TWI553469B - Information processing device, processing system, processing method and program - Google Patents

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TWI553469B
TWI553469B TW101109387A TW101109387A TWI553469B TW I553469 B TWI553469 B TW I553469B TW 101109387 A TW101109387 A TW 101109387A TW 101109387 A TW101109387 A TW 101109387A TW I553469 B TWI553469 B TW I553469B
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Shinichiro Araki
Katsuhiko Matsuda
Kiminori Okada
Taichi Ito
Susumu Nakajima
Nobuhiro Horiuchi
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Tokyo Electron Ltd
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Description

資訊處理裝置、處理系統、處理方法及程式
本發明係關於一種處理與半導體處理裝置相關之資訊之資訊處理裝置、處理系統、處理方法及程式。
先前，提出有如下系統，即連接監視工廠內之工業機械之主電腦與廠家側之電腦，於工業機械發生異常之情形時，廠家側之電腦向主電腦發送響應資訊(例如，參照專利文獻1)。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利第2706793號
然而，存在如下問題：於廠家側之電腦中不存在應該提供之資訊之情形時，無法向現場提供適當之資訊。於此情形時，操作者必需直接於現場採取對策，結果負擔增大。
本發明係鑒於上述情形而完成者。其目的在於提供一種藉由將應對所發生之異常時之應對資訊發送至其他電腦而共有該資訊，從而可積累各種技術知識，且可將更適當之應對方法提供給使用者之資訊處理裝置等。
本案所揭示之資訊處理裝置係處理與半導體處理裝置相關之資訊者，其包括：顯示部，其於半導體處理裝置發生 異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理部，其受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶部，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯而記憶；輸出部，其將所記憶之異常特定資訊及應對資訊經由通訊部輸出至外部；項目顯示部，其於發生異常之情形時，顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶部，其將自所顯示之複數個處理項目選擇之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；項目發送部，其將藉由該項目記憶部而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至外部；項目接收部，其接收自外部發送之異常特定資訊所對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示部，其於發生異常之情形時，顯示所接收之上述異常之異常特定資訊所對應之應對項目相關之統計。
本案所揭示之資訊處理裝置包括：獲取部，其於發生異常之情形時，獲取與該異常之異常特定資訊對應之應對資訊；及應對資訊顯示部，其顯示上述獲取部所獲取之應對資訊。
本案所揭示之資訊處理裝置中，上述獲取部包括：發送部，其於發生異常之情形時，將該異常之異常特定資訊經由上述通訊部發送至外部；及接收部，其接收自外部發送之異常特定資訊對應之應對資訊。
本案所揭示之資訊處理裝置包括：原因顯示部，其顯示複數個異常發生原因之候補；原因記憶部，其將選自所顯 示之複數個異常發生原因之異常發生原因與異常特定資訊建立關聯而記憶；及原因發送部，其將記憶於該原因記憶部之異常特定資訊及異常發生原因經由上述通訊部而發送至外部。
本案所揭示之資訊處理裝置包括：原因接收部，其接收異常特定資訊對應之異常發生原因相關之統計；及統計顯示部，其於發生異常之情形時，顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之異常發生原因相關之統計。
本案所揭示之資訊處理裝置中，上述統計係異常特定資訊對應之複數個異常發生原因之數量或比例，上述統計顯示部於發生異常之情形時，按由高至低之順序顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之複數個異常發生原因、及各異常發生原因之數量或比例。
本案所揭示之資訊處理裝置中，上述受理部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊及該應對資訊之保存期間資訊；上述輸出部將所記憶之異常特定資訊、應對資訊及保存期間資訊輸出至上述其他電腦。
本案所揭示之處理系統係將處理與半導體處理裝置相關之資訊之複數個資訊處理裝置及伺服電腦經由通訊網連接者，一資訊處理裝置包括：顯示部，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理部，其受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶部，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯而記憶；輸出部，其將所記 憶之異常特定資訊及應對資訊輸出至上述伺服電腦；項目顯示部，其於發生異常之情形時，顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶部，其將選自所顯示之複數個處理項目之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；及項目發送部，其將藉由該項目記憶部而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至上述伺服電腦；上述伺服電腦包括：資訊記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置發送之異常特定資訊及應對資訊；讀出部，其讀出由上述資訊記憶部記憶之異常特定資訊對應之應對資訊；發送部，其將所讀出之異常特定資訊對應之應對資訊發送至上述其他資訊處理裝置；應對項目記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置發送之異常特定資訊及應對項目；統計產生部，其根據該應對項目記憶部所記憶之複數個異常特定資訊對應之應對項目，產生與異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及統計發送部，其將由該統計產生部產生之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計發送至上述其他電腦；上述其他資訊處理裝置包括：接收部，其接收自上述伺服電腦發送之與異常特定資訊對應之應對資訊；應對資訊顯示部，其顯示該接收部所接收之應對資訊；項目接收部，其接收自上述伺服電腦發送之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示部，其於發生異常之情形時，顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計。
本案所揭示之處理系統中，上述受理部受理對所發生之 異常做出應對時之應對資訊及該應對資訊之保存期間資訊；上述輸出部將所記憶之異常特定資訊、應對資訊及保存期間資訊輸出至上述伺服電腦；上述伺服電腦包括：期間記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置輸出之異常特定資訊、應對資訊及保存期間資訊；及刪除部，其根據保存期間資訊而刪除已經過保存期間之異常特定資訊之應對資訊。
本案所揭示之處理方法係藉由包含控制部之資訊處理裝置而處理與半導體處理裝置相關之資訊者，且包括：顯示步驟，於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理步驟，藉由上述控制部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶步驟，將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯，並且藉由上述控制部而記憶；輸出步驟，將所記憶之異常特定資訊及應對資訊經由通訊部輸出至外部；項目顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶步驟，將選自所顯示之複數個處理項目之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；項目發送步驟，將藉由該項目記憶步驟而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至外部；項目接收步驟，接收自外部發送之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示所接收之上述異常之異常特定資訊所對應之應對項目相關之統計。
本案所揭示之程式係使包含控制部及顯示部之電腦處理與半導體處理裝置相關之資訊者，且使電腦執行如下步驟：顯示步驟，於半導體處理裝置發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理步驟，藉由上述控制部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶步驟，將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯，並且藉由上述控制部而記憶；輸出步驟，將所記憶之異常特定資訊及應對資訊經由通訊部輸出至外部；項目顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶步驟，將選自所顯示之複數個處理項目之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；項目發送步驟，將藉由該項目記憶步驟而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至外部；項目接收步驟，接收自外部發送之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計。
