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五、發明說明（1 [發明所屬的技術領域] 本發明係有關於將半導體裝置檢查裝置之接觸子，與 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 半導體裝置的突出電極予以電接觸之方法及裝置者 [習用技術] 如積體電路（1C)等半導體裝置，係使用如探針卡（probe cara)或1C插座等電接觸裝置，進行通電測試，以確認該 _包路疋否如設計規格之規定得以正常動作。上述通電測試 通系係於將晶圓分割成晶片前、分割晶片後或將晶片予以 模製（mould)後進行。該電接觸裝置具有得以按壓晶片電極 的複數個接觸子。 於如晶片規模封裝組件（chip scale package，csp)、球 拇陣列（baU grid array，BRG)等，於電接觸裝置側突出半球 狀之犬出電極（凸塊電極）作為晶片電極之半導體裝置中， 是於測試時不能由探針損害突出電極為應要。尤其於該突 $電極為銲錫所形成時，若不慎壓4突出電極頂部，必使 母一突出電極的高度尺寸（突出高度）或有不同，因而導致 於後製程中的組裝工程，多無法使半導體裝置之突出電極 與基板配線完成正確的電連接。 為使接觸:與半導體裝置之半球狀突线極觸接技術 之，有使用月錐狀、圓錐狀或針狀接觸子，以該接觸子 尖銳頂端按觸於突出電極部分的方式者。 另一種接觸子與半導體裝置之半球狀突出電極觸接的 技術，係使用具有環狀接觸面的接觸子’以將該接觸子之 接觸面按壓於突出電極的方式。
312390 A7 B7 五、發明說明（2 )
[發明所欲解決的問題J 然而，於上述之前者方 ^ ^ ^ 式時，因係將接觸子頂端按壓 :半導體裝置側之突出電極 便接觸子的尖銳頂端刺入突 出電極，因而有使突屮曾& 韦便犬出電極頂部損傷，而有導致每一突出 電極之高度尺寸參差不齊之虞。 又於使用上述之後去t 士 更者方式時，係將接觸子之環狀接觸 面按壓於半導體裝置側之突 令1 犬出電極，亦有使突出電極基部 因接觸子之按壓而壓潰者，雖 雒不致於知傷突出電極頂部， 但亦可能使每一突出電極之高度尺寸變化。 ♦因此，本#明係以半導體裝置之測試驗技術中，以防 止半導體裝置之突出電極可能的損傷為其主要目的。 [解決問題的手段、作用及效果] 有關本發明於半導體裝置檢查設備中之電接觸方法， 係包括：準備一種向半導體裝置突出一個以上角錐狀接觸 子之電接觸裝置，及將上述角錐狀接觸子之稜線或斜面接 觸於半導體裝置之突出電極者。 有關本發明於半導體裝置檢查設備中之電接觸裝置， 係包括··板狀或膜狀基座，及對應於上述突出電極之1個 以上的用錐狀接觸子，係由上述基座的一方之面，向上述 半導體裝置突出角錐狀接觸子者。上述角錐狀接觸子係對 者相對應之突出電極在與上述基座平行面内之規定方向予 以變位者。 該斜面係指多角錐體底面以外的傾斜面部分，稜線係 指鄰近斜面的境界部分斜面及稜線皆收斂於多角錐體的頂 (請先閒讀背面之注意事項再填寫本頁)
. I I I I 1 I I ---I I S, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張&度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 2 312390 494514 A7 五、發明說明（3 ) 端部者。 又因該角錐狀接觸具之任何稜線及斜面，對半導體裝 置側之突出電極中心軸線具有一定角度，因而不需按壓突 出電極頂端，即得觸接於突出電極頂部周圍側部，以對突 线極頂部之中心軸線保持一定角度之狀態按壓。因此， 可防止起因於角錐狀接觸子按壓突出電極時之損傷。 。玄電接觸裝置得以於對丨個突出電極具備1個角錐狀 t接觸子，亦可設2個以上的角錐狀接觸子者。 亦可對1個突出電極，使複數個角錐狀接觸子之稜線 或斜面问時予以接觸。如上述，即使突出電極有不同之大 小，仍得確實使突出電極觸接於其中之任何一角錐狀接觸 子者。 若對犬出電極具備2個以上的角錐狀接觸子時，可 將該複數角錐狀接觸子，以隔著一定角度配置於每一突出 電極之中心軸線周圍。如此，則不論突出電極的大小有異， 或不同大小的突出電極，亦能將角錐狀接觸子皆予以確實 接觸。 於上述每一突出電極之上述複數角錐狀接觸子，為使 該稜線或斜面與上述對應之突出電極觸接，得予以定向。 