーザ光を３３０
ｎｍ以上で、６８５ｎｍ以下の場合の、前記式（２ｍ−
１）λ／（８ｎ）のｍ＝２、すなわち３λ／８ｎ（ｎは
基板１の屈折率＝１．５５）に相当する段差を示すもの
である。
【００３０】また、本発明においては、記録密度、すな
わちトラック密度を、通常の、波長６５０ｎｍのレーザ
光を用いる例えばＤＶＤ（Digital Versatile Disc) に
おけるトラック密度の約１．５倍以上とすることを目的
として、このため、凹部２の形成周期Ｔｐを、０．９５
μｍ以下に選定するものとし、これによって、ランドグ
ルーブ記録における記録トラック周期は、Ｔｐの１／２
の０．４７５μｍ以下とすることができ、上述した約
１．５倍のトラック密度を得ることができるようにする
ものである。
わちトラック密度を、通常の、波長６５０ｎｍのレーザ
光を用いる例えばＤＶＤ（Digital Versatile Disc) に
おけるトラック密度の約１．５倍以上とすることを目的
として、このため、凹部２の形成周期Ｔｐを、０．９５
μｍ以下に選定するものとし、これによって、ランドグ
ルーブ記録における記録トラック周期は、Ｔｐの１／２
の０．４７５μｍ以下とすることができ、上述した約
１．５倍のトラック密度を得ることができるようにする
ものである。
【００３１】また、上述の３λ／８ｎは、ランドおよび
グルーブの記録部によるプッシュプル信号の変調度を極
大とする値である。また、段差１６５ｎｍは、波長６８
５ｎｍの光に対して３λ／８ｎに相当する深さであり、
かつ凹部２での膜厚が、凸部３上の膜厚と比較して差異
なく形成できる程度の厚さである。また、波長３３０ｎ
ｍ以下であると光記録媒体での光吸収が大きくなり、ま
た、６５０ｎｍ以上の場合は記録密度の向上が困難とな
る。
グルーブの記録部によるプッシュプル信号の変調度を極
大とする値である。また、段差１６５ｎｍは、波長６８
５ｎｍの光に対して３λ／８ｎに相当する深さであり、
かつ凹部２での膜厚が、凸部３上の膜厚と比較して差異
なく形成できる程度の厚さである。また、波長３３０ｎ
ｍ以下であると光記録媒体での光吸収が大きくなり、ま
た、６５０ｎｍ以上の場合は記録密度の向上が困難とな
る。
【００３２】更に、上述したように、記録および／また
は再生で用いられる照射光は、波長３３０ｎｍ〜４１５
ｎｍのレーザ光を用いる。この波長は短いほど、上述し
たように高記録化を図ることができるものであるが、実
用的には、波長８３０ｎｍのレーザをＳＨＧ（第２高調
波発生）素子によって４１５ｎｍとしたレーザ光源、あ
るいは短波長の半導体レーザ、例えば４０５ｎｍ、４０
７ｎｍのレーザを用いる。
は再生で用いられる照射光は、波長３３０ｎｍ〜４１５
ｎｍのレーザ光を用いる。この波長は短いほど、上述し
たように高記録化を図ることができるものであるが、実
用的には、波長８３０ｎｍのレーザをＳＨＧ（第２高調
波発生）素子によって４１５ｎｍとしたレーザ光源、あ
るいは短波長の半導体レーザ、例えば４０５ｎｍ、４０
７ｎｍのレーザを用いる。
【００３３】そして、本発明による製造方法において
は、上述した構成による光記録媒体基板１を製造する工
程と、この光記録媒体基板１の凹部２および凸部３が形
成された側の面に情報の記録層５を形成する工程とを採
るものであり、この記録層５の形成に際して境界側壁４
に凹部２の深さ方向を横切って延在する記録層５の不連
続部６、すなわち熱的分断面を形成するものである。
は、上述した構成による光記録媒体基板１を製造する工
程と、この光記録媒体基板１の凹部２および凸部３が形
成された側の面に情報の記録層５を形成する工程とを採
るものであり、この記録層５の形成に際して境界側壁４
に凹部２の深さ方向を横切って延在する記録層５の不連
続部６、すなわち熱的分断面を形成するものである。
【００３４】更に、本発明の光記録媒体基板、光記録媒
体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法の例を
説明するが、本発明はこの例に限られるものではない。
体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法の例を
説明するが、本発明はこの例に限られるものではない。
【００３５】図１および図２に示す光記録媒体用基板１
の凹部２と凸部３は、いわゆるカッティングと呼ばれる
手法、あるいはエッチングと呼ばれる手法、あるいはそ
の双方の手法を用いることができる。例えば光記録媒体
基板１を構成する、あるいはこの基板を成形するための
スタンパー原盤を構成する例えばガラス材質基板にレジ
ストに塗布し、このレジストを、例えばレーザ光で露光
し、現像するとか、あるいは機械的にカッティングする
ことによってレジストパターンを形成する。この場合、
例えばその露光強度の選定、幅を異にする２回以上のパ
ターン露光を行うとか、２層以上のレジスト層を積層す
るなどの方法によって、その側壁面が複数の側壁面から
成る凹部を有するレジストパターンを形成することがで
きる。このようにして、このパターン自体をもって凹部
２とするか、あるいはこの上に、例えばＮｉメッキ等を
施しこれを剥離するなどの工程をとってスタンパー、も
しくはスタンパー原盤を作製し、これを用いてスタンパ
ーを作製して、これによって、光記録媒体基板１の成形
を行う。
の凹部２と凸部３は、いわゆるカッティングと呼ばれる
手法、あるいはエッチングと呼ばれる手法、あるいはそ
の双方の手法を用いることができる。例えば光記録媒体
基板１を構成する、あるいはこの基板を成形するための
スタンパー原盤を構成する例えばガラス材質基板にレジ
ストに塗布し、このレジストを、例えばレーザ光で露光
し、現像するとか、あるいは機械的にカッティングする
ことによってレジストパターンを形成する。この場合、
例えばその露光強度の選定、幅を異にする２回以上のパ
ターン露光を行うとか、２層以上のレジスト層を積層す
るなどの方法によって、その側壁面が複数の側壁面から
成る凹部を有するレジストパターンを形成することがで
きる。このようにして、このパターン自体をもって凹部
２とするか、あるいはこの上に、例えばＮｉメッキ等を
施しこれを剥離するなどの工程をとってスタンパー、も
しくはスタンパー原盤を作製し、これを用いてスタンパ
ーを作製して、これによって、光記録媒体基板１の成形
を行う。
【００３６】あるいは例えば上述したと同様の例えばガ
ラス材質基板に、単層もしくは多層のレジストを塗布
し、上述したパターン露光および現像を行ってレジスト
パターンを形成し、これをエッチングマスクとして用い
て、このガラス材質基板を化学反応によってエッチング
するとか、気化による除去、物理的なスパッタリング反
応等によって選択的にエッチングして凹部２の形成を行
うことができる。
ラス材質基板に、単層もしくは多層のレジストを塗布
し、上述したパターン露光および現像を行ってレジスト
パターンを形成し、これをエッチングマスクとして用い
て、このガラス材質基板を化学反応によってエッチング
するとか、気化による除去、物理的なスパッタリング反
応等によって選択的にエッチングして凹部２の形成を行
うことができる。
【００３７】このようにして、前述した例えば図１ある
いは図２に示した複数の側壁面、４１および４２が形成
された凹部２が、螺旋状あるいは同心円状に形成された
光記録媒体用基板１を作製する。
いは図２に示した複数の側壁面、４１および４２が形成
された凹部２が、螺旋状あるいは同心円状に形成された
光記録媒体用基板１を作製する。
【００３８】この基板１の、凹部２と、これら凹部２間
に形成された凸部３を有する面に、例えばスパッタリン
