TW465009B - Engaging and disengaging means for wafer carrier cover member - Google Patents

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4 65 00 9 五、發明説明（1 ) 【發明之詳細說明】 【發明之領域】 本發明係有關用以將設置於負載板裝置之晶片裝載器 之蓋體予以著脫的著脫裝置。 【發明之技術背景】 負載裝置係用以將設置於其上面之晶片裝載器內所收 納之多數片的晶片移載至半導體製造裝置內的裝置。 如第36圖所示，設置於負載板裝置L之裝置本體201上 的晶片裝載器C係收納著多數片的晶片u。反晶片U藉著自動 機械裝置291而移載至半導體製造裝置HR。此負載板裝置l 設置著用以著脫晶片裝載器C之蓋體206的著脫裝置。又， 於第36圖中，292係對半導體製造裝置Η內供給淸淨之空氣 的淸淨空氣供給裝置。 性濟部智"財產笱g〔工""合作社印製 作爲蓋體6之著脫裝置之一例，乃存在有第37圖所示之 構造者。此著脫裝置200之情形，係將設置於蓋體保持板215 之鍵元件221嵌入該設置於晶片裝載器C之蓋體206的鎖裝置 Ε’藉著使該鍵元件221向一定方向轉動而使蓋體206對晶片 裝載器C上鎖 '開鎖。而於蓋體206之鎖裝置Ε開鎖之時，蓋 體206與蓋體保持板215係卡合。以此狀態使蓋體保持板215 相對於蓋體206朝垂直之水平方向移動。因此，晶片裝載器 C之蓋體206乃以被蓋體保持板215所保持之狀態而朝同方向 移動，而從晶片裝載器C取出。 此時，不論著脫裝置200是否作動，蓋體206乃有不被 蓋體保持板215所保持之情形。例如，鍵元件221之本體部 221a(與鍵孔222卡合之部分）折損之情形下，即使該鍵元件 221以嵌入鍵孔222之狀態轉動時，亦僅使鍵元件221空轉’ 而不會使鎖裝置E被開鎖。又，構成鎖裝置E之碟片板218之 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4规格（210X297公釐） V 經濟部智.%財產场員工消費合作社印養 五'發明说明（2 ) 突起體218b破損的情形亦相同。此情形下’蓋體206即呈按 裝載於晶片裝載器c之狀態°以此狀態’自動機械裝置291 之臂部（圖式未顯示）乃因移載晶片U ’故於將要進入晶片裝 載器C之時，前述臂部及蓋體會造成干擾。 又，蓋體206被蓋體保持板215所保持，而暫時地儲放 於負載板裝置L之下部之狀態時’發生停電等而於再供電之 際，則鍵元件221回復原點（此情形形成朝橫方向）。如此的 狀態下，鍵元件221之本體部221a與鎖裝置E之鍵孔222之卡 合乃被解除，由於前述鍵元件221僅呈插通於鍵孔222的狀 態，故會有蓋體206發生掉落之顧慮那般不良的情形》 [發明之要點】 本發明有鑑於前述不良情形而以能檢測出蓋體是否被 保持訃蓋體保持板，以及將前述蓋體確實地保持在蓋體保 持板爲課題。 本發明之晶片裝載用蓋體之著著脫裝置裝置，其特徵 係在於：具有相對於設置一具有露出於外側之鍵孔之鎖裝 置的晶片裝載器的蓋體：而以該鍵孔之側相對地可進退動 之蓋體保持板；用以使蓋體保持板進行前述進退動的驅動 部；可轉動地突出於蓋體保持板之前述蓋體側之同時，對 向於前述鍵孔於前述進退動方向配置之鍵元件。前述鎖裝 置係於前述鍵孔內藉著前述鍵元件轉動而形成上鎖及開鎖 狀態，上鎖的狀態時，則前述鍵元件可插入及脫離前述鍵 孔，至於開鎖的狀態則因前述鍵元件與前述鍵孔卡合不能 從前述鍵孔著脫裝置離，因此形成蓋體保持板保持著蓋體 的狀態’而於蓋體保持板安裝用以檢測出該蓋體保持板是 否爲保持著蓋體的狀態。 依據本發明，從晶片裝載器隔離之蓋體保持板乃能檢 本紙中關家裔―(CNS)爾格（2]Gx 297公楚） ---------裝------订------線 (tv νΐΐ-汐卜：而之注*本.頊為4巧孓玎) 465009 _____B- 五、發明説明（3 ) 測出是否保持著蓋體。換言之’本發明之裝置能檢測出晶 片裝載器是否開口或未開口。而僅於晶片裝載器爲開□時 ’自動機械裝置之臂部進入晶片裝載器而使該臂部及蓋體 不會產生千擾。 例如’蓋體檢出裝置具有：蓋體保持板藉著是否保持 著蓋體的狀態而變化位置的被檢測元件，及，檢測出前述 被檢測元件位置的檢出部。 最好是於投入電源時，依據蓋體檢出裝置之輸出，而 在於蓋體保持板保持著蓋體之狀態的情形時，更具有鍵元 件不會進行控制回復原點控制般的控制部》此情形下，例 如盖體保持板保持著蓋體之狀態下停電，其後再供電之情 形下能防止鍵元件回復原點。因此，由於再供電時能防止 鍵元件與鍵孔之卡合被解除，故不會有蓋體落下的顧慮。 經.^部智葸財凌苟肖工消費合作社印鉍 又’最好是在蓋體保持板之前述蓋體側的面，設置抵 抗鍵元件與鍵孔的卡合而從前述保持板將前述蓋體向遠去 的方向作用勢能力之押壓元件。此情形下，蓋體保持板接 近而使設置於蓋體保持板之鍵元件插通於鎖裝置的鍵孔之 際’使押壓元件押壓蓋體。而鍵元件與鍵孔卡合之後（開鎖 狀態）’使鍵元件將蓋體向近身側拉動之同時，由於押壓元 件將前述蓋體朝反對方向押壓，因此該蓋體以頂住的狀態 被保持。爱此’蓋體以盖體保持板保持成安定狀態而不會 使鍵元件之位置錯開，又’能使蓋體不會搖動而以確實保 持的狀態被著脫。 更好的情形是前述押壓元件在前述蓋體側之面具有橡 膠元件。又，最好是晶片裝載器係載置於能與以前述驅動 部形成之蓋體保持板的進退動作方向相同方向的可動載置 部，前述可動載置部透過緩衝元件而連接於用以使該可動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格U10+X297公釐） 經濟部智总时產^肖工;/]'費合作社印製 五、發明説明（4 ) 載置部移動的第2驅動部。 又’本發明之特徵在於具有：對於設置具有露出於外 側之鍵孔之鎖裝置的晶片裝載器的蓋體；而以該鍵孔之側 相對地可進退動之蓋體保持板；用以使蓋體保持板進行前 述進退動的驅動部：及，可轉動地突出於蓋體保持板之前 述蓋體側之同時，對向於前述鍵孔於前述進退動方向配置 之鍵元件。前述鎖裝置係於前述鍵孔內藉著前述鍵元件轉 動而形成上鎖及開鎖狀態，上鎖的狀態時，則前述鍵元件 可插入及脫離前述鍵孔，至於開鎖的狀態則因前述鍵元件 與前述鍵孔卡合不能從前述鍵孔著脫裝置離，因此形成蓋 體保持板保持著蓋體的狀態：而在蓋體保持板之前述蓋體 側的面，設置抵抗鍵元件與鍵孔的卡合而從前述保持板將 前述蓋體向遠去的方向作甩勢能力之押壓元件。 