IT201800005444A1

IT201800005444A1 - Scheda di misura avente elevate prestazioni in alta frequenza

Info

Publication number: IT201800005444A1
Application number: IT102018000005444A
Authority: IT
Priority date: 2018-05-16
Filing date: 2018-05-16
Publication date: 2019-11-16
Also published as: CN112119315B; PH12020551950A1; US11402428B2; SG11202011171TA; TW201947231A; KR20210010895A; JP7416725B2; US20210063478A1; CN112119315A; JP2021524029A; EP3794357B1; WO2019219638A1; EP3794357A1

Description

DESCRIZIONE

Campo di applicazione

La presente invenzione fa riferimento ad una scheda di misura per il test di dispositivi elettronici integrati su un wafer semiconduttore e la descrizione che segue è fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l'esposizione.

Arte nota

Come è ben noto, una scheda di misura è essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralità di piazzole di contatto di una micro struttura, in particolare un dispositivo elettronico integrato su un wafer semiconduttore, con corrispondenti canali di una apparecchiatura di test che ne esegue la verifica di funzionalità, in particolare elettrica, o genericamente il test.

Il test effettuato su circuiti integrati serve in particolare a rilevare e isolare circuiti difettosi già in fase di produzione. Normalmente, le schede di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei circuiti integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip.

Una scheda di misura comprende una testa di misura a sua volta includente essenzialmente una pluralità di sonde di contatto mobili trattenute da almeno una coppia di supporti o guide sostanzialmente piastriformi e paralleli tra loro. Tali supporti piastriformi sono dotati di appositi fori e sono posti ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l’eventuale deformazione delle sonde di contatto, le quali sono normalmente formate da fili di leghe speciali con buone proprietà elettriche e meccaniche.

A titolo esemplificativo, nella figura 1 è schematicamente illustrata una scheda di misura di tipo noto, globalmente indicata con 15 ed includente una testa di misura 1 comprendente a sua volta almeno un supporto piastriforme o guida superiore 2 ed un supporto piastriforme o guida inferiore 3 aventi rispettivi fori guida 4 e 5 entro i quali scorre una pluralità di sonde di contatto 6.

Ciascuna sonda di contatto 6 termina ad un’estremità con una punta di contatto 7 destinata ad andare in battuta su una piazzola di contatto 8 di un dispositivo da testare integrato su un wafer 9, così da realizzare il contatto meccanico ed elettrico fra tale dispositivo da testare ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui tale scheda di misura 15 forma un elemento terminale.

Come indicato nella figura 1, la guida superiore 2 e la guida inferiore 3 sono opportunamente distanziate da una zona d'aria 10 che consente la deformazione delle sonde di contatto 6.

Il buon collegamento fra le sonde di contatto 6 e le piazzole di contatto 8 del dispositivo da testare è assicurato dalla pressione della testa di misura 1 sul dispositivo stesso, le sonde di contatto 6, mobili entro i fori guida 4 e 5 realizzati nelle guide 2 e 3, subendo, in occasione di tale contatto premente, una flessione all'interno della zona d'aria 10 e uno scorrimento all’interno di tali fori guida. Teste di misura di questo tipo sono comunemente denominate a sonde verticali ed indicate con il termine anglosassone: "Vertical probe head".

In alcuni casi, le sonde di contatto sono vincolate alla testa stessa in corrispondenza del supporto piastriforme superiore in maniera fissa: si parla in questo caso di teste di misura a sonde bloccate.

Più frequentemente però si utilizzano teste di misura con sonde non bloccate in maniera fissa, ma tenute interfacciate a una cosiddetta board, eventualmente mediante una microcontattiera: si parla di teste di misura a sonde non bloccate. La microcontattiera è chiamata usualmente "space transformer" dal momento che, oltre al contatto con le sonde, consente anche di ridistribuire spazialmente le piazzole di contatto su di essa realizzate, rispetto alle piazzole di contatto presenti sul dispositivo da testare, in particolare con un allentamento dei vincoli di distanza tra i centri delle piazzole stesse.

In questo caso, facendo sempre riferimento alla figura 1, ogni sonda di contatto 6 presenta una ulteriore zona o regione di estremità che termina con una cosiddetta testa di contatto 1 1 verso una piazzola di contatto 12 di una pluralità di piazzole di contatto di uno space transformer 13 della scheda di misura 15 comprendente la testa di misura 1. Il buon contatto elettrico tra sonde di contatto 6 e space transformer 13 viene assicurato mediante la battuta in pressione delle teste di contatto 11 delle sonde di contatto 6 sulle piazzole di contatto 12 di tale space transformer 13 in maniera analoga al contatto tra le punte di contatto 7 con le piazzole di contatto 8 del dispositivo da testare integrato sul wafer 9 .

Ulteriormente, la scheda di misura 15 comprende una piastra di supporto 14, generalmente una scheda a circuito stampato (PCB), collegata allo space transformer 13, tramite la quale la scheda di misura 15 si interfaccia allapparecchiatura di test.

Il corretto funzionamento di una scheda di misura è legato fondamentalmente a due parametri: lo spostamento verticale, o overtravel, delle sonde di contatto e lo spostamento orizzontale, o scrub, delle punte di contatto di tali sonde di contatto sulle piazzole di contatto.

Tutte queste caratteristiche sono da valutare e calibrare in fase di realizzazione di una scheda di misura, il buon collegamento elettrico tra sonde di contatto e dispositivo da testare dovendo sempre essere garantito.

Parimenti importante è garantire che il contatto premente delle punte di contatto delle sonde sulle piazzole di contatto del dispositivo non sia così elevato da provocare la rottura della sonda o della piazzola stessa.

Questa problematica è particolarmente sentita nel caso delle cosiddette sonde corte, ossia sonde con corpo limitato in lunghezza, in particolare con dimensioni inferiori a 5000 μm. Sonde di questo tipo sono utilizzate ad esempio per applicazioni ad alta frequenza, la lunghezza ridotta delle sonde limitando il connesso fenomeno di auto induttanza. In particolare, con il termine “sonde per applicazioni ad alta frequenza” si intendono sonde in grado di trasportare segnali con frequenze maggiori di 1 GHz.

