TW583522B - Remote maintenance system for semiconductor manufacturing apparatus and plant-side client and vendor-side server and storage medium and remote maintenance method for semiconductor manufacturing apparatus - Google Patents

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583522 五、發明説明（ 技術領域 本發明，係關於半導體製造裝置之遠距維修系統，最 合用於該系統之工廢側客戶端、販賣者词服器端、半導體 製造裝置之遠距維修方法、程式、及存儲有該 媒體。 °心 技術背景 在製造半導體裝置時之處理工程方面，有姓刻、成膜 處理、研磨加工、及进射等之各種處理，同時使用對應於 這些處理之各種半導體製造裝置。例如，有一種可在一個 裝置内進行多數處理的，所謂群集裝置化之多室型製造裝 置。此型式之裝置’係將多數個真空處理連接於共同之運 运室，從透過具有寄存鎖定機能之預備真空室來連接於運 达室之搬入.搬出室，進行被處理基板亦即半導體晶圓之 搬入.搬出者，因而適於半導體裝置之高積體化、高生產 率化，被處理體之污染防止。 由於此種半導體製造裝置成為複雜的構成，所以一旦 故障的話為了修復而必須使裝置長時間停止，結果造成生 產率之惡化。為了使處理之半導體之成品率提高，維持給 定之生產率，而裝置之維修便成為重要。 然而，以往之半導體製造裝置之維修，通常是發生故 障時，先用電話或傳真等取得障礙資訊之後，再指示處理 方法。因此，販賣者側（供應商）無法正確地了解客戶側之 機裔的障礙狀態、和維修之狀態，且，在客戶側之維修程 序發生錯誤等時也無法進行適當之指示。又，有··因無法 本紙張尺度撕輯鮮（⑽機格（腹297則

•訂， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f: 583522 A7 _________Β7 五、發明説明（2 ) 獲得正確之障礙資訊，而在該裝置之修復上花很多之時間 的情況。在那時候，裝置之販賣者側之工程師實際到現地 處理時，也無法正確地掌握障礙即到現地，所以有時未帶 修復所需之零件和工具等，以致有浪費時間之情況。像這 樣’販賣者侧就裝置之故障開始進行適當修理之前已花不 少之時間，因而有裝置之運轉率降低，生產率下降之問題。 本發明，係鑑於這種問題而做者。其目的係在於提供： 對於遠距地之裝置也掌握運轉狀態、故障狀態、及客戶側 之維修狀態等，可迅速地提供適當維修内容的半導體裝置 之遠距維修系統；用於該系統而最合適之工廠側客戶端、 販賣者伺服器端；半導體製造裝置之遠距維修方法；電腦 程式；及存儲有該程式之記憶媒體。 發明之揭露 為了解決上述課題，而依據本發明之第一觀點，提供 一種半導體製造裝置之遠距維修系統，包含有··工廠側客 戶端，其係設在至少設置一個半導體製造裝置之工廠；販 買者側伺服器端，其係由進行前述半導體製造裝置之維修 管理的管理者所持有；及電路網，其係將前述工廠側客戶 端及前述販賣者側伺服器端連接成可雙向通信；其中 前述工廠側客戶端，包含有··資料收集部，其係用以 收集前述半導體製造裝置之狀態資訊；及收發部，其係透 過前述電路網將所收集之狀態資訊發送至前述販賣者側伺 服器端，同時接收從前述販賣者側伺服器端發送之資訊； 前述販賣者側伺服器端，包含有：判定部，其係根據 583522 A7 B7 五、發明説明（ 前述狀態資訊，判定對應半導體製造裝置之異常或準異 常；資料庫部，其係記憶有關於半導體製造裝置之維修資 訊；及收發部，其係從前述工廠側客戶端接收前述狀態資 訊’同時對於前述工廠側客戶端發送資訊或指示。 若依這種構成，則可在工廠側客戶端與販賣者側伺服 器端間進行資料之雙向收發，因此可實現半導體製造裝置 之遠距管理。又，根據狀態資訊來判定裝置之異常或準異 常，使用記憶有維修資訊之資料庫來進行資料之檢索，藉 此發生障礙時，也可迅速且正確地進行障礙重要原因之特 定。 即時，前述狀態資訊，宜包含前述半導體製造裝置之 運轉狀態資訊及裝置資訊。運轉狀態係關於裝置之運轉狀 態：資料。就裝置資訊來說，可舉出製程記錄、機器記錄、 故障追縱記錄等之各種記錄、及質點缺陷、成品率等之資 料例。 異 錄 又，則述維修資訊，宜包含··從由前述半導體製造裝 =之有關異*要因、其處理方法、各種參數之標準值、 常履歷1件交換履歷、零件之庫存資訊、維護要員目 所成之資訊群選擇的，1或多數之資訊。 在寸St1疋部’也可設定為：根據前述運轉狀態資訊， 月,J ’L半導體製造裝置之計書彳外停 _ 一j MT止時間之比例超出給定 比例，則述半導體製造裝置之計 pa ^ ^ ^ ^ I M了止時間超出給定時 出 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 間或、、、。❿間内之前述半導 終定i盔& 置之计劃外停止超 、，口疋_人數時，判定為異常。 6 五、發明説明（4 ) 又’前述判定部，宜設定為：根據前述裝置資訊，在 前述半導體製造裝置雖未到製程停機之地步但出現經過長 時間的話有可能到達製程停機之地步的狀態時，判定為準 異常。藉此，可在陷於深刻之障礙狀態之前進行迴避製程 停機之處理。 又，前述判定部，宜於該半導體製造裝置被判定為異 常或準異常時，比較成為異常或準異常之前後的前述裝置 貧訊與前述維修資訊，以推定異常原因或準異常原因。例 如，比較各資訊之參數，若一檢出異常之參數，即推定對 於其異常參數之原因。 —被利用於前述異常原因或準異常原因之推定的前述裝 置資λ且包含有.從由製程記錄、追縱記錄、及機界艽 錄所成之群選擇的，1或多數之記錄資訊。在此，所^程 記錄係指批單位之製程資料而言；追縱記錄，係指關於— 張晶圓之每秒之製㈣料而言。機器記錄係表示裝置之動 作狀態的記錄。又，若多數之異常原因或準異常原因已被 t定時’宜參考其異常原因之產生頻度’而且要提示原因 化’附記頻度之比例’按產生頻度之順序提示也可。 若推定異常原因或準異常原因之結果，判斷為需要零 件交換時，宜參考零件之庫存f訊。χ，若參考前述零件 之庫存資訊的結果’發現在給定之庫存量以下時，宜進行 該零件之自動訂購處理。藉此，可迴避零件之庫存中斷灯 並成為平時保有需要零件之狀態，所以儘 零件也可時常迅速地加以處理。

本紙張尺度適财_家群（_織格（2ΐ()χ297公爱) 五、發明説明（5 ) 依據本發明之第二觀點，提供一種半導體製造裝置之 遠距維修系統之工廠側客戶端，其係設置在設有至少一個 半導體製造裝置之工廠者，其特徵在於包含有·· 貧料收集部，其係用以收集前述半導體製造裝置之狀 態資訊；及 收發邛，其係透過可雙向通信之電路網，將所收集之 則述狀態資訊，發送至一進行前述半導體製造裝置之維修 管理的管理者所持有之販f者鋪服H端，同時接收關於 異常或準異常之判定的資訊，此判定就是由前述販賣者側 伺服器端根據前述狀態資訊及前述販f者側健器端所持 有之維修資訊來進行者。 那％候，刖述狀態資訊，宜包含有前述半導體製造裝 置之運轉狀態資訊及裝置資訊。又，也可設定為··根據前 述運轉狀態資訊，在前述半導體製造裝置之計劃外停止時 間之比例超出給定比例，前述半導體製造裝置之計劃外停 止¥間超出給定時間或給定時間内之前述半導體製造裝置 之計劃外停止超出給定次數時，判定為異常。又，可設定 為：根據前述裝置資訊，在前述半導體製造裝置雖未到製 程停機之地步但出現經過長時間的話有可能到達製程停機 之地步的狀態時，判定為準異常。又，前述異常原因或準 異常原因之判定宜根據前述裝置資訊來進行，並在其裝置 資訊中包含有：從由製程記錄、追蹤記錄及機器記錄所成 之群選擇的，1或多數之記錄資訊。 