較佳的情形是前述押壓元件在前述蓋體側之面具有橡 膠元件。 又，較佳的情形是於蓋體保持板安裝用以檢測出該蓋 體保持板是否爲保持著蓋體的狀態的蓋體檢出裝置。 又，較佳的情形是前述蓋體於蓋體保持板側之面具有 梢孔，前述蓋體保持板於前述蓋體側之面具有相對向於前 述梢孔與前述進退動作方向突出的定位梢。 例如前述押壓元件係設置於前述定位梢之周圍。此情 形下，最好蓋體檢出裝置具有：蓋體保持板藉著是否保持 著蓋體的狀態而變化位置的被檢測元件，及檢測出前述 被檢測元件位置的檢出部，而前述被檢測元件係設於前述 押壓元件6 或是前述押壓元件設置於前述鍵元件之周圍。此情形 下最好亦是蓋體檢出裝置具有：蓋體保持板藉著是否保持 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2Ι〇Χ25Π公釐） ---------矣------.玎------線 (^n)s<-r.l:卜：而i;'i^f項再填:';£页 j 4B5009 五、發明説明（5 ) 著蓋體的狀態而變化位置的被檢測元件，及，檢測出前述 被檢測元件位置的檢出部，而前述被檢測元件係設於前述 押壓元件》 I - 1^— II - - _ I . ^^^^1 n^fl '>ilv;i; Ρ·Λ;二/i-tt卞項14 乂'·;£π 又，最好是晶片裝載器被載置於以可與前述驅動部所 導致之蓋體保持板之進退動作方向相同的方向移動的可動 載置部，前述可動載置部透過緩衝元件而連接於用以使該 可動載置部移動的第2驅動部。 訂. 線 或是，本發明之晶片裝載用蓋體之著著脫裝置裝置， 其特徵在於具有：對於設置具有露出於外側之鍵孔之鎖裝 置的晶片裝載器的蓋體；而以該鍵孔之側相對地可進退動 之蓋體保持板：用以使蓋體保持板進行前述進退動的驅動 部；及，可轉動地突出於蓋體保持板之前述蓋體側之同時 ，對向於前述鍵孔於前述進退動方向配置之鍵元件。前述 鎖裝置係於前述鍵孔內藉著前述鍵元件轉動而形成上鎖及 開鎖狀態，上鎖的狀態時，則前述鍵元件可插入及脫離前 述鍵孔’至於開鎖的狀態則因前述鍵元件與前述鍵孔卡合 不能從前述鍵孔著脫裝置離，因此形成蓋體保持板保持著 蓋體的狀態。 經濟部智怨財產笱轉工"費合作社印製 最好是蓋體保持板透過賦予勢能元件而連接於驅動板 ’而賦予勢能元件抵抗著鍵元件及鍵孔而將蓋體保持板朝 蓋體方向押壓。 又’最好是於蓋體保持板安裝用以檢測出該蓋體保持 板是否爲保持著蓋體的狀態的蓋體檢出裝置。 又’較佳的情形是前述蓋體於蓋體保持板側之面具有 梢孔’前述蓋體保持板於前述蓋體側之面具有相對向於前 述梢孔與前述進退動作方向突出的定位梢。 又’最好是在蓋體保持板之前述蓋體側的面，設置抵 一紙張中國國( CNS ) A4規^格（210X297公楚) 經濟部¾5.¾財4苟；WJL消費合作社印製 五、發明说明（6 ) 抗因前述驅動部所造成之朝蓋體保持板之蓋體側之進退驅 動力而從前述保持板將前述蓋體向遠離的方向作罔勢能力 之押壓元件。此情形下，較佳的情形是前述押壓元件在前 述蓋體側之面具有橡膠元件。 又，最好是晶片裝載器係載置於能與以前述驅動部形 成之蓋體保持板的進退動作方向相同方向的可動載置部· 前述可動載置部透過緩衝元件而連接於用以使該可動載置 部移動的第2驅動部。 或是，本發明之晶片裝載用蓋體之著著脫裝置裝置， 其特徵在於具有：對於設置具有露出於外側之鍵孔之鎖裝 置的晶片裝載器的蓋體；而以該鍵孔之側相對地可進退動 之蓋體保持板；用以使蓋體保持板進行前述進退動的驅動 部；可轉動地突出於蓋體保持板之前述蓋體側之同時，對 向於前述鍵孔於前述進退動方向配置之鍵元件；載置晶片 裝載器之同時能與藉著前述驅動部所造成之蓋體保持板之 進退動作方向相同方向移動的移動載置部；及*透過緩衝 元件而連接於前述可動載置部且用以移動該可動載置部的 第2驅動部。前述鎖裝置乃藉著於前述鍵孔內前述鍵元件轉 動而形成上鎖及開鎖，在上鎖狀態下，前述鍵元件係可插 入及著脫裝置離前述鍵孔，至於在開鎖的狀態下，由於前 述鍵元件與前述鍵孔卡合而不能由前述鍵孔脫離，故呈現 其盖體保持板保持著蓋體的狀態。 【圖式之簡單說明】 第1圖係本發明之第1實施樣態之安裝著脫裝置D,之負 載板裝置L的側面圖。 第2圖係第1圖之負載板裝置l的背面圖。 第3圖係第1圖之負載板裝置L之重要部分的側面斷面圖

糾私 I ,»τ11— n 線 (α.^ΐ'^-ηΓ.::.-;!,^^'·'!!再拭-本玎 J 本紙張尺度適用中國國家標準（〇\5)八4規格（2】0/297公釐） '16 5 0 0 9

經濟部智慧时4笱員工>/]費合作社印製 五、發明説明（7 ) 0 第4圖係第1圖之晶片裝載器C的立體圖。 第5圖係第I圖之晶片裝載器C之鎖裝置E上鎖狀態的正 面圖。 第6圖係第1圖之晶片裝載器C之一部分的破斷側面圖-- 第7及8圖分別爲第1圖之晶片裝載器C之鍵元件21之本 體部21a插入鎖裝置E之鍵孔22狀態的正面圖，及鍵元件21 轉動狀態的正面圖》 第9圖係鎖板19嵌合於蓋體裝著部5a之嵌合孔23狀態的 側面斷面圖。 第10圖係鎖板19脫離蓋體裝著部5a之嵌合孔23狀態的 側面斷面圖。 第Π圖係第1圖之著脫裝置h的立體圖。 第12圖係第1圖之鍵裝置八,及蓋體檢出裝置匕的背面圖 〇 第13圖係第丨2圖之X_X線斷面圖。 第14圖係第13圖之押壓梢之部分的側面斷面圖。 第15圖係說明第13圖之押壓梢之部分的作用。 第16圖係第13圖之蓋體檢出裝置卜的側面斷面圖。 第17圖係說明第13圖之蓋體檢出裝置&的作用。 第18圖係與說明晶片裝載器C被元件壓於裝著板7押壓 狀態之第3圖相同。 第19圖係與說明鍵元件21轉動狀態之第3圖相同。 第20圖係說明蓋體保持板15從裝著板7隔離而卸下晶片 裝載器C之蓋體6之狀態與第18圖相同。 第21圖係本發明之第2實施樣態之中央部設置凹部15a 的蓋體51正面圖。 -10 - ιτ {-''H n-c''''·-""^''^、再Jrv':J 木 ί