È ben nota, infatti, la recente esigenza di realizzare schede di misura in grado di trasportare segnali a frequenze sempre più elevate, fino alle radiofrequenze, con una conseguente drastica riduzione della lunghezza delle sonde di contatto per permettere di trasportare tali segnali senza aggiungere rumore, ad esempio dovuto al fenomeno di auto induttanza sopramenzionato.

In tal caso, tuttavia, la ridotta lunghezza del corpo delle sonde aumenta vertiginosamente la rigidità della sonda stessa, il che implica un aumento della forza esercitata dalla rispettiva punta di contatto sulle piazzole di contatto di un dispositivo da testare, cosa che può portare a una rottura di tali piazzole, con danneggiamento irreparabile del dispositivo da testare, situazione ovviamente da evitare. Ancor più pericolosamente, l’aumento della rigidità della sonda di contatto a causa della riduzione della lunghezza del suo corpo aumenta anche il rischio di rottura delle sonde stesse.

Sono note soluzioni in cui sonde corte vengono associate ad una membrana flessibile collegata ad una PCB, in tale membrana flessibile essendo realizzate piste conduttive per il trasporto di segnali ad elevata frequenza dalle sonde verso la PCB. In questo tipo di schede di misura, durante la fase di test, la membrana flessibile è sottoposta a notevoli sforzi di trazione, i quali possono portare a una deformazione eccessiva nonché al danneggiamento della stessa.

Il problema tecnico della presente invenzione è quello di escogitare una scheda di misura avente caratteristiche funzionali e strutturali tali da consentire di superare le limitazioni e gli inconvenienti che tuttora affliggono le schede di misura realizzate secondo l’arte nota, in particolare in grado di trasportare efficacemente segnali ad elevata frequenza garantendo allo stesso tempo un suo ottimo funzionamento meccanico in occasione del contatto con le piazzole di un dispositivo da testare.

Sommario dell'invenzione

L’idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione è quella di realizzare una scheda di misura in cui il contatto con un dispositivo da testare è eseguito da sonde di dimensioni ridotte o microsonde collegate ad una zona di contatto di una membrana flessibile, la quale comprende, in una sua zona contigua alla zona di contatto, elementi di indebolimento meccanico che facilitano la deformazione locale di tale zona contigua e riducono gli stress a cui è soggetta la membrana flessibile durante il contatto con il dispositivo da testare.

Sulla base di tale idea di soluzione, il suddetto problema tecnico è risolto da una scheda di misura per un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici, comprendente una piastra di supporto, una membrana flessibile atta a trasportare segnali ad elevata frequenza tra un dispositivo da testare e la piastra di supporto, tale membrana flessibile essendo collegata alla piastra di supporto tramite una sua zona periferica, una struttura ammortizzante disposta tra la piastra di supporto e la membrana flessibile e atta ad ammortizzare il contatto con il dispositivo da testare, nonché una pluralità di micro-sonde di contatto comprendenti un corpo che si estende tra una prima estremità ed una seconda estremità, tale seconda estremità essendo atta a contattare piazzole di contatto del dispositivo da testare, in cui la struttura ammortizzante e le prime estremità delle micro- sonde di contatto sono a contatto con facce opposte di una stessa zona di contatto della membrana flessibile, caratterizzata dal fatto che la membrana flessibile include almeno una zona di indebolimento interposta tra la zona di contatto e la zona periferica e ad esse contigua, di indebolimento comprendendo almeno un elemento di indebolimento atto ad indebolire meccanicamente la membrana flessibile e ad aumentare localmente la deformabilità della stessa.

Più in particolare, l’invenzione comprende le seguenti caratteristiche supplementari e facoltative, prese singolarmente o all’occorrenza in combinazione.

Secondo un aspetto della presente invenzione, l’elemento di indebolimento può essere nella forma di una pluralità di tagli che si estendono parallelamente l’uno all’altro lungo un asse di sviluppo longitudinale della membrana flessibile. In particolare, l’estensione dei tagli lungo l’asse di sviluppo longitudinale può essere sostanzialmente compresa tra 1 mm e tra 4 mm.

Alternativamente, l’elemento di indebolimento può essere nella forma di almeno un ribassamento della membrana flessibile nella zona di indebolimento .

Secondo un aspetto della presente invenzione, la membrana flessibile può comprendere due zone di indebolimento disposte simmetricamente rispetto alla zona di contatto.

Secondo un altro aspetto della presente invenzione, la zona di contatto può comprendere almeno un ulteriore elemento di indebolimento in corrispondenza di almeno una micro-sonda di contatto.

Secondo un altro aspetto della presente invenzione, la scheda di misura può comprendere almeno un supporto comprendente una pluralità di fori guida atti ad alloggiare le micro-sonde di contatto, tale supporto essendo atto a sostenere le micro-sonde di contatto e la membrana flessibile.

Secondo un altro aspetto della presente invenzione, le micro -sonde di contatto possono essere sostanzialmente conformate a T, in cui la loro prima estremità ha un diametro maggiore del diametro del corpo così da definire una superficie in battuta sul supporto.

Secondo un altro aspetto della presente invenzione, le microsonde di contatto possono essere collegate alla membrana flessibile tramite un elemento di impegno in corrispondenza della loro prima estremità, tale elemento di impegno essendo configurato in modo da permettere un collegamento ad incastro tra le micro-sonde di contatto e la membrana flessibile e comprendendo una prima porzione ed una seconda porzione sporgenti dalla sommità di detta prima estremità e separate da uno spazio, tali porzioni essendo atte ad essere inserite in un’apertura della membrana flessibile e ad essere mosse una verso l’altra da pareti di tale apertura.

Ulteriormente, la piastra di supporto può essere una scheda a circuito stampato.

Secondo un altro aspetto della presente invenzione, la membrana flessibile può comprendere una pluralità di piste conduttive che si estendono dalla zona di contatto verso la piastra di supporto attraversando la zona di indebolimento.

Secondo un altro aspetto ancora della presente invenzione, la struttura ammortizzante può essere una testa di misura che alloggia una pluralità di elementi di contatto che si estendono tra una prima estremità e una seconda. estremità.

Secondo un altro aspetto ancora della presente invenzione, la seconda estremità di ogni elemento di contatto della testa di misura può essere in battuta su un medesimo punto con il quale è a contatto la prima estremità di una rispettiva micro-sonda di contatto.