根據該裝置之一態樣，即便於發生異常之情形時，亦可藉由積累應對時之應對資訊並共有該資訊而積累針對異常之技術知識，並且可對使用者提供適當之應對方法。
實施形態1
以下，參照圖式對實施形態進行說明。圖1係表示處理系統之概要之模式圖。處理系統包括電腦1、半導體處理裝置20及資訊處理裝置2等。半導體處理裝置20係根據資訊處理裝置2之控制而對半導體進行處理之裝置。半導體處理裝置20為例如於晶圓上形成氧化膜之成膜裝置、清洗裝置、蝕刻裝置或曝光裝置。於本實施形態中，將半導體處理裝置20設為成膜裝置20進行說明，但並不限定於此。
資訊處理裝置2為例如組裝於成膜裝置20內部之電腦、外置於成膜裝置20外部之個人電腦或PDA(Personal Digital Assistance，個人數位助理)等。於本實施形態中，將組裝於成膜裝置20內部之電腦2作為資訊處理裝置2之一例進行說明。經由LAN(Local Area Network，區域網路)或網際網路等通訊網N而與複數個電腦2連接之電腦1為例如伺服電腦或個人電腦。以下，將電腦1設為伺服電腦1進行說明。於伺服電腦1與其經由通訊網N而連接之各電腦2A、2B、2C(以下，視情形以電腦2來代表)...之間，藉由HTTP(HyperText Transfer Protocol，超文本傳送協定)等收發資訊。
電腦2A、2B、2C分別組裝於成膜裝置20A、20B、20C(以下，視情形以20來代表)。例如，於成膜裝置20A發生異常之情形時，電腦2A顯示與所發生之異常相關之異常資訊。使用者將應對異常時之應對資訊輸入至電腦2A。電腦2A將所輸入之應對資訊與用以特定異常之異常特定資訊(以下稱為異常ID(IDentifier，標識符))一併發送至伺服電 腦1。
其後，於其他成膜裝置20B發生相同之異常之情形時，電腦2B將異常ID發送至伺服電腦1。伺服電腦1將與異常ID相對應之應對資訊發送至電腦2B。電腦2B中一併顯示異常資訊及所發送之應對資訊，使用者可根據作為技術知識之應對資訊而對異常採取對策。以下說明詳情。再者，各半導體處理裝置20亦可為不同種類之裝置。亦可為例如將成膜裝置20A、蝕刻裝置20B及曝光裝置20C加以連接之形態。又，於本實施形態中，列舉將各半導體處理裝置20設置於一個工廠或研究所等設施之例進行說明，但並不限定於此。例如，亦可為將成膜裝置20A及20B設置於一工廠，將成膜裝置20C設置於其他工廠，並且經由通訊網N進行連接。
圖2係表示電腦2之硬體群之方塊圖。電腦2包括作為控制部之CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)21、RAM(Random Access Memory，隨機存儲記憶體)22、輸入部23、顯示部24、記憶部25、通訊部26、通訊埠294及時鐘部28等。成膜裝置20經由通訊埠294連接於電腦2。
CPU21經由匯流排27與硬體各部連接。CPU21控制硬體各部分，並且根據儲存於記憶部25之控制程式25P而執行各種軟體功能。輸入部23係滑鼠、鍵盤、用以控制成膜裝置20之控制按鈕、開關、觸控面板等輸入器件。輸入部23將所受理之操作資訊輸出至CPU21。顯示部24係液晶顯示器或有機EL(electroluminescence，電致發光)顯示器等， 依照CPU21之指示而顯示包含異常資訊之各種資訊。
RAM22例如係SRAM(Static RAM，靜態隨機存儲記憶體)、DRAM(Dynamic RAM，動態隨機存儲記憶體)、快閃記憶體等。RAM22亦作為記憶部發揮功能，暫時記憶藉由CPU21執行各種程式時所發生之各種資料。通訊部26係無線或有線LAN卡等。通訊部26與伺服電腦1之間經由通訊網N進行資訊之收發。時鐘部28將日時資訊輸出至CPU21。
記憶部25係例如硬碟或大容量快閃記憶體等。記憶部25中除儲存有上述控制程式25P以外，亦儲存有異常檔案251、應對資訊檔案252、及異常歷程檔案253。再者，於本實施形態中為容易說明，列舉將異常檔案251、應對資訊檔案252、及異常歷程檔案253儲存於記憶部25之例進行說明，但並不限定於此。亦可將異常檔案251、應對資訊檔案252、或異常歷程檔案253儲存於伺服電腦1或未圖示之資料庫(以下稱為DB(date base))伺服器，CPU21視需要讀出或記憶資料。
通訊埠294係例如USB埠(Universal Serial Bus，通用串列匯流排)或基於RS232C標準之通訊埠等。通訊埠294進行電腦2與成膜裝置20之間的資訊之收發。成膜裝置20包括成膜處理部29、平台控制部290、第1感測器291、第2感測器292及第3感測器293等。成膜處理部29例如於晶圓上成膜氧化膜等。平台控制部290控制載置有晶圓之平台之移動。第1感測器291~第3感測器293係對成膜裝置20之溫 度、氣體流量、平台之位置等進行檢測之感測器。再者，於本實施形態中，為容易說明，僅對成膜裝置20之一部分功能進行說明，但亦可包含除此以外之構成。
圖3係表示異常檔案251之記錄佈局(record layout)之說明圖。異常檔案251中與異常ID建立關聯地記憶有與成膜裝置20中所發生之異常相關之異常資訊。異常檔案251包含異常ID欄位及異常資訊欄位。異常ID欄位中記憶有用以特定成膜裝置20所發生之異常之固有ID。異常資訊欄位中與異常ID建立關聯地記憶有異常資訊。例如異常ID「1001」記憶有表示對平台之X軸方向之移動進行檢測之第1感測器291未反應之情形之異常資訊。又，於本實施形態中，以異常ID特定異常，但並不限定於此。例如，亦可藉由成膜處理部29內之零件或感測器等之組合而特定。關於例如異常ID「1001」，亦可替換成「平台」及「第1感測器」。又，關於異常ID「1002」，亦可替換成「平台」及「第2感測器」。進而，關於異常ID「2003」，亦可替換成「氣體供給部」及「第3感測器」。
圖4係表示異常資訊之顯示影像之說明圖。於發生異常之情形時，成膜裝置20將異常ID經由通訊埠294輸出至CPU21。CPU21自異常檔案251讀出與異常ID相對應之異常資訊，並且顯示於顯示部24。又，CPU21獲取輸出異常ID時自時鐘部28輸出之日時資訊。CPU21將所獲取之日時資訊作為發生日時顯示於顯示部24。如圖4所示顯示有異常ID、異常資訊及發生日時。作為異常ID「1001」之異常 資訊而顯示「平台之第1感測器未反應」。再者，畫面顯示用之圖像資料及模板資料記憶於記憶部25。此外，CPU21將用以顯示應對資訊之應對資訊顯示按鈕241顯示於顯示部24。操作應對資訊顯示按鈕241時之處理於下文進行敍述。
圖5係表示異常歷程檔案253之記錄佈局之說明圖。異常歷程檔案253記憶所發生之異常之歷程。異常歷程檔案253包含發生日時欄位及異常ID欄位。發生日時欄位中記憶有發生異常時之發生日時。異常ID欄位中與發生日時建立關聯地記憶有異常ID。CPU21於自成膜裝置20輸出異常ID之情形時，將異常ID及發生日時記憶於異常歷程檔案253。
圖6係表示選擇畫面之影像之說明圖。使用者於將應對異常時之應對資訊作為技術知識輸入之情形時，自輸入部23輸入用以選擇過去所發生之異常歷程之選擇畫面之顯示指令。CPU21於自輸入部23受理選擇畫面之顯示指令之情形時，自異常歷程檔案253讀出發生日時及異常ID並顯示於顯示部24。CPU21於選擇畫面中顯示發生日時、異常ID及用以進行選擇之核取框。使用者選擇自輸入部23輸入應對資訊之一個發生日時及異常ID，並且操作「確定(OK)」按鈕。
圖7係表示應對資訊輸入畫面之影像之說明圖。CPU21受理於選擇畫面中所選擇之發生日時及異常ID，並且自異常檔案251讀出與異常ID相對應之異常資訊。如圖7所示，CPU21於應對資訊輸入畫面顯示發生日時、異常ID、異常 資訊。又，CPU21顯示敦促使用者ID之輸入之畫面。進而，CPU21顯示用以輸入應對資訊之應對資訊輸入框242。使用者ID係用以特定輸入應對資訊之使用者之識別資訊。CPU21受理自輸入部23輸入之使用者ID。再者，亦可輸入姓名等可特定個人之資訊以代替使用者ID。
使用者將應對資訊自輸入部23輸入至應對資訊輸入框242。應對資訊係以文本形式輸入使用者應對異常時之應對資訊。再者，應對資訊之輸入並不限定於文本。例如，亦可輸入圖像檔案、音頻檔案、或PDF(Portable Document Format，便捷式文件格式)(註冊商標)檔案等應用檔案。於自輸入部23輸入確定按鈕之情形時，CPU21受理所輸入之使用者ID及應對資訊。CPU21將所受理之應對資訊及使用者ID與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於應對資訊檔案252。
圖8係表示應對資訊檔案252之記錄佈局之說明圖。應對資訊檔案252包含發生日時欄位、異常ID欄位、應對ID欄位、應對資訊欄位及使用者ID欄位等。應對資訊欄位中，輸入至應對資訊輸入框242之應對資訊與發生日時及異常ID建立關聯而記憶。應對ID欄位中記憶有用以特定應對資訊之固有之識別資訊。使用者ID欄位中，於應對資訊輸入畫面輸入有應對資訊之使用者之使用者ID與應對資訊建立關聯而記憶。CPU21以適當時序將包含記憶於應對資訊檔案252之應對資訊及異常ID之資訊經由通訊部26發送至伺服電腦1。再者，於本實施形態中，列舉將應對資訊檔案 252設於記憶部25之例進行說明，但並不限定於此。亦可不記憶於記憶部25而暫時記憶於RAM22，並且將所記憶之應對資訊及異常ID發送至伺服電腦1。又，本實施形態中所敍述之檔案及DB之資料佈局為一例，只要維持資料間之關係，則亦可為其他形態。
圖9係表示伺服電腦1之硬體群之說明圖。伺服電腦1包括作為控制部之CPU11、RAM12、輸入部13、顯示部14、通訊部16、時鐘部18及記憶部15等。CPU11經由匯流排17與硬體各部分連接。CPU11控制各硬體，並且根據儲存於記憶部15之控制程式15P而執行軟體功能。時鐘部18將日時輸出至CPU11。通訊部16係發揮作為防火牆之功能之閘道器等，於與電腦2或未圖示之其他伺服電腦之間藉由HTTP等收發資訊。
輸入部13係滑鼠、鍵盤、觸控面板等輸入器件。輸入部13將所受理之操作資訊輸出至CPU11。顯示部14係液晶顯示器或有機EL顯示器等，依照CPU11之指示而顯示包含異常資訊之各種資訊。RAM12係例如SRAM、DRAM、快閃記憶體等。RAM12亦作為記憶部發揮功能，暫時記憶藉由CPU11執行各種程式時所發生之各種資料。記憶部15係例如硬碟或大容量記憶體等。記憶部15除記憶上述控制程式15P以外，亦記憶有裝置DB151及應對資訊DB152等。再者，於本實施形態中，為容易說明，列舉將裝置DB151及應對資訊DB152儲存於記憶部15之例進行說明，但並不限定於此。亦可將裝置DB151或應對資訊DB152儲存於未圖 示之DB伺服器，CPU11使用SQL(Structured Query Language，結構化查詢語言)讀出或記憶資料。
圖10係表示裝置DB151之記錄佈局之說明圖。裝置DB151包含電腦ID欄位、成膜裝置ID欄位及位址欄位等。電腦ID欄位中記憶有用以特定電腦2之固有之識別資訊。成膜裝置ID欄位中，用以特定成膜裝置20之固有之識別資訊與電腦ID建立關聯而記憶。位址欄位中，IP(Internet Protocol，網際網路協定)位址、或MAC(Media AccessControl，媒體存取控制)位址等電腦2之位址與電腦ID建立關聯而記憶。