該定向動作，係將上述每一突出電極群之複數角錐狀接觸 子稜線或斜面對向上述突出電極之中心軸線側而行之。如 此，則可使角錐狀接觸子之稜線或斜面，得確實與突出電 極接觸。 上述基座係形成於上述複數角錐狀接觸子配置領域之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312390 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 494514 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（4 ) 内側領域，且至少於上述對應突出電極之 口。如此，即可將基座開口作為突…谢具有開放開 下马犬出電極頂部的退路，因 而，可防止突出電極頂部與基座的接觸而發生頂部的損傷0 電接觸裝置可於上述基座配置有—種包含與上述角錐 $接觸子予以電接觸的"固以上的配線。該配線係以扁平 電缓（flat cable)、基板等適宜手段連接於測試用電路。 上述1個以上的接觸子，得配置於上述之基座上，亦 可組裝於配置在上述基座之座部者。 電接觸裝置又可包含對應於上述每—突出電極，且具 至少=部分暴露於-面的複數配線基板，而於上述基座 具，形成於另一面且對應於箕々 _ 了愿7、上述基板各配線，將其對應配 線予以連接，且於電連接上述角錐狀接觸具之錐體補助接 觸子。如上述方式即可將電接觸裝置作成電接觸裝置用於 半導體裝置之通電測試之試驗用探針卡，或插座。 電接觸裝置得又包含配置於上述基板之上述一面的框 體中，包含；由上述角錐狀接觸子，將上述基座為該框體 側之狀悲將框體组裝於上述基板者。 上述框體得具有承接上述半導體裝置的開口。如此， 即可形成為電接觸裝置之插座者。 電接觸裝置，係又包含於上述基座與上述基板間配置 之板狀間隔片。 電接觸裝置，係包含配置於對上述基座之上述補助接 觸子配置位置與上述框體間之橡膠板。如上述，即可利用 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 n n ϋ n^OJf n I n ϋ if SI. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 312390 ^4514 五、發明說明（5 ; 橡膠板的彈性力’將補助接觸子按壓於基板配線上。 電接觸裝置’係包含配置於上述基座之座部，及對應 於上述突出電極之複數個上述接觸子。而上述複數個接觸 卞係於共所對應的上述突出電極之中心軸線周圍，以相隔 所定角度予以配置。 於上述電接觸裝置中，上述座部係由上述基座突出， 且於相鄰之上述接觸具間具有開口者。而上述基座亦得於 在上述座部周圍具有漕溝。 [發明的實施形態] 一如第1圖及第2圖所不，電接觸裝置10係適用於半導 體裝置12之通電試驗（檢查）之使用線型探針要件之縱型探 針卡者而半導體裝置12係如積體電路（ic)晶片等-平板 狀之被檢測體，或於平板狀基座14上具有複數電極島16, 且係於各電極島16形成半球狀之突出電極18。而該突出 電極1 8係以I旱錫箄极、泣a 道 線 物寻低熔點之導電性接著劑形成。 電接觸裝置10係包合·圓求七 ^ 、 了匕3 · 51形或方形基板22 ;配置於 基板2ζ下面的殼體24;配置於知執 ^ ^ ^ 直於喊體24下端之板狀或膜狀 的基座/6 ;充填於殼體24内 内之橡膠狀评性體28，及將殼 體、基座20以及彈性體28貫 1 叫、去甘， 貝通暴板22之厚度方向以 到達基板22之複數探針要件3〇。 基板22，係將對應於每一禊 母探針要件30之複數配線， =成為電極絕緣性之片狀構件或板狀構件之‘ 連接基板。殼體24係由合成樹ρ 次夕a 2 -㈣於拼„ 攻樹月日等絕緣材料形成下方開放 之淺型相體，且於箱底的對應部位（上壁）組裝基板22。而 &纸張尺度適用中關家標準（CNS)A4規_格⑵0x 297 了 5 312390 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 494514 五、發明說明（6 ) 於上，殼體24多係具有圓形或方形之平面形狀。 ⑧如目了係、由聚亞驢胺（Polyimide)等絕緣材料 办成膜層，以該開放端 闭鎖於殼體24之狀態予以組裝。彈 性體28係以矽酮橡膠等電、 八 €、是緣材枓形风。探針要件3〇係 =对應於該檢測之半導體裝置之電極，且對應於該半導 體裝置之電極的配列圖樣，配置為配列圖樣。 