TWI226290B - Head cap, droplet ejection apparatus, manufactures of LCD device, organic EL device, electron emission device, PDP device, electrophoretic display device, color filter, and organic EL, methods of forming spacer, wiring, lens, resist, and light diffusion - Google Patents

Description

1226290 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關密著於機能液滴噴頭（例如，噴墨印表 機的噴墨頭），而來保全機能液滴噴頭的噴出噴嘴之噴頭 蓋’及具備此噴頭蓋的液滴噴出裝置，以及液晶顯示裝置 的製造方法’有機EL裝置的製造方法，電子放出裝置的 製is方法’ PDP裝置的製造方法，電泳顯示裝置的製造方 法’彩色濾光片的製造方法，有機EL的製造方法，間隔 件形成方法，金屬配線形成方法，透鏡形成方法，光阻劑 形成方法及光擴散體形成方法。 【先前技術】 就噴墨印表機等的液滴噴出裝置而言，當運轉停止時 ，會有可能因暴露於空氣而增粘後的機能液導致機能液滴 噴頭的噴出噴嘴阻塞。因此，會在液滴噴出裝置中倂設一 蓋單元，密封機能液滴噴頭的噴嘴面，且由噴出噴嘴來吸 引増粘後的機能液，予以去除。蓋單元具備：密著於機能 液滴噴頭的噴嘴面而予以密封的噴頭蓋，及使噴頭蓋離接 至機能液滴噴頭的昇降機構，及經由噴頭蓋來從噴出噴嘴 吸引機能液的吸引泵。 例如，在長時間停止運轉時’可將噴頭蓋按壓於機能 液滴噴頭，來防止機能液乾燥，亦即進行所謂的罩蓋處理 ，在運轉開始時，可於此狀態下驅動吸引泵來吸引機能液 ，亦即進行所謂的淸潔處理。並且，可事先使噴頭蓋稍微 -6- (2) 1226290 離開機能液滴噴頭，由機能液滴噴頭的全體噴 能液，亦即進行所謂的淸除處理（空噴出）。 使用於如此之機能液滴噴頭的噴頭蓋具備 凹溝的蓋座，及充塡於凹溝的機能液吸收材， 面的密封墊。並且，在噴頭蓋中裝入有吸收材 壓含機能液而膨脹的機能液吸收材。 又，以往的吸收材按壓件是使一體形成於 數個按壓突起的前端藉由熱來溶化而形成形成 使複數處貫通機能液吸收材的按壓突起加熱加 使機能液吸收材能夠按壓於複數處（例如，參P专 622 02號公報及特開200 1 -3 22296號公報） 就如此構成的以往噴頭蓋而言，由於蓋本 起是以樹脂來一體形成，因此在更換機能液吸 須更換噴頭蓋全體。另一方面，在液滴噴出裝 術中，因所使用的機能液，必須以耐蝕性材料 蓋。此情況，爲了機能液吸收材，而拋棄全體 造成無謂的資源浪費。 【發明內容】 本發明的課題是在於提供一種能夠在不損 等的原本機能下簡單地更換機能液吸收材之噴 該噴頭蓋的液滴噴出裝置、及液晶顯示裝置的 有機EL裝置的製造方法、電子放出裝置的 PDP裝置的製造方法、電泳顯示裝置的製造方 頭來噴出機 :表面形成 及密封噴嘴 按壓件，按 蓋本體的複 。亦即，在 壓變形下， 特開2000- 體與按壓突 收材時，必 置的應用技 來構成噴頭 噴頭蓋，將 及密封動作 頭蓋及具備 製造方法、 製造方法、 法、彩色濾 (3) 1226290 光片的製造方法、有機EL的製造方法、間隔件形成方法 、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及 光擴散體形成方法。 本發明之噴頭蓋的特徵是具備： 蓋座； 吸收材收容部，其係形成於上述蓋座的表面； 機能液吸收材，其係配置於上述吸收材收容部内； 吸收材按壓件，其係按壓上述機能液吸收材； 密封構件，其係形成能夠和機能液滴噴頭的噴嘴面密 著；及 密封固定構件，其係將上述密封構件固定於上述蓋座 上述密封構件係於按壓上述吸收材按壓件的狀態下固 定於上述蓋座。 若利用此構成，則因爲可使用吸收材按壓件來按壓充 塡於噴頭蓋的吸收材收容部内的機能液吸收材，而使該吸 收材按壓件能夠按壓密封構件，因此只要由蓋座來脫離密 封固定構件，便可個別地分解各構件，且可依次組裝。藉 此，即使機能液吸收材或其他的噴頭蓋構件發生劣化或破 損，只要由蓋座來脫離密封固定構件，便可個別且容易地 更換必要的構件。又，若使噴頭蓋密著於機能液滴噴頭， 則密封構件會強力地按壓吸收材按壓件，機能液吸收材會 適當地被按壓，這將能夠確實地防止接觸於機能液滴噴頭 的噴嘴面。 -8- 1226290 (4) 此情況，吸收材收容部最好是由：充塡有機能液吸收 材的凹溝，及區劃上述凹溝且從蓋座突出的環狀周緣部戶斤 構成，上述吸收材按壓件的周緣部最好是著座於環狀周緣 部。 若利用此構成，則可藉由蓋座的環狀周緣部與密封構 件，以能夠夾入吸收材按壓件的周緣部之方式來安定地按 壓。因此，被按壓於密封構件的吸收材按壓件可防止密封 構件的内周緣部倒入吸收材收容部。並且，在進行使噴頭 蓋密著於噴嘴面的吸引動作時，可抑止因密封構件的傾斜 而產生洩漏。 此情況，吸收材按壓件最好是形成薄壁，具有：按壓 機能液吸收材的周緣部之框狀部，及按壓中間部之棧板狀 部。 若利用構成，則可藉由吸收材按壓件的棧板狀部來按 壓機能液吸收材的中央部，藉此即使機能液吸收材膨脹， 還是能夠予以按壓成平坦狀。又，若將吸收材按壓件形成 較薄，則即使令噴頭蓋接著於機能液滴噴頭的噴嘴面，吸 收材按壓件照樣不會與噴嘴面接觸。又，亦可將按壓機能 液吸收材的中央部的棧板狀部的寬度形成較窄，而使能夠 防止機能液残留於棧板狀部上面。在此，吸收材按壓件的 厚度及棧板狀部的寬度最好是形成〇.3mm程度。又，吸 收材按壓件最好是以鋼絲鋸來加工，而非沖壓。 此情況，框狀部與棧板狀部最好是一體形成。 若利用此構成，則可一體地形成框狀部與棧板狀部， -9- 1226290 (5) 不必將框狀部固 。又，即使將框 是不會難以處理 此情況，吸 若利用此構 (耐蝕性佳），且 料時相較之下， 壓件，且可使各 此情況，密 突出部，及按壓 蓋座的環狀固定 側形成環狀按壓 若利用此構 環狀突出部的密 '液滴噴頭的噴嘴 ®定構件的下面 定密封構件，因 此情況，密 件的環狀固定部 〇 若利用此構 定構件固定於蓋 。又，只要拆掉 著於棧板狀部，可使全體的厚度形成一定 狀部及棧板狀部形成較薄且寬度較窄，還 ，照樣可容易裝著於噴頭蓋。 收材按壓件最好是由不銹鋼所形成。 成，則由於不銹鋼材料難以令機能液侵蝕 比其他金屬的強度高，因此與利用其他材 可藉由不銹鋼材料來形成較薄的吸收材按 部形成較窄的寬度。 封構件最好是具有：密著於噴嘴面的環狀 吸收材按壓件的環狀按壓部，以及固定於 部，而形成一體，且於環狀突出部的背面 部。 成，則經環狀按壓部由蓋座來承受施加於 著力（壓力），因此可使噴頭蓋密著於機能 面時的密著性提高，且可藉由蓋座與密封 部來挟持環狀固定部，而使能夠安定地固 此亦可提升蓋座與密封構件之間的密著性 封固定構件最好是形成環狀，在將密封構 按壓於蓋座的狀態下，以螺絲固定於蓋座 成，則可使用螺絲來強而有力地將密封固 座，可提升密封構件與蓋座之間的密著性 螺絲便可容易地將噴頭蓋分解成各個的構 -10- 1226290 (6) 件，因此當機能液吸收材及其他構件發生劣化或破損時， 可容易個別地更換所需更換的構件。 此情況，最好更具備： 蓋夾具，其係使蓋座自由滑動保持於密著方向；及 彈簧，其係承受蓋夾具，而使蓋座彈壓於密著方向； 在蓋夾具形成有規制突部，其係反抗彈簧，而使蓋座 於稍微傾斜的狀態下進行位置規制。 若利用此構成，則蓋座會藉彈簧而被彈壓，因此在將 噴頭蓋按壓於機能液滴噴頭時，密封構件會密著於噴嘴面 。藉此，可確實地密封機能液滴噴頭的噴嘴面。又，由於 蓋座是在傾的狀態下被位置規制而安裝於蓋夾具，因此在 從機能液滴噴頭來脫離噴頭蓋時，對噴嘴面而言，密封構 件會由一側脫離。因此，可防止噴頭蓋内的機能液飛散。 本發明之液滴噴出裝置的特徵係具備： 上述噴頭蓋； 機能液滴噴頭； 離接機構，其係使噴頭蓋對機能液滴噴頭相對地離接 j 吸引機構，其係連接至噴頭蓋，經由密著的噴頭蓋來 從機能液滴噴頭吸引機能液。 若利用此構成，則可使噴頭蓋密著於機能液滴噴頭， 藉此可抑止機能液滴噴頭的噴嘴前端的機能液氣化，防止 噴嘴阻塞。又，可在使噴頭蓋密著於機能液滴噴頭的狀態 下使吸引機構驅動，而使能夠由機能液噴頭的噴嘴來吸引 -11 - 1226290 (7) 機能液，可解除噴嘴的阻塞及對機能液滴噴頭初期性充塡 機能液。另一方面，可在使噴頭蓋離開機能液滴噴頭的狀 態下，由機能液滴噴頭來噴出（淸除）機能液滴，藉此來使 噴嘴維持良好的狀態。因此，可適當地維護機能液滴噴頭 。並且，噴頭蓋本體不會損及其機能，可達成省資源化。 本發明之液晶顯示裝置的製造方法，係利用上述液滴 噴出裝置，在彩色濾光片的基板上形成多數個濾光片元件 之液晶顯示裝置的製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的濾光片材料，經由噴頭單 元來使機能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴 出濾光片材料，而形成多數個濾光片元件。 本發明之有機EL裝置的製造方法，係利用上述液滴 噴出裝置，在基板上的多數個畫素分別形成EL發光層之 有機EL裝置的製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的發光材料，經由噴頭單元 來使機能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴出 發光材料，而形成多數的EL發光層。 本發明之電子放出裝置的製造方法，係利用上述液滴 噴出裝置，在電極上形成多數個螢光體之電子放出裝置的 製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的螢光材料，經由噴頭單元 來使機能液滴噴頭相對地對電極進行掃描，選擇性地噴出 螢光材料，而形成多數個螢光體。 係利用上述液滴噴 本發明之PDP裝置的製造方法， -12- 1226290 (8) 出裝置，在㈢面基板上的多數個凹部份別形成螢光體之 PDP裝置的製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的螢光材料，經由噴頭單元 來使機能液滴噴頭相對地對背面基板進行掃描，選擇性地 噴出螢光材料，而形成多數個螢光體。 本發明之電泳顯不裝置的製造方法，係利用上述液滴 噴出裝置，在電極上的多數個凹部形成泳動體之電泳顯示 裝置的製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的泳動體材料，經由噴頭單 元來使機能液滴噴頭相對地對電極進行掃描，選擇性地噴 出泳動體材料，而形成多數個泳動體。 