TWI240842B

TWI240842B - Matrix driven electrophoretic display with multilayer back plane

Info

Publication number: TWI240842B
Application number: TW092107951A
Authority: TW
Inventors: Jerry Chung; Jack Hou; Y S Chaug; Jeanne E Haubrich; Rong-Chang Liang
Original assignee: Sipix Imaging Inc
Priority date: 2002-04-24
Filing date: 2003-04-08
Publication date: 2005-10-01
Also published as: EP1497691A1; AU2003221781A1; CN1218212C; US6909532B2; JP4566736B2; JP2005526271A; CN1453623A; WO2003091798A1; TW200405953A; US20030206331A1

Description

1240842 玖、發明說明：相關申請的交叉參考本申請主張2002年4月24日提申的名稱為“使用金屬薄膜電極的電泳分段顯示器（Eiectroph〇retic Segment Display Using Metal Thin Film Electrodes) ’’的美國臨時專利申請第60/376,002號的優先權，以及 2002年4月24日提申的名稱為“具有多層底板的有源矩陣電泳顯示器（Active Matrix Electrophoretic Display with Multilayer Back Plane) ” 的美國臨時專利申請第6 0 / 3 7 5，9 3 6號的優先權，所有上述均結合於此作為參考。本申請涉及共同提出的未決美國專利申請第號（律師卷號No· 26822-0054 )，名稱是“用於在基板上形成圖案化湾膜導電結構的方法（Process Forming Patterned Thin Film Conductive Structure on a Substrate ) ”，與本申請同時提申，結合於此作為參考。【發明所屬之技術領域】本發明主要涉及電泳顯示器。彼露了具有多層底板的矩陣驅動電泳顯示器。【先前技術】背景技術 1240842 諸如電泳顯示器的塑膠顯示器，通常包括下部電極層、顯不"貝層、以及上部電極層。通常對上部電極層和/ 或下部電極層的電極選擇性地施加偏麼，以控制與被施加偏歷的電極相關的部分顯示介質的狀態。例如，並型的益源矩陣電泳顯示器可包括成行和成列排列的夹在頂部電極層和底部電極層之間的一組電泳格子（ceii)。該頂部電極層可包# ’例如’―系列放置在電泳格子列之上的透明列電極’而底部電極層可包括一系列放置在電泳格子行之下的行電極。2 〇〇 1车q日1 ο α # + ^ a 年9月12曰提申的名稱為“具有拇電極的改良電泳顯示！i ( An !寧請d…价响㈣… = lay Wlth Gating ElectrQde)，，的臨時美國專利申明第60/322, 635號描述了無源矩陣電泳顯示器，其結合於此作為參考。八…口诸如無源矩陣電泳顯示器的無源矩陣顯示器的設計通常必須解決交又偏壓的問題。交又偏壓是指施加於電極的偏壓，該電極與不在掃描行中的顯示器格子相Μ，掃描行即是正在用顯示資料更新的行。例如，為改變典型顯示哭中在掃描行中之格子的狀態，偏壓可施加於頂部電極^ 列m改變這些格子或將這些格子保持在其初始狀能。這類列電極與在其列中的包括許多不位於掃描行的格子的所有顯示器格子相關。二種已知的解決交又偏壓問題的方法是提供有源矩陣顯示器而不是純粹的無源矩陣顯示器。在有源矩陣顯示器中，諸如二極體或電晶體的開關元件單獨或與其他元件一 1240842 起使用，以控制與顯示器袼一千相關的圖凡電極或與單個圖兀相關的袼子。在一個並型一1的有源矩陣顯示器構造令，例 ϋ ’公共電位（例如地電彳、罨位）可轭加於頂層中的公共電極 ’而位於底層中的圖元電極由相田相關的開關凡件所控制，從而對圖7L電極施加偏壓或隔離電極阻止產生將引起相關的顯示器格子改變狀態的電 ^ b 电％廷樣，例如，通過隔離與非掃描行中的顯示器袼子〇 ?口子相關的圖凡電極就可以控制父又偏壓的影響。利有源矩陣顯示器在液晶顯示器（LCD)領域是孰知的。一種典型的設計使用薄膜電晶體（m)技術來形成靠近與其相關的相應的圖元電極的開關元件。然@，這種方法昂貴和費時，因此不能很好適用於非常大的顯示器。此外，堵如玻璃等的耐高溫基板通常使用在汀了顯示器中。TFT基板是剛性的，因而不能很好地適用於所需要的應用，例如，撓性塑膠顯示器的應用，在某些情況下，捭性的塑膠顯示器可通過需要撓性基板的捲帶式（/『oil = roll)工藝最有效地加以製造。 ^由於其他原因，TFT一LCD技術可能不適用於有源矩陣電泳顯示器。例如，在下述的未決申請，即2〇〇〇年3月曰提申的美國申請第09/51 8, 488號、2001年]η u 卞1乃日提申的美國申請第09/759, 21 2號、2000年6月28日提申白、美國申請第09/606, 654號、和2001年2月ις α λ日山丄ο曰提申的美國申請第09/784, 972號中描述了微型杯狀電泳格子，所有上述均結合於此作為參考。在所參考的申請中描述的 10 1240842 微型杯狀電泳顯示器包括由具有明確定義的形狀、尺、和長寬比的微型杯製成並用分散於電介質溶劑中的=色素微粒填充的封閉格子。對於這樣的格子，底部電極層具有接近平整的頂面可能是必需的’以在層麼底部電極二電冰格子層、和頂部電極層之後確保充分的密封。上述的 TFT技術可導致用於這樣的應用的結構太厚。 α、 TFT技術的另一缺點的圖元電極而形成。可因為圖元之間需要用於有源矩陣電泳顯示器的典型是開關元件通常鄰近與其相關的相應在相應圖元電極之間這類元件的存在過大的間隙而對解析度產生不利影響在大尺寸有源矩陣EPD中’有源開關元件也可以是離散兀件的形式、或一個或多個積體電路的形式。在這類系統中’需要對從開關元件到驅動器、和/或控制電路、和 =制元件的導電跡線進行佈線。對與電極的連接線路進行佈線的問題在無源矩陣顯示器中也可能會遇到，或多個分屏（町een splits)已引人列電極或^電極，例如通過把列電極分成兩個或更多段以改善回應時間，因為:個電極將必須通過導電跡線與驅動器進行接觸，該驅動器被配置以把規定的偏壓提供給電極。 / 〃對於有源矩陣顯示器或無源矩陣顯示器來說，下述可 =利和/或必要的：在位於顯示器平Φ(或沿著顯示 =面，如果不平的話），第一位置的電極和開關元件之;;：！、和/或位於顯示器平面的第二位置的控制元件之間確疋信號的路線。在單層中’在電極和相關元 1240842 沿顯示器平面對導電跡線進行佈線的—個缺點有下述危險 ••將產生不希望的電場，或想要的電場受到干擾，這是由於施加於這類跡線的電勢（即，該跡線可起電極的作用，潛在地影響放置在跡線附近的一個或多個電泳格子中帶電微粒的遷移）。對更加複雜的設計（例如，大量的開關元件、大量的圖元電極、具有大量“分割，、無源矩陣等）來說’可能難以在單層中佈置所有必要的導電跡線，如果。需要’使電極和相關的元件互相連接’特別是以不對顯示為解析度和性能造成不利影響的方式。用於電泳顯示器的導通結構已有描述，其用來將一層中的導電結構連接於另—層中的導電結構。—個這樣的= 構在1 972年6月6日授權給0ta的美國專利第3, 668, ι〇6 號中被描述，其結合於此作為參考。另一種這樣的結構在名稱為“直接裝配在面板上的具有外部邏輯線路和驅動器的電泳矩陣顯示器（An Electr〇ph〇retic Μ^ίχ