Secondo un altro aspetto ancora della presente invenzione, gli elementi di contatto della testa di misura possono comprendere un gruppo di elementi di contatto destinati al trasporto di segnali di alimentazione e/o segnali di massa e/o segnali a bassa frequenza tra il dispositivo da testare e la piastra di supporto (23), detti elementi di contatto di detto gruppo (22') essendo collegati elettricamente a dette micro-sonde di contatto (26).

Secondo un altro aspetto ancora della presente invenzione, la zona di contatto può comprendere fori passanti tra la prima faccia e la seconda faccia per il passaggio di almeno un elemento di contatto destinato al trasporto di segnali di alimentazione e/o segnali di massa e/o segnali a bassa frequenza tra il dispositivo da testare e la piastra di supporto.

Infine, la membrana flessibile può comprendere una porzione conduttiva in corrispondenza di un punto di battuta degli elementi di contatto sulla prima faccia e/o di un punto di contatto delle micro-sonde di contatto con la seconda faccia.

Le caratteristiche e i vantaggi della scheda di misura secondo l'invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimenti ai disegni allegati.

Breve descrizione dei disegni

In tali disegni:

- la figura 1 mostra schematicamente una scheda di misura secondo l’arte nota;

- la figura 2 mostra schematicamente una scheda di misura secondo la presente invenzione;

- la figura 3 mostra schematicamente una vista dall’alto di una membrana flessibile della scheda di misura secondo la presente invenzione;

- la figura 4 mostra schematicamente un dettaglio della scheda di misura secondo la presente invenzione;

- la figura 5 mostra schematicamente una scheda di misura secondo una forma di realizzazione della presente invenzione; e

- la figura 6 mostra schematicamente un dettaglio della membrana flessibile di una scheda di misura secondo una forma di realizzazione della presente invenzione.

Descrizione dettagliata

Con riferimento a tali figure, ed in particolare alla figura 2, con 20 viene complessivamente e schematicamente indicata una scheda di misura realizzata secondo la presente invenzione.

È opportuno notare che le figure rappresentano viste schematiche e non sono disegnate in scala, ma sono invece disegnate in modo da enfatizzare le caratteristiche importanti dell’invenzione. Ulteriormente, nelle figure, i diversi elementi sono rappresentati in modo schematico, la forma potendo a seconda

desiderata. È inoltre opportuno notare che nelle figure numeri di riferimento identici si riferiscono ad elementi identici per forma o funzione. Infine, particolari accorgimenti descritti in relazione a una forma di realizzazione illustrata in una figura sono utilizzabili anche per le altre forme di realizzazione illustrate nelle altre figure.

Nella sua forma più generale, la scheda di misura 20 è atta a collegarsi con una apparecchiatura di test (non mostrata nelle figure) per eseguire il test di dispositivi elettronici integrati su un wafer semiconduttore, in particolare dispositivi ad elevata frequenza, ossia dispositivi adatti al trasporto di segnali ad elevata frequenza, in particolare maggiore di 1 GHz.

La scheda di misura 20 comprende una struttura ammortizzante 21 , la quale è atta ad attutire ed ammortizzare il contatto di tale scheda di misura 20 con un dispositivo da testare.

In accordo con una forma di realizzazione preferita della presente invenzione, la struttura ammortizzante 21 è una testa di misura, sempre indicata con il riferimento numerico 2 1 , la quale alloggia una pluralità di elementi di contatto 22, quattro di tali elementi di contatto 22 essendo mostrati nella figura 2 solamente a titolo di esempio.

La scheda di misura 20 comprende inoltre una piastra di supporto 23, la quale è preferibilmente una scheda a circuito stampato (PCB) che assicura il collegamento tra tale scheda di misura 20 e lapparecchiatura di test.

Gli elementi di contatto 22 comprendono un corpo 22’, il quale si estende lungo un asse longitudinale H-H tra una prima estremità 22a e una seconda estremità 22b, la prima estremità 22a essendo atta ad andare in battuta sulla piastra di supporto 23.

La scheda di misura 20 comprende inoltre una membrana flessibile 24, la quale presenta una prima faccia Fa, sulla quale la seconda estremità 22b degli elementi di contatto 22 è atta ad andare in battuta, e una seconda faccia Fb, opposta alla prima faccia Fa. Secondo il riferimento locale della figura 2, la prima faccia Fa della membrana flessibile 24 è una faccia superiore, ovvero una faccia rivolta verso la testa di misura 21, mentre la seconda faccia Fb della membrana flessibile 24 è una faccia inferiore, ovvero una faccia rivolta verso il dispositivo da testare. La testa di misura 21 è in tal modo opportunamente interposta tra la membrana flessibile 24, in particolare la sua prima faccia Fa, e la piastra di supporto 23.

Come sarà illustrato più in dettaglio nel seguito, la membrana flessibile 24 è atta a trasportare segnali ad elevata frequenza tra il dispositivo da testare e la piastra di supporto 23.

Ulteriormente, la scheda di misura 20 comprende un supporto 25, il quale è dotato di una pluralità di fori guida 25h atti ad alloggiare una corrispondente pluralità di micro-sonde di contatto 26 destinate al contatto con piazzole di contatto 27 di un dispositivo da testare integrato su un wafer semiconduttore W, tra gli elementi di contatto 22 e tali microsonde di contatto 26 essendo interposta la membrana flessibile 24.

Le micro-sonde di contatto 26 comprendono un corpo 26’ che si estende anch’esso lungo l’asse longitudinale H-H tra una prima estremità 26a e una seconda estremità 26b, la prima estremità 26a essendo atta a contattare la membrana flessibile 24 e la seconda estremità 26b essendo atta a contattare le piazzole di contatto 27 del dispositivo da testare integrato sul wafer semiconduttore W, come sopra indicato.

Il supporto 25 è atto a sostenere sia la membrana flessibile 24, sia le micro-sonde di contatto 26.

Facendo ora riferimento alla figura 3, la membrana flessibile 24 comprende una prima zona o zona di contatto 24a e una seconda zona o zona periferica 24b, laddove la zona di contatto 24a è destinata al contatto con la testa di misura 21 e il dispositivo da testare, mentre la zona periferica 24b è destinata al collegamento con la piastra di supporto 23. Preferibilmente, la zona di contatto 24a è una zona centrale della membrana flessibile 24 ed è circondata dalla zona periferica 24b.

