TW583513B

TW583513B - Apparatus and method for marking an identifying code by using laser beam

Info

Publication number: TW583513B
Application number: TW091125019A
Authority: TW
Inventors: Yukihiro Uehara; Masaki Mori; Kenji Sato
Original assignee: Toray Eng Co Ltd
Priority date: 2001-10-25
Filing date: 2002-10-25
Publication date: 2004-04-11
Also published as: US20060243713A1; US20040241340A1; WO2003036391A1; KR20040044554A; CN1288502C; CN1575439A

Description

583513 ----- 五、發明說明（l) [技術領域] 本發明：關於利用雷射光束在被標，標示=裝置。亦即，有關於標示方法及裝置= m:驟等’利用雷射光束在塗布有光抗餘劑板’標不識別碼用以進行履歷管理或品質管理。之基 [背景技術] 般在液日日面板製造步驟中，有荦光;:劑(亦亦可即，感光樹脂)之玻璃丄^ :板i二置曝光基板識別碼或不而要之抗蝕劑部份，然後利用知之此種顯像處理過之玻璃基板被分割成為多m;:二晶面板。 ^用不製成液圖28表不上述方式之曝光處理後之顯板之實例。 ♦处王30之玻璃基在玻璃基板50排列多個液晶面板51成為光和在基板周邊標示基板識別碼50a用丁此方式曝品質管理等。另外，在玻璃基板50於被分進^履歷/理或面板51之後，亦可以在各個液晶面板51標示加=個液晶碼等之面板識別碼5 1 a，成為可以識別特定、排列唬 5 1 ’另外’亦可以在每-個縱行標示附加有分B曰面板等之分斷基板識別碼50b，成為可以以縱断位w置貧訊理各個液晶面板5 1。刀斷單位管在上述方式之利用大型之玻璃基板5〇分力乂馬多個之小

\\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第5頁 583513 五、發明說明（2) 型液晶面板5 1之製造情況時’需要分斷基板識別碼& 〇 b或面板識別碼5 1 a。但是此處之基板識別碼5 0 a，分斷基板識別碼5 0 b，和面板識別碼5 1 a等之稱呼和分割數等只是一實例’會隨著液晶面板之種類等而變化。

在習知技術中，上述方式之基板識別碼5〇a，分斷基板識別碼5 0 b，和面板識別碼5 1 a等之識別碼之標示所採用之方法是利用N C控制使裝載有玻璃基板之載物台，以一定之速度移動到被固定在一定位置之曝光單位，同時使雷射光束分支成為多根，使該多根之雷射光束選擇性的照射在玻璃基板上之指定位置，用來標示識別碼。但是，習知之標示方法因為依照上述之方式使1根之雷射光束为支成為多根之光束，當該多根之光束選擇性的照射在玻璃基板上之指定位置時，同時使裝載有: 載物台進行相對移動’戶斤以光束相互間之照射點移，由於該偏移會使光束之形狀或能量產生變動，不識別碼標示成均質之濃·度或形狀。

:外’習知之方法因為使具備有雷射光束照射機構之曝 ==和裝載有基板之載物台進行相對移動，同時…行化：，用來標不識別碼，所以當使液晶面板小型次排列之Λ板數變多時’因為掃描和照射之 …策是考慮增加設在⑽台標示^之= 2是增加設置數目時需要使設置場所變大，會使叙置變為大型為其問題。曰

583513 五、發明說明（3) [發明之揭示] 本發明之目的是提供南丨+ a 法及裝置，在使曝光單位^ ^光束產生識別螞之栌一 ^ Λ Α τ 早位和載物台進行相斟狡&铋不方用Μ射光束標示識別碼之情況二％，同時均質之濃度或形狀。 j ^不该識別π ι 本發明之另一目的是+ 4 J疋徒供利用雷射光戾吝古冰βτ af產生4別碼螞成為之標示方法及裝置’不會造成裝置之大型化識別碼之標識別碼，和可以提高生產效率。以有欵的標示 J:ίΐ上述前者目的之本發明的識別碼之卜使1載有被標示物品之載物台，和被配不方法是方之曝光單位進行相對移動，利用從上述；；台之上之雷射光束用來在上述之被標示物品上標，早位輪出徵是Μ吏從上述之曝光單位輸出之雷射光；、：“馬；其特移動方向之正交方向，依照時序順序偏向的進^之相對使其照射方向不對上述之相對移動方向偏^ =知描，和示物品上之照射點被排列在正交座標。，上述之被標用以實施上述方法之本發明的標示裝置，盆配置在该載物台之上方之曝光單位可以進用從該曝光單位輸出之雷射光束用來對士向之正交方向，依照時序順序偏向的以動：構’用來使被該光束偏向機構偏向之雷射日:二： =;::目對移動方向偏移；由上述之光束偏向機= 这之方向校正機構構成上述之曝光單位。