依據本發明之第二觀點，提供一種電腦程式，其係使 583522 A7 ---------Β7 五、發明説明（6 ) 電月自與刚述弟一觀點所s己載之工廢側客戶端起作用。又， 依據本發明之第四觀點，提供一種記憶有前述電腦程式之 記憶媒體。 依據本發明之第五觀點，提供一種半導體製造裝置之 遠距維修系統之販賣者侧伺服器端，其係透過可雙向通信 之電路網，接收由設在至少設置有一個半導體製造裝置之 工廠的工廠側各戶端所收集之前述半導體製造裝置的狀態 資訊，以進行前述半導體製造裝置之維修管理的，管理者 所持有之販買者側伺服器端者，此販賣者側伺服器端，包 含有： 判定部，其係根據前述狀態資訊，判定對應半導體製 造裝置之異常或準異常； 貢料庫部，其係記憶有關於半導體製造裝置之維修資 訊；及 收發部，其係從前述工廠側客戶端接收前述狀態資 訊，同時對於前述工廠側客戶端發送資訊或指示。 那時，前述狀態資訊，宜包含有前述半導體製造裝置 之運轉狀態資訊及裝置資訊。又，前述維修資訊，宜包含 有··從由關於前述半導體製造裝置之異常要因、其處理方 法、各種參數之標準值、異常履歷、零件交換履歷、零件 之庫存資訊、維護要員之目錄所成之資訊群選擇的，i或多 數之資訊。 前述判定部，也可設定為：根據前述運轉狀態資訊， 在前述半導體製造裝置之計劃外停止時間之比例超出給定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（21〇><297公爱） 9 ......................攀............！、ΤΓ.................線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 給體製造裝置之計劃外停止時間超出給定時 給定次2 料導體製造裝置之計射卜停止超出 ^ 時判疋為異常。前述判定部，宜根據前述裝置 現經過==導體製造裝置雖未到製程停機之地步但出 判定為準^村制㈣轉機之地步的狀態時， 或準1 部，宜在前述半導體製造裝置被判定為異常 訊與前：二Γ為異常或準異常之前後的前述裝置資 >貝訊，以推定異常原因或準異常原因。又， L ::則述異常原因或準異常原因之推定的前述裝置資 含有：從由製程記錄、追縱記錄及機器記錄所成 k擇的，1或多數之記錄資訊。 2夕數之異常原ϋ或準異常原因被推定了時，宜參考 ϋΐ原因之發生頻度，又，若參考所推定之異常原因或 / - <原目之結S ’判斷為有必要交換零件時，宜參考零 件之庫存資訊。然後，若參考前述零件之庫存f訊的結果， 發現在給定之庫存4訂時，线行舞件之自動訂購處 理。 依據本發明之第六觀點，提供_種電腦程式，i係使 電腦’與前述第五觀點所記載之”者側舰器端作用。 又’依據树日狀第讀點，提供-觀财前述電腦程 式之έ己憶媒體。 土依據本發明之第八觀點，提供_種半導體製造裝置之 遠距維修方法，包含有：工廠側客戶端，其係設、設 583522 五、發明説明（ 有個半導體製造裝置之工廠；販賣者側伺服器端，其係 由進行前述半導體製造裝置之維修管理的管理者所持有； 及電路網，其係將前述工廠側客戶端及前述販賣者伺服器 端連接成可雙向通信；其中 月’j述工廠側客戶端，收集前述半導體製造裝置之狀態 貝訊，同犄透過前述電路網將所收集之狀態資訊發送至前 述販賣者側伺服器端； 别述販貝者側伺服器端，即根據前述狀態資訊及關於 月述半‘體製造裝置之維修資m，判定對應半導體製造裝 置之異常或準異常，同時對於前述工薇側客戶端發送符合 於其判定結果之資訊。 那時，則述狀態資訊，宜包含前述半導體製造裝置之 運轉狀恶身訊及裝置資訊。前述判定，也可根據前述運轉 狀態資訊，設$為：#前述半導體製造裝置之計劃外停止 時間之比例超出給定比例、前述半導體製造裝置之計割外 停止時間超出給定時間或給定時間内之前述半導體製造裝 置之計劃外停止超出給定次數時，判定為異常。又，前述 判疋部宜設定為：根據前述裝置資訊，在前述半導體製造 裝置雖未到製程停機之地步但出現經過長時間的話有可能 到達製程停機之地步的狀態時，判定為準異常。 比 資 因 右則述半導體製造裝置被判定為異常或準異常時， 較成為異常或準異常之前後的前職置資訊與前述維修 訊，以推定異常原因或準異常原因。又，若推定異常原㈡ 或準異常原因之結果’判斷為需要零件交換時，宜參考零 本紙張尺細巾_家標準（CNS) μ規格（21〇χ_釐)_ A7 -------——__B7 五、發明説明（~ ----- 牛之庫存貝訊。然後，若參考前述零件之庫存資訊的結果， 發現在給定之庫存量以下時，宜進行該零件之自動訂購處 理。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^依據本發明之第九觀點，提供一種半導體製造裝置之 $距維修方法，包含有：客戶側伺服器端，其係用以管理 ^又置,工廠内之半導體製造裝置；管理側伺服器端，其係 透過可雙向通信之電路網而與前述客戶側伺服器端連接， 以管理前述客戶側伺服器端；其中 —前述客戶側伺服器端，收集裝置資訊後將之發送至前 迟笞理側伺服器端，該裝置資訊即包含有工廠内之半導體 衣k衣置之運轉狀態資訊及故障狀態資訊、以及對於工廠 側之則述半導體製造裝置的維修狀態資訊； 前述管理側伺服器端，即根據前述裝置資訊，掌握半 ‘體衣造裝置之運轉狀態及故障狀態、以及對於前述工廠 側之前述半導體製造裝置的維修狀態，從存儲於資料庫之 處理方法中，選擇最合適之處理方法，然後將之發送至前 述各戶侧伺服器端。若依這種構成，則管理側也可對於遠 距地之裝置取得裝置資訊，因而可掌握裝置之狀態。又， 參考資料庫，透過電路網來通信，藉此可迅速且正確地提 供最合適之處理法。 那時’前述管理側伺服器端，便根據前述維修狀態， 判定前述工廠側之前述半導體製造裝置之對應有否錯誤， 右有錯誤時，將用來補正其錯誤之處理方法發送至前述客 戶側飼服端。若依這種構成，則可防止因錯誤之處理而 本紙張尺度適财關緖準(_Α4ϋ( 210X297公釐) Τ 12 : 583522 A7 _ B7 五、發明説明（l〇 ) 引起故障和不適合之事。 圖式之簡單說明 第1圖係半導體製造裝置之概略平面圖。 第2圖係半導體製造裝置之概略側面圖。 第3圖係本發明實施形態之系統構成圖。 第4圖係本發明實施形態之機能方塊圖。 第5圖係發送資料之輸入幀面的一例。 第6圖係狀態資料之顯示例。 第7圖係運轉狀態資訊顯示幀面之一例。 第8圖為一流程圖，係顯示第一實施形態之系統動作。 第9圖係顯示製程參數及各氣體之量。 第10圖為一流程圖，係顯示第二實施形態之系統動作。 第11圖為一流程圖，係顯示第三實施形態之系統動作。 用以實施發明之最佳形態 以下，一邊參考附圖，一邊說明本發明蝕刻方法之合 適的實施形態。又，於以下之說明及附圖，關於具有大致 同一之機能及構成之構成要素者，附以同一符號，重複說 明即從略之。 第1圖、第2圖分別為多室型製造裝置之概略平面圖及 概略側面圖。一邊參考第1圖、第2圖，一邊就本製造裝置 之全體構成說明之。製造裝置1，係在備有用來運送被處理 體（例如，半導體晶圓W)之運送臂2的真空運送室4之周 圍，使第--第六閘閥G1〜G6介於中間，而配置有第一及 第一裝載鎖定室6、8，及用來施加各種處理於半導體晶圓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公 ...................裝..................訂..................線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 13 A7 一 '——— B7 _ 五、發明說明（η ) W之第一〜第四真空處理室10、12、14、16。 第一及第二裝載鎖定室6、8,係一邊維持真空運送室4 之減壓氛圍氣’一邊在真空運送室4與大氣壓氛圍氣之真空 運送室4外部之間，搬入.搬出半導體晶圓w者。