圖11係表示應對資訊DB152之記錄佈局之說明圖。應對資訊DB152包含發生日時欄位、異常ID欄位、應對ID欄位、應對資訊欄位、使用者ID欄位、及電腦ID欄位等。CPU11於經由通訊部16自電腦2發送有發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID之情形時，將其記憶於應對資訊DB152。例如與異常ID「1001」相關之應對資訊分別自電腦ID「P001」之電腦2A、及電腦ID「P002」之電腦2B發送。藉此，可針對每個異常ID而自各成膜裝置20之電腦2收集應對資訊。
圖12係表示應對資訊之顯示影像之說明圖。於使用者期望獲取異常發生時已收集之應對資訊之情形時，通過輸入部23輸入圖4所示之應對資訊顯示按鈕241。CPU21於自輸入部23受理應對資訊顯示按鈕241之操作之情形時，將電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求經由通訊部26發送至 伺服電腦1。伺服電腦1之CPU11經由通訊部16接收電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求。CPU11自應對資訊DB152抽出與異常ID相對應之應對ID及應對資訊。CPU11自裝置DB151讀出與電腦ID相對應之位址。
CPU11將所讀出之應對ID及應對資訊發送至所讀出之位址之電腦2。電腦2之CPU21將所接收之應對ID及應對資訊顯示於顯示部24。於圖12之例中，作為對應於異常ID「1001」之應對資訊，顯示應對ID「N1001」及「N1008」之應對資訊。對於以上之硬體構成，使用流程圖對軟體處理進行說明。
圖13係表示應對資訊之受理處理之順序之流程圖。CPU21自發生異常之成膜裝置20經由通訊埠294受理異常ID(步驟S131)。CPU21自異常檔案251讀出與異常ID相對應之異常資訊(步驟S132)。CPU21於異常資訊顯示畫面中，將異常ID、異常資訊、基於自時鐘部28獲取之日時資訊之異常之發生日時、及應對資訊顯示按鈕133顯示於顯示部24(步驟S133)。CPU21將發生日時與異常ID建立關聯而記憶於異常歷程檔案253(步驟S134)。
為讓使用者輸入應對資訊，CPU21讀出記憶於異常歷程檔案253之發生日時及異常ID，並且顯示於顯示部24。CPU21通過輸入部23受理希望輸入應對資訊之一發生日時及異常ID之選擇(步驟S135)。CPU21自異常檔案251讀出與受理選擇之發生日時及異常ID相對應之異常資訊。CPU21將發生日時、異常ID及異常資訊顯示於應對資訊輸入畫面 (步驟S136)。CPU21進而將應對資訊輸入框242顯示於顯示部24。CPU21自輸入部23受理使用者ID及應對資訊(步驟S137)。
CPU21產生與所輸入之應對資訊相對應之應對ID(步驟S138)。CPU21將發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊及使用者ID記憶於應對資訊檔案252(步驟S139)。其後，CPU21將發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID經由通訊部26發送(輸出)至伺服電腦1(步驟S1310)。
圖14係表示應對資訊之顯示處理之順序之流程圖。CPU11接收自電腦2發送之發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID(步驟S141)。CPU11將所接收之發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID記憶於應對資訊DB152(步驟S142)。電腦2之CPU21自輸入部23受理應對資訊顯示按鈕241之輸入。CPU21於受理應對資訊顯示按鈕241之輸入之情形時，將電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求發送至伺服電腦1(步驟S143)。
伺服電腦1之CPU11接收電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求。CPU11自應對資訊DB152讀出與所接收之異常ID相對應之應對ID及應對資訊(步驟S144)。CPU11自裝置DB151讀出與所接收之電腦ID相對應之位址(步驟S145)。CPU11將所讀出之應對ID及應對資訊發送至所讀出之位址之電腦2(步驟S146)。電腦2之CPU21接收(獲取)應對ID及 應對資訊(步驟S147)。
CPU21將所接收之應對ID及應對資訊與異常ID、異常資訊及發生日時一併顯示於顯示部24(步驟S148)。藉此可共有藉由各電腦2而輸入之應對資訊，從而可效率良好地應對異常。再者，於本實施形態中，當電腦2將應對資訊之獲取請求發送至伺服電腦1之情形時，伺服電腦1發送相對應之應對資訊之例，但並不限定於此。伺服電腦1之CPU11例如亦可每隔3小時等定期地將與異常ID相對應之應對資訊發送至各電腦2。各電腦2亦可將與所接收之異常ID相對應之應對資訊記憶於記憶部25。於發生異常之情形時，電腦2之CPU21亦可自記憶部25讀出與異常ID相對應之應對資訊並加以顯示。
實施形態2
實施形態2係關於不經由伺服電腦1而於電腦2間收發應對資訊之形態。圖15係表示實施形態2之處理系統之概要之模式圖。電腦2A、2B、2C、...以點對點(peer-to-peer)形式經由通訊網N而連接。於藉由電腦2A輸入應對資訊，並且更新應對資訊檔案252之情形時，亦將經更新之應對資訊發送至其他電腦2B及2C。當發生異常時，參照本身之應對資訊檔案252顯示應對資訊。
圖16係表示實施形態2之應對資訊之顯示處理之順序的流程圖。如圖7所示，CPU21自輸入部23受理使用者ID及應對資訊之輸入(步驟S161)。CPU11產生用以特定應對資訊之應對ID(步驟S162)。CPU11將發生日時、異常ID、應 對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID記憶於應對資訊檔案252(步驟S163)。CPU21將重新記憶之發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID發送至其他電腦2(步驟S164)。
如此，每當各電腦2更新應對資訊檔案252時，將經更新之資料發送至其他電腦2。電腦2之CPU21接收自其他電腦2發送之發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID及電腦ID(步驟S165)。CPU21將所接收之該等資訊記憶於應對資訊檔案252(步驟S166)。
CPU21自輸入部23受理圖4所示之應對資訊顯示按鈕241之輸入(步驟S167)。CPU21自應對資訊檔案252讀出與異常ID相對應之應對ID及應對資訊(步驟S168)。CPU21將所讀出之應對ID及應對資訊顯示於顯示部24(步驟S169)。藉此可藉由簡單之構成而實現各電腦2間之應對資訊之共有。
本實施形態2為如上所述，其他方面與實施形態1相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
實施形態3
實施形態3係關於收集異常時之應對項目及異常發生原因之形態。圖17係表示實施形態3之異常檔案251之記錄佈局之說明圖。異常檔案251包含異常ID欄位、異常資訊欄位、應對項目欄位、及異常發生原因欄位等。應對項目欄位中與異常ID建立關聯而記憶有發生異常時成為候補之複數個應對項目。於本實施形態中，作為一例，記憶有3個 應對項目。應對項目為例如「重試」、「繼續處理」及「再啟動」。成為候補之各應對項目中，與具體之應對項目相關之說明係與異常ID建立關聯而記憶。將成為發生異常之原因之異常發生原因與異常ID建立關聯而於異常發生原因欄位記憶有複數個。例如，「設計不良」或「調整不良」等。
圖18係表示異常資訊顯示畫面之影像之說明圖。顯示有異常ID及異常資訊，且顯示有成為候補之複數個應對項目。CPU21參照異常檔案251，將與異常ID相對應之應對項目之候補及與各應對項目相關之說明顯示於顯示部24。例如作為說明，應對項目「重試」顯示「「重試」時，再次進行平台之上升動作」。使用者自輸入部23輸入複數個應對項目中之一個應對項目。CPU21受理自輸入部23輸入之應對項目。CPU21將與應對項目相對應之信號輸出至成膜裝置20。
成膜裝置20根據與應對項目相對應之信號而進行成膜處理部29或平台控制部290等之控制。CPU21將自異常發生時至異常ID之輸出停止為止、自異常發生時至異常消除為止、或自異常發生時至經過特定時間為止自成膜裝置20借助輸入部23輸入之操作資料與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於記憶部25。再者，自成膜裝置20輸入之其他操作資料亦可一併記憶於記憶部25。於本實施形態中，為容易說明，列舉將異常發生時至經過特定時間(例如5分鐘)為止自輸入部23輸入之操作資料記憶於記憶部25之例進行說 明。又，CPU21將第1感測器291~第3感測器293之異常發生前之設定資料及異常發生時之資料(以下，視情形稱為感測器資料)與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於記憶部25。
圖19係表示應對資訊檔案252之記錄佈局之說明圖。進而，設置有應對項目欄位、感測器資料欄位、操作資料欄位、異常發生原因欄位及更換零件ID欄位。應對項目欄位中記憶有於圖18所示之異常資訊顯示畫面中使用者所選擇之應對項目。CPU21於自輸入部23輸入應對項目之情形時，將應對項目與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於應對資訊檔案252。關於感測器資料欄位、操作資料欄位、異常發生原因欄位及更換零件ID欄位，於下文進行敍述。
圖20係表示應對資訊輸入畫面之影像之說明圖。除實施形態1之構成以外，進而可輸入與更換零件及異常發生原因相關之資料。使用者於應對異常時必需更換零件之情形時自輸入部23輸入更換零件ID。CPU21受理經由輸入部23而輸入之更換零件ID。再者，除直接輸入更換零件ID以外，亦可一覽顯示更換零件名稱，並選擇一個更換零件。CPU21於自輸入部23受理更換零件ID之情形時，將更換零件ID與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於應對資訊檔案252之更換零件ID欄位。
CPU21自異常檔案251讀出與異常ID相對應之複數個異常發生原因。CPU21將複數個異常發生原因之候補顯示於顯示部24。如圖20所示，一併顯示核取框及複數個異常發 生原因之候補。使用者自所顯示之複數個異常發生之原因中選擇一個異常發生原因。再者，於本實施形態中，為容易說明，列舉選擇一個異常發生原因之例，但亦可選擇複數個。