各探針要件30，係分別對應於突出電極18，且於各探 針要件30具備：將基座％以兮尸声 0以該厗度方向卞以貫穿的座部 (,島部）32 1座部32至彈性體28及殼冑24底部（上壁）， f基板22向厚度方向予以貫穿’且到達該基板22的導線 ㈦線）34’及由座部32向至導線部34與反對側（下方） 突出之角錐狀接觸子。 ^座部J2 ’係以導電性材料形成為圓板狀之適宜形狀。 該座部32，係由延伸於其周圍，同時，以貫穿基座％厚 度方向的狀態，在基座26形成之漕溝38，完全由基座％ 予以分離為獨立於基座26及相鄰座部32。又係將連續於 /曰溝3 8之漕溝4 0形成於彈性體2 8上。 配線亦即是導線部34由金等具導電性的軟質金屬線 形成，導線部34係於殼體24内彎曲為弧狀。但該導線亦 得於殼體24内彎曲為其他的適宜形狀或不以彎曲。唯須於 任何狀況下維持與基座26的平行。 上述導線部34,可使用半導體裝置之連接製程使用的 搭接線銲接（wire bonding)技術予以形成。該導線部34上 端係與基板22之對應配線予以連接。亦可使用接著劑等適 ----------1 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 6 312390 B7 t齊印』曰S讨t苟員11肖費^阼F±印製 五、發明說明（7 ) 當手法固定於殼體24底部（上壁）。 因各接續子36#於闰-a上 形狀的底面;4個稜η 7為四角錐狀’故具有:四角 36,由底部32向半導體X個斜面44’且將各接續子 固定於底部32β 置2以突出狀態將角錐形底面 ，形成=素：係:接觸子36所對應之突出電極… 此，各該接觸子：内’對一方向予以變更位置。為 …:軸:4:=心:線46,對其所對應的突出電 Γ(盘Α座76 /芈4變更大出電極18外周面之曲率半徑 的為平行方向的突出電極心最大外徑尺寸之 於對，办、，距離L。阳將各接觸子36之Ϊ個稜線42定位 衣封间突出電極18之中心軸線48。 、電：觸裝置10可將基板22作為基板作用之卡片基板 二以固々，以組裝為探針卡。於電接觸裝置iq中，係將該 ^針要件30的接觸子36 ’作為按壓於該檢測的半導體裝 置U之突出電極18的接觸部使用。 一半^體裝置12的通電測試時，電接觸裝置1〇與半導 體教置12係以對應各探針要件3〇的接觸子％按壓於突出 电極18方式相對移動。由此，各該接觸子％係示第2圖 所不，W中心軸線48側之稜線42及其近傍，接觸於對應 之突出電極18外周面，且按壓其外周面。 此時，因接觸子36之稜線42對半導體裝置12側的突 出電極18中心轴線48具有角度，因而，該稜線42不致於 按壓突出電極1 8頂部，而接觸於突出電極j 8頂部周圍的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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312390 494514 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明說明（8 ) 側部’以對中心軸線4 8具有之备户少> 释 炎之角度祆壓。因此，得防止起 因於按壓接觸子36之突出電極18之損傷。 又於上述電接觸裝置10，係以座部32貫穿膜狀基座 d之厚度方向’因而座部32對基座26並無較大變位的問 題，亦無接，觸子36對半導體裝置12具較大變位之虞。因 此，得以安定接觸子36對半導體裝置12之位置。又因座 部32係由基座26下方突出，當接觸子36被按壓於突击電 極18時，雖座部32向殼體24側略有變位，亦不會有使基 座26接觸於突出電極18之虞。 訂 當接觸子36被按壓於突出電極18時，探針要件3〇 田於座部32斜向殼體24側移動而變位。此時，座部32 由衣在邊座部3/周圍延伸的漕溝3 8與基座26及其鄰近的 座部32隔離成獨立狀態，因此，該基座26對其相鄰探針 要件3 0變位的相互干涉小' 攀 而當接觸子36按壓於突出電極18時，係由底部3) 壓縮彈性體28。由此，作用於接觸子36及突出電極18間 之針壓增大。此時，導線部34雖在殼體24内變形，該導 線部3 4之較大變形可由彈性體2 8得以防止，因而，對半 導體裝置12及基座26之接觸子36位置得以安定。 上述實施例中，底部32係由環狀漕溝38與基座26 完全分離，唯可將漕溝38作成C字狀，將座部32以其周 圍的一部分與基座26接觸。