Duplay wUh External Logic and Driver Directly Assembled to the Panel)，’ （作者是 j. T〇yama 等， SID 1 994 Digest，pp.588_591)中被描述。然而，先前描述的導通結構通常用來將一層上（或在基板的一個表面上’借此導通結構連通）的第一導電結構連接到另一層上 (或基板的另-表面上）的第二導電結構，另一層（或基板的另-表面）緊鄰第一導電結構的下面（即與第一導電結構相對）_年6日發佈的美國專利第 6’312’3G4號描述了另—種方法，其結合於此作為參考。 12 1240842 在：：專利中描述的結構包括三層··包括電泳顯示介質的調包括圖元電極的圖元層，其將驅動電仏示介質並通過通路連接奴仏心颁一—；以及包括電路元件的電路層。將= 層屋在-起以形成器件。雖然這種結構具有這樣的一凡彳千的要求和性能無關的相對優化的工藝製造每個元件，但實厂卜、 -貫際h亥方法限於利用薄臈電路技術的°。件。匕^又有解決在多路分割（則Hlple-spIit)盈中的電路跡線佈線問題也沒有滿足大尺寸顯示面板的驅動電路要求。 4 因而，需要利用相對便宜、對解析度沒有不利影響、並且適合於供電泳袼子畔# "计（如上述的微型杯狀電泳格子 :)使用的技術製造矩陣驅動的電泳顯示器（有源和/或 …、原巨陣）此外，需要矩陣驅動的電泳顯示器，直中底部電極層的頂^夠平整以保證電泳格子層的充分密封。问樣，也需要矩陣驅動的電泳顯示器技術，其適合於供大尺度顯不器使用’並用於包括利用卷帶式生產技術製造的顯不器的撓性塑膠矩陣驅動的電泳顯示器。最後，還需要以不對顯示器解析度和性能造成不利影響的方式滿足所有亡述需要，如通過要求許多導電跡線和電極在同一層以確定所需信號和/或電勢到電極的路線。【發明内容】下面提供本發明的優選具體實施例的詳細描述m盡管 13 1240842 參照優選具體實施解的是，本發明並；朵3月進行了說明，但是，應當理，本發明僅由所附的：：任何—個具體實施例。與之相反 #久# 、、申凊專利範圍所限定，且本發明可以有各種更改和變化。士於今知Θ J Μ 本备明的各種更改、變化、所附的申請專利範圍的内容面的描述中給出了 i 4了舉例次明’在下發明可以在沒有這此特定Γ:β:，以充分理解本發明。本 -、疋、、、田郎的一些或全部下申請專利範圍來實施。為 χ , n A 間月起見，並沒有詳細描述在 …明相關的技術領域中熟知的技要地模糊本發明。以免不必披露了具有多層底板的矩陣驅動的電泳顯示哭一 =體實施财’㈣驅動的電泳顯示器包括有輕陣顯不益，其中可利用多層底板確定—個或多個導電跡線到一個或多個相關的開關和/或控制元件的路線，纟中這電跡線可形成在除了放置圖元電極的層外的—個或=個層中，提供了確定這樣的跡線到顯示器平面任何位置的路線的能力’而不損害顯示器解析度，以及無需考慮在這類跡線上傳輸的信號會如何影響顯示器的性能，又通過導致在 ^希望的地方產生電場’或通過減弱已建立起來的預期電場的強度’以將一個或多個顯示元件驅動到新狀雜【實施方式】在一個具體實施例中，矩陣驅動的電泳顯示器包括無源矩陣電泳顯示裔’其具有一個或多個分判丨恭篆極和/或 14 1240842 分割行電極以及多層底板，其被配w 散配置攸而允許確定與所述分割電極相關的導電跡線到相關的驅動器和/或控的路線，而不損害顯示器解析度， Λ汉無需考慮在這類跡線上傳輸的信號如何會影響顯示哭、不希望的地方產生電場，或通過、隹場的強度，以驅動一個或多個顯_ ^ 以的預期電又夕個顯不TL件到新的狀態。圖1是典型的電泳顯示器的側視示意圖。顯示器100 包括頂部電極層1G2、電泳格子層m、和底部電。如上所述，頂部電極層102可包括公共電極覆蓋在電泳格子層104中的 1M , τ的所有或幾乎所有電泳格子。可供選擇地，頂部電極層102可包括多個覆蓋相應的電泳格子列的列電極、多個行電極、，其如希望的那樣覆蓋選擇的電多個圖案化電極計或用途。州於特疋的没電泳格子層1 0 4句it Am ^ , 體實施例中，電泳格子層:=”泳格子。在一個具泳格子，其排列成行和列的陣列。夕固上述的微型杯狀電極厚如nt所述’在典型的無源矩陣電泳顯示器中，底部電心人固Γ包括多個行電極，例如’如果頂部電極声〗 =多個:i電極’同時—個或多個電泳格子位於行= “極的母個交又點。在諸如本文所披 :的有源矩陣顯示器中，在-個具體實施例中广 = 層m包括多個圖元電極，每個與至二電，而該電泳袼子盥„ _ + 冤冰袼子相闕子吳圖凡電極對應的圖元相關。在一個具體 15 1240842 實施例中’如下而审* 面更充刀地所描述的，底部電極層包括— )極體、電晶體、ΜΙΜ(金屬'絕緣體-金屬 ?、他月b夠隔離與其相關的圖元電極的開關元件。在一個具體實施例中，底部電極層可包括多4，該若干層包括圖兀電極、佈線電路circuitry)、開關凡件_/或其他導電結構，如下面更充分地所描述的。在-個具體實施例中，在底部電極$ 1〇6的一個或更多層中的導通孔結構;M交+ 霉被用末將在一層中的結構電連接至在另一層中的結構。一士本文所用’位於顯示器格子層下面的結構，如圖1 所示的電泳格子層1〇4，被看作是包括顯示器“底板（ back plane) ’’ 的紝播。如上门 , 、、、。構例如’圖1所示的顯示器1 〇〇的底板包括底部電極I 106。如本文所用，術語“多層（ multi-layer) ”當與術語“底板” 一起使用時是指具有位於多於兩層中的導電結構的底板。這可以包括，通過示例說明而非限制性的，形成在每個基板（包括多層底板 )的一個或兩個表面上的具有導電結構的顯示器且基板用電力和/或其他方式層壓或用其他方法黏合或連接在一起，從而形成底板。圖2示出在一個具體實施例中所採用的可選設計，以提供具有多層底板的有源矩陣電泳顯示器。圖2所示的設计被使用在一個具體實施例中，其中頂部電極層包括一組復盍電泳袼子的單個公共電極層。這種裝置在美國專利第 4, 589, 733號（授權給Yaniv等）中作了描述，其結合於 16 1240842 太作為參考。圖2所示的底部電極層200包括多個圖元電 204、206、214、和216。代替使顯示圖像資料信號施 °於頂部電極層中的列電極’為此㈣，在底部電極層中 β供了列信I線202和212 ’如下面更充分地所描述的。行線208與圖元電極204和214相關，且行線21〇與圖元電極2 0 6和21 6相關。 -極體220矛口 222與圖元電極2〇4相關並位於底部電極層200的與圖元電極2。4不同的層。二極體22〇的陽極連=到仃線208，且二極體220的陰極連接到二極體222 的陽極。一極體220的陰極和二極體222的陽極通過導通結構224連接到圖元電極2〇4。二極體222的陰極通過導通結構226連接到列信號線2〇2。二極體228和23〇與圖元％極2 0 6相關。二極體2 2 8的陽極連接到行線21 〇，且二極體228的陰極連接到二極體23〇的陽極。二極體228 的陰極和一極體2 3 0的陽極通過導通結構2 3 2連接到圖元黾極2 0 6。一極體2 3 0的陰極通過導通結構2 3 4連接到列信號線202。二極體238和240與圖元電極214相關。二極體240的陽極連接到行線208，且二極體240的陰極連接到二極體238的陽極。二極體240的陰極和二極體238 的陽極通過導通結構236連接到圖元電極214。二極體 238的陰極通過導通結構242連接到列信號線21 2。二極體244和246與圖元電極216相關。二極體244的陽極連接到行線210，且二極體244的陰極連接到二極體246的陽極。二極體244的陰極和二極體246的陽極通過導通結 17 1240842 導通 208 構248連接到圖元電極216。二極體⑽的陰極通過結構250連接到列信號線212。電阻况連接於行線 ’且電阻254連接於行線210。元電極 204、206、214、通過施加驅動電壓給行線 212中的適當的部分來加在一個具體實施例中，與圖和21 6相關的相應的電泳袼子 208和210以及列信號線2〇2和以控制。圖3示意地示出設置在._ 2所示設計的—個且體實施例中的顯示器300的截面圖。顯示器3〇〇包括頂部電極層302、電泳格子層304、和底部電極層3〇6。頂部電極層302包括公共電極3〇8。電泳格子層3〇4包括多個電泳格子’在_個具體實_巾’其排列成位於公共電極則的下面的行和列的陣列。底部電極層306包括圖元電極層3〇9、電路佈線層（ dixuit routing layer ) 31〇、以及驅動電路和元件層 314。圖元電極層309包括形成在基板312的頂面上的^ 元電極204和214。導通結構224和236分別將圖元電極 204和214電連接至電路佈線層31〇的導電結構32〇和 322。在一個具體實施例中，圖元電極2〇4和214以及導通結構224和236相應於圖2所示的相同編號的結構。在一個具體實施例中，電路佈線層31 〇包括導電結構 320和322、以及二極體，如圖2所示的二極體。