JPH11354622A - カセットボックス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法 - Google Patents
カセットボックス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法Info
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- JPH11354622A JPH11354622A JP16402398A JP16402398A JPH11354622A JP H11354622 A JPH11354622 A JP H11354622A JP 16402398 A JP16402398 A JP 16402398A JP 16402398 A JP16402398 A JP 16402398A JP H11354622 A JPH11354622 A JP H11354622A
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- Japan
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- box door
- latch
- cassette
- closing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウエハの搬送や保管に使用するカセッ
トボックスの扉開閉に関して、異常時でもカセットボッ
クスや装置を破損せず、緊急停止による装置復帰を迅速
に行え、ダスト発生の少ないカセットボックス扉開閉装
置及びカセットボックス扉開閉方法を提供する。 【解決手段】 装置本体１１とカセットボックス扉３を
固定するラッチピン１３ａ，１３ｂが、長手方向に移動
自在で、一方端部にカセットボックス扉３の有無検出手
段１６ａ，１６ｂを、他方端部の付近にラッチピン嵌合
検出手段１８ａ，１８ｂを備えている。カセットボック
スと装置本体１１の位置関係を常に把握して、安全にカ
セットボックス扉３の開閉を行える。カセットボックス
扉３と装置本体１１側の接触はラッチピン１３ａ，１３
ｂのみで、レジスタピンを用いている場合よりもダスト
発生を低減できる。
トボックスの扉開閉に関して、異常時でもカセットボッ
クスや装置を破損せず、緊急停止による装置復帰を迅速
に行え、ダスト発生の少ないカセットボックス扉開閉装
置及びカセットボックス扉開閉方法を提供する。 【解決手段】 装置本体１１とカセットボックス扉３を
固定するラッチピン１３ａ，１３ｂが、長手方向に移動
自在で、一方端部にカセットボックス扉３の有無検出手
段１６ａ，１６ｂを、他方端部の付近にラッチピン嵌合
検出手段１８ａ，１８ｂを備えている。カセットボック
スと装置本体１１の位置関係を常に把握して、安全にカ
セットボックス扉３の開閉を行える。カセットボックス
扉３と装置本体１１側の接触はラッチピン１３ａ，１３
ｂのみで、レジスタピンを用いている場合よりもダスト
発生を低減できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの搬
送や保管に使用するカセットボックスのカセットボック
ス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法に関する
ものである。
送や保管に使用するカセットボックスのカセットボック
ス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造工場におけるウエハの
工程間搬送及び保管には、ウエハ汚染防止のため、ウエ
ハカセットを不活性ガスで密閉できるカセットボックス
が使用されており、１つの行程である半導体製造設備で
は、カセットボックスに対するウエハ取り出しやウエハ
収納を行うため、カセットボックス扉の開閉を行う装置
を有している。
工程間搬送及び保管には、ウエハ汚染防止のため、ウエ
ハカセットを不活性ガスで密閉できるカセットボックス
が使用されており、１つの行程である半導体製造設備で
は、カセットボックスに対するウエハ取り出しやウエハ
収納を行うため、カセットボックス扉の開閉を行う装置
を有している。
【０００３】以下、図面を参照しながら従来のカセット
ボックス扉開閉装置を説明する。図４、図５において、