グによって、図３および図４で示すように、前述した各
種光記録媒体を構成する光記録層５を形成する。
に形成された凸部３を有する面に、例えばスパッタリン
グによって、図３および図４で示すように、前述した各
種光記録媒体を構成する光記録層５を形成する。
【００３９】このようにすると、図１あるいは図２で示
した特に凹部の底面２ａとのなす角度が９０°以上１２
０°以下とされたθ2 ，θ3 ，θ4 を有する屈曲縁、更
に図２における中間面４５と第４の側壁面４４との内角
θ5 が９０°以上１２０°以下の屈曲縁、もしくはこれ
ら屈曲縁の近傍に、これら屈曲縁に沿って、すなわち凹
部２の溝方向に沿って、つまり、凹部２の深さ方向を横
切って、これら凹部２と凸部３との間を横切るように、
すなわちランドとグルーブ間を分断するように、記録層
５に、膜質や、厚さが他と異なる不連続部６が発生す
る。
した特に凹部の底面２ａとのなす角度が９０°以上１２
０°以下とされたθ2 ，θ3 ，θ4 を有する屈曲縁、更
に図２における中間面４５と第４の側壁面４４との内角
θ5 が９０°以上１２０°以下の屈曲縁、もしくはこれ
ら屈曲縁の近傍に、これら屈曲縁に沿って、すなわち凹
部２の溝方向に沿って、つまり、凹部２の深さ方向を横
切って、これら凹部２と凸部３との間を横切るように、
すなわちランドとグルーブ間を分断するように、記録層
５に、膜質や、厚さが他と異なる不連続部６が発生す
る。
【００４０】これは、成膜のための、基板１に対して飛
来付着するスパッタ粒子が異方的に飛来し付着するため
であり、不連続部６による分断線の発生は、凹部２の形
成周期Ｔｐ、段差Ｄ、凹部側壁面のスパッタ粒子の飛来
方向に対する傾き、すなわち凹部２の底面２ａとのなす
角度に大きく影響することが究明された。
来付着するスパッタ粒子が異方的に飛来し付着するため
であり、不連続部６による分断線の発生は、凹部２の形
成周期Ｔｐ、段差Ｄ、凹部側壁面のスパッタ粒子の飛来
方向に対する傾き、すなわち凹部２の底面２ａとのなす
角度に大きく影響することが究明された。
【００４１】すなわち、凹部２の形成周期Ｔｐが０．９
５μｍ以下、段差Ｄが８０ｎｍ〜１６５ｎｍにおいて、
また、スパッタ粒子の飛来方向に対してほぼ垂直な底面
２ａに対して１２０°以下の角度θ2 、θ3 およびθ4
の屈曲縁に沿って不連続部６を発生させることができる
ことを究明したものである。尚、角度θ2 ，θ3 ，θ4
において、９０°以上とするのは、９０°未満である
と、各側壁面が逆テーパになることによって、例えば成
形の型抜きの問題、また記録層の形成に問題が生じるこ
とによる。
５μｍ以下、段差Ｄが８０ｎｍ〜１６５ｎｍにおいて、
また、スパッタ粒子の飛来方向に対してほぼ垂直な底面
２ａに対して１２０°以下の角度θ2 、θ3 およびθ4
の屈曲縁に沿って不連続部６を発生させることができる
ことを究明したものである。尚、角度θ2 ，θ3 ，θ4
において、９０°以上とするのは、９０°未満である
と、各側壁面が逆テーパになることによって、例えば成
形の型抜きの問題、また記録層の形成に問題が生じるこ
とによる。
【００４２】そして、側壁面と底面２ａとのなす角度が
１４０°以上の場合には、この分断線、すなわち不連続
部６が発生することがないことが究明された。
１４０°以上の場合には、この分断線、すなわち不連続
部６が発生することがないことが究明された。
【００４３】しかしながら、これら屈曲部を構成する隣
り合う面、すなわち図２における中間面４５と、第４の
側壁面４４とのなす角度θ5 に関しても、より確実な不
連続部６を発生させる上で、９０°以上１２０°以下と
する。
り合う面、すなわち図２における中間面４５と、第４の
側壁面４４とのなす角度θ5 に関しても、より確実な不
連続部６を発生させる上で、９０°以上１２０°以下と
する。
【００４４】そして、このような不連続部６が記録層５
に存在すると、ここでの熱伝導率が急激に低下する。こ
れは金属膜においては熱伝導率が電気伝導率に比例する
ことから説明ができる。そして、記録層５の不連続部６
すなわち分断によって、凹部２あるいは凸部３で発生し
た熱の、それぞれ近接する凸部３あるいは凹部２へ移動
が抑制されることになり、これら間の熱クロストークが
低減化される。すなわち、隣接ないしは近接する凹部２
および凸部３における各記録部間のクロス消去あるい消
滅等を抑制することができる。
に存在すると、ここでの熱伝導率が急激に低下する。こ
れは金属膜においては熱伝導率が電気伝導率に比例する
ことから説明ができる。そして、記録層５の不連続部６
すなわち分断によって、凹部２あるいは凸部３で発生し
た熱の、それぞれ近接する凸部３あるいは凹部２へ移動
が抑制されることになり、これら間の熱クロストークが
低減化される。すなわち、隣接ないしは近接する凹部２
および凸部３における各記録部間のクロス消去あるい消
滅等を抑制することができる。
【００４５】そして、図１の光記録媒体基板を用いて構
成した図３に示す光記録媒体においては、凹部２の底面
２ａに隣り合う屈曲部においては、底面に対して１４０
°以上の角度θ1 としたことにより、この部分において
は不連続部６が発生することがないようにしたことによ
って、不連続部６が、グルーブ記録部に隣接して形成さ
れることが回避されることによって、上述した従来構造
における不都合が回避され、ランドおよびグルーブの双
方の記録部に関する熱的感度の均一性、良好な記録再生
特性を保持して、ランドおよびグルーブ間の熱的クロス
トークの改善を図ることができるものである。
成した図３に示す光記録媒体においては、凹部２の底面
２ａに隣り合う屈曲部においては、底面に対して１４０
°以上の角度θ1 としたことにより、この部分において
は不連続部６が発生することがないようにしたことによ
って、不連続部６が、グルーブ記録部に隣接して形成さ
れることが回避されることによって、上述した従来構造
における不都合が回避され、ランドおよびグルーブの双
方の記録部に関する熱的感度の均一性、良好な記録再生
特性を保持して、ランドおよびグルーブ間の熱的クロス
トークの改善を図ることができるものである。
【００４６】また、図２の光記録媒体基板を用いて構成
した図４に示す光記録媒体においては、境界側壁４に複
数の不連続部６を発生させたことにより、ランドおよび
グルーブ間の熱的クロストークの遮断をより効果的に行
うことができる。
した図４に示す光記録媒体においては、境界側壁４に複
数の不連続部６を発生させたことにより、ランドおよび
グルーブ間の熱的クロストークの遮断をより効果的に行
うことができる。
【００４７】因みに、図９に示した従来構造において
も、凹部２の両側縁の屈曲部に不連続部６が、記録層５
等のスパッタリング等による成膜に際して発生する場合
があるが、この発生は不確実であり、また、図３の構成
と比較して、不連続部６は、グルーブ記録部側にむしろ
偏って生じることから、凹部２と凸部３に対する熱的な
バランスが、不均衡であって熱的感度の不均一性を来
す。更にグルーブ記録部に近接して不連続部６、すなわ
ち記録層としての特性の低い部分が存在することになっ
て、グルーブ記録部の記録再生特性に悪影響を及ぼすお
それがある。また、この従来構造では、たとえ不連続部
６が発生した場合でも、図４の構成と比較してこの場
合、境界側壁には１本の連続部６が形成されるに過ぎな
いので、上述したランドおよびグルーブ間の熱的クロス
トークの遮断効果が低い。
も、凹部２の両側縁の屈曲部に不連続部６が、記録層５
等のスパッタリング等による成膜に際して発生する場合
があるが、この発生は不確実であり、また、図３の構成