在一個具體實施例中，導電結構32〇相應於圖2所示的將二極體 2 2 0的陰極連接二極體2 2 2的陽極的線路，且導電結構 18 1240842 3 2 2才目庫於v區I 〇〜 …、固2所示的將二極體24〇的陰極連接到二極體 238的陽極的線路，上述二極體未在圖3所示的特定的戴面圖中示ψ。+ 一個具體實施例中，電路佈線層31 〇包括 4如圖2所示的行線208和210的導電行線，® 3中未示出在—個具體實施例中，電路佈線層31〇包括諸如導電跡線的其他導電結構，以將二極體連接到相關的行線和/ 或列首線’老如圖2所示的電阻252和254的電路元件；和 /或導電跡線’以通過導通結構將電路佈線| 310中的導電結構連接到驅動電路和元件層314中的驅動電路，其中導通結構將電路佈線層31G連接於驅動電路和元件層314 在一個具體實施例中，導電結構32〇和奶形成在基板324的頂面上，且驅動電路和元件層包括形成在基二 324的底面上的列、線2〇2和212。導電導通結構226和如分別將導電結構320和322連接到列線2〇2和M2。在一個具體實施例中’驅動電路和元件層314包括用於將驅動電愿施加到-個或更多相關的行線和/或列線的驅動電路。在-個具體實施例中，這種驅動電路以分開的撓性電路（FPC)或印刷電路板（PCB)㈣式被設置，其電連，至導電跡線和/或包括驅動電路和元件層314的其他結的工蔽，，如圖3 油墨將聚圖4A和4B示出在一個具體實施例中所採用以在基板上形成圖元電極和/或其他導電薄膜、纟士構所示的基板312。在圖4A中，使用可韌離聚合物 19 1240842 合物油墨圖案402印刷在基板上。任仕何適當的印刷技術， =性版印刷、無水平版印i電子照相印刷、以及平板 p刷，可用來在基板上印刷油墨圖案。在應用其他印刷技術，如絲網印刷、喷、—用中了 1 T墨印刷、和熱敏印刷 ’這取決於所需要的解析度。聚合物油墨圖案術在基板上限定其中不存在聚合物油墨的圖元電極區域綱、4〇6、 414、和416。在一個具體實施例中，導電薄膜形成在基板的圖案化表面上’覆蓋聚合物油墨圖帛4〇2和圖元電極區域404、406、414、和416。然後除去包括聚合物油墨圖案402的聚合物油墨。形成的結構在® 4B +示出，包括在基板312上形成的薄膜圖元電極2〇4、2〇6、214、和 216。在一個具體實施例中，使用類似的工藝在基板312的底面上形成導電薄膜結構，如包括圖3所示的電路佈線層 31 0的導電結構。在一個具體實施例中，利用如撓性印刷電路（FPC)或印刷電路板（pcB)的可選方法，提供包括電路佈線層的結構的至少一個子集。上述工藝進一步在圖5A — 5D中示出。圖5A示出基板 312的截面圖。圖5B示出在基板312上形成的聚合物油墨圖案402 ’其在基板上限定圖元電極區域4〇4和414。圖 5C不出在圖案化的基板上形成的導電薄膜418，該導電薄膜418包括形成在聚合物油墨圖案4〇2上的部分和形成在基板的暴露區域上的部分，如圖元電極區域404和41 4。圖5D示出在聚合物油墨圖案402已被除去後剩餘的結構 20 1240842 ，該剩餘的結構包括圖元電極2 〇 4和21 4。當使用某些類型的電泳袼子時，上述形成導電薄膜結構的工藝可能是特別重要的。例如，可能需要諸如上述的工藝的工藝以確保底部電極層的足夠平整或接近平整的頂面，如當顯不器的數層被層壓在一起時，將允許微型杯狀電泳格子的充分密封。在一個具體實施例中，上述的導通結構通過下述方法形成：只要形成導電薄膜結構，就在基板312中形成導通孔。在一個可選具體實施例中，在形成導電薄膜結構的至少一個子集之前形成導通孔。在一個具體實施例中，導通孔利用鐳射形成。在一個具體實施例中，導通孔通過諸如電腦數位控制（CNC )沖孔或鑽孔的機械技術形成。在一個具體實施例中，導通孔用導電材料填充以形成諸如圖2和圖3所示的導通結構224和236的導電導通結構，從而在基板的頂面上的導電結構和形成在或電連接至基板的底面的導電結構或元件之間提供電連接。在一個具體貫施例中，導通孔用諸如導電聚合物油墨或銀膏的導電材料填充。在一個可選具體實施例中，導通孔通過下述方法用銅鍍層填充：施加乾光致抗蝕劑薄膜，暴露和顯影光致抗餘劑以構造掩模，然後沈積膠態石墨薄膜層，接著在石墨上沈積鍍銅層，最後除去光致抗蝕劑。在一個具體實轭例中，乾光致抗蝕劑薄膜、或一些諸如遮蔽膠帶的其他適ϊ的材料’用來作為遮蓋層（tenting layer )，從而在利用上述工藝步驟在導通孔的側壁上形成鐘銅層期間， 21 1240842 保護基板底面上的結構。上述工藝及其適用於形成本文所述的圖元電極的變化在未決中請第1 0/422,577號（律師卷號No. 26822-0054 )中作了更詳細地描述，其結合於此作為參考。在一個具體貫施例中，本文所述的工藝用來形成一個或更多厚度不大於5微米的金屬薄膜結構。圖6A示出在一個具體實施例中所採用工藝的最初步驟’其利用導通孔以提供多層底板420。導通孔422如已在絕緣基板424中形成的那樣示出。在一個可選具體實施例中，在一個或更多電極已在基板的頂面上形成之後形成導通孔。在一個這類具體實施例中，形成頂面電極之後將形成導通孔，如結合圖6B和圖6C所討論的。在一個具體只施例中，利用鐳射來形成導通孔。在一個可選具體實施例中，使用諸如電腦數位控制（CNC )鑽孔的機械方法來形成導通孔。任何適當的方法或技術可用來形成導通孔。在圖6B中，遮蓋塗層/油墨線426a和426b已形成在基板424上，以限定待形成在基板424的頂面上的分段電極的左右邊界，如下面所更充分地描述的。在圖6C中，金屬薄膜已沈積在基板424的頂面上。在-個具體實施例中，該導電薄膜可包括銘、銅、銀、鎳、錫、或其他金屬如辞、金、鉬、鉻、鈕、銦、鎢、鍺、 I巴、鉑、及其混合物、合金、和多層複合膜、或上述的任何金屬及其衍生物。非必選地，諸如Si〇x、π〇2、ιτ〇的薄氧化物層可外塗覆在金屬薄膜上，以改善，例如，防護 22 1240842 ，广、抗刮性、和耐腐蝕性。如目6C所示，沈積在基板了、：上的金屬薄膜在基板的頂面上形成金屬薄膜層428。在一個具體實施例中，該金屬薄膜可部分地填入導通孔的側壁’如圖6C所示。金屬薄膜428也形成在蓋 ^線伽和雛的頂部上。在一個具體實施例中曰如圖由 €非常薄的層、或根本沒有金屬薄臈層428形成 =皿塗層/油墨線426a和42此的側表面上，這取決於油墨線的尺寸和形狀以及用來形成金屬薄膜m 的材枓和沈積參數。所示的金屬薄膜層他的厚度關於遮蓋塗層/油二4263和426b的相對尺寸並不是按比例製圖，而是 :4目的進行的選擇。依據所用的材料和技術十=墨T 426^ 426b的厚度，例如，可以在〇·〗微低到Λ 數量級。如果1呂用於金屬薄膜，則厚度可 • u米至g.ig微米。如果使用銅，金屬薄膜的厚度了以在〇 5禮支米5 q外本aa也·曰/ 倣木至3裰米的數量級。其他金屬可且同的典型的厚度範圍。因此， ^ 線條42…6b的厚度是在盖塗層/油墨 °子度疋在上述乾圍的較高端（例如， ύ υ彳政米j並且鋁用於令屬比、广那麼金屬薄膜428將比層/油墨線條426a和426b薄得多，因而有少的金屬膜或沒有任何金屬膜可形成在油墨線的側表面上如在油墨線的這個討論中所使用的，術語“側表面 =沿印㈣基板上的可剝離遮蓋塗層/油墨線條或區域的邊緣的表面，其可能是或可能不是大體上垂直於塗層/ 23 1240842 油墨線條或區域的頂面（即，基本面，在：iihpe 十仃於基板表面的表 ^ 已P刷油墨線或區域）。在$此且雕杂# η 士，侬攄辦田^，在系些具體實施例中依據所用的材料和技術以早卹八a 1 一 w表面或邊緣表面可以疋口刀地或整個域的頂邱r Ρ 也51化的和/或可以是與油墨線條或區 -個具體實施例中，在::同於9…角度處。在條之間的厚度差里有上::：屬缚膜和遮蓋塗層/油墨線 .、六制、θ入、有利於在金屬沈積後使用普通溶劑或 /合別混5物除去遮蓋〆 _ 曰由墨線條，如酮、内酯、酯、酉手、_、酿胺、巧綱六、碾、烴、烷基苯、卩(±咯烷酮、水、 7浴液、和/或任何本文所列的其他剝離溶劑，而不損壞正形成的金屬薄膜電極結構。圖60不出當除去遮蓋塗層/油墨線條後形成的電極結構極結構包括通過間隙與相鄰電極432隔開的電極〇士攸圖6D可以看到的，除去遮蓋塗層/油 426a和426b導致除丰了韭a — & 来等致除去了非常溥的金屬層，其已形成在遮蓋塗層/油墨線條426a和伽之上和/或其側表面上，從而留下限定相應電極結構的間隙。圖6E不出在基板424的下側上形成的遮蓋塗層/油墨區域444a和444b。遮蓋塗層/油墨區域44切和44扑形^ 在基板424的部分底而+ 低面上其中未形成導電跡線線條和/ 或其他導電結構。圖6F不出在基板424的底側上沈積金屬薄膜之後，和圖6E相同的截面圖。如目6F所示，底側金屬薄膜層 446已形成於基板424的底側上。該底部金屬薄膜層… 24 1240842 包括覆蓋聚合物的覆蓋遮蓋塗層有相似的特性。油墨區域444a和444b的部分，复 /、興上述 /油墨線426a和426b的部分薄膜428具圖6G不出在從基板424的底面剝離遮蓋塗層/油黑相同的截面圖。剝離遮蓋塗層/油墨區域444a和444b 成導電跡線（或其他導電結構）448 ’其與和電極43〇相關的開關控制、和/或驅動電路（未示出）連接。

