TW496848B

TW496848B - Robots for microelectronic workpiece handling

Info

Publication number: TW496848B
Application number: TW088111765A
Authority: TW
Inventors: Wayne J Schmidt; Thomas H Oberlitner
Original assignee: Semitool Inc
Priority date: 1998-07-11
Filing date: 1999-07-12
Publication date: 2002-08-01
Also published as: JP2003527737A; EP1112220A1; KR20010074695A; CN1411420A; WO2000002808A1

Description

496848 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（1 ) 發明背景有很多種用於處理工件的設備，其最終變成微電子裝置。當微電子工業朝著裝置之有效和經濟量產發展時，對於使用在工件處理的設備之需求已增加。漸增地，設備的自動化正角於滿足這些不斷增加的需求。更特別地，很多增加的需求是關於在處理期間用於握持微電子工件的自動化裝置。一種用於處理微電子工件一諸如半導體工件一的自動化設備揭示於1997年十二月I5日申請的美國專利 08/991062號，名稱爲「具有左和傾斜機構的半導體處理設備」，其附於此供參考。此設備利用複數工件處理模組或站，以執行各種處理步驟。工件運輸單元用於存取工件卡匣，及傳送工件通過處理設備。一工件輸送器支撐和引導工件運輸單元，其用於傳送個別工件於工件界面模組和工件處理模組或站之間。工件輸送器亦包含一運輸單元引導件，諸如一長形軌道，其界定一路徑用於在設備內之一或更多工件運輸單元。沿著軌道移動的工件運輸單元的構造係具有一工件傳送臂總成，其一端具備一真空引動器，用以握持一工件。傳送臂總成的垂直高度可調整，且可繞垂直軸線轉動，以供引動器和工件的精密安置。工件典型上係以待處理面（「前」面）朝上而被握持和儲存。此定向避免支撐結構接觸於前面。另一方面，某些處理模組要求工件以待處理面朝下而定向。爲了配合此等要求，某些處理模組，諸如電鍍反應器，使用一處理頭， ______ 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

I -'一口 Λ 496848 A7 B7 五、發明説明（>) 其可在第一和第二位置之間「跳動」，即，轉動，於第〜位置時，處理頭安置成可承接工件，而工件之一前側朝上，於第二位置時，工件之前側朝下以供處理。讓每一處理模組或站使工件「跳動」以供處理需有複雜的頭操作機構，以轉動處理頭。此等操作機構可能需要實質上重或大的結構以轉動處理頭，且可能需要可觀的高架操作室以供轉動。本發明人已認知，減少或消除處理模組使一工件翻轉或跳動以供處理的需求將簡化整個工件設備。本發明人亦已認知，成本的節省和過程的簡單性將藉由消除使工件跳動的需求而增加。此外，發明人已認知，一廣泛範圍之不同型式的處理站可整合成單一處理工具。此等處理站可能已改變晶圓定向的需求，一站要求前面向上的定向以供處理，而另一站要求前面向下的定向以供處理。一種解決所認知之這些問題的設備乃提出。此外，本發明人已認知，提供一工件輸送器，其具備可滑動於其上之運輸單元，運輸單元使所需要的工作空間或輸送器的「足跡」減到最小，且具備在側向配置的處理單元之間操作的運輸單元，則將是有利的。一種提供此利益的設備乃提出。發明槪述本發明是針對一工件輸送器系統，其用於在一工件處理設備中運輸個別工件於工件處理站和/或界面模組之間。 _^_ 5_ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐1 ~^ ： ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印繁 496848 A7 _B7 五、發明説明（））工件輸送器系統包含一改良工件運輸單元，其承載在設備內，例如，輸送器軌道或類似者之上的工件。運輸單元包含一自外殻延伸的垂直構件。一臂構件從臂構件底端的垂直構件延伸。一工件握持端引動器配置於臂構件的遠端，且被迫繞一水平軸線選擇性轉動，以使工件「跳動」於面朝上的定向和面朝下的定向之間。引動器的構造較佳爲夾持工件一諸如半導體晶圓一之一邊緣，且可具有一工件存在感測器，用於通知一控制單元，有一工件存在於引動器上。依據本發明之一實施例，工件運輸單元提供五移動「軸線」。爲此目的，運輸單元可以在軌道上沿著一水平軸線(γ)線性驅動。垂直構件可以沿著一垂直軸線(Z1)垂直舉升或下降。臂構件可以繞垂直軸線(Z1)轉動，而臂構件之一遠部分可以繞垂直軸線(Z2)轉動。端部引動器可以，例如，繞一水平軸線(R)轉動或「跳動」，以使工件成爲前面朝上或前面朝下的定向。爲了執行此轉動，臂構件較佳爲包含一安裝於臂構件內的轉動致動器，以使端部引動器繞水平軸線轉動。藉由提供一工件運輸單元，其具備增加的移動撓性，包含繞一水平軸線的轉動，乃避免了用於使工件在複數處理模組跳動之更貴、重和複雜的機構。此外，蔣具有不同工件定向需求的處理站整合成爲單一處理設備變爲可行。在本發明之又一特色中，設有一工件運輸單元，其具有一真空握持機構，用於將一工件握持至端部引動器。真 _________6_ I紙¥尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0'〆297公釐）一 ^ JIJ Hr (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A7 B7 五、發明説明（4) 空握持機構包含用以壓頂於工件邊緣區域之複數舉升板，及通過舉升板而用以將工件頂在板上的真空口。在本發明之再一特色中，二工件運輸單元可以在一引導軌道結構的對立側上滑動。至少一運輸單元包含一第一端部引動器，其立起於其個別第一自動操控機臂之一相鄰段，在其間提供垂直空間。垂直空間在水平方向充分突起 ’以供另一運輸單元的個別其他端部引動器，其在一較低高度操作，通過第一端部引動器下方和第一自動操控機臂上方。於是，由二端部引動器握持的晶圓可以依照計劃重疊’且二運輸單元可以沿著輸送器軌道一起或彼此相對地在縱向移動，而在端部引動器或所握持的晶圓之間沒有干涉。此配置使工具的對立處理單元之間所需要的側向足跡減到最小。本發明之很多其他利益和特性從本發明的下列詳細說明和其實施例，從申請專利範圍和從附圖一其中本發明的細卽元全且完整地揭不成爲此說明書之一部分一可以容易明白。圖式簡單說明圖1是附屬於一種改良工件輸送器系統之一工件處理工具的爆炸透視圖，工件輸送器系統是依據本杳明一實施例而構成；圖2是圖1所示改良工件輸送器系統之透視圖；圖3是大體上沿著圖2之線3-3所作的剖視圖； —：~~— --^ 7 尽、，氏張尺度適用中關家縣（CNS ) Α4規格（21Qx 297公楚 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ Λ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（S ) 圖4是一工件運輸單元的透視圖，工件運輸單兀是依據本發明一實施例而構成；圖5是圖4所示工件運輸單元的爆炸透視圖；圖6Α是圖5之運輸單元的自動操控機臂部件之部分爆炸透視圖；圖6Β是圖6Α之自動操控機臂部件之部分爆炸透視圖 ;圖6Β是圖6Α的連糸買，圖7是圖6Α、6Β之自動操控機臂部件組合時的側視圖；圖8是大體上沿著圖7之線8-8所作的剖視圖；圖9是大體上沿著圖8之線9-9所作的剖視圖；圖1 〇是由圖8所做之放大分解剖視圖，圖11是由圖7所做之放大分解右側視圖；圖12是由圖8所做之放大分解剖視圖；圖13是一端部引動器之一實施例的放大透視圖’其適用於圖4所示的工件運輸單元；圖14是圖4之工件運輸單元後透視圖，其中臂在不同的轉動位置，且端部引動器正握持一工件；圖1 