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- — 五、發明說明（4) ::達成上述前者目的之本载有巧標示物品之載物台，和被配^:標示方法是使裳曝光早位進行相對移動，利用在該載物台之上方之 f.光/用來在上述之被標示物：上二曝光單位輸出之雷疋：使上述之載物台或該载物△ τ不硪別碼；其特徵正交座標對上述之相對移口之被標示物品之表面之光單位輪出之雷射光束對上述：：：：斜’使從上述之曝向，依照時序順序偏向的進行 /移動方向之正交方之照射點被排列在正交座標。上述之被標示物品上用以實施上述另一栌千士包含有··光束偏向機二、使裝的裝置，其特徵是和被配置在該載物台之上方之戚朵1軚不物品之载物台，動，和使上述之載物台或該載；進行相對移之正交座標對上述之相對被私不物品之表面光單位輪出之雷射光束用來對上動=從該曝方向，依照時序順序偏向的掃描移動方向之正交被該光束偏向機構偏向之影光學機構，用來對機構’用來變化該投影光學機擴大，和方向校正方向；由上述之光束偏構所輸出之雷射光束之照射上述ϋ p #向機構，上述之投影光學機構，和杈機構構成上述之曝光單位。依知上述之本發明時走在曝光單位和載物台之“；位輸出之雷射光束：移動方向之正交方向光正照射方向使在相對种丨接之先束間之照射時間差不會偏 mi 第8頁 \\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 583513 五、發明說明（5) 移’所以各個光束之能量分布和形狀不會大幅的變化，可以標示形狀·濃度成為均質之識別碼。另外’用以達成上述後者目的之本發明的識別碼之標示 =法是使裝載有被標示物品之載物台，和被配置在該載物 1 =上方之曝光單位進行相對移動，同時使來自上述之曝 “單位之雷射光束照射在上述之被標示物品上，使多個識 =碼在相對移動方向以指定之間距標示成為多行之矩陣縣^其特彳政疋上述之1個單位之曝光單位在相對移動方向移動1個間距之期間，標示多行之識別碼。被彳*千物口 $韵榀&方法之i置，其特徵是將裝載做不物口口之載物台，和被單位設置成可以相對移動，在上述：：之上方之曝光束照射機構，用來在上述之被:先早位没置雷射光向以指定之間距標示多個識=上’於相對移動方該雷射光束照射機構設置角行=陣狀’和在依照上述之本發明時，利動方向父又之方向。之期間之空白期間，標示鄰^ 相對移動1個間距個行，所以在與習知之標示 7 硪別碼，藉以標示多之期間，可以標示倍數以上之數目目同之相對移動1個間距不使曝光單位數目之增加等別碼。因此，即使生產量。、大型化，亦可以增大 [本發明之最佳實施形態] 圖1表示用以達成上述目之本發明之利用雷射光束產

ΙΜ \\A312\2d-code\92-01\91125019.ntd 第9頁五、發明說明（6) 生識別碼之標示裝置之實例。元件編號1是曝光單位，2是在上面台、。基板50在其表面塗布有光抗蝕劑（亦即有，土感光之$物作為被標示物品的放置在載物厶 f 於曰，是設置成平行並排之2組:是二曝光單位\在圖中 50之幅度方向之全體成為多行。…°又置成在涵盍基板在表面塗布有光抗蝕劑之某載機器人或輸送帶等之搬運機 =圖中未顯示之移看使矩形之長邊方向和正驅=構’/平面和y軸方向時，可以分別d為正，座標之X軸方向動…轉機構，以與表面=:7:二向獨立的移梢成為可出沒多個吸引孔和多個基板支持之構搬入之基板5〇裂载在突出到載物台2之表面降S截物if,。其次基板支持梢下降’用來使基板50下 13 ，然後利用在吸引孔之負壓之作用，將基板50吸者的保持在載物台2之表面。 —基板50被放置在載物台2上時之位置因為經常為不一偏離預先登錄之基準位置之程度，根據其之：:°又疋在基準位置。位置之設定方法並沒有特別夕二Γΐ以利用變位感測器或CCD攝影機，以圖像處理 =4測疋法等進行測定。或是使用當將基板保持在物口2之前’從橫向壓入到成為基準位置，藉以進行位置

583513 五、發明說明（7) ------— 調正之方法。持板50之載物台2利用牝控㈣，根據預先登錄之 ;1二於動!1識別碼之曝光開始位置。曝光開始位置利用呆進仃登錄，成為對偏移量校正計算過之狀態。 =们以脈波輸出來自雷射光源（圖中未顯示；之"艮 $二束10，經由光束分裂器21分支成為直進之雷射光 -向變更之雷射光束12。雷射光束1〇之脈波輸出，二二所不，使時間％之發光Α和時間tb之消光β以高速脈波式的交替重複。一曝光單位1使從雷射光源（圖中未顯示）輸出之〗根之雷射光束10在光束分裂器21分支成為丨丨和”。直進之雷射光束 11以稜鏡22變化角度。另外，角度變更機構亦可以使用反射鏡用以代替稜鏡2 2。分支後之角度變更之雷射光束丨2和 1 3刀別通過光束偏向機構2 3，利用該光束偏向機構2 3產生依照時序變化角度之雷射光束14、14a〜14f、I4z。該等之雷射光束被透鏡2 4矯正成為平行光束15、i5a〜I5f、 1 5z ° 其次’平行光束15、15a〜15f、15z經由透過過滹哭25 只照射在基板50之指定之位置，刪3(a)透二；= 處理切去其餘之範圍之光束15和152。圖3(a)表示在光束偏向機構23未被偏向之雷射光束（所謂〇次光）之射出之方式。未被偏向之照射之〇次雷射光束 14通過透鏡24，在透過過濾器25被遮光成為〇次之雷射光束15。另外’只要能夠選擇性取捨通過光束偏向機胃構“光