１はロードポートリフタ、２はカセットボックス本体で
あり、このカセットボックス本体２はロードポート１の
所定位置に載置されている。３はカセットボックス扉で
あり、それぞれ２個（複数）のレジスタ丸穴４ａ，４
ｂ、及びラッチ穴５ａ，５ｂを有し、Ｏリング６を介し
てカセットボックス本体２に接しすることで、カセット
７を密封している。
ボックス扉開閉装置を説明する。図４、図５において、
１はロードポートリフタ、２はカセットボックス本体で
あり、このカセットボックス本体２はロードポート１の
所定位置に載置されている。３はカセットボックス扉で
あり、それぞれ２個（複数）のレジスタ丸穴４ａ，４
ｂ、及びラッチ穴５ａ，５ｂを有し、Ｏリング６を介し
てカセットボックス本体２に接しすることで、カセット
７を密封している。
【０００４】１０は半導体製造装置のハンドリング装置
（カセットボックス扉開閉装置の一例）であり、その装
置本体１１は、上下左右など少なくとも３軸方向に駆動
する駆動手段（図示せず）につながっている。装置本体
１１側には、カセットボックス扉３と正対する面に２本
（複数本）のレジスタピン１２ａ，１２ｂが取り付いて
おり、また２本（複数本）のラッチピン１３ａ，１３ｂ
が、互いに平行にかつ回転自在に保持されている。そし
てラッチ穴５ａ，５ｂに対して、ラッチピン１３ａ，１
３ｂを挿入嵌合したのち回転することにより、カセット
ボックス扉３と装置本体１１が固定される。
（カセットボックス扉開閉装置の一例）であり、その装
置本体１１は、上下左右など少なくとも３軸方向に駆動
する駆動手段（図示せず）につながっている。装置本体
１１側には、カセットボックス扉３と正対する面に２本
（複数本）のレジスタピン１２ａ，１２ｂが取り付いて
おり、また２本（複数本）のラッチピン１３ａ，１３ｂ
が、互いに平行にかつ回転自在に保持されている。そし
てラッチ穴５ａ，５ｂに対して、ラッチピン１３ａ，１
３ｂを挿入嵌合したのち回転することにより、カセット
ボックス扉３と装置本体１１が固定される。
【０００５】以上のように構成されたカセットボックス
扉開閉装置、すなわち、ハンドリング装置１０におい
て、以下その開閉動作について、図６のフローチャート
を参照しながら説明する。
扉開閉装置、すなわち、ハンドリング装置１０におい
て、以下その開閉動作について、図６のフローチャート
を参照しながら説明する。
【０００６】まず、カセットボックス２をロードポート
リフタ１の所定位置に載置する（ステップＳ１）。そし
てハンドリング装置１０をＸ軸正方向に移動させて（ス
テップＳ２）、レジスタ丸穴４ａ，４ｂにレジスタピン
１２ａ，１２ｂを嵌合させる（ステップＳ３）ことで、
ハンドリング装置１０をカセットボックス扉３に位置決
めさせる。同時に、ラッチ穴５ａ，５ｂにラッチピン１
３ａ，１３ｂが嵌合し（ステップＳ４）、次いでラッチ
ピン１３ａ，１３ｂが９０度回転し（ステップＳ５）、
ハンドリング装置１０をカセットボックス扉３に固定さ
せる（ステップＳ６）。
リフタ１の所定位置に載置する（ステップＳ１）。そし
てハンドリング装置１０をＸ軸正方向に移動させて（ス
テップＳ２）、レジスタ丸穴４ａ，４ｂにレジスタピン
１２ａ，１２ｂを嵌合させる（ステップＳ３）ことで、
ハンドリング装置１０をカセットボックス扉３に位置決
めさせる。同時に、ラッチ穴５ａ，５ｂにラッチピン１
３ａ，１３ｂが嵌合し（ステップＳ４）、次いでラッチ
ピン１３ａ，１３ｂが９０度回転し（ステップＳ５）、
ハンドリング装置１０をカセットボックス扉３に固定さ
せる（ステップＳ６）。
【０００７】この状態で、ハンドリング装置１０はＸ軸
負方向に移動し、次にＺ軸正方向に移動し、以てカセッ
トボックス扉３はカセットボックス本体２から外される
（ステップＳ７）。なお、カセットボックス本体２に対
するカセットボックス扉３の装着は、上記動作とは全く
逆に行われる。
負方向に移動し、次にＺ軸正方向に移動し、以てカセッ
トボックス扉３はカセットボックス本体２から外される
（ステップＳ７）。なお、カセットボックス本体２に対
するカセットボックス扉３の装着は、上記動作とは全く
逆に行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のカセットボックス扉開閉装置では、カセットボ
ックス本体２がロードポートリフタ１の所定位置に載置
されていなかった場合、カセットボックス扉３とハンド
