546480 0 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【背景以及習知技術】 本發明係關於在檢測電容傳感器之類的阻抗元件所具 有之阻抗有用之阻抗檢測電路、阻抗檢測裝置、及阻抗檢 測方法。 阻抗檢測電路之習知例可以舉出特開平 9 一 2 8 0 8 0 6號公報記載者。圖1 5係顯示此阻抗檢 測電路之電路圖。在此檢測電路中，將以電極5 4、5 5 所構成之電容傳感器5 1透過信號線5 7接續於運算放大 器5 9之反轉輸入端子。而且，在此運算放大器5 9之輸 出端子與前述反轉輸入端子之間接續電容器6 0之同時， 在非反轉輸入端子施加交流電壓V a c。又，前述信號線 5 7藉由屏蔽線5 6加以被覆，電氣地遮蔽接續電容傳感 器5 1之信號線5 7。而且，此屏蔽線5 6被接續於運算 放大器5 9之非反轉輸入端子。輸出電壓V d由前述運算 放大益5 9之輸出_子透過變壓器6 1被取出。 在上述習知的檢測電路中，運算放大器5 9之反轉輸 入端子與非反轉輸入端子成爲虛短路（ imagnery short )狀 態。因此，被接續於反轉輸入端子之信號線5 7與被接續 於非反轉輸入端子之屏蔽線5 6相互幾乎成爲同電位。因 此，即使以屏蔽線5 6被覆信號線5 7，兩者5 6、5 7 間的漂浮電容被淸除，以圖能夠獲得不受漂浮電容影響之 正確的輸出電壓V d。 【發明之揭示】 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公董） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- 546480 A7 ___B7_ 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如依據上述習知例，確實傳感器5 1之電容在大到某 種程度時，可以獲得不受信號線5 7與屏蔽線5 6之間的 漂浮電容影響之正確的輸出電壓V d。但是，在發明者們 之試驗中，如使傳感器5 1之電容變小（例如，1 0 1 5 F之等級），無法獲得所期待之正確的輸出電壓V d，產 生誤差變大之現象。因此，發明者們就此現象重複加以檢 討。而且，其結果爲獲得如下之發現。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 即，上述習知例之運算放大器5 9係在其之輸入端子 被施加交流電壓V a c。可是特別是使運算放大器5 9之 非反轉輸入端子電壓依據高頻之交流電壓V a c而變動時 ，在運算放大器5 9之現實的動作中，由於運算放大器 5 9之內部的追跡錯誤等，在虛短路狀態之反轉輸入端子 與非反轉輸入端子之電壓間結果也產生微妙的相位、振幅 之偏差。而且，由於此偏差等，產生前述交流電壓V a c 之高頻被重疊在運算放大器5 9之輸出電壓之現象。而且 ，知道此高頻爲成爲前述誤差之要因之一。又，一方的端 子爲未被接續於D C偏壓之狀態的1個之運算放大器5 9 ，使之具有虛短路與增益之2種機能之故，特別是在高頻 動作時，產生偏擺。以上之情形以導致本發明之硏究而開 始了解到。因此，總算了解到：利用運算放大器5 9之虛 短路，只使信號線5 7與屏蔽線5 6成爲同電位，在電容 傳感器5 1之電容微小之情形無法忽視之漂浮電容變成存 在於信號線5 7與屏蔽線5 6之間，由於此漂浮電容之影 響，在前述輸出電壓V d產生誤差。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 546480 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 另一方面，伴隨近年來之傳感器製造技術之提升，具 有如上述之例如1 0 - 1 5 F等級之微小阻抗之傳感器逐 漸登場。如使用此種傳感器，習知上困難之爲小的物理現 象之監視變得容易。因此，可以正確檢測此種傳感器所具 有之微小的阻抗之電路以及裝置之必要性提高。 本發明係爲了解決上述習知的課題而完成者，其目的 在於提供：於正確檢測微小阻抗或微小阻抗的變化有用之 阻抗檢測電路、阻抗檢測裝置、及阻抗檢測方法。 【發明之槪要】 在本申請案之阻抗檢測電路中，係包含電壓輸出器與 第1運算放大器，其特徵爲具備：其之一端被接續於前述 電壓輸出器之輸入端子，在另一端可以接續阻抗元件之信 號線；以及電氣地遮蔽前述信號線之至少一部份之屏蔽手 段；以及在此屏蔽手段施加屏蔽電壓之屏蔽電壓施加手段 ;以及被設置於第1運算放大器之輸出端子與前述信號線 之間之第1阻抗；以及被接續於第1運算放大器之輸出端 子之信號輸出端子。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此處，所謂「阻抗元件」在作爲構件之元件外，也包 含在信號線之端部設置檢測電極，被形成在此檢測電極與 檢測對象之間之阻抗。 又，在本申請案之阻抗檢測電路中，其特徵爲具備： 第1運算放大器；以及兩輸入端子爲虛短路狀態之第2運 算放大器；以及其之一端被接續於第2運算放大器之一方 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 546480 A7 B7 五、發明説明（4 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的輸入端子，在另一端可以接續阻抗元件之信號線；以及 電氣地遮蔽前述信號線之至少一部份之屏蔽手段；以及被 設置於第1運算放大器之輸出端子與前述信號線之間之第 1阻抗；以及被接續於第1運算放大器之輸出端子之信號 輸出端子。又，在此屏蔽手段也可以接續屏蔽電壓施加手 段。 此處，這些可以爲前述屏蔽電壓施加手段也包含相位 振幅補償手段，第1運算放大器之一方的輸入端子也可以 被接續於指定的第1電壓。此之「指定的第1電壓」也可 以爲預先被決定之電壓、或一定的電壓，都是指在阻抗檢 測中或零點等之調整中被維持在已知的電壓。當然也包含 接地或對地線等之接續，在此種情形，與被保持在零電壓 之一定電壓爲等效。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進而，在本發明中，也可以設置由前述信號輸出端子 之輸出電壓去除前述電壓輸出器或第2運算放大器之輸出 電壓之淸除手段。