583513 五、發明說明（8) ΐί等亦另Τί代替該透過過“25,例如亦^P 透鏡J之過過滤器25不-定要如圖所用示零件之基板50之^配置在光束偏向機構23和成為被^ 圖3(b)〜（d)用來表示利光 ^擇照射之雷射光束(所謂=械光構= ί ί ξ : vr;v； r ；—- - , ’通過透過過㈣5:2 4選成擇為::之,1::::光光東照===:::1化欠之雷射光束之偏向角“ 之1次之雷射圖3(〇所示，偏向照射光二過透鏡24成為平行光之1次之雷射 n 5f ’通過透過過渡器25成為選擇照射之束卜如圖3⑷戶斤示，偏向照射之卜欠之雷射光束^射先 I透鏡24後’被透過過渡器25遮光成y次之雷射光束 =了該等〇次光或丨次光外，從光束偏向機構23亦射出被 =Γ、—、次光或2次光之光線和其調變成分之光線。但是該，過過滤态2 5遮光，和被本身之框架遮光，另外該等之能量因為變弱，所以不會射出，在操作上大致沒有問題。 \\A312\2d-code\92-0l\91125019. 第12頁 583513 五、發明說明（9) 通過該透過過濾器25之雷射光束〗6a〜進行反射用來變化照射方向，成為SC 17 :m( j照圖5)。方向轉換後之雷射光束na〜⑺如圖所不/成為被集光透鏡26集光之雷 i8a〜二二Λ射基板5°上用來使表面之編劑曝光，光束18&〜18『之曝光點之集積，用來標示由子彳或2 -人元圖形構成之識別碼(；（5丨a )。 :二別碼c⑸)之標示如圖i所示，使載物台2 Λ二1速度v進行移動，同時在與移動方向正交二 f該識別碼之標示時，在反射鏡 =之；r:r方向移動之基一與其移動Λ 點a、b、cW 1射ί 〜…順序掃描時，其曝光、，依π各個雷射光束間之昭射日卑皮同樣的成為傾斜，所以識別碼C成歪斜之形狀。述者另外，在圖中所示之曝光點&、b、c . r ^ 實際曝光點…卜，虛線所包圍點表貫亍曝光點，但是以卢❹:^ ^ 虛線之點正確講是非虛線表不為者方便稱為曝光點。 Χ之曝光單位如圖5所示，反射鏡31以與長度方向第13頁 \\A312\2d-code\92-01\9H25019.ptd 583513 五、發明說明（10) 2行之旋轉軸31a為中心，利用反射鏡旋轉機構32成為依則項方向進行旋轉，所以反射之雷射光束丨7a〜丨7 f之照射方向在時序上依照載物台2(基板50 )之移動方向f順序#的偏移。因此，如圖9所示，雷射光束1 8a〜1 8f之掃描方向與 2物台2之移動同步的，在移動方向f順序的傾斜偏移/其，果是雷射光束18a〜18f之曝光點a、b、c、d、e、f，^ 一人之曝光點g、h、i、]·、k、l，和更其次之曝光點m、n、、 0、P、q、r排列成為正交座標之狀態。因此，標示排為均一之格子狀之識別碼C。、在圖中所示之實施形態，所使用之方法是使雷射光束 18a〜l8f之掃描方向，對載物台2(基板5〇)之移動方向f 二傾斜’反射鏡3 1如圖5所示的旋轉，但是亦可以如圖6 卞在反射鏡31之長度方向之中間安裝正交之旋轉車由° 32a，使該旋轉軸32a利用反射鏡旋轉機構32依照箭頭方。旋轉。另外，亦可以如圖7所示，使反射鏡成為多角形向射鏡33，以多角形反射鏡33之軸作為旋轉軸， /夂旋轉機構3 2進行旋轉。射鏡另外，亦可以使用稜鏡，雙稜鏡之其他之形式和來代替上述之反射鏡。構用上述之方法均是使反射鏡之反射面成為可變，彳曰曰，以預先使曝光單位！或反射鏡31之安裝角度成為可一變π，亦^可圖9所示，光束掃描方向對基板移動方向不是正交而^如有一定之角度。其結果是即使在將光束曝光方向^定^具與基板移動方向F正交之情況時，亦可以獲得與上述者成同為

五、發明說明（η) 以基方如圖10所示，使載物台光束掃描方向傾斜。對移動方向）’在平面看成為對以之雷射光束’除了脈波輸出者外，只要是束。在連續輸出光π:使用，續輸出之雷射光光束之偏向角度心時，:？11所示’假如有變化之日士 Μ也士守間為t ，光束偏向角度0沒 ^ t, tb f/t2VV^ / ^ 間時，則可以在指定之位置7劑敏感度之時大„之情況’雷射光束内之能量分布實際上並不均 ί二疋即使在該等情況假如施加到光抗蝕劑之能量充足被感光。另外，由於實際之曝光能量和光抗餘劑 : ίί系統之組裝精確度和表面反射等，曝光點 χ 疋70王之正方形，但是在識別碼之視認性大部情 i不會有問題。經由變化過濾器或透鏡之形狀或間隔或組百，可以使光束之形狀自由的變化成為圓形或多角形。在圖1之實施形態中，所說明之情況是使1根之雷射光束在光束分裂器21被分支成為2根，但是亦可以使分支數成為3以上，或是不分支保持為丨根的使用。另外，只要能夠使光束为支，並沒有特別之限定，亦可以使用半反射鏡之其他機構。另外，在圖1之實施形態中，被光束偏向機構23偏向之雷射光束14a〜14f，經由集光透鏡24成為平行光。但是，

