KR20230136524A - 반송 로봇 - Google Patents

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KR20230136524A
KR20230136524A KR1020230027354A KR20230027354A KR20230136524A KR 20230136524 A KR20230136524 A KR 20230136524A KR 1020230027354 A KR1020230027354 A KR 1020230027354A KR 20230027354 A KR20230027354 A KR 20230027354A KR 20230136524 A KR20230136524 A KR 20230136524A
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axis
horizontal arm
rotation stage
rotation
pulley
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KR1020230027354A
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쥰 이우라
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가부시키가이샤 다이헨
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Publication date
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Abstract

반송 로봇은, 가동기구에 의해 이송되는 지지 베이스에 대해서 수직인 제1축 둘레를 선회 가능한 수평암과, 상기 수평암의 위쪽에 있어서 해당 수평암에 대해서 상기 제1축과 평행한 제2축 둘레를 회동 가능하고, 상부면에 판상 가공물을 유지 가능한 핸드를 포함한다. 상기 수평암에는, 상기 제1축과 평행 또는 일치하는 제3축 둘레를 회전 가능함과 동시에 해당 제3축의 축방향으로 승강 가능하고, 상부면에 상기 판상 가공물을 유지 가능한 회전 스테이지가 설치되어 있다. 상기 핸드는, 상기 판상 가공물의 중심과 대응하는 유지 중심을 가지고, 해당 유지 중심의 회동궤적이, 평면에서 보아서 상기 제3축을 통과하도록 구성되어 있다. 상기 회전 스테이지는 상기 수평암을 선회시키기 위하여 해당 수평암에 설치된 모터의 출력을 이용해서 회전된다.

Description

반송 로봇{TRANSFER ROBOT}
본 개시내용은, 반송 로봇에 관한 것으로, 특히, 반도체 웨이퍼 등의 판상 가공물을 반송하기 위한 반송 로봇에 관한 것이다.
종래, 반송 로봇은, 예를 들면, 반도체 프로세스에 있어서 이용된다. 구체적으로는, 반송 로봇은, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내서 처리실에 반송하거나, 처리가 끝난 웨이퍼를 처리실로부터 꺼내서 다음 공정으로 반송하는 데 이용된다. 일반적으로, 이 종류의 반송 로봇은, 상부면에 웨이퍼를 유지하는 핸드(hand)를 구비하고 있고, 핸드에 웨이퍼를 올려놓은 상태에서, 해당 웨이퍼를 반송원으로부터 반송처에 이송할 수 있도록 구성되어 있다.
일례로서, 처리실에 웨이퍼를 반송할 경우, 웨이퍼는, 반송처에 있어서 회전 방향(θ방향)과 평면방향(X-Y방향)의 각 기준위치에 정확하게 위치결정되어 있을 필요가 있다. 그 때문에, 정렬 조작을 행하는 장치("얼라이너"라 지칭됨)가 이용된다.
종래의 얼라이너는, 예를 들면, 특허문헌 1의 도 3에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼를 올려놓을 수 있는 회전 테이블을 포함한다. 또, 상기 얼라이너는, 회전 테이블에 올려놓은 웨이퍼의 기준위치로부터의 X-Y방향의 어긋남량과, θ방향의 어긋남량을 검출하기 위한 센서를 포함한다. 웨이퍼는, 원형의 외주를 갖는 동시에, 이 원형 외주에 형성된 노치(또는 오리엔테이션 플랫 등)를 가지고 있다. 이것에 의해, 예를 들어, 웨이퍼를 회전시키면서 웨이퍼의 외주를 연속 검출함으로써, 회전 테이블에 올려놓은 웨이퍼의 중심의 X-Y방향의 어긋남량을 검출할 수 있다. 또한, 웨이퍼를 회전시키면서 노치를 검출함으로써, 회전 테이블에 올려놓은 웨이퍼의 θ방향의 어긋남량을 검출할 수 있다.
θ 방향의 어긋남은, 상기한 바와 같이 검출한 어긋남량을 감안해서 회전 테이블을 소정 방향으로 회전시킴으로써, 해소할 수 있다. X-Y방향의 어긋남은, 핸드에 의해 웨이퍼를 회전 테이블로부터 픽업한 후, 상기한 바와 같이 검출한 어긋남량을 근거로 해서, 해당 핸드의 위치를 반송 로봇이 X-Y방향으로 수정하면서 반송처에 이송함으로써, 해소할 수 있다.