5是圖13之端部引動窃1的平視圖，圖16是大體上沿著圖15之線16-16所作的剖視圖；圖17是由圖16所作的放大分解剖視圖，'其顯示爲握持一工件；圖.18是大體上沿著圖15之線18-18所作的放大分解剖視圖； _'_8 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ' —i---j-----衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 496848 Α7 Β7 五、發明説明（t ) 圖19是由圖16所作的放大分解剖視圖；圖20是自動操控機臂之一替代實施例的放大分解剖視圖；圖21是由圖2〇所作的放大視圖；圖22是具有一工件輸送器系統之一替代的工件處理工具之端視圖，工件輸送器系統使用附屬於圖20的自動操控機臂之替代的運輸單元；圖23是由圖22所作的放大視圖；圖24是圖22之工件處理工具的平視圖；圖25是圖20所示自動操控機臂之一端部引動器和一工件的爆炸透視圖；圖26是圖25之端部引動器的平視圖；圖27是圖26之端部引動器的底視圖；圖28是由圖26所作的放大視圖；圖29是由圖26所作的放大視圖；圖30是沿著圖26之線30-30所作的剖視圖；圖31是圖25之端部引動器的平視圖，其握持一工件圖32是沿著圖31之線32_32所作的剖視圖；圖33是沿著圖31之線33-33所作的剖視圖；及圖34是沿著圖31之線3心34所作的剖視β。元件符號說明 W工件處理設備 12輸入/輸出總成本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（Ί ) 14左處理模組 16右處理模組 20工件輸送器系統 24排放系統 25嵌板 26引導件 26a刺針 28框架 30工件運輸單元 32工件運輸單元 36上引導軌道 38上引導軌道 40下引導軌道 42下引導軌道 61驅動操作器 64驅動操作器 69電磁鐵（無刷馬達） 72纜線保護件 73纜線保護件 100自動操控機臂或臂構件 10 6外殼 108端部引動器 110第一臂段 114第二臂段 J—I*----_ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、袭· 、11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（Υ ) 120底板 122第一頂蓋板 124第二頂蓋板 126底蓋板 128 U型覆板 129側壁 130側壁 132後壁 136上線性軸承 138上線性軸承 140下線性軸承 142下線性軸承 149編碼器 154舉升總成 156導螺桿馬達 158導螺桿 160舉升托架 162螺帽 164接頭 165感測器 170線性軸承（線性軌道） 172軌道 174滑動元件 176軌道 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 496848 A7 B7 五、發明説明（3 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫 177 編碼器 180 載板 200 馬達 201 輸出軸 202 馬達安裝件 206 下外殻 210 螺絲 214 耦合件 218 輸入軸 220 管 224 軸承夾持器 226 感測器 230 滾柱軸承 232 下軸承夾持器 240 馬達 242 下外殼 242a底壁 244 空間 245 頂蓋 248 凸緣 250 輸出軸 252 滑輪凸緣 254 驅動滑輪 256 滑輪夾持件 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 496848 A7 B7 五、發明説明（I。）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 260 腕扭矩管 260b 穴 262 上夾持環 263 下夾持ig 264 軸承 266 軸承夾持器 268 讀取頭安裝件 270 編碼器 272 扭矩管夾持器 274 絕對編碼器蓋 280 外殻 282 底蓋 290 臂帶 292 放大器 294 張力器 295 惰輪 296 銷 297 板 300 跳動軸線蓋 302 馬達 304 致動器安裝件 306 外殼 308 軸承 310 夾持器 J——.----_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ袭_

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 496848 A7 B7 五、發明説明（l\ ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 312 跳動軸線轂 350 輸出軸 351 編碼器 352 夾持環 354 壓力凸緣夾持器 356 後凸緣 360 軸承表面 362 底部 364 致動器安裝件 400 踏板 400a l底部 401 第一分叉 402 托架 403 第二分叉 404 握持本體 408 扣件 410 直立足 414 氣壓缸 416 扣件 422 入口 428 調整片 430 溝槽 434 柱塞 434a尖端 J---.-----0d II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 496848 A7 B7 五、發明説明（α) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 434b延伸件 434c桶部分 434d握持部分 434e表面 434f表面 434g端部分 440斜坡表面 442感測器 450銷 452銷 456圓柱

I 456a表面 458凸緣 460底 462階梯區域 464孔經濟部智慧財產局員工消費合作社印焚 466下降表面 467邊緣 468半徑 469外邊緣 470彈簧 472活塞 473螺紋套節 474傾斜部分本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（Λ ) 475邊緣 500自動操控機臂總成 510第一可轉動臂段 522端部引動器 540腕管546蓋 560外殼 562端部引動器 564氣壓配件 572壓痕區域574 入口576 開口 578噴嘴 580軸向槽道 600環形空間（處理工具）604 開口 620工件輸送器系統 630運輸單元 631運輸單元 632運輸單元 640側向外部尺寸 650處理容器 700端部引動器 706踏板 ΙΊΙ.----Jm (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V袭· 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 496848 A7 _______ __B7 五、發明説明（A ) ΙΊΙ.----_ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 706a表面 708連桿 710關閉件 714定位銷 714b斜表面 716關閉件 722分叉 724分叉 726墊片區域 727墊片區域 730墊片區域 74〇真空槽道 742凸耳 744真空口 760真空槽道 764入口開口 766出口開口經濟部智慧財產局員工消費合作社印製發明詳細說明雖然本發明可以有很多不同形式的實施例，但在圖中顯示且將在此詳細說明其特定實施例，可瞭解.·.，此揭示應認爲是本發明之原則的示範，而非意圖限制本發明爲所繪示的特定實施例。圖1繪示一示範性模組工件處理設備10，其可使用本 _____ _17 本紙張尺度適用中國國^哀系（〇奶）八4規格（210\ 297公釐） 496848 A7 ______B7 五、發明説明（j ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 發明的改良輸送器系統。