亦可由不形成漕溝38，使座 部32與基座26不分離。 可不必形成連續於漕溝38的漕溝40於彈性體28。唯 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 8 312390 494514 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（9 ) 於彈性體28形成環狀或c字狀之声 及予以連接的彈性體28 a P於座部32 邛位之獨立，可顯著減低對基座 26之探針要件30變位相互干涉。 座 上述實施例中，係對j個突& ^ 八山电位18泛又置1個接觸子 36,亦可對！個突出電極18設置複數接觸子％。觸子 兹參照第3圖，該探針要素5〇係將上述實施例中 •Π:的，線部34,以帶狀…替代’且將連接於: 膜狀)座：島部Ν’在以絕緣材料製成之板狀(或 )基座26的—方面上形成帶狀配線型之探針要素者。 利用對1個大出電極18在該突出電極18之中心軸線 48周圍以等角度間隔設置之4個接觸子36。 該4個接觸子36係具多角錐形狀’由座部54向半導 體裝置12大出狀’在角錐形底面固定於座部54。各接觸 子36係將其1稜線42相對於突出電極18之中心軸線48。 私且於底部54具如方形的適宜形狀。 座部54及基座26分別具有開放在對應於突出電極側 =開口 56及58於複數接觸子％配置領域之内側領域。開 * 56及58係於接觸子36按壓於突出電極18時，可作為 大出電極18頂部之退路作用。 通電測試時，於探針要件50中，各接觸子36之i個 稜線42按壓於突出電極18時，若該各接觸子36為正確按 P如第4圖（A)所示’將形成起因於接觸子36棱線的 接觸痕60於突出電極18。並且，由於突出電極18頂部有 ' 了防止突出電極18頂部觸接於基座26及座部54 ^張尺度^iTiiiiiTcNS)M 規格7i10 X 297 公f --- 9 312390 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 五、發明說明（10 ) 時之損傷。 將角錐形複數接觸子日一 隔著角度間隔配置於中心軸 線48周圍的探針要件5〇，係 τ、如第4圖（B)所示，雖突出電 極18的大小不同，或為大小 J不问的突出電極，該接觸子 36皆可與該突出電極18確實鎚^ 貫觸接。又如第4圖（C)所示， 雖半導體裝置12係與平行面向 卞订面内的突出電極18及接觸子36 之相對位置略有變位，必宕右# + 疋有其中之任一接觸子36與突出 電極1 8觸接。 上述作用及效果，亦能如笙 _ J月b如第5圖所示之探針要件62， 以使用2個角錐狀接觸子3 6 ;找：％ 一 碉于36而獲得；又於使用如第6圖所 示之探針要件64之3個接觸；以士 一 1固接觸子乂時，將複數角錐狀接觸 子36’隔著角度間隔配置（最 」 1、取妤為等角度間隔的配置）在突 出電極18周圍而獲得同樣的效果。 又如第6圖所示，得播用1加 你便用1個以上之三角錐形接觸子 3 6之操針要件6 4，唯使用二备雜：η/ 匕 之用一角錐形、六角錐形、八角錐形、 四角錐形以外之1個以卜沾夕 徊乂上的夕角錐形接觸子36，亦可獲得 與上述同樣作用及效果。 又如第7圖所示之探針要件&，可將—個以上的角錐 形接觸子36任何斜面44觸接於突出電極18，使任何接觸 子36斜面44相對於突出電極18的中心軸線48側，即可 獲得上述同樣作用及效果。 又如第8圖所不之探針要件68，可於每一接觸子％ "又置補助座70，將由底部54突出之接觸子36之突出高度 增高亦可。該補助座7〇之形狀得與接觸子36之底面為不 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵〇 χ 297公釐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 312390 494514 A7 五、發明說明（U ) 同的形狀，或同樣形狀；亦得於1個補助座70上配置2 個以上的接觸子36。 上配置2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於探針要件5G、62、64、66fmn 圖中所轉針要件3卜樣的漕溝38、4G形成於各接觸子 3周圍，亦可將對應於共通突出電極18之複數個接觸子 6,形成於配置領域的關。