Generalmente, larea della zona di contatto 24a corrisponde sostanzialmente all’area del wafer semiconduttore W comprendente il dispositivo o i dispositivi da testare, e la disposizione relativa delle microsonde di contatto 26 a contatto con tale zona di contatto 24a corrisponde sostanzialmente alla disposizione relativa delle piazzole di contatto 27.

Le seconde estremità 22b degli elementi di contatto 22 sono in battuta sulla prima faccia Fa della membrana flessibile 24 in corrispondenza della zona di contatto 24a, mentre le prime estremità 26a delle micro-sonde di contatto 26 sono a contatto con la seconda faccia Fb, sempre in corrispondenza di tale zona di contatto 24a. In particolare, la seconda estremità 22b di ogni elemento di contatto 22 è in battuta su un medesimo punto (osservato lungo un asse di sviluppo longitudinale H’-H’ della membrana flessibile 24) con il quale è a contatto la prima estremità 26a di una rispettiva micro- sonda di contatto 26.

Detto in altre parole, ad una micro-sonda di contatto 26 corrisponde un rispettivo elemento di contatto 22 in battuta in corrispondenza della stessa posizione, ma su una faccia opposta, della membrana flessibile 24, tale elemento di contatto 22 fungendo da elemento ammortizzatore per la micro-sonda di contatto 26.

Sebbene la forma di realizzazione sopra esposta è da considerarsi preferita, è possibile prevedere anche altre configurazioni. A titolo di esempio, gli elementi di contatto 22 possono essere in numero diverso dalle micro-sonde di contatto 26 ed anche disposti in modo da andare in battuta su punti distinti da esse.

In ogni caso, durante il contatto con il dispositivo da testare, il problema della rigidezza delle micro-sonde di contatto 26 viene risolto grazie allo smorzamento effettuato dagli elementi di contatto 22 associati ad esse. Durante il contatto delle micro-sonde di contatto 26 con il dispositivo da testare, gli elementi di contatto 22 agiscono quindi da elementi ammortizzanti, regolando la forza di contatto sulle piazzole di contatto 27 di tale dispositivo da testare.

Si sottolinea che gli elementi di contatto 22 della testa di misura 21 hanno una lunghezza generalmente compresa tra 1.5 mm e 10 mm, ovvero una lunghezza molto maggiore di quella delle micro-sonde di contatto 26 che, come visto in precedenza, è inferiore a 500 μιη, e quindi hanno una capacità di flessione molto maggiore, tale da garantire l’effetto ammortizzante di tali elementi di contatto 22. Opportunamente, gli elementi di contatto 22 sono altresì realizzati con materiali adatti a massimizzare leffetto ammortizzante per le micro-sonde di contatto 26.

Facendo sempre riferimento alla figura 3, vantaggiosamente secondo la presente invenzione, la membrana flessibile 24 include almeno una zona intermedia o zona di indebolimento 24c contigua alla zona di contatto 24a e alla zona periferica 24b, tale zona di indebolimento 24c essendo una zona a resistenza meccanica ridotta della membrana flessibile 24. Come si osserva nella figura 3, la zona di indebolimento 24c è interposta tra la zona centrale 24a e la zona periferica 24b.

La membrana flessibile 24 comprende preferibilmente due zone di indebolimento 24c disposte simmetricamente rispetto alla zona di contatto 24a e contigue alla stessa, e di conseguenza comprende anche due zone periferiche 24b.

In alternativa, la membrana flessibile 24 ha forma sostanzialmente circolare, mentre la zona periferica 24b e la zona di indebolimento 24c hanno forma sostanzialmente ad anello, e sono disposte concentricamente attorno alla zona di contatto 24a. Ovviamente la forma della membrana e delle sue zone possono essere adattate alle circostanze e/o necessità e non sono limitate agli esempi illustrati nella presente.

Nello specifico, la zona di indebolimento 24c comprende almeno un elemento di indebolimento 28 atto ad indebolire meccanicamente la membrana flessibile 24 e quindi ad aumentare la sua capacità di deformazione elastica.

La presenza della zona di indebolimento 24c, includente l’elemento di indebolimento 28, garantisce che, durante il contatto della scheda di misura 20 con il dispositivo da testare, gli stress a cui è sottoposta la membrana flessibile 24 siano assorbiti da tale zona di indebolimento 24c. Gli elementi di indebolimento 28 della zona di indebolimento 24c sono infatti atti ad indebolire meccanicamente la membrana flessibile 24 in tale zona di indebolimento 24c e ad aumentare localmente la sua deformabilità, assicurando che le rimanenti zone di tale membrana flessibile 24 non siano soggette a sforzi eccessivi.

Nello specifico, durante il contatto con il dispositivo da testare, la zona centrale 24a della membrana flessibile 24 tende a sollevarsi e quindi la membrana flessibile 24 nel suo complesso è soggetta a notevoli sforzi di trazione, tale membrana flessibile essendo generalmente vincolata in maniera fissa nella testa di misura. Opportunamente secondo la presente invenzione, tali sforzi di trazione sono assorbiti dalla zona di indebolimento 24c, la quale tende a deformarsi più facilmente rispetto al resto della membrana flessibile 24 grazie alla presenza delfielemento di indebolimento 28.

In altre parole, la deformazione della zona di indebolimento 24c dovuta alla presenza dell’elemento di indebolimento 28 consente il sollevamento della membrana flessibile 24 in corrispondenza della sua zona centrale 24a, al contempo impedendo il movimento e quindi il formarsi di sforzi di trazione nel resto della sua estensione, in particolare nella zona periferica 24b.

In una forma di realizzazione preferita della presente invenzione, l’elemento di indebolimento 28 è nella forma di una pluralità di tagli, sempre indicati con il riferimento numerico 28, che si estendono sostanzialmente parallelamente gli uno agli altri lungo l’asse di sviluppo longitudinale H’-H’ della membrana flessibile 24, come indicato nella figura 3.

L’estensione dei tagli 28 lungo l’asse di sviluppo longitudinale H’-H’ è sostanzialmente compresa tra 1 mm e 4 mm, tale estensione essendo sostanzialmente la stessa per tutti i tagli 28 della zona di indebolimento 24c.

