JP2012208659A - 情報処理装置、処理システム、処理方法、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コンピュータ2Aは成膜装置20Aに関する情報を処理する。コンピュータ2Aは、成膜装置20Aに異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する。コンピュータ2Aは、発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける。コンピュータ2Aは、受け付けた対処情報を、発生した異常を特定するための異常特定情報に対応付けて記憶する。コンピュータ2Aは記憶した異常特定情報及び対処情報を、サーバコンピュータ1へ出力する。成膜装置20Bに異常が発生した場合、コンピュータ2Bは異常特定情報に対応する対処情報をサーバコンピュータ1から受信し、表示する。
【選択図】図1
Description
以下実施の形態を、図面を参照して説明する。図1は処理システムの概要を示す模式図である。処理システムは、コンピュータ1、半導体処理装置20及び情報処理装置2等を含む。半導体処理装置20は、情報処理装置2の制御に従い半導体に対して処理を行う装置である。半導体処理装置20は例えば、ウェハ上に酸化膜を成膜する成膜装置、洗浄装置、エッチング装置または露光装置である。本実施形態においては、半導体処理装置20を成膜装置20として説明するがこれに限るものではない。
実施の形態2はサーバコンピュータ1を介すことなく、コンピュータ2間で対処情報を送受信する形態に関する。図15は実施の形態2に係る処理システムの概要を示す模式図である。コンピュータ2A、2B、2C、・・・はピアツーピアで通信網Nを介して接続されている。コンピュータ2Aで対処情報が入力され、対処情報ファイル252が更新された場合、更新された対処情報が他のコンピュータ2B及び2Cにも送信される。異常発生時には、自身の対処情報ファイル252を参照して対処情報を表示する。
及びコンピュータIDを他のコンピュータ2へ送信する(ステップS164)。
実施の形態3は異常時の対処項目及び異常発生原因を収集する形態に関する。図17は実施の形態3に係る異常ファイル251のレコードレイアウトを示す説明図である。異常ファイル251は異常IDフィールド、異常情報フィールド、対処項目フィールド、及び異常発生原因フィールド等を含む。対処項目フィールドには、異常IDに対応付けて異常が発生した場合に候補となる複数の対処項目が記憶されている。本実施形態では一例として3つの対処項目を記憶している。対処項目は例えば「リトライ」、「処理継続」及び「再起動」である。候補となる各対処項目には具体的な対処項目に関する説明が異常IDに対応付けて記憶されている。異常発生原因フィールドには、異常が発生する原因となった異常発生原因を、異常IDに対応付けて複数記憶している。例えば、「設計不良」、または「調整不良」等である。
実施の形態4は対処情報を表示する際に、対処項目及び異常発生原因の統計を表示する形態に関する。図24は実施の形態4に係るサーバコンピュータ1のハードウェア群を示すブロック図である。記憶部15には新たに統計DB153が設けられている。図25は統計DB153のレコードレイアウトを示す説明図である。統計DB153は異常IDフィールド、対処項目フィールド、異常発生原因フィールド、件数フィールド及び割合フィールドを含む。
実施の形態5は対処情報を保存期間の情報を用いて管理する形態に関する。図29は対処情報の入力画面を示す説明図である。ユーザは入力部23を通じて対処情報の保存期間を入力することができる。なお、保存期間に替えて消去日時を入力しても良いことはもちろんである。本実施形態においては保存期間を入力する例を挙げて説明する。CPU21は記憶部25から、保存期間を入力するための情報を表示する。図29に示すように、保存期間は、異常IDに対応する対処情報を永久に保存する「永久」、所定の日時まで保存する「 年 月 日まで」、及び、所定月経過するまで保存する「 ヶ月」が一例として挙げられる。ユーザは対処情報が重要であり長期間に亘り保存する必要があると考えた場合、「永久」を入力部23から選択する。ユーザは所定期間後に消去しても良いと考える場合は、保存を希望する日時、または、保存する月数を入力部23から入力する。
実施の形態6は対処項目の統計に基づき処理を実行する形態に関する。図33は実施の形態6に係る異常ファイル251のレコードレイアウトを示す説明図である。新たに実行命令フィールドが用意されている。実行命令フィールドには異常ID及び対処項目毎に、成膜装置20に対する実行命令が記憶されている。例えば対処項目「リトライ」についてはステージ制御部290に対し、再度ステージを上昇動作させる実行命令が記憶されている。CPU21は実行命令を成膜装置20へ、通信ポート294を介して出力する。成膜装置20は実行命令に従いステージ制御部290を上昇させるべく制御する。
実施の形態7は関連する成膜装置20を有するコンピュータ2へ対処情報を提供する形態に関する。図35は実施の形態7に係る装置DB151のレコードレイアウトを示す説明図である。さらに分類フィールド、設置年月日フィールド及び稼働時間フィールドが設けられている。分類フィールドは成膜装置20の分類を特定するための情報が記憶されており、例えば型番、機種名等が記憶される。本実施形態においては説明を容易にするために分類「A」、「B」等が記憶されているものとして説明する。
実施の形態8は複数のサーバコンピュータ1の情報を共有する形態に関する。図39は実施の形態8に係る処理システムの概要を示す模式図である。上述した実施形態で述べたサーバコンピュータ1、コンピュータ2及び成膜装置20と同様の構成のサーバコンピュータ3、コンピュータ4及び成膜装置20を設けても良い。サーバコンピュータ3も複数のコンピュータ4A、4B、4Cを備え、成膜装置40A、40B、40C(以下場合により40で代表する)には各コンピュータ4A、4B、4Cがそれぞれ組み込まれている。サーバコンピュータ1とサーバコンピュータ3とはインターネット等の通信網Nを介して総合サーバコンピュータ10に接続されている。本実施形態では説明を容易にするために、サーバコンピュータ1とサーバコンピュータ3との2つを用いる例を挙げて説明するが、さらに多くのサーバコンピュータ1、コンピュータ2及び成膜装置20の組み合わせを設けても良い。