本紙張尺度適用中國國家標隼{ CNS ) A4規格（210X297公釐) 經濟部智£財rt局g;工消費合作社印-¾ 五、發明説明（S ) 第22圖係本發明之第2實施樣態之鍵裝置A:及蓋體檢出 裝置B2的背面圖。 第23圖係第22圖之Y1 — Y1線斷面圖。 第24圖係說明第22圖之鍵裝置八2的作用。 第25圖係第22圖之Y2-Y2線斷面圖。 第26圖係說明第22圖之鍵裝置匕的作用。 第27圖與第25圖相同之圖而更加裝著橡膠環的情形。 第28圖與第26圖相同之圖而更加裝著橡膠環的情形。 第29圖係本發明之第3實施樣態之與第21圖相同之鍵裝 置及蓋體檢出裝置的背面圖。 第30圖係本發明之第3實施樣態之與第3圖相同圖。 第31圖係與說明本發明之第3實施樣態之晶片裝載器C 被元件壓於裝著板77押壓狀態。 第32圖係表示本發明之第4實施樣態之晶片裝載器周邊 部的槪略圖。 第33圖係第32圖之重要部分放大圖。 第34圖係於裝著面之四角落設置由樹脂材料所構成之 圓板體時之裝著板的槪略正面圖。 第35圖係於裝著面之四角落設置由樹脂材料所構成之 圓板體時之裝著板的槪略側面圖。 第36圖係安裝負載板裝置L之半導體製造裝置Η的側面 圖° 第37圖係習知著脫裝置的立體圖。 【發明之最佳實施樣態】 以下即舉出實施例以進一步詳細地說明本發明。首先 ，參照第1至第3圖來說明負載板裝置L之整體構成。第1圖 係本發明之第1實施樣態之具有安裝著脫裝置以之負載板裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4現格（210X29?公釐） ---------装 ------7J------線 f^l.K.-fv-:而之fi^f 項再填'f'J 本頁； β* 五、發明説明（9 ) 置L的側面圖，第2圖係相同於第1圖的背面圖，第3圖係第1 圖之重要部分之側面斷面圖°

I 本發明之第1實施樣態之安裝著脫裝置D,將如在後段記 述般地，主要由設置於晶片裝載器C之蓋體6的鎖裝置E，及 ，設置於蓋體保持板之鍵裝置蓋體檢出裝置艮所構 成。 訂 如第1圖所示，於構成負載板裝置L之裝置本體1的上面 沿著該裝置L之前後方向而敷設導軌2。裝著於此導軌2之導 體2a的上面安裝用以設置晶片裝載器C之裝載設置板3。而 前述裝載設置板3係連結於沿著裝置本體1之上面負載板裝 置L之前後方向而被安裝之空氣壓缶4的氣缶桿4a(參照第3 圖）。藉著作動空氣壓缶4而能將設置於裝載設置板3的晶片 裝載器C沿著同方向移動。在此構成晶片裝載器C裝載器本 體5的前部設置著沿著其外周緣而伸出的蓋體裝著部5a，且 該蓋體裝著部5a藉著蓋體而閉塞。 晶片裝載器C藉著將設置於裝載設置板3之凸部嵌入晶 片裝載器下面的凹部而固定於裝載設置板3。 線 M濟部智慧財產苟負工消費合作社印" 負載板裝置L之裝置本體1的後部（固定於半導體製造裝 置Η之側）安裝有裝著板7。前述負載板裝置L藉著此裝著板7 以密接狀態繫緊於負載板裝置L的狀態而被固定。如第3圖 所示，裝著板7的上部設置著由小開口部7a及大開口部7b所 構成的開口孔。小開口部7d系用以移載其收納於晶片裝載 器C之晶片U者，而大開口部7b係用以插入晶片裝載器C之蓋 體裝著部5a者。在小開口部7a及大開口部7b之間的分段部7c 沿著其周緣安裝著墊圈8。此墊圈8乃藉著密接於晶片裝載 器C之蓋體裝著部5a而達到晶片裝載器C之外部與內部的氣 密0 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A<1規格（2】〇 χ 297公漦） 五、發明説明（10 ) 而且如第2圖及第3圖所示，在負載板裝置L之裝置本體 1的背面部沿著高度方向配設有而無桿氣缶9。於無桿氣缶9 之兩側沿著高度方向而配設一對的導軌Π ’而各別裝著有 導體11a。前述無桿氣缶9之移動體9a及前述導體11a固定裝 著有支架12。一旦作動無桿氣缶9的話則使支架昇降。於裝 著板7設置有容許移動體9a移動的貫通孔。 裝 此支架12上面沿著負載板裝置L之前後方向而敷設著二 根導軌13，其各別裝著著導體13a。各導體13a上面透過區 塊14而安裝著蓋體保持板15。 訂 此蓋體保持板15爲平板狀，僅比晶片裝載器C之蓋體6 大，且相對於前述蓋體6而安裝。該蓋體保持板15藉著約沿 著支架12之高度方向安裝之空氣壓缶16，及安裝於該空氣 壓缶16之氣缶桿16a之先端部的環機構而呈可沿著負載板裝 置L移動。又於第2圖中，標號Π係用以檢測出支架12之上 昇端及下降端的開關。 線 經濟部智慧財產笱員工涓費合作社印製 如第3圖所示，於前述蓋體保持板15(斜線部分）之晶片 裝載器C之一側設置著分段部15a，其周緣安裝有環狀的墊 圈15b。一旦作動空氣壓缶16(參照第2圖）時，則藉著安裝 於其氣缶桿16a之先端部的環機構而使蓋體保持板15向晶片 裝載器C一側移動，其分段部15a進入裝著板7之小開口部7a 。此時，前述小開□部7a乃因安裝於蓋體保持板15之分段 部15a的墊圏15b而被閉塞，而達到半導體製造裝置Η之外部 與內部的氣密。 其次參照第4至第6圖來說明本實施樣態之晶片裝載器C 。第4圖係晶片裝載器C的立體圖，第5圖係將鎖裝置上鎖狀 態之晶片裝載器C的正面圖，第6圖係與第5圖相同之將一部 分破斷的側面圖。 -!3 - 本纸乐尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐） A7 ---------- B7 、發明說明（11) 00 9 第891 12716號專利申請案 說明書修正頁 修正日期：90年09月 如第4至第6圖所示’於構成晶片裝載器c之裝載器本體5 前部設有蓋體裝著部5a，該蓋體裝著部5a裝著有蓋體6。蓋 體6之外周緣部之全同圍周設著有墊圈6a，此墊圈6&乃藉由 密接於前述蓋體裝著部5a之內側而達到半導體製造裝置η之 外部與內部的氣密，而維持晶片裝載器C內之乾淨的環境。 在此蓋體6之內部’且於其寬度方向的兩側部設置著一對的 鎖裝置Ε。 接著說明鎖裝置Ε。如第4及第5圖所示，各鎖裝置Ε係於 蓋體6之高度方向的約中央部，並將其軸心CL1對中心呈可轉 動地配設之圓板狀碟片板18的上下安裝成可與二鎖片板19 —同昇降的構造。如第5、第7及第8圖所示，在各碟片板1.8 上以順沿其周緣方向約90度而形成之一對凸輪溝18a。此凸 輪溝18a之凸輪半徑R並非一定，而係沿著前述碟片板丨8的周 圍方向較短地形成。安裝於前述鎖片板19之基端部（碟片18 之一側的端部）之連結梢19a係嵌合於前述凸輪溝18a。此連 結梢19a係可移動於前述凸輪溝丨心。 碟片板18之正面側突設著一對的突起體18b。在鎖裝置E 上鎖的狀態中，一對的突起體18b呈約水平狀態 <=而於蓋體6 在對應前述一對突起體18b之間的部分，設置用以將構成鍵 裝置A1之鍵元件21之本體部21 a(參考第11圖）進入蓋體6之 內部的鍵孔22。因此，前述鍵孔22係僅比正面觀看之鍵元件 21之本體部21a大的橫長的長方形狀。 如第6圖所示，此鎖裝置E係藉由上下鎖片板19的前端部 嶔合於設置在裝載器本體5之蓋體裝著部5&之嵌合孔23而上 鎖的構造。 參照第7圖至第10圖來說明鎖裝置E上鎖之際的作用。透 過鍵孔22而進入蓋體8內部之鍵元件21乃進入一對突起體 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事瑣蒋填寫本頁) < -----I--訂·---- 經濟部智慧时產局P'工消費合作社印製 五、發明説明（12)