In alternativa, è possibile realizzare tagli 28 con una estensione diversa uno dall’altro, in particolare tagli 28 di minor estensione essendo disposti in corrispondenza di una porzione centrale della zona di indebolimento 24c. In questo caso, le lunghezze relative dei tagli 28 saranno adattate al particolare layout adottato.

In ogni caso, i tagli 28 formano una pluralità di bracci nella membrana flessibile 24.

Opportunamente, i tagli 28 sono dimensionati e disposti nella zona di indebolimento 24c in modo da permettere un sollevamento della zona di contatto 24a di almeno 70 μm durante il contatto con il dispositivo da testare, senza eccessivi sforzi di trazione per la membrana flessibile 24.

In una forma di realizzazione alternativa della presente invenzione, l’elemento di indebolimento 28 è nella forma di un ribassamento della membrana flessibile 24. In particolare, in questa forma di realizzazione alternativa, è possibile prevedere la presenza di una pluralità di ribassamenti cave non passanti) che si sviluppano sostanzialmente parallelamente l’uno all’altro lungo l’asse di sviluppo longitudinale H’-H’ della membrana flessibile 24, con estensione uguale o diversa; è altresì possibile prevedere la presenza di un unico ribassamento nella zona di indebolimento 24c, eventualmente estendentesi per l’intera zona di indebolimento 24c o per una porzione della stessa, in particolare atta a ricoprire almeno il 70% dell’area di tale zona di indebolimento 24a.

Facendo sempre riferimento alla figura 3, la membrana flessibile 24 comprende una pluralità di piste conduttive 29 che si estendono dalla zona di contatto 24a verso la zona periferica 24b, e quindi verso la piastra di supporto 23, attraversando la zona di indebolimento 24c. Le piste conduttive 29 sono quindi in collegamento elettrico con la piastra di supporto 23, ad esempio tramite contatto premente con piazzole di contatto di tale piastra di supporto 23.

Nella forma di realizzazione della figura 3, tra due tagli 28 contigui nella zona di indebolimento 24c passa una sola pista conduttiva 29, anche se ovviamente anche altre configurazioni possono essere previste a seconda delle esigenze e/o necessità. Ad esempio, è possibile definire una porzione della zona di indebolimento 24c priva di tagli 28 e dedicata al passaggio delle piste conduttive 29.

Le piste conduttive 29 si estendono lungo la seconda faccia Fb della membrana flessibile 24 a partire dal punto di contatto con la relativa micro-sonda di contatto 26, tali piste conduttive 29 potendo estendersi anche sulla prima faccia Fa della membrana flessibile 24, se la configurazione lo richiede.

Ulteriormente, le piste conduttive 29 possono estendersi anche allinterno della membrana flessibile 24 (ovvero possono essere annegate in essa). In questo caso, è possibile realizzare una membrana flessibile 24 in cui le piste conduttive 29 sono realizzate su diversi livelli a partire dalla seconda faccia Fb. Il numero di livelli della membrana flessibile 24 in cui sono realizzate le piste conduttive 29 può variare a seconda delle esigenze e/o circostanze, in particolare a seconda del numero dei segnali da trasportare e quindi a seconda della complessità del pattern di reindirizzamento da realizzare su tale membrana flessibile 24. A titolo di esempio, è possibile prevedere una configurazione in cui un primo livello comprende piste atte al trasporto del segnale di alimentazione e un secondo livello comprende piste atte al trasporto del segnale di massa.

In una forma di realizzazione della presente invenzione illustrata nella figura 4, la membrana flessibile 24 comprende una porzione conduttiva 3 la in corrispondenza del punto di battuta di un elemento di contatto 22 sulla prima faccia Fa. In combinazione o in alternativa alla porzione conduttiva 3 la, la membrana flessibile 24 può comprendere una porzione conduttiva 31b in corrispondenza del punto di contatto di un micro-sonda di contatto 26 con la seconda faccia Fb.

Le porzioni conduttive 3 la e 31b rinforzano la membrana flessibile 24, in particolare sono atte ad attutire la battuta della seconda porzione di estremità 22b degli elementi di contatto 22 e della prima porzione di estremità 26a delle micro-sonde di contatto 26 sulla membrana flessibile 24, agendo in sostanza da struttura protettiva della stessa, in in corrispondenza della sua zona di contatto 24a. Le porzioni conduttive 31b sulla seconda faccia Fb permettono inoltre il passaggio dei segnali dalle micro-sonde di contatto 26 alle piste conduttive 29.

Come precedentemente osservato, il supporto 25 funge da sostegno della membrana flessibile 24 e delle micro-sonde di contatto 26. Nello specifico, le micro-sonde di contatto 26 sono preferibilmente sostanzialmente conformate a T, in cui la prima estremità 26a ha un diametro maggiore rispetto al corpo 26’ e alla seconda estremità 26b, tale prima estremità 26a formando quindi la testa della T. In questo modo, la prima estremità 26a definisce una superficie S in battuta sul supporto 25, il quale in questo modo funge da guida e da sostegno per le microsonde di contatto 26.

Si sottolinea che, nella presente, con il termine “diametro” si intende sempre una dimensione trasversale massima.

Facendo sempre riferimento alla figura 4, le micro-sonde di contatto 26 sono collegate alla membrana flessibile 24 tramite un elemento di impegno 32 in corrispondenza della loro prima estremità 26a. L’elemento di impegno 32 è configurato in modo da permettere un collegamento ad incastro tra le micro-sonde di contatto 26 e la membrana flessibile 24, in particolare grazie alla presenza di una prima porzione 32a e di una seconda porzione 32b sporgenti dalla sommità della prima estremità 26a di tali micro-sonde di contatto 26. Nello specifico, la prima porzione 32a è separata dalla seconda porzione 32b da uno spazio vuoto, tali porzioni 32a e 32b essendo atte ad essere inserite in un’apertura della membrana flessibile 24. Una volta inserite nell'apertura della membrana flessibile 24, le porzioni 32a e 32b sono spinte l’una verso l’altra dalla forza esercitata dalle pareti di tale apertura, tali porzioni 32a e 32b esercitando quindi una forza opposta che garantisce il desiderato trattenimento delle micro-sonde di contatto 26. In sostanza, le porzioni 32a e 32b formano una sorta di forcella elastica atta ad incastrarsi nella membrana flessibile 24.

Ovviamente, l’associazione tra membrana flessibile 24 e microsonde di contatto 26 può avvenire anche in altri modi, le figure essendo fomite solamente a titolo indicativo e non limitativo della presente invenzione.