利用設在 第一及第二裝栽鎖定室6、8下部之真空泵及由氣體供給系 統所成之壓力調整機構18，適宜設定第一及第二裝載鎖定 室6、8内之壓力。又，第一及第二裝載鎖定室6、8之大氣 側開口部，係分別藉第七及第八閘閥G7、G8來開閉自如地 密閉著。藉由驅動機構（未圖示）使構成各閘闊之閥體上下 矛夕動，藉此進行第一〜第八閘閥G1〜G8之開閉動作。又， 弟2圖，係顯不從製造裝置1卸下第一〜第四真空處理室 ’ 12 ’ 14，16之狀態。 其次’就本發明第一實施形態之半導體製造裝置的遠 距維修系統及方法說明之。第3圖，係本實施形態之系統構 成圖。工廠l〇〇a，係用來製造半導體之工廠，而處於作為 半V體製造裝置之用戶的立場。在工廠1 〇〇a，設置有客戶 端100 ’半導體製造裝置102，104，而用區域網路（LAN) 把該等設施連結起來。工廠l〇〇i.......l〇〇n也具有伺服器 ^及半導體製造裝置’並具有同樣之構成。又，工廠 l〇〇n所具有之半導體製造裝置，可為依工廠而有各式各樣 之種類及台數。 販賣者（Vendor)200a，係用來進行工廠100a....... 100i ......100n所具有之半導體製造裝置的維條管理之供 應商者，販賣者200a具有伺服器端200，電腦202，204，206， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 14 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、TrJ t 583522 A7 ______B7 五、發明説明（I2 ) 而用廠内網路來連接起來，電腦202，2〇4，2〇6，可為設置 在販賣者200a各部門，各企業所之電腦，但電腦之台數並 不限定於此。客戶端200與伺服器端20〇 ,係透過可雙向通 信地連接之電路網也即網際網路，來連接著。 第4圖係顯示客戶端1〇〇與伺服器端2〇〇之機能方塊 圖。在此，例示具有1或多數之工廠側客戶端丨〇〇中之一個。 工廠侧客戶端100，備有資料收集部11〇、收發部12〇、及顯 示部130。資料收集部，係按各給定時間間隔，收集半 V體製造裝置102, 104等之狀態資訊。在狀態資訊，包括 有裝置之運轉狀態資訊、裝置資訊、故障狀態資訊、維修 狀態資訊等。收發部120，係透過網際網路3〇〇將所收集之 狀態資訊發送至販賣者200a側之伺服器端200,同時接收從 伺服器端200發送之資訊。顯示部13〇，係用來顯示各種資 訊。 販賣者200a侧伺服器端200，備有收發部210、判定部 220、資料庫部230、顯示部240、及管理部250。收發部210 , 係從工廠側客戶端1 〇〇接收狀態資訊，同時對客戶端1⑼發 送資訊或指示。判定部220，係根據狀態資訊來判定對應裝 置之異常。在資料庫部230,記憶有每裝置類別之異常要因 及其處理法，各種參數之標準值，每各裝置之異常履歷及 零件交換履歷、零件之庫存資訊、維護要員之目錄等之維 修資訊，逐次更新資料庫部之資料。顯示部240，係用以顯 示各種資訊。管理部250，係用以管理各種資訊，進行根據 判定部220之判定結果的處理，在資料庫部230之檢索指 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X 297公釐） 583522 A7 _____B7_ 五、發明説明（Π ) 示’對於客戶100及關係機關之通知指示等。 第5圖〜第7圖係顯示裝置之運轉狀態資訊的例。第5 圖係由工廠側客戶端100發送之資料的輸入幀面例，作為發 送資料項目來說，例如有：序列號: Serial Number)、 裝置類別（TYPE)、時曰（Data-Time)、裝置狀態（τ〇〇1 Status)、狀％ (Statas)、故障碼、說明（Comment)、擔任者 ID(PID : PersonallD)等。 第6圖，係顯示狀態、裝置狀態之資訊的一例，狀態 係顯示裝置之運轉其本身，例如UP Time(運轉）、Scheduled Down(計劃停止）、Unscheduled Down(計劃外停止；裝置狀 怨係顯示其詳細之狀態。即，Up Time，其更詳細者顯示 PRDCT(生產）、STDBY(待命）、ENGNI(工程）；Scheduled Down ’其更詳細者顯示PMC(定期洗淨）、PMGRE(定期維 修）；Unscheduled Down，其更詳細者顯示：FIXING(修理 中）、WAIFIX(等待修理）、WAPART(等待零件）、PROCED(依 據步驟書之修理、PRODWN(製程停機）；而Nonscheduled Down，其更詳細者即顯示如DAYOFF(假曰）一般之「狀態」 的更詳細之狀態’在本實施例方面，雖包含此兩者，但其 中之一方也可。 第7圖，係根據所接收之資訊，顯示於販賣者側伺服 器端200之運轉狀態顯示幀面。在此處，顯示輸入時曰、裝 置、狀態。若於顯示幀面，將指標置於顯示裝置之部並發 出鍵音（Click)，則可看見關於其裝置之詳細資訊，此等運 轉資訊，主要用於裝置之異常判定。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） 16 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’ 583522 A7 ----------?ι 五、發明説明（14 ) :- 就裝置資訊來說，可與 了舉出製程記錄、機器記錄、追蹤 έ己錄、及質點、缺陷、士 口 μ 成口口率寺之資料例。製程記錄為每 #，種> 數’例如處理氣體之壓力值和Μ電力值之平均 值取大值、最小值等之製程資料。機器記錄為顯示裝置 之動作狀恕的記錄。追縱記錄為關於一張晶圓之每給定時 間，例如每秒之製程資料。此等之裝置資訊，主要被用於 異常原因之判定。 故Ρ早狀恶貝訊為用來顯示裝置之故障狀態之資訊；維 修狀態為用來顯示對於工廠側裝置之維修狀態的資訊。 又’將系統構成為運轉狀態資訊包含故障狀態資訊及維修 狀態之-部分和概略也可。例如，第5圖及第6圖之故障碼 係關於故障狀態者；而PMCLE(定期洗淨）、pmgre(定期 維修）、fixing(修理中）、WAIFIX(等待修理）、WAPART(等 待零件）、PROCED(根據步驟書之修理），則關於維修狀態 者。 其次，使用本實施形態之系統，就用來進行半導體製 造裝置之遠距維修方法，一邊參考第8圖一邊詳細說明之。 第8圖係顯示本實施形態之動作的流程圖。設置在各工廠 之各戶端100的資料收集部11 〇 ,首先，收集由LAN(區域網 路）所連接著之半導體製造裝置的狀態資訊（步驟s丨〇 1)。在 狀態資訊，一如前述，包括有裝置之運轉狀態資訊及裝置 資訊。 接著，藉收發部120，透過網際網路300，將所收集之 狀悲資訊發送至販賣者（供應商）200a之伺服器端2〇〇(步驟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2〗〇><297公釐） 17 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 裝丨 t· :線丨 583522 A7 I五、發明説明"7^5 ) " " ' ： S102) ’步驟sl〇1，sl〇2之收集，發送作業，雖按各給定 2間間隔(例如5分鐘等)進行，但在考慮管理之容易度、或 t置之負荷等下’設定為3G分、H、時等之時間也無妨。又， _於運轉狀態資訊，將其作成當狀態有變化時予以發 送也可。 接者，利用販賣者20〇a之伺服器端2〇〇之收發部21〇， 來接收被發送的狀悲資訊（步驟S1Q3卜伺服器端綱，根據 此狀恕貧訊來監視裝置之狀態（步驟sl〇4)，其監視内容可 第7圖所示之巾貞面來確認。在步則刚方面，為了判定 異常而進行各種核對、參數之算出等。 其-人，藉判疋部220來進行異常之判定（步驟sl〇5)。以 了’舉出異常之判定方法例。首先，可根據裝置之計劃外 停止（Unscheduled Down)來判定異常。就第一手法來說， #給定時間内之計劃外停止時間之比例超出給定比例時， 判定為異常。例如，若把給^時間設為5小時，把給定比例 設為20%時’計劃外停止時間超出H、時時即判定為異常。 為此，由伺服器端細，算出給定時間内之計劃外停止時間 之合计、及對於其合計時間之給定時間的比例。 就第二手法來說，若計劃外停止時間經過給定時間以 | 上時，判定為異常。例如，若把給定時間設為丨小時時，計 劃外停止時間超出H、時時即判定為異常，就第三手法來 說，若給定時間内之計劃外停止之次數超出給定次數時， 即判定為異常。例如，若把給定時間設為5小時，把給定次 數設為6次時，當5小時以内計劃外停止發生6次以上時即判 丨· —I III· ——— 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Μ規格（2K)X297；^ --------