특허문헌 1에 기재된 종래의 얼라이너는, 이하의 점에 있어서 아직 개선의 여지가 있다. 즉, 상기 얼라이너는, 반송 로봇과는 독립되어 있기 때문에, 반송 로봇과 얼라이너로 이루어진 반송 장치의 비용상승으로 이어지는 동시에, 반송 장치의 설치를 위하여 큰 바닥면적을 필요로 한다. 또한, 반송 로봇와 얼라이너 간의 웨이퍼의 주고받기에 시간이 걸리는 만큼, 스루풋(throughput)이 지연되어 프로세스 전체의 처리 효율이 악화된다.
JP 2015-195328 A
본 개시내용은, 종래보다도 개량이 시행된 반송 로봇을 제공하는 것을 하나의 과제로 한다. 특히, 전술한 사정을 감안하여, 정렬 조작에 요하는 시간을 보다 단축할 수 있는 반송 로봇을 제공하는 것을 하나의 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 개시내용에 따르면, 예를 들면, 다음 기술적 수단을 채용하는 것이 가능하다.
본 개시내용의 일 측면에 의해서 제공되는 반송 로봇은, 가동기구에 의해 이송되는 지지 베이스에 대해서 수직인 제1축(선회축) 둘레를 선회 가능한 수평암과, 상기 수평암의 위쪽에 있어서 해당 수평암에 대해서 상기 제1축과 평행한 제2축(회동축) 둘레를 회동 가능하고, 상부면에 판상 가공물을 유지 가능한 핸드를 구비한 반송 로봇으로서, 상기 수평암에는, 상기 제1축과 평행한(또는 일치한) 제3축(회전축) 둘레를 회전 가능함과 동시에 해당 제3축의 축방향으로 승강 가능하고, 상부면에 상기 판상 가공물을 유지 가능한 회전 스테이지가 설치되어 있고, 상기 핸드는, 상기 판상 가공물의 중심과 대응하는 유지 중심의 회동궤적이 평면에서 보아서 상기 제3축을 통과하도록 구성되어 있고, 상기 회전 스테이지는 상기 수평암을 선회시키기 위하여 해당 수평암에 설치된 모터의 출력을 이용해서 회전된다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 회전 스테이지는, 해당 회전 스테이지에 회전 동력을 전달하기 위한 회전 스테이지용 축에 설치된 풀리와, 상기 모터의 출력축에 설치된 풀리와, 상기 제1축에 설치된 풀리에 벨트를 공통으로 감아거는 것에 의해, 상기 모터의 출력을 이용해서 회전된다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 제1축에 설치된 상기 풀리와 상기 지지 베이스 사이에는, 감속기가 설치되어 있다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 감속기의 감속비는, 예를 들면, 1/160 내지 1/50이다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 모터와, 상기 모터의 상기 출력축에 설치된 상기 풀리와, 상기 회전 스테이지용 축과, 상기 회전 스테이지용 축에 설치된 상기 풀리와, 상기 제1축에 설치된 상기 풀리와, 상기 벨트는, 상기 수평암의 내부에 설치되어 있다.
상기 구성에 있어서는, 핸드의 유지 중심의 회전 궤적이 평면에서 보아서 상기 제3축을 통과하도록 형성되어 있다. 따라서, 핸드를 그의 제2축을 중심으로 해서 회동시켜서 유지 중심을 회전 스테이지의 제3축 위에 위치시킬 수 있다.