CPU21自輸入部23受理所選擇之異常發生原因。CPU21將所受理之異常發生原因與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於應對資訊檔案252之異常發生原因欄位。CPU21使詢問是否將異常發生時與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於記憶部25之來自輸入部23之操作資料記憶於應對資訊檔案252之資訊顯示於顯示部24。於如圖20所示記憶操作資料之情形時，點選「隨附操作資料」之核取框。CPU21於自輸入部23受理操作資料之記憶指令之情形時，將記憶於記憶部25之操作資料與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於應對資訊檔案252之操作資料欄位。
CPU21使詢問是否將異常發生時與發生日時及異常ID建立關聯而記憶之第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料記憶於應對資訊檔案252之資訊顯示於顯示部24。於如圖20所示記憶第1感測器291之設定資料及異常時之資料之情形時，使用者點選「隨附第1感測器資料」之核取框。CPU21於受理第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料之記憶指令之情形時，將該等資料與發生日時及異常ID建立關聯而記憶於應對資訊檔案252之感測器資料欄位。CPU21於自輸入部23受理確定按鈕之情形時，將發生日時、異常ID、應對ID、應對資 訊、使用者ID、應對項目、感測器資料、操作資料、異常發生原因、更換零件ID及電腦ID發送至伺服電腦1。
圖21係表示實施形態2之應對資訊DB152之記錄佈局之說明圖。進而，設置有應對項目欄位、感測器資料欄位、操作資料欄位、異常發生原因欄位及更換零件ID欄位。伺服電腦1之CPU11記憶自電腦2發送之發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID、應對項目、感測器資料、操作資料、異常發生原因、更換零件ID及電腦ID。藉此自各電腦2積累各種技術知識。
圖22及23係表示應對資訊之受理處理之順序之流程圖。CPU21經由通訊埠294自發生異常之成膜裝置20受理異常ID(步驟S221)。CPU21自異常檔案251讀出與異常ID相對應之異常資訊(步驟S222)。CPU21自異常檔案251讀出與異常ID相對應之複數個應對項目(步驟S223)。CPU21使顯示部24於異常資訊顯示畫面中顯示異常ID、異常資訊、基於自時鐘部28獲取之日時資訊之異常之發生日時、複數個應對項目及應對資訊顯示按鈕133(步驟S224)。
CPU21將自輸入部23或成膜裝置20之未圖示之操作機構、控制機構輸入之操作資料與自時鐘部28輸出之日時資訊建立關聯而記憶於記憶部25(步驟S225)。CPU21將第1感測器291~第3感測器293之預先記憶於記憶部25之設定資料與異常時自第1感測器291~第3感測器293輸出之異常時之資料建立關聯而記憶於記憶部25(步驟S226)。CPU21經由輸入部23受理自複數個應對項目中選擇之應對項目(步驟 S227)。CPU21將發生日時、異常ID、應對項目、操作資料、第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料建立關聯而記憶於異常歷程檔案253(步驟S228)。
CPU21判斷是否已通過應對資訊顯示按鈕241之輸入而受理應對資訊之顯示請求(步驟S229)。CPU21於判斷為受理應對資訊之顯示請求之情形時(步驟S229中為是(YES))，進行圖14所述之處理，並且將應對資訊顯示於顯示部24(步驟S231)。CPU21於未受理應對資訊之顯示請求之情形時(步驟S229中為否(NO))，將處理轉移至步驟S232。
為使使用者輸入應對資訊，CPU21讀出記憶於異常歷程檔案253之發生日時及異常ID並使之顯示於顯示部24。CPU21通過輸入部23受理期望輸入應對資訊之一個發生日時及異常ID之選擇(步驟S232)。CPU21自異常檔案251讀出與受理選擇之發生日時及異常ID相對應之異常資訊。CPU21使發生日時、異常ID及異常資訊顯示於應對資訊輸入畫面(步驟S233)。CPU21進而使應對資訊輸入框242顯示於顯示部24。CPU21自輸入部23受理使用者ID及應對資訊(步驟S234)。
CPU21產生與所輸入之應對資訊相對應之應對ID(步驟S235)。CPU21自異常檔案251讀出與異常ID相對應之複數個異常發生原因(步驟S236)。CPU21使複數個異常發生原因顯示於顯示部24(步驟S237)。CPU21通過輸入部23受理異常發生原因之選擇(步驟S238)。CPU21受理更換零件之 ID之輸入(步驟S239)。再者，於不存在更換零件之情形時，無需輸入更換零件之ID。
CPU21經由輸入部23受理是否隨附有操作資料之資訊(步驟S2310)。CPU21經由輸入部23受理是否隨附有第1感測器291~第3感測器293之資料之資訊(步驟S2311)。CPU21將發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、應對項目、使用者ID、異常發生原因、更換零件ID、操作資料、設定資料、及異常時之資料記憶於應對資訊檔案252(步驟S2312)。再者，於步驟S2310中未輸入隨附有操作資料之資訊之情形時，亦可不將操作資料記憶於應對資訊檔案252。又，於步驟S2311中，於未受理隨附有第1感測器291~第3感測器293之資料之資訊之情形時，亦可不將設定資料及異常時之資料記憶於應對資訊檔案252。
其後，CPU21將發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、應對項目、使用者ID、異常發生原因、更換零件ID、操作資料、設定資料、異常時之資料及電腦ID經由通訊部26發送至伺服電腦1(步驟S2313)。伺服電腦1之CPU11經由通訊部16接收發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、使用者ID、異常發生原因、更換零件ID、操作資料、設定資料、異常時之資料及電腦ID。CPU11將所接收之發生日時、異常ID、應對ID、應對資訊、應對項目、使用者ID、異常發生原因、更換零件ID、操作資料、設定資料、異常時之資料及電腦ID記憶於應對資訊DB152(步驟S2314)。藉此，除藉由輸入部23而輸入之應對資訊以外，亦可積累各 種資訊作為技術知識。
本實施形態3為如上所述，其他方面與實施形態1及2相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並省略其詳細之說明。
實施形態4
實施形態4係關於當顯示應對資訊時顯示應對項目及異常發生原因之統計之形態。圖24係表示實施形態4之伺服電腦1之硬體群之方塊圖。記憶部15中新設置有統計DB153。圖25係表示統計DB153之記錄佈局之說明圖。統計DB153包含異常ID欄位、應對項目欄位、異常發生原因欄位、件數欄位及比例欄位。
應對項目欄位中與異常ID建立關聯而記憶有複數個應對項目。與應對項目相對應之件數欄位中，與應對項目建立關聯而記憶有所選擇之應對項目之件數。伺服電腦1之CPU11參照應對資訊檔案252，對與異常ID相對應之應對項目之數量進行計數。CPU11將所計數之值作為件數針對每個應對項目而記憶於統計DB153。CPU11藉由以各應對項目所占之件數除以所有應對項目之件數並乘以100而算出各應對項目之比例。CPU11將所算出之比例與異常ID及應對項目建立關聯而記憶於統計DB153。
異常發生原因欄位中與異常ID建立關聯而記憶有複數個異常發生原因。與異常發生原因相對應之件數欄位中，與異常發生原因建立關聯而記憶有所選擇之異常發生原因之件數。伺服電腦1之CPU11參照應對資訊檔案252，對與異 常ID相對應之異常發生原因之數量進行計數。CPU11將所計數之值作為件數針對每個異常發生原因而記憶於統計DB153。CPU11藉由以各異常發生原因所占之件數除以所有異常發生原因之件數並乘以100而算出各異常發生原因之比例。CPU11將所算出之比例與異常ID及異常發生原因建立關聯而記憶於統計DB153。
圖26係表示應對資訊之顯示影像之說明圖。除與異常ID相對應之應對資訊以外，亦顯示有應對項目之統計及異常發生原因之統計。於伺服電腦1之CPU11接收到異常ID及應對資訊之獲取請求之情形時，參照統計DB153而讀出與異常ID相對應之應對項目、應對項目之件數及比例、以及異常發生原因、異常發生原因之件數及比例。CPU11將所讀出之應對項目、應對項目之件數及比例、以及異常發生原因、異常發生原因之件數及比例發送至電腦2。電腦2之CPU21如圖26所示，將每個應對項目之件數及比例顯示於顯示部24，並且將異常發生原因之件數及比例顯示於顯示部24。此處，於通過輸入部23輸入確定按鈕之情形時，CPU21返回至圖18所示之異常資訊顯示畫面。此處，可根據過去之應對項目統計而選擇適當之應對項目。再者，於本實施形態中，列舉顯示件數及比例之雙方作為統計之例，但僅為一例，並不限定於此。亦可為件數或比例之任一者，又，只要為統計，則亦可藉由圖表等而顯示。進而，於本實施形態中，列舉顯示應對項目之統計與異常發生原因之統計之雙方之例，但亦可顯示其中任一者。
顯示部24亦可顯示更換零件ID、操作資料、以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料。伺服電腦1之CPU11參照應對資訊DB152而讀出與異常ID相對應之應對ID、更換零件ID、操作資料以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料。CPU11將應對ID、更換零件ID、操作資料以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料發送至電腦2。電腦2之CPU21將所接收之應對ID、更換零件ID、操作資料以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料顯示於顯示部24。
圖27及圖28係表示統計之顯示處理之流程圖。CPU11接收自電腦2發送之異常ID、應對項目及異常發生原因(步驟S271)。CPU11參照應對資訊DB152，對異常ID之應對項目及異常發生原因進行計數，並將所計數之件數記憶於統計DB153(步驟S272)。再者，計數處理除了定期(例如每隔1小時)性地進行以外，亦可每當自電腦2發送異常ID、應對項目及異常發生原因時進行。CPU11根據所計數之件數算出應對項目及異常發生原因之比例，並將所算出之比例記憶於統計DB153(步驟S273)。
電腦2之CPU21自輸入部23受理應對資訊顯示按鈕241之輸入。CPU21於受理應對資訊顯示按鈕241之輸入之情形時，將電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求發送至伺服電腦1(步驟S274)。