と比較して、不連続部６は、グルーブ記録部側にむしろ
偏って生じることから、凹部２と凸部３に対する熱的な
バランスが、不均衡であって熱的感度の不均一性を来
す。更にグルーブ記録部に近接して不連続部６、すなわ
ち記録層としての特性の低い部分が存在することになっ
て、グルーブ記録部の記録再生特性に悪影響を及ぼすお
それがある。また、この従来構造では、たとえ不連続部
６が発生した場合でも、図４の構成と比較してこの場
合、境界側壁には１本の連続部６が形成されるに過ぎな
いので、上述したランドおよびグルーブ間の熱的クロス
トークの遮断効果が低い。
【００４８】また、上述した図１および図２に示すよう
光記録媒体基板１上の記録層５として、光照射による温
度分布を利用して磁区を拡大および／または縮小させる
ことにより信号を検出するようにした、いわゆるＤＷＤ
Ｄ構成による磁気記録媒体を構成する場合、再生時動作
においてさらに良好な効果が得られる。
光記録媒体基板１上の記録層５として、光照射による温
度分布を利用して磁区を拡大および／または縮小させる
ことにより信号を検出するようにした、いわゆるＤＷＤ
Ｄ構成による磁気記録媒体を構成する場合、再生時動作
においてさらに良好な効果が得られる。
【００４９】すなわち、上述した不連続部６による分断
は断熱効果を与えるだけでなく、光磁気記録媒体におい
ては磁気的な分断効果をも与える。例えば上述した特開
平６−２９０４９６号公報に磁壁が移動するために記録
領域の両端が非磁性化、すなわち磁気的に分断されるこ
とが必要条件であるということ述べられているが、本発
明は、この効果を奏することができるものである。
は断熱効果を与えるだけでなく、光磁気記録媒体におい
ては磁気的な分断効果をも与える。例えば上述した特開
平６−２９０４９６号公報に磁壁が移動するために記録
領域の両端が非磁性化、すなわち磁気的に分断されるこ
とが必要条件であるということ述べられているが、本発
明は、この効果を奏することができるものである。
【００５０】因みに、従来の凹凸形状を有する光記録媒
体用基板によって、上述の磁壁移動検出媒体を形成する
と、前述したように、記録層の分断が凹部のグルーブ記
録部側に偏って生じる。これは凹部における磁壁移動動
作は良好となるが、凸部においては凸部の底面から段差
部にかけて連続した磁性膜が形成されているため、凸部
における磁壁移動動作は、はなはだ不良となる。すなわ
ち凸部上面上の磁壁が移動するためにはそれと連続した
段差部における磁壁も移動しなければならないが、段差
部における磁性膜の温度、組成、保磁力は底部における
それと異なり、磁壁が移動しにくくなっている。
体用基板によって、上述の磁壁移動検出媒体を形成する
と、前述したように、記録層の分断が凹部のグルーブ記
録部側に偏って生じる。これは凹部における磁壁移動動
作は良好となるが、凸部においては凸部の底面から段差
部にかけて連続した磁性膜が形成されているため、凸部
における磁壁移動動作は、はなはだ不良となる。すなわ
ち凸部上面上の磁壁が移動するためにはそれと連続した
段差部における磁壁も移動しなければならないが、段差
部における磁性膜の温度、組成、保磁力は底部における
それと異なり、磁壁が移動しにくくなっている。
【００５１】これに対し、本発明構成によれば、不連続
部６が段差の途中においても形成されるため、従来構造
に比べて凸部の頂面に、より近い位置で良好に磁気的な
分断が生じ、凸部における再生時の磁壁移動動作特性が
改善され得る。これにより、ランドグルーブ記録再生に
おいて記録再生特性の向上が図られることになる。
部６が段差の途中においても形成されるため、従来構造
に比べて凸部の頂面に、より近い位置で良好に磁気的な
分断が生じ、凸部における再生時の磁壁移動動作特性が
改善され得る。これにより、ランドグルーブ記録再生に
おいて記録再生特性の向上が図られることになる。
【００５２】また、本発明による光記録媒体基板および
光記録媒体は、凹部２と凸部３との境界側壁において、
少なくとも境界側壁の、凹部２と凸部３との中間部に不
連続部６が形成されるものであるが、言うまでもなく、
その境界側壁４の形状、記録層の構造等、上述した構造
に限定されるものではなく、種々の変形、変更が可能で
ある。
光記録媒体は、凹部２と凸部３との境界側壁において、
少なくとも境界側壁の、凹部２と凸部３との中間部に不
連続部６が形成されるものであるが、言うまでもなく、
その境界側壁４の形状、記録層の構造等、上述した構造
に限定されるものではなく、種々の変形、変更が可能で
ある。
【００５３】例えば図１および図２の構成、したがっ
て、図３および図４の構成を組み合わせた構成とするこ
ともできる。すなわち、例えば図２および図４の構成に
おいて、第３の側壁面４３と凹部２の底面２ａとの間
に、更に図１および図３で説明した第１の側壁面４１、
すなわち底面２ａとのなす角度が１４０°以上１８０°
未満の面を形成することもでき、このようにするとき
は、上述した図３および図４の両者の特徴を兼ね備えた
特徴を有する構成とすることができる。
て、図３および図４の構成を組み合わせた構成とするこ
ともできる。すなわち、例えば図２および図４の構成に
おいて、第３の側壁面４３と凹部２の底面２ａとの間
に、更に図１および図３で説明した第１の側壁面４１、
すなわち底面２ａとのなす角度が１４０°以上１８０°
未満の面を形成することもでき、このようにするとき
は、上述した図３および図４の両者の特徴を兼ね備えた
特徴を有する構成とすることができる。
【００５４】次に、本発明による光記録媒体基板、光記
録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法の
実施例を説明する。 〔実施例１〕この例においては、図１で説明した溝状凹
部２および凸部３を有し、隣り合う凹部２および凸部３
の境界側壁４が第１および第２の側壁面４１および４２
を有する光記録媒体基板１によって、円板状ＤＷＤＤ媒
体を構成した場合である。この例においては、基板１の
一方の主面に、半径方向の形成周期Ｔｐを、０．９μｍ
とした凹部２を形成した。そして、この基板１の凹部２
および凸部３が形成された面に、順次マグネトロンスパ
ッタリングによって厚さ３５ｎｍの窒化珪素層による透
明誘電体層５１、厚さ１００ｎｍの光磁気記録層による
記録層５、厚さ１０ｎｍの窒化珪素層による透明誘電体
層５２、厚さ６０ｎｍのアルミニウム合金層による反射
層５４を被着形成した。更に、この上に、厚さ１０μｍ
の紫外線硬化樹脂による保護層５５を回転塗布法によっ
て塗布し、紫外線照射によって硬化した。記録層５は、
磁壁移動検出を行うことのできる周知の磁気交換結合多
層膜構造の、厚さ３０ｎｍのＧｄＦｅＣｏＡｌ層、厚さ
１５ｎｍのＴｂＦｅＣｏＡｌ層、厚さ５５ｎｍのＴｂＦ
ｅＣｏ層の構成とした。このようにして形成した記録層
５は、凹部２内と凸部３上の幅がほぼ等しくなった。
録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法の
実施例を説明する。 〔実施例１〕この例においては、図１で説明した溝状凹
部２および凸部３を有し、隣り合う凹部２および凸部３
の境界側壁４が第１および第２の側壁面４１および４２
を有する光記録媒体基板１によって、円板状ＤＷＤＤ媒
体を構成した場合である。この例においては、基板１の
一方の主面に、半径方向の形成周期Ｔｐを、０．９μｍ
とした凹部２を形成した。そして、この基板１の凹部２
および凸部３が形成された面に、順次マグネトロンスパ
ッタリングによって厚さ３５ｎｍの窒化珪素層による透
明誘電体層５１、厚さ１００ｎｍの光磁気記録層による