此時，前述淸除手段可以爲由具備：利 用第3運算放大器使前述兩輸出電壓之中的一方的電壓反 轉之反轉放大器；以及相加前述兩輸出電壓之中另一方的 電壓與前述反轉放大部之輸出電壓之加法部而形成，也可 以由具備：使前述兩輸出電壓之中的一方之電壓反轉之反 轉放大部；以及利用第4運算放大器相加前述兩輸出電壓 之中另一方的電壓與前述反轉放大部的輸出電壓之加法部 而形成。而且，這些第3運算放大器或第4運算放大器可 以爲其之一方的輸入端子被接續於指定的第1電壓。除此 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546480 A7 B7 五、發明説明（5 ) 之外，前述反轉放大部也可以具備相位振幅補償手段。 此處，前述淸除手段可以爲具備將前述兩輸出電壓當 成輸入之減法部之構成，此時前述減法部包含第5運算放 大器，也可以使第5運算放大器之一方的輸入端子接續於 指定的第1電壓。又，也可以在減法部之輸入具備相位振 幅補償手段。 在本發明中，也可以在被接續於前述信號線之阻抗元 件，具體爲反信號線側至少可以重疊直流偏壓或交流偏壓 之其一。 又，本發明之阻抗檢測電路進而包含具備：具有至少 1個之端子之一次側接續端子，以及至少具有2個端子之 二次側接續端子之切換手段，前述切換手段之前述一次側 接續端子至少被接續於阻抗元件，前述二次側接續端子至 少被接續於信號線與屏蔽手段，前述一次側接續端子之接 續目的地也可以具有在前述二次側接續端子之間變化之切 換手段。在此二次側接續端子中，對於1個之端子電壓有 指定之關係的電壓被施加於其它的端子。此處，所謂「指 定的關係」係預先被決定的關係或已知的關係。作爲其之 一例爲指：兩電壓間之相位、振幅之一方或雙方爲一定的 比例、逐漸的、隨機變化之類的關係或一定之關係，從屬 於電路整體之狀況、接續之元件或周邊的環境等。又，此 處當然並未排除進而設置可以與前述1次接續端子切換接 續之其它的端子。此時，前述切換手段可以複數具備。 另一方面，第1阻抗具備複數的電阻，也可以附加具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546480 Α7 Β7 五、發明説明（6) 備前述複數的電阻之內至少1個被選擇之選擇手段之構成 。此選擇手段以類似前述切換手段之構成所形成’也可以 在第1阻抗與信號線之間，或第1阻抗與信號輸出端子之 間的其一或兩方具備。在兩方具備下’可以使未被選擇之 阻抗的影響變小。 上述切換手段或選擇手段可以由多路傳輸器作成。進 而，作爲變更決定本發明之電路的放大特性之阻抗部份的 阻抗値用之變更手段，也可以使用這些切換手段或選擇手 段等。 阻抗元件爲電阻成分時，第1阻抗爲電阻，阻抗元件 爲電容性成分時，第1阻抗爲電容在調整信號之相位或振 幅上，容易進行之故比較理想。 在本發明之阻抗檢測裝置中，具備：前述的阻抗檢測 電路，以及於則述ί目號線可由外部接繪阻ί几兀件之纟而子。 此際，也可以設置電氣地遮蔽構裝前述阻抗檢測電路之基 板的至少一部份之屏蔽手段，在此屏蔽手段施加前述屏蔽 電壓。又，也可以具備：使前述屏蔽手段可以接續於外部 之端子，或被接續於偏壓手段，可以由外部施加電壓之端 子。這些端子在保持檢測之精度下，可以極爲提高實際使 用之記得便利性。 在本發明之阻抗檢測方法中，將電壓輸出器之一方的 輸入端子接續信號線，而且，設爲沒有電流之出入的狀態 ，將依據前述電壓輸出器之輸出電壓之屏蔽電壓施加於屏 蔽前述信號線之至少一部份之屏蔽手段，藉由流經被接續 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：Ζ97公釐） -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -9 - 546480 A7 B7 五、發明説明（7 ) 於前述信號線之第1阻抗之電流，檢測阻抗元件之阻抗。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，本發明之阻抗檢測方法爲：使第2運算放大器之 兩輸入端子爲虛短路，使一方的輸入端子接續於信號線， 而且設爲沒有電流之輸入之狀態，使另一方之輸入端子接 續於屏蔽前述信號之至少一部份之屏蔽手段，將施加於阻 抗元件之電壓藉由被接續於前述信號線之第1組抗與第1 運算放大器放大之，檢測阻抗元件之阻抗。此時，更好爲 在前述屏蔽手段施加屏蔽電壓。 進而，也可以使前述電壓輸出器之輸出或第2運算放 大器之輸出由前述阻抗元件之檢測信號減除。 除此之外，也可以在被接續於前述信號線之阻抗元件 至少施加直流偏壓或交流偏壓之其一。 在本發明之阻抗檢測方法中，可以將前述阻抗元件之 接續目的地由前述信號線切換爲前述屏蔽手段，進行初期 設定。 同樣地，也可以改變第1阻抗値，使施加於第1阻抗 之電位差變化，而改變增益。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述之這些的阻抗檢測電路、阻抗檢測裝置、或阻抗 檢測方法中，如此地，藉由電壓輸出器或第2運算放大器 使屏蔽與信號線之電位爲同電位，藉由第1運算放大器進 行電壓放大，在電路內，可以使電壓放大部分與使屏蔽、 信號線間之電位爲同電位之部份分開，被輸入信號輸出電 壓之交流電壓的高頻被重疊，可以使由於運算放大器之內 部的追跡錯誤等之反轉輸入端子與非反轉輸入端子之間的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10- 546480 A7 B7 五、發明説明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 微妙的相位與振幅之偏差幾乎不見，其結果爲：可以使由 於檢測非常微少或耕精度阻抗之際的由於屏蔽等之寄生電 容之影響成爲最小限度。如此，可以獲得正確比例於流經 阻抗元件之電流之信號。 此時，如將運算放大器之一方的輸入端子接續於指定 的第1電壓，各運算放大器之動作安定，一面控制信號線 與屏蔽之間的漂浮電容，一面因應流經阻抗元件之電流， 更能控制顯現於運算放大器之輸出端子之電壓的高頻成分 〇 又，如相位振幅補償施加於屏蔽手段之電壓，即使輸 入信號爲高頻，信號線與屏蔽手段之間的電位差成爲期望 値地可以正確地控制，例如，可以使信號線與屏蔽手段之 間的電位差幾乎成爲零。