図40は実施の形態9に係るコンピュータ2のハードウェア群を示すブロック図である。実施の形態1乃至8に係るコンピュータ2を動作させるためのプログラムは、本実施の形態9のように、読み取り部(図示せず)にUSBメモリ、CD−ROM等の可搬型記録媒体1Aを読み取らせて記憶部25に記憶しても良い。また、当該プログラムは、インターネット等の通信網Nを介して接続される他のサーバコンピュータ(図示せず)からダウンロードすることも可能である。以下に、その内容を説明する。
実施の形態10は交換部品に関する統計を表示する形態に関する。図41は実施の形態10に係る統計DB153のレコードレイアウトを示す説明図である。サーバコンピュータ1のCPU11はコンピュータ2から異常ID、異常発生原因及び交換部品IDが送信された場合、異常ID及び異常発生原因に対応づけて、交換部品IDを対処情報DB152に記憶する。CPU11は対処情報DB152を参照し、異常ID、異常発生原因及び交換部品IDに対応する交換部品IDの数を計数する。CPU11は計数した数を、異常ID、異常発生原因及び交換部品IDに対応づけて統計DB153に記憶する。またCPU11は異常ID、異常発生原因及び交換部品IDの件数を、異常発生原因に対応する全ての交換部品IDの全件数で除し、100を乗じることで割合を算出する。CPU11は算出した割合を件数に対応づけて記憶する。なお、紙面の都合上対処項目等のレコードの記載は省略している。
1A 可搬型記録媒体
2、2A、2B、2C コンピュータ
3 サーバコンピュータ
4、4A、4B、4C コンピュータ
10 総合サーバコンピュータ
11 CPU
12 RAM
13 入力部
14 表示部
15 記憶部
15P 制御プログラム
16 通信部
18 時計部
20、20A、20B、20C 成膜装置
40、40A、40B、40C 成膜装置
21 CPU
22 RAM
23 入力部
24 表示部
25 記憶部
25P 制御プログラム
26 通信部
28 時計部
29 成膜処理部
151 装置DB
152 対処情報DB
153 統計DB
251 異常ファイル
252 対処情報ファイル
253 異常履歴ファイル
290 ステージ制御部
291 第1センサ
292 第2センサ
293 第3センサ
294 通信ポート
N 通信網
Claims (11)
- 半導体処理装置に関する情報を処理する情報処理装置において、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示部と、
発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける受け付け部と、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための異常特定情報に対応付けて記憶する記憶部と、
記憶した異常特定情報及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力部と、
異常が発生した場合に、候補となる複数の対処項目を表示する項目表示部と、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常特定情報に対応付けて記憶する項目記憶部と、
該項目記憶部により記憶した異常特定情報及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信部と
外部から送信された異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信部と、
異常が発生した場合、受信した前記異常に係る異常特定情報に対する対処項目に関する統計を表示する項目統計表示部と
を備える情報処理装置。 - 異常が発生した場合に、該異常に係る異常特定情報に対応する対処情報を取得する取得部と、
前記取得部が取得した対処情報を表示する対処情報表示部と
を備える請求項1に記載の情報処理装置。 - 前記取得部は、
異常が発生した場合に、該異常に係る異常特定情報を、前記通信部を介して外部へ送信する送信部と、
外部から送信された異常特定情報に対応する対処情報を受信する受信部と
を含む請求項2に記載の情報処理装置。 - 異常発生原因の候補を複数表示する原因表示部と、
表示された複数の異常発生原因から選択された異常発生原因を異常特定情報に対応付けて記憶する原因記憶部と、
該原因記憶部に記憶した異常特定情報及び異常発生原因を、前記通信部を介して外部へ送信する原因送信部と
を備える請求項3に記載の情報処理装置。 - 異常特定情報に対応する異常発生原因に関する統計を受信する原因受信部と、
異常が発生した場合に、受信した前記異常に係る異常特定情報に対応する異常発生原因に関する統計を表示する統計表示部と
を備える請求項4に記載の情報処理装置。 - 前記統計は異常特定情報に対応する複数の異常発生原因の数または割合であり、
前記統計表示部は、
異常が発生した場合に、受信した前記異常に係る異常特定情報に対応する複数の異常発生原因と、各異常発生原因の数または割合を高い順に表示する
請求項5に記載の情報処理装置。 - 前記受け付け部は、
発生した異常に対処した際の対処情報及び該対処情報の保存期間情報を受け付け、
前記出力部は、
記憶した異常特定情報、対処情報及び保存期間情報を前記他のコンピュータへ出力する
請求項1乃至6のいずれか一つに記載の情報処理装置。 - 半導体処理装置に関する情報を処理する複数の情報処理装置及びサーバコンピュータが通信網を介して接続された処理システムにおいて、
一の情報処理装置は、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示部と、