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) t ^3522 A7 B7 五 "發明説明 16 疋為異常。為此，由伺服器端2〇〇，算出給定時間内之計劃 外停止的次數。 或者’不是裝置之計劃外停止，而是由工廢之操作者 將顯示裝置異常之趣旨輸入於由裝置之操作者所輸入之運 轉狀態資訊之Comment(說明）時，判定為異常也可。又， 使用第6圖所示之裝置狀態的pr〇Dwn(製程停機）之時 間、-人數’來判定也可。最好，隨上述一般之給定比例、 次數等之製程條件、裝置類別等，而適宜地設定。 若於步驟S105判定為非異常時，繼續進行監視。若判 定為異常時，比較被判定為異常之前後的維修資訊與裝置 資訊精此推疋異常原因（步驟S ι〇6)〇因為在資料庫部230 所記憶之維修資訊，記憶有每裝置類別之異常要因，各種 參數之標準值，每各裝置之異常履歷及零件交換履歷等， 所以只要參考此等之資料，把各種參數同資料庫中之標準 值比較，特定那一參數為異常，藉此檢出異常之資料，即 推定對應於其異常參數之原因。 在衣置資訊，包含有各種記錄。例如，把出現在製程 記錄内之參數值，同預先記憶在資料庫内之標準值比較， 推定該表示異常值之參數究竟為那_參數，以資料庫檢索 對應於其異彳參數之異常原因。關於追縱記錄，也可同樣 地進行。此％，使用將製程記錄及追蹤記錄平均化的資料 也可。只使用製程記錄、追縱記錄中之_方也可，或待用 製程記錄來減大概之異常參數之後，藉追縱記錄來更詳 細地調查，以特定異常參數等，使用兩方也可。又，待製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） 19 .....................:裝..................訂..................線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 583522 A7 _____B7 五、發明説明（I7 ) 程終了後，比較該製程之平均值與各製程之值，以進行好 壞之判定也可。 第9圖為某製程之廢氣的監控結果；其顯示含在廢氣 中之各種氣體C2F6、SiF4、C2F4、CF4、C〇f2之量。在第9(a) 圖方面，將外加之高頻電力值作為參數，而第9(b)圖即把 CSF8流置作為參數。於此製程，外加電力33〇〇w、匕匕流 量18 seem為由製法所設定之標準值者。 於第9(a)圖，外加之高頻電力為28〇〇w時之各氣體之 i ’車父之外加電力為3300W時，COF2突出而成多量，c2F4 也夕，反之，CF4變少。外加電力為38〇〇w時，SiF4比外加 電力為3300W時較多，反之，cob變為較少。於第9(b)圖， C5F8流量為 15 sccm時，c2F4、CF4比（:&流量為 18sccm時 變為較少。Cf8流量為21SCCm時，QF4即比(：$8流量為 18sccm時，較為突出而成多量。 像這樣，在外加之高頻電力值之變動、（^匕流量之變 動下，廢氣中之各氣體量隨著變動之事已為周知。因此， 只要預先將這種各種參數及因其變動而產生之狀態和其傾 向記憶於資料庫，即在發生異常時可有效地推定其異常原 因。 若因機器記錄來判斷時，確認是否進行了根據用來實 行製程之程式或流量之動作，若有未進行適當動作之動 作，則藉資料庫來檢索因其不良動作而引起之異常原因。 又’也有製程資料之異常參數有多數之情況，那時即與機 器記錄等其他記錄之異常取得關聯，檢索異常之原因也 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 20 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、Ρ.Γ t 發明説明（18 ) 可例如’為了以機器記錄，檢出大概之異常部位之後， 松出其異常部位之異常要因，而使用追蹤記錄等，將關聯 參數同閾值比較也可。 ;^索之結果，判明推定原因之有無（步驟S107)。若有 推疋原因，則進行對於其推定原因之處理法以及對於其處 理成為必要之零件、夾具、維護要員（工程師）之目錄等的 檢索（步驟S108)。根據檢索結果，將異常原因、處理法、 零件、最短處理可能時間等，向工廠側通知（步驟si〇9)。 就此通知之内容來說，例如可為「異常要素：氣體壓力之 下降，推定原因：〇〇部之損壞；處理法：丨、零件〇與八 之父換、2、X部之清洗；1程師：可能於〇月〇日 達」等。 又，若考慮多數之異常原因時，從資料庫參考其發生 頻度’從發生頻度高者提示也可。及，參考各個裝置之異 =履歷、零件交換履歷之兩者或其中—方之履歷，進行推 疋原因之順序設^，依此順序提示也可。例如，若外加於 上部電.極之高頻電力值同閾值比較之結果為異常，在資料 庫之檢索結果，來自高頻電力異常之推定仙有多數時， 顯示頻度之百分㈣，依資料庫中之每裝置類別之發生頻 度順序，提示其推定原因及其處理法也可。 若在步驟謂之檢索結果，只對工礙指示處理方法即 可時，藉著通知指示内容來應付。若判斷處理時需要 之交換時’向資料庫參考零件之庫存資訊（步驟川6)。若 有零件之料“要發送零件時m料知零件 A7 ^^ ----~— B7 五、發明説明（19^ " ^一 --~~ 之趣曰’同時向販賣者側之關係機關通知零件之發送指 I 若4考令件庫存資訊之結果，發現在給定之庫存 里二下時，進行該零件之自動訂購處理。又，若在步驟Sl〇7 未施判明推定原因時，向擔任維護要員發出對應指示（步驟 SU5)。如上述一般之處理作業係藉管理部250來進行。 工廠侧，於是接收由步驟sl〇9發送之通知（步驟 川〇)。然、後，判斷是否需要販#者侧之維護要員（工程師） ，處理(步驟S111)’若有必要即向販賣者側回信其趣 曰，若沒有必要時向販賣者側回信其趣旨，由工廠側之人 貝來應付（步驟S112)，判斷處理是否完了（步驟SU3)，若完 了岭即結束，反之未完了時即返回步驟s丨〇丨，重覆直到完 了為止。販賣者側，即接收由步驟sill判斷之要不要對應 處理之回答（步驟S114)，接著判斷是否需要對應（步^ S115) ’若有必要即向擔任維護要員（工程師）發出對應指示 (步驟S116)，結束處理。若在步驟SU5不需要對應處理時， 進入步驟S104，繼續監視。 如上所述，若依本實施形態，則由於使用網際網路來 收發資料，參考資料庫來進行關於障礙之檢索，所以可實 現半導體製造裝置之遠距管理，即使發生障礙，也可迅速 且正確地進行障礙要因之特定。同時，可統一檢討關於裝 置之資訊，並可進行正確之診斷，可進行裝置之顧問業務。 又，由於裝置之狀態資訊可藉配置在網際網路上之多數電 腦來顯示，而可由多數人同時監視裝置，從而可達成資訊 之掌握及共有化。更且，由於使用由網路連接的顯示機，

