TWI228100B - Glasses for flat panel displays - Google Patents
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Description
1228100 A7 B7
經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 本發明係關於不含鹼金屬鋁矽酸鹽玻璃,其呈現出平 板顯示器裝置基板之所需要物理以及化學特性。 發明背景: 顯示器可廣泛地分成兩類:放射性(例如為CRT以及電 漿顯示板(PDP))或非放射性。後者系列屬於液晶顯示器( LCD),其依靠外界光源,顯示器只作為光線調節器。在液晶 顯示器情況下,該外界光源可為外界光線(使用於反射性顯 示器)或專用光源(例如為直接取景顯示器)。 液晶顯示器依靠液晶(LC)材料三種固有之特性調節光 線。第一為LC促使偏極光線光學旋轉之能力。第二為LC藉 由液晶機械性順應方向產生該轉動之能力。第三為LC藉由 施加外界電場產生該機械性順應方向之能力。 在製造單純扭轉向列液晶顯示器,兩塊基板圍繞著一 層液晶材料。在已知的Normally White顯示器中,塗覆校 準層於基板内側表面上將使液晶導引器產生90度旋轉。此 係指進入液晶格一個表面線性偏極化光線之偏極性被液晶 材料產生90度旋轉。彼此朝向90度之偏極薄膜放置於基板 之外側表面上。 進入第一偏極薄膜之光線變為線性地偏極。通過液晶 格光線之偏極性轉動90度以及能夠離開通過第二偏極薄膜 。跨越液晶層所施加電場將液晶導引器與電場對準,其將 妨礙旋轉光線之能力。通過該液晶格線性偏極光線會使偏 極性旋轉以及因而被第二偏極薄膜阻隔。以最簡單形式加 以說明,液晶材料為光線閥,其具有能力藉由施加電場而控 未紙張尺崖適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ— 1228100 A7 r______________________B7 j五、發明説明(Z ) , — .!
I l 制光線通過或阻絕。 上述說明屬於在液晶顯示器中單一圖素之操作。高資 j 訊形式顯示器需要組合數百萬圖素為陣列形式,該圖素亦 稱為次圖素。定址或施加電場至所有這些次圖素,同時使 定址速度最大化及存在於數個頻道間干擾較為最小。一項 定址次圖素之方法為利用位於每一次圖素之薄膜半導體控 制電場,其形成主動陣列液晶顯示器裝置(AMLCD)主要部份。 製造這些顯示器非常地複雜,以及基板玻璃特性非常 地重要〇第一以及最為優先地,在製造^^;})裝置中所使用 玻璃基板薷要精密控制之物理尺寸。說明於美國第333868 6號專利(Dockerty)以及美國第3682609號專利(Docfcerty) 下拉片狀或融合處理能夠產生該產物而不需要後級形成修 飾之操作例如為疊接以及拋光。非常不幸地,融合處理過 程將對玻璃特性產生相當嚴袼之限制,其需要相當高之液 相線黏滯係數,優先地大於200000泊。 通常構成顯示器之兩塊基板分別地製造。一片彩色濾 波板具有紅色,藍色,綠色,以及黑色有機色素沉積於其上 面。這些每一主要色彩必需精確地相對應主動板圖素電極 區域。為了消除在製造兩塊板製造過程中所遭遇外界溫度 | 情況差異之影響,需要使用玻璃基板,其尺寸與熱學條件無 11 關(例如具有較低熱膨脹係數之玻璃)。不過,該特性需要 11 藉由在沉積薄膜與基板間產生之應力加以平衡,其由於膨 I I 脹不相匹配所致。估計最佳熱膨脹係數在28-33X10—VX: f | 範圍内, 實 合丨