이와 같이 해서 회전 스테이지의 위쪽으로 이송된 핸드 상의 판상 가공물은, 회전 스테이지를 상승시킴으로써 해당 회전 스테이지 위로 옮겨진다. 이 상태에서 회전 스테이지를 회전시켜서 판상 가공물의 외주를 소정의 센서에 의해서 연속 검출함으로써, 핸드로부터 회전 스테이지로 옮겨진 시점에서의 판상 가공물의 중심의 X-Y방향의 어긋남량을 검출할 수 있다. 판상 가공물이 반도체 웨이퍼인 경우, 이것에는, 외주에 노치 또는 오리엔테이션 플랫이 형성되어 있으므로, 동시에 이 노치 또는 오리엔테이션 플랫을 검출함으로써, 핸드로부터 회전 스테이지로 옮겨진 시점에서의 판상 가공물의 θ방향의 어긋남량을 검출할 수 있다. θ 방향의 어긋남은, 상기한 바와 같이 검출한 어긋남량을 감안해서 회전 스테이지를 소정 방향으로 회전시킴으로써, 해소할 수 있다. 이와 같이 해서 θ방향의 어긋남이 해소된 판상 가공물은 회전 스테이지를 하강시킴으로써 핸드 위로 옮겨지고, 판상 가공물의 X-Y방향의 어긋남은, 상기한 바와 같이 검출한 어긋남량을 근거로 해서, 반송 로봇이 핸드를 X-Y방향으로 수정하면서 반송처에 이송함으로써, 해소할 수 있다.
이와 같이, 상기 구성의 반송 로봇에 따르면, 별도의 얼라이너를 설치하는 일 없이 정렬 조작을 행할 수 있으므로, 반송 장치 전체의 소형화와 비용 절감을 도모할 수 있다. 또한, 핸드와 회전 스테이지 간의 판상 가공물의 주고받기를 단시간에 행할 수 있으므로, 정렬 조작에 요하는 시간을 단축하여, 프로세스 전체의 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
본 개시내용의 그 밖의 특징 및 이점은, 도면을 참조해서 이하에 행하는 상세한 설명으로부터, 보다 명확해질 것이다.
도 1은 본 개시내용의 일 실시형태에 관한 반송 로봇의 전체 입면도이다.
도 2는 수평암의 평면도이다.
도 3은 수평암의 종단면도이고, 도 2의 III-III선을 따른 단면도에 상당한다.
도 4는 도 3의 IV-IV선을 따른 단면도이다.
도 5는 작동 상태를 나타내는 도면이고, 도 2의 III-III선을 따른 단면도에 상당한다.
도 6은 작동 상태를 나타내는 도면이고, 평면에서 보아서의 수평암을 나타내는 도면이다.
도 7은 작동 상태를 나타내는 도면이고, 도 2의 III-III선을 따른 단면도에 상당한다.
이하, 본 개시내용의 바람직한 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 개시내용의 일 실시형태에 관한 반송 로봇(A1)의 전체 구성을 개략적으로 나타낸다. 또, 이 반송 로봇(A1)은 판상 가공물로서의 반도체 웨이퍼(W)를 반송하기 위하여 구성되어 있다.
반송 로봇(A1)은 가동기구(로봇)(1)와, 수평암(2)과, 핸드(3)를 구비한다. 가동기구(1)는, 수평의 제1축(11) 둘레를 회동 가능한 제1암(111)과, 제1암(111)의 선단에 있어서 수평의 제2축(12) 둘레를 회동 가능한 제2암(121)과, 제2암(121)의 선단에 있어서 수평의 제3축(13) 둘레를 회동 가능한 지지 베이스(131)를 구비한다. 가동기구(1)는, 제1, 제2 및 제3축(11, 12, 13)과 직교하는 수직면 내에 있어서 제1암(111)과 제2암(121)의 길이가 허용하는 영역의 임의의 위치에 지지 베이스(131)를 이송시킬 수 있게 되어 있다. 수평암(2)은, 지지 베이스(131)에 의해서 선회 가능하게 지지되어 있다. 지지 베이스(131)은, 수평암(2)의 선회축(21)이 수직방향에 대해서 평행(혹은 실질적으로 평행)하게 되도록 자세 제어된다.
수평암(2)은, 지지 베이스(131)에 대해서, 선회축(21) 둘레를 선회 가능하게 지지되어 있다. 수평암(2)의 선회 구동은, 수평암(2)의 내부에 배치한 선회용 모터(22)에 의해 행해진다. 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 선회용 모터(22)의 출력축(221)은, 이것에 설치한 풀리(222)와, 선회축(21) 상에 감속기(211)를 개재해서 설치한 풀리(212) 사이에 무단벨트(23)를 감아거는 것에 의해, 지지 베이스(131)에 연계되어 있다. 감속기(211)는, 예를 들면, 하모닉 드라이브(등록상표) 등의 고감속비를 갖는 것이 사용된다. 이 감속기의 감속비는, 예를 들면, 1/160 내지 1/50이다. 또, 본 실시형태에 있어서는, 선회용 모터(22)에는 감속 기능이 부속되지 않는 것이 적절하게 이용된다. 또한, 선회용 모터(22)의 출력축(221)에 설치된 풀리(222)에 대한 선회축(21) 상의 풀리(212)의 비는 한정되지 않지만, 예를 들면, 1:1이다.