如所示，設備10包含一輸入/輸出總成12，和左與右處理模組14、16。設備1〇亦包含改良工件輸送器系統20、一'頂排放總成24和一'端部嵌板25 。如所示，左與右處理模組14、16，其各包含複數工件處理站，可互相固定於工件輸送系統20，以形成一具有縱向配置之入口與出口的處理室。較佳地，工件輸送器20配置在處理室內，以致於其可存取輸入/輸出總成12內之複數工件卡匣界面模組的每一模組，且進一步可存取左與右處理模組14、16內之每一工件處理站。複數處理模組14、16可固定於一端部對端部之構造中，藉以提供一延伸的處理室，其可執行實質數目的過程於每一工件上，或者替代的，同時處理很多工件。在此等狀況，一設備的工件輸送系統20係程式化，以與一或更多先前或接續的輸送系統20之工件輸送系統20合作。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製圖2更詳細繪示工件輸送器20，其用於運輸工件通過圖1之處理設備1〇。如所示，工件輸送器20大體上包含一或更多工件運輸單元30、32，其被耦合以沿著工件運輸單元引導件26移動。運輸單元引導件26較佳爲包括一安裝於一框架28上的長形刺針26a。替代地，運輸單元引導件26可形成一軌道或其他長形構造，以引導其上的工件運輸單元30、32。工件輸送器2〇和運輸單元引導件26的長度和形狀可改變，且其構造可允許工件運輸單元3 0、3 2存取在設備1〇內之每一處理站。在所繪示實施例中，工件運輸單元引導件％包含一刺 18 i張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） '' ~ 496848 A7 —- —……一- B 7 五、發明説明（〜） J---,-----0,... (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 針，其支撐一對安裝於刺針26a之上部分相反側上的上引導軌道36、38，及一對安裝於刺針26a之下部分相反側上的下引導軌道40、42。每一工件運輸單元3〇、32較佳爲各嚙合一對上和下引導軌道36、40和38、42。每一對引導軌道可沿著刺針26a安裝一或更多運輸單元。每一工件運輸單元30、32由一適當的驅動器沿著個別路徑賦予動力。更特別地，驅動操作器61、64安裝至運輸單元引導件26的個別側部，以提供工件運輸單元30、 32沿著運輸單元引導件26的可控制軸向移動。驅動操作器61、64可爲線性磁性馬達，用於提供工件運輸單元30 、32沿著運輸單元引導件26的精密定位。特別地，驅動操作器61、64較佳爲線性無刷直流馬達。此較佳的驅動操作器61、64利用一系列磁性段，其與安裝在每一工件運輸單元30、32上之一個別電磁鐵69磁性互動，以沿著運輸單元引導件26推動該單元。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製纜線保護件72、73可連接至個別工件運輸單元30、 32和框架28，以保護其內的連通或電源線。纜線保護件 72、73可包括複數互聯段，以允許工件運輸單元30、32 沿著運輸單元引導件26的全範圍運動。如圖3所示，工件運輸單元30耦合於引導件26之刺針26a的第一側，而工件運輸單元32耦合於引導件26之刺針26a的第二側。每一工件運輸單元3〇、32可包含四線性軸承136、140、138、142，以各別地嚙合於線性引導軌道 36 、 40 、 38 、 42 〇 ______19_____ 本紙張尺度適用中國國''家標準（CNS )八4規格（]1〇Χ297公釐） ' ~ 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（β ) 圖4繪示一工件運輸單元30，其實質上相同於工件運輸單元32。爲了簡化，只有工件運輸單元30將詳細說明。運輸單元30包含一自動操控機臂或臂構件100，其自一在臂構件底端的運輸單元外殼106水平延伸至一在臂構件遠端的邊緣握持端部引動器108。臂構件100包含一第一臂段110,其可轉動地連接至一第二臂段114。第一臂段 110可繞一垂直軸線Ζ1相對於外殼106轉動。第二可轉動臂段114可繞一垂直軸線Ζ2相對於第一臂段110轉動。端部引動器108可繞一水平軸線(或「跳動」軸線)R轉動，其垂直於垂直軸線Ζ1和Ζ2。外殻106包含一垂直配置的底板12〇、一第一頂蓋板 122、一第二頂蓋板124、一底蓋板126和一 U形覆板128 。U形覆板128包括側壁129、130和一後壁132。安裝至底板者爲四線性軸承136、138、140、142，其承接引導軌道，如圖3所示。配置於上線性軸承136、138 和下線性軸承Η0、142之間者爲一無刷馬達69，其作用 .於引導件26的驅動操作器61上(顯示於圖2和3)。一頭讀取器線性編碼器149將一位置信號，其對應於引導件26上之運輸單元30位置，提供至用於控制運輸單元的控制單元〇圖5繪示各種部件，其配置於外殼106內部。如所示，一舉升總成154和臂總成100的合作部件配置於外殼 106 內。舉升總成154包含各種部件，其用於沿著垂直軸線Ζ1 _20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐）丨丨，丨~"0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、11 496848 經濟部智懇財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（』）驅動臂總成100。爲了此目的，舉升總成154包含一導螺桿馬達156，其轉動一螺紋導螺桿158，導螺桿158則配置於一舉升托架160內以供轉動。一導螺桿螺帽162鎖在導螺桿158上，且連接至一舉升螺帽接頭164。舉升總成154 內的垂直移動由一線性軌道170引導。於是，導螺桿158 繞其軸線的轉動將使螺帽162和接頭164沿著導螺桿158 向上軸向行進。導螺桿馬達156的反轉將使螺帽162和接頭164沿著導螺桿158下降。一信號，其對應於臂總成 100沿著垂直軸線Z2的垂直位置，係由一絕對位置感測器 165提供。臂構件100連接至垂直軌道176，以沿著垂直軸線Z2 移動。一垂直線性軸承總成Π0，其具有一軌道172和一滑動元件174，配置於舉升總成154附近。垂直構件的一底端包含一載板180，其連接至移動元件174和接頭164 ’ 俾使垂直軌道176和臂構件100可藉由導螺桿馬達156的致動而由接頭164垂直舉升和降下。線性軸承總成Π0確保垂直構件的精密和穩定之垂直舉升。一舉升編碼器177 連接至導螺桿馬達156的從動軸，以將一精密舉升位置信號送至運輸單元的控制。圖6A和12繪不一第一轉動移動馬達200，其藉由一‘ 輸出軸201的轉動引起垂直構件176和第一腎段110繞垂直軸線Z1相對於外殼106的轉動。馬達200由一馬達安裝件202連接至一下外殼206。下外殼由螺絲210連接至載板180。一耦合件214將馬達200的輸出軸201連接至 I丨丨、----d (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 、11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 496848 A7 B7 五、發明説明（Λ ) 一管總成220的輸入軸218 °在管總成220和下外殼206 之間配置一軸承夾持器224、一解析感測器226、一滾柱軸承230(示意顯示)和一下軸承夾持器232。解析感測器226 將管總成22〇相對於外殻1〇6之一'精密轉動位置號迭到運輸單元的控制。圖6Β、8和9繪示管22〇之連接至第一臂段之一下外殻242。管220的轉動使下外殼242和第一臂段110 繞垂直軸線Ζ1轉動。一頂蓋245套在下外殻242上方’ 以形成一實質上封閉的空間244 ’這些部件固持於其內。