如此’可將上述液滴噴出裝置適用於液晶顯示裝置的 製造方法、有機EL(Electro-Luminescence)裝置的製造方 法、電子放出裝置的製造方法、PDP (Plasma Display Panel)裝置的製造方法及電泳顯示裝置的製造方法，藉此 而能利用完善的機能液滴噴頭來適當地進行基板處理，提 升品質。在此，電子放出裝置是包含所謂的FED (Field E m i s s i ο n D i s p 1 a y)或 SED (Surface-Conduction Electron-Emitter Display)裝置。 本發明之彩色濾光片的製造方法，係利用上述液滴噴 出裝置，在基板上配列多數個濾光片元件而製成彩色濾光 片之彩色濾光片的製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的濾光片材料，經由噴頭單 元來使機能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴 -13- 1226290 (9) 出濾光片材料，而形成多數個濾光片元件。 此情況，最好形成有覆蓋多數個濾光片元件的外護層 膜，在形成濾光片元件之後，在機能液滴噴頭導入透光性 的塗層材料，經由噴頭單元來使機能液滴噴頭相對地對基 板進行掃描，選擇性地噴出塗層材料，而形成外護層膜。 本發明之有機EL的製造方法，係利用上述液滴噴出 裝置，在基板上配列含EL發光層的多數個畫素而成之有 機EL的製造方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入各色的發光材料，經由噴頭單元 來使機能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴出 發光材料，而形成多數的EL發光層。 此情況，最好在多數個的EL發光層與基板之間，對 應於EL發光層而形成有多數個畫素電極，在機能液滴噴 頭導入液狀電極材料，經由噴頭單元來使機能液滴噴頭相 對地對基板進行掃描，選擇性地噴出液狀電極材料，而形 成多數個畫素電極。 此情況，最好是以能夠覆蓋多數個的EL發光層之方 式來形成對向電極，在形成EL發光層之後，在機能液滴 噴頭導入液狀電極材料，經由噴頭單元來使機能液滴噴頭 相對地對基板進行掃描，選擇性地噴出液狀電極材料，而 形成對向電極。 本發明之間隔件形成方法，係上述液滴噴出裝置，在 2片的基板間形成應構成微小的單元間隙的多數個粒子狀 的間隔件之間隔件形成方法，其特徵爲： -14- 1226290 (10) 在機能液滴噴頭導入構成間隔件的粒子材料，經由噴 頭單元來使機能液滴噴頭相對地對至少一方的基板進行掃 描，選擇性地噴出粒子材料，而於基板上形成間隔件。 本發明之金屬配線形成方法，係利用上述液滴噴出裝 置，在基板上形成金屬配線之金屬配線形成方法，其特徵 爲： 在機能液滴噴頭導入液狀金屬材料，經由噴頭單元來 使機能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴出液 狀金屬材料，而形成金屬配線。 本發明之透鏡形成方法，係利用上述液滴噴出裝置， 在基板上形成多數個微透鏡之透鏡形成方法，其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入透鏡材料，經由噴頭單元來使機 能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴出透鏡材 料，而形成多數個微透鏡。 本發明之光阻劑形成方法，係利用上述液滴噴出裝置 ，在基板上形成任意形狀的光阻劑之光阻劑形成方法，其 特徵爲： 在機能液滴噴頭導入光阻劑材料，經由噴頭單元來使 機能液滴噴頭相對地對基板進行掃描，選擇性地噴出光阻 劑材料，而形成光阻劑。 本發明之光擴散體形成方法，係利用上述液滴噴出裝 β，在基板上形成多數個光擴散體之光擴散體形成方法， 其特徵爲： 在機能液滴噴頭導入光擴散材料，經由噴頭單元來使 -15· 1226290 (11) 機能液滴噴頭相對性地對基板進行掃描，選擇性地噴出光 擴散材料，而形成多數個光擴散體。 如此，可將上述液滴噴出裝置適用於彩色濾光片的製 造方法、有機EL的製造方法、間隔件形成方法、金屬配 線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體 形成方法’錯此於各製造方法中謀求品質的提升。 【實施方式】 以下，參照圖面來說明本發明之一實施形態。本實施 形態是在所謂平板顯示器的一種類，亦即有機E L裝置的 製造線中裝入本發明的液滴噴出裝置者，在複數個機能液 滴噴頭中導入發光材料等的機能液，而來形成構成有機 EL裝置的發光元件之各畫素的電洞注入/輸送層及R.G • B的各色發光層。 在此，首先簡單說明有機EL裝置的構造及其製造方 法，其次說明由製造線中所被裝入的液滴噴出裝置及其周 邊設備所構成的有機EL裝置的製造裝置。 圖1是表示本發明之平板顯示器的一種類，亦即有機 EL裝置的顯示區域（以下，簡稱爲顯示裝置600)的要部剖 面圖。 該顯示裝置600是在基板（W)601上層疊電路元件部 602、發光元件部603及陰極604的狀態下槪略構成。 在此顯示裝置600中，由發光元件部603發射至基板 601側的光會透過電路元件部602及基板601而射出至觀 1226290 (12) 測者側’且自發光元件部6 0 3發射至基板6 0 1的相反側的 光會藉由陰極604而被反射後，透過電路元件部6〇2及基 板601而射出至觀測者側。 在電路元件部6 0 2與基板6 0 1之間形成有由氧化矽膜 所構成的下層保護膜606，在此下層保護膜606上（發光 元件部603側）形成有由多晶矽所構成的島狀半導體膜 607。在此半導體膜607的左右區域中，源極區域607a及 汲極區域60 7b會藉由植入高濃度陽離子而分別形成。又 ，未植入陽離子的中央部會形成通道區域607c。 又，於電路元件部602中形成有覆蓋下層保護膜606 及半導體膜607的透明閘極絕緣膜608，且在對應於此閘 極絕緣膜608上的半導體膜607的通道區域607c的位置 形成有聞極電極6 0 9 (例如由 A1、Μ 〇、T a · T i W等所構 成）。在此閘極電極609及閘極絕緣膜60 8上形成有透明 的第1層間絕緣膜6 1 1 a與第2層間絕緣膜6 1 1 b。又，形 成有貫通第1、第2層間絕緣膜6 1 1 a、6 1 1 b，而分別連通 至半導體膜607的源極區域607a、汲極區域607b的接觸 孑 L612a，612b° 又，於第2層間絕緣膜61 lb上，由ITO等所構成的 透明畫素電極613會形成預定的形狀，該畫素電極613會 經由接觸孔6 1 2 a來連接至源極區域6 0 7 a。 又，於第1層間絕緣膜6 1 1 a上配設有電源線6 1 4 ’ 此電源線6 1 4會經由接觸孔6 1 2 b而連接至汲極區域6 0 7 b -17- 1226290 (13) 如此，在電路元件部6 0 2分別形成有連接至各畫素電 極6 1 3的驅動用薄膜電晶體6 1 5。 上述發光元件部603是由：分別層疊於複數個畫素電 極6 1 3上的機能層6 1 7、及具備於各畫素電極6 1 3及機能 層6 1 7之間用以區劃各機能層6 1 7的區隔部6 1 8等所槪略 構成。 藉由該等畫素電極6 1 3、機能層6 1 7、及配設於機能 層617上的陰極604來構成發光元件。又，畫素電極613 會被形成平面視略矩形狀，在各畫素電極6 1 3之間形成有 區隔部6 1 8。 區隔部618是由：無機物區隔層61 8a(第1區隔層）、 及有機物區隔層61 8b(第2區隔層）等構成。該無機物區隔 層618a是例如由SiO、Si02、Ti02等的無機材料所形成 。該有機物區隔層618b是層疊於該無機物區隔層618a上 ，由丙烯樹脂、聚醯亞胺樹脂等耐熱性、耐溶媒性佳的光 阻劑所形成的剖面台形狀者。此區隔部6 1 8的一部份會搭 在畫素電極613的周緣部上。 又，於各區隔部6 1 8之間形成有對畫素電極6 1 3而言 朝上方擴開的開口部6 1 9。 上述機能層6 1 7是由：在開口部6 1 9内以層疊狀態形 成於畫素電極613上的電洞注入/輸送層617a、及形成於 該電洞注入/輸送層617a上的發光層617b等所構成。又 ，亦可鄰接於該發光層617b來形成具有其他機能的其他 機能層。例如，亦可形成電子輸送層。 -18- (14) 1226290 電洞注入/輸送層617a具有：由畫素電極613側來輸 送電洞而注入發光層617b的機能。此電洞注入/輸送層 6 17a是藉由噴出含電洞注入/輸送層形成材料的第1組成 物（機能液）來形成。就電洞注入/輸送層形成材料而言，例 如，可利用聚乙烯二氧噻吩等的聚噻吩衍生物與聚苯乙烯 磺酸等的混合物。 發光層617b是使發光成紅色（R)、綠色（G)、或藍色 (B)者，藉由噴出含發光層形成材料（發光材料）的第2組 成物（機能液）來形成。又，就第2組成物的溶媒（非極性 溶媒）而言，最好是不溶於電洞注入/輸送層617a者，例 如，環己基苯，二氫苯並呋喃，三甲基苯，四甲基苯等。 將如此的非極性溶媒利用於發光層6 1 7b的第2組成物， 而使不會再溶解電洞注入/輸送層617a之下來形成發光層 6 1 7b ° 又，於發光層617b中，自電洞注入/輸送層617a注 入的電洞與自陰極604注入的電子會在發光層再結合而使 能夠發光。 陰極604會在覆蓋發光元件部603全面的狀態下形成 ，而與畫素電極6 1 3成對來發揮使電流流動於機能層6 1 7 的功用。並且，在此陰極604的上部配置有未圖示的密封 構件。 其次，參照圖2〜圖1〇來説明上述顯示裝置600的 製造過程。 此顯示裝置600，如圖2所示，經由區隔部形成過程 •19- 1226290 (15) (S21)、表面處理過程（S22)、電洞注入/輸送層形成過程 (S23)、發光層形成過程（S24)、及對向電極形成過程（S25) 來製造。又，製造過程並非只限於例示者，亦可因應所需 ，排除或追加其他過程。 首先，在區隔部形成過程（S 2 1 )中，如圖3所示，在 第2層間絕緣膜6 1 1 b上形成無機物區隔層6丨8 a。此無機 物區隔層618a是在形成位置形成無機物膜之後，藉由光 蝕刻微影技術等來使該無機物膜形成圖案。此刻，無機物 區隔層6 1 8 a的一部份會以能夠與畫素電極6丨3的周緣部 重疊之方式來形成。 若形成無機物區隔層6 1 8 a，則如圖4所示，會在無 機物區隔層618a上形成有機物區隔層618b。