583513 發明說明（12) 在本發明中使偏向後之電射光束成為平行光並不是必需的’亦可以如圖1 2之實例所示，不需要使光束偏向機構2 3 所擴大之雷射光束成為平行光，而是直接被反射鏡3 1反射’利用投影透鏡等之光學機構26進行集光，可以照射和曝光在基板50之上。另外，在使偏向後之雷射光束再度集光之情況時’所使用之投影光學系統可以不拘有限系統，無限系統’或所使用之反射鏡之片數。當變化識別碼之方向時，經由變化載物台之方向進行掃描，可以用來進行標示。在使識別碼完成曝光之後，使載物台移動到基板搬出位置，在解除基板之吸著後，使基板支持梢上升’將基板裝載在基板搬運機構和進行搬出。然後再度的搬入未曝光基板，進行曝光操作，曝光完成後= 行排出，以此方式重複一連貫之動作。另外’在圖1之實施形態中，用來使雷射光束偏向分支之機構使用光束偏向機構23進行多段之偏向照射。亦即，如圖13之實施形態之方式，亦可以使光束偏向機構23進行舍光和消光之選擇照射’雷射光束之偏向操作使用多角形反射鏡，利用反射鏡旋轉機構30使其進行旋轉。另外，這時之多角形反射鏡2 8亦可以利用圖1 4所示之實例之方式，使用使平面反射鏡2 9左右旋轉者。在圖1之實施形態中，使曝光單位丨成為固定狀態，和使基板保持用之載物台2可以在正交座標之x軸方向7〇y軸方向分別獨立的移動。但是，亦可以使其關係成為相反，使曝光單位1可以在正交座標之X軸方向和y軸方向分別獨立

583513 五、發明說明（13) 的移動。另外’在將曝光單位並排的設- 動機構:吏該等曝光單位間： = = =成為 ;照上述之以任意的變更。照射方向，使在其進行掃描，因為校正會產生照射時間差之偏移方鄰接之光束間不狀不會大幅的變化，可以m先束之能量分布或形碼。 τ以軚不形狀.濃度為均質之識別圖1 7係例示用以達成上诚德去生之識別碼的標示裝置者μ者目的之本發明雷射光束產 9Λ^7Λ’曝光單位1，載物台2，和被保持在該載物a 2之被私不物品之基板5〇等，與圖示之實例之口同丄=成在表面塗布有感光樹脂(光抗钱劑）。 ^述^基板50經由圖^顯示之移載機器人之搬運機構，被搬入和裝載在載物台2之上。另/ ’，咿等物台2設有:驅動機構’可以在正交座標心軸方向和载向獨立的移動；和旋轉驅動機構，以垂直於載物方中心之方向之軸作為中心進行旋轉；•圖j之：面進行x軸方向和y軸方向之水平移動和旋轉運動相问的另=:利用曝光單位】使從雷射光源輸出之"艮束1。/刀裂’分支成為2根之雷射光束12、13分別利用田光束光第17頁 \\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 583513 五、發明說明（14) 偏向機構23，依照時序變化角度成為雷射光束14〜14z，利用透鏡2 4使該等成為平行光束1 5〜1 5 z，然後利用透過過濾器2 5進行如圖3 (a )〜（d )之處理，用來切去其餘之範圍之光束，其情況與圖1相同。依照上述之方式，通過過濾器2 5之被選擇之雷射光束 1 6a〜1 6 f，利用反射鏡3 1等之光學式角度變更機構變化照射角度。利用反射鏡31變化角度後之雷射光束17&〜nf，經由透鏡26被集光成為雷射光束18a〜18f，照射在塗布有光抗蝕劑之基板50，用來使光抗蝕劑感光。透鏡26使用被稱為F Θ透鏡者’但是亦可以使用—般使用纟，或其他之透鏡，或組合有其他之光學構件者。本發明之標示裝置是在上述之椹、生士 ^ ^ 肚产V·β 4+林。，構造中，將旋轉機構32安名在上述之反射鏡31之旋轉軸，利用該旋轉機構32之 ^使反射鏡31傾斜移動’用來使被反射鏡31反射之= 光束17a〜17f之照射方向移動到y轴方向。然後田、、支持該旋轉機構32之L狀之安裝框架34，以轉機構35 ’具有與旋轉機構32之旋轉軸正交、另外—個旋軸，經由使該旋轉機構35轉動， σ之％轉射之雷射光束17a〜17f之：：方=來使被反射鏡3】反上遂之反射鏡31之旋轉機構32和安裝框 35構成本發明之雷射& & "" 紅轉機構田m兀*射方向之角度轡争個旋轉機構3 2和3 5轉動稍料夕命艾吏機構。使各评勒稍嘁之角度，如圖1 8所；雷射光束17a〜17f口 8所不，可以使丄 1 8 ί對基板5 0之昭射# m 線所示之位置（在圖17中為署、、射位置，從鏈貝、果所不之位置），變更成為實