作丨 社 台J 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 1228100 at ------------------------- B7 4 五 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發明説明(3 ) 所謂主動板係因為其包含主動薄膜半導體,其使用一 般半導體形式處理過程加以製造。這些處理過程包含喷塗 ,CVD,光石版印刷法,以及餘刻。在這些處理過程中玻璃需 要保持為未受改變的。因而,玻璃需要呈現出熱學以及化 學穩定性。 熱穩定(亦已知為熱壓縮或收縮)決定於特定玻璃組成 份之固有黏滯特性(以應變點表示)以及玻璃片受熱歷程, 其由製造處理過程決定。美國第537595號專利揭示出應變 點大於65(TC之玻璃以及融合處理過程之熱學變化過程為 可接受之熱穩定性以作為負載於a_Si薄膜半導體(TFT)及 超低溫p-Si TFT之主動性板。較高溫度處理過程(例如為 低溫ρ-Si TFT所需要的)需要玻璃基板退火步驟以確保熱 穩定性。 化學穩定性表示避免在製造處理過程中所使用各種腐 蝕劑溶液之侵襲。其一項特別優點在於能夠抵抗蝕刻矽層 之乾触刻情況。為了顯現出乾燥蝕刻情況,基板試樣暴露 於110BHF蝕刻溶液中。該測試包含將玻璃試樣浸潰於4(Tc 之1單位50%重量比HF以及10單位40%重量比NHF溶液中歷時 5分鐘。試樣依據重量損失以及外觀加以分級。 除了這些規格外,AMLCD製造商發現較大顯示器尺寸以 及規模經濟性兩項需求為促使其生產較大型尺寸之玻璃。 目前工業界標準為Gen III(550fflmx650mm)以及GEN 111.5( 600mmx720ram),但是未來嘗試將朝向Gen IV(lmxlm)尺寸, 以及可能為較大尺寸。此將增加數項令人關切的需求。第 (請先閱讀背面之注意事項再
齡—PI 、-口 Ψ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)7 1228100 A7 B7 五、發明説明 經濟部中央標準局!工消費合诈社印製 一為玻璃之重量。由Gen ΠΙ, 5提昇至Gen IV將使玻璃重 量增加50%將顯著地拌隨地需要使用機器手臂處理器以運 送玻璃到達以及通過處理操作台。除此,決定於玻璃密度 以及楊氏彈性模數之彈性彎曲隨著較大片尺寸而變為較嚴 重之問題,其影響負載,取出,以及間隔玻璃於工作匣中之 能力,該工作匣使用來運送玻璃於處理工作台之間。 因而需要提供顯示器裝置之玻璃組成份,其具有較低 密度以緩和較為大型片狀尺寸之問題,密度優先小於2,45 公克/立方公分以及液相線黏滯係數大於200,000泊。除此 ,玻璃熱膨脹係數在0-300°C需要界於28_35xUTVt:之間, 以及優先地界於28-33xlO~7/°C。除此,玻璃應變點大於 65(TC為有益的,以及玻璃能夠抵腐蚀劑之侵襲。 發明大要: 本發明在於發現密度小於2.45公克/立方公分之玻璃 以及液相線黏滯係數大於200,000泊,優先地大於400, 00泊 ,更優先地大於600,00泊,以及最為優先地大於800,00泊。 除此,本發明玻璃在0-30(TC範圍内呈現出熱膨脹係數界於 28-35xUT7/°C,以及優先地界於28-33x10—VQC,以及應變 點高於65(TC。本發明玻璃熔融溫度小於1700°C。除此,在 浸溃於30°C之1單位50%重量比HF及10單位40%重量比NH4F 溶液中歷時5分鐘後玻璃重量損失小於〇. 5毫克/平方公分。 本發明玻璃組成份以氧化物莫耳百分比表示包含:65-75% Si02, 7-13 Al2〇3,5-15 B2〇3? 0-3 MgO, 5-15 CaG ,0-5 SrO,以及實質上不含BaO 〇更優先地本發明玻璃組成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺廑域用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 9 1228100 A7 6 五、發明説明(孓) 經濟部中央摞準局負工消費合作社印製 份以氧化物莫耳百分比表示包含87_73% Si〇2, Al2〇3,8-12%B2〇3,5-li%CaO,0-5%SrO。 我們發現對於具有先前所說明物理特性以及組成份之 玻璃,其液相線黏滯係數強烈地受到鹼土金屬氧化物R〇(R= Mg,Ca,Sr)和與釁土之莫耳比值4R〇/Al2〇3=(Mg〇+Ca(HSr〇) 影響。該比值表示為肋川私,以及應該保持在〇· 9 至1· 2範圍内。最為優先地,該比值應該在92<r〇/ai2〇3< 0· 96以得到最高之液相線黏滯係數。 本發明玻璃主要不含BaO,其係指玻璃優先地含有小於 〇· 1莫耳% BaO。