最後’在圖6H中，示出導電材料450,已用來填充導通孔422，以確保在電極430和導電跡線448之間具有牢固和可靠的電連接。在一個具體實施例中，導電油墨，如銀膏、碳黑粉糊、或石墨糊、或導電聚合物，被用來填充導通孔。在一個可選具體實施例中，導通孔不是用導電材料填充’而是用導電材料塗覆導通孔的側壁，由此在形成於與導通孔相關的基板頂部和底面上的結構之間形成電連接。圖7A至圖7D示出在一個具體實施例中所採用的一種可選工藝’以改善在一個或更多電極（形成在包括多層底板的基板的頂面上）和相應導電跡線（形成在基板的底面上）之間的電連接。在圖7A中，基板的頂面（即，在其上已形成電極的側面）用乾光致抗蝕劑膜5 0 2進行層壓。該乾光致抗蝕劑膜5 0 2覆蓋電極結構、電極結構之間的間隙、和諸如導通孔422的導通孔。底面（即，在其上已形成跡線的側面）用乾遮蓋膜504進行層壓，例如，其可以是乾光致抗蝕劑 25 1240842 膜或簡單的遮蔽膠帶。乾遮蓋膜5〇4形成覆蓋導通孔422 底側的帳狀物（tent)。圖7B示出在乾光致抗蝕劑膜5〇2已被成像並除去乾光致抗蝕劑膜502的暴露部分之後的電極層。在一個具體貫施例中，利用掩模使乾光致抗蝕劑膜5〇2成像，以暴露該膜的選擇部分，如暴露覆蓋電極和導通孔的部分。在圖7C中，示出電極層的頂面，其首先用膠態石墨層506塗覆，然後用銅層508塗覆。在一個可選具體實施例中，在塗覆銅層508之前，剝離光致抗蝕劑膜5〇2的剩餘部分，這樣的剝離將不會損傷在電極上形成的膠態石墨層506部分。在這樣的具體實施例中，銅層5〇8僅形成在剝離殘留的光致抗蝕劑膜502之後仍然覆蓋有膠態石墨層 5 0 6的表面上。圖7D示出在除去遮蓋膜504，暴露導通孔422的底部之後的多層底板420。非必選地，為確保在電極430和頂層中的相應電極之間產生均勻電場，在一個具體實施例中，將一些導電油墨51 0加入導通孔的頂部，如銀膏、鎳粉糊、奴黑粉糊、或石墨糊。可使用其他導電材料來代替導電油墨51 0。圖8不出在一個具體實施例中所採用的開關元件構造，以提供具有多層底板的有源矩陣電泳顯示器。顯示器 8 0 0包括與電泳袼子陣列（圖8中未示）的2圖元X 2圖元部分相關的圖元電極804、806、814、和816。圖元電極 804和806與源信號線802相關，圖元電極814和816與 26 1240842 另一個源信號線812相關。圖元電極804和814及閘信號線808相關’且圖元電極806和816及閘信號線81〇相關。源線802和812分別與源驅動器818和820相關。門作號線808和810分別及閘驅動器822和824相關。圖元電極804與和圖元電極804並行連接的電容器 826相關，同時電容器的一端連接到公共電極。電容器 826的另一端和圖元電極8〇4連接到與圖元電極8〇4相關的％效應電晶體（FET) 828的漏極端。電晶體828的門電路連接到門信號線808而源電路連接到源信號線8〇2。同樣，圖元電極806與電容器830和電晶體832相關，圖元電極814與電容器834和電晶體836相關，而圖元電$ 816與電容器、838和電晶體請㈣，所有元件都以與上述用於與圖元電極80“目關的相應元件的方式相同的進行連接和配置。工、/個具體實施例中，對掃描行來說，與掃描行相爲的門信I線通過操作相關的門驅動器提高到足夠高的電肩 …Μ將與掃描行的圖元電極相關的電晶體置於導電狀能 :而通，操作相應的源驅動器可將該行的每個相應的圖; 號：：提同到在或接近於施加給與其相關的源信號線的>ίι :电堅，施加給每個相應源信號線的像資料來確宕^ , 心电&由顯不斋g 分散在里色、”, 定帶正電的白色色素微粒的格: …、色，合训中並用於顯示器800中。進一步假 9 810 田饤避假定與圖元電極804相關的格子將被焉 27 !24〇842 其中素微粒在或接近底部電極層動到黑色狀態 _-I 巧H y官，而與圖元電極814相關的格子將被驅動白色狀能，其中* 電色素微粒已被職到在頂部電極層或接近頂部電極層二位置。曰假定在-個具體實施例中’頂部電極層包括保持在u 伏電勢的公共電極。在-個具體實施例中，掃描行的門信號線（在該示例中是門信號線808 )被驅動到35伏，且^ 如門信號線81〇的與非掃描行相關的門信號線則保 5伏。在與將被驅動到黑色狀態的掃描行的圖元相關的源信號線（如源信號線802 )被驅動到〇伏期間，與將被驅動到白色狀態的掃描行的圖元相關的源信號線（如源作號線以2)則被驅動到20伏。在所述電壓條件下，與非掃：行的圖元電極相關的電晶體將都是在非導電狀態，而與= 加給相應源信號線的電壓無關’因為在每種情況下在電晶體門電路上的電壓將小於在源電路上的電壓。對掃描行來。兄’電晶體將被置於導電狀態。例如，與圖元電極相 ^電晶豸836將被置於導電狀態，將圖元電極814上的為等⑨2G伏（在電晶體㈣的源端提供）減去 2電晶M 836的電壓降的電平，在—個具體實施例中，建电平足以在圖兀電極814和公共電極（在頂層中）之間立電場’以將與該圖元電極相關的電泳格子中的帶正電 ^抵驅勤到在頂部電極層或接近頂部電極層的新位置。在驅:具體實施例中，在驅動期間，與圖元電極（被驅動到 C以改變與該圖元相關的格子的狀態）相關的電容 28 ^240842 為’如與圖元電極814相關的電容器834，被充電到圖元電極被驅動到的電壓水平，因此，即使在不再使用驅動電路來將圖元電極有源驅動到該電壓之後，將相關的圖元電極保持在或接近其已被驅動到的電壓水平。在一個具體實施例中，圖8所示的構造在多層底板中只現。在一個具體實施例中，例如，開關和維持元件，如與圖元電極804相關的電晶體828和電容器826，以及門驅動器和/或源驅動器，如門驅動器822和824以及源驅動态818和820，必須（as necessary)連接到底部電極層的最底層基板，該底部電極層具有圖8中所示的將被連接至的其他結構的電連接，如相應的圖元電極、門信號線、和/或源信號線。圖9示出在一個具體實施例中所採用的多層底板結構的截面圖，以提供使用圖8所示設計的顯示器。示出包括頂部（公共）電極層862、電泳格子層864、和多層底板 866的顯示器800。底板866包括圖元電極子層868，其包括多個圖元電極，包括圖8所示的圖元電極8〇4和814，其形成在基板890的頂面上。底才反866還包括電路佈線層 870以及驅動電路和元件層872。電路佈線層包括導電結構874和876,其形成在第二基板892的頂面上並通過導通結構878和880分別電連接到圖元電極8〇4和814 。在-個具體實施例中，基892層壓或用其他方式黏合到基板890,以這樣的方式以致在形成在相應基板上的導電結構之間進行必要的電連接。在一個具體實施例中，導 29 1240842 電結構8 7 4和o 7 A , 76包括導電跡線，農與所述圖元電_ 2 m電極_和 w托具相關的其他導雷一接，如門信號線808 ( 電、、、。構和/或兀件連 (圖9中未示出）。一例中，門信號線形成/ “r知在個八體貝施成在和驅動元件相同的芦電結構874和87R a , _ 』日]層872中，且導匕括堵如圖8所示的源作辦绩只^ 9 812的源信號線。的源仏號線802和 …、駟動兒路和兀件層872包括元件882和884，其通土