WA312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第18頁 583513

線所示之斜後方之位置。下面將說明使用上述之太义沾产γ #认甘』本t明之標示裝置，如圖2 9所示的在形成於基板50之12片χ ·| 9 y ^ 、、個，標示面板識別碼5 i a之《液曰曰面5 1之各元圖形形成。之方去。識別碼由文字和/或2:欠首先’在未设有上述之备疮台2對曝光單位lit行相對機構之情況時’使載物 1使雷射光束以號碼⑴、(2)動日;’如圖19所：，曝光單位時序上選擇性的昭射，在产 · · ·之妝射順序6 2在 ^ . f …、在知為照射方向6 1照射一次1列之

面板識別碼5 1 a，用來使以一 6 J 暖j。+ & π ^、疋之間距排列之識別標示5la ^ 、況，假如曝光單位1是1個單位時，需要每 1仃12二人之掃描照射，假如〇卜口要6次之掃描。叹置2個早位時，母一個皁位需，是，當使用上述之角度變更機構時，士口圖2〇所示，可以在1次之掃描照射進行各2行之標示。亦即，在進行1次之掃描照射時，如圖丨8所說明之方二，利用角度變更機構之動作，使雷射光束17a〜i7f、 a〜1 8 f對基板5 〇之照射位置，交替的變更成為鏈線所示之位置和實線所示之位置，同時在掃描照射方向61以一定 ]距排列2行之識別碼5丨a，以此方式進行標示（參照圖 )。亦即，在照射順序62所示之（1)、（2)、（3) · · ·之順序號碼，奇數時，使角度變更機構之轉動角度成為圖18 之鏈線之姿勢，成為偶數時使角度變更機構之轉動角度成為圖3之實線之姿勢，依照時序變化用來選擇雷射光束之

583513 L、發明說明（16) - 2射方向’使2行之識別碼5 1 a以一定之間距排列，以此方式進行標示。換a之，在識別碼依照照射順序（1)、（ 3 )、（ 5)號之順排列時，在（1)號之識別碼之標示完成，到下一個之（3 ) ^識別碼t標示開始止之空白期間，進行鄰行之（2)號下一】馬之彳二示’然後在（3 )號之識別碼之標示完成，到 ~ 一個之號之識別碼之標示開始土之空白期間，進行順序⑴、⑷、（6 ^示不。另夕卜’在識別碼依照照射標示、占j 丁順序排列時，在（2)號之識別碼之白期二進—+ Γ個之（4)號之識別碼之標示開始止之空 ::間’進灯鄰行之(3)號之碼之標，之識別碼之標示完成，刭 …、後在（4)號開始止之空白期間，進固之虮之識別碼之標示 ^ ^ J進订鄰行之（5)號之識別碥夕柄一虽依照此種方式進杆1 4 馬之才示不。進行識別碼之標示，所人之广Ί’因^為以多行為單位置2個單位之曝光單位::假;】如片圖^ ，欠5只要3次，另外假如曝掃描照次。因此，可以在同—時間内口早位時只要6 以上之數目之識別碼之標示。之軚示方法之倍數在上述之實施形態中所說明之情況角度成為2個階段的變化，、使角度變更嬙m ^ 以1次之掃描昭私义文機構之之識別碼’但是識別碼之間距間之空白；:用來榡示2行況’如圖21所示亦可以成為3階段或更夕：間在容許之情外，這時之聚焦用之透鎊 / 夕^段之變仏处規26可以如圖21 文化。另

\\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第20頁 _ 坏不的成為 583513

者，亦可以如圖22之實例所示的在每一個階段設置聚隹透鏡26a、26b、26c。在此種情況，透鏡26a、26b、26c之數目依照變更之照射方向之數目鑤彳卜 4別数日欠化，和利用位置調節機構 (圖中未顯示）可以調節各個之位置。另外，在上述之實施形態中是使曝光單位丨成為被固定在指定位置之狀態，使基板保持載物台2在正交座標之χ軸方向和y軸方向進行移動，和構成可以進行轉動，但是亦可以與此相反的，使曝光單位丨在义軸方向或乂軸方向移動和轉動。另外，曝光單位1亦可以只有1個單位。角度變更機構在所不之實例組合有旋轉機構3 2和3 5，但是亦可以如圖23所示，例如使用組合有由電磁掃描器％、 3 7構成之反射鏡角度變更機構者。另外，角度變更機構亦可以使用使電磁掃描器3 6、3 7成為圖2 4或圖2 5所示實例之配置或組合者。另外，使雷射光束分支成為多根之機構，除了光束偏向機構23外，亦可以使用圖26所示繞射光學元件等之光束分支過濾裔6 7者。被該光束分支過濾器6 7分支之雷射光束4 i 利用透鏡24成為平行之雷射光束42，各個雷射光束42獨立的照射在角度變更機構68。被該等角度變更機構68反射之雷射光束4 3 ’成為利用透過過濾器2 5選擇照射之雷射光束 44，和利用反射鏡31變化角度藉以成為雷射光束丨7a〜 1 7ί。另外，用來使光束分支照射之機構可以是利用以電磁掃描器或多角反射鏡為代表之多角形反射鏡等之方法和其他之機構。