伺服電腦1之CPU11接收電腦ID、異常ID、應對資訊、 更換零件ID、操作資料、以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料之獲取請求。CPU11自應對資訊DB152讀出與所接收之異常ID相對應之應對ID、應對資訊、更換零件ID、操作資料、以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料(步驟S275)。CPU11自裝置DB151讀出與所接收之電腦ID相對應之位址(步驟S276)。CPU11將所讀出之應對ID、應對資訊、更換零件ID、操作資料、以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料發送至所讀出之位址之電腦2(步驟S277)。
CPU11自統計DB153讀出與異常ID相對應之應對項目之件數及比例、以及異常發生原因之件數及比例，並且發送至電腦2(步驟S278)。電腦2之CPU21接收應對ID、應對資訊、更換零件ID、操作資料、以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料(步驟S279)。
CPU21使所接收之應對ID、應對資訊、更換零件ID、操作資料、以及第1感測器291~第3感測器293之設定資料及異常時之資料與異常ID、異常資訊及發生日時一併顯示於顯示部24(步驟S281)。CPU21接收與異常ID相對應之應對項目之件數及比例、以及異常發生原因之件數及比例(步驟S282)。CPU21使與異常ID相對應之應對項目之件數及比例、以及異常發生原因之件數及比例顯示於顯示部24(步驟S283)。藉此，可參照藉由各電腦2而輸入之統計，並且可自複數個應對項目中選擇相應之應對項目。又，藉 由參照異常發生原因之統計而可採用適當對策。
本實施形態4為如上所述，其他方面與實施形態1至3相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
實施形態5
實施形態5係關於使用保存期間之資訊管理應對資訊之形態。圖29係表示應對資訊之輸入畫面之說明圖。使用者可通過輸入部23輸入應對資訊之保存期間。再者，當然亦可輸入刪除日時而代替保存期間。於本實施形態中，列舉輸入保存期間之例進行說明。CPU21自記憶部25顯示用以輸入保存期間之資訊。如圖29所示，作為保存期間之一例，列舉有永久保存與異常ID相對應之應對資訊之「永久」、保存至特定日時為止之「至年月日」、及保存至經過特定月為止之「月份」。使用者於認為應對資訊較為重要而必需長期保存之情形時，自輸入部23選擇「永久」。使用者於認為在特定期間後可刪除之情形時，自輸入部23輸入期望保存之日時、或保存之月數。
CPU21將自輸入部23輸入之保存期間記憶於應對資訊檔案252。圖30係表示實施形態5之應對資訊檔案252之記錄佈局之說明圖。重新設置有保存期間欄位。CPU21使通過輸入部23輸入之保存期間與發生日時及異常ID建立關聯而記憶。於圖之例中，將2010年9月16日12時55分20秒所發生之異常ID「1001」之應對資訊永久保存。
電腦2之CPU21將與發生日時及異常ID相對應之保存期 間經由通訊部26發送至伺服電腦1。圖31係表示應對資訊DB152之記錄佈局之說明圖。新設置有保存期間欄位。伺服電腦1之CPU11將與發生日時及異常ID建立關聯而發送之保存期間記憶於應對資訊DB152。CPU11參照自時鐘部28輸出之日時資訊，刪除已經過記憶於保存期間欄位之保存期間之記錄。再者，操作者亦可自輸入部13或其他未圖示之電腦適當刪除重要性較低之應對資訊。
圖32係表示刪除處理之順序之流程圖。CPU21將如圖29所示之應對資訊輸入畫面顯示於顯示部24(步驟S321)。CPU21經由輸入部23受理應對資訊及保存期間(步驟S322)。CPU21將發生日時、異常ID、應對資訊及保存期間記憶於應對資訊檔案252(步驟S323)。CPU21將發生日時、異常ID、應對資訊、保存期間及電腦ID發送至伺服電腦1(步驟S324)。伺服電腦1之CPU11接收發生日時、異常ID、應對資訊、保存期間及電腦ID(步驟S325)。
CPU11將發生日時、異常ID、應對資訊、保存期間及電腦ID記憶於應對資訊DB152(步驟S326)。CPU11自時鐘部18獲取日時資訊(步驟S327)。CPU11參照應對資訊DB152之保存期間欄位及日時資訊，判斷是否存在已經過保存期間之應對資訊(步驟S328)。於CPU11判斷為不存在之情形時(步驟S328中為否)，轉移至步驟S327，重複進行處理。再者，針對記憶有「永久」作為保存期間之應對資訊，亦可不進行處理。
於CPU11判斷為記憶有已經過保存期間之應對資訊之情 形時(步驟S328中為是)，刪除已經過保存期間之應對資訊(步驟S329)。具體而言，刪除包含與已經過應對資訊DB152之保存期間之發生日時及異常ID相對應之應對資訊之記錄。藉此，僅將重要度較高之應對資訊及隨附其之資料提供至其他電腦2，從而可提高應對效率。再者，如實施形態2般於電腦2間收發資訊之情形時，CPU21只要參照應對資訊檔案之保存期間欄位及自時鐘部28輸出之日時資訊，刪除經過保存期間之應對資訊之記錄即可。
本實施形態5為如上所述，其他方面與實施形態1至4相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
實施形態6
實施形態6係關於根據應對項目之統計而執行處理之形態。圖33係表示實施形態6之異常檔案251之記錄佈局之說明圖。新準備有執行指令欄位。執行指令欄位中針對每個異常ID及應對項目而記憶有對於成膜裝置20之執行指令。例如針對應對項目「重試」而記憶有使平台相對於平台控制部290再次進行上升動作之執行指令。CPU21將執行指令經由通訊埠294輸出至成膜裝置20。成膜裝置20為使平台控制部290上升而根據執行指令進行控制。
又，關於應對項目「繼續處理」，例如係忽視異常ID之異常資訊而繼續處理之指令。CPU21將繼續處理指令經由通訊埠294輸出至成膜裝置20。成膜裝置20不管平台之第1感測器291是否反應，均繼續進行下一處理。又，關於應 對項目「再啟動」，係將電腦2及成膜裝置20之電源設為斷開狀態後再次設為接通狀態之指令。CPU21使對成膜裝置20之電源供給停止，其後執行電腦2之再啟動處理。CPU21於再啟動後開始對成膜裝置20供給電源。
CPU21根據實施形態4所敍述之統計，選擇具有最高件數或比例之應對項目，並且自異常檔案251讀出應對項目之執行指令。CPU21根據所讀出之執行指令進行針對成膜裝置20之處理。例如，於應對項目「重試」之比例為95%以上之情形時，發生異常時根據「重試」之執行指令而執行處理。
圖34係表示執行處理之順序之流程圖。CPU21如步驟S274中所敍述般，將電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求發送至伺服電腦1(步驟S341)。如步驟S282中所敍述般，CPU21自伺服電腦1接收各應對項目之件數及比例(步驟S342)。CPU21自記憶部25讀出預先記憶之件數之閾值及比例之閾值(步驟S343)。件數之閾值係與所有應對項目之件數之合計值相關之值，例如記憶有「30」。比例之閾值係與一個應對項目之件數於所有應對項目之件數中所占之比例相關之值，例如記憶有90%。
CPU21算出步驟S342中所接收之應對項目之件數之合計值。CPU21判斷合計件數是否超過步驟S343中所讀出之件數之閾值(步驟S344)。再者，於本實施形態中，列舉將件數之合計值與件數之閾值進行比較之例，但並不限定於此。例如，亦可將具有最大件數之應對項目之件數與件數 之閾值進行比較。於CPU21判斷為合計件數超過件數之閾值之情形時(步驟S344中為是)，選擇比例最高之應對項目之比例(步驟S345)。
CPU21判斷所選擇之應對項目之比例是否超過步驟S343中所讀出之比例之閾值(步驟S346)。於CPU21判斷為所選擇之應對項目之比例超過步驟S343中所讀出之比例之閾值之情形時(步驟S346中為是)，轉移至步驟S348。再者，上述閾值可藉由自輸入部23輸入適當值而變更。
於步驟S344中，當CPU21判斷為未超過閾值時(步驟S344中為否)，於步驟S346中，當判斷為未超過比例之閾值時(步驟S346中為否)，將處理轉移至步驟S347。CPU21與步驟S283相同，將應對項目之件數及比例顯示於顯示部24(步驟S347)。於步驟S346中為是之情形時，CPU21自異常檔案251讀出與異常ID及應對項目相對應之執行指令(步驟S348)。CPU21根據所讀出之執行指令執行對電腦2或成膜裝置20之處理(步驟S349)。藉此，於可靠性較高之應對項目之情形時，即便發生異常，亦可藉由執行相對應之處理而儘早恢復至正常狀態。
本實施形態6為如上所述，其他方面與實施形態1至5相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
實施形態7
實施形態7係關於對具有相關聯之成膜裝置20之電腦2提供應對資訊之形態。圖35係表示實施形態7之裝置DB151 之記錄佈局之說明圖。進而設置有分類欄位、設置年月日欄位及運轉時間欄位。分類欄位記憶用以特定成膜裝置20之分類之資訊，例如記憶型號、機種名等。於本實施形態中，為容易說明，對記憶有分類「A」、「B」等者進行說明。
成膜裝置20之設置年月日與電腦ID及成膜裝置ID一併記憶於設置年月日欄位。運轉時間欄位中，成膜裝置20之運轉時間之合計值與電腦ID及成膜裝置ID建立關聯而記憶。再者，對電腦2定期性地將成膜裝置20之運轉時間發送至伺服電腦1者進行說明。伺服電腦1之CPU11根據自電腦2發送之運轉時間，將設置後之成膜裝置20之運轉時間之合計值記憶於運轉時間欄位。CPU11根據分類及設置年月日或運轉時間之合計值抽出有可能發生相同異常之電腦2。CPU11抽出與一個電腦2之分類相同且僅設置年月日相差記憶於記憶部15之特定期間(例如1個月)之其他電腦2。
此外，CPU11抽出與一個電腦2之分類相同且僅運轉時間之合計值相差特定時間(例如24小時)之其他電腦2。於本實施形態中，列舉使用後者之運轉時間之合計值之例作為一例進行說明。於自一個電腦2發送異常ID及應對資訊之情形時，對所抽出之其他電腦2發送異常ID及應對資訊。
圖36係表示警告畫面之影像之說明圖。伺服電腦1之CPU11自應對資訊DB152讀出異常ID及與異常ID相對應之應對資訊。CPU11將所讀出之應對資訊及異常ID記述為HTML(HyperText Markup Language，超文字標記語言)文 件。CPU11進而將用以瀏覽與異常ID相對應之詳細之資訊之存取資訊記述於HTML文件。例如，記述部分包含異常ID之URL(Uniform Resource Locator，統一資源定位器)。CPU11參照所抽出之電腦2之位址，如上所述將所記述之警告資訊發送至電腦2。於電腦2之顯示部24顯示有圖36所示之警告資訊。
使用者於操作輸入部23而點選URL之情形時，將異常ID及詳細資訊之顯示請求發送至伺服電腦1。伺服電腦1之CPU11受理異常ID及詳細資訊之顯示請求。CPU11參照應對資訊DB152，將與異常ID相對應之應對項目、感測器資料、操作資料、異常發生原因、或更換零件之資訊發送至電腦2。