핸드(3)는, 도 2에 나타나 있는 바와 같이, 두 갈래 포크 형상의 평면형상을 가지고 있고, 상부면에 유지하는 웨이퍼(W)(도 5)의 중심이 위치해야 할 유지 중심(O1)을 갖는다. 도면에 나타낸 실시형태에서는, 상하로 겹치는 2개의 핸드(3)가 수직의 회동축(31) 둘레를 회동 가능하게 설치되어 있다. 각 핸드(3)는, 수평암(2)의 내부에 설치된 모터(32)에 의해, 벨트 전동기구(33)를 개재하는 등 해서 개별로 회동 제어되도록 되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 핸드(3)는, 진공압 흡착에 의해 웨이퍼(W)를 유지할 수 있는 것이 이용되고 있다. 또, 이 핸드(3)는, 클램프 기구에 의해 웨이퍼(W)의 둘레 가장자리를 클램프해서 유지할 수 있는 것을 이용해도 된다.
본 실시형태에 있어서는, 회전축(241)을 가지면서, 승강 가능하게 구성된 회전 스테이지(24)가 수평암(2)에 설치된다. 이하, 이를 위한 구체적 구성예를 설명한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 수평암(2)의 내부에는, 에어 실린더(251) 등의 직동액추에이터에 의해 승강 가능한 지지 플레이트(25)가 설치되고, 이 지지 플레이트(25)에 선회축(21)과 평행 또는 동일 축선을 가지는 회전축(241)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 회전축(241)과 핸드(3)의 관계는, 핸드(3)의 회동축(31)으로부터 유지 중심(O1)까지의 거리(L1)와, 핸드(3)의 회동축(31)과 회전 스테이지(24)의 회전축(241) 사이의 거리(L2)가 동등한 관계로 된다(도 2). 이 회전축(21)의 상단에 원형의 회전 스테이지(24)가 설치되어 있다. 회전 스테이지(24)는, 핸드(3)의 포크 갈래(3a) 사이의 공간을 상하로 빠져나갈 수 있는 크기로 설정되어 있고, 상부면에 웨이퍼(W)를 예를 들면 흡착에 의해 유지할 수 있도록 되어 있다. 본 실시형태에서는, 회전 스테이지(24)의 회전축(241)은 수평암(2)의 선회축(21)과 동일 축선 상에 배치되어 있다.
지지 플레이트(25)의 아래쪽에 설치된 보조 플레이트(252)에는, 수직방향으로 연장되는 중간 전동축(26)이 회전 가능하게 지지되고, 이 중간 전동축(26)의 상단은, 지지 플레이트(25)에 관통 유지된 홀더(261) 및 이 홀더(261)에 부속되어서 해당 홀더(261)에 대해서 회전 가능한 스플라인 너트(262)에 삽입 통과되어 있다. 중간 전동축(26)은 스플라인 축이고, 스플라인 너트(262)는 중간 전동축(26)에 대해서 축방향으로 이동 가능하면서도 상대 회전 불능이다. 따라서, 지지 플레이트(25) 내지 스플라인 너트(262)가 그 승강 행정의 어느 위치에 있어도, 중간 전동축(26)의 회전이 스플라인 너트(262)에 전달되어, 스플라인 너트(262)는 중간 전동축(26)과 함께 회전한다. 또, 상기 중간 전동축(26)(스플라인 축), 홀더(261), 스플라인 너트(262)의 조합체로서의 기능을 실현할 수 있는 시판품으로서, THK주식회사 제품인 로터리 볼 스플라인(ROTARY BALL SPLINE) LTR형을 적합하게 사용할 수 있다.