\\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第21頁 583513 五、發明說明（18) 光之1 -欠之兩μ 〇/、、、射人雷射光束16a〜16f，和被遮 ΓΛ 光束15z。但是，在實際之標示中，可以成之9個階段或其以下之情況，或是再、·'田刀成為10個階段以上之情況，角度變換段數亦可以成為所希望之任意之段數。另外，在實施形態中所說明之情況是將雷射光束丨0分支成為2根，但是亦可以不分支，另外亦可以使用多個光束分裂器進行多分支。另外，光束分裂器21因為是用來分支光線之機構，所以亦可以使用半反射鏡等之其他之機構。另外，所示之實例是並排的配置2個單位之曝光單位，但是亦可以使該等之間隔能夠利用移動機構（圖中未顯示）移動，和可以任意的變更識別碼之標示位置。依照上述之本發明時，因為利用曝光單位相對移動1個間距之期間之空白期間，標示鄰接行之識別碼，用來標示多個行，所以在與習知之標示方法相同之相對移動丨個間距之期間，可以標示倍數以上之數目之識別碼。抑另外，即使欲祕不之行數增加時，因為不需要增加曝光單位，所以裝置不會大型化，可以使裝置簡化和小型化。實施例1 利用圖1之識別碼標示裝置’在塗布有光抗蝕劑之基板標示識別碼時，雷射光束使用YAG雷射之第3高諧波之波長入=355_附近之雷射光束，塗布在基板之光抗蝕劑選用在該波長進行感光之樹脂。

WA312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第22頁 583513 五、發明說明（19) 雷射光束之脈波頻率f設定為f = 60kHz，集光在基板時之雷射光束之工作面之幅度W = 〇· 〇50mm，鄰接之光束間之間隔P = 0.050mm，在光束之厚度方向使載物台移動之速度設定為v = 500mm/秒。另外，雷射光束以7個階段被光束偏向機構偏向，其中之6個方向之光束通過該透過過濾器2 5照射在基板，以此方式利用10kHz選擇照射6個方向之光束。利用上述之設定’在雷射光束之1個脈波之期間，載物台移動之距離D以 D-v/f 表示，鄰接光束間之偏移為0· 0 083 (mm)，下_ r夕水击之間隔變成為丁、’束間 D=6x 500/60000=0.05(mm) 〇另外，1個脈波内之ON時間為ta，OFF時間為&時，工 r = ta/( ta + tb) 定義，經由設定成r = 1 0 %，則每1個脈波之雷鼾變成為 0射知射時間t ta = r/f 〇實際之當雷射光線之工作面之長度d成為d = 〇. 〇45mm時照射長度L變成為 ^ L = d + v · ta L二d+v · r/f 因為L = 0. 0 5 0mm，所以可以使各個雷射光東暖不|光成為5 〇

583513 五、發明說明（20) // m間隔之格子狀。依照此種方式進行曹圖形構成之點狀之；形成圖15所示之由文字或另外，不限定於圖二圖案之識別碼。別碼之大小，可以對點壯經由變化基板之掃描速度V或識使圖1 6所示之角變圓:之圖案進行各種變化。例如可以何學圖幵>，可以作A、：成為圓％，或變更成為其他之幾實施例2 #為識別碼的辨識。田VH圖/ 7之‘不裝置在基板標示識別碼日夺，雷射光束使用YAG雷射之第3高諧：田射光束使 ^ ^ ^ 夂夂，皮長λ=3 5 5ηπι之雷射光束，塗布劑選用在該波長進行感光之樹脂^ 個碼由高度20點χ長度100點之格子構成，各、…回度2mm X長度1 〇mm。亦即，各個之點中心和點=心之距離（亦即點間距）成為〇 lmm。雷射光束之脈波頻率f設定在6〇kHz，利用光束變更機構在ί ^碼之咼度方向，使光束依照時序的偏向照射。這時為著選擇照射，所以在識別碼之長度方向，以3kHz輸出下一個之脈波。足時’假如載物台之移動速度設定為v = 3〇〇mm/秒時，在識別碼之長度方向，點間距成為dy = 0. 1mm。玻璃基板之長邊方向之長度Lx = 6 5 0匪，短邊方向之長度

Ly=550mm ° 如圖2 9所示，將1片之玻璃基板分割成為縱橫丨2 X 1 2 片’對長邊方向之長度px = 54mm，短邊方向之長度py = 40mm

583513 五、發明說明（21) 之面板之各個，標示識別碼在習知方式之曝光單位！為2個單位之情況日士示的進仃6次之掃描曝光動作。$時：，如圖19所度為1〇匪’在各個面板之長邊行曝之，別碼之長完成位置到下-個之曝光開在此種 44mm，成為移動需要時間。置之長度依照ί發明之方式，在1次之掃描曝光中，八p 向的動作，如圖20所示，利用3次之掃描：：到2個方定之曝ΐ。另外，假如如圖所示的進行分=進行指之動作日…以以2次之掃描動作進行指定之二3個位置外，假如使曝光單位之數；先。另可以減少。 U之~描動作次數在上述之任何一錄丨主、〇光之時間，用來對；，用習知方式中之識別碼不唭 L a ^ ^郇接仃和/或其他之行進行標示不曝此，1 -人之知描照射所需 ’、。因描照射之次數，可以# 寺曰14同，所以經由滅少_ 絲七4 7 v π > 縮紐每1次基板之處理時間，❼知種方式可以使母單位時利用此