又，在低頻之情形，即使不使用 相位振幅補償，也有可能在容許誤差範圍之故，彼時，也 可以不使用此。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，如使用切換手段，一面接續阻抗元件或切 離，任何一種都可以正確進行本發明之電路的重置或初期 設定等。藉由此，可以將阻抗元件與信號線之間的電位差 維持在指定的關係，例如，如使此電位差成爲零，可以淸 除兩者間之漂浮電容，能夠更謀求精度提升。此即使爲多 路傳輸器也相同。 又，如使用選擇手段，改變第1阻抗値，可以改變施 加於第1阻抗之電位差，可以在維持檢測精度下，使其之 增益變化。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 546480 A7 _B7___ 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在此阻抗檢測電路、裝置、方法中，藉由使用前述之 切換手段或選擇手段，可以使被選擇之阻抗與未被選擇之 阻抗之間的電位差維持在指定之關係，而且可以變更本電 路之放大特性或增益。因此，即使在因應檢測對象或檢測 狀況，進行檢測範圍切換之情形，可以使其特性正確變化 以進行商精度之檢測。 在阻抗檢測裝置中，可以以與檢測信號傳導之接續線 之間的電位差被正確控制之屏蔽手段遮蔽與外部之阻抗元 件之接續。例如，如使屏蔽手段之電位與接續線之電位相 等，可以淸除兩者間之漂浮電容。進而，在此阻抗檢測裝 置中，以屏蔽手段電氣地遮蔽構裝阻抗檢測電路之基板本 身之故，可以正確控制信號線與屏蔽手段之間的電位差， 例如’如使此電位差成爲零，可以淸除信號線與基板外部 之間的漂浮電容，可以正確檢測微小之阻抗或微小之阻抗 變化。 【發明之詳細說明】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，一面參考圖面一面詳細說明本發明之阻抗檢測 電路、阻抗檢測方法、及阻抗檢測裝置之具體的實施形態 〇 * 圖1係取出上述阻抗檢測電路之鐵心部1而顯示之電 路圖。此鐵心部1爲具備第1運算放大器1 2以及第2運 算放大器1 1而構成。第2運算放大器1 1其之反轉輸入 端子與輸出端子被短路，構成電壓輸出器。此處所謂電壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 546480 A7 B7 五、發明説明（10) 輸出器係指輸入阻抗局，另一方面，輸出阻抗低，輸入輸 出增益爲1 ，作爲阻抗轉換器而作用者。又，信號線i 9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 被接續於第2運算放大器1 1之非反轉輸入端子。而且， 作爲阻抗元件1 8，電容傳感器可以接續於此信號線丄9 。此電容傳感器因應受到之物理量（加速度、壓力、氣體 、光、音波等），使其所有之靜電電容C s變化者。接續 於信號線1 9之前述電容傳感器之另一端被接續於D C偏 壓端子（偏壓手段）2 3或被接地。而且，雖然漂浮亦可 ’但是接續偏壓手段可以精度更高地檢測。又，第2運算 放大器1 2其之非反轉輸入端子被接地之另一方面，第1 電阻（電阻値R 1 ) 1 5以及第2電阻（電阻値R 2 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 6之個別一端被接續於反轉輸入端子。如此以非反轉輸 入端子被接地爲佳，但是機能上如能保持爲零電位等之一 定的電位即可’例如，即使偏壓電壓被施加，只要能保持 一定’可以抑制所謂的電氣之擺動之故，也可以採用此種 方法。而且’第1電阻1 5之另一端被接續於交流電壓產 生益（父流電壓施加手段、產生交流電壓V i η、各頻率 ω) 14 ’第2電阻16之另一端被接續於前述第2運算 放大器11之輸出端子。 又’第1運算放大器1 2之輸出端子透過第3電阻（ 第1阻抗’電阻値R 3 ) 1 7被接續於前述第2運算放大 器11之非反轉輸入端子。進而，第1運算放大器12之 輸出端子、第2運算放大器1 1之非反轉輸入端子、以及 相互接續前述電容傳感器之前述信號線1 9以屏蔽線2 0 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -13- 546480 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（11) 被披覆。此屏蔽線2 0係由外部電氣地遮蔽前述信號線 1 9者。而且，此屏蔽線2 〇透過補償電路（屏蔽電壓施 加手段）13被接續於前述第2運算放大器11之輸出端 子。又，信號輸出端子2 1被接續於前述第1運算放大器 1 2之輸出端子，父流輸出端子2 2被接續於第2運算放 大器1 1之輸出端子。進而，爲了避免圖面變得複雜而在 圖1中並未圖示出，但如在圖8顯示其之一例般地，被接 續於正負電源間之N型M〇SFET47a、P型 MO S F E T4 7 b作爲類比緩衝器4 7被設置於第2運 算放大器1 1之非反轉輸入端子。而且，藉由以此類比緩 衝器4 7之輸入接受前述信號線1 9，可以使由信號線 1 9來看之阻抗成爲極爲高。圖2係上述阻抗檢測電路之 鐵心部1之其它例。交流電壓產生器1 4在第1運算放大 器1 2沒有接續於反轉輸入端子外，其它與圖1相同，即 使如此，也可以構成鐵心部1。 又，圖9係詳細顯示作爲前述鐵心部1之前述阻抗元 件1 8之電容傳感器與信號線1 9之接續部份。在此接續 部份設置切換開關（切換手段）2 4。此切換開關2 4爲 將1次側接續端子2 4 a之接續目的地在2個之2次側接 續端子2 4 b與2 4 c之間切換者。前述信號線1 9被接 續於此切換開關2 4之2次側接續端子2 4 b ，前述屏蔽 線2 0被接續於2 4 c。而且，在切換開關2 4之1次側 接續端子2 4 a可以接續前述電容傳感器之一端。 