此有機物區 隔層6 1 8 b亦與無機物區隔層6 1 8 a同樣的，會藉由光蝕刻 微影技術等來形成圖案。 如此一來，區隔部6 1 8會被形成。並且，會在各區隔 部6 1 8間形成開口部6 1 9 (對畫素電極6 1 3而言開口於上 方）。此開口部6 1 9是在於規定畫素區域。 在表面處理過程（S 22)中，會進行親液化處理及撥液 化處理。實施親液化處理的區域爲無機物區隔層6 1 8 a的 第1層疊部618aa及畫素電極613的電極面613a，該等 區域是例如藉由以氧氣爲處理氣體的電漿處理來進行親液 性表面處理。此電漿處理亦兼具畫素電極6 1 3之ITO的洗 浄等。 又，撥液化處理是在有機物區隔層618b的壁面6185 -20- (16) 1226290 及有機物區隔層618b的上面618t實施，例如藉由以4氟 化甲烷爲處理氣體的電漿處理來進行表面氟化處理（撥液 性處理）。 藉此表面處理過程的進行，在利用後述的機能液滴噴 頭5 1來形成機能層6 1 7時，可使機能液滴更能確實地噴 著於畫素區域，且可防止噴著於畫素區域的機能液滴從開 口部6 1 9溢出。 又，經過以上的過程，可取得顯示裝置基體600 A。 此顯示裝置基體600A會被載置於圖12所示之液滴噴出 裝置1的X軸台82，進彳了以下的電洞注入/輸送層形成過 程（S23)及發光層形成過程（S24)。 如圖5所示，在電洞注入/輸送層形成過程（S23)中， 由機能液滴噴頭5 1來將含電洞注入/輸送層形成材料的第 1組成物噴出至畫素區域的各開口部6 1 9内。然後，如圖 6所示，進行乾燥處理及熱處理，使第1組成物中所含的 極性溶媒蒸發，在畫素電極（電極面613 a)613上形成電洞 注入/輸送層617a。 其次，說明有關發光層形成過程（S2 4)。在此發光層 形成過程中，如上述，爲了防止電洞注入/輸送層617a的 再溶解，而使用對電洞注入 輸送層6 1 7a不溶的非極性 溶媒來作爲發光層形成時用的第2組成物的溶媒。 但，另一方面，由於電洞注入/輸送層6 1 7a對非極性 溶媒的親和性低，因此即使將包含非極性溶媒的第2組成 物噴出至電洞注入/輸送層617a上，還是會有無法使電洞 -21 - (17) 1226290 注入/輸送層617a與發光層617b密著，或者無法使發光 層617b均一地塗佈之虞。 在此，爲了提高對非極性溶媒及發光層形成材料之電 洞注入/輸送層6 1 7 a的表面親和性，最好是在發光層形成 前進行表面處理（表面改質處理）。此表面處理是在電洞注 入/輸送層6 1 7a上塗佈與發光層形成時用的第2組成物的 非極性溶媒同一溶媒或類似溶媒的表面改質材，且予以乾 燥。 在施以如此的處理下，電洞注入/輸送層617a的表面 會變得容易溶合於非極性溶媒，在之後的過程中，可使含 發光層形成材料的第2組成物均一地塗佈於電洞注入/輸 送層6 1 7a。 其次，如圖7所示，以包含對應於各色中的任一顏色 (就圖7的例子而言爲藍色（B))的發光層形成材料之第2 組成物作爲機能液滴來注入預定量至畫素區域（開口部 6 1 9)内。被注入畫素區域内的第2組成物會擴散於電洞注 入/輸送層6 1 7 a上，而充滿於開口部6 1 9内。又，即使萬 一第2組成物脫離畫素區域而噴著於區隔部6 1 8的上面 6l8t時，還是會因爲該上面618t被施以上述撥液處理， 所以第2組成物會容易滾入開口部6 1 9内。 然後，藉由乾燥過程等來乾燥處理噴出後的第2組成 物，使第2組成物中所含的非極性溶媒蒸發，如圖8所示 ，在電洞注入/輸送層617a上形成發光層617b。就該圖的 倩況而言，會形成對應於藍色（B)的發光層61 7b。 1226290 (18) 问樣的’利用機能液滴噴頭5 1，如圖9所示，依次 進行與上述對應於藍色（B )的發光層6 1 7 b時同樣的過程， 形成對應於其他顏色（對應於紅色（R)及綠色（G))的發光層 6 1 7 b。又，發光層6 1 7 b的形成順序並非只限於例示的順 序，無論是以哪一種順序來形成皆可。例如，亦可按照發 光層形成材料來決定形成的順序。此外，就R · G · B的 3色配列圖案而言，有條紋配列、馬賽克配列及三角形配 列等。 藉此，可於畫素電極613上形成機能層617，亦即電 洞注入/輸送層617a及發光層617b。然後，移行至對向電 極形成過程（S25)。 在對向電極形成過程（S25)中，如圖1〇所示，會在發 光層6 1 7 b及有機物區隔層6 1 8 b的全面，例如藉由蒸鍍法 、濺鍍法、CVD法等來形成陰極604(對向電極）。在本實 施形態中，此陰極6 0 4是例如層疊鈣層與鋁層而構成者。 並且，在此陰極6 0 4的上部會適當地設置作爲電極的 A1膜、A g膜，及供以防止氧化的s i 0 2、S i N等的保護層 〇 如此一來，在形成陰極6 0 4後，實施密封處理（藉由 密封構件來密封此陰極604的上部），配線處理及其他處 理等來取得顯不裝置600。 其次，說明有關有機EL裝置的製造裝置。在此有機 EL裝置的製造裝置中，有使用一液滴噴出裝置〗（圖 ，該液滴噴出裝置1是對應於進行液滴噴出法的過程，亦 -23- (19) 1226290 即發光兀件形成過程（電洞注入/輸送層形成過程及發光層 成過)與表面改質過程來一邊於機能液滴噴頭5 1噴出 液體機能材料，一邊進行掃描。 例如’進行電洞注入/輸送層形成過程的電洞注入層 形成δ又備（圖示省略）具備：搭載導入第1液滴（電洞注入 層材料）的機能液滴噴頭5 ；!之液滴噴出裝置丨，及乾燥裝 置3，基板搬送裝置2，以及收容該等裝置的處理室裝置 4並且，在處理室裝置4中設有供以在惰性氣體的環境 中進行電洞注入/輸送層形成過程之手段。 0 同樣的，進行表面改質過程的表面改質設備（圖示省 略）及形成發光層的發光層形成設備]Β亦分別具備：搭載 導入機能材料的機能液滴噴頭5 1之液滴噴出裝置丨、乾 燥裝置3、基板搬送裝置2、及收容該等裝置且具有供以 在丨胃性氣體的環境中進行發光層形成過程的手段之處理室 裝置4 °又，於發光層形成設備β中，液滴噴出裝置1、 車乙燥裝置3、基板搬送裝置2及處理室裝置4會依色別（r • G · Β)具備3組。 ® 在有機EL裝置的製造裝置中所被使用的各液滴噴出 裝置1除了各導入機能液滴噴頭5 1的液體機能材料有所 不同以外，其餘則具有同一構造。又，各乾燥裝置3、各 基板搬送裝置2及處理室裝置4亦分別具有同一構造。因 此’除了更換機能液滴噴頭5 1或液體機能材料的供給系 以外，可使用任意的1組設備（液滴噴出裝置1、乾燥裝 置3、基板搬送裝置2及處理室裝置4)來進行有機el裝 -24- 1226290 (20) 置的製造。在此，是以圖1 1的左端的1組設備爲例，亦 即形成B色發光層的液滴噴出裝置1、乾燥裝置3、基板 搬送裝置2及處理室裝置4爲例來針對各裝置構成之一連 串的流程進行説明。 首先，藉由圖外的裝置而經歷上述區隔部形成過程及 電漿處理過程的基板會從位於圖1 1左端的基板移載裝置 5來搬送至基板搬送裝置2。其次，基板會在基板搬送裝 置2改變方向及姿勢來搬送至液滴噴出裝置〗，設定於液 滴噴出裝置1。然後，在處理室裝置4内的惰性氣體的環 境中進行第2液滴噴出過程，液滴噴出裝置1會藉由其機 能液滴噴頭51來將B色的發光材料（液滴）噴出至基板的 多數個畫素區域（開口部619)。 塗佈有發光材料的基板會從液滴噴出裝置1來傳遞至 基板搬送裝置2，且導入乾燥裝置3。在乾燥裝置3中， 以預定時間來將基板暴露於高温的惰性氣體環境中，而使 發光材料中的溶劑氣化（第2乾燥過程）。然後，再度將基 板導入液滴噴出裝置1，進行第2液滴噴出過程。亦即， 重複數次第2夜滴噴出過程與第2乾燥過程，當發光層 6 17b形成所望的膜厚時，應形成R色發光層617b的基板 會利用基板搬送裝置2來予以搬送，若R色發光層617b 形成所望的膜厚，則會搬送應形成G色發光層6 1 7b者。 並且，供以形成R · G · B的各色發光層6 1 7b的作業順序 可爲任意。而且，雖於本實施形態中，爲了形成發光層 6 1 7 b，而重複進行第2液滴噴出過程與第2乾燥過程，但 -25- 1226290 (21) 該等過程亦可進行1次。 其次，以上述爲前提來說明有關構成本發明的主要部 份之機能液滴噴出裝置。圖12是表示機能液滴噴出裝置 的立體圖。圖1 3是表示機能液滴噴出裝置的正面圖。圖 1 4是表示機能液滴噴出裝置的側面圖。爲了形成電洞注 入/輸送層617a及發光層617b等，液滴噴出裝置1會在 设疋於液滴噴出裝置1的基板w的預定位置噴出包含電 洞注入層材料或發光層材料等的機能材料之機能液。 如圖12所不，液滴噴出裝置1是由：具有噴出機能 液的機能液滴噴頭5 1而供以噴出機能液的噴出裝置n， 及對噴出裝置11 一體添設的附帶裝置12所構成。 又，於附帶裝置1 2設有： 关寸噴出裝置1 1供給機能液，且回收不要的機能液之 機能液供給回收手段1 〇 2 ;及 供給Ϊ彳各構成零件進彳了驅動•控制用的壓縮空氣之空 氣供給手段1 0 3 ;及 供以對噴出裝置11(圖14)的機能液滴噴頭51進行維 修之維修手段101 ;及 控制噴出裝置1 1及附帶裝置1 2的各手段之控制手段 (未圖示）。 如圖12及圖13所示，噴出裝置11具有：將角鋼材 組合成方形而構成的架台2 1，及分散配置於架台2 1下部 的複數個（9個）附有調整螺栓的支持脚。並且，在架台21 的上部，藉由固定構件來固定有石定盤24。石定盤24是 -26- 1226290 (22) 供以使基板W及機能液滴噴頭5 1精度良好移動的X · γ 移動機構8 1 (後述）中不會因周圍的環境條件或振動等來影 響精度（特別是平面度）者，其係以平面長方形的中實石材 來構成。 如圖12及圖14所示，附帶裝置12會在共通機台31 中設置各手段，該共通機台31是由：藉由隔壁來形成大 小兩個的收容室3 3，3 4之箱形式的機台本體3 2，及設置 於機台本體32上的移動台35，及固定於移動台35上的 共通基座36，以及設置於遠離機台本體32上的移動台35 的端位置之槽基座37所構成。並且，在共通基座36設有 維修手段1 0 1，在槽基座3 7設有機能液供給回收手段1 〇2 的給液槽2 0 4，在機台本體3 2的較小收容室3 4設有空氣 供給手段1 〇 3的主要部，在較大的收容室3 3設有機能液 供給回收手段1 0 2的槽。 在機台本體3 2的下面設有附調整螺栓的6個支持脚 與4個腳輪，在噴出裝置η側設有供以與噴出裝置1 1的 架台2 1連結的一對連結托架3 8。藉此，噴出裝置1 1與 附帶裝置12(共通機台31)會被一體化，且可因應所需分 離附帶裝置1 2，而使能夠移動。 此外’雖圖示省略，但實際上設有用以辨識基板 w 位置的基板辨識攝影機，及進行噴出裝置η的噴頭單元 4 1(後述）的位置確認之噴頭辨識攝影機，以及各種指示器 等@付*屬機器’該等皆是藉由控制手段來進行控制。 