¥通結構88Μϋ 888分別連接到導電結構874和876。^ 件882和884的每個都連接至導電結構894和_中的一個並與導電結構894和896之一相關，導電結構894 # 896 $成在基& 892的底面上。在-個具體實施例中，^ 件882和884分別相應於圖8所示的電晶體828和836 c 在-個具體實施例中，元件882和m相應於圖8所示白電容|§ 826和834。在一個具體實施例中，導通結構886 和888把兀件882和884的末端連接到多層底板866的另一層中的導電結構。例如，在一個具體實施例中，其中元件882相應於圖8所示的電晶體828，導通結構886可用

來將電晶體的門接線端（gate terminal )連接到門信號線808 ’在一個具體實施例中，其形成在電路佈線層870 中（該門信號線在圖9中未示出）。在一個具體實施例中，導電結構894和896分別相應於源信號線802和812，並連接到與列相關的電晶體的源端（它們與該列相關）。在一個具體實施例中，導電結構894和896包括導電跡線，其將包括驅動電路和元件層872的元件與相同層的其他 30 1240842 結構連接，或通過附加的導通結構（在圖9 與位於底板866内的其他層的結構和/或元件連接通過導通結構或其他方法在包括多層底板86“… 及匕們之間的相互連接之間精確曰夕導電钍構e执.、登据4 一 > 刀凡件、電極、和其他令电、、、口構疋叹计遠擇和貫施的問種分你以β &五、_ 4立+ ^类員I件和結構的各 :刀佈=相互連接電路的精確佈置和結構並不限疋具體貫施例的討論，而是可换 ' ……。疋了知用任何適當的分佈和佈置

