TW516154B - Robot for carrying substrates - Google Patents

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Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 516154 A7 B7 五、發明説明（1) 【發明之詳細說明】 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於被用在半導體製造裝置的搬運基板用的 機器人。 【背景技術】 如第7 ( a )圖所示，用來搬運半導體晶圓或液晶玻 璃基板等薄板狀的基板之傳統的一般的搬運基板用的機器 人1 A，係由固定基底2A，和以可旋轉地連結在前述基 底2 A上的第1支臂3 A，和以可旋轉地連結在前述第1 支臂3 A上的第2支臂4 A，和以可旋轉地連結在前述第 2支臂4 A上的撥叉5 A所構成。將這樣的搬運機板用的 機器人，製作成可以同時載置兩塊基板的情況下，如第7 圖所示，中央部以可旋轉的方式支撐，並且將在一端形成 了載置處理完畢的基板之處理後基板載置部5 Aa，在另 一端形成了載置尙未處理的基板之處理前基板載置部 5 A b之撥叉5 A，製作成以可旋轉地連結在前述第2支 臂4 A的先端部上（例如特開平7 - 1 4 2 5 5 1號公報 )° 不過，針對這種可以同時保持兩塊基板的傳統的搬運 基板用的機器人，因爲會使用到一根長長的撥叉，所以即 使在縮短了支臂的狀態下，搬運基板用的機器人的最小旋 轉半徑仍會變大，而產生了機器人的設置面積變大的問題 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇父297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
_4_ 516154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7五、發明説明（2) 【發明之揭示】 本發明的目的，係爲了解決這樣的問題，而提供一種 即使具有多數個的撥叉，也可使在縮小支臂的狀態下的最 小旋轉半徑變小，使設置面積最小化之搬運基板用機器人 〇 爲了解決上述問題，本發明之解決手段，係以具有固 定基底，和以可旋轉地連結在前述基底上的第1支臂，和 以可旋轉地連結在前述第1支臂上的第2支臂之搬運基板 用機器人，其中，將前述撥叉分別用獨立的第1撥叉以及 第2撥叉所組成的多數個撥叉加以構成，將前述第1撥叉 以及第2撥叉，在前述第2支臂的先端部上，以同軸在上 下兩段上，且分別獨立，以可旋轉地加以安裝，並且將前 述第1撥叉驅動馬達以及前述第2撥叉驅動馬達裝設在機 器人的內部，設置在例如前述第2支臂的內部所構成。 如上所示，依據本發明，具有可提供即使具有多數個 的撥叉，也可使在縮小支臂狀態下的最小旋轉半徑變小， 達到設置面積最小化之搬運基板用機器人的效果。 【圖面之簡單說明】 第1圖係表示在本發明的實施例中的搬運基板用機器 人的側面圖，（a )係顯示縮小支臂的狀態’ （b )係顯 示伸展支臂的狀態。第2圖係在第1圖中的搬運基板用機 器人的平面圖，（a )係顯示縮小支臂的狀態，（b )係 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 k 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 516154 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3) 顯示伸展支臂的狀態。第3圖係顯示支臂部的結構之側斷 面圖。第4圖係在第3圖中沿著A — A線的剖面圖。第5 圖係針對第3圖中的兩台馬達以自C方向所見的圖。第6 圖係顯示本發明的搬運基板用機器人的動作之平面圖，（ a )表示將處理完畢的基板加以取出的地方，（b )顯示 載置著尙未處理的基板的地方。第7圖係顯示傳統的搬運 基板用機器人的平面圖，（a )具有一個撥叉的搬運基板 用機器人的例子，（b )具有兩個撥叉的搬運基板用機器 人的例子。 【符號說明】 1、搬運基板用機器人。2、2A、固定基底。