Nelle forme di realizzazione illustrate nella figura 2 e nella figura 4, gli elementi di contatto 22 non sono atti al trasporto di segnali, ma sono inclusi solamente a guisa di elementi ammortizzanti della scheda di misura 20, così da superare il problema dovuto alla rigidezza delle microsonde di contatto 26 ed evitare la rottura delle stesse in occasione del contatto con le piazzole 27 del dispositivo da testare.

Alternativamente, in una forma di realizzazione della presente invenzione illustrata nella figura 5, anche un gruppo 2 2 bis degli elementi di contatto 22 è atto al trasporto di segnali tra il dispositivo di test e l’apparecchiatura di test. Ciascun elemento di contatto di tale gruppo 22bis è collegato elettricamente ad una corrispondente micro-sonda di contatto 26 mediante piste conduttive di collegamento 29’ nella membrana flessibile 24, tali piste conduttive di collegamento 29’ estendendosi tra la prima faccia Fa e la seconda faccia Fb di tale membrana flessibile 24. In altre parole , le piste conduttive di collegamento 29’ sono atte a mettere in collegamento le opposte facce Fa e Fb della membrana flessibile 24, tali piste conduttive di collegamento 29’ essendo realizzate ad esempio riempiendo di materiale conduttivo opportuni ulteriori fori passanti o percorsi passanti realizzati in tale membrana flessibile 24. Nel caso in cui siano presenti le porzioni conduttive 3 la e 31b, le piste conduttive di collegamento 29’ collegano tali porzioni conduttive.

Gli elementi di contatto del gruppo 22bis svolgono quindi una duplice funzione, cioè da un lato fungono da elementi ammortizzanti della scheda di misura 20, in particolare delle sue micro-sonde di contatto 26, dall’altro trasportano segnali verso la piastra di supporto 23, In questa forma di realizzazione, gli elementi di contatto non compresi nel gruppo 22bis sono isolati elettricamente dalle micro-sonde di contatto 26 e anche dagli altri elementi di contatto, mantenendo solamente la funzione di elementi ammortizzanti. Vi è inoltre da dire che gli elementi di contatto del gruppo 22bis sono atti al trasporto di segnali di alimentazione e/o segnali di massa e/ o segnali a bassa frequenza tra il dispositivo da testare e la piastra di supporto 23,

In questa forma di realizzazione, la piastra di supporto 23 comprende piazzole di contatto conduttive 23A in corrispondenza della prima porzione di estremità degli elementi di contatto del gruppo 22bis, sulle quali tali porzioni di estremità vanno in battuta per l’effettivo trasporto dei segnali verso l’apparecchiatura di test.

Come accennato in precedenza, le piste conduttive di collegamento 29 possono tali da colegare la porzione conduttiva 31a della prima faccia Fa e la porzione conduttiva 31b della seconda faccia Fb, oppure è possibile realizzare un’unica piazzola conduttiva che attraversa la membrana flessibile 24 e affiora su tali facce Fa e Fb.

Ulteriormente, in una forma di realizzazione della presente invenzione illustrata nella figura 6, la zona di contatto 24a comprende fori passanti 30 tra la prima faccia Fa e la seconda faccia Fb, ciascuno di tali fori passanti 30 essendo attraversato da almeno un elemento di contatto della testa di misura 21, tale elemento di contatto che attraversa tale foro passante 30 essendo atto a contattare direttamente le piazzole di contatto 27 del dispositivo da testare. Come gli elementi di contatto del gruppo 22 bis, anche gli elementi di contatto che attraversano i fori passanti 30 sono destinati al trasporto di segnali di alimentazione, massa o segnali a bassa frequenza.

I fori passanti 30 possono essere dimensionati in modo da essere attraversati da un solo elemento di contatto, oppure possono essere dimensionati in modo da essere attraversati da molteplici elementi di contatto. Si sottolinea che il numero, la disposizione e la dimensione dei fori passanti 30 può variare a seconda delle esigenze e/o necessità. Ovviamente, in questa forma di realizzazione, anche il supporto 25 comprende corrispondenti fori passanti al fine di permettere il passaggio degli elementi di contatto.

Facendo sempre riferimento alla figura 6, la zona centrale 24a della membrana flessibile 24 comprende almeno un ulteriore elemento di indebolimento 33 in corrispondenza di una o più micro-sonde di contatto 26 a contatto con essa. Questi elementi di indebolimento 33 (realizzati ad esempio tramite asportazione laser) possono essere nella forma di tagli oppure di cave non passanti.

Ulteriormente, gli ulteriori elementi di indebolimento 33 sono preferibilmente tali da estendersi su tre lati del punto di contatto (o di un’eventuale porzione conduttiva 3 lb) delle micro-sonde di contatto 26 con la membrana flessibile 24, tali ulteriori elementi di indebolimento 33 potendo avere una qualunque forma adatta, ad esempio a ferro di cavallo o a semicerchio, come indicato nella figura 6. Ancora più preferibilmente, gli ulteriori elementi di indebolimento 33 hanno due lati che si estendono longitudinalmente oltre il punto di contatto (o oltre un’eventuale porzione conduttiva 31b) per una lunghezza generalmente compresa tra 400 gm e 600 μm (preferibilmente 500 μm) e corrono sostanzialmente paralleli alla pista conduttiva 29 che si estende da tale punto di contatto. Detto in altre parole, un lato degli gli ulteriori elementi di indebolimento 33 ha dimensioni sostanzialmente pari a quelle della porzione conduttiva 31b mentre gli altri lati hanno una dimensione maggiore e si estendono per circa altri 500 μm seguendo le piste conduttive 29,

La presenza degli ulteriori elementi di indebolimento 33 consente di risolvere eventuali problemi di planarità della scheda di misura 20 poiché essi permettono un movimento relativo tra le microsonde di contatto 26.

Si osserva inoltre che, sebbene la figura 6 mostra una forma di realizzazione in cui sono presenti sia i fori passanti 30 sia gli ulteriori elementi di indebolimento 33, è possibile prevedere forme di realizzazione in cui sono presenti solamente i fori passanti 30 o solamente gli ulteriori elementi di indebolimento 33.