經濟部智慧財產局員工消費合作社印紫 (請先閱讀背面之注意事項再填穹本頁) 圖6Β和8至1〇繪示用於使第二臂段Π4繞垂直軸線 Ζ2轉動的部件。如所示，一第二轉動馬達240容納於管 220和下外殼242內。馬達24〇由一馬達凸緣248垂直支撐，其連接至外殼242之一底壁242a和管220。凸緣248 亦由扣件(未顯示)連接至馬達240之一頂，如圖8所示。馬達240之一輸出軸250承接一滑輪凸緣252、一驅動滑輪254和一滑輪夾持件256，其一起構成一從動滑輪配置，如圖8所組合顯示者。第二轉動馬達240包含一與彼成爲一體的轉動位置編碼器（未顯示）。編碼器將一轉動位置信號送到一控制單元，以用於運輸單元操作之控制。圖1〇更淸楚顯示，一腕扭矩管260安裝成爲在下外殻242中轉動，且由一臂帶290包覆。臂帶的_0由驅動滑輪254驅動。一由軸承夾持器266夾持的軸承264(示意顯示)和一扭矩管夾持器2M支撐且引導扭矩管260。上和下夾持環262、263套在扭矩管260上，且垂直夾持環繞於扭 ____—__22_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐1 ： 496848 A7 B7 五、發明説明（，）矩管260上的帶290。一讀取頭安裝件268以一轉動絕對編碼器270安裝至下外殼2M。轉動絕對編碼器產生第二臂段114相對於第一臂段11〇之一轉動位置信號。位置信號供應至運輸單元之一控制。一絕對編碼器蓋274匹配於下外殼242之底。位在下外殻242上方者爲一連接至下外殼242的自動操控機腕外殻280和一連接至扭矩管260的底蓋282。亦支持於下外殼242之空間內者爲一跳動軸線放大器292和一彈簧負載帶張力器294。參考圖9，張力器294包含一惰輪295，用於維持臂帶290上的張力。惰輪由一板297承載，其繞一銷296相對於下外殻242樞動。板由一伸展於下外殼242上的固定點間之彈簧（未顯示)與一由板297承載的彈簧銷予以彈力負載。彈簧的力使板轉動，以將惰輪295壓頂於帶290。第二轉動馬達240被選擇性致動以使帶29〇環繞’其包覆於腕扭矩管260周圍。此致動使第二臂段114繞垂直軸線Z2擺動。圖6B和1〇繪示跳動軸線部件，其允許引動器108繞水平軸線R轉動。位在第二臂段114內的一跳動軸線蓋 300之下者爲一跳動軸線馬達302。跳動軸線馬達302被選擇性致動，以使端部引動器108繞水平軸線R轉動。跳動軸線馬達連接至一致動器安裝件3〇4。一軸承外殼306位在蓋300內，且支持一軸承308(示意顯示)與一夾持器310 。一跳動軸線轂312安裝至端部引動器108 ° 度適用中國运"^準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐)一" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 經濟部智慈財產局員工消費合作社印^ 496848 A7 B7 五、發明説明（y\ ) 跳動軸線馬達包含一輸出軸350，其在馬達302的後端連接至二轉動位置編碼器351。冗餘的轉動位置編碼器提供一信號至運輸單元之一控制單元，該信號對應於引動器108繞水平軸線R相對於第二臂段114的轉動位置。輸出軸350藉由一夾持環352和一互動的壓力凸緣夾持器 354之作用夾持至跳動軸線轂312，其被擠壓於引動器108 的跳動軸線轂312和一後凸緣356之間。後凸緣356由扣件接合至跳動軸線轂312(定位的扣件孔顯示於圖6B)。跳動軸線轂312包含一環形軸承表面360，其由軸承 308支承以供轉動。軸承308由軸承夾持器310支持在定位，其由扣件接合至軸承外殼306(定位的扣件孔顯示於圖 6B)。軸承外殼306包含一底部分362，其由扣件364連接至腕扭矩管260且連接至底蓋282。致動器安裝件304由扣件305接合至軸承外殻306之一後側。致動器安裝件 304由扣件接合至馬達302之一前側(定位的扣件孔顯示於圖 6B)。如圖10所繪示，一氣壓缸414包含一彈簧470，其施加衝力於一活塞472上，活塞472經由一螺紋套節473連接至柱塞434。引入於口 422的壓縮空氣反抗彈簧的膨脹力而作用於活塞472上，且使活塞幻4退回（向左，如圖 1 〇所示）。由圖10可見，一環形空間600設在氣壓缸414周圍且在跳動軸線蓋300之下，以便容納以鬆鬆的方式纏繞的氣壓管路和信號與電力導體，以允許端部引動器108的轉 ____ 24 本紙張尺度適用中國國家標準（CNs ) a4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A7 B7 經濟部智.«;〗財產局員工消費合作社印製五、發明説明（) 動。此氣壓管路和導體可自空間600向後行進，部分通過第二臂段1H，且向下通過扭矩管260之一中央通道260a 。其他導體’ δ者如來自馬達3 0 2和編碼器3 5 1者，經由配置於穴260b中的印刷電路纜線而行進。此配置將這些纜線相對於扭矩管260而纏繞或展開，藉以允許臂段114繞軸線Z2轉動。管路和導體接著可行進通過編碼器外殼224，向上進入下外殼蓋245所提供的空間244,且向下通過垂直構件176，以離開在開口 604的管220，如圖6A所示。爲了允許在第一和第二臂段110、114間之相對轉動的足夠撓性，導體和管路可以在離開以前於扭矩管260內鬆鬆地捲繞。圖13至16繪示邊緣握持端部引動器108之一實施例。如所示，端部引動器108包含一踏板400，其自一在托架402上方的底部分400a(顯示於圖19)延伸。踏板400實質爲Y形，具備二實質上平行的分叉，第一分叉401和第二分叉403。一握持本體404由扣件408連接至托架402，且可作用以夾持握持本體404和托架4〇2間之踏板400的底部分400a。氣壓致動器414連接至托架402之一直AL足 410，其由複數扣件416連接。氣壓致動器414由扣件(未顯示)連接至引動器1〇8的後凸緣356。氣壓致動器414包含壓縮空氣入口 4〗2，其可爲一螺紋開口’用於承接一空氣供應線(未顯示)的管配件。握持本體404包含一在前端的引導調整片428 ’其在踏板400上方。引導調整片之一頂表面上包含一半圓柱形 25 ______ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公瘦） 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7_ 五、發明説明（A) 溝槽430。一柱塞434套在一縱向孔內，其通過握持本體 404，對準於溝槽430。調整片428包含一在前端的斜坡表面440，其在前方向下傾斜朝向踏板400之一表面。在握持本體404之一前表面上者爲一工件感測器442 。工件感測器是一光發射和接受感測器，其發射光線，如果工件在踏板400上，則接受來自工件的反射光。如果沒有工件，則未接受反射光，而傳送一「無工件」的信號或狀況。較佳地，感測器442發射紅外線。位於踏板400前端者爲二相同的工件邊緣握持銷450 、452。銷較佳爲由塑膠材料形成。爲了簡化，只有銷452 將說明。如圖17所示，銷452具有一圓柱形本體456，其具備一徑向延伸的頂凸緣458和一中間底460。底460套在踏板400之分叉4〇3的階梯區域462上。圓柱456之一下部分藉由摩擦、結合、或藉由粘劑支持於一通過分叉 403的孔464內。中間底460具有一向外下降、圍繞的頂表面466。當工件放在踏板4〇〇上時，起初在由銷握持以前，下降表面466確保只有工件之一邊緣將接觸下降表面 466上的引動器。圖18繪示工件W(以實線顯示），其起初以它的邊緣 467停置於下降表面466上。當引動器藉由柱塞434握持工件以頂靠銷45〇、452時，銷之一傾斜的環形'半徑468將垂直舉升工件W，以邊緣接觸於銷452之一垂直接觸表面 456a。此確保工件W之由銷接觸實質上僅發生於工件之一外邊緣469上。