圖7係顯示設置於前述鐵心部1之補償電路1 3之一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-14- 546480 Μ Β7 — ' ' — __ 丨丨 ι—丨丨 五、發明説明（12) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 例的電路圖。此補償電路1 3係由相位調整部4 8與振幅 調整部4 9所構成。相位調整部4 8係作爲利用運算放大 器7 1之全域通過濾波器而被構成。即，電阻7 3被設置 於輸入端子3 0與運算放大器7 1之反轉輸入端子之間的 同時，可變電阻7 4被設置於前述輸入端子3 0與非反轉 輸入端子之間。又，電阻7 5被設置於運算放大器7 1之 輸出端子與反轉輸入端子之間，進而，電容器7 6被接續 於運算放大器7 1之非反轉輸入端子。電阻7 3與電阻 7 5之電阻値被設爲相互相等。而且，此相位調整部4 8 之輸出側被接續於振幅調整部4 9之輸入側。振幅調整部 4 9係作爲利用運算放大器7 2之反轉放大器而被構成。 即，電阻7 7被設置於其之輸入側與運算放大器7 2之反 轉輸入端子之間，又可變電阻7 8被設置於運算放大器 7 2之輸出端子與反轉輸入端子之間。而且’運算放大器 7 2之非反轉輸入端子被接地。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖3係顯示包含上述鐵心部1之阻抗檢測電路之全體 的電路圖。在圖1之電路圖所示之鐵心部1中，雖將補償 電路1 3之輸入側接續於第2運算放大器1 1之輸出端子 ，但是在此電路圖所示之鐵心部1中，補償電路1 3之輸 入側接續於交流電壓產生器1 4。如後述般地，即使爲此 種接續，也可以相位振幅補償第2運算放大器1 1之輸出 電壓而施加於屏蔽線2 0。具備第3運算放大器3 6之反 轉放大部2被接續於上述鐵心部1之信號輸出端子2 1。 前述信號輸出端子2 1透過電阻値可變得第4電阻（電阻 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -15- 546480 A7 B7 五、發明説明（13) 値R4 ) 3 2被接續於第3運算放大器3 6之反轉輸入端 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 子。而且，由反轉輸入端子側依序第5電阻（電阻値R 5 )3 3以及電阻値可變得第6電阻（電阻値R 6 ) 3 4被 串聯接續於此反轉輸入端子與前述第3運算放大器3 6之 輸出端子之間，進而，與此第6電子3 4並聯地，電容器 3 5被接續著。又，前述第3運算放大器3 6之非反轉輸 入端子被接地。 進而，上述鐵心部1之交流輸出端子2 2以及前述反 轉放大部2之反轉輸出端子4 2被接續於具備第4運算放 大器4 0之加法部3。前述交流輸出端子2 2透過第7電 阻（電阻値R7) 37、又，前述反轉輸出端子42透過 第8電阻（電阻値R 8 )分別被接續於第4運算放大器 4 0之反轉輸入端子。而且，此第4運算放大器4 0之反 轉輸入端子與輸出端子以第9電阻（電阻値R 9 )被接續 ，輸出端子被接續於加法輸出端子4 1。又，第4運算放 大器4 0之非反轉輸入端子被接地。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1 0係顯示具備上述阻抗檢測電路之阻抗檢測裝置 之模型透過斜視圖。阻抗檢測電路被構裝之基板4 4被設 置於電氣地遮蔽其內部之屏蔽盒（屏蔽手段）4 5內，進 而’被配置在電氣地遮蔽其之內部之裝置殼（屏蔽手段） 4內。阻抗接續端子5、屏蔽端子6、偏壓輸入端子7、 以及接地端子8分別由裝置殼4之外部露出而被設置於此 裝置殼4 °而且，被接續於前述切換開關2 4之端子 i 2 4 a之信號線1 9由前述基板4 4延伸，被接續於阻抗 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4胁（21GX297公董)~' -16 - 546480 Α7 Β7 五、發明説明（14) 接續端子5。此信號線1 9雖被以屏蔽線2 0所披覆，但 此屏蔽線2 0進而由外部藉由第2屏蔽線（屏蔽手段） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 6被披覆，藉由此第2屏蔽線4 6電氣地被遮蔽。屏蔽 線2 0被接續於前述屏蔽盒4 5以及屏蔽端子6。又，前 述裝置盒4與第2屏蔽線4 6被接續於接地端子8，裝置 盒4被接地。偏壓輸入端子7被接續於前述檢測電路之 D C偏壓端子2 3。又，前述偏壓輸入端子7在前述D C 偏壓端子2 3成爲電壓輸出器或接地之形態的情形，也有 沒有設置之情形。 接著，說明如上述般地構成之阻抗檢測電路以及阻抗 檢測裝置之動作。首先，在由前述阻抗接續端子5延伸之 信號線1 9之端部接續作爲阻抗元件1 8之一例之電容傳 感器。此接續係使用2重屏蔽纜線。而且，將此纜線之軸 線使用於該電容傳感器之接續之同時，將內側屏蔽線接續 於屏蔽端子6。外側屏蔽線依據纜線之長度、纜線種類、 使用環境等，被接續於接地端子8或被接續於屏蔽端子6 等，因應情形適當分別使用即可。又，偏壓輸入端子7此 處與接地端子8接續。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 設前述電容傳感器之阻抗爲Z，如此一來，於前述鐵 心部1中，交流輸出端子2 2之電壓V 〇係以下式表示： V 〇 = — (R 2/R 1 ) ♦ V i η ⑴ 即，藉由以第1運算放大器1 2與第2運算放大器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -17- 546480 A7 B7 五、發明説明（15) 1 1所構成之電壓輸出器、第1電阻1 5、第2電阻1 6 ，構成將放大輸入電壓V i η之電壓V 0由電壓輸出器之 輸出端子輸出之放大電路，但是第2運算放大器1 1之兩 輸入端子爲虛短路狀態，也可稱爲包含第1運算放大器 1 2而構成放大電路。 如使反轉放大部2之增益成爲- 1以設定電阻3 2、 33、34，反轉輸出端子42之電壓Vb由下式表示： V b = — V c 進而，爲了計算，只注目於前述加法部3時之加法輸出端 子41之電壓V a ，成爲：