記録層５、厚さ１０ｎｍの窒化珪素層による透明誘電体
層５２、厚さ６０ｎｍのアルミニウム合金層による反射
層５４を被着形成した。更に、この上に、厚さ１０μｍ
の紫外線硬化樹脂による保護層５５を回転塗布法によっ
て塗布し、紫外線照射によって硬化した。記録層５は、
磁壁移動検出を行うことのできる周知の磁気交換結合多
層膜構造の、厚さ３０ｎｍのＧｄＦｅＣｏＡｌ層、厚さ
１５ｎｍのＴｂＦｅＣｏＡｌ層、厚さ５５ｎｍのＴｂＦ
ｅＣｏ層の構成とした。このようにして形成した記録層
５は、凹部２内と凸部３上の幅がほぼ等しくなった。
【００５５】そして、この構成による光記録媒体は、そ
の成膜に不連続部６が発生していることが観測された。
その位置は、第１の側壁面４１の、凹部２の底面２ａ側
とは反対側、すなわち底面２ａより離間した位置とな
り、この不連続部６によって断熱された凸部３の頂面で
の記録層の熱容量すなわち体積は、凹部２の底面２ａで
の記録層の熱容量すなわち体積の約１．１倍であった。
の成膜に不連続部６が発生していることが観測された。
その位置は、第１の側壁面４１の、凹部２の底面２ａ側
とは反対側、すなわち底面２ａより離間した位置とな
り、この不連続部６によって断熱された凸部３の頂面で
の記録層の熱容量すなわち体積は、凹部２の底面２ａで
の記録層の熱容量すなわち体積の約１．１倍であった。
【００５６】このようにして作製した光磁気記録媒体に
対して、光記録媒体基板１の、記録層５が形成された側
とは反対側から、波長６５０ｎｍのレーザ光を、対物レ
ンズのＮＡ０．６０による光学系を用い、パルスストロ
ーブ磁界変調記録によって凸部３上と凹部２内とに記録
した。すなわち、ランドグルーブ記録を行った。この記
録は、ビット長０．１５μｍの（１．７）ＲＬＬ変調ラ
ンダム信号の記録とした。そして、再生時の再生レーザ
パワーは、ランドで１．９ｍＷ、グルーブで１．８ｍＷ
とした。これら記録時および再生時の光記録媒体のレー
ザ光に対する線速度は、１．５ｍ／秒とした。
対して、光記録媒体基板１の、記録層５が形成された側
とは反対側から、波長６５０ｎｍのレーザ光を、対物レ
ンズのＮＡ０．６０による光学系を用い、パルスストロ
ーブ磁界変調記録によって凸部３上と凹部２内とに記録
した。すなわち、ランドグルーブ記録を行った。この記
録は、ビット長０．１５μｍの（１．７）ＲＬＬ変調ラ
ンダム信号の記録とした。そして、再生時の再生レーザ
パワーは、ランドで１．９ｍＷ、グルーブで１．８ｍＷ
とした。これら記録時および再生時の光記録媒体のレー
ザ光に対する線速度は、１．５ｍ／秒とした。
【００５７】図７は、この実施例１による光記録媒体
の、ビットエラーレートの記録レーザパワーの依存性を
示したものである。すなわち、図７中、曲線７１は、凹
部内すなわちグルーブ部のみに、上述した記録方法によ
る記録を行い、再生した場合の、ビットエラーレート
（信号誤り率）を示す。また、曲線７２は、まず凸部す
なわちランド部にのみ同様の記録を行い、その後同じ記
録パワーでこのランド部に隣接する両側のグルーブ部に
記録し、この状態でランド部での信号を再生したときの
ビットエラーレートの記録レーザパワー依存性を示す。
の、ビットエラーレートの記録レーザパワーの依存性を
示したものである。すなわち、図７中、曲線７１は、凹
部内すなわちグルーブ部のみに、上述した記録方法によ
る記録を行い、再生した場合の、ビットエラーレート
（信号誤り率）を示す。また、曲線７２は、まず凸部す
なわちランド部にのみ同様の記録を行い、その後同じ記
録パワーでこのランド部に隣接する両側のグルーブ部に
記録し、この状態でランド部での信号を再生したときの
ビットエラーレートの記録レーザパワー依存性を示す。
【００５８】したがって、いま、ビットエラーレートの
閾値を５×１０-4とすると、曲線７１から記録レーザパ
ワーの最小値、すなわちビットエラーレートの閾値を５
×１０-4以下とすることができるグルーブ部への記録の
みを考慮したレーザパワーは、約６．１ｍＷ程度とな
り、また、このグルーブ部への記録によってこれに隣接
するランド部が受ける影響を考慮した記録レーザパワー
の最大値は、曲線７２から約８．２ｍＷ程度となる。す
なわち、グルーブ部に関する記録パワーマージンは約
６．１ｍＷから約８．２ｍＷ、すなわち±１０．８％と
なる。
閾値を５×１０-4とすると、曲線７１から記録レーザパ
ワーの最小値、すなわちビットエラーレートの閾値を５
×１０-4以下とすることができるグルーブ部への記録の
みを考慮したレーザパワーは、約６．１ｍＷ程度とな
り、また、このグルーブ部への記録によってこれに隣接
するランド部が受ける影響を考慮した記録レーザパワー
の最大値は、曲線７２から約８．２ｍＷ程度となる。す
なわち、グルーブ部に関する記録パワーマージンは約
６．１ｍＷから約８．２ｍＷ、すなわち±１０．８％と
なる。
【００５９】また、上述したとは逆に、曲線７３は、ラ
ンド部のみに信号を記録し、再生したときの、ビットエ
ラーレートの記録レーザパワー依存性を示し、曲線７４
は、まずグルーブ部にのみ記録を行い、その後同じ記録
パワーで隣接する両側のランド部に記録し、この状態で
グルーブ部での信号を再生したときのビットエラーレー
トの記録レーザパワー依存性を示す。これら曲線７３お
よび７４から、ランド部に関する記録パワーマージン
も、上述のグルーブにおけると殆ど一致する。つまり、
ランド部とグルーブ部における熱容量は、ほぼ等しくさ
れ、記録レーザパワー依存性の差異は小さく、熱的バラ
ンスにすぐれていることが分かる。
ンド部のみに信号を記録し、再生したときの、ビットエ
ラーレートの記録レーザパワー依存性を示し、曲線７４
は、まずグルーブ部にのみ記録を行い、その後同じ記録
パワーで隣接する両側のランド部に記録し、この状態で
グルーブ部での信号を再生したときのビットエラーレー
トの記録レーザパワー依存性を示す。これら曲線７３お
よび７４から、ランド部に関する記録パワーマージン
も、上述のグルーブにおけると殆ど一致する。つまり、
ランド部とグルーブ部における熱容量は、ほぼ等しくさ
れ、記録レーザパワー依存性の差異は小さく、熱的バラ
ンスにすぐれていることが分かる。
【００６０】〔比較例１〕光記録媒体基板として、図７
にその概略断面図を示すように、図９で示した基板１１
に対応する形状の基板１１、すなわち凹部２と凸部３と
の間の境界側壁が単数側壁面構造としたを用いた以外
は、実施例１と同様の構成とした。図７において、図５
と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。
にその概略断面図を示すように、図９で示した基板１１
に対応する形状の基板１１、すなわち凹部２と凸部３と
の間の境界側壁が単数側壁面構造としたを用いた以外
は、実施例１と同様の構成とした。図７において、図５
と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。
【００６１】この比較例においても、記録層５の凹部２
と凸部３の幅は、ほぼ等しくなった。また、この場合に
おいても、不連続な膜の分断すなわち不連続部６が観測
され、この場合、凸部３の頂面での記録層の熱容量すな
わち体積は、凹部２の底面２ａでの記録層の熱容量すな
わち体積の約２倍であった。
と凸部３の幅は、ほぼ等しくなった。また、この場合に
おいても、不連続な膜の分断すなわち不連続部６が観測
され、この場合、凸部３の頂面での記録層の熱容量すな
わち体積は、凹部２の底面２ａでの記録層の熱容量すな
わち体積の約２倍であった。
【００６２】この光記録媒体に対しても、実施例１にお