圖37係表示抽出處理之順序之流程圖。電腦2之CPU21發送電腦ID及成膜裝置20之運轉時間(步驟S371)。運轉時間例如只要於成膜裝置20之電源斷開時，求出電源接通狀態至斷開狀態為止之時間即可。再者，於成膜裝置20具有算出自設置時起之運轉時間之合計值之功能之情形時，只要利用該合計值即可。伺服電腦1之CPU11接收電腦ID及運轉時間(步驟S372)。CPU11參照裝置DB151之運轉時間欄位，算出運轉時間之合計值(步驟S373)。具體而言，CPU11將所接收之運轉時間與記憶於運轉時間欄位之運轉時間相加。
CPU11與電腦ID建立關聯而記憶運轉時間之合計值(步驟S374)。CPU11參照裝置DB151，抽出相同分類之電腦 ID(步驟S375)。CPU11自裝置DB151讀出所抽出之電腦ID之各運轉時間之合計值。CPU11自記憶部15讀出運轉時間之閾值(步驟S376)。CPU11抽出2個電腦ID之運轉時間之合計值之差為閾值以內之電腦ID(步驟S377)。CPU11抽出與所抽出之電腦ID相對應之位址(步驟S378)。藉此，可抽出分類相同且運轉時間近似之電腦ID。
圖38係表示警告資訊之顯示處理順序之流程圖。如上所述，伺服電腦1之CPU11自一個電腦2接收異常ID及應對資訊(步驟S381)。CPU11藉由圖37所示之處理，抽出與一個電腦2相關聯之其他電腦2之位址(步驟S382)。CPU11產生包含用於向伺服電腦1存取之異常ID之URL(步驟S383)。CPU11參照步驟S382中所抽出之位址，將異常ID、應對資訊及URL作為警告資訊發送至其他電腦2(步驟S384)。
其他電腦2之CPU21接收異常ID、應對資訊及URL(步驟S385)。CPU21將異常ID、應對資訊及URL作為警告資訊顯示於顯示部24(步驟S386)。為了觸發使用者之URL之操作，CPU21將電腦ID、異常ID及詳細資訊之顯示請求發送至伺服電腦1(步驟S387)。伺服電腦1之CPU11接收電腦ID、異常ID及詳細資訊之顯示請求(步驟S388)。
CPU11將與異常ID相對應之應對項目、感測器資料、操作資料、異常發生原因、及更換零件之資訊發送至其他電腦2(步驟S389)。再者，亦可一併發送應對項目及異常發生原因之統計。其他電腦2之CPU21使與異常ID相對應之應對項目、感測器資料、操作資料、異常發生原因、及更 換零件之資訊顯示於顯示部24。藉此，即便為發生異常，亦可儘早獲知關聯性較強之成膜裝置20中所發生之異常。
實施形態8
實施形態8係關於共有複數個伺服電腦1之資訊之形態。圖39係表示實施形態8之處理系統之概要之模式圖。亦可設置與上述實施形態中所敍述之伺服電腦1、電腦2及成膜裝置20相同之構成之伺服電腦3、電腦4及成膜裝置20。伺服電腦3亦包括複數個電腦4A、4B、4C，成膜裝置40A、40B、40C(以下視情形以40為代表)中分別組裝有各電腦4A、4B、4C。伺服電腦1與伺服電腦3經由網際網路等通訊網N連接於綜合伺服電腦10。於本實施形態中，為容易說明，列舉使用伺服電腦1與伺服電腦3之兩者之例進行說明，但亦可進而設置多個伺服電腦1、電腦2及成膜裝置20之組合。
伺服電腦1中所敍述之應對資訊DB152之記憶內容記憶於綜合伺服電腦10之未圖示之記憶部。同樣伺服電腦3之未圖示之應對資訊DB亦記憶於綜合伺服電腦10之記憶部。於自電腦2或電腦4發送與異常ID相對應之應對資訊之顯示請求之情形時，伺服電腦1或伺服電腦3將異常ID及應對資訊之顯示請求發送至綜合伺服電腦10。綜合伺服電腦10從自各伺服電腦1、3...接收之應對資訊讀出與異常ID相對應之應對資訊。綜合伺服電腦10將應對資訊發送至伺服電腦1或伺服電腦3。伺服電腦1或伺服電腦3將應對資訊發送至電腦2或電腦4。如此，藉由綜合伺服電腦10共有應對 資訊DB，由此可進一步達成資訊之共有。
本實施形態8為如上所述，其他與實施形態1至7相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
實施形態9
圖40係表示實施形態9之電腦2之硬體群之方塊圖。用以使實施形態1至8之電腦2動作之程式亦可如本實施形態9般，使USB記憶體、CD-ROM(Compact Disc Read Only Memory，唯讀記憶光碟)等便攜式記錄媒體1A讀出至讀出部(未圖示)並且記憶於記憶部25。又，該程式亦可自經由網際網路等通訊網N連接之其他伺服電腦(未圖示)下載。以下，對其內容進行說明。
將圖40所示之電腦2執行上述各種軟體處理之程式藉由便攜式記錄媒體1A或經由通訊網N自其他伺服電腦(未圖示)下載。該程式作為控制程式25P安裝並載入至RAM22而執行。藉此，作為上述電腦2發揮功能。
本實施形態9為如上所述，其他方面與實施形態1至8相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
實施形態10
實施形態10係關於顯示與更換零件相關之統計之形態。圖41係表示實施形態10之統計DB153之記錄佈局之說明圖。於伺服電腦1之CPU11自電腦2發送異常ID、異常發生原因及更換零件ID之情形時，將更換零件ID與異常ID及異 常發生原因建立關聯而記憶於應對資訊DB152。CPU11參照應對資訊DB152，對異常ID、異常發生原因及與更換零件ID相對應之更換零件ID之數量進行計數。CPU11將所計數之數量與異常ID、異常發生原因及更換零件ID建立關聯而記憶於統計DB153。又，CPU11藉由以異常ID、異常發生原因及更換零件ID之件數除以與異常發生原因相對應之所有更換零件ID之所有件數並乘以100而算出比例。CPU11將所算出之比例與件數建立關聯而記憶。再者，就紙面之情形而言省略應對項目等記錄之記載。
圖42及圖43係表示統計之顯示處理順序之流程圖。CPU11接收自電腦2發送之異常ID、應對項目、異常發生原因及更換零件ID(步驟S421)。再者，省略操作資料及感測器資料等記載。CPU11使所接收之異常ID、應對項目、異常發生原因及更換零件ID記憶於應對資訊DB152(步驟S422)。CPU11參照應對資訊DB152，對與異常ID相對應之應對項目及異常發生原因進行計數，並且將件數記憶於統計DB153(步驟S423)。具體而言，CPU11抽出與異常ID相對應之應對項目並計數應對項目之數量。CPU11使所計數之數量與異常ID及應對項目建立關聯而記憶於統計DB153。再者，CPU11於接收到與異常ID相對應之應對項目之情形時，亦可使統計DB153中之與異常ID及應對項目相對應之件數遞增。
又，CPU11參照應對資訊DB152，抽出與異常ID相對應之異常發生原因，對異常發生原因之數量進行計數。 CPU11使所計數之數量與異常ID及異常發生原因建立關聯而記憶於統計DB153。再者，CPU11於接收到與異常ID相對應之異常發生原因之情形時，亦可使統計DB153中之與異常ID及異常發生原因相對應之件數遞增。CPU11參照統計DB153，算出應對項目之比例及異常發生原因之比例，並且記憶於統計DB153(步驟S424)。具體而言，CPU11藉由以與異常ID相對應之應對項目之件數除以與異常ID相對應之所有應對項目之件數並乘以100而算出比例。CPU11使所算出之比例與對應於異常ID之應對項目建立關聯而記憶於統計DB153。同樣地，CPU11藉由以與異常ID相對應之異常發生原因之件數除以與異常ID相對應之所有異常發生原因之件數並乘以100而算出比例。CPU11使所算出之比例與對應於異常ID之異常發生原因建立關聯而記憶於統計DB153。
CPU11參照應對資訊DB152，對與異常ID及異常發生原因相對應之更換零件ID之數量進行計數，並且將件數記憶於統計DB153(步驟S425)。具體而言，CPU11抽出附加條件下滿足異常ID及異常發生原因之更換零件ID，並且對所抽出之數量進行計數。CPU11使所計數之數量與異常ID及異常發生原因建立關聯而記憶於統計DB153。再者，CPU11於接收到與異常ID及異常發生原因相對應之更換零件ID之情形時，亦可使統計DB153之與異常ID及異常發生原因相對應之件數遞增。CPU11參照統計DB153，算出更換零件ID之比例，並且記憶於統計DB153(步驟S426)。具 體而言，CPU11藉由以附加條件下滿足異常ID及異常發生原因之一個更換零件ID之數量除以滿足相同條件之所有更換零件ID數並乘以100而算出比例。CPU11使與異常ID、異常發生原因及更換零件ID建立關聯而算出之比例記憶於統計DB153。藉由反覆進行以上處理而積累與異常ID及異常發生原因相對應之更換零件ID之件數及比例。
電腦2之CPU21自輸入部23受理應對資訊顯示按鈕241之輸入。CPU21於受理應對資訊顯示按鈕241之輸入之情形時，將電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求發送至伺服電腦1(步驟S427)。
伺服電腦1之CPU11接收電腦ID、異常ID及應對資訊之獲取請求。CPU11自應對資訊DB152讀出與所接收之異常ID相對應之應對資訊(步驟S428)。CPU11自統計DB153按比例之由高至低之順序讀出與異常ID相對應之應對項目中之複數個應對項目(步驟S429)。再者，所讀出之數量例如只要自比例較高者起依序讀出3個即可。此外，亦可僅讀出比例為固定值以上(例如20%以上)者。又，於本實施形態中，列舉抽出比例進行顯示之例進行說明，但並不限定於此。亦可讀出件數以代替比例。於此情形時，只要以件數較多之順序讀出3個左右即可。又，亦可讀出比例與件數之雙方。
CPU11自統計DB153按比例之由高至低之順序讀出與所接收之異常ID相對應之異常發生原因中之複數個異常發生原因(步驟S431)。CPU11自統計DB153按比例之由高至低 之順序讀出異常ID及與所讀出之異常發生原因相對應之更換零件ID中之複數個更換零件ID(步驟S432)。CPU11判斷步驟S431中所讀出之所有異常發生原因所對應之更換零件ID之讀出是否結束(步驟S433)。於CPU11判斷為未結束之情形時(步驟S433中為否)，將處理返回至步驟S432。藉此，讀出複數個異常發生原因所對應之更換零件ID。於CPU11判斷為針對所有異常發生原因之處理結束之情形時(步驟S433中為是)，使處理轉移至步驟S434。
CPU11自裝置DB151讀出與所接收之電腦ID相對應之位址(步驟S434)。CPU11將與異常ID相對應之應對資訊、複數個應對項目及比例、複數個異常發生原因及比例、以及複數個更換零件ID及相對應之零件名及比例發送至所讀出之位址之電腦2(步驟S435)。再者，CPU11參照預先記憶有與更換零件ID相對應之零件名之記憶部15，抽出與更換零件ID相對應之零件名。
個人電腦2之CPU21經由通訊部26接收應對資訊、複數個應對項目及比例、複數個異常發生原因及比例、以及複數個更換零件ID及零件名及比例(步驟S436)。CPU21使應對資訊、複數個應對項目及比例、複數個異常發生原因及比例、以及複數個更換零件ID及零件名及比例顯示於顯示部24(步驟S437)。