Va = -R9- CCVo/R7) + (Vb/R8)) 之故，如使各電阻値與R7二R8 = R9相等，Va爲： V a =— (V 〇 + V b) =—(V 〇—V c) =Vc-Vo (2) ，淸楚藉由反轉放大部2與加法部3構成淸除手段。 此處，如設朝向前述電容傳感器流過第3電阻1 7之 電流爲i ，藉由電壓輸出器或虛短路等之機能，電流i之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣.
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 '18- 546480 A7 B7 五、發明説明（16) 幾乎全量成爲流過前述電容傳感器之故，成爲v ◦二 z . i ，由信號輸出端子2 1被輸出之檢測信號之電壓 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V C以：
Vc=i #R3 + V〇 ==(1 +R3/Z) · Vo 表示，淸楚檢測信號V c包含出現在第2運算放大器之輸 出端子之v ◦。利用（1 ) ( 2 )使此變形，成爲： va=vc-v〇 =(1 +R3/Z) · Vo—Vo =(R3/2) · Vo =-CR3 · R2/ (Z · R 1 )) ‘ V i n 〇 Z=1/ (ju)Cs) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之故，電壓V a結果被表示爲：
Va = - (j coCs · R3 · R2/R1) -Vin 。因此，由加法輸出端子4 1獲得比例於前述電容傳感器 C s之電壓値V a。因此，由加法輸出端子4 1取出電壓 V a ，之後，藉由依據此V a進行種種之信號處理，可獲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -19- 546480 A7 _ B7 五、發明説明（17) 得電容値C s。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述第2運算放大器11使其之反轉輸入端子與非反 轉輸入端子以虛短路狀態動作。但是，第2運算放大器 1 1之輸入阻抗也非理想之無限大之故，如前述般地，在 反轉輸入端子之電壓V om與非反轉輸入端子之電壓 V ο p之間產生微小的振幅差以及相位差。而且，此振幅 差以及相位差在輸入信號之頻率愈高而成爲愈明顯。在 V i η爲1 〇9H z之等級的高頻，前述電容傳感器C s例 如如爲1 0 — 1 5 F之等級’ V 〇 m與V ο p之間的振幅差 以及相位差變得可以忽視。因此，C s爲零時，V ◦也不 等於- V b ，變成產生檢測誤差。因此，在檢測前述電容 傳感器之電容値C s之前，將前述切換開關2 4之1次側 接續端子2 4 a接續於屏蔽線2 0側之二次側接續端子 2 4 c ，設成由第2運算放大器1 1之非反轉輸入端子拆 下前述電容器之狀態。而且，在此狀態，使上述之阻抗檢 測電路動作。而且，使成爲V ◦二一 V b ，即V a = 0地 ，調整反轉放大部2之第4電阻3 2，使V b之振幅與 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 V 〇 —致，又，藉由調整電容被並聯接續之第6電阻3 4 以轉動相位，使V b之相位與—V 〇 —致。即，反轉放大 部2動作爲零調整手段。 如上述般地，在V 〇 m與V ο p之間雖有少許之相位 差·振幅差，但都是與交流電壓V i η同步之信號。因此 ，藉由被設置於前述補償電路1 3之相位調整部4 8之可 變電阻7 4以調整V i η之相位之同時，藉由被設置於振 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -20- 546480 Α7 Β7 五、發明説明（18) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 幅調整部4 9之可變電阻7 8以調整V : η之振幅，形成 與相位以及振幅與V ◦ ρ相等之屏蔽電壓V 〇 s 。因此， 在此情形’交流電壓產生器1 4以及補償電路1 3作用爲 屏蔽電壓產生手段。於圖1所示之電路中，雖將補償電路 1 3之輸入側接續於第2運算放大器1 1之輸出端子，此 係第2運算放大器11之輸出電壓Vo與其之非反轉輸入 端子，即信號線1 9之電壓藉由虛短路而幾乎相等之故。 但是，交流電壓V i η也係與前述輸出電壓V 〇爲同步之 信號之故，如圖3般地，將相位補償V 1 η施加於屏蔽線 2〇係與將相位振幅補償輸出電壓ν 〇之信號施加於屏蔽 線2 0相同。檢測電路之輸入信號之V i η比起電壓輸出 器之輸出的V 〇其雜訊成分少之故，相位補償V i η形成 V 〇 s ，藉由施加於屏蔽線2 0可以做高精度之檢測。藉 由此，屛蔽線2 0之電壓在瞬間也與信號線1 9之電壓相 等，信號線1 9與屏蔽線2 0之間的漂移電容確實被淸除 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述阻抗檢測電路以及阻抗檢測裝置中，以補償電 路1 3調整交流電壓V i η (或電壓輸出器之輸出電壓 V 〇 )之振幅以及相位，形成振幅以及相位與信號線1 9 之電壓V ο ρ相等之屏蔽電壓V 〇 s ，將此施加於屏蔽線 20。因此，V 1 η不僅數kHz〜數百kHz程度之低 頻，例如即使爲1 0 9 Η z以上之高頻，確實淸除信號線 1 9與屏蔽線2 0之間的漂浮電容，能夠正確檢測只有前 述電容傳感器具有之電容C s。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -21 - 546480 A 7 B7 五、發明説明（19) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，第2運算放大器1 1係全部的端子爲交流動作之 故，如只以此第2運算放大器1 1要獲得大增益，由於擺 動等之運算誤差變大。而且，其結果變成在電容値C s之 檢測包含誤差。