在此’簡單說明液滴噴出裝置1的一連串動作。首先 -27- 1226290 (23) ，進行噴出機能液之前的準備，亦即在利用噴頭辨識攝影 機來進行噴頭單元4 1的位置修正之後，利用基板辨識攝 影機來進行基板w的位置修正。其次，使基板w往復作 動於主掃描方向（X軸方向），且使複數個機能液滴噴頭5 1 驅動’而來對基板W進行機能液滴的選擇性噴出動作。 並且，在使基板W復動後，使噴頭單元4 1移動於副掃描 方向（Y軸方向），再度進行基板W往主掃描方向的往復移 動及機能液滴噴頭 5 1的驅動。而且，在本實施形態中， 對噴頭單元4 1而言，雖是使基板w移動於主掃描方向， 但亦可使噴頭單元4 1移動於主掃描方向。又，亦可固定 噴頭單元4 1，使基板W移動於主掃描方向及副掃描方向 〇 其次，依次說明與本發明特別相關的噴出裝置1 1及 附帶裝置1 2的維修手段1 〇 1，機能液供給回收手段〗02， 及控制手段。噴出裝置1 1是供以將機能液滴噴出至基板 W的預定位置者，具備：搭載複數個機能液滴噴頭51的 噴頭單元41，及支撐噴頭單元41的主托架71，及被支撐 於石定盤24，而使對基板W進行主掃描，且經由主托架 7 1來使對噴頭單元4 1進行副掃描的X · γ移動機構8 1。 如圖15及圖16所示，噴頭單元41是由：副托架42 ，及使後述的噴嘴面58從副托架42突出至下方的複數個 (1 2個）機能液滴噴頭5 1 ’及供以將各機能液滴噴頭5 1分 別安裝於副托架42的複數個（1 2個）噴頭保持構件6 1所構 成。並且，1 2個的機能液滴噴頭5 1會被分成各6個，配 -28- (24) 1226290 設成預定的角度，而供以對基板W確保充分的機能液塗 付密度。而且，各6個的機能液滴噴頭5 1會彼此偏位設 置（彳副掃描方向而言），1 2個的機能液滴噴頭5 1的全 體噴出噴嘴5 9 (後述）會連續於副掃描方向（一部份重複）。 此外，若對基板W使用專用的機能液滴噴頭5 1，則不必 傾斜設置機能液滴噴頭5 1。 在副托架42中設有供以配管連接各機能液滴噴頭5 1 與液體供給回收手段1 0 2的給液槽2 0 4之配管接頭4 3， 配管接頭43會在一端連接來自配管接合器45 (與各機能 液滴噴頭5 1連接）的噴頭側配管構件，在另一端設有供 以連接來自給液槽204的裝置側配管構件之1 2個的插座 4 4。又，副托架4 2具有一對的基準銷4 6，其係成爲使用 噴頭辨識攝影機來辨識後進行噴頭單元4 1的定位時之基 準。 圖17Α是表示機能液滴噴頭的立體圖。圖17Β是表 示機能液滴噴頭周邊的剖面圖。如圖1 7 A，17 Β所示，機 能液滴噴頭5 1爲2連，於噴頭基板5 2設有：具有與配管 接合器4 5連接之2連的連接針5 4的機能液導入部5 3， 及由2連的泵部56與具有噴嘴面58(形成有2列的噴出 噴嘴5 9 )的噴嘴形成板5 7所構成的噴頭本體5 5。並且， 在噴頭本體5 5内部形成有充滿機能液的噴頭內流路’藉 由泵部5 6的作用來從噴出噴嘴5 9噴出機能液滴。 主托架7 1具有供以遊嵌噴頭單元4 1的方形開口’使 能夠定位噴頭單元4 1。又，於主托架7 1設有供以辨識基 -29- 1226290 (25) 板W的基板辨識攝影機。 X · Y移動機構8 1具有：使軸線與沿著石定盤2 4 長邊的中心線一致而固定的X軸台8 2，及使軸線與沿 石定盤24的短邊的中心線一致的Y軸台9 1。 X軸台8 2是由：利用吸氣來吸著設定基板W的吸 台83，及支撐吸著台83的Θ台84，及使0台84自由 動於X軸方向的X軸氣動滑件85，及經由0台84來使 著台8 3上的基板W滑動於X軸方向的X軸線性馬達< 示省略），及倂設於X軸氣動滑件8 5的X軸線性度盤 。機能液滴噴頭5 1的主掃描是藉由X軸線性馬達的驅 來使吸著基板W的吸著台83及0台84能夠引導X軸 動滑件8 5來往復移動於X軸方向而進行主掃描。 Y軸台91具備：吊設主托架71的橋接板92，及 擦橋接板9 2且可自由滑動於Y軸方向的一對Y軸滑件 ，及倂設於Y軸滑件93的Y軸線性度盤94 ’及引導一 Y軸滑件93來使橋接板92移動於Y軸方向的Y軸螺 95，及使Y軸螺桿95正逆旋轉的Y軸馬達（圖示省略〕 又，一對的Y軸纜線支架會位於一對的Y軸滑件9 3的 側，而分別收容於箱（圖示省略）的狀態下配設。Y軸馬 是由伺服馬達所構成，若Y軸馬達正逆旋轉，則經由 軸螺桿95而螺合的橋接板92會引導一對的Y軸滑件 來移動於Y軸方向。亦即，隨著橋接板92的移動，主 架71(噴頭單元41)會進行Y軸方向的往復移動，進行 能液滴噴頭5 1的副掃描。 的 著 著 滑 吸 圖 87 動 氣 支 93 對 桿 〇 兩 達 Y 93 托 機 -30 - (26) 1226290 其次，說明有關附帶裝置1 2的維修手段1 0 1。維修 手段1 01是在於維護機能液滴噴頭5 1，而使機能液滴噴 頭5 1能夠適當地噴出機能液，具備淸潔單元1 1 1、擦拭 單元181、及淸除單元191。 實施形態的淸潔單元1 1 1具有：經由後述的噴頭蓋 1 13來從機能液滴噴頭51吸引機能液的吸引機能，及藉 由噴頭蓋113來密閉（密封）機能液滴噴頭51的噴嘴面的 保溼機能，及接受來自機能液滴噴頭5 1的捨去噴出（淸除 )的淸除箱機能。吸引機能是由機能液滴噴頭5 1的噴嘴來 強制性地吸引機能液者，主要是在裝置作動開始時，用以 解除噴嘴阻塞。或者，在將機能液初期充塡至包含機能液 滴噴頭5 1的機能液供給系時進行。保溼機能主要是在裝 置的非作動時或者使基板的搬入•搬出時等的裝置長時間 停止時，蓋住機能液滴噴頭5 1，而來防止機能液乾燥。 淸除箱機能是在於受理描繪時以外定期性進行的淸除，描 繪中所進行的淸除爲上述淸除單元1 9 1受理。又，擦拭單 元1 8 1主要是在於擦拭藉由吸引動作而附著於噴嘴面的機 能液。 首先，參照圖1 8及圖1 9來說明有關淸潔單元π !。 圖18是表示淸潔單元的立體圖。圖19是表示淸潔單元的 剖面圖。淸潔單元1 1 1是在於進行噴頭單元4 1的淸潔， 具備：對應於1 2個機能液滴噴頭5 1來將1 2個噴頭蓋 113設置於基板116上的蓋單元112，及支持蓋單元112 的支持構件15 1，及經由支持構件1 5 1來使蓋單元11 2昇 -31 - 1226290 (27) 降的昇降機構1 6 1，而使各噴頭蓋n 3能夠密著於各機能 液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8。又，各噴頭蓋1 1 3是經由連接 至吸引泵155的吸引通路162來連接至分歧成12條的分 岐吸引通路1 62 a(圖25)。並且，在各分岐吸引通路1 62 a 中，由噴頭蓋1 1 3側開始依次設有液體感測器1 5 2，壓力 感測器1 5 3及吸引用開閉閥1 5 4。 如圖21及圖22所示，噴頭蓋1 13具有： 具有密著於機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8的密封構件 124之蓋本體1 14 ;及 支持蓋本體114的蓋夾具115。 又，蓋本體114是在藉由一對彈簧128、128所產生 的彈壓狀態下支持於蓋夾具1 1 5，當噴頭蓋1 1 3密著於機 能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8時，蓋本體1 1 4會稍微地沈入 蓋夾具1 1 5。此噴頭蓋1 1 3會在淸潔實施時密封機能液滴 噴頭5 1的噴嘴面5 8，進行吸引動作。 在基板11 6中固定有與噴頭單元4 1的1 2個機能液滴 噴頭5 1同方向傾斜的1 2個噴頭蓋1 1 3。在與噴頭單元4 1 對峙的面上，對峙於1 2個噴頭蓋1 1 3而形成有1 2個安裝 開口 140a，且形成有12個淺溝140b。各噴頭蓋113會將 下部插入安裝開口 1 4 0 a，在定位於該淺溝1 4 0 b的狀悲下 ’以螺絲來固定於淺溝140b(參照圖20)。 支持構件1 5 1具備： 具有在上端支持蓋單元1 1 2的支持板1 5 3之支持構件 本體1 5 2 ;及 -32- 1226290 (28) 使支持構件本體1 5 2自由滑動地支持於上下方向之台 架。 在支持板1 5 3的長度方向的兩側下面固定有一對的汽 缸1 5 6，且設置有以此一對汽缸1 5 6來昇降的操作板1 5 7 ，而於操作板1 5 7上安裝有卡合於各噴頭蓋1 1 3的大氣開 放閥1 3 1的操作部之鉤1 5 8。 昇降機構161具備：由立設於台架154的基座部155 的汽缸1 5 6所構成的下段昇降汽缸1 62，及由立設於以此 汽缸來昇降的板上的汽缸156所構成的上段昇降汽缸163 。以兩昇降汽缸162，163的選擇作動，使蓋單元1 12的 上昇位置能夠自由切換成：第1位置（使噴頭蓋1 1 3的密 封構件1 24密著於機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8 )，及第 2位置（使噴頭蓋1 1 3的密封構件1 24與機能液滴噴頭5 1 的噴嘴面5 8之間騰空些微的間隙）。 又’如上述，密著於機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8後 進行吸引動作的噴頭蓋1 1 3具有：蓋本體I 1 4及蓋夾具 1 1 5。並且，在噴頭蓋1 1 3裝入有：使蓋本體1 1 4彈壓於 上方（密著方向）的一對線圈彈簧128、128，及連接至上述 分岐吸引通路162a的連接接頭135，以及上述大氣開放 閥 13 1。 如圖21〜圖23所示，蓋本體114是由：在上面形成 吸收材收容部1 2 1 a的蓋座1 2 1，及充塡於吸收材收容部 1 2 1 a的機能液吸收材1 2 2，及按壓機能液吸收材1 2 2的吸 收材按壓件1 2 3，及配設於吸收材收容部1 2 1 a的上側的 -33- !226290 (29) 密封構件1 2 4，及供以使密封構件1 2 4固定於蓋座1 2 1的 密封固定構件1 2 5等所構成，且全體形成方形細長形狀。 圖2 1〜圖2 3所示的蓋座1 2 1是由不銹鋼等的耐蝕性 材料所構成，且於上部以能夠自表面突出的方式來形成有 吸收材收容部1 2 1 a，在下部的長度方向的兩端部形成有 卡合於蓋夾具1 1 5的一對脚片部1 2 1 d。吸收材收容部 1 2 1 a是由：收容機能液吸收材1 2 2的凹溝1 2 1 b，及區劃 凹溝121a且自蓋座121突出的環狀周緣部121c所構成。 並且，在凹溝1 2 1 b的底部位形成有：連接至連接接頭 135的吸引口 139，及連接至大氣開放閥131的大氣流入 □ 138。 機能液吸收材1 22是由層疊不同材質的兩種機能液吸 收材122a、122b來構成，且於面向吸引口 139及大氣流 入口 138的部份分別形成有小孔。