TW517316B - Method and apparatus for mounting electronic device - Google Patents

Description

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本發明係關於在其# h 安裝方法者。在基板上女爰零件的零件安裝裝置及零件 , 背景I彳# 以ί:Ϊ:ΐ等的平面顯示器製造用的零件安裝裝置中， 裝裝置。：4艇狀的電子零件安裝於玻璃基板上的零件安 置在"，係利用攝像;裝置及影像處理裝 設置的薄膣带工二板搬運設備的玻璃基板及來自零件搬運 .m 令件之間的相對位置，並且根據辨識所得 ” Γ貝：嶋薄膜電子零件在玻璃基板邊緣上“ 疋置’、、'、後，以背面支撐工具（Backup t00l)由下方支 樓玻㈣基板的邊緣’利用壓接卫I，以各向異性導電膜等 的連接材料為介，安裝電子零件。 、、 可疋’採用上述薄膜.電子零件安裝方式的玻璃基板，有 大型化的趨勢，結果發生了容易彎曲等變形的問題。並 且’如果在用背面支撐工具來支撐變形的玻璃基板的情況 下’以壓接工具將薄膜電子零件安裝於玻璃基板的邊緣 時’會因為薄膜電子零件發生滑動等情況，導致相對於玻 璃基板的電子零件安裝精確度明顯下滑。 為此’有人提出了一個解決方法，其係在薄膜電子零件 安裝於破璃基板邊緣之前，利用矯正設備來矯正玻璃基板 勉起的方法。 圖7中的裝置，便係實現此法的零件安裝裝置。如圖7所 mm _

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第4頁 517316 五、發明說明（2) 示一般’玻璃基板31係以基板搬運設備6 〇來加以搬運。當 玻璃基板31運達安裝位置時，背面支樓工具w會升起，由 下方支撐玻璃基板3 1的邊緣，然後矯正設備6 5降下，向下 對背面支樓工具63支撐的基板31施壓，藉此矯正玻璃基板 3 1邊緣的勉起。隶後壓接工具6 4降下，將薄膜電子零件 32 ’以各向異性導電膜等的連接材料33為介，安裝於矯正 完成的玻璃基板31的邊緣。此外，基板搬運設備6 〇的搬運 台6 1配備了複數個可上下伸縮的吸盤62，其係由下方吸附 玻璃基板31，以求玻璃基板在搬運過程中的穩固。 可是，在上述的方法中，受限於矯正設備6 5的施壓位置 及施壓力量的大小，對於在玻璃基板31上發生的較大翹起 及局部性翹起等的情形，有無法充份予以矯正之問題。 (參考圖8)。 此外，在上述的方法當中，由於基板搬運設備6 〇係利用 複數個吸盤6 2來固定玻璃基板3 1，因此在橋正設備6 5對玻 璃基板31施壓時，玻璃基板31與搬運台6 1之間的相對位置 容易發生變化，而導致薄膜電子零件3 2對玻璃基板3 1的安 裝精確度下降的問題。 再者，根據上述的方法，每當在玻璃基板3 1上安裝薄膜 電子零件時，必須驅動矯正設備6 5，因此衍生出最終產品 的產量下降的問題。 發明概述 基於到上述問題癥結，本發明之目的便是提供一種零件 安裝裝置及零件安裝方法，以求薄膜電子零件等的零件，