リング装置１０は位置決めが正確に行えず、カセットボ
ックス扉３やハンドリング装置１０を破損してしまう。
た従来のカセットボックス扉開閉装置では、カセットボ
ックス本体２がロードポートリフタ１の所定位置に載置
されていなかった場合、カセットボックス扉３とハンド
リング装置１０は位置決めが正確に行えず、カセットボ
ックス扉３やハンドリング装置１０を破損してしまう。
【０００９】また、カセットボックス扉３の開閉動作中
に、たとえば電源が落ちて装置の停止が起こった場合、
カセットボックス扉３がハンドリング装置１０に保持さ
れているか否かが不明であり、目視によりカセットボッ
クス扉３の状態を確認して装置復帰をしなければならな
い。さらに、レジスタピン１２ａ，１２ｂ及びラッチピ
ン１３ａ，１３ｂともに、カセットボックス扉３側のレ
ジスタ丸穴４ａ，４ｂ及びラッチ穴５ａ，５ｂに挿入さ
れるので、多数箇所での摩擦によりダストを増やしてい
る。
に、たとえば電源が落ちて装置の停止が起こった場合、
カセットボックス扉３がハンドリング装置１０に保持さ
れているか否かが不明であり、目視によりカセットボッ
クス扉３の状態を確認して装置復帰をしなければならな
い。さらに、レジスタピン１２ａ，１２ｂ及びラッチピ
ン１３ａ，１３ｂともに、カセットボックス扉３側のレ
ジスタ丸穴４ａ，４ｂ及びラッチ穴５ａ，５ｂに挿入さ
れるので、多数箇所での摩擦によりダストを増やしてい
る。
【００１０】本発明は上記問題点に鑑み、異常時でもカ
セットボックスやハンドリング装置を破損せず、また緊
急停止による装置復帰を迅速に行え、さらにダスト発生
の少ないカセットボックス扉開閉装置及びカセットボッ
クス扉開閉方法を提供するものである。
セットボックスやハンドリング装置を破損せず、また緊
急停止による装置復帰を迅速に行え、さらにダスト発生
の少ないカセットボックス扉開閉装置及びカセットボッ
クス扉開閉方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のカセットボックス扉開閉装置は、装置本体と
カセットボックス扉を固定するラッチピンが、長手方向
に移動自在であり、その一方端部にカセットボックス扉
の有無検出手段を、他方端部の付近にラッチピン嵌合検
出手段を備えた構成を有している。
に本発明のカセットボックス扉開閉装置は、装置本体と
カセットボックス扉を固定するラッチピンが、長手方向
に移動自在であり、その一方端部にカセットボックス扉
の有無検出手段を、他方端部の付近にラッチピン嵌合検
出手段を備えた構成を有している。
【００１２】この構成によって、カセットボックスとカ
セットボックス扉開閉装置の位置関係を常に半導体製造
装置側で把握して、安全にカセットボックス扉の開閉を
行え、また、カセットボックス扉とカセットボックス扉
開閉装置の接触はラッチピンのみで、レジスタピンが不
要となるため、レジスタピンを用いている場合よりもダ
スト発生を低減したカセットボックス扉開閉装置を提供
することができる。
セットボックス扉開閉装置の位置関係を常に半導体製造
装置側で把握して、安全にカセットボックス扉の開閉を
行え、また、カセットボックス扉とカセットボックス扉
開閉装置の接触はラッチピンのみで、レジスタピンが不
要となるため、レジスタピンを用いている場合よりもダ
スト発生を低減したカセットボックス扉開閉装置を提供
することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、装置本体側に、互いに平行にかつ回転自在に保持さ
れた複数のラッチピンと、装置本体を少なくとも３軸方
向に駆動する駆動手段とを有するカセットボックス扉開
閉装置において、各ラッチピンを長手方向に移動可能に
保持する保持手段と、各ラッチピンの一方端部にそれぞ
れ設けられたカセットボックス扉の有無検出手段と、各
ラッチピンの他方端部の付近にそれぞれ設けられたラッ
チピン嵌合検出手段を備えていることを特徴とするカセ
ットボックス扉開閉装置であり、装置本体をカセットボ
ックス扉に接近移動させたとき、カセットボックス扉の
「有無」を検出する有無検出手段の少なくとも一つが
「有り」を検出していないならば装置を停止し、また、
有無検出手段群の全てが「有り」を検出することでラッ
チピンをラッチ穴に嵌合させ、ラッチピン嵌合検出手段
の少なくとも一つが「ラッチ穴嵌合異常」を検出したと
き装置は停止し、そして、ラッチピン嵌合検出手段の全