本發明玻璃亦不含鹼金屬氧化物,其係指 玻璃優先地包含總量小於〇· 1%莫耳比鹼金屬氧化物。除此 ,這些玻璃可包含澄清劑(例如為碎,銻,錫氧化物,及/或鹵 化物,氣/氟化物)◊ 本發明另外一項為玻璃熔融溫度小於17〇〇。(:。本發明 玻璃在浸潰於30°C之1單位50%重量比HF及10單位40%重量 比NHJ溶液中歷時5分鐘後玻璃重量損失小於0· 5毫克/平 方公分。玻璃有用地使用作為平板顯示器之基板。由本發 明玻璃所製造岀基板平均表面粗糙度以原子力顯微鏡量測 為小於0· 5nai以及由光學遲滯器量測平均内部應力小於 psi 〇 詳細說明: 本發明主要關於改善玻璃以使用作為平板顯示器基板 。特別是,玻璃符合該基板所需要之各種特性。 本發明玻璃呈現出密度小於2· 45公克/立方公分,優先 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(21 〇 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ— 1228100 A7 _____________________ B7 j五.、發明説明(匕) 地小於2·40公克/立方公分,在0-300°C溫度範圍内熱膨脹 係數界於28-35xHT7/°C,優先地界於28-33x10 7/°C,及應 變點高於650°C,優先地大於66〇t>較高應變點可協助防止 平板在往後熱處理過程中由於壓縮/收縮產生之變形。 對於說明於Dockey之美國第338696及3682609號專利 較為需要之製造條件例如為融合處理過程,其需要較高液 相線黏滯係數。因而在本發明優先實施例中,玻璃應該呈 現出密度小於2· 45公克/立方公分及液相線黏滯係數大於 200, 00泊,優先地大於400, 〇〇〇泊,更優先地大於6〇〇, 〇〇〇泊 ,最為優先地大於800, 000泊。雖然由本發明玻璃製造出基 板能夠使用其他製造處理過程例如為浮式處理法製造,基 於數項理由熔融處理過程為優先的。首先,由融合處理過 程製造出玻璃基板並不需要拋光。目前玻璃基板樾光所黎 造出玻璃基板之平均表面粗糙度大於〇· 5nm(Ra),其以原子 力顯微鏡量測^本發明及使用融合處理過程製造出玻璃基 板以原子力顯微鏡量測之平均表面粗糙度小於q· 5咖。 化學耐久性包含抵抗使用於製造處理過程中所使用各 種腐蝕溶液之侵襲。特別優點在於抵抗乾燥腐蝕條件之侵 蝕,其使用來蝕刻矽層。乾燥蝕刻條件一項指標為暴露於 腐蝕溶液已知為110BHF。該測試包含浸潰玻璃試樣在3(Γ(: 下1體積單位50%重量比HF以及1 〇體積單位4〇%重量比腿^ 溶液中歷時5分鐘。化學抵抗性以毫克/平方公分單位進行 量測重量損失。該特性在表I中列為"11〇 。 本發明玻璃包含65-75%莫耳比,優先地67,73%莫耳比 了了---------〜一 ____-____________ I紙張尺趙财麵1C辟(CNShUm^ ( 210x197^ IC> (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ 訂 ρ 1228100 A7 B7 中i 央丨 標ί 率丨 局! 發明説明(
Si〇2作為主要玻璃形成劑。提高矽石將改善液相線黏滯性 以及減小玻璃熱膨脹係數以及密度,但是過多矽石有害於 熔融溫度。玻璃亦包含7-13%莫耳比,優先地8-11· 5%莫耳 比A1A。增加A1也含量將提高玻璃耐久性以及降低熱膨 脹係數,但是液相線溫度將提高。至少需要跳莫耳比以得 到最需要之應變點;不過大於11·热莫耳比將產生小於所需 要之液相線溫度。 玻璃更進一步包含5-15%莫耳比,優先為8-12%莫耳比 硼氧化物。硼氧化物降低液相線溫度以及密度以及優先地 存在至少8%莫耳比;不過大於12%莫耳比硼氧化物對玻璃應 變點產生負面影響。 存在於本發明玻璃中MgO含量在0-3%莫耳比,優先地為 0-1%莫耳比,Mg〇提高將降低液相線黏滯性,以及因而玻璃 中存在不超過掷莫耳比MgO。不過較小數量MgO有益於使密 度減小。