除了握持力以外，工件W亦由凸緣458垂 _______ 26 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· 496848 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印賢 A7 B7 五、發明説明（沁）直夾持，在跳動操作期間尤然。 ‘ 如圖19所示，柱塞434包含一圓錐形尖端434a，其具有一傾斜部分474，它推動工件W之一邊緣475且居於上方，以垂直夾持踏板400上的工件。斜坡表面440確保工件僅有邊緣475被接觸，且不會停置在其平坦後表面上。當端部引動器108由跳動馬達3〇2促使繞水平軸線R轉動時，銷450、452的凸緣458和柱塞434的圓錐形尖端 434a確保工件不會從踏板400掉落。柱塞包含一圓柱形狹長前延伸件434b，其包含尖端 434a，及一自彼向後延伸的圓柱形厚桶部分434c。連接至桶部分434c者爲一具有對立平坦表面434e，434f的圓柱形工具握持部分434d，用於握持部分434d與一扳手的嚙合。一螺紋連接端部分434g鎖入螺紋套節473。柱塞434 套入一階梯式孔476。階梯式孔476包含一用於引導狹長前延伸件434b的前狹長孔476a和一用於引導後桶部分 434c的後大孔476b。於是，在操作時，當工件W放在踏板400上，如圖 14所示，空氣自氣壓缸414釋放，彈簧470使柱塞434衝向前（向圖19之左）。圓錐形尖端434a推動工件邊緣進入銷450、452。工件邊緣被推入銷的垂直接觸表面456a內，且在斜坡表面440和傾斜表面474之間。工件可藉由壓縮空氣之引入氣壓缸414而釋放，以使柱塞434退回。圖20繪示一替代的自動操控機臂總成500。除了下述以外，自動操控機臂總成有很多共同特性相同於例如圖8 —___27 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印災 Α7 Β7 五、發明説明（Λ ) 所說明的自動操控機臂總成。一第一可轉動臂段510包含電馬達240和帶290，用於使一腕管540繞垂直軸線Ζ2轉動。一真空室蓋546藉由複數垂直向的扣件（未顯示)連接至腕管540。一端部引動器562連接至真空室蓋546。於是，轉動腕管540則轉動端部引動器562。圖21更淸楚顯示，第一臂段51〇包含一外殼56〇，其圍繞轉動的絕對編碼器270。一氣壓配件564暴露於外彀 560外部，以連接至一真空源，且與一通過腕管540的槽道流動連通。槽道與腕管540的一壓痕區域流動連通。真空室蓋546包含一入口部分574，其向下延伸進入壓痕區域572。入口部分574包含複數口 576和一內部入口噴嘴 578。入口噴嘴578向上延伸進入一軸向槽道580，其與一在端部引動器562內的真空槽道760(以下說明)流動連通。圖22繪示一處理工具600，其具有一中央工件輸送器系統620。工件輸送器系統620包含一如前述的工件運輸單元引導件26，及運輸單元630、632，各可滑動地安裝於引導件的每一側，如前述。工件運輸單元630、632附屬於自動操控機運輸臂500，如圖2〇和21所述。圖23繪示運輸單元630、631之一緊密的側向配置，其具有一側向外部尺寸64〇以用於沿著引導軌道26的緊密互相滑動。側向尺寸640可減到最小，因爲蓋346允許端部引動器562間之足夠的垂直餘隙，其水平突起，俾使當( 右）自動操控機臂500維持在比(左）自動操控機臂500稍低的高度時，（右)端部引動器522和其所支持的晶圓W可在 ______28 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） '~~— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 29 A7 B7 五、發明説明（Ά?) 緊鄰於(左）真空室蓋546的(左)端部引動器562和其所支持的晶圓W下方。（左)端部引動器562和其所支持的晶圓W 可在(右)端部引動器562和其所支持的晶圓W上方。運輸單元630、632二者可沿著引導軌道26的軌道在此構造中移動，或可獨立移動。圖24繪示在此緊密、退回的配置中之(左和右)運輸單元630、632，而晶圓W在略爲不同的高度。運輸單元可傳送晶圓至側向配置的處理容器650。藉由使一端部引動器和晶圓在個別其他自動操控機端部引動器和晶圓的頂部上方通過，圖22-24的設計允許藉由二自動操控機而使晶圓在任一方向沿著軌道同時線性移動而無干擾。此之完成是藉由垂直設定一用於每一自動操控機的安全行進區域。自動操控機臂總成的真空蓋546之軸向長度使端部引動器在第一臂段510上方舉升一距離，足以允許相鄰自動操控機端部引動器和其所支持的晶圓通過第一臂段510和個別的端部引動器之間。所述構造的結果爲，在平視圖中觀看時，工具足跡減少約九吋寬度。圖8所示實施例亦可修改以延伸扭矩管260，以用相同方式提供餘隙於第一臂段U0和端部引動器108之間。圖25繪示一端部引動器700的替代實施节ij，用於握持諸如晶圓W的工件。端部引動器700包含一踏板構件 706和一連桿構件708。踏板構件706連接至連桿構件708 。踏板構件7〇6包含在其一底側上的真空槽道740，它可本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

496848 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____ B7____ 五、發明説明（J ) 由一真空關閉件710關閉。踏板構件包含四孔’其承接使晶圓W安置於踏板706上的定位銷或鈕714。一連桿構件真空關閉件716關閉真空槽道760,其配置於連桿構件之一底側上（顯示於圖32)。圖26繪示踏板706之一頂表面706a。踏板706包含平行的分叉7U、7M。在分叉的遠端爲舉升的晶圓支撐脊或墊片區域726、7W。定位銷714位於墊片區域726、727 附近。在踏板7〇6底端者爲一長形晶圓支撐脊或墊片區域 730。定位銷714位於墊片區域730的對立側。墊片區域 720、727、73〇圍繞一圓之一部分，其對應於支撐於踏板上之晶圓的一邊緣區域。圖27繪示踏板部件7〇6之底，其包含由一凹入的凸耳742圍繞之長形真空槽道740，凸耳742對應於圖25所不真空關閉件710的形狀。此外，在真空槽道740內安置真空口或孔744 ’其將真空槽道開啓達到踏板部件7〇6的厚度，以使墊片區域中的開口成爲真空。圖28繪示墊片區域727，其包含一通過彼的真空口 744,真空口 744與真空槽道74〇舄流動連通。圖31繪示晶圓W，其位於四定位銷714之間，且遮蓋墊片區域726、727、730。圖32顯示連桿構件真空關閉件716，其關，閉長形真空槽道760。關閉件716包含一入㈡開口 764和一出口開口 766 °入口開口 764與真空室蓋546流動連通，如圖21所示。開口 766與真空槽道74〇流動連通。 — ___30 尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210'/297公^^~- (請先閱讀背面之注意事 d 項再填· I衣-- :寫本頁)