てが「ラッチ穴嵌合正常」のときにはラッチピンを回転
し、装置本体をカセットボックス扉に固定してカセット
ボックス扉をカセットボックス本体から外すことにな
り、これにより、カセットボックス扉の開閉動作中に装
置が停止したとき、カセットボックス扉がカセットボッ
クス扉開閉装置に保持されている場合は有無検出手段群
の全てがカセット扉の「有り」を検出することから、カ
セットボックス扉の状態を把握でき、また、カセットボ
ックス扉とハンドリング装置の接触は、ラッチピンのみ
となるため、ダスト発生を低減できる、という作用を有
する。
は、装置本体側に、互いに平行にかつ回転自在に保持さ
れた複数のラッチピンと、装置本体を少なくとも３軸方
向に駆動する駆動手段とを有するカセットボックス扉開
閉装置において、各ラッチピンを長手方向に移動可能に
保持する保持手段と、各ラッチピンの一方端部にそれぞ
れ設けられたカセットボックス扉の有無検出手段と、各
ラッチピンの他方端部の付近にそれぞれ設けられたラッ
チピン嵌合検出手段を備えていることを特徴とするカセ
ットボックス扉開閉装置であり、装置本体をカセットボ
ックス扉に接近移動させたとき、カセットボックス扉の
「有無」を検出する有無検出手段の少なくとも一つが
「有り」を検出していないならば装置を停止し、また、
有無検出手段群の全てが「有り」を検出することでラッ
チピンをラッチ穴に嵌合させ、ラッチピン嵌合検出手段
の少なくとも一つが「ラッチ穴嵌合異常」を検出したと
き装置は停止し、そして、ラッチピン嵌合検出手段の全
てが「ラッチ穴嵌合正常」のときにはラッチピンを回転
し、装置本体をカセットボックス扉に固定してカセット
ボックス扉をカセットボックス本体から外すことにな
り、これにより、カセットボックス扉の開閉動作中に装
置が停止したとき、カセットボックス扉がカセットボッ
クス扉開閉装置に保持されている場合は有無検出手段群
の全てがカセット扉の「有り」を検出することから、カ
セットボックス扉の状態を把握でき、また、カセットボ
ックス扉とハンドリング装置の接触は、ラッチピンのみ
となるため、ダスト発生を低減できる、という作用を有
する。
【００１４】請求項２に記載の発明は、カセットボック
ス扉開閉装置をカセットボックス扉に接近移動させて、
有無検出手段によりカセットボックス扉の有無を検出
し、有無検出手段がカセットボックス扉を検出すること
で、装置本体側のラッチピンをカセットボックス扉側の
ラッチ穴に嵌合させ、この嵌合が正確に行われていない
ラッチピンを移動させて、その移動をラッチピン嵌合検
出手段により検出することを特徴とするカセットボック
ス扉開閉方法であり、各検出手段による異常検出時には
装置を自動的に停止できるとともに、カセットボックス
とカセットボックス扉開閉装置の位置関係を常に把握で
きる、という作用を有する。（実施の形態１）以下、本
発明の実施の形態１について図１〜図３を用いて説明す
る。ここで図１は本発明の実施の形態１におけるカセッ
トボックス扉開閉装置とカセットボックスとの展開斜視
図、図２はカセットボックス扉開閉装置の斜視図、図３
は開閉動作のフローチャートを示す。
ス扉開閉装置をカセットボックス扉に接近移動させて、
有無検出手段によりカセットボックス扉の有無を検出
し、有無検出手段がカセットボックス扉を検出すること
で、装置本体側のラッチピンをカセットボックス扉側の
ラッチ穴に嵌合させ、この嵌合が正確に行われていない
ラッチピンを移動させて、その移動をラッチピン嵌合検
出手段により検出することを特徴とするカセットボック
ス扉開閉方法であり、各検出手段による異常検出時には
装置を自動的に停止できるとともに、カセットボックス
とカセットボックス扉開閉装置の位置関係を常に把握で
きる、という作用を有する。（実施の形態１）以下、本
発明の実施の形態１について図１〜図３を用いて説明す
る。ここで図１は本発明の実施の形態１におけるカセッ
トボックス扉開閉装置とカセットボックスとの展開斜視
図、図２はカセットボックス扉開閉装置の斜視図、図３
は開閉動作のフローチャートを示す。
【００１５】なお、従来例（図４、図５）と同一または
ほぼ同一の作用を成すものには、同一の符号を付けて詳
細な説明は省略する。すなわち、図１において、１はロ
ードポートリフタ、２はカセットボックス本体、３はカ
セットボックス扉、５ａ，５ｂはラッチ穴、６はＯリン
グ、７はカセット、１０はハンドリング装置（カセット