Le micro-sonde di contatto 26, le quali sono atte a contattare le piazzole di contatto 27 del dispositivo da testare integrato sul wafer semiconduttore W, sono realizzate in un materiale conduttivo o tramite un'opportuna lega.

La membrana flessibile 24 è realizzata mediante materiali dielettrici, preferibilmente poliammide, in grado di fornire la desiderata flessibilità e il desiderato isolamento elettrico, mentre le piste conduttive 29 sono realizzate in materiale metallico conduttivo, ad esempio in rame.

La larghezza delle piste e lo spessore della membrana flessibile 24 sono scelte in modo da ottenere un desiderato controllo di impedenza e minimizzare l'attenuazione del segnale in trasmissione. La trasmissione del segnale nella membrana può essere equiparata ad una trasmissione in un cavo coassiale. In questo caso, su una delle due facce della membrana flessibile corrono le piste conduttive adatte al trasporto di segnali a radiofrequenza, mentre sulla faccia opposta opposto corrono le piste di ground, le quali seguono il percorso delle piste conduttive adatte al trasporto di segnali a radiofrequenza sull'altra faccia.

La piastra di supporto 23 ha una configurazione analoga a quella delle schede PCB della tecnica nota, con la differenza che le sue piazzole di contatto sono preferibilmente realizzate su una sua porzione periferica, in modo tale che le stesse possano contattare elettricamente le piste conduttive 29 (o eventuali piazzole della membrana) in corrispondenza della zona periferica 24b della membrana flessibile 24.

Ulteriormente, il supporto 25 è preferibilmente realizzato in un materiale ceramico.

Infine, si sottolinea che in una forma di realizzazione della presente invenzione non illustrata nelle figure, la testa di misura 21 comprende almeno una guida, dotata di una pluralità di fori guida entro i quali gli elementi di contatto 22 sono alloggiati scorrevolmente.

In conclusione, la presente invenzione fornisce una scheda di misura in cui il contatto con un dispositivo da testare è eseguito da sonde di dimensioni ridotte o micro-sonde collegate ad una zona di contatto di una membrana flessibile, la quale comprende, in una sua zona contigua alla zona di contatto, elementi di indebolimento meccanico che facilitano la deformazione locale di tale zona contigua e riducono gli stress a cui è soggetta la membrana flessibile durante il contatto con il dispositivo da testare.

La scheda di misura proposta è particolarmente performante in applicazioni a radiofrequenza, grazie alle dimensioni ridotte delle microsonde di contatto in essa comprese, aventi una lunghezza inferiore a quella degli elementi di contatto ed in particolare inferiore a 500 μm.

La presenza degli elementi di contatto della testa di misura interposta tra la membrana flessibile e la PCB, i quali funzionano in sostanza da elementi ammortizzanti per le micro-sonde di contatto (ovvero sono atti ad ammortizzare il contatto tra le micro-sonde di contatto e le piazzole di contatto di un dispositivo da testare grazie alla loro maggiore capacità di flessione) consente di ovviare alla rigidezza di tali micro-sonde di contatto di lunghezza ridotta, riducendo drasticamente le possibilità di rottura delle micro-sonde stesse e garantendo al contempo un’adeguata riduzione della pressione da esse esercitata, scongiurando eventuali rotture delle piazzole di contatto dei dispositivi da testare su cui le micro-sonde vanno in battuta.

Vantaggiosamente secondo la presente invenzione, la presenza degli elementi di indebolimento della membrana flessibile (preferibilmente nella forma di una pluralità di tagli) rende la zona di indebolimento particolarmente deformabile in quanto ne riduce la resistenza meccanica. In questo modo, è possibile ridurre gli sforzi di trazione a cui la membrana flessibile è soggetta durante il contatto con il dispositivo da testare.

In particolare, è proprio la presenza degli elementi di indebolimento della zona di indebolimento che permette alla zona centrale di contatto della membrana flessibile di sollevarsi sotto la spinta delle micro-sonde di contatto senza sforzi eccessivi per la membrana stessa, in quanto tale zona di indebolimento tende ad assorbire molto più facilmente gli sforzi dovuti al contatto con il dispositivo da testare. La maggiore capacità di deformarsi della zona di indebolimento, dovuta agli elementi di indebolimento, rende infatti le rimanenti porzioni della membrana flessibile soggette ad uno sforzo molto minore e quindi contribuisce ad aumentare le prestazioni della scheda di misura della presente invenzione.

Gli elementi di contatto della testa di misura fungono inoltre da elementi di pre-carico delle micro-sonde di contatto, garantendo che tali micro-sonde siano sempre associate in maniera corretta alla membrana flessibile, la quale realizza inoltre vantaggiosamente il desiderato sb dei segnali all’interno della scheda di misura.

Inoltre, la possibilità di una configurazione ibrida, in cui alcuni elementi di contatto della testa di misura sono atti al trasporto di segnali, semplifica notevolmente lo sbroglio dei segnali da parte della membrana flessibile, la quale è in questo modo destinata solamente allo sbroglio dei segnali ad elevata frequenza. Di conseguenza, nel caso in cui la zona di contatto della membrana flessibile comprende una pluralità di matrici di micro- sonde di contatto (ciascuna matrice essendo destinata al contatto con un rispettivo dispositivo sul wafer), è possibile indirizzare le piste conduttive uscenti da ciascuna matrice verso la PCB solamente passando attraverso uno o due lati di tale matrice, rendendo possibile il test in parallelo di una pluralità di dispositivi elettronici, ossia allineando le matrici di micro sonde per i lati attraverso i quali non passano le piste conduttive.

Opportunamente, la scheda di misura secondo la presente invenzione è in grado di effettuare il cosiddetto test full array di dispositivi integrati su wafer semiconduttore, la configurazione della membrana flessibile rendendo possibile una qualunque disposizione delle microsonde di contatto nella sua zona di contatto. In questo modo, è possibile prevedere una qualunque disposizione di matrici di micro-sonde di contatto nella zona di contatto, nessun vincolo essendo presente in tale zona.

Ulteriormente, vantaggiosamente secondo la presente invenzione, la membrana flessibile, gli elementi di contatto e le microsonde di contatto sono tra loro strutturalmente indipendenti, in quanto la membrana flessibile non è associata in modo fisso (ad esempio saldata) agli elementi di contatto, quest'ultimi essendo solamente in battuta su di essa, tale membrana flessibile e tali microsonde di contatto essendo sostenuti dal supporto ceramico della scheda di misura. Tutto ciò garantisce un’aumentata riparabilità della scheda di misura nel suo complesso, in quanto i suoi singoli componenti possono essere sostituiti facilmente.