、1T 496848 A7 B7 五、發明說明) -------------Φ 裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖33和34更詳細繪示定位銷714之一。定位銷714 包含一斜表面7Mb，其向下引導晶圓W的負載移動’以到達其鄰近於斜表面714b之一底的精密定位位置。圖25-34的端部引動器總成提供一真空歧管，歧管使真空壓力與三真空墊片區域726、7W、730連通，其舉升於踏板頂表面706a的其餘部分上方。作用於每一真空墊片區域的差動真空壓力提供一力，以使晶圓相對於踏板保持靜止。有利地，舉升的真空墊片區域僅在例如3公厘之預選、界定的隔絕區域接觸於晶圓表面。此外，四鈕或定位銷714提供具備角形導入件的引導「附件」，以使晶圓相對於舉升的墊片區域精密定位，以確保只在晶圓隔絕區域接觸。一工具系統提供受控制的真空源至端部引動器真空氣壓配件564，俾使一在工具中的真空壓力感測器(未顯示)可以偵測晶圓的存在。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製圖25-34的真空握持端部引動器可提供超過圖13和圖 15-19的柱塞晶圓握持機構之優點。頂靠晶圓的柱塞可以促使晶圓相對於踏板滑動。爲了避免晶圓於此動作期間干涉載體或處理頭的特性，自動操控機必須首先舉升端部引動器向上，然後向後，然後致動柱塞。圖25-34的真空邊緣握持簡化了自動操控機的移動，此只需要舉升至使真空墊片區域接合至晶圓的程度。此外，柱塞型式的邊緣握持需要獨立於握持機構的晶圓存在感測器系統。此包含一電/ 光感測器，諸如先前實施例所述，其需要通過腕軸線的線 31 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 496848 A7 _B7_ 五、發明說明（A ) 路規劃。此線路規劃限制腕的轉動爲360° 。可以對於前述系統做很多修改，而不偏離其基本指示。雖然本發明已參考一或更多特定實施例而大致上詳細說明，但專精於此技藝者將認知，可以加以改變，而不偏離附屬的申請專利範圍所揭示之本發明的範疇和精神。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 32 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims

A8 B8 C8 D8 496848 六、申請專利範圍 1. 一種運輸單元，用於移動一微電子工件，包括：一外殼，該外殼具有一導引構件，其被裝配成可沿一線性滑軌移動；一自該外殼延伸的垂直構件，該垂直構件由該外殼所承載以沿著一垂直路徑移動；费緣委員明示，本案修正後是否變更原實質内&經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一*自該垂直構件延伸的臂構件，該臂構件由該垂直構件所承載以對一垂直軸旋轉，並且該臂構件具有一端部引動器，該端部引動器係配置成用來支持一工件，和一第一轉動致動器，係連接至該端部引動器，用以使該端部引動器繞一水平軸線轉動。 2. 如申請專利範菌第1項之運輸單元，又包括一第二轉動致動器，其連接至該垂直構件，以使該垂直構件和該臂構件繞該第一垂直軸線轉動。 3. 如申請專利範圍第2項之運輸單元，其中，該臂構件包含一第一段和一第二段，該第一段的第一端部可轉動地由該垂直構件所承載，且第二端部可轉動地承載該第二段，該第二段承載該端部引動器，並且其中，該運輸單元更包含一第三轉動致動器，其連接至該第一和第二段，以使該第二段相對於該第一段繞一第二垂直軸線轉動。 4. 如申請專利範圍第1項之運輸單元，又包括一舉升致動器，其由該外殼所承載且連接至該垂直構件，以相對於該外殼垂直地移動該垂直構件。 5. 如申請專利範圍第1項之運輸單元，其中該外殼包括一線性軸承，其裝配用於承接一外引導系統之一軌道以 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 496848 A8 B8 C8 D8 __ 六、申請專利範圍及一用來沿著該軌道運輸該運輸單元之電磁鐵。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6. 如申請專利範圍第1項之運輸單元，其中該端部引動器包括一水平沿伸構件，該水平沿伸構件具有至少一凸出構件，該凸出構件被配置用來壓住一臥於該水平沿伸構件上的工件之邊緣，並且一可移動構件可選擇性地移動以壓住該工件之邊緣抵住該凸出構件以握住該工件在該水平沿伸構件上。 7. 如申請專利範圍第6項之運輸單元，其中該水平沿伸構件包括一 Y形踏板，並且至少一個凸出本體包含：兩插銷，每一銷自該Y形踏板之一足垂直延伸。 8. 如申請專利範圍第6項之運輸單元，其中該可移動構件包括：一配置成壓迫工件邊緣之柱塞，該柱塞具有一角形表面，可壓迫該工件邊緣。。 9. 如申請專利範圍第6項之運輸單元，其中該至少一突起構件包括：二隔開的銷，且其中該銷包含徑向延伸凸緣，其在與該水平延伸構件隔離之該銷端部。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 10. 如申請專利範圍第9項之運輸單元，其中該銷包含一具有一表面之中間底部分，該表面朝最接近該工件的該水平延伸構件之一承接表面漸縮，俾使該工件被支撐於其一邊緣，而使其底表面隔離於該承接表面之一頂表面。 11. 如申請專利範圍第1項之運輸單元，又包括一安裝至該引動器之工件存在感測器，該感測器產生一信號，其對應於在引動器上的工件之存在。 12. 如申請專利範圍第11項之運輸單元，其中該引動 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A8 B8 C8 D8 ______ 六、申請專利範圍器包括第一和第二直立部分，其配置成壓迫在工件邊緣之隔開的位置，以握持在該第一和第二部分之間的工件’該第一和第二部分之一係可選擇性移動，以使工件與引動器嚙合或脫離。 13. 如申請專利範圍第12項之運輸單元，其中該第一和第二部分包含夾持部分，其位在與該端部引動器之一支撐表面對立的工件上方。 14. 如申請專利範圍第1項之運輸單元，其中該臂構件包含：一自該垂直構件延伸的第一段；一自該第一段延伸的第二段，該第二段可轉動地連接至該第一段，該第二段承載該第一轉動致動器和該端部引動器；和一第二轉動致動器，其具有一連接至該第一段的第一部分和連接至該第二段的第二部分，和一轉動電源’其用於相對於該第二部分轉動該第一部分。 15· —種用於移動工件之系統，其包括：一滑軌組件，該滑軌組件具有支撐於一水平位置的第一導軌組件；一運輸單元，包括一外殼，該外殼由該軌道支撐且引導以用於沿著該軌道滑動，一自該外殻延伸的垂直構件’ 和一自該垂直構件延伸的臂構件，該臂構件具有一端部引動器，用於支持一工件，和一第一轉動致動器，係連接至該端部引動器，以使該端部引動器繞一水平軸線轉動；以 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

496848 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍及 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一線性致動器系統，該線性致動器系統連接到該滑軌與該外殼用於沿著該軌道線性地移動該外殼。 16. 如申請專利範圍第15項之系統，其中該運輸單元又包括一第二轉動致動器，其連接至該垂直構件，以使該垂直構件和該臂構件繞一垂直軸線轉動。 17. 如申請專利範圍第15項之系統，其中該臂構件包含一第一段和一第二段，該第一段的第一端部係由該垂直構件所承載，且該第一段可轉動地承載該第二段於第二端部，該第二段承載該端部引動器，並且該運輸單元更包含一第三轉動致動器，其連接至該第一和第二段，以使該第二段相對於第一段繞一第二垂直軸線轉動。 18. 如申請專利範圍第15項之系統，其中該運輸單元又包括一舉升致動器，該舉升致動器由該外殻所承載且連接至該垂直構件，以相對於該外殼垂直地移動該垂直構件〇 19. 如申請專利範圍第15項之系統，其中該外殼包括至少一線性軸承，用於承接該軌道。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20. 如申請專利範圍第15項之系統，其中該線性致動系統包括一電磁鐵，用於沿著軌道運輸該運輸單元。 