ボックス扉開閉装置の一例）、１１は装置本体、１３
ａ，１３ｂはラッチピンをそれぞれ示す。
ほぼ同一の作用を成すものには、同一の符号を付けて詳
細な説明は省略する。すなわち、図１において、１はロ
ードポートリフタ、２はカセットボックス本体、３はカ
セットボックス扉、５ａ，５ｂはラッチ穴、６はＯリン
グ、７はカセット、１０はハンドリング装置（カセット
ボックス扉開閉装置の一例）、１１は装置本体、１３
ａ，１３ｂはラッチピンをそれぞれ示す。
【００１６】本発明の実施の形態１においては、ラッチ
ピン１３ａ，１３ｂとハンドリング装置１０の関係が、
従来例（図４、図５）とは次のように異なっている。す
なわち、この実施の形態１のラッチピン１３ａ，１３ｂ
は、リニアブシュ（保持手段の一例）１５を介して装置
本体１１側に保持されており、以てラッチピン１３ａ，
１３ｂは装置本体１１側に対して、回転自在にかつ長手
方向に移動自在（ストローク可能）に保持される。
ピン１３ａ，１３ｂとハンドリング装置１０の関係が、
従来例（図４、図５）とは次のように異なっている。す
なわち、この実施の形態１のラッチピン１３ａ，１３ｂ
は、リニアブシュ（保持手段の一例）１５を介して装置
本体１１側に保持されており、以てラッチピン１３ａ，
１３ｂは装置本体１１側に対して、回転自在にかつ長手
方向に移動自在（ストローク可能）に保持される。
【００１７】そして、各ラッチピン１３ａ，１３ｂの一
方端部、すなわちカセットボックス扉３に挿入される側
の端部には、それぞれ、カセットボックス扉３の有無を
検出する近接スイッチ（有無検出手段の一例）１６ａ，
１６ｂが埋め込まれている。また、各ラッチピン１３
ａ，１３ｂの他方端部の後方付近には、装置本体１１に
固定されたブラケット１７を介して、それぞれリミット
スイッチ（ラッチピン嵌合検出手段の一例）１８ａ，１
８ｂが設置されている。
方端部、すなわちカセットボックス扉３に挿入される側
の端部には、それぞれ、カセットボックス扉３の有無を
検出する近接スイッチ（有無検出手段の一例）１６ａ，
１６ｂが埋め込まれている。また、各ラッチピン１３
ａ，１３ｂの他方端部の後方付近には、装置本体１１に
固定されたブラケット１７を介して、それぞれリミット
スイッチ（ラッチピン嵌合検出手段の一例）１８ａ，１
８ｂが設置されている。
【００１８】このように構成した本発明の実施の形態１
において、カセットボックス扉３の開閉動作について、
図３のフローチャートを参照しながら説明すると、ま
ず、カセットボックス２をロードポートリフタ１の所定
位置に載置する（ステップＳ１）。次いでハンドリング
装置１０をＸ軸正方向に移動させて（ステップＳ２）、
装置本体１１をカセットボックス扉３に接近移動させ
る。そしてカセットボックス扉３との距離が所定量以下
になると、近接スイッチ１６ａ，１６ｂの両方がカセッ
トボックス扉３の「有無」を検出する（ステップＳ
３）。
において、カセットボックス扉３の開閉動作について、
図３のフローチャートを参照しながら説明すると、ま
ず、カセットボックス２をロードポートリフタ１の所定
位置に載置する（ステップＳ１）。次いでハンドリング
装置１０をＸ軸正方向に移動させて（ステップＳ２）、
装置本体１１をカセットボックス扉３に接近移動させ
る。そしてカセットボックス扉３との距離が所定量以下
になると、近接スイッチ１６ａ，１６ｂの両方がカセッ
トボックス扉３の「有無」を検出する（ステップＳ
３）。
【００１９】この時、近接スイッチ１６ａ，１６ｂの少
なくとも一方がカセットボックス扉３の「有り」を検出
していないならば、カセットボックス扉３が所定の位置
にないと判断し、装置は停止する。
なくとも一方がカセットボックス扉３の「有り」を検出
していないならば、カセットボックス扉３が所定の位置
にないと判断し、装置は停止する。
【００２０】また、近接スイッチ１６ａ，１６ｂの全て
がカセットボックス扉３の「有り」を検出することで、
装置本体１１の接近移動を継続して、ラッチピン１３
ａ，１３ｂの両方をラッチ穴５ａ，５ｂに嵌合させる
（ステップＳ４）。そして嵌合が正確に行われているか
否かを、リミットスイッチ１８ａ，１８ｂの両方が検出
する（ステップＳ５）。
がカセットボックス扉３の「有り」を検出することで、
装置本体１１の接近移動を継続して、ラッチピン１３
ａ，１３ｂの両方をラッチ穴５ａ，５ｂに嵌合させる
（ステップＳ４）。そして嵌合が正確に行われているか