けると同様の光学系を用い、同様の方法によって記録し
た。このときの再生レーザパワーは、ランドで２．０ｍ
Ｗ、グルーブで１．６ｍＷとした。
けると同様の光学系を用い、同様の方法によって記録し
た。このときの再生レーザパワーは、ランドで２．０ｍ
Ｗ、グルーブで１．６ｍＷとした。
【００６３】図８は、この実施例１による光記録媒体
の、ビットエラーレートの記録レーザパワーの依存性を
示したものである。図８中、曲線８１は、凹部内すなわ
ちグルーブ部のみに、上述した記録方法による記録を行
い、再生した場合の、ビットエラーレート（信号誤り
率）を示す。また、曲線８２は、まず凸部すなわちラン
ド部にのみ同様の記録を行い、その後同じ記録パワーで
このランド部に隣接する両側のグルーブ部に記録し、こ
の状態でランド部での信号を再生したときのビットエラ
ーレートの記録レーザパワー依存性を示す。したがっ
て、この例においても、ビットエラーレートの閾値を５
×１０-4とすると、曲線８１および８２から、グルーブ
部に関する記録パワーマージンは約５．７ｍＷから約
８．０ｍＷ、すなわち±１６．８％となる。
の、ビットエラーレートの記録レーザパワーの依存性を
示したものである。図８中、曲線８１は、凹部内すなわ
ちグルーブ部のみに、上述した記録方法による記録を行
い、再生した場合の、ビットエラーレート（信号誤り
率）を示す。また、曲線８２は、まず凸部すなわちラン
ド部にのみ同様の記録を行い、その後同じ記録パワーで
このランド部に隣接する両側のグルーブ部に記録し、こ
の状態でランド部での信号を再生したときのビットエラ
ーレートの記録レーザパワー依存性を示す。したがっ
て、この例においても、ビットエラーレートの閾値を５
×１０-4とすると、曲線８１および８２から、グルーブ
部に関する記録パワーマージンは約５．７ｍＷから約
８．０ｍＷ、すなわち±１６．８％となる。
【００６４】また、上述したとは逆に、曲線８３は、ラ
ンド部に信号を記録し、再生したときの、ビットエラー
レートの記録レーザパワー依存性を示し、曲線８４は、
まずグルーブ部にのみ記録を行い、その後同じ記録パワ
ーで隣接する両側のランド部に記録し、この状態でグル
ーブ部での信号を再生したときのビットエラーレートの
記録レーザパワー依存性を示す。これら曲線８３および
８４から、ランド部に関する記録パワーマージンは、
７．５ｍＷから８．４ｍＷ、すなわち±５．７％であっ
た。
ンド部に信号を記録し、再生したときの、ビットエラー
レートの記録レーザパワー依存性を示し、曲線８４は、
まずグルーブ部にのみ記録を行い、その後同じ記録パワ
ーで隣接する両側のランド部に記録し、この状態でグル
ーブ部での信号を再生したときのビットエラーレートの
記録レーザパワー依存性を示す。これら曲線８３および
８４から、ランド部に関する記録パワーマージンは、
７．５ｍＷから８．４ｍＷ、すなわち±５．７％であっ
た。
【００６５】このように、比較例の構成では、グルーブ
記録の記録パワーマージンが±１６．８％、ランド記録
の記録パワーマージンが±５．７％という結果となり、
ランド部がグルーブ部に比較してきわめて小さい値とな
っている。
記録の記録パワーマージンが±１６．８％、ランド記録
の記録パワーマージンが±５．７％という結果となり、
ランド部がグルーブ部に比較してきわめて小さい値とな
っている。
【００６６】このように、前述した本発明構成による実
施例１に比し、グルーブ記録とランド記録との記録パワ
ーマージンに大きな差が生じているのは、この比較例で
は、ランドとグルーブ間の断熱により、グルーブにおい
ては熱容量が小さくランドにおいては熱容量が大きくな
ってしまったことを反映している。すなわち、グルーブ
では、少ない熱量で記録に必要な温度まで昇温されるた
めに小さい記録パワーで記録がなされ、ランドでは昇温
するのに大きな熱量を必要とするために大きな記録パワ
ーを必要とすることに因る。
施例１に比し、グルーブ記録とランド記録との記録パワ
ーマージンに大きな差が生じているのは、この比較例で
は、ランドとグルーブ間の断熱により、グルーブにおい
ては熱容量が小さくランドにおいては熱容量が大きくな
ってしまったことを反映している。すなわち、グルーブ
では、少ない熱量で記録に必要な温度まで昇温されるた
めに小さい記録パワーで記録がなされ、ランドでは昇温
するのに大きな熱量を必要とするために大きな記録パワ
ーを必要とすることに因る。
【００６７】またグルーブに記録してランドをクロスラ
イトする記録パワーは、相手のランドの熱容量が大きい
ために、ランド自身を昇温して、なお大記録パワーの投
入が必要であるが、ランドに記録してグルーブをクロス
ライトする記録パワーは、相手のグルーブの熱容量が小
さいためにグルーブ自身を昇温して、それに少しの記録
パワーを投入すればよいのである。
イトする記録パワーは、相手のランドの熱容量が大きい
ために、ランド自身を昇温して、なお大記録パワーの投
入が必要であるが、ランドに記録してグルーブをクロス
ライトする記録パワーは、相手のグルーブの熱容量が小
さいためにグルーブ自身を昇温して、それに少しの記録
パワーを投入すればよいのである。
【００６８】すなわち、比較例による構成においては、
その不連続部が、グルーブ記録部に近接して形成される
ことから、ランドとグルーブの熱容量に大きな差が生じ
る。これに対し、本発明では、境界側壁を、少なくとも
第１および第２の側壁面４１および４２によって構成
し、不連続部６をグルーブ記録部から遠ざける構成とし
たことによって、ランドとグルーブの熱容量の均一化が
図られたものである。
その不連続部が、グルーブ記録部に近接して形成される
ことから、ランドとグルーブの熱容量に大きな差が生じ
る。これに対し、本発明では、境界側壁を、少なくとも
第１および第２の側壁面４１および４２によって構成
し、不連続部６をグルーブ記録部から遠ざける構成とし
たことによって、ランドとグルーブの熱容量の均一化が
図られたものである。
【００６９】上述したところから明らかなように、本発
明による光記録媒体基板を用いて、本発明による光記録
媒体を構成し、記録再生を行う場合、従来構造に相当す
る比較例に比し、格段にランド部とグルーブ部における
熱容量の均等化が図られ、記録レーザパワー依存性の差
異の低減化、熱的バランスにすぐれた光記録媒体を得る
ことができる。
明による光記録媒体基板を用いて、本発明による光記録
媒体を構成し、記録再生を行う場合、従来構造に相当す
る比較例に比し、格段にランド部とグルーブ部における
熱容量の均等化が図られ、記録レーザパワー依存性の差
異の低減化、熱的バランスにすぐれた光記録媒体を得る
ことができる。
【００７０】尚、上述した例では、ＤＷＤＤ再生方法に
適用するＤＷＤＤ型光記録媒体であるが、このような構
成によらない偏光検出による再生方法による光記録媒
体、光記録媒体基板や、また、相変化型の光記録媒体、
光記録媒体基板等の各種光記録媒体、これらを構成する
光記録媒体基板、各種記録再生方法に適用することがで
きることはいうまでもない。
適用するＤＷＤＤ型光記録媒体であるが、このような構
成によらない偏光検出による再生方法による光記録媒
体、光記録媒体基板や、また、相変化型の光記録媒体、
光記録媒体基板等の各種光記録媒体、これらを構成する
光記録媒体基板、各種記録再生方法に適用することがで
きることはいうまでもない。
【００７１】また、上述した例では、９０°以上１２０
°以下の角度を示す側壁面が１つ設けた場合であるが複
数設けることもできるなど種々の構成を採ることができ
る。
°以下の角度を示す側壁面が１つ設けた場合であるが複
数設けることもできるなど種々の構成を採ることができ