517316 五、發明說明（3) 上，乂 4確度及有效率地安裝於破璃基板等的基板之 本發明提供了 —種將雷早雨 a 裝置’其係包# :基 ；板上的零件安裝 背面支標二具，其係用以支標：自運基板者； 板邊緣者；及麼接工具，其係安板搬運設備之基 工具的相對位置，並且係^由太“.於上述背面支撐 件壓接在基板邊緣者：复的基板’將電子零 吸著上述基板下方者；；：；：：：；運=，用以 板下方;彖，配合上述吸盤的運作，肖以支撐上述基 互：：：發：f ’上述吸盤及上述支持部做好能夠交 ΐΐί二1 :使上述的複數個吸盤，沿著上述搬運 口邊、、彖设置，並使前述支持部配置於緊 側或内側的位i。並且，最好能口弋迷吸盤的邊緣 姐 夠叹置一種吸附力調整機 以旎夠依上述基板的變形狀態，調整 力:，者，最好能夠設I: 一種測定：： = = = ί’Ξ = ΐί果及一種吸附力控制“，其係根據上述測 疋时的測疋、纟〇果，以控制上述基板搬運裝置上的上述吸般 之吸附力者。再者，在上述的基板搬運設置中， 二 為上述吸盤及上述支持部，設置一種用以調整安妒位置= 機制。此外，在上述基板搬運設備中，最好能夠^備一 機構，用以調整上述支持部相對於上述搬運台的高度。 第6頁 517316 五、發明說明（4) 此外，本發明提供 安裝方法，其係包括.某板=板上安裝電子零件的零件 運台上的禎數_ π ^ 土 支持工程，其係利用設置於搬 連口上的複數個吸盤及支持部， 工程，其係對切於上述搬運2基板者；基板測定 形狀態者；調整工程，豆儀彳 θ上述基板’測定其變 能，至少Jl、f π Λ 根據測得的上述基板的變形狀 二 盤的吸附力、·"述搬運台上的上述吸般 的没置位置、上述搬運台上 丄、叹皿 拉邱的古厣由έΛ 、 U支持部的設置位置及支 :ΐ 項’進行調整者；搬運工程，其係藉由 上述搬運台的移動，將上述搬、^曰 運至安裝位置者；及安事工程連牙的上述基板，搬 述安裝位置的上述基板者。 達上 在本㈣中’係在搬運台的邊緣設 持部i藉由吸盤的向下吸附力、支持部的向上反作；：支 矯正基板的魅起等變形，因此不僅可有效矯正基 的翘起或局部性的翹起等，並且可以支持部的上端 準，使彳于基板的问度保持一致，有助於零件可並^ 率地安裝於基板之上。 隹I有效 1式之簡要說明 圖1，所不的是本發明之零件安裝裝置的一實施 主要構造。 At 圖2A及圖2B，分別是顯示圖i的基板搬運設備的詳細 造之平面圖及側面圖。 圖3A、圖3B及圖3C，係用以說明圖μ及圖2B所示的基拓 搬運設備之作用者。 &