Infine, l’eventuale presenza degli ulteriori elementi di indebolimento nella zona di contatto della membrana permette di risolvere eventuali problemi di planarità della scheda di misura. Eventuali disallineamenti locali sono compensati dalla presenza di tali ulteriori elementi di indebolimento.

Ovviamente un tecnico del ramo, allo scopo di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, potrà apportare alla scheda di misura sopra descritta numerose modifiche e varianti, tutte comprese nell'ambito di protezione dell'invenzione quale definito dalle seguenti rivendicazioni .

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Scheda di misura (20) per un'apparecchiatura di test di dispositivi elettronici, comprendente: - una piastra di supporto (23); - una membrana flessibile (24) atta a trasportare segnali ad elevata frequenza tra un dispositivo da testare e detta piastra di supporto (23), detta membrana flessibile (24) essendo collegata a detta piastra di supporto (23) tramite una sua zona periferica (24b); - una struttura ammortizzante (21) disposta tra detta piastra di supporto (23) e detta membrana flessibile (24) e atta ad ammortizzare il contatto con il dispositivo da testare; e - una pluralità di micro-sonde di contatto (26) comprendenti un corpo (26') che si estende tra una prima estremità (26a) ed una seconda estremità (26b), detta seconda estremità (26b) essendo atta a contattare piazzole di contatto (27) del dispositivo da testare, in cui detta struttura ammortizzante (21) e dette prime estremità (30a) di dette micro-sonde di contatto (26) sono a contatto con facce opposte (Fa, Fb) di una stessa zona di contatto (24a) di detta membrana flessibile (24), caratterizzata dal fatto che detta membrana flessibile (24) include almeno una zona di indebolimento (24c) interposta tra detta zona di contatto (24a) e detta zona periferica (24b) e ad esse contigua, detta zona di indebolimento (24c) comprendendo almeno un elemento di indebolimento (28) atto ad indebolire meccanicamente detta membrana flessibile (24) e ad aumentare localmente la deformabilità della stessa.
2 Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 1 , caratterizzata dal fatto che detto elemento di indebolimento (28) è nella forma di una pluralità di tagli che si estendono parallelamente l’uno all’altro lungo un asse di sviluppo longitudinale (H’-H') di detta membrana flessibile (24).
3. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 2, caratterizzata dal fatto che l’estensione di detti tagli (28) lungo detto asse di sviluppo longitudinale (H’-H’) è sostanzialmente compresa tra 1 mm e 4 mm.
4. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento di indebolimento (28) è nella forma di almeno un ribassamento di detta membrana flessibile (24) in detta zona di indebolimento (24c).
5. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta membrana flessibile (24) comprende due zone di indebolimento (24c) disposte simmetricamente rispetto a detta zona di contatto (24a).
6. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta zona di contatto (24a) comprende almeno un ulteriore elemento di indebolimento (33) in corrispondenza di almeno una micro-sonda di contatto (26).
7. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di comprendere almeno un supporto (25) comprendente una pluralità di fori guida (25h) atti ad alloggiare dette micro-sonde di contatto (26), detto supporto (25) essendo atto a sostenere dette micro-sonde di contatto (26) e detta membrana flessibile (24).
8. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 7, caratterizzata dal fatto che dette micro-sonde di contatto (26) sono sostanzialmente conformate a T, in cui la loro prima estremità (26a) ha un diametro maggiore del diametro del corpo (26') così da definire una superficie (S) in battuta su detto supporto (25).
9. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che dette micro-sonde di contatto (26) sono collegate a detta membrana flessibile (24) tramite un elemento di impegno (32) in corrispondenza della loro prima estremità (26a), detto elemento di impegno (32) essendo configurato in modo da permettere un collegamento ad incastro tra dette micro-sonde di contatto (26) e detta membrana flessibile (24) e comprendendo una prima porzione (32a) ed una seconda porzione (32b) sporgenti dalla sommità di detta prima estremità (26a) e separate da uno spazio, dette porzioni (32a, 32b) essendo atte ad essere inserite in un’apertura di detta membrana flessibile (24) e ad essere mosse una verso l’altra da pareti di detta apertura.
10. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta piastra di supporto (23) è una scheda a circuito stampato (PCB).
11 . Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta membrana flessibile (24) comprende una pluralità di piste conduttive (29) che si estendono da detta zona di contatto (24a) verso detta piastra di supporto (23) attraversando detta zona di indebolimento (24c).
12. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta struttura ammortizzante (21) è una testa di misura che alloggia una pluralità di elementi di contatto (22) che si estendono tra una prima estremità (22a) e una seconda estremità (22b).
13. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 12, caratterizzata dal fatto che la seconda estremità (22b) di ogni elemento di contatto (22) di detta testa di misura (21) è in battuta su un medesimo punto con il quale è a contatto la prima estremità (26a) di una rispettiva micro-sonda di contatto (26).
14. Scheda di misura (20) secondo la rivendicazione 12 o 13, caratterizzata dal fatto che detti elementi di contatto (22) di detta testa di misura (21) comprendono un gruppo (22’) di elementi di contatto destinati al trasporto di segnali di alimentazione e/o segnali di massa e/o segnali a bassa frequenza tra il dispositivo da testare e detta piastra di supporto (23), detti elementi di contatto di detto gruppo (22) essendo collegati elettricamente a dette micro-sonde di contatto (26).
15. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 12 a 14, caratterizzata dal fatto che detta zona di contatto (24a) comprende fori passanti (30) tra detta prima faccia (Fa) e detta seconda faccia (Fb) per il passaggio di almeno un elemento di contatto destinato al trasporto di segnali di alimentazione e/o segnali dì massa e/o segnali a bassa frequenza tra il dispositivo da testare e detta
16. Scheda di misura (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 12 a 15, caratterizzata dal fatto che detta membrana flessibile (24) comprende una porzione conduttiva (31a, 31b) in corrispondenza di un punto di battuta di detti elementi di contatto (22) su detta prima faccia (Fa) e/o di un punto di contatto di dette microsonde di contatto (26) con detta seconda faccia (Fb) .