。在本披路物和所附的中請專利範圍的範圍内。 88/: 一個具體實施例中，諸如圖9所示的元件882和 8中84的元b:形成在基板892的底面上。在-個具體實二 ’-t或所有這類元件被分別製備，作為單個且有不同程度的集成’如下面所更充分地描述的，然後電連接到形成在底866的最底層的底面上的導電結構。這類凡件和/或積體電路可包括撓性印刷電路（FpG)和/或印

刷電：板（PCB)，並可採用晶片（die)、封裝晶片或元件、電路板，或任何其他適當的形式。圖10A示出一種可選設計1〇〇〇,其中圖8所示的電晶體 828、832、83β、知 β/ΐη ρ 敫人 2：丨 * 和840已整合到電晶體陣列積體電路 1〇〇2中。圖it電極8G4和電容器826的上端由導電線路 1 004連接到電晶體陣列積體電路1 002。圖元電極806、 14 # 81 6，以及其相應的相關電容器，分別由導電線路 1 006、1 008、和1010，同樣連接到電晶體陣列積體電路 1 0 02。通過將底部公共電極基板插到電極層下，電容器也可形成在多層底板中。圖1 0A所示的其餘元件與圖8所示 31 1240842 的具有相同的參考數位的相應元件基本相同。相似地，開關極可整合到二極體陣列積體電路中。目1 示出電晶體陣列積體電路1 002如何包括電晶體似、^、· 和840，以及如何進行至所述電晶體的相應連接，以完成圖8所不的電路設計。通過以這種方式整合電晶體、 832、836、和840，可簡化組裝多層底部電極層的任務，因為更少的元件需要形成和/或黏合在底部電極層的最底層的底面。 _ 圖11A和11B示出圖8所示設計的進一步的電路集成。圖11A示出除電晶體828、832、836、和84〇之外還集成了門驅動器電路、源驅動器電％、以及相關的線路的驅動器積體電路11 02，這些門驅動器電路、源驅動器電路、以及相關的線路包括門信號線8〇8和812、門驅動器822 和824、源信號線802和812、以及源驅動器818和820。控制線11 04和11 〇6連接到驅動器積體電路丨丨〇2並用來控制驅動積體電路11 〇 2的操作，以確定哪些圖元電極 (在所示示例中包括圖元電極804、806、814、和816) 將被驅動到改變與該圖元電極相關的電泳格子的狀態所需的電壓。圖11B示出整合到分段驅動器積體電路1丨〇2中的元件。驅動器積體電路11 〇 2包括電晶體8 2 8、8 3 2、8 3 6 、和840、行驅動器822和824、行線808和810、列驅動器818和820、以及列信號線802和812。此外，驅動器積體電路1102還包括控制邏輯電路1108，其被配置以回應施加給控制線11 〇 4和110 6的控制信號，從而通過圖 32 1240842 Πβ所示的控制線將控制信號傳送到行驅動器822和δ24 和/或列驅動益818和820中的適者的分从亜如狄在丨、r击口币田〇凡件，即當根據需要把控制料電路謂連接於相應的驅㈣時，把虫將從初始狀態“帶電荷微粒在底部）轉變到第二狀離（帶電荷微粒在頂部）的格子相關的圖元電極驅動到進行這樣的轉變所=要的電μ。相似地’開關二極體也可以與驅動器和控制電路一起整合到積體電路中。如上所述，諸如本文所述的導通結構的導通結構可用以允許確定信號從積體電路（如1〇Α、雨、和 11Β所示的和上述的積體電路）到相關的電極結構的線路，而不對顯示器解析度和/或性能造成不利的影響，包括但不限於允許電極通過導通結構連接到積體電路或其他元件’其並不直接位於電極的下面（即’並不直接與在導通孔另一側上的電極相對）。圖12Α示出可用來提供無源矩陣電泳顯示器的電極構造的代表部分。在位於電泳顯示介質層（未示出）上面的頂部電極層上設置了多個行電極14〇2、14〇4、14〇6、和 1 408。多個行驅動器1412、1414、1416、和Μ18的每一個分別與行電極1402、1 404、1 406、和1 408的相應的一個相關。底部電極層包括多個列電極142〇、1422、1424、和1 426。每個列電極與列驅動器143〇、1432、1434、和 1436的相應的一個相關。圖12Β示出圖12Α所示電極構造的沿行電極1 408截取的截面側視圖。圖12β示出在頂部電極層基板1452上 33 1240842 形成的订電極1 408。示出形成在底部電極層基板1454上的列包極1 420、1422、1424、和1 426。電泳介質層1458 夾在頂°卩電極層和底部電極層之間。通過一些導電黏合劑 1 462 κ現從仃電極14〇8到底層行驅動器觸點146〇的電接觸。在一個具體實施例中，行電極14〇8和行驅動器1418 之間的連接是通過導電黏合劑1462和底層行驅動器觸點 1 460來實現的。圖13Α不出圖12Α所示設計的可選設計。在圖13Α所 :的可選設計中，每個列電極已分割成兩段。在一個具體貝例中通過這樣分割列電極，則可在同時對兩行進行定址，因而回應時間可減去一半。然而，如上所述，引入 -個或更多分割導致需要確定從電極段到相關的驅動器電路的電路跡線的路線。例如，在圖13A中，第一列電極已分割成段1 502和1504。段1 502通過跡線15〇6連接到列驅動器1 508，段1 504通過跡線151〇連接於列驅動器 1512。同樣，電極段 1514、1516、1518、152〇、1522、和 1 524的每個通過相關的跡線連接到多個列驅動器153〇的相關的一個。雖然圖13A所示的每個列電極是分割成兩段 ’然而根據應用可使用更多&，需要更多的從電極段到顯示器（或別的地方）的邊緣的跡、線，以與相關的驅動器連接。圖13B不出圖i3A所示電極構造沿行電極14〇2截取的截面側視圖。圖13B示出在頂部電極層基板1 552上形成的打電極1 402。不出形成在底部電極層基板1 554上的 34 1240842 列兒極#又1 502、1514、1518、和1 522。電泳介質層1558 夾在頂部電極層和底部電極層之間。通過一些導電黏合劑 1 562實現從行電極14〇2到底層行驅動器觸點156〇的電接觸。在-個具體實施例中，行妹i 4{)2和行驅動器i 41 2 之間的連接通過導電黏合劑1 562和底層行驅動器觸點 1 560實現。底部電極層基板1 554包括多個導通結構1564 、1 566、1 568、和1 570,每個分別與列電極段15〇2、 1 51 4、151 8、和1 522中的相應的一個相關。底部電極層鲁基板1 554還包括與底層行驅動器觸點156〇相關的導通結構1 572。示出了形成在電路佈線層基板1 586上的導電跡線1 580、1 582、和1584。導電跡線1 580通過導通結構 1 5 64電連接至列電極段15〇2。導電跡線158〇通過導通結構1 590在不同於圖1 3B所示平面的平面中電連接到列驅動裔1 508 (在圖13B中用虛線表示），其中導通結構 1 590也是在不同於圖13B所示平面的平面中（在圖13B中由虛線表示）。在一個具體實施例中，導通結構1 564、導 _ 電跡線1 580、和導通結構1590相應於圖！3A所示的導電跡線1 506 °同樣，導電跡線1 582和1584與穿過基板 1 5 8 6的導通結構和形成在和/或連接到所述基板的底面的驅動器相關。以上述方式，在多層底板的一層中的導電結構，如電極，可電連接到在多層底板的另一層中但並不直接位於該導電結構的下面的驅動器或其他元件，而不損害顯示器解析度和/或性能。以上所述僅為本發明的優選實施例而已，並不用於限 35 1240842 制本發明，對於本領域的飞妁技術人貝來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本於明^ 心月的精神和原則之内，所作的任何修改、等同替換、改i隹莖 .> 文進4，均應包含在本發明的申請專利範圍之内。【圖式簡單說明】結合附圖’通過下面的詳細描述將易於理解本發明，其中相同的參考數位表示相同的結構元件，其中：圖1示出典型的電泳顯示器的側視示意圖。圖2示出在-個實施例中所採用的可選設計，以提供具有多層底板的有源矩陣電泳顯示器。圖3示意性地示出設置在一個使用圖2所示設計的實施例中的顯示器300的截面圖。用的工藝，以在的工藝。用的工藝，以在圖4A和4B示出在一個實施例中所採基板上形成圖元電極和/或其他導電結構。圖5A— 5D進一步示出圖4A和4B所示圖6A ~ 6H示出在一個實施例中所採基板中形成導電導通結構。圖7A — 7D說明在一個具體實施例中 ^ ^ 1 j甲所採用的方法以在基板中形成導電導通結構。 β圖8示出在一個實施例中所採用的開關元件構造，提供具有多層底板的有源矩陣電泳顯示器。史圖'9示出在一個實施例中所採用的多層底板結構的面圖’以提供利用圖8的設計的顯示器。 36 1240842 圖10A示出可選設計1000，其中圖8所示的電晶體 828、832、836、和840已整合到電晶體陣列積體電路 1002 中。圖10B示出電晶體陣列積體電路1002如何包括電晶體828、832、836、和840的，以及如何進行至所述電晶體的相應連接5以完成圖8所不的電路設計。圖11A示出驅動器積體電路1102，除電晶體828、 832、836、和840以外，門驅動器和源驅動器電路和相關的線路已被整合到其中，包括門信號線808和812、門驅動恭8 2 2和8 2 4、源信號線8 0 2和81 2、以及源驅動器81 8 和 820。圖11B示出整合到分段驅動器ic 1102中的元件。圖12A示出可用來提供無源矩陣電泳顯示器的電極構造的代表部分。圖12B示出圖12A所示電極構造沿行電極截取的截面側視圖。圖1 3A示出圖1 2A所示設計的可選設計。囷1 3B示出圖1 3a所示電極構造沿行電極14〇2截取的截面側視圖。【元件符號說明】 1 〇〇顯示器 1 0 2頂部電極層 1 〇 4電泳格子層 1240842 106 底部電極層 200 底部電極層 202 、21 2列信號線 204 、206 〜212 ' 214 、216 圖元電極 208 、21 0行線 220 、222二極體 224 、232 > 236 > 248 陽極通過導通結構 226 、234 、 242 ' 250 陰極通過導通結構 228 、230 ' 238 ' 240 ^ 244 ^ 246 二極體 252 、2 54 電阻 300 顯示器 302 頂部電極層 304 電泳格子層 306 底部電極層 308 公共電極 309 圖元電極層 310 電路佈線層 312 基板 314 驅動電路和元件層 320 、322導電結構 324 基板 402 聚合物油墨圖案 404 、406 、 414 、 416 圖兀電極區域 418 導電薄膜