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五、發明說明（5) 圖4 A及圖4 B，分別是顯示本發明的零件安裝裝置的整體 構k之側面圖及平面圖。 圖5，顯示圖1所示的基板搬運設備的變形例。 圖β，顯示圖1所示的基板搬運設備的其他變形例。 圖7，顯示以往的零件安裝装置。 圖8，用以說明圖7所示的零件安裝裝置的問題。 曼.,..明.之i佳實施形態 以下將根據圖示，以說明本發明的實施形態。 首先根據圖4A及圖4B，說明本發明之零件安裝裝置的整 體構造。 如圖4A及圖4B所示一般，零件安裝裝置1是一種將薄膜 電子零件32安裝於玻璃基板31上的裝置，其係具有壓接二 具24、用以移送壓接工具24的移送機制41，能夠將壓接^ ^24吸附的薄膜電子零件32 ,安裝於玻璃基板”上者：玉 中的移送機制41是一種將壓接工具24吸著的薄膜電子零讲 真由零件父接位置τ移送至零件安裝位置 2==係包括：Z方向移動裝置，其係使壓二 工且24，者；及γ方向移動裝置42，其係使壓指 移動者 w方向㈣裝置42，—起向水平方向（Y方向〕 供Ϊ!置零:32是由具有托盤及沖切機制的零件 49: 之且由零件取出機制45運送至中間： 传以：ί *裝置45，其係包括：吸附噴他口 係以吸附缚膜電子零件32者;ζ方向移動聚置4〜噴=、，使其 517316 五、發明說明（6) ----- 吸附喷嘴46在Z方向移動者；及丫方向移動裝置48，其 吸附喷嘴46，連同Z方向移動裝置47，—起向水平方向(、 方向)、移動者，·上述的中間台49，《包括··載置台5〇，苴 係用以載置薄膜電子零件32者；及义方向移動裝置51，敌 係使載置台5 0在水平方向上移動者。 /、 此外，零件搬運設備，便是包括··上述的零件供應機 44零件取出機制4 5、中間台4 9、移送機制4 1及零件壓接 工具24等。 ^得 另一方面，用以安裝薄膜電子零件32的玻璃基板31，係 由基板搬運設備1 〇來搬運：該基板搬運設備丨〇，其係包 括、：搬運台11、用以使搬運台u在乂方向上移動的χ台54、 用以使搬運台11在γ方向上移動的丫台55、及用以使搬運台 11在0方向上移動的0台56。此外在零件安裝位置β中， 相對於其配備之壓接工具24的位置，設有背面支撐工具 23 ’其在壓接工具24將薄膜電子零件32安裝於玻璃基板w 的^邊緣時，由下面提供所需的支撐。此外，零件安裝位置 Β設置有攝影裝置35，其係用以拍攝玻璃基板31及薄膜電 子零件32者。此外，背面支撐工具23在攝影裝置35拍攝玻 璃基板31及薄膜電子零件32時，會退離該拍攝範圍。此 夺攝〜裝置3 5拍攝的影像範圍中，包含了原本在玻璃基 板3 1及’專膜電子零件3 2上的定位標記，經由影像處理裝置 (未加以圖示）對拍攝影像的處理，以確認玻璃基板3 1及薄 膜電子零件32的位置。 接下來，根據圖1、圖2 Α及圖2 Β，以詳細說明圖1所示的 517316 五、發明說明（7) ----- 基板搬運設備1 〇。 如圖1、圖2A及圖2B所示，基板搬運設備1〇包括： 台11 ;複數個吸盤12，其係設置於前述搬運台"的 運 用以吸著上述基板31下方者；及複數個的支柱（支持邻 其係與設置於上述搬運台丨丨邊緣的吸盤丨2運作配合'，σ 、’ 支撐上述基板31下方者。 用以 其中的搬運台11，具有與玻璃基板31類似的形狀，且1 尺寸略小於玻璃基板3 1。此外，在將玻璃基板3丨的邊^ 入月面支持工具23及壓接工具24之間時，搬運台I〗尺 以能夠避免影響到背面支持工具2 3及壓接工具2 4者為佳應 再者，搬運台11的材質，以金屬或樹脂等為佳。 。 此外，吸盤12及支柱13是交互配置在搬運台^的邊緣 此外，如圖1、圖2Α及圖2Β所示一般，支柱13的形狀可以。 為圓柱形、魚柱形或半球形等的各種形狀。此外，支柱 以採用不易變形的材料（例如金屬等）為佳。 此外，沿著搬運台11的邊緣，設有滑槽丨丨a，藉由使吸 盤1 2及支柱1 3沿著此滑槽11 a移動，可依玻璃基板3 1的 形狀態來調整吸盤1 2及支柱1 3的安裝位置。 此外，相關於基板搬運設備1 〇，包括：測定器2 1，其 用以測定基板搬運設備10運送來的玻璃基板31的變形狀“ 態；及吸附力控制裝置22，其係根據上述測定器21的測 結果，以控制上述基板搬運裝置丨〇上的吸盤丨2之吸附力 者。測定器2 1可自由地沿著玻璃基板3丨的邊緣移動，用以 在移動的指定位置上，測定出測定器21與玻璃基板31之間