•.:··ϋ:ι.Λ-'ν.··(ν. ·?.ΐ.Μν、··夂 K 18b之間。藉著鍵元件向箭頭P方向轉動而透過一對突起韹 18b，使碟片板18以其軸心CL!爲中心而朝同方同轉動：隨 著碟片板18朝箭頭P方向轉動而使連結梢丨9a與軸心CL;之踣 離漸漸變小，而形成凸輪半徑ΙΓ(參考第8圖），因此，使上 下鎖片板19之基端部相互地接近=如此一來，白於上下鎖 片板19之基端部從設置在蓋體裝著部5a之嵌合孔23著脫裝 置離，因此進行鎖裝置E的解鎖。 相反地，藉著將鍵元件21向與箭頭P相反的方向轉動而 能再度進行鎖裝置E的上鎖。 其次說明鍵裝置4,與蓋體檢出裝置&。第Π圖係第1實 施樣態之著脫裝置0,的立體圖，第12圖係第1實施樣態之鍵 裝置六1及蓋體檢出裝置^之背面圖，第13圖係第12圖之X-X線斷面圖，第14圖係押壓元件壓梢32之部分側面斷面圖。 訂 如第11圖所示，在蓋體保持板15，於與半導體製造裝 置Η相對向側之上部設置鍵裝置A,之主要部分，而相同地於 將中央部設置蓋體檢出裝置Β, « 線 控濟如智&时/!^員工消費合作社印f 最先說明鍵裝置八，。如第11至第13圖所示，構成鍵裝 置八,之一對鍵元件21的本體部21 a在蓋體保持板突出於與晶 片裝載器C之蓋體6相對向側，與一對鍵孔22呈相對向而設 置。各鍵元件21之轉動軸部21b係被內裝於蓋體保持板15之 軸承24所支持，因此，各鍵元件21乃以其軸心CL2爲中心而 可轉動。鍵元件21之本體部21a係比前述鍵孔22更小之橫長 的長方形狀，通常呈水平狀態。 在一對鍵元件21之轉動軸部21b的後端部安裝各連接桿 25的下端部。一對連接桿25的上端部乃藉著連結梢26而呈 遊動狀態與連結板27連結。一對連接桿25藉著前述連結板27 而相互以約平行的狀態連結，而形成平行連接桿機構。因 15 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】OX297公釐）

465009 V Β， 五、發明说明（13 ) 此，藉著使前述連結板27圓弧狀地移動而能使一對連接桿25 以各鍵元件21之軸心CL2爲中心而進行曲柄運動。其結果則 —對鍵元件同步而朝同一方向且僅以預先設定的角度轉動 。此角度係約與構成鎖裝置E之各碟片板18之凸輪溝18a的 角度相同，約90度。 前述曲柄運動係以單—的空氣壓缶28來進行。此情形 下，在蓋體保持板15之背面側而爲連結板27之上方，相對 於前述蓋體保持板15之板面平行地配設空氣壓缶28。此空 氣壓缶28的後端部係於蓋體保持板15 ’支掙在與半導體製 造裝置Η相對向側而垂直地安裝的支點梢29。藉此，空氣壓 缶28在形行於蓋體保持板15之垂直面內可在支點梢29周圍 轉動。其氣缶桿28a乃透過連結區塊3丨並相對於連結板27而 約水平地配置般地與該連結板27連結。 一旦作動空氣壓缶28時，其氣缶桿28a會出入。該空氣 壓缶28以支點梢29之軸心爲中心而上下搖動之同時，使連 結板27圓弧狀地移動。如此一來，透過一對連接桿25而使 各鍵元件21分別以其軸心CL2爲中心，同步而朝同一方向僅 轉動設定的角度。又，於前述蓋體保持板15設置一用以在 著脫蓋體6之際，使該蓋體6保持呈安定狀態之複數根（本實 施例爲4根）的押壓梢32。其次說明此押壓梢32。 經濟部智丛財產苟肖工消资合作社印製 如第12圖至第15圖所示，於蓋體保持板15之四角落的 近傍配設4根押壓梢32。此等押壓梢32係插通於負載板裝置 L之前後方向所形成之各押壓梢插通孔33 »此押壓梢32係樹 脂製，其前端部係由形成略似紡錘形狀之本體部32a，及’ 具有比前述押壓梢插通孔33之內徑更大之外徑的導部32b所 構成。本體部32a之前端部係從蓋體保持板15之半導體製造 裝置Η側插通於前述押壓梢插通孔33。 16 經濟部皙慈財表局ΜΚ工沩#合作社印製 五、發明説明（14) 蓋體保持板15之押壓梢插通孔33部分之半導體製造裝 置Η側安裝有彈簧承受筒部34。此彈簧承受筒部34係有底圓 筒狀，而係用以支持使押壓梢32不會落下之元件。即，押 壓梢32之導部32b配置於彈簧承受筒部34之內部。而且’押 壓梢32之導部32b與彈簧承受筒部34之底部之間彈性裝設（ 裝著）著壓縮彈簧35。因此押壓梢32，以其本體部32a從蓋 體保持板15向晶片裝載器C側突出狀態被賦予勢能。 其次說明蓋體檢出裝置匕。如第12圖、第16圖及第17 圖所示，於蓋體保持板15之約中央部且在負載板裝置L之前 後方向設置貫通孔36。該貫通孔36裝設著軸承37。在此軸 承37插通著可移動的檢測梢38。此檢測梢38係分段軸元件 ，由藉著蓋體6而被押壓元件壓之本體部38a，及，與畝本 體部38a同軸設置之檢測桿部38b所構成。本體部38a之前端 部係呈半球狀。另一方面，本體部38a之後端部裝著有比前 述本體部38a之外徑更大的圓板狀之彈簧承受環39。又，於 蓋體保持板15之貫通孔36部分之半導體製造裝置Η的一側， 透過以側面觀看呈略U字形狀的支架41而固設著光感測器42 。此光感測器42之上部呈雙胯形狀而設置著投光部42a及受 光部42b ’經常從一側之投光部42a向另一側的受光部42b發 射可視光線、紫外線' 紅外線等光線42c。此光線42c係藉 著被檢測物（此情形下爲檢測桿部38b)而被遮斷，藉此輸出 檢測信號的構造。而且，檢測梢38之檢測桿部38b的外周部 乃彈性裝設著壓縮彈簧43。該壓縮彈簧43係藉著前述彈簧 承受環39及支架41而被支持著，因此，檢測梢38經常向晶 片裝載器C之一側賦予勢能。 其次’說明本實施樣態之著脫裝置h的作用β 如第3圖所示，負載板裝置L之裝著板7押附著蓋體保持 _ - 17 - 本紙張纽顧巾_家鮮（CNS ) __格（2|Gx29v>楚） ---------%------,οτ------線 ί·ί·":·>1 o'/乂:£亨吋再'Λ.