3、 3A、第1支臂。4、4A、第2支臂。5、5A、第1 撥叉。6.、6 A、第2撥叉。7、8、輸出軸。9、1 0 、滑輪。1 4、1 5、滑輪。1 6、第1撥叉驅動用馬達 。17、第2撥叉驅動用馬達。18、19、滑輪。20 、21、繫帶。22、載置台。Wa、處理完畢的基板。 W b、未處理的基板。 【發明的最佳實施形態】 以下，將本發明的實施例根據圖面加以說明。 第1圖係表示在本發明的實施例中的搬運基板用機器 人在支臂伸展狀態下的側面圖，（a )係其平面圖，（b )係其平面圖。第2圖係在第1圖中的搬運基板用機器人 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 k 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 516154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7 __五、發明説明（4 ) 在支臂收縮狀態下的平面圖，（a )係其平面圖，（b ) 係其平面圖。第3圖係顯示支臂部的結構之側斷面圖。第 4圖係在第3圖中沿著A — A線的剖面圖。第5圖係針對 第3圖中的兩台馬達以從B方向所見的圖。第6圖係顯示 本發明的搬運基板用機器人的動作之平面圖’ （a)表示 將處理完畢的基板加以取出的地方，（b )顯示載置著尙 未處理的基板的地方。 如第1 ( a ) 、（ b )圖以及第2 ( a ) 、（ b )圖 所示，本發明的搬運基板用機器人1，係由固定基底2， 和以可旋轉地連結在前述基底2上的第1支臂3，和以可 旋轉地連結在前述第1支臂3上的第2支臂4，和以可旋 轉地連結在前述第2支臂4上的撥叉5以及第2撥叉6所 構成。另，第1支臂3，係藉由裝設在固定基底2內的圖 示所無的昇降機構而可以朝上下方向移動。 前述第1支臂3、第2支臂4、第1撥叉5、以及第 2撥叉6，係如第3至6圖所顯示的結構。 第1支臂3和第2支臂4的驅動馬達，係分別被設置 在固定基底2的內部（圖中未示），該輸出軸係用同心2 軸所構成。同心2軸的外側的軸係利用第1支臂驅動用的 輸出軸7，直接連結在第1支臂3的下部。又，內側的軸 係利用第2支臂驅動用的輸出軸8，突出於第3支臂3內 ，並且將滑輪9安裝在先端部上，用連結在第2支臂4的 下部上的滑輪1 0和繫帶加以連接，而連結在第2支臂4 上。 本紙張尺度適财關家鮮（CNS ) A4規格（21GX297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 it 516154 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7__五、發明説明（5 ) 在第2支臂4的先端部上，分別獨立的第1撥叉5和 第2撥叉6，以上下兩段同軸的形式，並且被以分別獨立 而可旋轉地加以安裝。將前述第1撥叉5和第2撥叉6加 以支撐的軸係以同心2軸所構成。上側的第1撥叉5係被 連結在內側的軸1 2上，下側的第2撥叉6係被連結在外 側的軸1 3上。前述內側的軸1 2和外側的軸1 3，係分 別定位在下部不同高度的位置上而安裝上滑輪1 4、1 5 〇 又，第1撥叉5和第2撥叉6的驅動用馬達1 6、 1 7，係被並排設置於第2支臂的旋轉中心部附近，並且 如第6圖所示，使滑輪1 8、1 9的高度位置不同。將前 述滑輪1 4和滑輪1 8用繫帶2 0加以連結，並且也將前 .述滑輪1 5和滑輪1 9用繫帶2 1加以連結，不過，兩繫 帶20、2 1互不干涉。 當用這種結構下的搬運基板用機器人來進行搬送時， 係製作成如第6 ( a ) 、（ b )圖。 首先，如第6 ( a )圖所示，將設定成未處理基板 W b的把持用的第2撥叉6 (也可以用第1撥叉5 )，在 把持未處理基板的狀態下使之朝後側旋轉移動而在不會干 擾到作業的位置上等待作業指示，保持在這種狀態下，用 第1撥叉5 (或第2撥叉6 )，把持住被載置於處理完畢 基板的載置台2 2上的處理完畢的基板W a而加以取出。 