第10頁 517316 五、發明說明（8) 的距離。此外，測定器方面，可採用利用雷射光的反射等 來測量距離的雷射移位計等。 基板運送設備1 0的吸盤1 2，分別經由壓力調整器3 9及電 磁切換閥4 0，而與真空源3 8連接：根據測定器2 1的測定結 果（玻璃基板3 1的變形狀態），經由控制裝置2 2對壓力調整 器39及電磁切換閥40的控制，可個別對吸盤12的吸附力^ 行調整。此外，吸附力調整機構係包括：真空源38、壓 調整器3 9、及電磁切換閥4 〇。 接下來，根據上述的構造，以說明本實施形態的作用。 在圖4A及圖4B中，薄膜電子零件32是由零件供應裝置以 來供應，並且由零件取出機制45運送至中間台49。在此尚 程中，零件取出機制45係以吸附喷嘴46吸 = ，後’利用Z方向運送裝置㈣方向移動】=子= =喷：46在Z方向及γ方向上移動，藉此 “ 的缚膜電子零件32，移至中間台49的載置台5〇贺㈣及者 中間台49係利用X方向移動裝置5 方向上移動，而將載置台5〇卜 忱執1 口在χ 交接位置τ。 m置口 50上的賴電子零件32移至零件 1此狀態中，移送機制41係利用z 向移動裝置43 ’使壓接工具24在2方向動裝置42及Y方 此在零件交接位置τ上，以壓接工且 向·L移動，藉 的載置台50上等笮胺雷工命灿t 及者位於中間台49 机且。3U上寺溥膜電子零件32，將 膜電子零件3 2由零件交接位置了 /、24吸著的薄 璃基板31的邊緣）。 移零件女裝位置B(玻 517316

另方面’在基板搬運設備1 0方面，如圖1所示一般， 在以搬f台11的吸盤12及支柱13支撐玻璃基板31的狀態 I 使得/則疋器沿著玻璃基板的邊緣移動，在移動中的指 定，置上（例如，與吸盤12及支柱13的位置相對的位置）， /貝J疋出測疋為2 1與玻璃基板3 1之間的距離。此時，控制裝 置2 2在接到測疋器2 1的測定結果後，會據此對壓力調整器 39及電磁開關閥4〇進行控制，以調整基板31搬運設備丨〇的 吸盤1 2的吸附力。例如，以各測定位置的測定值中的最大 值為基準控制裝置2 2將藉由比較各測定值與基準測定值 之，，差距’當差距愈大時，便藉由控制壓力調整器3 9， 使付該相對位置上的吸盤丨2的吸附力愈大。其中，以與基 準測=值間的差距為根據之吸附力大小（壓力調整器Μ的 控制里），應經由事前的實驗等來加以測定，藉此 控制裝置22。 具體地舉例來說，當整個玻璃基板31發生了等間距的局 部性翹起時（參考圖3 Α的假設的線），則使所有的吸盤1 2產 生相同的吸附力（參考圖3人的箭頭）。如此一來，基二搬運 設備1 0搬運的玻璃基板3丨，將會承受吸盤丨2產生的向下 附力、及支柱13產生的向上反作用力，藉此不僅可有 ^ 正玻璃基板3 1上的局部性的翹起，並且可以支持丨3部^ 。 端為基準，使得基板31的高度保持一致（參考圖3α 、上 線）。 〜 再者’當整個玻璃基板31的邊緣發生了較大的輕起日士 (參考圖3Β的假設的線），則使由玻璃基板3丨的端部至^夫

第12頁 517316 五、發明說明（10) 的複數個吸盤1 2中，愈靠近中央的吸附力愈大（參考圖3B 的箭頭）。如此一來，基板搬運設備1 0搬運的玻璃基板3 j 上’相車父於勉起程度較小等端部’勉起較大的中央部位將 會承受較大的吸附力，因而可矯正玻璃基板31上較大的麵 起（參考圖3B的實線）。 〜 再者，當整個玻璃基板31發生了非等間距的局部性麵起 時（參考圖3 C的假設的線），在根據翹起的大小及位置，調 整吸盤1 2及支柱1 3的配置位置之後（參考圖3 c )，使吸盤1 2 產生及附力（參考圖3 C的前頭）。如此一來，基板搬運設備 1 0搬運的玻璃基板3 1上，翹起的部份將會承受向下的吸附 力，藉此可矯正玻璃基板31上的局部性的魅起（參考圖3c 的實線）。 / 接著，依上述方式完成矯正的玻璃基板31，將由基板搬 運設備10搬運至零件安裝位置B。然後，為了使基板搬運 没備1 0搬運來的瓊玻璃基板3 1，能夠與移送機制4丨以壓接 工具24吸著而搬運來的薄膜電子零件32對準，則以攝影裝 置及影像處理裝置來確認兩者之間的相對位置，並根據確 認所得的位置資料，找出薄膜電子零件32在玻璃基板31邊 緣上的指定位置。 接著，根據上述確認所得的位置資料，以移送機制4丨的 Z方向移動裝置42及Y方向移動裝置43來移動壓接工具， 或是以基板搬運設備10的X台54、¥台55及Θ台56來移動搬 運台11，使得壓接ji具24吸著的薄膜電子零件32對準玻 基板31的指定位置。 嘴