ϋ K j 4 6 δ 0〇Β Β7 轉If 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（15) 第89丨12716號專利申請案 說明書修正頁 修正日期：90年09月 板15之墊圈15b ’因此’半導體製造裝置Η能保持氣密狀態。 又’晶片裝載器C收納著一定片數的晶片υ，而使設置於蓋體 6之鎖裝置Ε上鎖。 以此狀態作動空氣壓缶4,使晶片裝載器c朝半導體製造 裝置Η之一側移動。如第11圖所示，設置於蓋體保持板丨5之 一對鍵元件21的本體部21 a透過相對向的鍵孔22而相對地進 入蓋體6的內部。鎖裝置E爲上鎖的狀態時，前述鍵孔22與突 起體18b係配置呈對應前述鍵元件21之本體部21a之水平狀 態，且兩者21、22之軸心CL1、CL2係呈吻合，因此，一對鍵 元件21之本體部21a乃滑順地進入突起部18b之間。同時，各 押壓梢32與檢測梢38係被蓋體6押壓，而抵抗著各別的壓縮 彈簧35、43的賦予勢能力量而後退。以第18圖表示此狀態。 其次如第19圖所示，作動空氣壓缶28而使其氣缶桿28a 突出。藉此，透過連結板27而使一對連接板25進行曲柄運動 ，使一對鍵元件21以此等之軸心CL2爲中心同步而僅轉動一 設定角度（約90度）。藉此，如第7至第10圖所示，上下之鎖 片板19進行昇降而從設置在晶片裝載器C之蓋體裝著部5a的 嵌合孔23著脫裝置離，以致於使鎖裝置開鎖。 此時，由於各鍵元件21之本體部21a係配置成立起狀態 ，因此，與對應之鍵孔22卡合而不會掉出。而且’蓋體6之 四角落藉著各押壓梢32而被賦予勢能，故該蓋體16乃相對於 蓋體保持板15而以頂住的狀態保持著。即’蓋體6係以穩定 狀態保持在前述蓋體保持板15 ^ 另一方面，檢測梢38被蓋體押壓而後退。此時’檢測梢 38之檢測桿部38b遮斷了光感測器42之前端42c ’因此，從該 光感測器42輸出檢測信號。 -18 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I I 11 I I I J *^· I I--— I 訂- I-----f-i f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（I6 ) 接著作動空氣壓缶16(參照第2圖）而使蓋體保持η 車弓 半導體製造裝置Η之一側移動如第20圖吁示.甴於蓋證6 係被保持於蓋體保持板15，故與蓋體保持板15形晈一體而 由裝著板7隔離。由於蓋體6係被保持於蓋體保持杈15 · S 此’蓋體保持板15移動之間亦由光感測器42輸岀檢測信訖 。此時’著脫裝置0,係正常地作動而就此繼續通常的作動 〇 於此，從光感測器42輸出檢測信號的意義即表示蓋體6 押壓著檢測梢38的意思。爲了達到前述蓋體6抵抗各壓縮彈 簧35之賦予勢能力量而被蓋體保持板15約以密接狀態保持 之情形’則有必要將構成鍵裝置Α,之一對鍵元件219乎一 1 體部21a ’及，構成設置在蓋體6之鎖裝置的一對鍵孔22係 設成可卡合狀態者》 若是一對鍵元件21之本體部21a折損之情形下，即使一 對鍵元件轉動亦僅爲該鍵元件21空轉，而不與所對應之鍵 孔22卡合。而且此情形下，該蓋體6係藉著各押壓梢32而被 押壓’因此，蓋體保持板15由裝著板7隔離之際，一對鍵元 件21就如此地從所對應之鍵孔22脫出了。即，僅蓋體保持 板15僅移動.此時，由於檢測梢38藉著壓縮彈簧43之陚予 勢能力量而從蓋體保持板15向突出的方向賦予勢能，因此 經濟部^^吋是场：玲工消^合作社印^ ’該檢測梢38前進而其檢測桿部38b遮斷光感測器42之前端 42c。其結果則停止從光感測器42輸出檢測信號。15如此— 來檢測出蓋體保持板未保持著蓋體6的狀態，而能發出其狀 態的警報等。藉此即可得知鍵元件21或鎖裝置E之任何一方 有問題。 其次說明於蓋體保持板保持著蓋體6的狀態時停電的情 形。通常的情形下，在停電後的再給電時，一對鍵元件21 ——~~____________ · 19 - 本張&度通用中國目家辟（) A4規格（21QX297公楚） 465 00 9

B 五、發明説明（17 ) m ^rfr i I .^1^1 ΐ-1 - I :士 *- ^"-ϋ^ϋ^^'·''·1^-,,.、"" 回復到原點，即，一對鍵元件21之本體部21a回復到水平狀 態。此狀態乃相當於與對應一對鍵元件21之本體部21a之鍵 孔22之卡合爲開鎖狀態。另一方面，前述蓋體6係藉著安裝 於各押壓梢32之各壓縮彈簧35而被賦予勢能。因此有該蓋 體6會從蓋體保持板15著脫裝置離落下的顧慮。然而*本實 施樣態則能藉著光感測器42而檢測出蓋體保持板15是否保 持著蓋體6。因此，在蓋體保持板15保持著蓋體6之情形下 再供電之際，一對鍵元件21乃不回復至原點般地藉由控制 部42m(參照第16圖）而控制氣缶28之驅動元件28d。藉著如 此情形則能防止蓋體6脫離而落下。 .如上所述，本實施樣態之著脫裝置0,的情形乃能於蓋 體保持板16從裝著板7隔離之際，檢測出是否保持著蓋體6 者。至於蓋體保持板15保持著蓋體6之狀態而隔離之意思乃 意味著晶片裝載器爲開口狀態者。爰此，自動機械裝置之 臂部（圖式未顯示）乃能不干擾蓋體6而進入晶片裝載器(:內 。被狀納於晶片裝載器C內的晶片U被移載至半導體製造裝 置Η。 經濟部皙"·財是局資工消費合作社印製 在半導體製造裝置Η內被處理的晶片ϋ再度被收納至晶 片裝載器C中。而以與上述作用完全相反的順序在晶片裝載 器C之移載器本體5之蓋體裝著部5a安裝蓋體6並進行鎖裝置 E的上鎖。 其次參照第21至26圖說明本發明之第2實施樣態的著脫 裝置D2。 本實施樣態的著脫裝置02乃與第1實施樣態的著脫裝置 D,相同地主要係由設置於晶片裝載器C之蓋體51的鎖裝 ，及’設置於蓋體保持板52之鍵裝置纟2及蓋體檢出裝置^ 所構成。如第21圖所示，於前述蓋體51之約中央部設置凹 -20 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（1S ) 部51a。而且於該蓋體51之上部及下部設置用以進行與鍵裝 置八2之定位的梢孔53。又，鎖裝置£的構造乃與第丨實施樣 態完全相同而具有鍵孔22。 首先說明本實施樣態之鍵裝置 如第22圖所示’在蓋體保持板52之背面側，其空氣墼 缶54係平行地安裝於前述蓋體保持板52之板面。在該空氣 壓缶54之上方透過安裝於其氣缶桿54a之連結區塊55而與空 氣壓缶54略呈平行地安裝連結板56。