38 1240842 420多層底板 422導通孔 424絕緣基板 426a和426b遮蓋塗層/油墨線 428金屬薄膜層 4 3 0 電極 432間隙與相鄰電極 444a和444b遮蓋塗層/油墨區域 448導電跡線（或其他導電結構） 450導電材料 5 0 2乾光致抗蝕劑膜 504乾遮蓋膜 506膠態石墨層 5 0 8塗覆銅層 51 0 導電油墨 800顯示器 802源信號線 804、806、814、和816圖元電極 808、810閘信號線 81 2源信號線 818、820源驅動器 822、824 閘驅動器 826電容器 828場效應電晶體（FET) 39 1240842 830、834、838 電容器 832、836、840 電晶體 862頂部電極層 864電泳格子層 8 6 6多層底板 868圖元電極子層 8 7 0電路佈線層 872驅動電路和元件層 874、876、894、896 導電結構 878、880、886、888 導通結構 882、884 元件 890、892 基板 1 000可選設計 1 002電晶體陣列積體電路 1 004導電線路 1 006、1 008、1010 導電線路 1102驅動器積體電路 1104、1106控制線 1108控制邏輯電路 1 402、1 404、1 406、1 408 行電極 1412、1414、1416、1418 行驅動器 1 420、1 422、1424、1 426 歹丨j 電極 1 430、1 432、1 434、1 436 列驅動器 1 4 5 2頂部電極層基板 40 1240842 1 454底部電極層基板 1 458電泳介質層 1 460底層行驅動器觸點 1 462導電黏合劑 1 502、1 504 段。 1 5 0 6、1 51 0 跡線 1 508列驅動器 1514、1516、1518、1 520、1 522、1 524 電極段 1 552頂部電極層基板 1 554底部電極層基板 1 558電泳介質層 1 562導電黏合劑 1 5 6 0底層行驅動器觸點 1 562導電黏合劑 1 564、1 566、1 568、1 570、1 572 導通結構 1 580、1 582、1 584 導電跡線 1 5 8 6電路佈線層基板 1590通過導通結構 41