又，機能液吸收材122 並非只限於兩層構造，亦可爲單層構造或多層構造。又， 機能液吸收材1 22例如使用於彩色濾光片的製造裝置時， 最好是使用PV A(聚乙烯醇）形式，使用於有機EL的製造 裝置時，最好是使用PE(聚乙烯）樹脂性的材料。 吸收材按壓件123爲加工不銹鋼的薄板而成者，由方 形的框狀部123a及橫跨框狀部123a而設置的複數個（3個 )棧板狀部1 2 3 b所一體形成。此情況，吸收材按壓件1 2 3 是例如以鋼絲鋸等來切成板厚爲0 · 3 mm程度的不銹鋼板 ，使框狀部1 2 3 a及棧板狀部1 2 3 b能夠加工成最大限寬 (0.3mm程度）。特別是在縮小棧板狀部123b的寬度下， -34- 1226290 (30) 可防止機能液残留於棧板狀部1 2 3 b上面。 如此構成的吸收材按壓件1 2 3是在由上側來按壓機能 液吸收材1 2 2的狀態下，使其周緣部，亦即框狀部123a 能夠著座於吸收材收容部1 2 1 a的環狀周緣部I 2 I c。並且 ，在此狀態下，兩棧板狀部1 2 3 b會避開上述兩小孔，按 壓機能液吸收材1 22的中間部。藉此，即使機能液吸收材 1 22膨脹，還是能夠予以按壓成平坦狀。 密封構件1 24是以橡膠或樹脂所構成，由包含全噴出 噴嘴59而密著噴嘴面58的環狀突出部124a，及按壓吸 收材按壓件123的環狀押壓部124b，以及固定於蓋座121 的環狀固定部1 24c —體形成環狀。亦即，以能夠夾著吸 收材按壓件1 2 3而對向於吸收材收容部1 2 1 a的環狀周緣 部121c之方式來設置環狀押壓部124b，且於此環狀按壓 部124b正上方形成有環狀突出部124a。藉此，密著於機 能液滴噴頭51的噴嘴面58的密封構件124(環狀突出部 124a)的密著反力會使吸收材按壓件123能夠夾入與吸收 材收容部1 2 1 a的環狀周緣部1 2 1 c之間，而使能夠安定地 保持吸收材按壓件1 2 3。 密封固定構件1 2 5是由不銹鋼等所構成，形成與蓋座 1 2 1上面的輪郭約同形狀的方形環狀，且對上面的周緣部 進行倒角，而使能夠形成傾斜。密封固定構件1 2 5的内周 緣會按壓密封構件124的環狀固定部124c，而於此狀態 下，以螺絲來將密封固定構件1 2 5固定於蓋座1 2 1。 在此，參照圖24來簡單說明有關蓋本體1 1 4的組裝 -35- 1226290 (31) 程序。首先，在蓋座1 2 1的吸收材收容部1 2 1 a鋪 液吸收材1 2 2之後，以能夠按壓機能液吸收材1 2 2 ，使吸收材按壓件1 2 3著座於吸收材收容部1 2 1 a 周緣部1 2 1 C。其次，安裝一密封構件1 2 4，而使能 環狀押壓部124b來按壓吸收材按壓件123的周緣 後藉由密封固定構件125來將此密封構件124的環 部1 24c按壓於蓋座1 2 1，在此狀態下，以螺絲來 固定構件1 2 5固定於蓋座1 2 1。 如此一來，蓋本體1 1 4會承受蓋座1 2 1，依照 吸收材1 2 2、吸收材按壓件1 2 3、密封構件1 2 4及 定構件1 2 5的順序來押壓固定，因此只要解開密封 件1 25的固定螺絲，便可容易將蓋本體1 1 4分解成 構件，再度組裝。因此，即使機能液吸收材1 22及 件發生劣化或破損時，還使可以只各別更換形成更 的構件。 又，如此構成的蓋本體1 1 4是藉由抵接於其長 的下面兩處的一對線圈彈簧 1 2 8，1 2 8，在規制上 置的狀態下，使彈壓至上方。亦即，蓋本體1 1 4對 1 1 5而言可自由滑動地安裝於上下方向，且於此狀 以蓋座1 2 1的兩脚片部1 2 1 d來規制上動端的位置 具 1 15 〇 蓋夾具1 1 5是由：細長形狀的夾具本體1 2 7， 絲固定於夾具本體1 27的長度方向的兩端部上面的 置規制塊1 26來構成，且以不銹鋼等來形成。又， 設機能 的方式 的環狀 夠以其 部，最 狀固定 將密封 機能液 密封固 固定構 各個的 其他構 換對象 度方向 動端位 蓋夾具 態下， 於蓋夾 及以螺 一對位 夾具本 -36- 1226290 (32) 體1 2 7具有在其中央部面臨上述連接接頭1 3 5及大氣開放 閥1 3 1的連接用開口，且面向連接用開口而具有保持一對 線圈彈簧128，128的一對銷129，129。並且，夾具本體 1 2 7的上面會形成稍微傾斜於長度方向的傾斜面。 在各位置規制塊1 2 6形成有：使蓋座1 2 1的腳片部 1 2 1 d卡合於蓋本體1 1 4側的卡合溝1 2 6 a。卡合溝1 2 6 a的 上面會形成被線圈彈簧1 2 8，1 2 8所彈壓之蓋本體1 1 4的 位置規制面，且兩側面會形成蓋本體1 1 4的滑動引導面。 亦即，各位置規制塊1 2 6的蓋本體1 1 4側的上部1 2 6 a會 形成位置規制用的規制突部。 固定於夾具本體1 2 7上面的兩位置規制塊1 2 6會按照 夾具本體1 2 7上面的傾斜來稍微地傾斜。因此，在此兩位 置規制塊1 2 6所被規制位置的蓋本體1 1 4會在被一對線圈 彈簧1 2 8、1 2 8所彈壓的狀態下，稍微傾斜地保持於蓋夾 具1 1 5。因此，在使噴頭蓋1 1 3按壓於機能液滴噴頭5 1 的噴嘴面5 8時，會藉由一對線圈彈簧1 2 8，1 2 8來使密封 構件1 24密著於噴嘴面5 8，使能夠確實地密封機能液滴 噴頭5 1的噴嘴面5 8。又，當稍微傾斜狀態的蓋本體1 1 4 脫離機能液滴噴頭5 1時，對噴嘴面5 8而言，密封構件 1 2 4會由一側脫離，因此噴頭蓋1 1 3内的機能液不會飛散 〇 連接接頭1 3 5是由：連接至上述吸引口 1 3 9的短管 136，及連接至短管136的下端部的L字接頭137來構成 ，且經由此L字接頭1 3 7來連接至上述吸引用的分岐吸引 -37- 1226290 (33) 通路1 6 2 a。亦即，蓋本體n 4會經由吸引用的分岐吸引 通路162a來連接至吸引泵155，且經由吸引泵155來連 接至再利用槽2 3 2 (皆參照圖25)。 大氣開放閥131具備： 連接至上述大氣流入口 138，且貫通蓋座121之套管 141 ;及 擴開形成於套管141的下端部之閥座142;及 收容於閥座142之橡膠製的閥體143 ;及 接著保持閥體1 4 3的閥操作桿1 4 6 ;及 螺合於閥操作桿1 4 6的卡合環1 4 5。 又，閥操作桿1 4 6可對從蓋座1 2 1的下面延伸的桿支 持構件147自由滑動地安裝於上下方向，另一方面可藉由 裝入桿支持構件147的閥彈簧144來彈壓於閉閥方向（上 方）。 若在卡合環145卡合上述鉤158，而利用汽缸156來 使鉤下動的話，則閥體1 4 3會經由閥操作桿1 4 6而下動， 大氣開放閥1 3 1會形成開閥狀態。另一方面，若利用閥彈 簧144來使鉤158上動的話，則閥體143會經由閥操作桿 1 4 6而上動，大氣開放閥1 3 1會形成閉閥狀態。亦即，在 機能液的吸引動作的最終段階，開啓大氣開放閥1 3 1，而 使能夠吸引機能液吸收材1 22中所含的機能液。 上述構成的淸潔單兀111是藉由移動台35·來移動至 與噴頭單兀4 1的Y軸方向移動軌跡交叉的位置，相對的 ，噴頭單元41會利用Y軸台91來移動至面臨淸潔單元 -38- 1226290 (34) 1 1 1的正上方的淸潔位置。在此，蓋單元1 1 2會藉由昇降 機構1 6 1的下段昇降汽缸1 6 2的作動來上昇至第！位置， 在噴頭單元4 1的1 2個機能液滴噴頭5 1，由下側來按壓 1 2個的噴頭蓋Π 3。被按壓於各機能液滴噴頭5 1的各噴 頭室11·^會抵抗本身的兩個〗早黃128’ 128’而使該蓋本 體1 1 4多少沈入蓋夾具1 1 5，其密封構件1 2 4會均一地密 著於機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8。 接著，驅動吸引泵1 5 5，且開啓介設於吸引用的各分 岐吸引通路162a的吸引用開閉閥154，從各機能液滴噴 頭5 1的全噴出噴嘴5 9經由各噴頭蓋1 1 3來吸引液體材料 。又，於吸引終了前開啓大氣開放閥1 3 1，然後關閉吸引 用開閉閥1 54，而完成吸引。若吸引動作終了，則會使蓋 單元112下降至下降端位置。並且，在停止裝置的作動時 ，例如噴頭保管時，使蓋單元1 1 2上昇至第1位置，以各 噴頭蓋1 1 3來密封各機能液滴噴頭5 1，而成保管狀態。 擦拭單元1 8 1具備對複數個機能液滴噴頭5 1進行擦 拭的機能，由配設於共通基座3 6上的捲取單元1 8 2與擦 去單元184來構成。若擦拭單元181完成噴頭單元41的 淸潔，則會對停止於淸潔單元1 1 1的正上方的噴頭單元 41送出擦拭片（由供帶盤（圖示省略）來送出）’且以洗浄 液噴霧頭（圖示省略）來噴出洗浄液，一邊藉由移動台3 5 來使全體移動於X軸方向，一邊利用擦去滾輪（圖示省略） 來擦拭各機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8。 其次，說明有關淸除單元1 9 1。淸除單兀1 9 1是被配 -39- 1226290 (35) 設於X軸纜線支架的箱上，由固定於X軸纜線支架上的 滑件基座，及可自由進退於滑件基座上的長板狀滑件，及 固定於滑件的兩端部的一對淸除箱2 5 3，2 5 3，及鋪設於 各淸除箱2 5 3内的一對機能液吸收材2 5 4，2 5 4所構成。 若如此構成的淸除單元191與0台84 —起前進（返回） 作動的話，則當噴頭單元4 1通過右側（左側）的淸除箱（圖 示省略）的正上方時，各機能液滴噴頭5 1會依次來進行淸 除動作，且噴頭單元4 1會移行至通常的液滴噴出動作。 此外，在液滴的噴出停止某程度的時間時，亦必須進 行淸除。噴頭單元41會移動至面臨蓋單元112的正上方 的淸潔位置，由各機能液滴噴頭5 1來朝向各噴頭蓋1 1 3 進行淸除。此情況，會使上昇至噴頭蓋1 1 3的密封構件 1 2 4與機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8之間騰出少許的間隙 之上述第2位置，進行淸除。隨著淸除而被噴霧的機能液 會被吸收至設置於噴頭蓋113内的機能液吸收材122，且 經由開設於噴頭蓋1 13的吸引口來藉吸引泵155吸引。 但，在液滴噴出裝置投入新的噴頭單元4 1時，機能 液滴噴頭5 1的噴頭内流路會騰空，因此在液滴噴出作業 開始前，必須將機能液充塡於噴頭內流路。此情況，由於 來自給液槽204之機能液的供給只能以些微的水頭壓來進 行，因此在將機能液充塡至噴頭內流路時必須要吸引。因 應於此，在機能液充塡作業時，會將噴頭單元4 1移動至 淸潔位置，使蓋單元112上昇至上述第丨位置，而使各噴 頭蓋1 1 3密著於各機能液滴噴頭5 1的噴嘴面5 8，經由各 -40- 1226290 (36) 噴頭蓋1 13以來自吸引泵155的吸引力來將給液槽204内 的機能液充塡至各機能液滴噴頭5 1的噴頭內流路。 