本紙張尺細刪瓣（_ (21GX29織)-7^-J 583522 A7 ____B7_ 五、發明説明（20 ) 使裝置之資訊可在全世界之場所入手，所以只要在世界之 預定地配置人員，互相監視裝置，即不需要夜班之人員， 只用白天上班之人員就可達成高品質之24小時支援。又， 在世界之至少一個地方配置可在24小時體制下支援之人 員，藉此可用最小限度之人員來支援全世界之裝置。 其次，就本發明第二實施形態之半導體製造裝置的遠 距維修系統及方法說明之。本實施形態之異於第一實施形 態之地方在於：工廠側之伺服器端與販賣者側之伺服器端 平時連接起來，在判定時除了前述異常狀態以外，也可判 疋準異常狀態。本實施形態之系統構成係與第一實施形態 同樣，所以省略其說明。 本實施形態中之工廠側伺服器端及販賣者側伺服器 端也具有與第4圖同樣之構成。本實施形態中之工廠側客戶 端100’備有：資料收集部110、收發部120、及顯示部130， 資料收集部110，係按各給定時間間隔，收集半導體製造裝 置102、104等之狀態資訊。在狀態資訊，包括有裝置之運 轉狀態資訊及裝置資訊等。收發部120，係透網際網路3〇〇 將所收集之狀態資訊發送至販賣者2〇〇a側之伺服器端，同 、時接收從伺服器端200發送之資訊。顯示部130 ,係用來顯 示各種資訊。 本實施形態之販賣者200a側伺服器200，備有收發部 210、判定部220、資料庫部230、顯示部240、及管理部250。 收發部210，係從工廠側客戶端1 〇〇接收狀態資訊，同時對 客戶端發送資訊或指示。判定部220，係根據狀態資訊來判 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 23 ......................^..................ΤΓ.................•皞 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 -----~----!Z__ 五、發明説明（21) 1 :- 疋對應裝置之異常或準異常。在資料庫部，記憶有每裝 ;、別之異《要因及其處理法，各種參數之標準值、異常 值、準異常值、每各裝置之異常履歷及零件交換履歷、零 :之庫存資訊、維護要員之目錄等之維修資訊。逐次更新 J料庫部之資料，顯示部240,係用以顯示各種資訊。管理 係用以官理各種資訊，進行根據判定部220之判定 口果的處理’在資料庫23G之檢索指示，對於客戶端⑽及 關係機關之通知指示等。 在此，作為準異常值及異常值之定義來說，異常值係 為I裝置成為停止而設定之值，而準異常值就是雖未到裝 置停止之地步，但長時間經過的話有可能到達停止之地步 的值。也就是將具有此種準異常值即參數時之狀態，作為 準異常狀態來定義。 其-人，就使用本實施形態之系統來進行半導體製造裝 置之退距維修方法，一面參考第10圖一面詳細說明之。第 ίο圖係顯示本實施形態之系統動作的流程圖。設置在各工 廠ίο之客戶端1〇〇的資料收集部110,首先，收集(區 域網路）所連接著之半導體製造裝置的狀態資訊（步驟 5201) 。在狀悲資訊，一如前述，包括有裝置之運轉狀態資 訊及裝置資訊。 接著，藉收發部120，透過網際網路3〇〇，將所收集之 狀態資訊發送至販賣者（供應商）200a之伺服器端2〇〇(步驟 5202) ，步驟S2〇1，S202之收集、發送作業，在本實施形 態方面，經常進行。 24 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 峰 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（22) 接著，利用販賣者200a之伺服器端2〇〇之收發部21〇， 來接收被發送的狀態資訊（步驟S2〇3),伺服器端2〇〇，於是 根據此狀態資訊，大致即時監視裝置之狀態（步驟S2〇4)， 其監視内容可用第7圖、第8圖所示之幀面來確認。在步驟 S204方面，為了異常或準異常而進行各種核對、參數之算 出等。 # 準異常之判定方法，可作成基本上與異常之判定方法 同一，也可只變更設定其閾值。或者，為了準異常之判定， 而使用與異常判定不同之參數和項目也可。 根據如上述之判定方法，藉判定部22〇來進行準異常 之判定（步驟S205)。在此，若判定為非準異常時，進入下 一步驟，與第一實施形態同樣，進行異常之判定（步驟 S105)。以下，進行與第一實施形態同樣之動作。 若被判定為準異常時，檢索資料庫部230中所記憶之 資訊，藉此推定準異常原因，其處理方法（步驟S2〇6)。原 因之推定方法係與第一實施形態之異常原因之推定方法同 樣，然後，向工廠側之客戶端1〇〇通知準異常狀態、準異常 原因及其處理方法（步驟S207)。若此時推定多數之原因 時，從資料庫參考其發生頻度，依發生頻度順序提示多數 之推定原因及其處理法也可。 工廠側即接收此通知（步驟S2〇8)，根據通知内容進行 處理，然後從客戶端100朝販賣者側之伺服器端2〇〇再度發 送對於此通知之應答（步驟S209)。伺服器端2〇〇即接收工廠 側之應合（步驟S210)，判斷是否需要對應（步驟S2U卜若 A7 B7 五、發明説明（23 “要即進人步驟⑽’進行處理法、零件、夾具、維護要 貝之目錄等之檢索，若不需要對應時，即進人步驟讀， 繼續監視。 ▲如上所述，若依本實施形態，則除了第一實施形態之 果以外t獲知以下之效果。由於客戶端⑽與飼服器端 200經常連接起來’時常可收發資料，所以可即時對應處 理又，由於進灯準異常狀態之判定，在準異常狀態時檢 出障礙停止等之計劃外停止的預兆，可為避免此障礙而發 出處理之指示’所以可在陷於關之障礙狀態前加以處 理’更有助於運轉率之提高。 裝 零 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .t …在上述例方面，雖說明了在異常時從販賣者向工廠側 進行通知之例，但也可設定為在其料之情況也進行通 知。例如’可藉著管理資料庫，而了解障礙發生頻度、 置之維修履歷，所以關於每裝置類別之障礙發生頻度 者:通知其趣旨及有效之處理法，或者，根據各裝置之 件交換履歷來管理零件之交換、清洗、定期檢查等之時期， 一到此等之時期即通知其趣旨也可。 其-人，就本發明第三實施形態之半導體製造裝置的遠 >隹G系、，先及方法洸明之，本實施形態之系統構成，係與 第3圖所7^之第—f施形態同—’所以省略此部分之說明， 本貰施形態之特徵，係在於判定進行維修時之對應處理是 否有錯誤’而有錯誤時進行補正者。以下，將此點重點地 說明之。 本只知形態之機能方塊圖雖也可用第4圖來表示，但

583522 A7 ____B7 五、發明説明（24 ) 一 " 各部之機能卻與第一實施形態者有一點不同。今一邊參考 第4圖，一邊說明本實施形態中之各部的機能，第4圖係顯 示客戶端100及伺服器端200之機能的方塊圖。在此，乃例 示1，或多數之工廠側客戶端100中之一個。工廠側客戶端 100,備有資料收集部110、收發部12〇、及顯示部13〇。資 料收集部110,係用以收集半導體製造裝置1〇2、104等之狀 態資訊。收發部120，係透過網際網路300將所收集之狀態 資訊發送至販賣者200a側之伺服器端2〇〇,同時接收從伺服 器端200發送之資訊，顯示部13〇，係用來顯示各種資訊。 販賣者20(^側伺服器端200，備有收發部21〇、判定部 220、貧料庫部230、顯示部240、及管理部25〇。收發部210， 係從工廠側客戶端100接收狀態資訊，同時對客戶端1 〇〇發 送資訊或指示。判定部220,係根據狀態資訊來判定工廠側 之裝置之對應處理有否錯誤。在資料庫部230，記憶有：對 應於每裝置類別之故障狀態的處理法；及每各裝置之異常 履歷及零件交換履歷等之資訊。逐次更新資料庫部之資 料。顯示部240，係用以顯示各種資訊。管理部25〇，係根 據狀態資訊掌握裝置之運轉狀態，故障狀態及對於工廠側 裝置之維修狀態，並管理各種資訊，進行根據判定部220 之判定結果的處理，由資料庫部23〇之檢索指示，向客戶端 100之通知指示等。 