否かを、リミットスイッチ１８ａ，１８ｂの両方が検出
する（ステップＳ５）。
【００２１】この時、ラッチピン１３ａ，１３ｂの少な
くとも一方とラッチ穴５ａ，５ｂが正確に嵌合していな
い場合は、装置本体１１の継続した接近移動に伴って、
ラッチピン１３ａ，１３ｂは装置本体１１側に対してＸ
軸負方向にスライド（長手方向に移動）し、そのスライ
ドをリミットスイッチ１８ａ，１８ｂの少なくとも一方
が、「ラッチ穴嵌合異常」を検出し、装置は停止する。
くとも一方とラッチ穴５ａ，５ｂが正確に嵌合していな
い場合は、装置本体１１の継続した接近移動に伴って、
ラッチピン１３ａ，１３ｂは装置本体１１側に対してＸ
軸負方向にスライド（長手方向に移動）し、そのスライ
ドをリミットスイッチ１８ａ，１８ｂの少なくとも一方
が、「ラッチ穴嵌合異常」を検出し、装置は停止する。
【００２２】また、リミットスイッチ１８ａ，１８ｂの
全てが検出動作せず、「ラッチ穴嵌合正常」のときに
は、ラッチピン１３ａ，１３ｂが９０度回転し（ステッ
プＳ６）、ハンドリング装置１０をカセットボックス扉
３に固定させる（ステップＳ７）。
全てが検出動作せず、「ラッチ穴嵌合正常」のときに
は、ラッチピン１３ａ，１３ｂが９０度回転し（ステッ
プＳ６）、ハンドリング装置１０をカセットボックス扉
３に固定させる（ステップＳ７）。
【００２３】この状態で、ハンドリング装置１０はＸ軸
負方向に移動し、次にＺ軸正方向に移動し、以てカセッ
トボックス扉３はカセットボックス本体２から外される
（ステップＳ８）。なお、カセットボックス本体２に対
するカセットボックス扉３の装着は、上記動作とは全く
逆に行われる。
負方向に移動し、次にＺ軸正方向に移動し、以てカセッ
トボックス扉３はカセットボックス本体２から外される
（ステップＳ８）。なお、カセットボックス本体２に対
するカセットボックス扉３の装着は、上記動作とは全く
逆に行われる。
【００２４】このようなカセットボックス扉３の開閉動
作中に装置が停止したとき、カセットボックス扉３がハ
ンドリング装置１０に保持されている場合は近接スイッ
チ１６ａ，１６ｂの両方がカセット扉の「有り」を検出
がしており、以てカセットボックス扉３の状態を把握で
きる。また、カセットボックス扉３とハンドリング装置
１０の接触は、ラッチピン１３ａ，１３ｂのみとなるた
め、レジスタピンを用いている場合よりも摩擦箇所が少
なくなって、その分、ダスト発生を低減できる。
作中に装置が停止したとき、カセットボックス扉３がハ
ンドリング装置１０に保持されている場合は近接スイッ
チ１６ａ，１６ｂの両方がカセット扉の「有り」を検出
がしており、以てカセットボックス扉３の状態を把握で
きる。また、カセットボックス扉３とハンドリング装置
１０の接触は、ラッチピン１３ａ，１３ｂのみとなるた
め、レジスタピンを用いている場合よりも摩擦箇所が少
なくなって、その分、ダスト発生を低減できる。
【００２５】上記した本発明の実施の形態１において
は、装置本体１１側に、２本のラッチピン１３ａ，１３
ｂが互いに水平方向（横方向）で平行に配設されている
が、これは互いに傾斜方向で平行に配設されていてもよ
い。
は、装置本体１１側に、２本のラッチピン１３ａ，１３
ｂが互いに水平方向（横方向）で平行に配設されている
が、これは互いに傾斜方向で平行に配設されていてもよ
い。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明のカセットボック
ス開閉装置によると、カセットボックスとカセットボッ
クス扉開閉装置の位置関係を常に把握しているので、異
常時でもカセットボックスやカセットボックス扉開閉装
置を破損せず、安全にカセットボックス扉を開閉でき、
また緊急停止による装置復帰を迅速に行うことができ
る。さらに、カセットボックス扉とカセットボックス扉
開閉装置の接触はラッチピンのみとなるため、レジスタ
ピンを用いている場合よりもダスト発生を低減できる。
ス開閉装置によると、カセットボックスとカセットボッ
クス扉開閉装置の位置関係を常に把握しているので、異
常時でもカセットボックスやカセットボックス扉開閉装
置を破損せず、安全にカセットボックス扉を開閉でき、
また緊急停止による装置復帰を迅速に行うことができ
る。さらに、カセットボックス扉とカセットボックス扉
開閉装置の接触はラッチピンのみとなるため、レジスタ
ピンを用いている場合よりもダスト発生を低減できる。