第13頁 517316 五、發明說明（11) 最後，在背面支撐工具2 3由下支撐玻璃基板邊緣的狀態 下，壓接工具24將吸著的薄膜電子零件32壓在玻璃基板31 上三以各向異性導電膜等的連接材料（未加以圖示）為介， 將溥膜電子零件3 2臨時性地安裝在玻璃基板3丨上，然後經 由加熱及加壓設備（未加以圖示）的處理，正式地將薄膜電 子零件3 2壓接在玻璃基板3 1上。 本實施形態中，由於係在搬運台丨丨的邊緣配置有複數個 的吸盤12及支柱13，藉由該吸盤12的向下吸附力及支柱13 的向上反作用力，對產生翹起等變形的玻璃基板3丨進行矯 正，因此不僅可有效矯正玻璃基板3丨上較大的翹起或局部 性的翹起等，並且可以支持1 3部的上端為基準，使得基板 31的高度保持一致，有助於薄膜電子零件32準確並有效率 地女裝於玻璃基板31之上。再者，由於不需要如過去一 般’靠矯正設備來進行矯正動作，因此可提高最終產品的 產量，有效率地將薄膜電子零件32安裝於玻璃基板31之 上。 此外’根據本實施形態，由於可調整吸盤1 2的吸附力、 吸盤1 2及支柱1 3的配置位置，因此可依玻璃基板3 1的變形 狀態，適當地矯正其翹起等的變形。此外，藉由測定器2】 對玻璃基板3 1的變形狀態進行測定，將根據其測定結果來 控制吸盤1 2的吸附力，因此可自動地矯正玻璃基板3丨的赵 起等。 同時在本實施形態中，搬運台11的外觀係尺寸稍小於玻 璃基板31的平板，並且是沿著其邊緣來配置吸盤丨2及支柱

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13，因此玻璃基板31邊緣附近的位置，係由支柱13來支 撐。結果，可避免玻璃基板31不會過於超出支柱13的配置 位置之外，有效地防止玻璃基板31的邊緣因為本重量 而向下彎曲（下垂）。 此外，在上述的實施形態中，雖然是以壓力調整器“及 電磁切換閥40來調整真空源38的吸附力，可是調整方式並 不限於此，也可以藉由更換不同口徑的吸盤丨2，以調整吸 盤的吸附力。 此外，在上述的實施形態中，雖然是以設置在搬運台工工 邊緣的滑槽11 a來調整吸盤12及支柱13的配置位置，可是 調整方式也不僅限於此，也可藉由在搬運台丨丨上設置複數 個的吸盤12及支柱13用的安裝孔，藉由將吸盤12及支柱13 埋設在任意的安裝孔，以調整吸盤丨2及支柱丨3的配置位 置。再者，如果設置一種驅動機制，使得吸盤12及支柱13 能夠沿著滑槽11 a來移動的話，將可利用測定器2丨的測定 結果，藉由控制裝置22來自動地調整吸盤12及支柱13的配 置位置。 此外，在上述的實施形態中，雖然吸盤丨2及支柱丨3是固 疋地女裝在搬運台11上，可是並不僅限於此，也可在吸盤 1 2及支柱1 3的安裝部份施以螺紋加工（參考圖2 b的符號 1 4 )，所得以藉由旋轉吸盤丨2及支柱1 3來上下調整其高 度。藉由調整吸盤12及支柱13相對於搬運台的高度，可在 不受搬運台1 1的加工精度及熱變形的影響之下，良好地襟 正玻璃基板3 1的翹起。而搬運台丨i便是以金屬或樹脂為材