而於任何探針要件中之座部， |仵為圓形或四角形以外之三角形、六角形等形狀。 兹參照第9至16圖’該電接觸裝置1〇〇係組裝為以组 2封裝的積體電路（IC),及未封裝的積體電路等半導體裝 置12之通電測試用ic插座（ic s〇cket：)。 、電接觸裝置1〇〇包含有：圓形或四角形基板22;配置 灰基板略中央部位的膜狀基座28 ;形成於基座28的複 數個探針要件68 ;配置於基板22與基座28間的間隙片 i ，配置於基板上側的殼體，即框體i 〇4，及配置於框體 104之複數枚橡膠板106。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 基板2 2係一種具有互相電氣絕緣分離的複數配線1 〇 8 於上的基板。而配線108係對應於每一個應測試之半導體 裝置12的突出電極，分割為由基座28之配置領域分別向 不同方向延伸的4個配線群。 基座28係如第8圖所示，係於一方面上具有複數探針 要件68,且係以角錐狀接觸子36,在略同大於半導體裝置 12之矩形領域内形成矩陣狀配置為配線52之一端部位。 探針要件68及形成該一部分之配線52，係對應於半 導體裝置12之突出電極18而設，配線52係與基板22之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 312390 494514 A7 B7 五、發明說明（12 108 _樣’由接觸子36之配置領域被分割為向不同方 向延伸之4個配線群，且對應於配線1〇8。亦得以 針要件替代探針要件68。 〃 。&座28具有由g己置探針要件68之方形領域各邊延伸 ，長方形延長部28a，亦於各延長部28a具有分別對應於 配線52及探針要件68各组的複數補助探針要件11 〇。各 補助探針要件11〇,係由配線112及形成於該配線⑴之】 個以上補助接觸子Π4，形成於探針要件6s之相反側（下 面）一面（參照第14圖）。 圖示例中’係將複數補助接觸子1丨4在各配線11 2上 形成為一列狀，各補助接觸子114係如圖示具角錐形狀， 係對應於配置在配線U2之其他補助接觸子114，同時， 由基板22所對應之配線108按壓其前端而電接觸於該配線 108 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而於基板22之配線1〇8，在基板22中心周圍以設定 角度間隔向半徑方向延伸時，該補助探針要件li〇之配線 112亦.係於基座28中心周圍以設定角度間隔向半徑方向延 伸。 各配線112，係由貫穿基座2 8厚度方向的導電部116， 連接於其對應之配線52。因此，各補助探針要件丨丨〇之補 助接觸子114係連接於其對應之探針要件68之角錐狀接觸 亍36。該補助接觸子114可為圓錐形、截頭角錐形、截頭 圓錐形等其他形狀。 間隙片102係由板狀基台Π 8及配置於基台丨1 8之板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 12 312390 A7 五、發明說明（13 ) 狀彈性體12 0形成 體12之平面形狀為T形板狀。基台118具較應測試半導 體120之凹所。彈之矩形平面’且於上面具有配置彈性 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 體裝置平面形狀同檨Γ120係由板狀橡膠形成為略與半導 118上面。 篆大小的矩形，亦將上面作成略似基台 框體104係jl _ # 、/、種矩形厚板形狀，在中央設有承接半 _導體裝置12的開口 ▲ » 1 — 2，及迷接於該開口 122 124(參照第n圖）， 碼扪凹所 配置橡膠板1 〇 6的截切部12 6於凹 所124周圍部分。 開口 U2具略矩形之平面形狀，且將為半導體裝置而 128 係以^導午導體裝置12於開口 122中央的上端傾斜面部， 及連、々於下端的垂直面部構成。亦具有承接半導體裝置u 的擋止具130於下方。 凹所124具較開口122為大的矩形形狀。而橡膠板1〇6 係具如第11及13圖中所示之框體1〇4突出部分i〇4a下面 略同的大小，且接合於截切部126。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 基板22,又具將基座28對基板22定位的複數個導針 13 4，同時，亦具有得以螺哀組裝用螺釘丨3 6的複數螺孔 138。