発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける受け付け部と、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための異常特定情報に対応付けて記憶する記憶部と、
記憶した異常特定情報及び対処情報を、前記サーバコンピュータへ出力する出力部と、
異常が発生した場合に、候補となる複数の対処項目を表示する項目表示部と、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常特定情報に対応付けて記憶する項目記憶部と、
該項目記憶部により記憶した異常特定情報及び対処項目を、前記通信部を介して前記サーバコンピュータへ送信する項目送信部とを備え、
前記サーバコンピュータは、
前記一の情報処理装置から送信された異常特定情報及び対処情報を記憶する情報記憶部と、
前記情報記憶部により記憶した異常特定情報に対応する対処情報を読み出す読み出し部と、
読み出した異常特定情報に対応する対処情報を前記他の情報処理装置へ送信する送信部と、
前記一の情報処理装置から送信された異常特定情報及び対処項目を記憶する対処項目記憶部と、
該対処項目記憶部により記憶した複数の異常特定情報に対応する対処項目に基づき、異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を生成する統計生成部と、
該統計生成部により生成した異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を前記他のコンピュータへ送信する統計送信部とを備え、
前記他の情報処理装置は、
前記サーバコンピュータから送信された異常特定情報に対応する対処情報を受信する受信部と、
該受信部が受信した対処情報を表示する対処情報表示部と、
前記サーバコンピュータから送信された異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信部と、
異常が発生した場合、受信した前記異常に係る異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を表示する項目統計表示部とを備える
処理システム。 - 前記受け付け部は、
発生した異常に対処した際の対処情報及び該対処情報の保存期間情報を受け付け、
前記出力部は、
記憶した異常特定情報、対処情報及び保存期間情報を前記サーバコンピュータへ出力し、
前記サーバコンピュータは、
前記一の情報処理装置から出力された異常特定情報、対処情報及び保存期間情報を記憶する期間記憶部と、
保存期間情報に基づき、保存期間を経過した異常特定情報の対処情報を消去する消去部と
を備える請求項8に記載の処理システム。 - 半導体処理装置に関する情報を、制御部を有する情報処理装置により処理する処理方法において、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示ステップと、
発生した異常に対処した際の対処情報を前記制御部により受け付ける受け付けステップと、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための異常特定情報に対応付けて、前記制御部により記憶する記憶ステップと、
記憶した異常特定情報及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力ステップと、
異常が発生した場合に、候補となる複数の対処項目を前記制御部により表示する項目表示ステップと、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常特定情報に対応付けて記憶する項目記憶ステップと、
該項目記憶ステップにより記憶した異常特定情報及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信ステップと
外部から送信された異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信ステップと、
異常が発生した場合、受信した前記異常に係る異常特定情報に対する対処項目に関する統計を前記制御部により表示する項目統計表示ステップと
を含む処理方法。 - 半導体処理装置に関する情報を、制御部及び表示部を有するコンピュータに処理させるプログラムにおいて、
コンピュータに、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を前記制御部により表示する表示ステップと、
発生した異常に対処した際の対処情報を前記制御部により受け付ける受け付けステップと、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための異常特定情報に対応付けて、前記制御部により記憶する記憶ステップと、
記憶した異常特定情報及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力ステップと、
異常が発生した場合に、候補となる複数の対処項目を前記制御部により表示する項目表示ステップと、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常特定情報に対応付けて記憶する項目記憶ステップと、
該項目記憶ステップにより記憶した異常特定情報及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信ステップと、
外部から送信された異常特定情報に対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信ステップと、
異常が発生した場合、受信した前記異常に係る異常特定情報に対する対処項目に関する統計を前記制御部により表示する項目統計表示ステップと
を実行させるプログラム。
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