此外，在進行噴頭蓋U 3的吸引時，爲了防止在噴頭 內流路中機能液的流速降低，殘留於噴頭內流路的氣泡影 響而造成液滴噴出不良，而於給液用的各分岐供給通路 1 6 1 a中介設供給用開閉閥1 5 1，且於吸引用的各分岐吸引 通路162a中設置液體感測器152。若液體充塡開始後機 能液被吸引至噴頭蓋1 1 3，則此液體感測器1 5 2會予以檢 測出，在繼續維持噴頭蓋1 1 3的吸引下暫時關閉所對應的 供給用開閉閥1 5 1，順暢地進行機能液的流動。 以上所述的液滴噴出裝置，除了在本實施形態中所説 明的有機EL裝置的製造裝置以外，同樣亦可適用於彩色 濾光片、液晶顯示裝置、PDP裝置、電子放出裝置（FED 、S ED裝置）等的製造裝置。在此，針對該等製造對象物 的構造，及使用本實施形態的液滴噴出裝置（機能液滴噴 頭5 1 ) 1的製造方法來加以説明。 首先，說明有關組裝於液晶顯示裝置或有機EL裝置 等之彩色減光片的製造方法。圖26是表示彩色濾光片白勺 製造過程流程圖。圖27A- 27E是表示製造過程順序之本 實施形態的彩色濾光片5 00(濾光片基體5 00A)的模式剖面 圖。 首先，在黑色矩陣形成過程（S1)中，如圖27a所示， 在基板（W) 501上形成黑色矩陣502。黑色矩陣5〇2是由金 屬鉻、金屬鉻與氧化鉻的層疊體、或樹脂黑等來形成。在 -41 - 1226290 (37) 形成由金屬薄膜所構成的黑色矩陣5 02時，可利用濺鍍法 或蒸鍍法等。又，在形成由樹脂薄膜所1構成的黑色矩陣 5 0 2時，可利用照相凹板印刷法、光阻劑法、熱轉印法等 〇 接著，在區隔形成過程（S2)中’在重疊於黑色矩陣 5 02上的狀態下形成區隔5 0 3。亦即’首先如圖27B所示 ，以能夠覆蓋基板5 0 1及黑色矩陣5 0 2的方式來形成由負 片型的透明感光性樹脂所構成的光阻劑層5 04。然後’在 以形成矩陣圖案形狀的光罩薄膜5 0 5來覆蓋其上面的狀態 下進行曝光處理。 又，如圖2 7 C所示，對光阻劑層5 0 4的未曝光部份進 行蝕刻處理，藉此來使光阻劑層5 04形成圖案，而形成區 隔5 0 3。又，藉由樹脂黑來形成黑色矩陣狀時，可兼作黑 色矩陣與區隔用。 此區隔503及其下的黑色矩陣502會形成區劃各畫素 區域5 0 7 a的區劃壁部5 0 7 b，在之後的著色層形成過程中 ，藉由機能液滴噴頭1 〇來形成著色層（成膜部）5 0 8 R、 5 0 8 G、5 0 8 B時規定機能液滴的噴著區域。 經由以上的黑色矩陣形成過程及區隔形成過程，可取 得上述濾光片基體5 00A。 又，本實施形態中’區隔503的材料，可使用塗膜表 面形成疏液（疏水）性的樹脂材料。又，由於基板（玻璃基 板）5 0 1的表面爲親液（親水）性’因此在後述的著色層形成 過程中液滴往圍繞於區隔5 0 3 (區劃壁部5 0 7 b )的各畫素區 -42- 1226290 (38) 域507a内的噴著位置精度會提高。 其次，在著色層形成過程（S3)中，如圖27D所示，藉 由機能液滴噴頭5 1來噴出機能液滴，而使噴著於區劃壁 部5 0 7 b所圍繞的各畫素區域5 0 7 a内。此情況亦與上述有 機E L裝置6 0 0時同樣的’利用機能液滴噴頭5 1來導入R • G · B二色的機能液（濾光片材料），而來進行機能液滴 的噴出。此外，就R · G · B三色的配列圖案而言，例如 有條紋配列、馬賽克配列及三角形配列等。 之後，經由乾燥處理（加熱等的處理）來使機能液定著 ，形成3色的著色層508R、508G、508B。若形成著色層 5 0 8 R、5 0 8 G、5 08B，則移至保護膜形成過程（S4)，如圖 2 7 E所示，以能夠覆蓋基板5 0 1、區劃壁部5 0 7 b、及著色 層508R、508G、508B的上面之方式來形成保護膜509。 亦即，在保護膜用塗佈液噴出至全體表面（形成有基 板5 0 1的著色層5 0 8 R、5 0 8 G、5 0 8 B的面）之後，經由乾 燥處理來形成保護膜5 09。 又，於形成保護膜5 09之後，將基板5 0 1切斷成各個 有効畫素區域，藉此來取得彩色濾光片5 00。 圖28是表示使用上述彩色濾光片5 00的液晶顯示裝 置之一例，亦即被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）的槪略構 成要部剖面圖。在此液晶裝置520中安裝有液晶驅動用 1C、背光、支持體等的附帶要件，而取得最終製品的透過 型液晶顯示裝置。又，由於彩色濾光片5 00是與圖27 A-2 7E所示者相同，因此賦予所對應的部位同樣的符號，且 1226290 (39) 省略其説明。 此液晶裝置 520是錯由彩色遽光片 500、#向基板 5 2 1 (由玻璃基板等構成）、及夾持於彩色濾光片與對向 基板之間的液晶層 5 2 2 (由 S T N ( S u p e r T w i s t e d N e m a t i c ) 液晶組成物所構成）來槪略構成’且將彩色濾光片5 0 0配 置於圖中上側（觀測者側）。 又，雖未圖示，但實際上在對向基板5 2 1及彩色濾光 片5 00的外面（與液晶層5 22側大致呈相反側的面）會分別 配設有偏光板，且在位於對向基板5 2 1側的偏光板的外側 配設有背光。 在彩色濾光片5 00的保護膜5 09上（液晶層側），於圖 28中左右方向上，長方形狀的第1電極523會以預定的 間隔來形成複數個，且以能夠覆蓋與此第1電極5 2 3的彩 色濾光片5 00呈相反側的面之方式來形成第1配向膜524 〇 另一方面，在與對向基板521的彩色濾光片500呈對 向的面上，和彩色濾光片500的第1電極523呈垂直的方 向上，長方形狀的第2電極5 26會以預定的間隔來形成複 數個，且以能夠覆蓋此第2電極5 2 6的液晶層5 2 2側的面 之方式來形成第2配向膜527。該等第1電極523及第2 電極526是由ITO(Indium Tin Oxide)等的透明導電材料所 形成。 設置於液晶層5 2 2内的間隔件5 2 8是供以將液晶層 5 2 2的厚度（單元間隙）保持於一定的構件。又，密封材 •44- 1226290 (40) 5 2 9是供以防止液晶層5 2 2内的液晶組成物露出至外部的 構件。又，第1電極5 2 3的一端部是作爲引繞配線5 2 3 a 延伸至密封材5 2 9的外側。 又，第1電極5 2 3與第2電極5 2 6所交叉的部份爲畫 素，且彩色濾光片500的著色層508R、508G、508B會位 於該畫素的部份。 在通常的製造過程中，在彩色濾光片500進行第1電 極5 2 3的圖案形成及第1配向膜524的塗佈，而作成彩色 濾光片5 00側的部份，且另外在對向基板521進行第2電 極5 26的圖案形成及第2配向膜5 2 7的塗佈，而作成對向 基板5 2 1側的部份。然後，在對向基板5 2 1側的部份作入 間隔件5 2 8及密封材5 2 9，在此狀態下使彩色濾光片500 側的部份貼合。其次，從密封材5 2 9的注入口來注入構成 液晶層5 22的液晶，然後密封注入口。之後，層疊兩偏光 板及背光。 實施形態的液滴噴出裝置1是例如塗佈構成上述單元 間隙的間隔件材料（機能液），且於對向基板5 2 1側的部份 貼合彩色濾光片5 00側的部份之前，可均一地將液晶（機 能液）塗佈於密封材5 2 9所圍繞的區域。又，亦可使用機 能液滴噴頭5 1來進行上述密封材5 2 9的印刷。又，亦可 使用機能液滴噴頭51來進行第1 ·第2兩配向膜524， 5 2 7的塗佈〇 圖29是表示使用本實施形態中所製造的彩色濾光片 5〇〇的液晶裝置的第2例的槪略構成要部剖面圖。 -45 - 1226290 (41) 此液晶裝置5 3 0與上述液晶裝置5 2 0最大的不同點是 在於將彩色濾光片5 00配置於圖中下側（與觀測者側呈相 反的一側）。 此液晶裝置5 3 0是在彩色濾光片5 0 0與對向基板5 3 1 (由玻璃基板等所構成）之間夾持液晶層5 3 2 (由S TN液 晶所構成）來構成。又，雖未圖示，但實際上在對向基板 5 3 1及彩色濾光片5 0 0的外面分別配設有偏光板等。 在彩色濾光片5 00的保護膜5 09上（液晶層5 3 2側）’ 圖中往內方向，長方形狀的第1電極5 3 3會以預定的間隔 來形成複數個，且以能夠覆蓋此第1電極5 3 3的液晶層 5 3 2側的面之方式來形成第1配向膜5 3 4。 在與對向基板531的彩色濾光片5 00呈對向的面上， 延伸於和彩色濾光片5 0 0側的第1電極5 3 3呈垂直的方向 上的複數個長方形狀的第2電極5 3 6會以預定的間隔來形 成，且以能夠覆蓋此第2電極5 3 6的液晶層5 3 2側的面之 方式來形成第2配向膜537。 在液晶層5 3 2設有··供以使該液晶層5 3 2的厚度保持 一定的間隔件5 3 8，及供以防止液晶層5 3 2内的液晶組成 物露出至外部的密封材5 3 9。 又，與上述液晶裝置520同樣的，第1電極533與第 2電極536的交叉部份爲畫素’且彩色濾光片500的著色 層508R、508G、508B會位於此畫素的部位。 圖30是表示使用本發明的彩色濾光片500來構成液 晶裝置的第3例，亦即透過型的 TFT (Thin Film -46 - (42) 1226290