此連結板56之兩側各 別安裝呈可自由轉動的二根連結板57、58,而透過各連結 板57、58連結著一對鍵元件59。 如第23圖及第24圖所示，一對鍵元件59係被配設在圓 筒狀之支架61內側的軸承62所支掙而可自由轉動。而其前 端部分（本體部59a)乃從蓋體保持板52突出。一對連接板58 係以相互約平行的狀態而連結於所對應的連接板57而形成 平行連接機構。因此，藉著作動空氣壓缶54而能使一對鍵 元件59同步而朝同一方向僅以預先設定之角度轉動。在第22 圖中，以二點的虛線使空氣壓缶54作動而轉動一對連接板58 連接板58的狀態。 又’在前述支架61之內側’於一對鍵元件59之外周部 分裝著有押壓筒63。此押壓筒63之後方（背面側）彈性裝設 壓縮彈簧64。藉著該壓縮彈簧64 ’使前述押壓筒63經常向 前方（蓋體51—側）賦予勢能。 其次以第25圖及第26圖來說明本實施樣態之蓋體檢出 裝置B2。如前所述，於第25圖及第26圖所示之蓋體51上設 置二處用以進行定位之梢孔53。於蓋體保持板52在對應各 梢孔53的位置各別裝置定位梢53。此等定位梢65係藉著安 裝於蓋體保持板52之背面側的圓筒狀支架66 ’及’裝設於 -21 - 本紙乐尺度適用中國國家標準^ CN'S ) Α4規格（210X 297公釐） 1U. 订 線 f-ri.vt!v:「i-'.wv-;i*本項再 4('J夂打、 465009 經濟部智^財是场具工消費合作社印製 五、發明説明（19 ) 此支架66之內側而爲前述定位梢65之外周部分的押壓筒67 而被支持"》該押壓筒67乃藉著其後方彈性裝設之壓縮彈簧6S 而經常朝前方（蓋體51之一側）賦予勢能6又’押壓筒67之 後端面沿著其軸方向而設置一貫通支架66之檢測梢69。在 前述支架66之背面側的上面裝設光感測器71»此光感測器71 乃與第1實施樣態之光感測器42相同。 接著說明本實施樣態之著脫裝置〇2的作用。 一旦蓋體51與蓋體保持板52相對地接近時，所對應之 定位梢65乃插通蓋體51之各梢孔53。同時，鍵元件59之本 體部59a插通蓋體51之鍵孔22。 而且一旦兩者51、52接近時，則蓋體51與各押壓筒63 、67之前端面頂接，該各押壓筒63、67乃各別地抵抗壓縮 彈簧64、68之彈性復原力而向後方移動。此時，由於各押 壓筒63、67押壓蓋體51，因此，該蓋體51係呈頂住狀態。 此結果則使蓋體51被保持成穩定狀態。同時，因構成蓋體 檢出裝置匕之押壓筒67的檢測梢69遮斷光感測器71之光線 ，故輸出檢測信號。 續上所述’一旦作動空氣壓缶54時，一對鍵元件59僅 轉動設定的角度而使蓋體51之鎖裝置E開鎖。 本實施樣態之著著脫裝置裝置〇2的情形乃定位梢65插 通蓋體51之梢孔53而使蓋體51與鍵裝置六2確實地定位。而 且，各押壓筒63、67面接觸鍵元件59及定位梢65之周邊部 並押壓，因此，比較於以點接觸而押壓的第丨實施樣態的情 形’則能將該蓋體51以更穩定狀態地保持。此一結果使鍵 裝置A2之動作更穩定。又，蓋體51不會搖動且更確實地以 被保持的狀態來著脫。 再者，如第27圖及第28圖所示，各押壓筒67之前端面（ ______ - 22 - 本紙張尺度if用中g]國家標♦(⑽）Μ規格（公幻 ------>!l·--ο-----I 訂 I------泉^---- f.-L--::-Lw^-J'l:.·之;'i念卞.項再評.ν,-夂玎) 控濟部智.¾財產局8工消費合^：社印製 五、發明説明（20 ) 各定位梢65的周圍），亦可將其一部分以突出的狀態裝設橡 膠環72(本實施樣態爲0環）》如此的蓋體檢出裝置匕的情形 下，蓋體51與各橡膠環72密接而兩者之間作用大的摩擦力 ，因此，前述蓋體以其自身重量而不會錯開，進而該蓋體51 能被更穩定地保持。 又，即使如第23圖所示於押壓筒63之前端面裝設橡膠 環亦能獲得同樣的效果。 上述各實施樣態之蓋體檢出裝置Bs、：62係於蓋體6、51 約密接狀態保持在蓋體保持板15、52之際，藉著押壓檢測 梢38或押壓筒67而作動光感測器42、71而輸出檢測信號的 構造°即，藉著蓋體6、51接觸於檢測梢38或押壓筒67而使 光感測器42、71作動。因此能無關於蓋體6、51之材質而進 行檢測。爰此，即使蓋體6 ' 51爲透明體亦能確實施樣態地 檢測。而且亦可採用將光感測器、超音波光感測器、紅外 線感測器等非接觸式感測器埋設於蓋體保持板15、52而以 非接觸方式檢測出有無蓋體6、51。 又，固然在此說明了將檢測梢38設置於押壓筒67的情 形，惟，即使將檢測梢設置於押壓筒63的情形亦能獲得同 樣的效果。 其次說明第3實施樣態之著脫裝置D3。如第29圖及第30 圖所示，本實施樣態之著脫裝置D/系在相當於導板之前後 方向（圖中的左右方向）而設置於可移動之基板73的支架74( 驅動板）裝設一對鍵元件75。一對鍵元件75乃藉著作動安裝 於前述支架74之背面側之一對空氣壓缶76而可轉動。 本實施樣態之著脫裝置之蓋體保持板77係相對於一 對鍵元件75而呈可相互移動地裝設著。而且，各鍵元件75 之周圍而在支架74與蓋體保持板77之間彈性裝設著壓縮彈 -23 - 本紙乐尺度適用中囤國家標準（CNS ) A4规格（210X297公嫠） ---------U------,玎—----線 (-/-，'-^^-"'之^念卞^'4#··'--1'''^"'〕 465009 A， 五、發明説明（21 ) 簧78(賦予勢能元件之一例）。又，突出於蓋體保持板77之 正面側的各定位梢79的周圍係各別裝設著橡膠環81 = ί^-ν-··Η -·、A之·;1-·'--·",ί!4:;;:::-·'太τί 一對空氣壓缶76與一對鍵元件75乃透過各連結元件S2 、83、84及一對連結板85而連結。 其次以第30圖及第31圖來說明本實施樣態之作闬。 首先，鍵元件75及蓋體保持板77朝著構成負載板裝置L 之裝著板7移動。蓋體保持板77被裝著板7押壓而配合於前 述移動之力與壓縮彈簧78的賦予勢能力量。此時’壓縮彈 簧78收縮而使一對鍵元件75之本體部75a從蓋體保持板77之 前面突出》 訂 接著如第31圖所示，晶片裝載器C從裝著板7之相對側 前進，其蓋體51會頂接蓋體保持板77之橡膠環81。此時各 鍵元件75之本體部75a插入於蓋體51所設之各鍵孔22(例如 參照第21圖）。此狀態下，當一對空氣壓缶76被作動時，則 一對鍵元件75向一定方向轉動而使蓋體51所設之鍵裝置E開 鎖。 