第15頁 517316 五、發明說明（13) 質，外觀稍小於玻 時，搬運台1 1也必 高精度地對金屬或 會有歪斜的情況發 台11 ’可是在固定 與其他組件組裝上 遭遇這類的情況時 的rfj度能夠調整的 斜，皆能一致地設 夠良好地矯正玻璃 置一種可使吸盤1 2 制，以調整其上下 機制，使得吸盤1 2 測定器2 1的測定結 12及支柱13的上下 此外，在上述的 著搬運台11的邊緣 也可使其能夠在與 可依玻璃基板31的 1 2及支柱1 3相對於 曲程度相異的複數 附力及支撐，不僅 除邊緣的下垂部份 此外，在上述的 璃基板3 1的平 須隨之大型化 樹脂材料進行 生。況且，即 於X台、Y台等 的誤差，導致 ，如果吸盤1 2 活’不論搬運 定吸盤1 2及支 基板3 1麵起的 及支柱1 3上下 方向的高度。 及支柱1 3能夠 果，藉由控制 方向的高度。 實施形態中， 移動，可是除 邊緣呈垂直的 厚度差異等造 搬運台11邊緣 玻璃3 1基板， 可良好地矯正 板。當玻 ，可是由 力口工，因 使月b夠加 其他組件 歪斜的情 及支柱1 3 台11是否 柱1 3上端 情況。再 移動的滑 再者，如 上下移動 裝置22來 璃基板3 1 於很難以 此有時搬 工出平坦 時，仍可 況發生。 相對於搬 有如上述 的南度’ 者，也可 動機制及 果設置一 的話，將 自動地調 大型化 平坦且 運台11 的搬運 能因為 即使在 運台11 的歪 結果能 错由設 固定機 種驅動 可利用 整吸盤 雖然吸盤1 2及支柱1 3可沿 了沿著邊緣的方向之外， 方向上移動。如此一來， 成的彎曲程度，調整吸盤 的排列位置，而能夠對彎 藉由在最佳的位置施以吸 其麵起的問題，並且可削 實施形態中，雖然吸盤1 2及支柱1 3是交

517316 五、發明說明（14) 互地配置在搬運台1 1上，可是並不以此為限，也可相對於 以一定的間隔配置的各吸盤1 2，分別根據指定的關係（例 如，1對1 )來配置支柱1 3。具體地舉例來說，可如圖5所示 一般，沿著基板搬運設備1 〇的搬運台1丨的邊緣，配置複數 個的吸盤1 2，然後，將支柱1 3配置於緊鄰吸盤1 2邊緣側的 位置（如圖5之虚線）、或配置緊臨吸盤1 2内側的位置（如圖 5之實線）；或如圖6所示一般，沿著搬運台11的邊緣，配 置複數個圓筒形的支柱1 3，並在支柱1 3内設置吸盤1 2。在 上述的情況中，仍可根據玻璃基板3 1的變形狀態，調整吸 盤1 2的吸附力、吸盤1 2及支柱1 3的安裝位置等，並且根據 玻璃基板31的翹起程度，藉由調整支柱13的高度，矯正玻 璃基板3 1的麵起。 此外’在上述的實施形態中，測定器2 1係採用雷射移位 計等的非接觸式感測器，可是並不以此為限，也可以採用 接觸式的移位測定器。 再者，在上述的實施形態中，雖然是使測定器21沿著玻 ，基板3 1的邊緣移動，可是也可使玻璃基板3丨相對於測定 器21來移動。在此情況中，可利用基板搬運設備1〇的乂台 2及Y台5 5，做為使玻璃基板3 1對測定器移動的手段，無 需另行設置特別的移動裝置，便可使測定器2丨與玻璃基板 3 1做相對的移動’有助於簡化裝置的構造。此外，在此情 兄中’’則疋器21除了可經由支撐器具等來固定於零件安裝 位置B的附近，也可與壓接2 4工具一體成型或可自由拆裝