21. —種用於移動工件之系統，包括：一滑軌組件，該滑軌組件具有一支撐於一水平位置的導軌系統，該導軌系統包含一在該滑軌一側之第一軌道以 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 496848 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍及在該滑軌另一側之第二軌道； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一第一運輸單元，包括一第一外殼，該第一外殼具有一第一導引構件以可滑動地連接到該第一軌道，一第一垂直構件由該第一外殼所承載以垂直地移動，一第一臂構件由該第一垂直構件所承載，並且一端部引動器用來握持一由該第一臂構件所承載之工件，該端部引動器從該第一臂構件舉起；一第二運輸單元，包含一第二外殻，該第二外殼具有一第二導引構件，該第二導引構件可滑動地連接該第二軌道，一第二垂直構件由該第二外殼所承載以垂直地移動，一第二臂構件由該第二垂直構件所承載，並且一第二端部引動器用來握持一由該第二臂構件所承載之第二工件，該第二端部引動器從該第二臂構件舉起；並且其中，該第一端部引動器係可定位於置於該第二端部引動器之上，使得由該第一運輸單元所握持之該第一工件可以越過由該第二運輸單元所握持之該第二工件。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 22. 如申請專利範圍第21項之系統，其中該第一運輸單元包含一第一肘桿管，該第一腕管被連結於該第一端部引動器與該第一臂構件之間，用以容許該第一端部引動器繞相對於一該第一臂構件之垂直軸轉動。 23. 如申請專利範圍第22項之系統，其更包括：一蓋構件，該蓋構件連接於該第一端部引動器和該第一腕管之間，以自該第一臂構件舉升該第一端部引動器。 24·如申請專利範圍第21項之系統，其中該第一引動 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 496848 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 器包含舉升的墊片區域，一真空槽道和複數個氣口，該氣口從該真空槽道延伸並且通過該墊片區域，以暴露於其一頂側上，該口用於施加真空壓力至一在上方的晶圓，以將該晶圓支持至該端部引動器；以及一複數個定位銷，其中一個以上之定位銷係臨接每一舉升的墊片區域以準確地定位一晶圓在該舉升的墊片區域上，並且其中該墊片區域具有一形狀與定向以只在該處之窄邊區域接觸。 25. —種自動操控機臂端部引動器，用於支持一工件，其包含：一踏板，該踏板具有長形結構，該長形結構帶有一複數個間隔開之舉升區域，該區域在一第一平面上用以接觸一要被支撐之工件表面，該等舉升區域每個均具有至少一開口以及一連接該等開口到一真空源之導管；以及其中，該等舉升區域被配置與被裝配以限制一環狀部分用以接觸該工件之外部邊緣。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 26. 如申請專利範圍第25項之端部引動器，包括配置成鄰近於該舉升區域之定位銷，用於引導工件於該舉升區域上。 27. 如申請專利範圍第26項之端部引動器，其中該定位銷包含角形表面，用於引導工件於該舉升區域上。 28. 如申請專利範圍第26項之端部引動器，其中該長形結構包括二分叉，該舉升區域之一由每一該分叉承載於該分叉之一遠端。 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 496848 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 29·如申請專利範圍第25項之端部引動器，其中該導管包括一形成於該踏板之一表面內的敞開槽道，且包括一用於關閉該槽道的板關閉件。 30. 如申請專利範圍第25項之端部引動器，其中該長形表面包括一* Y形結構’其具有—分叉和一^底區域，該舉升區域依照計劃形成爲一圓形部分，且該部分各位在該分叉之遠端和在該底區域，該導管包括一形成於在該第一表面下之該γ形結構內的槽道，且更包括複數個定位銷，其中每一定位銷位於該舉升區域附近且在該圓外部，以引導一圓形工件於該舉升區域上，並且其中經由該等開口施加真空以支持該工件至該舉升區域。 31. —種用於操控一微電子工件之運輸單元，其包含一機座，該機座具有一導引構件，該導引構件被裝配以沿著一長形滑軌移動；一線性致動器與一由該機座所承載之筆直構件’其中該線性致動器被連結到該筆直構件以沿著一升高軸移動該筆直構件；一由該筆直構件所承載之臂構件，該臂構件以一相對升高軸之角度延升；一連接到該臂構件之端部引動器，該端部引動器被安裝以可釋放地握持一微電子工件； ~'第一旋轉致動器可操作地連接到該牺部引動益以繞一空翻軸轉動該端部引動器，在某種程度上移動工件於面 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、v5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A8 B8 C8 -~----- D8 六、申請專利範圍向上之位置與面向下之位置之間；並且一第二旋轉致動器可操作地連結到至少該筆直構件以及/或該臂構件其中一個以繞該等昇高軸轉動該臂構件。 32·如申請專利範圍第31項之運輸單元，其中該端部引動器包含：一邊緣夾持端部引動器具有一複數個舉升區域，一在每一舉升區域之開口，以及一用於連結每一開口到一真空源之導管，並且其中該舉升區域係以一種圓形圖案配置於該端部引動器以接觸該工件之周圍部分。 33·如申請專利範圍第32項之運輸單元，其中該圓形圖案具有一直徑大約爲200mm到300mm。 34·如申請專利範圍第32項之運輸單元，其中該機座包含一外殻，該筆直構件包含一垂直構件，該臂構件包含一第一臂部分，該第一臂部分連結到該垂直構件以及一第二臂部分連結到該第一臂部分。 35· —種用於處理一微電子工件之運輸單元，其包含一支持結構，該支持結構具有一導引構件，該導引構件被安裝於可移動地繫附到一長形滑軌；一軸構件由該支持結構所承載在相對該長形滑軌一角度，其中該軸構件被連接到一線性致動器以沿著一相對該長形滑軌之直線上升路徑移動該軸構件；一臂構件由該軸構件所承載，該臂構件從該軸構件凸起；一連接到該臂構件之邊緣夾持端部引動器，該端部引 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、IT. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A8 B8 C8 D8 穴、申明專利範圍動器被安裝以可釋放方式只嚼合該微電子工件之周圍部分一第〜轉動致動器可操作地連接到該端部引動器以繞一大致水平的軸轉動該端部引動器，在某種程度上移動該工件於一面向上位置與一面向下之位置之間；並且一第二轉動致動器可操作地連接至少該軸構件以及/或該臂構件其中之一以繞一第一軸轉動該臂構件，而該第一軸係大致朝該上升路徑的方向。 36. 如申請專利範圍第35項之運輸單元，其中該端部引動器包括一踏板，該踏板具有配置在一圓形圖案之銷以接觸該工件之邊緣部分，並且其中該等銷具有一頂部凸緣以及一傾斜下部，該傾斜下部界定一凹槽以容納該工件之邊緣部分。 37. 如申請專利範圍第35項之運輸單元，其中該端部引動器包括一具有複數個舉升區域之踏板，一在每一舉升區域之開口，以及一用於連接每一開口到一真空源之導管，並且其中該舉升區域以一種圓形圖案被配置在該端部引動器以接觸該工件之周圍部分。 3 8 ·如申請專利範圍第3 7項之運輸單元，其中該圓形圖案具有一直徑大約200mm到300mm。 39.如申請專利範圍第35項之運輸單元，其中該支撐結構包含一外殼，該軸構件包含一垂直構件，並且該臂構件包含一第一臂部分，該第一臂部分連結到該垂直構件以及一第二臂部分連結到該第一臂部分。 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 ^----〜__^____---- 、申請專利範圍 4〇·〜種用於運輸一微電子工件於製程站之間的蓮輸系統，該運輸系統包含：一線性滑軌，該線性滑軌具有一在該滑軌〜第一側之第一導軌；以及一第〜運輸單元，包括一第一機座，該第一機座具有一第一導引構件以可滑動地連接到該第一軌道，一第一_ 直構件由該第一機座所承載以沿著相對於該軌道程角度之第一上升路徑移動，一第一臂構件由該第一垂直構件所承並且一第一邊緣夾持端部引動器由該第一臂構件所承載’其中該第一垂直構件係線性可移動的沿著該第一上升路徑，該第一臂構件繞一第一上升軸可轉動，該第一上升軸大致正交於該第一臂構件，並且該端部引動器繞一第一空翻軸可轉動，該第一空翻軸大致正交於該第一上升軸。 