圖44係表示應對資訊之顯示影像之說明圖。CPU21除顯示應對資訊以外，亦顯示應對項目、異常發生原因及更換零件ID。CPU21按比例之由高至低之順序顯示複數個應對 項目。再者，於本實施形態中，列舉伺服電腦1之CPU11按比例由高至低之順序讀出應對項目之例，但並不限定於此。關於個人電腦2之CPU21所接收之複數個應對項目及比例，亦可藉由根據比例進行排序而自比例較高之應對項目依序顯示於顯示部24。
CPU21同樣使異常發生原因以比例較高之順序顯示於顯示部24。於圖44之例中，最初顯示比例最高為65%之「機械零件不良」，其次，比例高達30%之「電氣零件不良」繼而顯示於下側或右側。再者，就紙面之情形而言省略有關比例低於上述情形之異常發生原因之記載。CPU21針對各異常發生原因按比例由高至低之順序顯示零件名及更換零件ID及比例。於圖44之例中，對於「機械零件不良」，最初顯示比例最高為80%之零件A，其次，比例高達10%之零件B例如顯示於下側或右側。繼而，顯示比例高達5%之零件C。如此針對應對項目及異常發生原因按比例由高至低之順序一併顯示比例，因此使用者可採取適當對策。又，由於使針對每個異常發生原因必需更換之零件名與比例一併顯示，因此可儘早且適當定購獲取需要時間之零件。
本實施形態10為如上所述，其他方面與實施形態1至9相同，因此對相對應之部分附加相同之參照編號並且省略其詳細之說明。
1‧‧‧伺服電腦
1A‧‧‧便攜式記錄媒體
2‧‧‧電腦
2A‧‧‧電腦
2B‧‧‧電腦
2C‧‧‧電腦
3‧‧‧伺服電腦
4‧‧‧電腦
4A‧‧‧電腦
4B‧‧‧電腦
4C‧‧‧電腦
10‧‧‧綜合伺服電腦
11‧‧‧CPU
12‧‧‧RAM
13‧‧‧輸入部
14‧‧‧顯示部
15‧‧‧記憶部
15P‧‧‧控制程式
16‧‧‧通訊部
18‧‧‧時鐘部
20‧‧‧成膜裝置
20A‧‧‧成膜裝置
20B‧‧‧成膜裝置
20C‧‧‧成膜裝置
21‧‧‧CPU
22‧‧‧RAM
23‧‧‧輸入部
24‧‧‧顯示部
25‧‧‧記憶部
25P‧‧‧控制程式
26‧‧‧通訊部
28‧‧‧時鐘部
29‧‧‧成膜處理部
40‧‧‧成膜裝置
40A‧‧‧成膜裝置
40B‧‧‧成膜裝置
40C‧‧‧成膜裝置
151‧‧‧裝置DB
152‧‧‧應對資訊DB
153‧‧‧統計DB
251‧‧‧異常檔案
252‧‧‧應對資訊檔案
253‧‧‧異常歷程檔案
290‧‧‧平台控制部
291‧‧‧第1感測器
292‧‧‧第2感測器
293‧‧‧第3感測器
294‧‧‧通訊埠
N‧‧‧通訊網
圖1係表示處理系統之概要之模式圖。
圖2係表示電腦之硬體群之方塊圖。
圖3係表示異常檔案之記錄佈局之說明圖。
圖4係表示異常資訊之顯示影像之說明圖。
圖5係表示異常歷程檔案之記錄佈局之說明圖。
圖6係表示選擇畫面之影像之說明圖。
圖7係表示應對資訊輸入畫面之影像之說明圖。
圖8係表示應對資訊檔案之記錄佈局之說明圖。
圖9係表示伺服電腦之硬體群之說明圖。
圖10係表示裝置DB之記錄佈局之說明圖。
圖11係表示應對資訊DB之記錄佈局之說明圖。
圖12係表示應對資訊之顯示影像之說明圖。
圖13係表示應對資訊之受理處理之順序之流程圖。
圖14係表示應對資訊之顯示處理之順序之流程圖。
圖15係表示實施形態2之處理系統之概要之模式圖。
圖16係表示實施形態2之應對資訊之顯示處理之順序的流程圖。
圖17係表示實施形態3之異常檔案之記錄佈局之說明圖。
圖18係表示異常資訊顯示畫面之影像之說明圖。
圖19係表示應對資訊檔案之記錄佈局之說明圖。
圖20係表示應對資訊輸入畫面之影像之說明圖。
圖21係表示實施形態2之應對資訊DB之記錄佈局之說明圖。
圖22係表示應對資訊之受理處理之順序之流程圖。
圖23係表示應對資訊之受理處理之順序之流程圖。
圖24係表示實施形態4之伺服電腦之硬體群之方塊圖。
圖25係表示統計DB之記錄佈局之說明圖。
圖26係表示應對資訊之顯示影像之說明圖。
圖27係表示統計之顯示處理之流程圖。
圖28係表示統計之顯示處理之流程圖。
圖29係表示應對資訊之輸入畫面之說明圖。
圖30係表示實施形態5之應對資訊檔案之記錄佈局之說明圖。
圖31係表示應對資訊DB之記錄佈局之說明圖。
圖32係表示刪除處理之順序之流程圖。
圖33係表示實施形態6之異常檔案之記錄佈局之說明圖。
圖34係表示執行處理之順序之流程圖。
圖35係表示實施形態7之裝置DB之記錄佈局之說明圖。
圖36係表示警告畫面之影像之說明圖。
圖37係表示抽出處理之順序之流程圖。
圖38係表示警告資訊之顯示處理順序之流程圖。
圖39係表示實施形態8之處理系統之概要之模式圖。
圖40係表示實施形態9之電腦之硬體群之方塊圖。
圖41係表示實施形態10之統計DB之記錄佈局之說明圖。
圖42係表示統計之顯示處理順序之流程圖。
圖43係表示統計之顯示處理順序之流程圖。
圖44係表示應對資訊之顯示影像之說明圖。
1‧‧‧伺服電腦
2‧‧‧電腦
2A‧‧‧電腦
2B‧‧‧電腦
2C‧‧‧電腦
20‧‧‧成膜裝置
20A‧‧‧成膜裝置
20B‧‧‧成膜裝置
20C‧‧‧成膜裝置
N‧‧‧通訊網

Claims (20)

  1. 一種資訊處理裝置，其係處理與半導體處理裝置相關之資訊，並與上述半導體處理裝置之廠家側以外之電腦經由通訊網而連接者，且包括：顯示部，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理部，其受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶部，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯而記憶；輸出部，其將所記憶之異常特定資訊及應對資訊經由通訊部輸出至上述電腦；項目顯示部，其於發生異常之情形時，顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶部，其將自所顯示之複數個處理項目選擇之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；項目發送部，其將藉由該項目記憶部而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至上述電腦；項目接收部，其接收自上述電腦發送之異常特定資訊所對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示部，其於發生異常之情形時，顯示所接收之上述異常之異常特定資訊所對應之應對項目相關之統計。
  2. 如請求項1之資訊處理裝置，其包括： 獲取部，其於發生異常之情形時，獲取與該異常之異常特定資訊對應之應對資訊；及應對資訊顯示部，其顯示上述獲取部所獲取之應對資訊。
  3. 如請求項2之資訊處理裝置，其中上述獲取部包括：發送部，其於發生異常之情形時，將該異常之異常特定資訊經由上述通訊部發送至上述電腦；及接收部，其接收自上述電腦發送之異常特定資訊對應之應對資訊。
  4. 如請求項3之資訊處理裝置，其包括：原因顯示部，其顯示複數個異常發生原因之候補；原因記憶部，其將選自所顯示之複數個異常發生原因之異常發生原因與異常特定資訊建立關聯而記憶；及原因發送部，其將記憶於該原因記憶部之異常特定資訊及異常發生原因經由上述通訊部發送至上述電腦。
  5. 如請求項4之資訊處理裝置，其包括：原因接收部，其接收異常特定資訊對應之異常發生原因相關之統計；及統計顯示部，其於發生異常之情形時，顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之異常發生原因相關之統計。
  6. 如請求項5之資訊處理裝置，其中上述統計係異常特定資訊對應之複數個異常發生原因之數量或比例， 上述統計顯示部於發生異常之情形時，按由高至低之順序顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之複數個異常發生原因、及各異常發生原因之數量或比例。
  7. 如請求項1至6中任一項之資訊處理裝置，其中上述受理部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊及該應對資訊之保存期間資訊；上述輸出部將所記憶之異常特定資訊、應對資訊及保存期間資訊輸出至伺服電腦。
  8. 如請求項1之資訊處理裝置，其中上述電腦係設置於使用者側。
  9. 如請求項1之資訊處理裝置，其中將上述所記憶之異常特定資訊及應對資訊輸出至與上述資訊處理裝置之分類相同之上述電腦。
  10. 如請求項1之資訊處理裝置，其中將上述所記憶之異常特定資訊及應對資訊輸出至與上述資訊處理裝置之分類相同且運轉時間相差特定時間之上述電腦。
  11. 一種處理系統，其係將處理與半導體處理裝置相關之資訊之複數個資訊處理裝置及上述半導體處理裝置之廠家側以外之伺服電腦經由通訊網連接者，且一資訊處理裝置包括：顯示部，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理部，其受理對所發生之異常做出應對時之應對資 訊；記憶部，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常的異常特定資訊建立關聯而記憶；輸出部，其將所記憶之異常特定資訊及應對資訊輸出至上述伺服電腦；項目顯示部，其於發生異常之情形時，顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶部，其將選自所顯示之複數個處理項目之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；及項目發送部，其將藉由該項目記憶部而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至上述伺服電腦；上述伺服電腦包括：資訊記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置發送之異常特定資訊及應對資訊；讀出部，其讀出由上述資訊記憶部所記憶之異常特定資訊對應之應對資訊；發送部，其將所讀出之異常特定資訊對應之應對資訊發送至上述其他資訊處理裝置；應對項目記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置發送之異常特定資訊及應對項目；統計產生部，其根據由該應對項目記憶部記憶之複數個異常特定資訊對應之應對項目，產生異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及 統計發送部，其將由該統計產生部產生之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計發送至其他資訊處理裝置；上述其他資訊處理裝置包括：接收部，其接收自上述伺服電腦發送之異常特定資訊對應之應對資訊；應對資訊顯示部，其顯示該接收部所接收之應對資訊；項目接收部，其接收自上述伺服電腦發送之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示部，其於發生異常之情形時，顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計。