る。
【００７２】また、光記録媒体に対する記録および／ま
たは再生における光照射は、記録層に対して基板１の背
面側から行うこともできるし、基板１とは反対側の表面
側から行う方法によることもできる。このように基板１
とは反対側の表面側から行う方法による場合は、光記録
媒体基板１は、この照射光に対して透明であるかどうか
を問わないものであり、また、反射層５４は、基板１側
に形成される。
たは再生における光照射は、記録層に対して基板１の背
面側から行うこともできるし、基板１とは反対側の表面
側から行う方法によることもできる。このように基板１
とは反対側の表面側から行う方法による場合は、光記録
媒体基板１は、この照射光に対して透明であるかどうか
を問わないものであり、また、反射層５４は、基板１側
に形成される。
【００７３】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、光記
録媒体基板のランドとグルーブとの間の境界側壁に不連
続部６を形成したことにより、ランドとグルーブ間の熱
的クロストークの抑制を効果的に行うことができ、しか
も、その境界側壁を複数の側壁面によって構成すること
により、ランドとグルーブ間の距離を増大することがで
きることによって、より効率よく熱クロストークを抑制
できたものである。すなわち、凹部の深さを、１６５ｎ
ｍ以下とした状態で、熱クロストークを効果的に低減化
することができ、ランドとグルーブ間の段差を大きくす
ることに伴う基板のノイズの影響を小さくすることがで
きる。
録媒体基板のランドとグルーブとの間の境界側壁に不連
続部６を形成したことにより、ランドとグルーブ間の熱
的クロストークの抑制を効果的に行うことができ、しか
も、その境界側壁を複数の側壁面によって構成すること
により、ランドとグルーブ間の距離を増大することがで
きることによって、より効率よく熱クロストークを抑制
できたものである。すなわち、凹部の深さを、１６５ｎ
ｍ以下とした状態で、熱クロストークを効果的に低減化
することができ、ランドとグルーブ間の段差を大きくす
ることに伴う基板のノイズの影響を小さくすることがで
きる。
【００７４】また、本発明による光記録媒体用基板およ
び光記録媒体においては、ランドとグルーブとの間の境
界側壁を複数の側壁面によって構成し、グルーブすなわ
ち凹部２の底面より離間したランドすなわち凸部側の側
壁面を９０°以上１２０°以下とすることにより、記録
層の不連続部をランド側に偏って形成することができる
ことから、ランド記録部とグルーブ記録部の熱的バラン
スを良好に行うことができ、双方の記録再生パワーマー
ジンの均一化を図ることができる。
び光記録媒体においては、ランドとグルーブとの間の境
界側壁を複数の側壁面によって構成し、グルーブすなわ
ち凹部２の底面より離間したランドすなわち凸部側の側
壁面を９０°以上１２０°以下とすることにより、記録
層の不連続部をランド側に偏って形成することができる
ことから、ランド記録部とグルーブ記録部の熱的バラン
スを良好に行うことができ、双方の記録再生パワーマー
ジンの均一化を図ることができる。
【００７５】上述した不連続部６の形成により、例えば
ＤＷＤＤ媒体の磁壁移動動作を良好にすることが可能と
なる。
ＤＷＤＤ媒体の磁壁移動動作を良好にすることが可能と
なる。
【００７６】本発明の光記録媒体、あるいは本発明によ
る光記録媒体用基板上に形成された光記録媒体を波長４
１５ｎｍ以下の光を用いて情報信号の記録再生を行うこ
とで、効果的に熱クロストークを抑制しつつ、基板ノイ
ズの上昇が抑えられ、大きな記録容量を有する光記録媒
体を提供することが可能となる。
る光記録媒体用基板上に形成された光記録媒体を波長４
１５ｎｍ以下の光を用いて情報信号の記録再生を行うこ
とで、効果的に熱クロストークを抑制しつつ、基板ノイ
ズの上昇が抑えられ、大きな記録容量を有する光記録媒
体を提供することが可能となる。
【図１】本発明による光記録媒体基板の一例の要部の概
略断面図である。
略断面図である。
【図２】本発明による光記録媒体基板の他の一例の要部
の概略断面図である。
の概略断面図である。
【図３】本発明による光記録媒体の一例の要部の概略断
面図である。
面図である。
【図４】本発明による光記録媒体の他の例の要部の概略
断面図である。
断面図である。
【図５】本発明による光記録媒体の更に他の例の要部の
概略断面図である。
概略断面図である。
【図６】本発明による光記録媒体のビットエラーレート
の記録パワー依存性を示す図である。
の記録パワー依存性を示す図である。
【図７】比較例による光記録媒体の要部の概略断面図で
ある。
ある。
【図８】比較例による光記録媒体のビットエラーレート
の記録パワー依存性を示す図である。
の記録パワー依存性を示す図である。
【図９】従来の光記録媒体の要部の概略断面図である。
１・・・光記録媒体基板、２・・・凸部、３・・・凹
部、４・・・境界側壁、５・・・記録層、６・・・不連
続部、４１・・・第１の側壁面、４２・・・第２の側壁
面、４３・・・第３の側壁面、４４・・・第４の側壁
面、４５・・・中間面、５１，５２・・・透明誘電体層
部、４・・・境界側壁、５・・・記録層、６・・・不連
続部、４１・・・第１の側壁面、４２・・・第２の側壁
面、４３・・・第３の側壁面、４４・・・第４の側壁
面、４５・・・中間面、５１，５２・・・透明誘電体層
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年２月１７日（２０００．２．１
７）
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】近年の情報のデジタル化により、大容量
のデジタルデータを記録できる媒体が市場から強く要求
されている。このような要求に応えられる媒体として
は、熱記録によって結晶性を変化させて光学特性を変化
させることによってその記録がなされる、いわゆる相変
化光記録媒体例えば相変化ディスク、あるいは熱および
磁界印加によって磁化状態を変化させた記録がなされる
光記録媒体例えば光磁気ディスクがある。一般に、相変
化光ディスク、あるいは光磁気ディスクは、図９にその
要部の概略断面図を示すように、光透過性の光記録媒体
１１上に、例えばＳｉＮあるいはＺｎＳ−ＳｉＯ2 によ
る透明誘電体層５１を介して光磁気記録層、あるいは相
変化記録層等の記録層５が積層されて成る。
のデジタルデータを記録できる媒体が市場から強く要求
されている。このような要求に応えられる媒体として
は、熱記録によって結晶性を変化させて光学特性を変化
させることによってその記録がなされる、いわゆる相変
化光記録媒体例えば相変化ディスク、あるいは熱および
磁界印加によって磁化状態を変化させた記録がなされる
光記録媒体例えば光磁気ディスクがある。一般に、相変
化光ディスク、あるいは光磁気ディスクは、図９にその
要部の概略断面図を示すように、光透過性の光記録媒体
１１上に、例えばＳｉＮあるいはＺｎＳ−ＳｉＯ2 によ
る透明誘電体層５１を介して光磁気記録層、あるいは相
変化記録層等の記録層５が積層されて成る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】また、上述の３λ／８ｎは、ランドおよび
グルーブの記録部によるプッシュプル信号の変調度を極
大とする値である。また、段差１６５ｎｍは、波長６８
５ｎｍの光に対して３λ／８ｎに相当する深さであり、
かつ凹部２での膜厚が、凸部３上の膜厚と比較して差異
なく形成できる程度の厚さである。また、波長３３０ｎ
ｍ以下であると光記録媒体での光吸収が大きくなり、ま