而導針132及134係由基板22向上豎立。 基座28係具有得以承接各導針134之導孔ι4〇於各延 長部28a。框體104係具有承接各導針I]#之導孔μ?，及 貫穿各螺釘136的導孔144。而於橡膠板ι〇6設有收納各 導針132上部之凹所146(參照第13圖）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐 13 312390 494514 A7 五、發明說明（14 ) 間隙片102具有基座28、間隙片1〇2及框體1〇4等相 互定位用的複數導針148於基台118。各導針148係由基 σ 118往上方犬出，且以貫穿基座28將一部分收容於框體 104而於基座28及框體1〇4分別具有承接導針Mg的導 孔150及152(參照第13圖）。 上述電接觸裝置的組裝作業係以下述方式進行。 首先，將導針148通於基座28之導孔150，以將基座 28及間隙片1〇2予以定位。此時，基座28係以角錐狀接 觸子36向上，且將補助接觸子114朝下的狀態紐裝於間隙 片102。由此，可將基座28及間隙片1〇2定位於彈性體 對應於探針要件68配置領域之中央位置，且可將基座28 延長部28a組裝於間隙片1〇2周圍的位置。 其次，將導針132穿於基座28之導孔14〇，以將基座 28及間隙片1〇2對基板22予以定位。由此，可將基板22、 基座2 8及間隙片1 〇 2組裝成如第1 6圖所示，即可將基座 28之各補助接觸子114觸接於對應基板22之配線1〇8端 部。 其次，於框體104，將導針134及148分別以導孔142 及152承接，以配置在基座28上側。由此，該框體1〇4 將對基板22、基座28、間隙片1〇2予以定位。 再次，將螺釘136穿通於框體1〇4之導孔144，螺緊 於基板22之螺孔138。由此，可完成第9至11圖中所示 電接觸裝置100之組裝作業。 於組裝狀態中，該角錐狀接觸子36係突出於框體i 〇4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —裝 訂：----------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 14 312390 A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（15 ) ^ 凹所124中。又，補助接觸子114係按壓於基板22之對 〜配線108上，可確實地連接於對應之該配線} 〇8。 上述組裝作業，係將構件相互間的定位，分別以導針 =導孔予以進行，且以最後由螺釘將基板及框體予以結 ^，因而作業容易。亦可進行上述之逆向作業，得容易地 將上述電接觸裝置100予以分解。 • 在半導體裝置12之通電測試時，通常將半導體裝置 U由電接觸裝置100上方悼入框體1〇4之開口 122，因此， 該半導體裝置12,係由框體104之導向面128的傾斜面部 導向開口 122之中央侧，再沿導向面124之垂直面部，以 自己的重量向下移動。 卜之後，該半導體裝置12係將其各突出電極18按壓於 角錐狀接觸子36。此時，角錐狀接觸子％之稜線（或傾斜 面），對半導體裝置12突出電極18的中心軸線具有角度， 故該稜線（或傾斜面）不致以按壓突出電壓18頂部，而觸接 於突出電極18頂部周圍的側部，因係對突出電極18中心 軸線Θ具有的偏差角度狀態按壓，可防止起因於角錐狀接 觸子3 6之按壓而造成之突出電極is損傷。 當角錐狀接觸子36為突出電極18按壓於突出電極18 時，各探針要件68壓縮間隙片102之彈性體12〇。由此， 可使作用於角錐狀接觸子36與突出電極18間之針壓增 大。 如第17至19圖所示，電接觸裝置17〇得組裝為一般 半導體裝置12的通電測試用探針卡（pr〇be card)，因而， « I I--I---I------- I ^---------:線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 15 312390 494514 A7 五、發明說明（16 ) 得將電接觸裝置100之上下方向予以逆向使用。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 電接觸裝置170係與電接觸裝置1〇〇 一樣，包含有： 基板22，配置於基板22略中央部位的膜狀基座28 ;形成 於基座28的複數個探針要件68;配置於基板22與基座28 間的間隙片102 ;配置於基板上側的框體1〇4，及配置於柩 體10 4之複數枚橡膠板1 〇 6。 