41. 如申請專利範圍第40項之運輸系統，其中該第一端部引動器包含一邊緣夾持端部引動器’其被安裝以接觸該微電子工件之周圍部分。 42. 如申請專利範圍第40項之運輸系統，其中該第一端部引動器包括一具有複數個舉升區域之第一邊緣夾持端部引動器，一在每一舉升區域之開口 ’以及一用於連接每一開口到一真空源之導管，並且其中該舉升區域以一種圓形圖案被配置在該第一端部引動器以接觸該工件之周圍部分。 43. 如申請專利範圍第42項之運輸系統’其中該圓形圖案具有一直徑大約200mm到3〇〇mm。 44. 如申請專利範圍第40項之運輸系統，其中該第一 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公董） C请先閣讀背面之注意事項存填寫本育)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍機座包含一外殼，該第一筆直構件包含一第一垂直構件，該第一臂構件包含一第一臂部分，該第一臂部分連結到該第一垂直構件以及一第二臂部分連結到該第一臂部分。 45·如申請專利範圍第40項之運輸系統，其更包括一電磁線性致動器，該電磁線性致動器被連接到該線性滑軌與該第一運輸單兀之第一機座，該電磁線性致動器具有複數個配置沿著該軌道成一直線之永久磁鐵以及一繫附到該第一機座之電磁鐵。 46· —種用於運輸一微電子工件於製程站之間的運輸系統，該運輸系統包含：一線性滑軌，該線性滑軌具有一在該滑軌第一側之第一導軌與在該滑軌第二側之第二導軌；以及一第一運輸單元，包括一第一支持結構，該第一支持結構具有一第一導引構件以可滑動地連接到該第一軌道，一第一上升構件從該第一支持結構凸出，一第一臂構件由該上升構件所承載，並且一第一邊緣夾持端部引動器由該第一臂構件所承載，其中該第一臂構件係線性繞一第一上升軸可轉動，該第一上升軸大致正交於該第一臂構件，並且該端部引動器繞一第一空翻軸可轉動，該第一空翻軸大致正交於該第一上升軸；並且一弟一'運輸卓兀’包括一第—*支持結構’該弟一*支持結構具有一第二導引構件以可滑動地連接到該第二軌道，一第二上升構件該第二支持結構所承載，一第二臂構件由該第二上升構件所承載，並且一第二夾持端部引動器由該 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公ϋ~' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

496848 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 第二臂構件所承載，其中該第二臂構件繞一第二上升軸可轉動，該第二上升軸大致正交於該第二臂構件，並且該第二端部引動器繞一第二空翻軸可轉動，該第二空翻軸大致正交於該第二上升軸。 47. 如申請專利範圍第46項之運輸系統，其中該第一與第二端部引動器個別地包含第一與第二邊緣夾持端部引動器，並且其中該第一與第二邊緣夾持端部引動器被配置以接觸該工件之周圍部分。 48. 如申請專利範圍第46項之運輸系統，其中該第一端部引動器包含一第一邊緣夾持端部引動器’該第一邊緣夾持端部引動器具有複數個舉升區域’一在每一舉升區域之開口，以及一用於連接每一開口到一真空源之導管，並且其中該舉升區域以一種圓形圖案被配置在該第一端部引動器以接觸該工件之周圍部分；並且經濟部智慧財產局員工消費合作社印製該第二端部引動器包含一第二邊緣夾持端部引動器，該第二邊緣夾持端部引動器具有複數個舉升區域，一在每一舉升區域之開口，以及一用於連接每一開口到一真空源之導管，並且其中該舉升區域以一種圓形圖案被配置在該第二端部引動器以接觸該工件之周圍部分。 49·如申請專利範圍第48項之運輸系統，其中在該第一與第二端部引動器之該圓形圖案均具有〜直徑大約 200mm 到 30〇mm 〇 5〇·如申請專利範圍第46項之運輸系統，其中該第一支撐結構包含一第一外殻，該第一上升構件包含一第一垂 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496848 A8 B8 C8 D8 __ X、申請專利範圍直構件，並且該第一臂構件包含一第一臂部分，該第一臂部分連結到該第一垂直構件以及一第二臂部分連結到該第一臂部分；並且該第二支撐結構包含一第二外殼，該第二上升構件包含一第二垂直構件，並且該第二臂構件包含一第一臂部分，該第一臂部分連結到該第二垂直構件以及一第二臂部分連結到該第一臂部分。 51. 如申請專利範圍第46項之運輸系統，更包含：一第一電磁線性致動器，該第一電磁線性致動器被連接到該滑軌之第一側與該第一運輸單元之該第一支持構件’該第一電磁線性致動器具有複數個配置沿著該軌道之第一側成一直線之第一永久磁鐵以及一繫附到該第一支持結構之第一電磁鐵；並且一第二電磁線性致動器，該第二電磁線性致動器被連接到該滑軌之第二側與該第二運輸單元之該第二支持構件，該第二電磁線性致動器具有複數個配置沿著該軌道之第二側成一直線之第二永久磁鐵以及一繫附到該第二支持結構之第二電磁鐵。 52. —種用來處理一微電子工件之裝置，該等裝置包含：一製程作用室，該製程作用室具有一工件傳送路徑’ 一在該傳送路徑之一側的第一製程模組，並且一在該傳送路徑之相對側的第二製程模組，其中該第一製程模組包括第一複數個製程站並且該第二製程模組包括第二複數個製 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

496848 A8 B8 C8 __^^一六、申請專利範圍程站；一長形滑軌在該製程作用室，該長形滑軌沿著該傳送路徑延伸，並且該長形滑軌具有在面對該第一製程模組之該軌道的第一側邊上的一第一導軌；並且一第一運輸單兀，其包括一第一支撐結構，該第一支撐結構具有一第一導引構件以可滑動地連接到該第一，一第一垂直構件由該第一支撐結構所承載，一第一臂構件由該第一垂直構件所承載’並且一第一夾持端部引動器由該第一臂構件所承載，其中該第一臂構件繞一第一上升軸可轉動，該第一上升軸大致正交於該第一臂構件’並且該端部引動器繞一第一空翻軸可轉動’該第—空翻軸大致正交於該第一上升軸。 53· —種用來處理一微電子工件之裝置，該等裝置包含：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本黃) 一製程作用室’該製程作用室具有一工件傳送路徑，一在該傳送路徑之一側的第一製程模組’並且一在該傳送路徑之相對側的第二製程模組’其中該第一製程模組包括第一複數個製程站並且該第二製程模組包括第二複數個製程站；一長形滑軌在該製程作用室，該長形滑軌沿著該傳送路徑延伸，並且該長形滑軌具有在面對該第一製程模組之該軌道一第一側邊上的一弟一導軌與在面對日亥弟一製程模組之該軌道的一第二側邊上的一第二導軌；並且一第一運輸單元，其包括一第一支撐結構’該第〜支 14 尺度適用中國國家^準（CNS ) Α4]ϋ 21〇乂297公^：) ^ 496848 ABCD 六、申請專利範圍撐結構具有一第一導引構件以可滑動地連接到該第一軌道，一第一垂直構件由該第一支撐結構所承載，一第一臂構件由該第一垂直構件所承載，並且一第一夾持端部引動器由該第一臂構件所承載，其中該第一臂構件繞一第一上升軸可轉動，該第一上升軸大致正交於該第一臂構件，並且該端部引動器繞一第一空翻軸可轉動，該第一空翻軸大致正交於該第一上升軸；並且一第二運輸單元，其包括一第二支撐結構，該第二支撐結構具有一第二導引構件以可滑動地連接到該第二軌道，一第二垂直構件由該第二支撐結構所承載，一第二臂構件由該第二垂直構件所承載，並且一第二夾持端部引動器由該第二臂構件所承載，其中該第二臂構件繞一第二上升軸可轉動，該第二上升軸大致正交於該第二臂構件，並且該端部引動器繞一第二空翻軸可轉動，該第二空翻軸大致正交於該第二上升軸。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）