多。了间之基板處理片數（亦即通量）悔C 此處所示之基板之搞會依照實際使用之形能二：又7或碼之大小只是-實例成為正確之圓形或：：；化；另外：點狀之圖案不」定要其他之多角形和使兮c以成為三角形或六角巧構成，即使在鄰接角變圓，或由其他之幾何學二或時，亦可以作為識別碼的辨識。或獨立之情;兄 \\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第25頁 583513

貫際上大部份之棒是即使在該種情況：2：分布並不均* ’但以被感光。另外，/二施加在抗银劑之能量充分時亦可度，光學系統之組！；光能量和抗银劑之敏感為完全之正㈣，；度或表面之反射等，嚴格講不成題。 1一疋大致上識別碼之辨認性不會有問在本實施例所述之各或透鏡之形狀或間二貝上、：一广經由變化過滤器為圓形或多角形等：：：：束形狀、“ 如本實施例之脈波光】卜介：使；之运射光束亦可以不是另外，太杏祐/束，亦可以應用在連續波之情況。板進行曝朵Ϊ Λ例所說明之情況是對塗布有光抗蝕劑之基 α α 1β、11，但是變更所使用之雷射之種類，不只可以以其他之波長曝井，而 Α 適美你^ a η ^ 而且在對具有金屬成膜之基板或玻 =基板石夕曰曰囫基板進行光刻（直接標示）之情況亦為有效0 [產業上之利用可能性] 上述之本發明可以利用雷射光束對塗布有光抗蝕劑之基板進行曝光和標示，除此情況之外，經由變更雷射光束之種類，亦可以應用在對具有金屬成膜之基板或玻璃基板，石夕晶圓基板進行直接光刻（直接標示）之情況之標示。 [元件編號之說明] 1 曝光單位 2 載物台 10 、 11 、 12 、 13 、

\\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第 26 頁 583513 五、發明說明（23) 14、1 4 a 〜 14f、14z 雷射光束 15、1 5 a 〜 15f、15z 平行光束 17a 〜17f 、18a〜18f雷射光束 21 光束分裂器 23 光束偏向機構 24、26 透鏡 25 透過過濾器 31 反射鏡 31a 、 32a 旋轉軸 32、35 旋轉機構 33 多角形反射鏡 34 安裝框架 36 ^ 37 電磁掃描 50 基板

\\A312\2d-code\92-01\91125019.ptd 第27頁 583513 丨式簡單說明實=1。疋概略圖，用來表示本發明之識別碼之標示裝置之圖2是輸出圖形，用來表示本發明所使一實例。由対九束之圖3(a)〜（d)是說明圖，用來表示利用本發明之光束偏向機構操作雷射光束使其偏向後之狀熊。衣圖4疋說明圖’用來表示本發曝光在基板之狀態。㈣月之衣置中之使雷射光束圖5是說明圖，用來表示本發明之裝置中之射光束之照射方向之反射鏡反射機構。田圖6是說明圖，用來說明本發射光束之照射方向之另-反射鏡反Λ構用來變更雷圖7是說明圖，用來說明本發明之射光束之照射方向之反射鏡反射機構'置中之用來變更雷圖8是說明圖，用來表示不依照本發明曝光方法。床對基板之用來表示依照本發明之方法對基板之曝用來表示依照本發明之方法對基板之曝〇圖9是說明圖光方法。圖1 0是說明圖，光方法之另一實例w 月，用之連續輸出之雷射光束之偏向角度隨著日守間變化之方式。 m2 :說明圖’用來表示在本發明中，偏向之光束不成為平行光’以投影透鏡集光之情況。

圖式簡單說明圖，用來表示本例。圖14是概略圖，用來表圖是概略 — 裝置之另-實例。〜不衣示本發明之利用雷射光束之襟示偏向機構之另—實例，水衣示㈣之裝置所使用之光束圖15是利用本發明許_ 圖16是說明圖，用：：識別碼之說明圖。一實例。來表不利用本發明標示之識別碼之另圖17是概略圖，用來裝置之實例。木表不本發明之另一實施形態之標示之標示裝置進行多行圖18是說明圖，用氺袁一之俨干夕心用來表不利用圖17 之耘不之動作。 η 圖1 9是說明圖，用决本一面板識別竭曝光日4 ^ ^不在圖29之基板利用習知方法使圖20 0 β 時掃描照射步驟。圖α疋說明圖，用氺法使面板識別巧表Γ 9之基板利用本發明之方圖21是心月二曝先時之掃描照射步驟。之標示之操作二另2 #二示利用圖17之標示裝置進行多行標【另用ί表示利用本發明之方法進行多行之〜又力一實例。圖23是說明圖，争一之俨干之^ > 更用來表示利用本發明之方法進行多行之昝不之細作之另一實例。 / 1丁圖24是說明圖，用 — ^ ^ ^ . 用來表不利用本發明之方法進行多行之私不之刼作之更另一實例。 Τ夕订之圖2 5疋°兄明圖’用來表示利用本發明之方法進行多行之第29頁 C:\2D-CODE\92-Ol\9ll250l9.ptd 583513 圖式簡單說明標示之操作之更另一實例。圖2 6是說明圖，用來表示利用本發明之方法進行多行之標示之操作之更另一實例。圖2 7是識別碼之標示圖像圖。圖28是平面圖，用來表示曝光處理後之顯像處理過之基板之實例。圖2 9是平面圖，用來表示對去角數較多之基板配置識別碼之實例。