Transistor)型液晶裝置的槪略構成分解立體圖。 此液晶裝置5 5 0是將彩色濾光片5 00配置於圖中上側 (觀測者側）者。 此液晶裝置5 5 0是由：彩色濾光片5 00，及與彩色濾 光片5 00呈對向配置的對向基板5 5 1，及夾持於彩色濾光 片500與彩色濾光片500之間的液晶層（未圖示），及配 置於彩色濾光片5 0 0的上面側（觀測者側）的偏光板5 5 5， 及配設於對向基板5 5 1的下面側的偏光板（未圖示）所構成 〇 在彩色濾光片5 0 0的保護膜5 09的表面（對向基板 551側的面）形成有液晶驅動用的電極5 5 6。此電極5 5 6是 由I TO等的透明導電材料所構成，形成覆蓋全體區域（形 成有後述的畫素電極560)的全面電極。並且，在覆蓋與 該電極5 5 6的畫素電極5 60呈相反側的面之狀態下設有配 向膜5 5 7。 在與對向基板5 5 1的彩色濾光片5 00呈對向的面上形 成有絕緣層5 5 8，且於此絕緣層55 8上，掃描線5 6 1及訊 號線5 62會彼此呈垂直狀態。並且，在該等掃描線5 6 1及 訊號線5 62所圍繞的區域内形成有畫素電極5 6 0。而且， 在實際的液晶裝置中，於畫素電極5 60上配設有配向膜（ 圖示省略）。 又，於畫素電極5 6 0的缺口部與掃描線5 6 1及訊號線 5 62所圍繞的部份裝入有具備源極電極、汲極電極、半導 體、及閘極電極的薄膜電晶體5 63。並且，可根據對掃描 !226290 (43) 線5 6 1及訊號線5 62所施加的訊號來開啓·關閉薄膜電晶 體5 6 3，而使能夠對畫素電極5 60進行通電控制。 又，上述各例的液晶裝置5 2 0，5 3 0，5 5 0雖爲透過型 的構成，但亦可設置反射層或半透過反射層的反射型液晶 裝置或半透過反射型液晶裝置。 其次，圖31是表示電漿型顯示裝置（PDP裝置：以下 簡稱爲顯示裝置7 00)的要部分解立體圖。並且，在同圖 中是以切除顯示裝置700的一部份的狀態來表示之。 此顯示裝置700是包含：彼此對向配置的第1基板 7〇1、第2基板702、及形成於該等之間的放電顯示部703 。放電顯示部703是由複數個放電室705所構成。在該等 複數個放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室 705G、藍色放電室705B的3個放電室705會形成一組， 而構成1個畫素。 在第1基板7 0 1的上面形成有預定間隔的條紋狀位址 電極706，且以能夠覆蓋該位址電極7 06與第1基板701 的上面之方式來形成介電質層707。在介電質層707上立 設有位於各位址電極706之間且沿著各位址電極706的隔 壁708。此隔壁708包含：如圖示延伸於位址電極706的 寬度方向兩側者，及延伸於與位址電極706垂直的方向者 (未圖示）。 又，由此隔壁7 〇 8所區隔成的區域會形成放電室7 0 5 。在放電室705内配置有螢光體709。螢光體709是用以 使紅（R)、綠（G)、藍（B)的其中任一顏色的螢光發光，分 1226290 (44) 別在紅色放電室70 5 R的底部設有紅色螢光體7〇9R ’在綠 色放電室705G的底部設有綠色螢光體709G，在藍色放電 室705B的底部設有藍色螢光體709B。 在第2基板7 0 2的圖中下側的面，和上述位址電極 7 06垂直的方向上，複數個顯示電極71 1會以預定的間隔 來形成條紋狀。又，以能夠覆蓋該等顯示電極的方式來形 成介電質層712、及由MgO等所構成的保護膜713。 第1基板701與第2基板702是在位址電極706與顯 示電極7 1 1彼此呈垂直的狀態下對向貼合。又，上述位址 電極706與顯示電極71 1會被連接至未圖示的交流電源。 然後，藉由通電至各電極706，711來使螢光體709 發光於放電顯示部703中，而使能夠進行彩色顯示。 在本實施形態中，可利用圖1 2所示的液滴噴出裝置 1來形成上述位址電極706、顯示電極711、及螢光體709 。以下’以第1基板7 0 1之位址電極7 0 6的形成過程爲例 〇 此情況，是在將第1基板7 0 1載置於液滴噴出裝置1 的X軸台82的狀態下進行以下的過程。 首先’藉由機能液滴噴頭1 0來使含有導電膜配線形 成用材料的液體材料（機能液）作爲機能液滴噴著於位址電 極形成區域。此液體材料爲導電膜配線形成用材料，使金 屬等的導電性微粒子分散於分散媒中者。該導電性微粒子 爲使用含有金、銀、銅、鈀、或鎳等的金屬微粒子或導電 性聚合物等。 -49- 1226290 (45) 若對形成補充對象的全體位址電極形成區域完成液體 #料·的補充，則會對噴出後的液體材料進行乾燥處理，使 含於液體材料中的分散媒蒸發，而形成位址電極706。 在上述中，雖是以位址電極7 0 6的形成爲例，但有關 上述顯示電極711及螢光體709方面亦可經由上述各過程 來形成。 在形成顯示電極7 1 1時，與位址電極7 0 6的情況時同 樣的’是以含有導電膜配線形成用材料的液體材料（機能 '液）作爲機能液滴來噴著於顯示電極形成區域。 在形成螢光體709時，是由機能液滴噴頭51來噴出 包含對應於各色（R，G，Β)的螢光材料的液體材料（機能液 )’且使噴著於所對應顏色的放電室7 0 5内。 其次，圖32是表示電子放出裝置（FED裝置：以下簡 稱爲顯示裝置8 0 0 )的要部剖面圖。 此顯示裝置8 0 0是包含：彼此對向配置的第1基板 801、第2基板8 02、及形成於該等之間的電場放出顯示 部8 0 3。電場放出顯示部8 0 3是由配置成矩陣狀的複數個 電子放出部8 0 5來構成。 在第1基板801的上面，構成陰極電極806的第1元 件電極806a及第2元件電極806b會互相垂直形成。並且 ，在以第1元件電極806a及第2元件電極806b所區隔部 份形成有形成間隙8 0 8的元件膜8 0 7。亦即，藉由第1元 件電極806a、第2元件電極806b及元件膜807來構成複 數個電子放出部805。兀件膜807是例如由氧化銷（pd〇) -50- (46) Ϊ226290 等所構成，且間隙8 Ο 8是在形成元件膜8 Ο 7之後，以成形 加工等來形成。 在第2基板8 02的下面形成有對峙於陰極電極8 06的 陽極電極809。在陽極電極809的下面形成有格子狀的區 隔部8 1 1，在此區隔部8 1 1所圍繞之向下的各開口部8 1 2 配置有對應於電子放出部8 0 5的螢光體8 1 3。螢光體8 1 3 是供以使紅（R)、綠（G)、藍（Β)的其中任一顏色的螢光發 光，在各開口部 8 1 2會以預定的圖案來配置紅色螢光體 813R、綠色螢光體813G及藍色螢光體813Β。 又，如此構成的第1基板801與第2基板8 02會存在 微小的間隙來貼合。在此顯示裝置8 0 0中，可使經由元件 膜（間隙8 0 8 ) 8 0 7而從陰極（第1元件電極8 06a或第2元 件電極8 06b )飛出的電子撞擊形成於陽極（陽極電極809 )的螢光體8 1 3來激起發光，而使能夠形成彩色顯示。 此情況與其他實施形態同樣的，可使用液滴噴出裝置 1來形成第1元件電極806a、第2元件電極806b及陽極 電極8 09，且可使用液滴噴出裝置1來形成各色的螢光體 813R，813G，813B。 以上所述的液滴噴出裝置，除了本實施形態所述的有 機EL裝置等的製造裝置以外，亦可適用於電泳顯示裝置 的製造方法等。 就電泳顯示裝置的製造方法而言，是在複數個機能液 滴噴頭5 1中導入各色的泳動體材料，且使複數個機能液 滴噴頭5 1進行主掃描及副掃描，選擇性地噴出泳動體材 -51 - (47) 1226290 料，而分別於電極上的多數凹部中形成螢光體。並且，由 帶電粒子及染料所構成泳動體最好是被封入微膠囊中。 另一方面，本實施形態的液滴噴出裝置1亦可適用於 間隔件形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光 阻劑形成方法、及光擴散體形成方法等。 就間隔件形成方法而言，是用以在2片基板間構成微 小的單元間隙而形成多數個粒子狀間隔件者，亦即使構成 間隔件的粒子材料分散於液中而調整後的機能液導入複數 個機能液滴噴頭5 1，且使複數個機能液滴噴頭5 1進行主 掃描及副掃描，選擇性地噴出機能液，而於至少一方的基 板上形成間隔件。例如’在上述液晶顯示裝置或電泳顯示 裝置的2片基板間構成單兀間隙時非常有用，可適用於需 要如此微細的間隙之半導體製造技術。 又’就金屬配線形成方法而言，是在複數個機能液滴 噴頭5 1中導入液狀金屬材料，且使複數個機能液滴噴頭 5 1進行主掃描及副掃描，選擇性地噴出液狀金屬材料， 而於基板上形成金屬配線。例如，可適用於連接上述液晶 顯示裝置的驅動器與各電極的金屬配線或連接上述有機 EL裝置的TFT與各電極的金屬配線來製造該等的裝置。 又，除了此種的平面顯示器以外，當然亦可適用於一般的 半導體製造技術。 又，就透鏡的形成方法而言，是在複數個機能液滴噴 頭5 1中導入透1¾材料，且使複數個機能液滴噴頭5 1進行 主掃描及副掃描，選擇性地噴出透鏡材料，而於透明基板 -52- I226290 (48) 上形成多數個微透鏡。例如，可適用於製造上述F E D裝 β之射束收斂用的裝置時。又，亦可適用於各種光裝置的 製造技術。 又’就透鏡的製造方法而言，是在複數個機能液滴噴 頭5 1中導入透光性的塗層材料，且使複數個機能液滴噴 頭5 1進行主掃描及前掃描，選擇性地噴出塗層材料，而 於透鏡的表面形成塗層膜。 又’就光阻劑形成方法而言，是在複數個機能液滴噴 頭5 1中導入光阻劑材料，且使複數個機能液滴噴頭5〗進 行主掃描及副掃描，選擇性地噴出光阻劑材料，而於基板 上形成任意形狀的光阻劑。例如，可適用於上述各種顯示 裝置之區隔的形成，以及在形成半導體製造技術的主體， 亦即光餓刻微影法中，廣泛地適用於光阻劑的塗佈。 又’就光擴散體形成方法而言，是在複數個機能液滴 噴頭5 1中導入光擴散材料，且使複數個機能液滴噴頭5】 進行主掃描及副掃描，選擇性地噴出光擴散材料，而於基 板上形成多數個光擴散體。此情況當然亦可適用於各種光 裝置。 如以上所述’若利用本發明的噴頭蓋，則可在不影響 密封動作等原本機能的情況下容易地更換機能液吸收材， 可適當地保全機能液滴噴頭。 又，若利用本發明的機能液噴出裝置，則會因爲可以 適當地保全機能液滴噴頭，所以能夠提高可靠度。 另一方面’若利用本發明之液晶顯示裝置的製造方法 -53- 1226290 (49) 、有機EL裝置的製造方法等各種的製造方法，則可經由 液滴噴出裝置來提高製造方法的可靠度。 【圖式簡單說明】 圖1是表示有機EL裝置之顯示裝置的要部剖面圖。 圖2是用以說明有機EL裝置之顯示裝置的製造過程 的流程圖。 圖3是用以說明無機物區隔層的形成過程圖。 圖4是用以說明有機物區隔層的形成過程圖。 圖5是用以說明形成電洞注入/輸送層的過程圖。 圖6是用以說明形成有電洞注入/輸送層的狀態之過 程圖。 圖7是用以說明形成藍色的發光層的過程圖。 圖8是用以說明形成有藍色的發光層的狀態之過程圖 〇 圖9是用以形成有各色的發光層的狀態之過程圖。 圖1 〇是用以說明陰極的形成過程圖。 圖1 1是表示實施形態之有機EL裝置的製造方法之 發光層形成設備的模式圖。 圖1 2是表示本實施形態之機能液滴噴出裝置的外觀 立體圖。 圖1 3是表示本實施形態之機能液滴噴出裝置的正面 圖。 圖1 4是表示本實施形態之機能液滴噴出裝置的右側 -54- (50) 1226290 面圖。 圖15是表示噴頭單元的平面圖。 圖16是表示噴頭單元的正面圖。 圖1 7 A是表示機能液滴噴頭的外觀立體圖。 圖1 7B是表示將機能液滴噴頭裝著於配管接合器時的 剖面圖。 圖18是表示維修的外觀立體圖。 圖1 9是表示維修的正面圖。 圖20是表示維修的平面圖。 圖21是表示噴頭蓋的全體立體圖。 圖22是表示噴頭蓋的剖面圖。 圖23是表示噴頭蓋的部份擴大剖面圖。 圖24是表示噴頭蓋的分解立體圖。 圖2 5是表示機能液滴噴頭、連接至機能液滴噴頭的 機能液供給系、及淸潔單元的模式圖。 圖2 6是表示彩色濾光片製造過程的流程圖。 圖2 7 A〜2 7 E是表示依製造過程順序顯示之彩色濾光 片的模式剖面圖。 圖2 8是表示利用適用本發明的彩色濾光片之液晶裝 置的槪略構成要部剖面圖。 圖2 9是表示利用適用本發明的彩色濾光片之第2例 的液晶裝置的槪略構成要部剖面圖。 圖3 0是表示利用適用本發明的彩色濾光片之第3例 的液晶裝置的槪略構成要部剖面圖。 -55· 1226290 (51) 圖31是表示PD P裝置之顯示裝置的要部分解立體圖 〇 圖32是表示FED裝置之顯示裝置的要部剖面圖。 【符號之說明】 I :液滴噴出裝置 II :噴出裝置 4 1 :噴頭單元 5 1 :機能液滴噴頭 58 :噴嘴面 59 :噴出噴嘴 1 04 :控制手段 1 1 1 :淸潔單元 112 :蓋單元 1 1 3 :噴頭蓋 1 15 :蓋夾具 1 2 1 :蓋座 121a :吸收材收容部 1 2 1 b :凹溝 1 2 1 c :環狀周緣部 1 2 2 :機能液吸收材 1 2 3 :吸收材按壓件 123a :框狀部 1 2 3 b :棧板狀部 (52) 1226290 124 :密封構件 124a :環狀突出部 1 2 4 b :環狀按壓部 1 2 4 c :環狀固定部 1 2 5 :密封固定構件 1 2 6 :位置規制塊 1 2 6 b :上部 127 :夾具本體 1 2 8 :線圈彈簧 W :基板（工件）