基板22為，除具有以相互電分離的複數配線1〇8於上 面，及連接於檢測裝置之電氣電路之複數個檢測烏 (tester-land)2 72於周緣部之圓形配線基板外，係與電接觸 裝置100之基板一樣。 基座28 ,係於電接觸裝置10使用的基座28略同。因 而，於本實施例中，將基座28配置於形成探針要件68一 部分之配線52 —端，体將形成複數探針要件68之一部分 之角錐狀接觸子36在與半導體裝置12略同樣大小的矩形 領域内占有矩陣狀位置之狀態，且由配置探針要件68之矩 形領域各邊延伸的長方形延伸部28a，具有分別對應於配 線52及探針要件68組之複數補助探針要件11〇於各延伸 部 28a 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，將各補助探針要件110形成在基座28下面之 處’即與電接觸裝置10之補助探針要件不同。各補助接觸 子114係按壓於對應於基板22之配線1〇8前端，觸接於該 配線1〇8,又以貫穿基座28厚度方向的導電部ιΐ6電連接 於對應的配線52。 間隙片102係與電接觸裝置1〇〇的間隙片一樣。因此， 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 312390 494514 A7 B7 •五、發明說明（17) 该間隙片1 02係由基台11 8及板狀彈性體1 20形成其為厚 板狀者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • 框體104係由板材形成為較需檢查半導體裝置12平面 形狀為大的矩形框體。而各橡膠板1 〇6係形成為具與基座 28延長部28a略同大小長方形板狀，且配置於對應矩形邊. 位置上面。 # 於電接觸裝置170中，亦與電接觸裝置100 —樣，於 基板22具有導針132、134,而於基座28設導孔140、150， 且於框體104具有導孔U2,而於椽膠板1〇6設凹所i46(未 圖示），在間隙片102具導針148者。 然而，於電接觸裝置170中，係將組裝用螺釘136貫 牙基板22，與框體1〇4螺合，因而於框體形成螺孔U8， 且將導孔144形成於基板22。而於框體1〇4上不設導針148 用之導孔。組裝用螺釘136即較電接觸裝置1⑽者為短。 鲁電接觸裝置170亦與電接觸裝置1〇〇 一樣，可作組裝 及分解，亦具與電接觸裝置1〇〇同樣作用及效果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 夺电接觸裝置1〇〇及17〇中，得將間隙片1〇2以螺釘 構件或由接著劑予以事先組裝，亦可將基座28以螺釘構件 或接著劑事先組裝於間隙片1 〇2或框體1 〇4。 以導線部34作為配線使用之第i圖所示之電接觸裝置 1〇中，得將如第3、5及6圖所示之探針要件50、62及64， 使用具備複數角錐狀接觸子36於每一突出電極18之探 要件。 第20、21及22圖中所示之探針要件，分別如第3、 本紙張尺㈣財關家標準（CNS)A4祕⑵^ χ 297公爱） 17 312390 494514 五、發明說明（18 ) 及ό圖所示之探針要件5〇、62 乂 替代圓形座部32及對應 ：之中係以配線52 圍，隔著角度間隔之四個四角m1 觸中心轴線48周 丹雖狀接觸子36、兩個 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 狀接觸子％及三個三角錐狀 電極18。 狀接觸子36,配備於每一突出 如第23圖所示，於任何探針要件7〇、η、 部32具備配置於基座％之平面 座 76 Φ φ ^ , 之千面圓形島部％，及由該島部 7〇犬出於導線部34,及相反側 近16之角錐狀接觸子36間且右）之凸塊Μ’且於與鄰 j 丁間兴有凹所開口 56 〇 又於1 7巷座2 6及彈料發9 δ 八-1 « 體28分別具延伸於座部32 周圍之渭溝38、40。而導綠却，、 .α 〃線邠w係於使用壓銲技術形成 的’如金線之導電性心線8〇周圍且古趙人„ ， 門国具有鎳金屬膜被覆層82。 揲針要件70、72及74中，係分別如探針要件50、62 及64，係以4個、兩個或3個接觸子36中之】個稜線按 壓突出電極18。