因此在上述中，關於第2運算放大器1 1 ，使反轉輸入端子與輸出端子短路，使作用爲增益=1之 電壓輸出器。而且，利用第1運算放大器1 2 ，必要之增 益由此第1運算放大器1 2產生。因此，可以正確進行 C s之檢測。又，進行電壓放大之第1運算放大器1 2係 接地其之非反轉輸入端子。如接地非反轉輸入端子，此端 子的電壓安定之故，特別是使運算放大器高速動作之情形 ，可以抑制被包含在輸出信號之高頻。此端子如電壓安定 即可之故，接地以外，施加一定的電壓即可。總之，在高 速使之動作之情形，此端子以被保持在一定之電壓値爲佳 。藉由此，在習知電路成爲誤差要因之V a的高頻成分大 幅被降低之故，能夠顯著提升運算精度。因此，可以進行 更高精度之C s的檢測。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進而在上述中，藉由由V c減去V 〇 ，由加法輸出端 子4 1取出比例於C s之電壓V a。即，可以只檢測流經 前述電容傳感器之電流。藉由此，簡單化爲了算出C s所 必要之以後的信號處理電路，可以極力抑制誤差要因之發 生。在由Vo減去Vo之際，如於圖4、圖5或圖6般地 ，很多使用直接減法器。在此情形，V c與V 〇被直接施 加於第5運算放大器5 0、5 1之輸入端子，如運算放大 器5 0般地，安定化之故，使1個端子接地或被保持在一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -22- 546480 A7 B7 五、發明説明（20) (請先閱讀背面之注意事項存填寫本貢) 定的電壓亦可。除此之外，在圖6中，雖在V c之輸入側 設置相位補償電路，如此地在任何一種之輸入端子附加相 位振幅補償電路都可。又，另一方面，如圖3般地，在由 V c減去V 〇之際，反轉V c後，與V 〇相加亦可。此爲 了高精度安定化運算放大器的動作雖期望使運算放大器之 非反轉輸入端子接地或以一定電壓保持，但如作成反轉放 大器與加法器之構成，分別使運算放大器之非反轉輸入端 子接地或一定的電壓被施加，其被保持而構成。在此例的 情形中，使構成反轉放大部2之第3運算放大器3 6與構 成加法部3之第4運算放大器4 0之非反轉輸入端子分別 接地。總之在高速使之動作之情形，這些之非反轉輸入端 子如被保持在一定的電壓値，運算放大器之動作安定之故 ，以於此指定的電壓接續端子爲佳。藉由如此，抑制被包 含在運算放大器4 0之輸出電壓V a之高頻，進而，可以 做精度高之C s之檢測。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又’前述第2運算放大器1 1係使其之反轉輸入端子 與非反轉輸入端子爲虛短路狀態而動作。但是，在兩輸入 端子電壓V 〇 m、V ο p間產生振幅差以及相位差係如上 述。因此，即使使反轉放大部2以及加法部3之放大度設 定爲正確成爲「1」，在Cs = 〇時，Va不等於0。因 此，在上述中，於反轉放大部2使之可以調整V c之相位 以及振幅，在C s = 〇時，確實使V a二〇地可以做零調 整。又’此處之相位調整不單是藉由在運算放大器之非反 轉輸入端子接續電容器之全域通過濾波器者，接地運算放 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 546480 A7 B7 五、發明説明（21) 大器之非反轉輸入端子之同時，藉由在傳播電路設置電容 成分之反轉放大器而進行。因此，此處也抑制被包含在輸 出信號之高頻，防止C s之檢測精度降低。此處’前述端 子也與上述同樣地，在接地以外，被施加一定的電壓亦可 〇 零調整雖在切離前述電容傳感器之接續的狀態下進行 ，此接續之切離如以通常之開關進行，由於產生於被切離 之前述電容傳感器與信號線1 9之間的漂浮電容，無法做 正確的零調整。因此，在本例之阻抗檢測電路中，以切換 開關2 4進行由信號線1 9被切離之前述電容傳感器與屏 蔽線2 0之接續。被施加於此屏蔽線2 0之電壓V 〇 s與 信號線1 9之電壓V 〇 P相等之故，在由信號線1 9被切 離之前述電容傳感器與信號線1 9之間不會產生漂浮電容 ，可以進行正確的零調整。 進而，在上述阻抗檢測裝置中，將屏蔽信號線1 9之 屏蔽線2 0進而以第2屏蔽線4 6屏蔽之。纜線短路時， 接地此第2屏蔽線4 6，可以防止干擾雜訊被重疊在電壓 V ◦ s被施加之屏蔽線2 0。因此，可以確實維持信號線 1 9與屏蔽線2 0之同電位性。又，將構裝阻抗檢測電路 之基板4 4放入屏蔽盒4 5內，使此屏蔽盒4 5與前述屏 蔽線2 0同電位。因此，可以一面防止在此屏蔽盒4 5與 信號線1 9之間發生漂浮電容，一面屏蔽基板4 4。進而 ，接地收容屏蔽盒4 5之裝置殼4。因此，防止干擾雜訊 被重疊於電壓V 〇 s被施加之屏蔽盒4 5，可以確實維持 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24- 546480 A7 B7 五、發明説明（22) 信號線1 9與屏蔽盒4 5之同電位性。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本例之阻抗檢測電路並不限定於上述實施形態，在本 發明之範圍內可以種種變更實施之。在上述中，雖然在信 號線1 9之端部安裝作爲阻抗元件1 8之電容傳感器，但 是也可以在信號線1 9之端部形成檢測電極，以上述檢測 電路或檢測裝置檢測被形成在此檢測電極與檢測對象之間 的電容C s。 又，在上述中，藉由補償電路1 3使信號線1 9與屏 蔽線2 0成爲同電位，但是依據阻抗檢測電路之使用狀況 等，在兩者1 9、2 0間給予指定的電位差之情形，可以 以前述補償電路1 3適當調整交流電壓V i η之振幅與相 位。 進而，圖1所示之上述檢測電路之具體的構成係其之 一例，當然可以採用其它的電路構成。例如，構成鐵心部 1之第1運算放大器12以及第2運算放大器11也可以 爲分別構成非反轉放大器之電路。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，在上述中，以相位調整部4 8與振幅調整部4 9 構成補償電路1 3 ，但是也可以藉由與反轉放大部2相同 之電路構成補償電路1 3。