經"-部智慧財4场肖工消費合作社印製 其後，當鍵元件75(圖中的右方）後退時*晶片裝載器C 之蓋體51亦後退，但是由於蓋體保持板77因壓縮彈簧而被 押向前側（圖中的左側），故晶片裝載器C之蓋體51被保持成 不會錯開蓋體保持板77狀態。此時蓋體51與各橡膠環81密 接而由於兩者之間大的摩擦力作用而能抑制該蓋體51因自 身重量而錯開。即，本實施樣態之著脫裝置D3之中，晶片 裝載器C係藉著蓋體保持板77之橡膠環81而被保持，因此， 具有能更確實地保持該蓋體51的效果。 又，橡膠環係可設置在對應於蓋體側之平面部的任意 位置。例如可裝設在鍵元件之周圍或沿著蓋體的外周而大 大地裝設。 -24 - 本紙張尺度適用中國國家標芈（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） -Μ濟部智慧时產局’負工消費合-^社印-^ 五、發明説明（22 ) 又’本實施樣態中亦最好是於例如定位梢79之近傍設 置如第16圖或第25圖所示之蓋體檢出裝置^ ' B:。 其次說明本發明之具有第4實施樣態之著脫裝置的負載 板裝置L4。 如第32圖及第33圖所示’在構成負載板裝置l4裝載器 載置體141的內側並於半導體製造裝置D之一側固定裝設一 略三角形狀之支架142 »此支架142之上面約呈水平地安裝 導引塊143。於該導引塊143裝設可向前後方向移動的導軌 144。該導軌144之上面安裝用以載置晶片裝載器(：之裝載器 載置板145。 前述裝載器載置板145藉著使裝著於導引塊143之導軌 144向前後方向移動而可朝同方移動。前述支架m2之後端 部（圖中之右位置）固定設置一向側方突出狀態的氣缶支架 146，而空氣壓缶147乃沿著前述導軌144之長邊方向而配設 於該氣缶支架146。前述空氣壓缶147之氣缶桿147a透過回 定設置於裝載器載置板145之底面的連結板〗48的貫通孔 148a而突出於前述連結板148的後方（圖中的右方）。栓合於 前述氣缶桿147a之前端部的六角螺帽149與前述連結板I48 之間則彈性裝設壓縮彈簧151。 使前述空氣壓缶147作動而拉入其氣缶桿147a。如此一 來，透過前述壓縮彈簧151而拉連結板148,裝載器載置板145 被導引塊143所導引而前進。因晶片裝載器C之長度的尺寸 錯差，即使其被裝著面153(前端面）頂接於裝著板152之裝 著面152a，甚至於即使是空氣壓缶147之氣缶桿147a被拉的 情形下，前述壓縮彈簧151亦因更被壓縮而能吸收其衝擊力 。因此，能防止晶片裝載板C被裝著面153以大的力量而衝 突裝著板152之裝著面152a，故前述被裝著面並無被損傷的 -25 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CN’S ) Α4规格（2!0x 297公釐） ------U------.玎------線 f^面之:'!;&事π再堉3 木页) 465 009 五、發明説明（23 ) 顧慮。 又，由於彈簧的作用，故即使有精密度誤差亦能使裝 載器之框體與裝著板密接。 而且，如第34圖及35圖所示，亦可於裝著板152之裝著 面152a安裝緩衝元件。此實施樣態乃於裝著面152a的四角 落將樹脂材料所構成之各圓板體154從前述裝著面152a以僅 僅向後方突出的狀態埋沒。於晶片裝載器C前進之際，由於 其被裝著面153頂接於各圓板體154，因此，即使是任何情 形下亦不會頂接於於金屬構成之裝著面152a。爱此，則無 晶片裝載器C之被裝著面153損傷之虞。又，在第34圖及第35 圖中，55係移載窗。 本實施樣態之特徵乃前述第1至第3實施樣態之各個的 組合而得，並能獲得更有用的裝置者。 【元件標號對照】 經濟部智慧財是局資工消費合作社印製 L 負載板裝置 5 裝載器本 C 晶片裝載器 5a 蓋體裝著 CL1 · _ CL2 軸心 6 ' 51、206 蓋體 U 晶片 7 裝著板 E 鎖裝置E 7a 小開口部 D, 著脫裝置 7b 大開口部 A丨 鍵裝置 7c 分段部 B, 蓋體檢出裝置 8 墊圈 1 本體 9 無桿氣缶 2 導軌 9a 移動體 3 裝載設置板 11 ' 13 導軌 4 空氣壓缶 11a ' 13a導體 4a 的氣缶桿 12 支架 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

經濟部智法財產局0(工消費合'^社印製 五、發明説明（ 15 ' 52 、 2” 215蓋體保持板 55 連結區塊 16 空氣壓击 56 、 57 、 58連結板 16a 氣击桿 59 鍵元俘 17 開關 61 圓筒狀支架 18a 凸輪溝 62 軸承 19 鎖片板 63 押壓筒 19a 連結梢 64 壓縮彈簧 21b 轉動軸部 65、79 定位梢 23 嵌合孔 66 圓筒狀支架 29 支點梢 67 押壓筒 31 連結區塊 68 壓縮彈簧 32 押壓梢 69 檢測梢 33 押壓梢插通孔 71 光感測器 34 彈簧承受筒部 72、81 橡膠環 35 壓縮彈簧 73 基板 36 貫通孔 74 支架 37 軸承 75 鍵元件 38 檢測梢 76 空氣壓缶 39 彈簧承受環 77 蓋體保持板 41 支架 82〜84 連結元件 42 光感測器 85 連結板 42a 投光部 141 裝載器載置體 42b 受光部 142 支架 42c 光線 143 導引塊 43 壓縮彈簧 144 導軌 54 空氣壓缶 145 裝載器載置板 54a 氣击桿 146 氣宙支架 27 ---------,------‘订------線 :.?'·:.1ν,»'νκ·-έ 之注*笋再填一.1;本 I ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 4 6 5 009 經吊部皙丛財走局肖工消费合作社印^ 五、發明説明（25 ) 147 空氣壓缶 147a 氣宙桿 148 連結板 148a 貫通孔 149 六角螺帽 151 壓縮彈簧 152 裝著板 154 圓板體 200 著脫裝置 201 本體 218 碟片板 218b 突起體 221 鍵元件 221a 鍵元件之本體部 222 鍵孔 291 自動機械裝置 292 空氣供給裝置 -2ft - 1—^i ^nr - nl^i - - I -I -- - ί·^· ^—Γ— 1— 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐）

Claims (1)