CaO有益於降低μ玻璃熔融以及液相線溫度;不過大於 11%莫耳比將導致小於所需要之應變點以及高於所需要之 熱膨脹係數。因而,本發明玻璃能夠包含5_15%莫耳比Ca〇, 但是優先地包含5· 5-11%莫耳比CaO。 RO/Al2〇3比值在〇· 94. 2範園内。在該範圍内可發現 液相線溫度局部最小值,其相當於Ca0-Al203-Si02主要系 統之熔融最低值。該系列玻璃之黏滯性曲線並不會顯著地 變化,因而這些液相線溫度變化主要為提高液相線黏滞性 之原因。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂— II— 1 · !- 印 釐) 本紙張尺魏财酬家標 1228100 A7 B7 9 丨五、發明説明( 工 消 印 由於對薄膜半導體(TFT)特性產生負面影響,鹼金屬例 如為氧化鋰,蘇打或鹼水被排除於本發明組成份中。同樣 地,驗土金屬(SrO以及BaO)释為最小或加以排除,因為本發 明可包含0-5%莫耳比SrO。不過,本發明實質上不含Ba〇。 在此所謂不含B0係指組成份包含小於〇· 1%莫耳比之此〇。 亦能夠存在澄清劑例如為As203, Sb^,Ce02, Sn02, C1 ,F,S〇2等以辅助去除玻璃中雜質。玻璃亦可包含商業化配 製玻璃中所發現之雜質。除此,能夠加入下列氧化物之含 量不超過1%莫耳比而不會超出先前所說明Ti〇2, ZnO, Zr203 ,Y2〇3,L%03特性之範圍。表I列出一些以莫耳百分比表示 本發明玻璃範例,其以莫耳百分比表示◊在表I中比較範例 玻璃為本公司之1737玻璃。 本發明更進一步以下列範例列舉出,其為列舉性質以 及並不作為限制本發明申請專利範圍◊表1揭示出以玻璃 原料氧化物莫耳百分比表示之範例性玻璃組成份。這些試 樣玻璃藉由在白金坩堝_熔融每一玻璃組成份1000-2500 公克原料配製出,其熔融溫度以及時間例如為在1從5。(:歷 時4-16小時將產生相當均勻之玻璃組成份。其中亦揭示出 每一組成份之玻璃特性,其依據傳統玻璃技術揭示出。因 而在0-30(TC範圍之線性熱膨脹係數以xltTVt:表示,軟化 點(Soft, Pt·),退火點(Ann· Pt·),及應變點(Str· Pt.) 以。C表示。這些由光纖拉伸技術測定出(分別地為ASTM E228-85,以及C336文獻)。密度(Den)以公克/立方公分表 示由Archimedes method (ASTM C693)表示。 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) M規格(210X 297公釐) (i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ. 訂 101228100 A7 B7 J:L· 發明説明 1 中 工 消 藉由對高溫黏滯性數據使用公式標定而計算 出黏滯性係數為200泊之溫度(熔融溫度。c)(定義玻璃熔融 呈現出黏滯性為200泊[20Pa.s]之溫度),該黏滯性藉由旋 轉圓筒黏滯儀ASTM C965-81量測出。液相線溫度使用標準 液相線方法量測出。此包含放置壓碎玻璃顆粒於白金挑料 環t,放置挑料環於具有溫度梯度區域之高溫爐中,在適當 溫度區域t對挑料環加熱歷時24小時,以及藉由顯微鏡檢 視以測定出玻璃内部區域中呈現出晶體之最高溫度。液相 線黏滯係數(Liq· Vise,以泊表示)由該溫度以及Fulcher 公式之係數決定出。 表I列出一些以氧化莫耳百分比表示之玻璃組成份,及 顯示出本發明組成份參數。各個組成份總和非常接近1〇〇, 實際上所列出數值可代表莫耳百分比。實際原料組成份可 由任何材料材料所構成,其包含氧化物或其他化合物,當與 其他原料組成份熔融在一起時將轉化為所需要適當比例之 氧化物。例如SrC03,以及CaC03能夠分別地作為SrO與CaO 之來源。 範例14及19所顯示特性及组成份之玻璃目前視為代表 本發明之最佳模式,其產生本發明用途之最佳組合特性。 雖然本發明已對列舉目的詳細加以說明,人們了解該 詳細說明只作為該用途以及熟知此技術者能夠作出許多變 化但是並不會脫離下列申請專利範圍所界定出之本發明精 神與範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) M. 