스플라인 너트(262)에는 풀리(263)가, 회전 스테이지(24)의 회전축(241)의 하부에는 풀리(242)가 각각 설치되고, 이들 풀리(263, 242) 사이에 무단벨트(27)가 감겨 걸려 있다. 중간 전동축(25)의 하단에는 풀리(264)가 설치되어 있고, 해당 풀리(264)에는, 선회용 모터(22)의 출력축(221)에 설치한 풀리(222)와, 선회축(21) 상에 감속기(211)를 개재해서 설치한 풀리(212) 사이에 감겨 걸린 무단벨트(23)가 공통으로 감겨 걸려 있다(도 4). 풀리(222)와 풀리(264)의 비는 한정되지 않지만, 예를 들면, 1 내지 2:1로 된다. 이것에 의해, 선회용 모터(22)를 구동하면, 수평암(2)이 선회축(21) 둘레를 선회함과 동시에, 회전 스테이지(24)가 회전축(241) 둘레를 회전하게 된다. 단, 감속기(211)의 감속비가 크므로, 만일 회전 스테이지(24)가 1회전(360°）회전했다고 해도, 수평암(2)의 선회 각도는 미미하다.
다음에, 상기 구성의 반송 로봇(A1)을 이용해서 웨이퍼(W)의 정렬 조작을 행할 경우의 동작예에 대해서 설명한다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 회전 스테이지(24)를 핸드(3)보다도 하위에 위치시켜 두고, 반송원으로부터 수취한 웨이퍼(W)를 실은 핸드(3)의 유지 중심(O1)을 회전 스테이지(24)의 회전축(241)과 평면적으로 일치시킨다. 이때, 도 6에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼(W)의 중심(WO)이, 회전 스테이지(24)의 회전축(241)(핸드(3)의 유지 중심(O1))에 대해서, X-Y방향으로 벗어나고(어긋남량(δXY)), θ방향으로도 벗어나 있는(어긋남량(δθ)) 경우가 있다.
그 다음에, 도 7에 나타낸 바와 같이, 회전 스테이지(24)를 상승시킴으로써 웨이퍼(W)는 해당 회전 스테이지(24) 위로 옮겨진다. 이 상태에서 회전 스테이지(24)를 회전시켜서 웨이퍼(W)의 외주를 소정의 센서에 의해서 연속 검출함으로써, 핸드(3)로부터 회전 스테이지(24)로 옮겨진 시점에서의 웨이퍼(W)의 중심(WO)의 X-Y방향의 어긋남량(δXY)을 검출할 수 있다. 웨이퍼(W)에는, 외주에 노치(WN) 또는 오리엔테이션 플랫이 형성되어 있으므로, 동시에 이 노치(WN) 또는 오리엔테이션 플랫을 검출함으로써, 핸드(3)로부터 회전 스테이지(24)로 옮겨진 시점에서의 웨이퍼(W)의 θ방향의 어긋남량(δθ)을 검출할 수 있다. θ 방향의 어긋남은, 상기한 바와 같이 검출한 어긋남량(δθ)을 감안해서 회전 스테이지(24)를 소정 방향으로 회전시킴으로써, 해소할 수 있다. 이와 같이 해서 θ방향의 어긋남이 해소된 웨이퍼(W)는 회전 스테이지(24)를 하강시킴으로써 핸드(3) 위로 옮겨지고, 웨이퍼(W)의 X-Y방향의 어긋남은, 상기한 바와 같이 검출한 어긋남량(δXY)을 근거로 해서, 가동기구(1) 내지 수평암(2)이 핸드(3)를 X-Y방향으로 수정하면서 반송처에 이송함으로써, 해소할 수 있다.
상기 구성에 있어서는, 회전 스테이지(24)의 회전 구동을 수평암(2)을 선회시키기 위한 선회용 모터(22)의 출력을 이용해서 행하고 있으므로, 회전 스테이지(24)를 위한 별도의 구동계를 설치할 필요는 없다.
상기한 바와 같이 회전 스테이지(24)를 회전시킬 때, 수평암(2)도 선회하게 되지만, 상기한 바와 같이 감속기(211)를 고감속비의 것을 사용하고 있으므로, 수평암(2)의 선회 각도는 미미하고, 정렬 조작에 있어서 수평암(2)이 크게 선회해서 주변기기에 간섭한다고 하는 일은 없고, 장치 전체의 컴팩트성은 유지된다.