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Claims

583513 l · 一種利用雷射光束產生識別碼之標八被；^示物品之載物台，和被配置在該 =a法’使裝載有單位進行相對移動，利用從上述之曝台之上方之曝光束用來在上述之被標示物品上標示識別:位，出之雷射光從上述之曝光單位輸出之雷射光束對上沭，，、特徵是··使之正交方向，依照時序順序偏向的進播=相對移動方向方向不對上述之相對移動方向偏移，上^知、，和使其照射之照射點被排列在正交座標。 a之被標示物品上 2· —種利用雷射光束產生識別碼之標被標示物品之載物自，和被配置在該載物二二去，使裝載有單位進行相對移動，利用從上 σ上方之曝光走用夾太μ、+、+ ^ 曝先早位輸出之雷射弁束用末在上述之被標不物品上標示識射先上述之載物台或該載物台上之被標示物品之；=二使標對上述之相對移動方向成為傾斜，使從上^ ^座輸出之雷射光束對上述之相對移動方向之正二二二先=位時序順序偏向的進行掃描，上述 =° '"照被排列在正交座標。（之被私不物品上之照射點 3·如申請專利範圍第項之利 Si:::其中上述之識別碼由文字和 4人：種利用㈣光束產生識別碼之標包含有：光束偏向機構，使裝載有被標示物品之載、物台疋 :被:;置在該載物台之上方之曝光單位可以進：相對移動利用攸该曝先早位輸出之雷射光束用來對上述之相對

583513 六'申請專利範圍 ____ 移動方向之正交方向，依照時序校正機構’用來使被該光束偏向機和方向射方向對上述之相對移動方向偏：構束之照構和上j之方向校正機構構成上述之曝光光束偏向機 5·如申請專利範圍第4項之利用+私L 土女標示裝置，1中上述之方6 ρ τ _射光束產生識別碼之射鏡。/、中31之方向杈正機構是反射面為可變之反 6.種利用雷射光束產生識別碼炉-狀包含有：光束偏向機構，使裝載有"，*不衣置，，、特徵是和被配置在該載物台之上方Λ標示物品之載物台，動，和使上述之載物台或該載 ^丁相對移之正交座標對上述之相對移動^上之被私不物品之表面光單位輸出之雷射光束用來動=從該曝方”依照時序順序偏向的掃描；投影】學：：向交被该光束偏向機構偏向之雷射、^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ “對方向；由上述之光；：i::構：輸出之雷射光束之照射上述之方向校正機構構成上述之曝光單位。和 7 ·如申請專利範圍第4或5 ^ ^ 之標示裝置，•中在上述之方用=光束產生識別碼光機構。 31之方向扠正機構之下游側設有集 8 .如申請專利範圍第4或6 … β 之標示裝置，其中上ί之用雷身生識別碼 '、光早位被配置成為多行。 9 · 一種利用雷射光束產生# 一减別碼之標示方法’使襄载有

六、申請專利範圍被標示物品之載物A 單位進行相對，和被配置在該载物台之上方夕束昭射m動，同時使來自上述之曝弁if方之曝光方向以指定之間距標示成為多行別碼在相對移動 :之y固λ位之曝光單位在相對移動方Λ=徵是：上間軚不夕仃之識別碼。移動1個間距之期广二申請甘專利範圍第9項之利用雷射光束“ 才示不方法，其中上述之曝光 ^產生識別碼之間距之期間’使上述之雷射光束向移動“固對移動方向交又之方向，用來接=向^成為與相 11. 如中請專利範圍第9或1()項之利= 碼之標示方法’其中上述之識先束產生識別至少之一構成。又子和2次7L圖形之 12. 如申請專利範圍第9或1〇項之利用碼之標示方法，其中上述之被標示物 $ =戠別之基板。疋言I有先抗蝕劑 13. 如申請專利範圍第12項之利用雷射光束之標示方法，其中上述之塗布有光抗蝕 ^別碼板製造用者。 J之基板疋液晶面 14. 一種利用雷射光束產生識別碼之標示裝置，i 疋將裝載被標示物品之載物台，和被配置在該載物么 ^之曝光單位設置成可以相對移動，在上述之曝光&位設置雷射光束照射機構，用來在上述之被標示物品上，於對移動方向以指定之間距標示多個識別碼成為多行之矩陣 583513 六、申請專利範圍狀，和在該雷射光束照射機構設置角度變更機構，用來將雷射光束之照射方向變更成為與上述之相對移動方向交叉之方向。 1 5.如申請專利範圍第1 4項之利用雷射光束產生識別碼之標示裝置，其中上述之被標示物品是塗布有光抗蝕劑之基板。

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