在狀態資訊中，與第一實施形態同樣，包含有裝置之 運轉狀態資訊、裝置資訊、故障狀態資訊、維修狀態資訊 等，例如包含有：裝置ID、裝置型式、時曰、裝置狀態、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2〗〇><297公董） 27 ........................裝..................、玎..................線 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 583522 A7 B7 五、發明説明（25 ) 表示故障狀態之錯誤訊息（警報）、表示動作内容及維修内 容之說明（Comment)等。工廠側客戶端100，係因被設成每 給定時間或每有裝置之運轉狀態、維修狀態產生變化時發 送這種資訊，而使販賣者側伺服器端200經常可掌握工廠之 裝置之狀態。 第11圖，係顯示前述系統之動作的流程圖。各工廠， 對於各半導體製造裝置進行處理（步驟S301)，而設置在各 工廠之客戶端100之資料收集部110,即收集由LAN(區域網 路）所連接著之半導體製造裝置的狀態資訊（步驟S302)，在 狀態資訊，一如前述，包括有裝置之運轉狀態資訊，故障 狀態資訊及對於工廠側裝置之維修狀態資訊等。接著，藉 收發部120，透過網際網路300，將所收集之狀態資訊發送 至販賣者（供應商）200a之伺服器端200(步驟S303)。步驟 S302、S303之收集，發送作業可按各給定時間間隔進行， 或者，也可把客戶端100與伺服器端200經常連接起來時常 進行。或者，運轉狀態有變化時及發生故障時，以及維修 内容有變化時，逐一發送也可。 接著，利用販賣者200a之伺服器端200之收發部210， 來接收被發送的狀態資訊（步驟S304)。伺服器端200，於是 根據此狀態資訊，掌握裝置之運轉狀態、故障狀態及對於 工廠側裝置之維修狀態（步驟S305)。此時，根據包含於裝 置狀態之命令、及包含於說明（Comment)之關鍵字，掌握 裝置之狀態也可。 然後，藉資料庫部230來檢索對於裝置之狀態最合適 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 28 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂.* · .· 583522 A7 B7 五、發明説明（26 之處理法（步驟S306)。例如，若是在裝置發生故障而出現 錯誤訊息之狀態時，藉資料庫部來檢索對應於其訊息之處 理法。其次，藉判定部220來判定之工廠側半導體製造裝置 之對應處理有否錯誤（步驟S3〇7)。若有錯誤時，藉資料庫 部230來檢索用來補正其錯誤之處理方法（步驟S3〇8)。然 後，向工廠側客戶端1〇〇發送其處理有錯誤之事及用來補正 錯誤之處理法（步驟S309)。若於步驟S307判定為非錯誤 時’繼續掌握裝置之狀態。 工薇侧即接收由步驟S309所發送之資訊（步驟S3 10)， 工廠側，接著判定這種資訊之接收的有無（步驟S3 11)，若 有接收蚪，判定有否實施用來補正之處理法（步驟S3 12)， 若有實施時繼續進行照原樣之補正的處理（步驟S313)，返 回步驟S302，繼續狀態資訊之收集。若於步驟S311沒有接 收％，返回步驟S301，繼續應付處理。若未在步驟S312實 施用來補正之處理法時，返回步驟S3〇1，進行處理。又， 在工場側方面，藉步驟§303發送資訊之後，判定修理是否 完了（步驟S314)，若完了時即結束，反之未完了時即轉移 至判定來自販賣者側之接收之有無的步驟S3n，以後，按 照上述之方式進行處理。 如上述，若依本實施形態，由於利用網際網路，而 使管理側也可對遠距地之裝置獲得關於裝置之資訊，可經 $单握裝置之故障狀態、及對於該狀態之處理的狀態， 藉著參考資料庫而可迅速地獲得最合適之處理法，所以 使在工廠側之對應有錯誤，也可立即訂正其錯誤，提供用 並 即 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝丨 訂· :線丨 本紙張尺度適财_家群（⑽）A4規格⑽χ297公爱) 29 583522 A7 _— _B7_ 五、發明説明（27 ) 來補正錯誤之最佳處理法。 又’於上述實施形態，在客戶端1〇〇與伺服器端2〇〇間 之資料的收發方面，將資料密碼化後加以發送，透過防火 牆（Fire Wall)拿進於資料庫，譯解密碼，或每各裝置設置 防火牆，分別個別地設定密碼也可。藉此可防止第三者取 得資訊，可提供高保全性之系統。 又’於上述實施形態，使工廠側客戶端100，具備一 具有與判定部220(販賣者側伺服器端2〇〇所具有）同樣之機 能的判定部，進行同樣之判定也可。 以上’雖一邊參考附圖一邊說明了本發明之合適的實 施形態’但不用說本發明並不限定於這種實施例，只要是 屬於此領域之業者，可在申請專利範圍所記載之技術思想 的範圍内’想出各種之變更例或修正例，關於此，當然也 屬於本發明之技術範圍。 例如，本發明雖舉出第1圖、第2圖所示之例，作為本 貝^形恕之半導體製造裝置，但本發明並不限定於此例。 一如上述之詳細說明，若依本發明，半導體製造裝置 之退距管理即變為可能，即使發生了障礙，也可迅速且正 確地進行障礙要因之特定。又，在準異常狀態時為了迴避 由P早喊所k成之停止的计劃外停止，而發出處理之指示， 所以在陷於深刻之障礙狀態之前，可加以處理，從而更有 助於運轉率和成品率之提高。更且，在世界之給定區域配 置人員’藉此不需要夜班人員，只靠白天上班人員即可達 成兩品質之24小時支援。又，在世界之至少一個地方配置 30 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 镰· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2〗0X297公釐） 583522 A7 B7 五、發明説明（28 可按24小時體制支援之人員，藉此可用最小限度之人員支 援王世界之裝置。又，依本發明之另一觀點，對於遠距地 之裝置，也可掌握運轉狀態和故障狀態、客戶側裝置之運 轉狀恶、故障狀態、及維修狀態，從而可提供適宜之維修 内容。特別，於客戶侧進行了錯誤之對應處理時，也可立 即a丁正，為補正而提供最合適之處理法。藉此，可迴避因 錯誤之對應處理而引起之深刻的故障，可有助於運轉率和 成品率之提高。 產業上之可利用性 本發明可利用於：半導體製造裝置之遠距維修系統， 適用於該糸統之工廠側客戶端、販賣者側伺服器端、及半 導體製造裝置之遠距維修方法及程式、存儲有該程式之記 憶體。其中，該半導體製造裝置之遠距維修系統係從遠距 地管理及維修蝕刻裝置等之半導體製造裝置時使用者。 ...................…：裝：… (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、-^丨 :線 31 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 583522 A7 B7 五、發明説明（29 ) 元件標號對照 1···製造裝置 2…運送壁 4···真空運送室 6,8···裝載鎖定室 10，12，14，16···真空處理室 18…客戶端 10(^，1001，10011”.