Claims

l24〇842 修正替換本丨年94 $ 14日拾、 1 · 一種矩陣驅動電泳顯示器，包括：項部電極層；多層底板；以及敌置在該頂部電極層和該多層底板之； J龟冰格子層其'中該多層底板包括：在具有頂面和底面的第一基板上形成的第一導:層包括在該第一基板的頂面上形成的=層該 °匕括厚度不大於5微米的金屬薄膜結構；包括與該電極相關的電路佈線跡線的第二導電層· 匕括與該電極相關的電路元件的第= 你a〜 —守冤層；以及 5亥弟一導電層連接到該第二導電層。 9扪弟一導通結構 2.根據申請專利範圍第丨項之矩其中該頂部電極層包括公共電極。％動電冰顯示器， ;根據申請專利範圍第〗項之矩陣驅 s項部電極層包括多個電極 :不益’ 裕子。电極覆蓋多個電泳复极據^奢專利範圍第3項之矩 …亥多個電極包括多個列電極。m顯示器，據申請專利範圍第3項之 :亥夕個電極包括多個行電極。 i冰顯示器’ •根據申請專利乾圍弟1項之矩陣驅動電泳顯示器， 42 1240842 逖包括從該第二導電層連接到第三導電層的第二導通結構 7·根據中請專利範圍第1項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該電泳格子層包括多個電泳格子。 8.根據申請專利範圍第7項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該多個電泳格子包括多個微型杯狀電泳格子。 9·根據申請專利範圍第1項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該電泳格子層包括多個電泳格子，且該電極與該格子的至少一個相關。包/7 1〇:根據申請專利範圍第1項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該第一基板包括撓性聚合物基板。％ 11.根據申請專利範圍第】項之矩陣驅動電泳，其中該電極由下述方法形成，包括：。用可剝離材料在該第一基板的頂面上印刷圖案案疋義了預形成該電極的區域； ^ 上沈積金屬薄臈；以及可剝離材料。項之矩陣驅動電泳顯示器機溶劑或溶劑混合物剥離在該第一基板的圖案化頂面從該第一基板的頂面剝離該 1 2 ·根據申請專利範圍第i i 〃、中5亥可剝離材料包括可由有的聚合物、寡聚物、或蠟狀物。物 1 3 ·根據申請專利範圍其中該可剝離材料包括、或壌狀物。第11項之矩陣驅動電泳可由水溶液剝離的聚合物顯示器、寡聚 14·根據申請專利範圍第 11項之矩陣驅動電泳顯示器 43 以〇842 電泳顯示器 1 4項之矩陣驅動 @電晶體。 -% π颟示器個ΜΙΜ(金屬—絕緣體一金、中该電路元件包括與該電根據申請專利範圍第、中°亥開關元件包括至少一 6·根據申請專利範圍第一中該開關元件包括至少一，丨7.根據申請專利範圍第 /、中該開關元件包括至少一屬）器件。極相關的開關元件。 1 4項之矩陣|區動個二極體。電泳顯示器，《.根據中請專利範圍第14項之矩陣驅動電一亥開關元件包括至少-個可變電阻。不益 w根據中請專利範圍第14項之，复Φ妗夕舔产』斯玉冰顯示器 ,、Λ夕曰氐反還包括具有頂面和底面的第二其4 該開關元件形成在該第二基板的底面上。-土反，且項之矩陣驅動電泳顯示器二基板的頂面連接到該第 2 〇 ·根據申請專利範圍第！ 9 ，其中該多層底板還包括從該第二基板的底面的第二導通結構。 21_根據申請專利範圍第20項之矩陣驅動電泳顯示器 ’其中該開關元件通過包括第二導通結構、電路佈線跡線、以及第一導通結構的通道電連接至該電極。 22·根據申請專利範圍第1項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該第一導通結構由下述方法形成，包括：穿過該第一基板形成與該電極和電路佈線跡線相關的導通孔，該導通孔從第一基板的頂面連接到第一基板的底面0 44 .1240842 23·根據申請專利範圍第22項之矩陣驅、、其中形成該第一導通結構的方法還包括小“ X 員不m 電；y* 4、ι 夕部分地用_ 斗填充该導通孔’以在該電極和該雷敗形成導電通道。路佈線跡線之沒 24. 根據申請專利範圍第23項之矩陣，甘山動電冰顯示器 /、中該導電材料包括導電油墨。 25. 根據申請專利範圍第24項之矩陣，甘山％助冤冰顯示器再中該導電油墨包括銀膏。

26_根據申請專利範圍第24項之矩陣埏動電泳顯示器 ’其中該導電油墨包括碳黑或石墨糊。 °° 27.根據申請專利範圍第24項之矩陣驅動電泳顯示器 ’其中該導電油墨包括導電聚合物。 ° 28.根據申請專利範圍第22項之矩陣驅動電泳顯示考，其中形成該第一導通結構的方法還包括至少部分地用導電材料塗覆該導通孔的側面’以在該電極和該電路佈線跡線之間形成導電通道。

29·根據申請專利範圍第28項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該導電材料包括金屬鍍層。 30·根據申請專利範圍第29項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該金屬鍍層包括銅鍍層。 31 ·根據申請專利範圍第28項之矩陣驅動電泳顯示器，其中至少部分地用導電材料塗覆該導通孔的步驟包括：用乾光致抗蝕劑薄膜層壓該第一基板的頂面；通過將選擇的部分暴露於紫外線中，使該乾光致抗蝕 45 1240842 ‘專膜形成圖案，該圖案是這樣的以致於在除去該光致抗餘劑的未固化部分之後將使該導通孔和至少部分該電露； & 除去忒乾光致抗蝕劑薄膜的未固化部分；在族第一基板的頂面上和該導通孔的側壁上沈積膠狀石墨層；以及利用電鍍以在被該膠狀石墨覆蓋的表面上沈積金屬層 0 32·根據申請專利範圍第31項之矩陣驅動電泳顯示器鲁，其中至少部分地用導電材料塗覆該導通孔的步驟還包括從該第一基板的頂面剝離該乾光致抗蝕劑薄膜的固化部分 33·根據申請專利範圍第32項之矩陣驅動電泳顯示器 ’其中遠剝離步驟是在沈積該膠態石墨層和該金屬展曰〈後進行。顯示器積该金

34·根據申請專利範圍第32項之矩陣驅動電泳，其中該剝離步驟在沈積該膠態石墨層之後但在沈屬層之前進行。器 35·根據申請專利範圍第 ’其中5亥金屬層包括銅層。 31項之矩陣驅動電泳顯示 36.根據申請專利範圍第μ項之矩陣驅動電 /7Λ顒示哭，其中至少部分地用導電材料塗覆該導通孔的步鹽_ °° ^ 鄉礓包括用遮蓋膜層壓該第一基板的底面。 37.根據申請專利範圍第項之矩陣驅動電 π顯示器 46 1240842 ，其中該遮蓋膜包括乾光致抗蝕劑膜。 3 8 ·根據申请專利範圍第3 6項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該遮蓋膜包括遮蔽膠帶。 39·根據申凊專利範圍第22項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該導通孔利用鐘射形成。 40.根據申請專利範圍第22項之矩陣驅動電泳顯示器 ’其中該導通孔通過機械沖孔形成。 41 ·根據申請專利範圍第22項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該導通孔通過電腦數位控制（CNC )鑽孔形成。 42.根據申請專利範圍第14項之矩陣驅動電泳顯示器 ’其中该多層底板包括多個基板，且該開關元件形成在該基板中的一個上。 43·根據申請專利範圍第42項之矩陣驅動電泳顯示器，其中該基板被層壓在一起。 44.根據申請專利範圍第42項之矩陣驅動電泳顯示器，其中°亥第二導電層包括驅動電路和元件層。 45·根據申請專利範圍第44項之矩陣驅動電泳顯示器〃中肩驅動電路和元件層包括連接至該多層底板的最底層基板的底面的元件。一 46·根據申請專利範圍第45項之矩陣驅動電泳顯示器，其中忒元件包括電路元件。豆』根據申靖專利範圍第45項之矩陣驅動電泳顯示器 /、中。玄tl件包括與所述電極相關的電容器。根據申请專利範圍第45項之矩陣驅動電泳顯示器 47 1240842 其中 49·根據申請專利範圍第45項之矩：。示器，其中所述元件包括積體電路。電泳顯_ 50. 根據申請專利範圍第49項之矩陣驅動卞，其中所述積體電路包括與所述電極相關的開J泳顯示器 51. 根據巾請專利範圍第49項之矩陣麵^件。 ’其中所述積體電路包括與所述電極相關的驅動：:員示器 52. 根據申請專利範圍第49項之矩陣驅動亍。。，其中所述積體電路包括微處理器、或微控制器、或專: 積體電路（ASIC) 。 ^寻用拾壹、圖式：如次頁

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