た上述の６８５ｎｍを超える場合は記録密度の向上が困
難となる。
グルーブの記録部によるプッシュプル信号の変調度を極
大とする値である。また、段差１６５ｎｍは、波長６８
５ｎｍの光に対して３λ／８ｎに相当する深さであり、
かつ凹部２での膜厚が、凸部３上の膜厚と比較して差異
なく形成できる程度の厚さである。また、波長３３０ｎ
ｍ以下であると光記録媒体での光吸収が大きくなり、ま
た上述の６８５ｎｍを超える場合は記録密度の向上が困
難となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００６７】またグルーブに記録してランドをクロスラ
イトする記録パワーは、相手のランドの熱容量が大きい
ために、グルーブ自身を昇温して、なお大記録パワーの
投入が必要であるが、ランドに記録してグルーブをクロ
スライトする記録パワーは、相手のグルーブの熱容量が
小さいためにランド自身を昇温して、それに少しの記録
パワーを投入すればよいのである。
イトする記録パワーは、相手のランドの熱容量が大きい
ために、グルーブ自身を昇温して、なお大記録パワーの
投入が必要であるが、ランドに記録してグルーブをクロ
スライトする記録パワーは、相手のグルーブの熱容量が
小さいためにランド自身を昇温して、それに少しの記録
パワーを投入すればよいのである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D029 KB03 WA27 WA29 WB01 WB11 WB17 WB18 WB21 WC01 WD03 5D075 EE03 FG18 GG06 5D090 AA01 BB05 BB10 CC06 CC14 DD02 FF15 FF45 GG07 KK06
Claims (22)
- 【請求項１】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に形
成された凸部とを有し、 隣り合う上記凹部と上記凸部との境界側壁が、少なくと
も上記凹部の底面と隣り合う第１の側壁面と、該第１の
側壁面に対して相対的に上記凸部の頂面側に位置する第
２の側壁面とを有し、 上記第１の側壁面は、上記凹部の底面とのなす角度θ1
が１４０°以上１８０°未満とされ、上記第２の側壁面
は、上記凹部の底面とのなす角度θ2 が９０°以上１２
０°以下とされたことを特徴とする光記録媒体基板。 - 【請求項２】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に形
成された凸部とを有し、 上記隣り合う凹部と凸部との境界側壁が、少なくとも上
記凹部の底面側に位置する第３の側壁面と、該第３の側
壁面に対し中間面を介して上記凸部側に位置する第４の
側壁面とを有し、 上記第３および第４の各側壁面と、上記凹部の底面との
なす各角度θ3 およびθ4 が共に９０°以上１２０°以
下とされ、 上記中間面と上記第４の側壁面とのなす角度θ5 が、９
０°以上１２０°以下とされて成ることを特徴とする記
録媒体基板。 - 【請求項３】 上記凹部の底面と、上記凸部の頂面との
段差が８０ｎｍ以上１６５ｎｍ以下とされて成ることを
特徴とする請求項１に記載の光記録媒体基板。 - 【請求項４】 上記凹部の底面と、上記凸部の頂面との
段差が８０ｎｍ以上１６５ｎｍ以下とされて成ることを
特徴とする請求項２に記載の光記録媒体基板。 - 【請求項５】 上記凹部の、互いに隣り合う各凹部の中
心間の距離Ｔｐが、０．９５μｍ以下とされたことを特
徴とする請求項１に記載の光記録媒体基板。 - 【請求項６】 上記凹部の、互いに隣り合う各凹部の中
心間の距離Ｔｐが、０．９５μｍ以下とされたことを特
徴とする請求項２に記載の光記録媒体基板。 - 【請求項７】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に形
成された凸部とを有し、隣り合う上記凹部と上記凸部と
の境界側壁が、少なくとも上記凹部の底面に隣り合う第
１の側壁面と、該第１の側壁面に対して相対的に上記凸
部の頂面側に位置する第２の側壁面とを有し、上記第１
の側壁面は、上記凹部の底面とのなす角度θ1 が１４０
°以上１８０°未満とされ、上記第２の側壁面は、上記
凹部の底面とのなす角度θ2 が９０°以上１２０°以下
とされた光記録媒体基板を有し、 該光記録媒体基板の上記凹部および凸部の形成面に情報
の記録層が形成されて成ることを特徴とする光記録媒
体。 - 【請求項８】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に形
成された凸部とを有し、 上記隣り合う凹部と凸部との境界側壁が、少なくとも凹
部の底面側に位置する第３の側壁面と、これに対し中間
面を介して上記凸部側に位置する第４の側壁面と有し、
上記第３および第４の各側壁面と、上記凹部の底面との
なす各角度θ3およびθ4 が共に９０°以上１２０°以
下とされ、上記中間面と上記第４の側壁面とのなす角度
θ5 が、９０°以上１２０°以下とされた光記録媒体基
板を有し、 該光記録媒体基板の上記凹部および凸部の形成面に情報
の記録層が形成されて成ることを特徴とする光記録媒
体。 - 【請求項９】 上記境界側壁に、上記記録層の不連続部
が、上記凹部の深さ方向を横切って延在して成る請求項
７に記載の光記録媒体。 - 【請求項１０】 上記境界側壁に、上記記録層の不連続
部が、上記凹部の深さ方向を横切って延在して成る請求
項８に記載の光記録媒体。 - 【請求項１１】 上記凹部の底面と、上記凸部の頂面と
の段差が８０ｎｍ以上１６５ｎｍ以下とされて成ること
を特徴とする請求項７に記載の光記録媒体。 - 【請求項１２】 上記凹部の底面と、上記凸部の頂面と
の段差が８０ｎｍ以上１６５ｎｍ以下とされて成ること
を特徴とする請求項８に記載の光記録媒体。 - 【請求項１３】 上記凹部の、互いに隣り合う各凹部の
中心間の距離Ｔｐが、０．９５μｍ以下とされたことを
特徴とする請求項７に記載の光記録媒体。 - 【請求項１４】 上記凹部の、互いに隣り合う各凹部の
中心間の距離Ｔｐが、０．９５μｍ以下とされたことを
特徴とする請求項８に記載の光記録媒体。 - 【請求項１５】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に
形成された凸部とを有し、隣り合う上記凹部と上記凸部
との境界側壁が、少なくとも上記凹部の底面と隣り合う
第１の側壁面と、該第１の側壁面に対して相対的に上記
凸部の頂面側に位置する第２の側壁面とを有し、上記第
１の側壁面は、上記凹部の底面とのなす角度θ1 が１４
０°以上１８０°未満とされ、上記第２の側壁面は、上
記凹部の底面とのなす角度θ2 が９０°以上１２０°以
下とされた光記録媒体基板を形成する工程と、 該光記録媒体基板の上記凹部および凸部の形成面に情報
の記録層を形成する工程とを有し、 該記録層の形成に際して上記境界側壁に上記凹部の深さ
方向を横切って延在する少なくとも１つ以上の上記記録
層の不連続部を形成することを特徴とする光記録媒体の
製造方法。 - 【請求項１６】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に
形成された凸部とを有し、隣り合う上記凹部と上記凸部
との境界側壁が、少なくとも上記凹部の底面側に位置す
る第３の側壁面と、該第３の側壁面に対して中間面を介
して上記凸部側に位置する第４の側壁面とを有し、上記
第３および第４の側壁面と、上記凹部の底面とのなす角
度θ3 およびθ4 が共に９０°以上１２０°以下とさ
れ、上記中間面と上記第４の側壁面とのなす角度θ5 が