工廠 102,104···半導體製造裝置 110···資料收集部 120,210···收發部 130,240···顯示部 200…伺服器端 200a…販賣者 202,204,206···電腦 220···判定部 230···資料庫部 250···管理部 300···網際網路 G1，G2，G3，G4，G5，G6，G7, G8…閘閥 W…半導體晶圓 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) t, 32 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 583522 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第91108802號案申請專利範圍修正本92年9月5曰 1· 一種半導體製造裝置之遠距維修系統，包含有：工廠側 客戶端，其係設在至少設置一個半導體製造裝置之工 廠；販賣者側伺服器端，其係由進行前述半導體製造裝 置之維修官理的官理者所持有；及電路網，其係將前述 工龜側客戶端及前述販賣者伺服器端連接成可雙向通 信；其中 前述工廠側客戶端，包含有：資料收集部，其係用 •以收集前述半導體製造裝置之狀態資訊；及收發部，其 f透過前述電路網將所㈣之㈣f訊發送至前述販 買者側伺服器端，同時接收從前述販賣者㈣服器端發 送之資訊； 前述販賣者側健器端，包含有··判定部，其係根 據前述狀態資訊，判定對應半導體製造裝置之異常或準 異常；資料庫部，其係記憶有關於半導體製造裝置之維 修貝訊，及收發部，其係從前述工廠側客戶端接收前述 狀恶貝Λ，同時對於前述工廠側客戶端發送資訊或指 示。 2·如申請專利項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於： 前述維修資訊，包含有：從由前述半導體製造裝置 之有關異常要因、其處理方法、各種參數之標準值、異 常履歷、零件交換履歷、零件之庫存資訊、維護要員目 本紙張尺度刺中國國家鮮格⑵0_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --裝--------訂---------線.·1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 297公釐） 33 錄所成之資訊群選擇的，W多數之資訊。 •:申請專利範圍第1項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於： At則述狀態資訊，包含前述半導體製造裝置之運轉狀 態資訊及装置資訊。 4.如申請專利範圍第3項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於： 、前述判定部’係根據前述運轉狀態資訊，在前述半 導體製造裝置之計劃外停止時間之比例超出給定比 例、前述半導體製造震置之計劃外停止時間超出給定時 間或給定時間内之前述半導體製造裝置之計劃外停止 超出給定次數時，判定為異常。 如申凊專利範圍第3項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於 前述判定部，係根據前述裝置資訊，在前述半導體 製w裝置雖未到製程停機之地步但出現經過長時間的 話有可能到達製程停機之地步的狀態時，判定為準異 常。 /、 6·如申請專利範圍第3項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於·· 前述判定部，係於前述半導體製造裝置被判定為異 常或準異常時，比較成為異常或準異常之前後的前述裝 置資訊與前述維修資訊，以推定異常原因或準異常原

   、申翁為論^ 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 Μ Α8 Β8 C8 D8 7.如申請專利範圍第6述之半導體製造裝置的遠距維 修系統，其特徵在於： 、。被利用於前述異常原因或準異常原因之推定的前 述凌置貝Λ，包含有：從由製程記錄、追蹤記錄及機器 記錄所成之群選擇的，1或多數之記錄資訊。 ° 如申叫專利範圍第6項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於： 右夕數之異常原因或準異常原目已被推定時，參考 其異常原因之發生頻度。 " .如申睛專利範圍第6項所述之半導體製造裝置 修系統，其特徵在於： 若推定異常原因或準異常原因之結果，判斷為需要 I件交換時’參考零件之庫存資訊。 10·如申凊專利範圍第9項所述之半導體製造裝置之遠距維 修系統，其特徵在於： 右參考前述零件之庫存資訊的結果，發現在給定之 庫存量以下時，進行該零件之自動訂購處理。 η·:種半導體製造裝置之遠距維修系統之工削則客戶 端其係叹在至少設有一個半導體製造裝置之工薇者， 其特徵在於包含有： 貝料收集部’其係用以收集前述半導體製造裝置之 狀態資訊；及 收發邛，其係透過可雙向通信之電路網，將所收集 之則述狀悲貝，發送至_進行前述半導體製造裝置之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4^^ x 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 本 頁 訂 維修&理的f理者所持有之販賣者側伺服器端，同時接 收關於異g或準異常之判^的資訊，此判定就是由前述 販賣者側伺服器端根據前述狀態資訊及前述販賣者側 伺服器端所持有之維修資訊來進行者。 申明專利範圍第11項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之工廠側客戶端，其特徵在於： 月I)述狀_資訊，包含有前述半導體製造|置之運轉 狀恶資訊及裝置資訊。 申#專利圍第12項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之工廠側客戶端，其特徵在於： ▲根據前述運轉狀態資訊，在前述半導體製造裝置之 计劃外停止時間 < 比例超出給定比例、前述半導體製造 j置之相外停止時間超出給定時間或給定時間内之 :述半導體製造裝置之計劃外停止超出給定次數時，判 从如申請專利範圍第12項所述之半導體製造裝置的㊃ 維修系統之工廠側客戶端，其特徵在於·· ㈣«置資訊，在前述半導體製造裝置雖未 製程停機之地步，但出㈣過糾_話村能達製程 停機之地步的狀態時，判定為準異常。 15·如申請專利範圍第12項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之工廠側客戶端，其特徵在於·· 列地井T原因或準異當眉夕釗〜7么L p…、 異吊原因之㈣疋，係根據前述」 置負戒來進行，並在立梦 上牡^忒置貝釩尹包含有··從由製程言 ^83522

   記錄及機器記錄所成之群選擇的，1或多數之 16二種記憶媒體’係可儲存-使電腦作為申請專利範圍第 項所把載之卫廠側客戶端作狀電腦程式者。 17.二種半導體製造裝置之遠距維修系統的販f者側飼服 p ’其係透過可雙向通信之電路網，接收由設在至少 有個半v體製造裝置之工薇的工薇側客戶端所 收集之前述半導體製造裝置的狀態資訊，以進行前述半 導體製造裝置之維修f理的，管理者所持有之販賣者側 伺服器端者，此販.賣者側伺服器端包含有： 判定部，其係根據前述狀態資訊，判定對應半導體 製造裝置之異常或準異常； 資料庫部’其係記憶有關於半導體製造裝置之維修 資訊；及 " 收發部’其係從前述工廠側客戶端接收前述狀態資 訊，同時對於前述工廠側客戶端發送資訊或指示。 18·如申請專利範圍第17項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於·· 前述維修資訊，包含有··從由關於前述半導體製造 装置之異书|因、其處理方法、各種參數之標準值、異 常履歷、零件交換履歷、零件之庫存資訊、維護要員之 目錄所成之資訊群選擇的，！或多數之資訊。 19.如申請專利範圍第17項所述之半導體製造裝置之遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於·· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印f