訂 ¥ 尽紙張尺度適用中國國家標準(^ )八4規格(210父297公犛) 1228100 A7 Η 7 ίΌ) jolu) pojlp:s i :::: i | I j j ::.1 -j LO ;;-J Γ'-· CQ o' 卜- G) c·:) — ί _」 ο 1 ί ——ι ο —— • 一 ·..! C'J ο 1 1 1 CO C; 〇 寸 Λ'— CO ίο S 卜 (O CO c\i (〇 CD 〇 CN 卜~ CN1 〇:> CD 卜 CN 〇 o x-一 LO ο LLJ 卜 卜 ^r CO CO CD 1 1 1 ' _ } j | ,,! ^ | ::.:1 1 l.〇 ◦ r·) C'O 〇 ,?\丨 Ο ο (Ώ Ο) ο LO CO cxi CO 卜 CO (^) CM 卜 CO O') CO- o LO T— ^— ϋ〇 ο + LU 〇 00 LO un CO CO :;Γ) • ;' \ 卜1 卜、 σ; i.〇 o σ) CXi 〇 Ο 04 ◦ Ο ί-Ο σ) ο CM 另 LO LO CO CN CD CO i£) CD CM 卜 X— o X— l-O T: o LO CO ^— in ο + LU LO CD LO 〇 00 CD T— (一、 〇 CT, CO 〇 LO Ο 〇 04 〇 ο σ) ο LO Ο CO 卜 CO CNi T~ 卜 CD CO pj ^— 〇 〇 T— 寸 o o in t— x— m 〇 + LU CD CD CO CO CD CD T— ,一‘! 二 1 a:! CO |〇 ί ί m 。) GO o i-o OD CO :〇 CO 〇 ! CO ο 〇 CO 〇 CO CO CO 〇) 卜 CO 寸 CO 卜 LO CD CO ID CO \— o LO CNJ — λ—* LO 〇 + UJ 〇 CO CO CO LO CD Λ—' ::。 , , (.〇 L ο LO σ) CO 〇 uo CO CD 〇 CO 〇 m 〇 ο CN ο CO ο ο CD 't~ CO s CO C\j CO 卜 CD CnJ 卜 s CD m d 〇 CN X— •\— LO 〇 + UJ 寸 CO CD s CD t |3 ! C'.! 〇 i卜 cn CO o 卜 CN CN CO 〇 Γ\! Ο ο ο CO ο 〇 CN x— C〇 寸 o 寸 cxi 卜 CD λ— CO 卜 x— CO cn» 寸 〇 〇 CM t— r— LO 〇 + LU CD o 00 CD CD \— Γ― 1卜、 丨。:; 丨〇 i 丨⑺ ! 〇 卜、· CO o 卜 CN C、j ! CO ο ΙΟ ο σ OJ 〇 CO σ) ο 卜 c\i CO CO ;· CN Cs! CD 卜 CNJ 卜 s CD LO x— ό LO C^J T- t— m o 丰 山 s LO cn LO CD r— ! ..丨 i .-r 1 i 丨,〜'/ ί i G 9 丨G 1 卜、 | c:) ; in〕 」二」- 丨心 i :Ό !〇 ί ο* ω ◦ ΓΟ Ο ι>- OJ 广) 00 ο η :、·ί < 〇 2 o o X 〇 〇 〇 〇 CO & UJ 卜· o I 00 匚 *① iQ 〇 o ^ CO Ο ο C c < o 〇 "o (f) r\f 〇 'a) 旦 LL 工 ω ο o CL E ① 卜 σ' d ω & 、 o CL E ① H ω — —麵·(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) e i -5 V、 1228100
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Claims (1)