이와 같이, 상기 구성의 반송 로봇(A1)에 따르면, 별도의 얼라이너를 설치하는 일 없이 정렬 조작을 행할 수 있으므로, 반송 장치 전체의 소형화와 비용절감을 도모할 수 있다. 또한, 핸드(3)와 회전 스테이지(24) 사이의 웨이퍼(W)의 주고받기를 단시간에 행할 수 있으므로, 정렬 조작에 요하는 시간을 단축하여, 프로세스 전체의 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
물론, 본 개시내용은 전술한 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 각 청구항에 기재한 사항의 의미 중에 포함되는 모든 변경은 본 개시내용의 범위에 포섭된다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 회전 스테이지(24)의 회전축(241)과 수평암(2)의 선회축(21)을 일치시키고 있지만, 반드시 그렇게 할 필요는 없다. 핸드(3)의 회동축(31)과 유지 중심(O1) 사이의 거리(L1)와, 핸드(3)의 회동축(31)과 회전 스테이지(24)의 회전축(241) 사이의 거리(L2)를 동등하게 해두면 된다.
또, 수평암(2)의 선회용 모터(22)의 출력을 이용해서 회전하는 회전 스테이지(24)를 승강시키기 위한 구성에 대해서도, 실시형태의 것으로 한정되지 않는다.
또한, 수평암(2)을 지지하는 지지 베이스(131)를 이송하는 가동기구(1)의 구성도, 전술한 실시형태의 것으로 한정되지 않고, 수직면 내의 임의의 위치에 지지 베이스(131)를 이송할 수 있는 구성이면 어떠한 구성이어도 된다.
A1: 반송 로봇, W: 웨이퍼(판상 가공물), WO: (웨이퍼의) 중심, 1: 가동기구(로봇), 131: 지지 베이스, 2: 수평암, 21: 선회축(제1축), 211: 감속기, 212: 풀리, 22: 선회용 모터, 221: 출력축, 222: 풀리, 23: 무단벨트, 24: 회전 스테이지, 241: 회전축(제3축), 264: 풀리, 27: 무단벨트, 3: 핸드, 31: 회동축(제2축)

Claims (5)

  1. 가동기구;
    상기 가동기구에 의해 이송되는 지지 베이스;
    상기 지지 베이스에 대해서 수직인 제1축 둘레를 선회 가능한 수평암;
    상기 수평암을 선회시키기 위하여 해당 수평암에 설치된 모터; 및
    상기 수평암의 위쪽에 있어서 해당 수평암에 대해서 상기 제1축과 평행한 제2축 둘레를 회동 가능하고, 상부면에 판상 가공물을 유지 가능한 핸드(hand)
    를 포함하는 반송 로봇으로서,
    상기 수평암은, 상부면에 상기 판상 가공물을 유지 가능하게 구성된 회전 스테이지가 설치되어 있고, 상기 회전 스테이지는, 상기 제1축과 평행한 제3축 둘레를 회전 가능함과 동시에 해당 제3축의 축방향으로 승강 가능하고,
    상기 핸드는, 상기 판상 가공물의 중심과 대응하는 유지 중심을 가지고 있고, 해당 유지 중심이, 평면에서 보아서 상기 제3축을 통과하도록 연장되는 회동궤적을 따라서 움직이도록 구성되어 있고,
    상기 회전 스테이지는 상기 수평암에 설치된 상기 모터의 출력을 이용해서 회전되는, 반송 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전 스테이지는, 해당 회전 스테이지에 회전 동력을 전달하기 위한 회전 스테이지용 축을 포함하고 있고, 상기 회전 스테이지용 축과, 상기 모터의 출력축과, 상기 제1축에는, 각각 풀리가 설치되어 있고, 이들 풀리에는, 공통의 벨트가 감겨 걸려있는, 반송 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1축에 설치된 상기 풀리와 상기 지지 베이스 사이에 설치된 감속기를 더 포함하는, 반송 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 감속기의 감속비는 1/160 내지 1/50인, 반송 로봇.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 모터와, 상기 모터의 상기 출력축에 설치된 상기 풀리와, 상기 회전 스테이지용 축과, 상기 회전 스테이지용 축에 설치된 상기 풀리와, 상기 제1축에 설치된 상기 풀리와, 상기 벨트는, 상기 수평암의 내부에 설치되어 있는, 반송 로봇.
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