第17頁 叩16 五 、發明說明（15) 31 =的實施形態中，☆測定器21測定玻璃基板 W的k形狀悲叶，可在吸盤a無吸附力作用的情況之下， 以吸盤12及支柱13來支樓玻璃基板31，或可在吸盤12的吸 附力作用的情況之下’以吸盤12及支柱1 3來支撐玻璃基板 31 〇

第18頁 517316 圖式簡單說明

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Claims (1)

1. 517316 六、申請專利範圍 1· 一種冬件安裝努 ^ 上之零件安梦狀罢置，其係用以將電子零件安裝於基板 I4 ^ 其特微在於包括： 基板搬運設備甘 古# τ目 侑其係用以搬運基板者； 叉得工具，其倍 板之邊緣；及、，、用以支撐上述基板搬運設備所搬運基 ί ί Τ ί ’其係相對於上述支撐工具而設i，並且係 2 /λ 处的基板’將電子零件壓接在上述基板邊緣 者；

   上述基板搬運設備，其係包括：搬運台；複數個吸 盤’其係設置於前述搬運台邊緣，用以吸著上述基板下方 者；及複數個支撐部，其係設置於上述搬運台的邊緣，配 合上述吸盤的運作，用以支撐上述基板下方者。 2 ·如申請專利範圍第1項之零件安裝裝置，其中上述吸 盤及上述支持部係交互配置者。 3 ·如申請專利範圍第1項之零件安裝裝置，其中上述複 數個吸盤，係沿著搬運台的邊緣配置，上述技撐部係於以 上述邊緣部.側鄰接上述吸盤之位置，或以與上述緣部為相 反側鄰接之位置配置。

   4 ·如申請專利範圍第1項之零件安裝裝置，其中尚具有 吸附力調整裝置，其係根據上述基板的變形狀態，以調整 吸盤之吸附力者。 5 ·如申請專利範圍·第4項之零件安裝裝置，其中尚包 含： 測定器，其係用以測定上述變形狀態；及

   第20頁 ^17316 六 申請專利範圍 _ 一種吸附力控制裝置， 果，以控制上述基板撖運壯”係根據上述測定器的測定結 6·如申請專利範圍第丨J§衣置上的上述吸盤之吸附力。 板搬運設備具有一種機構、，之令/牛&安II置，其中上述基 態，調整上述吸盤配置位置其係此夠依上述基板的變形狀 7·如申請專利範圍第1垣° 基板搬運設備具有一種機椹令件/安裝裝置中，其中上述 狀態，調整上述支持部的，其係能夠依上述基板的變形 8·如申請專利範圍第1 置 板搬運設備具有一種機構、， '件安裝裝置，其中上述基 上述搬運台的高度。 ’其係可調整上述支撐部相對於 9 · 一種零件安裝方法，发^ 件安裝方法，其特徵為包二係在基板上安裝電子零件的零 基板支持工程，其係 盤及支持部，以支樓£板·j用設置於搬運台上的複數個吸 測疋工程，其係對支拎 測定其變形狀態； 牙於上述搬運台上的上述基板， 調整工程，其係根據〜 少對上述吸盤的职似山 ^杆的上述基板的變形狀態，至 风的吸附力、 位置、上述搬谨△ μ 上迷搬運台上的上述吸盤的設置 σ 上的 F 4* 高度中的一項， _ 支持部的設置位置及支持部的 ^ 退仃调整； 搬運工程，其係藉由 台上支撐的上、+、且』 迷搬運台的移動，將上述搬運 及安裝工程，ΐ至安裝位置； ；搬運至上述安裝位置的上述基板

   517316 六、申請專利範圍 上安裝零件 111 第22頁 參