1228100 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 夂、申請專利範圍 9·依據申請專利範圍第1項之玻璃,其中玻璃構成平板顯 不斋之基板。 10·依據申請專利範圍第9項之玻璃,其中基板之平均表面 粗糙度小於〇· 5nm。 11·依據申請專利範圍第9項之玻璃,其中基板之平均内部 應力小於150psi。 12.依據申請專利範圍第丨項之玻璃,其中玻璃組成份以氧 化物莫耳百分比表示包含下列組成份:67-73% Si〇2,8-11.5% Ah〇3,8-12% B2〇3,0-1% MgO,5.5-11% CaO以及 0-5% SrO 〇 13·依據申請專利範圍第丨2項之玻璃,其中玻璃應變點大於 650〇C。 14.依據申請專利範圍第12項之玻璃,其中玻璃熱膨漲係數 在 28-33xlO_7/°C 之間。 15 ·依據申請專利範圍第14項之玻璃,其中玻璃應變點大於 660〇C。 16,依據申請專利範圍第14項之玻璃,其中玻璃熔融點溫度 小於 1700°C。 Π·依據申請專利範圍第14項之玻璃,其中玻璃液相線黏滯 係數大於400, 000泊。 18.依據申請專利範圍第14項之玻璃,其中玻璃液相線黏滯 係數大於800, 000泊。 19·依據申請專利範圍第13項之玻璃,其中玻璃構成平板顯 示器之基板。 衣紙張尺度適用中國國家橾準(CNS〉A4規格(21 O X 297公釐) ----------- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 、tr [228100 ABCD 申請專利範圍 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 20·依據申請專利範圍第19項之玻璃,其中基板之平均表面 粗糙度小於0. 5nm。 21. 依據申請專利範圍第a項之玻璃,其中基板之平均内部 應力小於150psi。 22. 依據申請專利範圍第μ項之玻璃,其中玻璃構成平板顯 示器之基板。 23. —種平板顯示器裝置之基板,其中基板由平坦透明玻璃 所構成,其呈現出密度小於小於2· 4公克/立方公分,在溫度 在0-300°C範圍内之線性熱膨脹係數界於28-33xl(T7/°C以 及具有液相線黏滯係數大於400, 〇〇〇泊,玻璃組成份以氧化 物莫耳百分比表示包含65-75%Si〇2, 7_13Α12〇3, 5-15% &〇3,0-3 MgO,5-15% CaO,0-5% SrO,以及不含BaO以及 R〇/Ah〇3比值為〇· 92-0. 96,其中R表示Mg,Ca,Sr,及Ba。 24·依據申請專利範圍第23項之基板,其中玻璃應變點大於 660〇C。 25·依據申請專利範圍第23項之基板,其中基板平均表面粗 糙度小於0. 5nm。 26.依據申請專利範圍第23項之基板,其中基板平均内部應 力小於150psi。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂----
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六、申請專利範圍 1· 一種呈現出密度小於2· 45公克/立方公分以及液相線黏 滯係數大於200, 000泊之鋁矽酸鹽玻璃,該玻璃以氧化物莫 耳百分比表示包含下列組成份:65—75% si〇2,7-13% Ah〇3, 5-15% ΒΛ,0-3% MgO,5-15% CaO,0-5% SrO,以及不含 BaO,其中 ⑻RO/Al2〇3比值在〇_92及〇,96之間,其中R表示Mg,Ca,Sm 及Ba;以及 (b)在0-300°C溫度範圍内玻璃線性熱膨張係數在28-33χ1(Τ7/ °C之間。 2.依據申请專利範圍第1項之玻璃,其中玻璃應變點大於 65(TC。 3·依據申請專利範圍第丨項之玻璃,其中玻璃應變點大於 660。(:。 4·依據申請專利範圍第1項之玻璃,其中玻璃熔融點溫度小 於 170(TC。 5.依據申請專利範圍第1項之玻璃,其中玻璃在浸潰於3〇〇c 1單位40%重量比HF以及10單位40%重量比NHF4溶液中歷時5 分鐘後呈現出重量損失為小於〇. 5毫克/立方公分。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 6·依據申請專利範圍第1項之玻璃,其中玻璃液相線黏滯係 數大於400, 000泊。 7·依據申請專利範圍第丨項之玻璃,其中玻璃液相線黏滯係 數大於600, 000泊。 8.依據申請專利範圍第1項之玻璃,其中當玻璃不含Sr〇時 玻璃含有0-1莫耳百分比Mg〇。
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