如此一來，運算放大器之非反 轉輸入端子被接地之故，可以更防止高頻被含於屏蔽電壓 而成爲誤差要因。 在上述中，作爲阻抗元件1 8雖使用電容傳感器，此 也可以使用電感元件。又，在檢測依據電壓電容變化之元 件的C 一 V (電容一電壓）特性之情形，一面使D C電壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -25- 546480 A7 B7 五、發明説明（23) 變化一面施加於前述偏壓輸入端子7即可。偏壓電壓爲被 施加於前述電容傳感器之反信號側之故，信號線1 9之電 位V ο p本身成爲使一定的電壓爲中心而振動之父電壓 。因此，可以避免V c成爲不安定而成爲檢測結果之誤差 要因。如此D C偏壓之產生器雖可由外部接續於檢測裝置 ，也可以預先接續於檢測電路之D C偏壓端子2 3 ’設置 於檢測裝置之內部。又，也可以作成切換設置於內部之產 生器與由外部接續之產生器，以接續於前述D C偏壓輸入 端子2 3。 再者，在上述中，雖說明接續單一的阻抗元件之情形 ，但是也可以接續複數的阻抗元件，使之可以切換檢測之 元件。圖1 1係顯示此種情形之信號線1 9之端部圖。在 設置複數的阻抗元件1 8、2 6之情形，對應各元件1 8 、2 6設置與上述之切換開關2 4同樣構成之切換開關 2 5。而且’使信號線1 9接續於各2次側接續端子之一 ，同時，使屏蔽線2 0接續於2次側接續端子之其它之一 。於1次側接續端子分別接續阻抗元件1 8、2 6。而且 ，如此控制兩切換開關2 4、2 5，可以構成多路傳輸器 。即’將一方的元件1 8接續於信號線1 9時，如同圖所 示般地’元件1 8被接續之切換開關2 4之1次側接續端 子與信號線被接續，另一方之切換開關2 5之1次側接續 端子與屏蔽線被接續地控制兩切換開關2 4、2 5。又， 將另一方之元件2 5接續於信號線1 9時，元件2 6被接 續之切換開關2 5之1次側接續端子與信號線被接續，另 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210Χ：297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -26- 546480 A7 B7 五、發明説明（24) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一方之切換開關2 4之1次側接續端子與屛蔽線被接續地 控制兩切換開關2 4、2 5。又，此多路傳輸器在進行檢 測電路之零調整之情形等，也可以由信號線1 9同時切離 兩元件1 8、2 6地控制之，依據檢測之目的等，也可以 使兩元件1 8、2 6同時接續於信號線而控制之。此多路 傳輸器藉由將接續檢測等之目的之元件的切換開關以外的 全部的切換開關接續於屏蔽線側，可以極力減少漂浮電容 等之干擾因子。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，此種切換開關2 4也可以使用於放大電路之增益 切換。例如，代替圖1所示之第1阻抗1 7，作爲對於電 阻値不同之複數的電阻（阻抗）與各電阻（阻抗）之選擇 手段，將切換開關2 4設置於信號線與複數的電阻之間。 如圖1 2所示般地，各電阻之一端被接續於第1運算放大 器1 2之輸出端子之另一方面，各電阻之另一端被接續於 前述切換開關2 4之1次側接續端子2 4 a。又，將2次 側接續端子之2 4 b接續於信號線，將其它的端子2 4 c 接續於屏蔽線2 0。而且，藉由這些選擇手段被選擇之阻 抗成爲合成阻抗，未被選擇之電阻其之接續目的地成爲屏 蔽線2 0。如此控制各切換開關2 4之多路傳輸器成爲選 擇手段。如此一來，與上述同樣地，可以控制未接續之電 阻與信號線或屏蔽線之間所產生之漂浮電容，不妨礙C s 之高精度檢測，可以改變被施加於阻抗元件之電位差’結 果變成增益之切換爲可能。又，如圖1 3所示般地’也可 以在第1運算放大器1 2與第1阻抗1 7之間設置切換開 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） -27- 546480 A7 B7 五、發明説明（25) 關。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，此種切換開關2 4也可以使用於放大電路之增益 切換。例如，代替圖1所示之第2電阻1 6 ，如圖1 4所 示般地，對應電阻値不同之複數的電阻1 2 1、1 2 2與 各電阻設置切換開關2 4、2 5。而且，將各電阻之一端 接續於第2運算放大器11之反轉輸入端子之另一方面， 將各電阻之另一端接續於前述切換開關2 4之1次側接續 端子2 4 a。又，將2次側接續端子之2 4 b接續於第2 運算放大器1 1之輸出端子，將2次側接續端子之2 4 c 接續於屏蔽線2 0。而且，在第2運算放大器1 1之輸出 端子接續電阻以外，其之接續目的地成爲屏蔽線2 0地， 控制各切換開關2 4構成多路傳輸器。如此一來，與上述 同樣地，可以控制未接續之電阻與第2運算放大器1 1之 輸出端子之間所發生之漂浮電容，不妨礙C s之高精度檢 測，可以做放大電路之增益切換。又，雖未以例顯示，關 於第1電阻1 5也相同。關於這些也利用切換開關2 4， 也可以由電阻値不同之複數的電阻選擇接續於電路之電阻 ，未被選擇之電阻被接續於電壓施加端子2 4 c ，進行因 應檢測對象或檢測狀況之正確的範圍切換。 在上述中，顯示以具備1次側接續端子2 4 a、2次 側接續端子2 4 b、以及2 4 c之3端子切換開關構成切 換開關2 4之情形。但是這些也可以使1次側接續端子 2 4 a設爲2個以上，成爲接續目的地之2次側接續端子 在3個以上而構成。在此種之情形，成爲接續目的地之2 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28- 546480 A7 B7 五、發明説明（26) 次側接續端子之中至少1個被接續於屏蔽線，在此端子與 其它的2次側接續端子之間，1次側接續端子2 4 a之接 續目的地可以切換地構成即可。 又，信號線1 9之屏蔽也可以2重、3重重複屏蔽。 