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   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】〇 X 297公釐 583522 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 月! J述狀悲貧訊，包含有·於、+、 5有·則述半導體製造裝置之運 轉狀態資訊及裝置資訊。 况如申請專利《第19項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者卿服H端，其特徵在於·· 前述狀部，録«料轉㈣資訊，在前 導體製造裝置之計割外停止時 Γ 1T止時間之比例超出給定比 例、前述半導體製造裝置之計劃外停止時間超出給定時 間或給定時間内之前述半導體製造裝置之計劃外停止 超出給定次數時，判定為異常。 Τ π如申請專利範圍第19項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於·· 前述判定部，係根據前述裝置資訊，在前述半導體 製k装置雖未到製程停機之地步但出現經過長時間的 話有可能到達製程停機之地步的狀態時，判定盈 常。 兵 22·如申言青專利範圍第19項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於： 前述判定部，係在前述半導體製造裝置被判定為異 常或準異常時，比較成為異常或準異常之前後的前述裝 置資訊與前述維修資訊，以推定異常原因或準異常原 因。 、 23·如申請專利範圍第22項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於： 在被利用於前述異常原因或準異常原因之推定的 ^張尺度適用中—家標準（CNS^^⑵Q χ 297公楚 Μ ^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 583522 Μ A8B8C8D8

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   前述裝置資訊，包含有：從由製程記錄、追縱記錄及機 器記錄所成之群選擇的，」或多數之記錄資訊。 24.如申請專利範圍第22項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於·· 若多數之異常原因或準異常原因被推定了時，參考 其異常原因之發生頻度。 25•如申請專利範圍第22項所述之半導體製造裝置的遠距 維修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於·· 若推定異常原因或準異常原因之結果，判斷為需要 零件交換時，參考零件之庫存資訊。 26如申請專利範圍第25項所述之半導體製造裝置的遠距維 修系統之販賣者側伺服器端，其特徵在於·· 若參考前料件之轉資訊的結果，發現在給定之 庫存量以下時，進行該零件之自動訂購處理。 27. -種記憶媒體，係可儲存一使電腦作為申請專利範圍第 Π項所述之販賣者伺服器端作用之電腦程式者。 28. -種半導體製造裳置之遠距維修方法，包含有：工廠側客戶端’其係設在至少設有一個半導體製造裳置之工 廠；販賣者側飼服器端，其係由進行前述半導體製造裝 置之維修管理的管理者所持有；及電路網，其係將前述 工廠側客戶端及前述販賣者難服器端連接成可雙向 通信；其中 前述工廢側客戶端，收集前述半導體製造裝置之狀 態資訊’同時透過前述電路網將所收集之狀態資訊發送

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格石冗了2_97公釐7

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   至前述販賣者側伺服器端； 則述販賣者側伺服器端，即根據前述狀態資訊及關 ;4述半導體製造裝置之維修資訊，判定對應半導體製 込凌置之異常或準異常，同時對於前述工廠側客戶端發 咬符合於其判定結果之資訊。 •如申請專利範圍第28項所述之半導體製造裝置之遠距 維修方法，其特徵在於： 珂述狀態資訊，包含前述半導體製造裝置之運轉狀 態資訊及裝置資訊。 3〇·如申請專利範圍第29項所述之半導體製造裝置的遠距 維修方法，其特徵在於： 若前述半導體製造裝置被判定為異常或準異常 時’比較成為異常或準異常之前後的前述裝置資訊與維 修資訊，以推定異常原因或準異常原因。 31·如申請專利範圍第29項戶斤述之半導體製造裝置的遠距 維修方法，其特徵在於： 前述判定，係根據前述運轉狀態資訊，在前述半導 體製造裝置之計劃外停止時間之比例超出給定比例，前 述半導體製造裝置之計劃外停止時間超出給定時間或 給定時間内之前述半導體製造裝置之計劃外停止超出 給定次數時，判定為異常。 32·如申請專利範圍第31項所述之半導體製造裝置之遠距 維修方法，其特徵在於： 若前述半導體製造裝置被判定為異常或準異a 本紙張尺錢时ϋ國家標準（CNsi^4規格（2；1〇><297公楚)--~—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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   /、、申清旱利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 知’比較成為異常或準異常之前後的前述裝置資訊與 述維修貝讯’以推定異常原因或準異常原因。 &如申請專利範圍第29項所述之半導體製造裝置 維修方法，其特徵在於： < 前述判定，係根據前述裝置資訊，在前述半導體製 造裳置雖未到製程停機之地步但出現經過長時間的丑話 有可能到達製程停機之地步的狀態時，視作準異常。 %如申請專利範圍第綱所述之.半導體製造|置之遠距 維修方法，其特徵在於： 若推定異常原因或準異常原因之結果，判斷為需要 零件交換時，參考零件之庫存資訊。 35·如申請專利範圍第34項所述之半導體製造裝置之遠 維修方法，其特徵在於： 若參考前述零件之庫存資訊的結果，發現在給定 庫存量以下時，進行該零件之自動訂購處理。 36.一種半導體製造裝置之遠距維修方法，包含有··客戶… 伺服器端，其係用以管理設置在工廠内之半導體製造裝 置，及官理側伺服器端，其係透過可雙向通信之電路網 而與前述客戶侧伺服器端連接，以管理前述客戶側伺服 器端； 前述客戶側伺服器端，收集裝置資訊後將之發送至 則述管理側伺服器端，該裝置資訊即包含有工薇内之 導體製造裝置之運轉狀態資訊及故障狀態資訊、以 於工薇側之前述半導體製造裝置的維修狀態資訊； 刖 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 距 之 側 半 及對 --裝--------訂---------線- 本紙張尺度適财關家醉（CNS)A4規格⑽⑽公發） 41 583522

   則述管理側伺服器端，即根據前述裝置資訊，掌握 半導體製造裝置之運轉狀態及故障狀態、以及對於前述 T廠側之前述半導體製造裝置的維修狀態，從存儲於資 料庫之處理方法中，選擇最合適之處理方法，然:後將之 發送至刖述客戶側伺服器端。 37.如申請專利範圍第⑽所述之半導體製造裝置的遠距 維修方法，其特徵在於： &前述管理側伺服器端，係根據前述維修狀態，判定 2述工廠側之前述半導體製造裝置之對應處理有否錯 若有錯誤時，將用來補正其錯誤之處理方法發送至 前述客戶側伺服器端。 Μ------— ut---------^ (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   - — II. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 42