９０°以上１２０°以下とされた光記録媒体基板を形成
する工程と、 該光記録媒体基板の上記凹部および凸部の形成面に情報
の記録層を形成する工程とを有し、 該記録層の形成に際して上記境界側壁に上記凹部の深さ
方向を横切って延在する少なくとも２つ以上の上記記録
層の不連続部を形成することを特徴とする光記録媒体の
製造方法。 - 【請求項１７】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に
形成された凸部とを有し、隣り合う上記凹部と上記凸部
との境界側壁が、少なくとも上記凹部の底面と隣り合う
第１の側壁面と、該第１の側壁面に対して相対的に上記
凸部の頂面側に位置する第２の側壁面とを有し、上記第
１の側壁面は、上記凹部の底面とのなす角度θ1 が１４
０°以上１８０°未満とされ、上記第２の側壁面は、上
記凹部の底面とのなす角度θ2 が９０°以上１２０°以
下とされた光記録媒体基板を有し、 該光記録媒体基板の上記凹部および凸部の形成面に情報
の記録層が形成されて上記境界側壁に上記凹部の深さ方
向を横切って延在する少なくとも１つ以上の上記記録層
の不連続部が形成された光記録媒体が用いられ、 該光記録媒体に対する記録および再生の少なくともいず
れかが、光照射のもとでなされることを特徴とする光記
録再生方法。 - 【請求項１８】 溝状の凹部と、隣り合う上記凹部間に
形成された凸部とを有し、隣り合う上記凹部と上記凸部
との境界側壁が、少なくとも上記凹部の底面側に位置す
る第３の側壁面と、該第３の側壁面に対して中間面を介
して上記凸部側に位置する第４の側壁面とを有し、上記
第３および第４の側壁面と、上記凹部の底面とのなす角
度θ1 およびθ2 が共に９０°以上１２０°以下とさ
れ、上記中間面と上記第４の側壁面とのなす角度θ5 が
９０°以上１２０°以下とされた光記録媒体基板を有
し、 該光記録媒体基板の上記凹部および凸部の形成面に情報
の記録層が形成され該記録層に、上記境界側壁に上記凹
部の深さ方向を横切って延在する少なくとも２つ以上の
記録層の不連続部が形成された光記録媒体が用いられ、 該光記録媒体に対する記録および再生の少なくともいず
れかが、光照射のもとでなされることを特徴とする光記
録再生方法。 - 【請求項１９】 上記記録および再生の少なくともいず
れかに光照射を、波長３３０ｎｍ以上４１５ｎｍ以下の
光によることを特徴とする請求項１７に記載の光記録再
生方法。 - 【請求項２０】 上記記録および再生の少なくともいず
れかに光照射を、波長３３０ｎｍ以上４１５ｎｍ以下の
光によることを特徴とする請求項１８に記載の光記録再
生方法。 - 【請求項２１】 上記記録層における記録情報が、情報
磁区として形成され、該情報の再生が、上記光照射によ
る温度分布を利用した磁区の拡大および縮小の少なくと
もいずれかによって行われることを特徴とする請求項１
７に記載の光記録再生方法。 - 【請求項２２】 上記記録層における記録情報が、情報
磁区として形成され、該情報の再生が、上記光照射によ
る温度分布を利用した磁区の拡大および縮小の少なくと
もいずれかによって行われることを特徴とする請求項１
８に記載の光記録再生方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36746499A JP2001184726A (ja) | 1999-12-24 | 1999-12-24 | 光記録媒体基板、光記録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法 |
| US09/747,721 US6731589B2 (en) | 1999-12-24 | 2000-12-22 | Substrate for optical recording media, optical recording medium, manufacturing process for optical recording media, and optical recording/reproducing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36746499A JP2001184726A (ja) | 1999-12-24 | 1999-12-24 | 光記録媒体基板、光記録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001184726A true JP2001184726A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18489371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36746499A Pending JP2001184726A (ja) | 1999-12-24 | 1999-12-24 | 光記録媒体基板、光記録媒体、光記録媒体の製造方法および光記録再生方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP2002222548A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Sony Corp | 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、光記録媒体製造用原盤の製造装置、光記録媒体製造用原盤の製造方法 |
| JP2002298360A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Canon Inc | 情報記録媒体への情報記録方法及び情報記録装置 |
| JP2003272238A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-26 | Sony Corp | 光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用原盤及び光学記録再生装置 |
| AU2002354490A1 (en) * | 2002-12-13 | 2004-07-09 | Fujitsu Limited | Magneto-optical recording medium and magneto-optical storage apparatus |
| JP2004219494A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光学素子の製造方法 |
| CA2535315A1 (en) * | 2003-08-13 | 2005-02-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Recordable optical record carrier for multilevel and method for writing thereon |
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- 1999-12-24 JP JP36746499A patent/JP2001184726A/ja active Pending
-
2000
- 2000-12-22 US US09/747,721 patent/US6731589B2/en not_active Expired - Fee Related
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