在上述中，2重屏蔽纜線之長度在約5 0 c m以上時，雖 使外側屏蔽線接續於屏蔽端子6，但是在第1運算放大器 1 2可以取出充分之電流之功率型之情形，在與其功率相 稱之長度爲止，可以將5 0 c m以上之外側屏蔽線接續於 接地端子8。 在本發明之阻抗檢測電路、阻抗檢測裝置、或阻抗檢 測方法中，可以一面控制信號線與屏蔽手段之間的漂浮電 容，一面可以抑制高頻等之雜訊被包含在出限於信號之輸 出端子之電壓。因此，可以高精度檢測阻抗元件所有之阻 抗。 又，在本發明之阻抗檢測電路或阻抗檢測方法中，可 以使信號線與屏蔽手段之間的電位差正確成爲所期望之値 。例如，如使此電位差成爲零，可以淸除信號線與屏蔽手 段之間的漂浮電容。又，在本發明之阻抗檢測裝置中，可 以以與此接續線之間的電位差正確被控制之屏蔽手段遮蔽 與外部之阻抗元件之接續線。如使屏蔽手段之電位與接續 線之電位相等，可以淸除兩者間之漂浮電容。因此，在這 些檢測電路、檢測方法、或檢測裝置中，可以更正確檢測 阻抗元件所有之阻抗値。 進而，在本發明之阻抗檢測電路或阻抗檢測方法中， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 i 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -29 - 546480 A7 B7 五、發明説明（27) 可以獲得比例於流經阻抗元件之電流的信號之故，簡單化 以後的信號處理，可以抑制在後段被包含之誤差。 除此之外，在本發明之阻抗檢測電路、阻抗檢測裝置 、或阻抗檢測方法中，可以一面於阻抗元件施加偏壓，一 面檢測其之阻抗之故，關於依據電壓阻抗變化之元件，可 以容易進行阻抗之檢測以及C - V檢測。 又，更使用切換手段，由信號線切離阻抗元件時，也 可以將阻抗元件與信號線之間維持在指定電位。例如，如 使此電位差爲零，可以淸除兩者間之漂浮電容。因此，例 如，於阻抗檢測電路等，可以正確進行零調整、重置、初 期設定等之電路的更正。因此，如使用複數的切換手段或 多路傳輸器，在由複數之1次側只選擇必要之阻抗元件， 接續於2次側之情形，可以使由接續被切離之1次側接續 端子與2次側接續端子之間維持在指定電位，例如，如使 此電位差爲零，可以淸除兩者間之漂浮電容之故，例如在 阻抗檢測電路等，由複數的被檢測元件（即，阻抗元件） 適當選擇元件，檢測阻抗値之情形，可以進行正確之檢測 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進而，在本發明之阻抗檢測電路中，藉由使用選擇手 段或多路傳輸器，複數準備電路中的阻抗，選擇適當阻抗 之際，可以使由未被選擇之接續被切離之阻抗與其之接續 目的地之間維持在指定電位。因此，因應檢測對象，可以 淸除施加於非選擇阻抗之漂浮電容而進行範圍切換，其結 果爲：可以使電路之放大特性正確變化進行高精度之檢測 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -30- 546480 A7 B7 五、發明説明（28 在本發明之阻抗檢測裝置中，可以防止在遮蔽信號線 或檢測電路基板之屏蔽手段重疊干擾雜訊。又，在本發明 之阻抗檢測裝置中，可以正確控制信號線與基板外部之間 的漂浮電容。因此，在這些裝置中，可以進行更高精度之 阻抗檢測。 本發明雖在詳細說明書中被記述、被說明，但是淸楚 被理解者爲被記載於此之相同者不過是作爲說明與實例者 ’並非作爲限定者。本發明之思想與範圍只由被附加之申 請專利範圍之用語被限定。 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事
II 鐵 之 路 電 測 檢 抗 阻 之 態 形 施 實 1 之 明 1發 明本 說示 。 單顯圖 簡係路 之 1 電 面圖的 圖 部 t 心 鐵 之 路 電 測 檢 抗 阻 之 態 形 施 實 1 之 明 發 本 示 。 顯圖 係路 2 電 圖的 B- 咅 心 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖 圖 路路 電電 。 的的 圖份份 路部部 電 一 一 之之之 路路路 電電電 κϋ κϋ Ky 消湏 、谓 檢檢檢 抗抗抗 阻阻阻 述述述 上上上 示示示 顯顯顯 係係係 3 4 5 圖圖圖 之 路 電 測 檢 抗於 阻置 述設 上被 示示 顯顯 係係 6 7 圖圖 圖 路 電 的 份 β, 咅 圖 路 電 之 路 電 償 補 之 β· 咅 心 鐵 述 上 之 器 大 放 算 運 Γ—I 第 之 部 心 鐵 述 上 於 置 設 被。 示圖 顯路 係電 8 之 圖 側 入 輸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 546480 A7 B7 五、發明説明（29 ) 圖9係顯示被設置於上述鐵心部之信號線的端部之電 路圖。 圖1 0係顯示本發明之一實施形態之阻抗檢測裝置之 模型透過斜視圖。 圖1 1係顯示上述實施形態之變形例之信號線的端部 之電路圖。 圖1 2係顯示本發明之阻抗檢測電路之鐵心部之其它 例之電路圖。 圖1 3係顯示本發明之阻抗檢測電路之鐵心部之其它 例之電路圖。 圖1 4係顯示本發明之阻抗檢測電路之鐵心部之其它 例之電路圖。 圖1 5係顯示習知例之阻抗檢測電路之電路圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製
主要元件對照表 1 鐵心部 1 1 第2運算放大器 1 2 第1運算放大器 1 3 補償電路 1 4 交流電壓產生器 1 5 第1電阻 1 6 第2電阻 1 7 第3電阻 1 8 42坝铛CE -% 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- 546480 A7 B7 五、發明説明（30) 1 9 信 號 線 2 〇 屏 蔽 線 2 1 信 號 輸 出 牺 子 2 4 切 換 開 關 3 6 第 3 運 算 放 大器 4 8 相 位 調 整 部 7 1 運 算 放 大 器 7 8 可變電阻 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -33-