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Claims (1)

1226290 ⑴ 拾、申請專利範圍 1 · 一種噴頭蓋，其特徵係具備： 蓋座； 吸收材收容部，其係形成於上述蓋座的表面； 機^液吸收材，其係配置於上述吸收材收容部内； 吸收材按壓件，其係按壓上述機能液吸收材； 密' 件，其係形成能夠和機能液滴噴頭的噴嘴面密 著；及 密封固定構件，其係將上述密封構件固定於上述蓋座 ， 上述密封構件係於按壓上述吸收材按壓件的狀態下固 定於上述蓋座。 2 ·如申請專利範圍第1項之噴頭蓋，其中上述吸收材 收容部係由：充塡有上述機能液吸收材的凹溝，及區劃上 述凹溝且從上述蓋座突出的環狀周緣部所構成； 上述吸收材按壓件的周緣部係著座於上述環狀周緣部 〇 3 .如申請專利範圍第1項之噴頭蓋，其中上述吸收材 按壓件係形成薄壁； 具有：按壓上述機能液吸收材的周緣部之框狀部，及 按壓中間部之棧板狀部。 4 .如申請專利範圍第3項之噴頭蓋，其中上述框狀部 與上述棧板狀部係一體形成。 5 .如申請專利範圍第1項之噴頭蓋，其中上述吸收材 -58- 1226290 (2) 按壓件係由不銹鋼所形成。 6·如申請專利範圍第1項之噴頭蓋，其中上述密封構 件具有：密著於上述噴嘴面的環狀突出部，及按壓上述吸 收材按壓件的環狀按壓部，以及固定於上述蓋座的環狀固 定部，形成一體； 並且，於上述環狀突出部的背面側形成上述環狀按壓 部。 7 ·如申請專利範圍第6項之噴頭蓋，其中上述密封固 定構件係形成環狀； 在將上述密封構件的上述環狀固定部按壓於上述蓋座 的狀態下，以螺絲固定於上述蓋座。 8 ·如申請專利範圍第1項之噴頭蓋，其中更具備： 蓋夾具，其係使上述蓋座自由滑動保持於密著方向； 及 彈簧，其係承受上述蓋夾具，而使上述蓋座彈壓於密 著方向； 在上述蓋夾具形成有規制突部，其係反抗上述彈簧， 而使上述蓋座於稍微傾斜的狀態下進行位置規制。 9.一種液滴噴出裝置，其特徵係具備： 噴頭蓋，其係記載於申請專利範圍第1項者； 上述機能液滴噴頭； 離接機構，其係使上述噴頭盡對上述機能液滴噴頭相 對地離接； 吸引機構，其係連接至上述噴頭箋，經由密著的上述 -59- 1226290 (3) 噴頭蓋來從上述機能液滴噴頭吸引機能液。 1 0 · —種液晶顯示裝置的製造方法，係利用申請專利 範圍第9項所記載的液滴噴出裝置，在彩色濾光片的基板 上形成多數個攄光片元件之液晶顯示裝置的製造方法，其 特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入各色的濾光片材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述濾光片材料，而形成 多數個上述濾光片兀件。 1 1 ·一種有機EL裝置的製造方法，係利用申請專利範 圍第9項所記載的液滴噴出裝置，在基板上的多數個畫素 分別形成EL發光層之有機EL裝置的製造方法，其特徵 爲： 在上述機能液滴噴頭導入各色的發光材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述發光材料，而形成多 數的上述EL發光層。 12· —種電子放出裝置的製造方法，係利用申請專利 範圍第9項所記載的液滴噴出裝置，在電極上形成多數個 螢光體之電子放出裝置的製造方法，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入各色的螢光材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述電極進行掃描，選擇性地噴出上述螢光材料，而形成多 數個上述螢光體。 -60- (4) 1226290 1 3 . —種PDP裝置的製造方法，係利用申請專利範圍 第9項所記載的液滴噴出裝置，在背面基板上的多數個凹 部份別形成螢光體之PDP裝置的製造方法，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入各色的螢光材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述背面基板進行掃描，選擇性地噴出上述螢光材料，而形 成多數個上述螢光體。 1 4 . 一種電泳顯示裝置的製造方法，係利用申請專利 範圍第9項所記載的液滴噴出裝置，在電極上的多數個凹 部形成泳動體之電泳顯示裝置的製造方法，其特徵爲·· 在上述機能液滴噴頭導入各色的泳動體材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述電極進行掃描，選擇性地噴出上述泳動體材料，而形成 多數個上述泳動體。 1 5 · —種彩色濾光片的製造方法，係利用申請專利範 圍第9項所記載的液滴噴出裝置，在基板上配列多數個、應 光片元件而製成彩色濾光片之彩色濾光片的製造方法，其 特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入各色的濾光片材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述濾光片材料，而形成 多數個上述濾光片元件。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項之彩色濾光片的製造方法 ，其中形成有覆蓋上述多數個濾光片元件的外護層膜， -61 - (5) 1226290 在形成上述濾光片元件之後， 在上述機能液滴噴頭導入透光性的塗層材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述塗層材料，而形成上 述外護層膜。 1 7 · —種有機EL的製造方法，係利用申請專利範圍第 9項所記載的液滴噴出裝置，在基板上配列含E l發光層 的多數個畫素而成之有機EL的製造方法，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入各色的發光材料； 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述發光材料，而形成多 數的上述EL發光層。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項之有機EL的製造方法， 其中在多數個上述EL發光層與上述基板之間，對應於上 述EL發光層而形成有多數個畫素電極， 在上述機能液滴噴頭導入液狀電極材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述液狀電極材料，而形 成多數個上述畫素電極。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之有機EL的製造方法， 其中以能夠覆蓋多數個上述EL發光層之方式來形成對向 電極， 在形成上述EL發光層之後， 在上述機能液滴噴頭導入液狀電極材料， -62- 1226290 (6) 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述液狀電極材料，而形 成上述對向電極。 2 0 . —種間隔件形成方法，係利用申請專利範圍第$ 項所記載的液滴噴出裝置，在2片的基板間形成應構成微 小的單元間隙的多數個粒子狀的間隔件之間隔件形成方法 ，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入構成間隔件的粒子材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對至 少一方的上述基板進行掃描，選擇性地噴出上述粒子材料 ，而於上述基板上形成上述間隔件。 2 1 · —種金屬配線形成方法，係利用申請專利範圍第9 項所記載的液滴噴出裝置，在基板上形成金屬配線之金屬 配線形成方法，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入液狀金屬材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述液狀金屬材料，而形 成上述金屬配線。 2 2 · —種透鏡形成方法，係利用申請專利範圍第9項 所記載的液滴噴出裝置，在基板上形成多數個微透鏡之透 鏡形成方法，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入透鏡材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述透鏡材料，而形成多 -63- 1226290 (7) 數個上述微透鏡。 23·-種光阻劑形成方法，係利用申請專利範圍第9 項所記載的液滴噴出裝I在基板上形成任意形狀的光阻 劑之光阻劑形成方法，其特胃爲： 在上述機能液滴噴頭導入光阻劑材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對地對上 述基板進行掃描，選擇性地噴出上述光阻劑材料而形成 上述光阻劑。 2 4 · —種光擴散體形成方法，係利用申請專利範圍第9 項所記載的液滴噴出裝置，在基板上形成多數個光擴散體 之光擴散體形成方法，其特徵爲： 在上述機能液滴噴頭導入光擴散材料， 經由上述噴頭單元來使上述機能液滴噴頭相對性地對 上述基板進行掃描，選擇性地噴出上述光擴散材料，而开多 成多數個上述光擴散體。 -64-