1. cs D8 5 009 六、申請專利範圍 1. 一稹晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其特徵在於具有： 蓋體保持板，係相對於設置具有露出於外側之鍵孔之 的鎖裝置之晶片裝載器的蓋體，能在該鍵孔之側相對地進 退動作； 驅動部，係用以進行前述蓋體保持板之前述進退動作： 及， 鍵元件，係可向蓋體保持板之前述蓋體側轉動地突出 之同時，於前述鍵孔配置對向於前述進退動作方向， 前述鎖裝置藉著前述鍵孔內之前述鍵元件轉動而呈上 鎖及開鎖，於上鎖狀態時，前述鍵元件係可插入及脫離前 述鍵孔，而於開鎖狀態時，前述鍵元件與前述鍵孔卡合而 不能從前述鍵孔脫離，而使蓋體保持板呈保持蓋體的狀態， 於藎體保持板裝設用以檢測出該蓋體保持板是否爲保持蓋 體的狀態的蓋體檢出裝置。 2. 如申請專利範圍第1項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中， 前述蓋體檢出裝置具有藉著蓋體保持板是否爲保持蓋 體之狀態而變化位置的被檢測元件，及，檢測出前述被檢 測元件之位置的檢測部。 3. 如申請專利範圍第1項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中更具有於供入電源時’依據蓋體檢出裝置之輸出而於蓋 體保持板爲保持蓋體之狀態情形下，控制鍵元件不會控制 回復原點的控制部。 4，如申請專利範圍第1項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 本紙張尺度適財關家標準（CNShVl規格（：?】0 X 297公f ----------------裝--------- 訂----------線 {請先Κ"背*之注意事項"->知本頁) 慧 財 產 局 消 費 合 社 印 'U 經濟部智慧財產局員工消費合，作社印't 、申請專利範圍 中蓋體保持板之前述蓋體側的面乃設置抵抗鍵元件與鍵孔 之卡合而將前述蓋體向遠離前述保持板之方向作用賦予勢 能力量的押壓元件。 5. 如申請專利範圍第1項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中前述押壓元件於前述蓋體側之面具有橡膠元件。 6. 如申請專利範圍第1項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中晶片裝載器係被載置於可朝與前述驅動部所導致蓋體保 持板之進退方向相同的方向移動的可動載置部，前述可動 載置部透過緩衝元件而連接於用以移動該可動載置部的第 2驅動部。 7. —種晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其特徵在於具有： 蓋體保持板，係相對於設置具有露出於外側之鍵孔之 的鎖裝置之晶片裝載器的蓋體，能在該鍵孔之側相對地進 退動作： 驅動部，係用以進行前述蓋體保持板之前述進退動作； 及， 鍵元件，係可向蓋體保持板之前述蓋體側轉動地突出 之同時，於前述鍵孔配置對向於前述進退動作方向， 前述鎖裝置藉著前述鍵孔內之前述鍵元件轉動而呈上 鎖及開鎖，於上鎖狀態時，前述鍵元件係可插入及脫離前 述鍵孔，而於開鎖狀態時，前述鍵元件與前述鍵孔卡合而 不能從前述鍵孔脫離，而使蓋體保持板呈保持蓋體的狀 態’於蓋體保持板之前述蓋體側之面乃設置抵抗鍵元件與 鍵孔之卡合而將前述蓋體向遠離前述保持板之方向作用賦 -30- 本紙張&度適用中0國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公S > ------------裝--------訂---------線 (诗先閱讀背面之;i急事項再填骂本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 AS CS Π8 六、申請專利範圍 予勢能力量的押壓元件。 8. 如申請專利範圍第7項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中前述押壓元件係於前述蓋體側之面具有橡膠元件^ 9. 如申請專利範圍第7項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中蓋體保持板裝設用以檢測出該蓋體保持板是否爲保持毫 體之狀態的蓋體檢出裝置。 10. 如申請專利範圍第7項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置，其 中前述蓋體係於蓋體保持板之面具有梢孔，前述蓋體保持 板在前述蓋體側之面具有對向於前述梢與前述進退動作方 向而突出的定位梢。 11. 如申請專利範圍第10項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置， 其中前述押壓元件係設置於前述定位梢之周圍。 12. 如申請專利範圍第11項之晶片裝載用蓋體之著脫裝窿， 其中前述蓋體檢出裝置具有藉著蓋體保持板是否爲保持蓋 體之狀態而變化位置的被檢測元件，及，檢測出前述被檢 測元件之位置的檢測部，前述被檢測元件係設置於前述押 壓元件。 13·如申請專利範圍第10項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置， 其中前述押壓元件係設置於前述鍵元件之周圍。 14.如申請專利範圍第13項之晶片裝載用蓋體之著脫裝置， 其中前述蓋體檢出裝置具有藉著蓋體保持板是否爲保持蓋 體之狀態而變化位置的被檢測元件，及，檢測出前述被檢 測元件之位置的檢測部，前述被檢測元件係設置於前述押 壓元件。 -31 - 本紙張尺嗄適用中SS家標準規格（210 x 297公S ) -------------*--r 裝----I ί 訂 ----i_ 線 fH先欠筇背*-^音？事項^^本頁) AS abcd 六、申請專利範圍 前述鎖裝置藉著前述鍵孔內之前述鍵元件轉動而呈上 鎖及開鎖，於上鎖狀態時，前述鍵元件係可插入及脫離前 述鍵孔，而於開鎖狀態時，前述鍵元件與前述鍵孔卡合而 不能從前述鍵孔脫離，而使蓋體保持板呈保持蓋體的狀態。 -------------裝—— <請先圮^背面之;it事項再填骂本頁) 訂---------線 ⑽-濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34-