因此，於探針要件7〇、72及74中，分別 如探針要件5G、62及64 _樣，可獲得前面有關部分所說 明之作用效果，尤其是關於第4圖所說明之效果。唯於探 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 針要件70、72及74中，可使接觸子％中之i個斜面按壓 於突出電極1 8。 本發明q不限於上述實施例，得以不逸脫本發明之主 旨作成各種的變更及變化。 [圖示的簡單說明] 第1圖係表示有關本發明電接觸裝置實施例剖面圖。 第2圖係表示使用於第1圖中的探針要件實施例。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 297公釐） 18 312390 494514 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（19 ) 其中， (A) 為剖面圖、 (B) 為底面圖。 第3圖係表示探針要件之第2實施例。其中， (A)為底面圖， ⑻為第3圖⑷中，沿3B-3B線獲得的剖面圖。 第4圖為說明使用第3圖中之探針要件時，突出電極 與接觸子的關係圖。其中， (A)係形成於突出電極之接觸痕跡示例圖。 (的係表示對不同大小突出電極之接觸子關係圖。 (C) 於接觸子及突出電極發生相對位置偏移時之 關係圖。 第5圖係表示探針要件之第3實施例圖。 第〇圖係表示探針要件之第3實施例圖。 第7圖係表示探針要件之第5實施例圖。其中， (A)為底面圖， .(B)為第7圖（A)中，沿7B_7B線獲得的剖面圖。 第8圖係表示探針要件之第6實施例圖。 第9圖係表示有關本發明電接觸裝置之第2實施例平 面圖。 第1〇圖係表示於第9圖中之電接觸裝置正面圖。 第11圖係表示於第9圖中之電接觸裝置剖面圖。 1 — — — — — — — — — I I I ·1111111 «— — — — — — It (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第12圖係沿第9圖中12-12線的剖面圖。 第1 3圖係沿第9圖中〗11娩仏划
14 Ψ
經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 五、發明說明（20) 第14圖係於第9圖所示電接觸裝置中’補助接觸 傍之擴大剖面圖。 第15圖係於第9圖所示電接觸裝置之分解斜視圖。 第16圖係表示組裝於第9圖所示電接觸裝置之基板、 基座及間隙片的組裝狀態的斜視圖。 第17圖係表示有關本發明電接觸裝置之第3實施例平 IS?圖。 第18圖係表示於第17圖中之電接觸裝置正面圖。 第19圖係表示於第17圖中之電接觸裝置剖面圖。 第20圖係表示探針要件之第7實施例圖。 第2 1圖係表示探針要件之第8實施例圖。 第22圖係表示探針要件之第9實施例圖。 第23圖係表示第2〇、21及22圖中之探針要件之主要 部分之剖面圖。 [元件符號說明] 10、100、170電接觸裝置12 半導體裝置之基部16 半導醴哀置之突出電極 14 18 22 26 30 32 36 42 基板 基座 50 λ 62 λ 64 ' 66 54座部 接觸子 稜線 68 24 28 70 34 38 44 半導體裝置 半導體裝置之電極 ----------Aw! Μ-------ltl--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 殼體 彈性體 7 2、7 4探針要件 導線部（配線） 4〇漕溝 斜面 本纸張尺度適財關家標準（CNS)A4規彳X 297公爱） 20 312390 494514 ▼ A7 B7 五、發明說明（21 46 接觸具中心軸線 48 突出電極中心軸線 52 配線 56 > 58開口 60 接觸痕跡 76 島部 78 凸塊 80 心線 82 被覆層 102 間隙片 104 框體 106 橡膠板 108 基板配線 110 補助探針要件 112 補助探針要件之配線 114 補助探針要件之補助接觸子 116 導電部 _ 118 基台 120 間隙片彈性體 124 、128導向面 130 擋止具 132 、134、148 導針 136 組裝用螺釘 138 螺孔 140 > 142 ' 144 ' 150 - 152 導孔 172 檢測島 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 21 312390