  12. 如請求項11之處理系統，其中上述受理部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊及該應對資訊之保存期間資訊；上述輸出部將所記憶之異常特定資訊、應對資訊及保存期間資訊輸出至上述伺服電腦；上述伺服電腦包括：期間記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置輸出之異常特定資訊、應對資訊及保存期間資訊；及刪除部，其根據保存期間資訊而刪除已經過保存期間之異常特定資訊之應對資訊。
  13. 如請求項11之處理系統，其中 上述伺服電腦係將自上述一資訊處理裝置發送之異常特定資訊及應對資訊，發送至與上述一資訊處理裝置之分類相同之上述其他資訊處理裝置。
  14. 如請求項11之處理系統，其中上述伺服電腦係抽出與上述一資訊處理裝置之分類相同且運轉時間相差特定時間之上述其他資訊處理裝置，並將自上述一資訊處理裝置發送之異常特定資訊及應對資訊輸出至上述其他資訊處理裝置。
  15. 一種處理方法，其係藉由包含控制部之資訊處理裝置而處理與半導體處理裝置相關之資訊者，上述資訊處理裝置係與上述半導體處理裝置之廠家側以外之電腦經由通訊網而連接，且上述處理方法包括：顯示步驟，於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理步驟，藉由上述控制部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶步驟，將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯，並且藉由上述控制部而記憶；輸出步驟，將所記憶之異常特定資訊及應對資訊經由通訊部輸出至上述電腦；項目顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示成為候補之複數個應對項目；項目記憶步驟，將選自所顯示之複數個處理項目之應 對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；項目發送步驟，將藉由該項目記憶步驟而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至上述電腦；項目接收步驟，接收自上述電腦發送之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計。
  16. 一種程式，其係使包含控制部及顯示部之資訊處理裝置處理與半導體處理裝置相關之資訊者，上述資訊處理裝置係與上述半導體處理裝置之廠家側以外之電腦經由通訊網而連接，且上述程式係使資訊處理裝置執行如下步驟：顯示步驟，於半導體處理裝置發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理步驟，藉由上述控制部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶步驟，將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常之異常特定資訊建立關聯，並且藉由上述控制部而記憶；輸出步驟，將所記憶之異常特定資訊及應對資訊經由通訊部輸出至上述電腦；項目顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示成為候補之複數個應對項目； 項目記憶步驟，將選自所顯示之複數個處理項目之應對項目與異常特定資訊建立關聯而記憶；項目發送步驟，將藉由該項目記憶步驟而記憶之異常特定資訊及應對項目經由上述通訊部發送至上述電腦；項目接收步驟，接收自上述電腦發送之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示步驟，於發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示所接收之上述異常之異常特定資訊對應之應對項目相關之統計。
  17. 一種資訊處理裝置，其係處理與半導體處理裝置相關之資訊，且包括：顯示部，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理部，其受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶部，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常的固有之異常ID建立關聯而記憶；輸出部，其將所記憶之異常ID及應對資訊經由通訊部輸出至外部；異常ID發送部，其隨著異常之發生，將由上述顯示部顯示之異常資訊所對應之異常ID、成為候補之複數個應對項目及各應對項目所相關之統計之獲取請求發送至外部；項目顯示部，其顯，示與由上述異常ID發送部發送之獲 取請求對應而被發送之異常ID所對應之成為候補之複數個應對項目；項目記憶部，其將自所顯示之複數個處理項目選擇之應對項目與異常ID建立關聯而記憶；項目發送部，其將該項目記憶部所記憶之異常ID及應對項目經由上述通訊部發送至外部；項目接收部，其接收與由上述異常ID發送部發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計；及項目統計顯示部，其顯示與由上述異常ID發送部發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計。
  18. 一種處理系統，其係處理與半導體處理裝置相關之資訊之複數個資訊處理裝置及伺服電腦經由通訊網而連接之處理系統，且一資訊處理裝置包括：顯示部，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理部，其受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶部，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常的固有之異常ID建立關聯而記憶；輸出部，其將所記憶之異常ID及應對資訊輸出至上述伺服電腦； 異常ID發送部，其隨著異常之發生，將由上述顯示部顯示之異常資訊所對應之異常ID、成為候補之複數個應對項目及各應對項目所相關之統計之獲取請求發送至外部；項目顯示部，其顯示與由上述異常ID發送部發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之成為候補之複數個應對項目；項目記憶部，其將自所顯示之複數個處理項目選擇之應對項目與異常ID建立關聯而記憶；及項目發送部，其將該項目記憶部所記憶之異常ID及應對項目經由通訊部發送至上述伺服電腦；上述伺服電腦包括：資訊記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置發送之異常ID及應對資訊；讀出部，其讀出上述資訊記憶部所記憶之異常ID所對應之應對資訊；發送部，其將讀出之異常ID所對應之應對資訊發送至其他資訊處理裝置；應對項目記憶部，其記憶自上述一資訊處理裝置發送之異常ID及應對項目；統計產生部，其根據該應對項目記憶部所記憶之複數個異常ID所對應之應對項目，產生異常ID所對應之應對項目所相關之統計；及統計發送部，其將該統計產生部所產生之異常ID所對 應之應對項目所相關之統計發送至其他資訊處理裝置；上述其他資訊處理裝置包括：接收部，其接收自上述伺服電腦發送之異常ID所對應之應對資訊；應對資訊顯示部，其顯示該接收部所接收之應對資訊；項目接收部，其接收與由上述異常ID發送部發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計；及項目統計顯示部，其顯示與由上述異常ID發送部發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計。
  19. 一種處理方法，其係藉由包含控制部之資訊處理裝置而處理與半導體處理裝置相關之資訊者，且包括：顯示步驟，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理步驟，其藉由上述控制部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶步驟，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生之異常的固有之異常ID建立關聯，並且藉由上述控制部而記憶；輸出步驟，其將所記憶之異常ID及應對資訊經由通訊部輸出至外部；異常ID發送步驟，其隨著異常之發生，將由上述顯示 步驟顯示之異常資訊所對應之異常ID、成為候補之複數個應對項目及各應對項目所相關之統計之獲取請求發送至外部；項目顯示步驟，其藉由上述控制部顯示與由上述異常ID發送步驟發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之成為候補之複數個應對項目；項目記憶步驟，其將自所顯示之複數個處理項目選擇之應對項目與異常ID建立關聯而記憶；項目發送步驟，其將藉由該項目記憶步驟而記憶之異常ID及應對項目經由上述通訊部發送至外部；項目接收步驟，其接收與由上述異常ID發送步驟發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計；及項目統計顯示步驟，其藉由上述控制部顯示與由上述異常ID發送步驟發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計。
  20. 一種程式，其係使包含控制部及顯示部之電腦處理與半導體處理裝置相關之資訊者，且上述程式係使電腦執行如下步驟：顯示步驟，其於半導體處理裝置發生異常之情形時，藉由上述控制部顯示與所發生之異常相關之異常資訊；受理步驟，其藉由上述控制部受理對所發生之異常做出應對時之應對資訊；記憶步驟，其將所受理之應對資訊與用以特定所發生 之異常的固有之異常ID建立關聯，並且藉由上述控制部而記憶；輸出步驟，其將所記憶之異常ID及應對資訊經由通訊部輸出至外部；異常ID發送步驟，其隨著異常之發生，將由上述顯示步驟顯示之異常資訊所對應之異常ID、成為候補之複數個應對項目及各應對項目所相關之統計之獲取請求發送至外部；項目顯示步驟，其藉由上述控制部顯示與由上述異常ID發送步驟發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之成為候補之複數個應對項目；項目記憶步驟，其將自所顯示之複數個處理項目選擇之應對項目與異常ID建立關聯而記憶；項目發送步驟，其將藉由該項目記憶步驟而記憶之異常ID及應對項目經由上述通訊部發送至外部；項目接收步驟，其接收與由上述異常ID發送步驟發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目相關之統計；及項目統計顯示步驟，藉由上述控制部顯示與由上述異常ID發送步驟發送之獲取請求對應而被發送之異常ID所對應之應對項目所相關之統計。
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