其次，如第6 ( b )圖所示，這次，將剛才把持住的 處理完畢的基板W a之第1撥叉，使之朝把持住的處理完 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X 297公釐] ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 訂 k_ 516154 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6) 畢的基板W a之後側旋轉移動而在不會干擾到作業的位置 上等待作業指示，並且使把持未處理基板W b之第2撥叉 6朝前方旋轉以及直線移動，將未處理基板W b載置於未 處理基板載置台23上。 在這種情況下，支臂爲1根，且第1撥叉5和第2撥 叉6都從第2支臂4的先端部短短地突出去，因爲只將第 2支臂4的先端部作爲中心加以旋轉，所以在動作中，即 使在將第1支臂3以及第2支臂4加以收縮的狀態下，其 動作與其他的固定物的干擾範圍仍是極小。因此，搬運基 板用機器人以狹小的設置面積就可以完成了。 在本發明中，只利用搬運基板用機器人1的支臂的動 作，並不只限定在將處理完畢的基板W a以及未處理基板 .W b進行搬運的情況，將搬運基板用機器人1安裝在圖中 未示的直線移動裝置上，使搬運基板用機器人1的支臂動 作和直線移動裝置的直線移動加以組合，而進行處理完畢 的基板W a以及未處理的基板W b的搬運也無妨。 又，既可以將前述第1撥叉驅動用馬達1 6以及前述 第2撥叉驅動用馬達17製作成不裝設在前述第2支臂4 的內部，而裝設在前述第1支臂3的內部，或者是，製作 成裝設在前述固定基底2裡面也無妨。裝設在前述固定基 底2裡面時，第1支臂3以及第2支臂4的驅動用馬達的 同心2軸的輸出軸7、8的例如在內側上，再者製作成以 同心將兩個撥叉的驅動用輸出軸加以配置。 另，本發明係同樣可以適用於在固定基底上即使不具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 -9 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 B7 五、發明説明（7) 有昇降機構之搬運基板用機器人，例如即使是只具備兩根 支臂的搬運基板用機器人也同樣可以適用。再者，撥叉的 數目，並不限定只有兩根，即使4根等等也無妨。 【產業上利用的可能性】 本發明係可利用在：將適用於被使用在半導體製造裝 置等的搬運基板用機器人，即使具有多數個根撥叉，在縮 小支臂狀態下的最小旋轉半徑仍很小，並可將最小設置面 積作成最小的搬運基板用機器人加以製造、提供的領域上 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) $ 、1· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10-

Claims (1)

  1. 516154 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 1·一種搬運基板用機器人，係具有：固定基底，和 以可旋轉地連結在前述基底上的第1支臂，和以可旋轉地 連結在前述第1支臂上的第2支臂之搬運基板用機器人， 其特徵爲：將前述撥叉分別用獨立的第1撥叉以及第2撥 叉所組成的多數個撥叉加以構成，將前述第1撥叉以及第 2撥叉，在前述第2支臂的先端部上，以同軸在上下兩段 上’且分別獨立以可旋轉地加以安裝，並且將前述第1撥 叉驅動馬達以及前述第2撥叉驅動馬達裝設在機器人的內 部。 - 2 .如專利申請範圍第1項所述之搬運基板用機器人 ，其中，係將前述第1撥叉驅動用馬達以及前述第2撥叉 驅動用馬達裝設在第2支臂的內部。 3 .如專利申請範圍第1項所述之搬運基板用機器人 ，其中，係將前述第1撥叉驅動用馬達以及前述第2撥叉 驅動用馬達裝設在第1支臂的內部。 4 .如專利申請範圍第1項所述之搬運基板用機器人 ，其中，係將前述第1撥叉驅動用馬達以及前述第2撥叉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 驅動用馬達裝設在前述基底內。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 11 _
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