【図１】本発明の実施の形態を示し、カセットボックス
扉開閉装置とカセットボックスとの展開斜視図
扉開閉装置とカセットボックスとの展開斜視図
【図２】本発明の実施の形態を示し、カセットボックス
扉開閉装置の斜視図
扉開閉装置の斜視図
【図３】本発明の実施の形態を示し、開閉動作のフロー
チャート
チャート
【図４】従来のカセットボックス扉開閉装置とカセット
ボックスとの展開斜視図
ボックスとの展開斜視図
【図５】従来のラッチ穴の説明図で、（ａ）はカセット
ボックス扉の外面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ矢
視図
ボックス扉の外面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ矢
視図
【図６】従来の開閉動作のフローチャート
１ ロードポートリフタ ２ カセットボックス本体 ３ カセットボックス扉 ５ａ ラッチ穴 ５ｂ ラッチ穴 ７ カセット １０ ハンドリング装置（カセットボックス扉開閉装
置） １１ 装置本体 １３ａ ラッチピン １３ｂ ラッチピン １５ａ リニアブシュ（保持手段） １５ｂ リニアブシュ（保持手段） １６ａ 近接スイッチ（有無検出手段） １６ｂ 近接スイッチ（有無検出手段） １８ａ リミットスイッチ（ラッチピン嵌合検出手段） １８ｂ リミットスイッチ（ラッチピン嵌合検出手段）
置） １１ 装置本体 １３ａ ラッチピン １３ｂ ラッチピン １５ａ リニアブシュ（保持手段） １５ｂ リニアブシュ（保持手段） １６ａ 近接スイッチ（有無検出手段） １６ｂ 近接スイッチ（有無検出手段） １８ａ リミットスイッチ（ラッチピン嵌合検出手段） １８ｂ リミットスイッチ（ラッチピン嵌合検出手段）
Claims (2)
- 【請求項１】 装置本体側に、互いに平行にかつ回転自
在に保持された複数のラッチピンと、装置本体を少なく
とも３軸方向に駆動する駆動手段とを有するカセットボ
ックス扉開閉装置において、各ラッチピンを長手方向に
移動自在に保持する保持手段と、各ラッチピンの一方端
部にそれぞれ設けられたカセットボックス扉の有無検出
手段と、各ラッチピンの他方端部の付近にそれぞれ設け
られたラッチピン嵌合検出手段を備えていることを特徴
とするカセットボックス扉開閉装置。 - 【請求項２】 カセットボックス扉開閉装置をカセット
ボックス扉に接近移動させて、有無検出手段によりカセ
ットボックス扉の有無を検出し、有無検出手段がカセッ
トボックス扉を検出することで、装置本体側のラッチピ
ンをカセットボックス扉側のラッチ穴に嵌合させ、この
嵌合が正確に行われていないラッチピンを移動させて、
その移動をラッチピン嵌合検出手段により検出すること
を特徴とするカセットボックス扉開閉方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16402398A JPH11354622A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | カセットボックス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16402398A JPH11354622A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | カセットボックス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11354622A true JPH11354622A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15785332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16402398A Pending JPH11354622A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | カセットボックス扉開閉装置及びカセットボックス扉開閉方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11354622A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1998
- 1998-06-12 JP JP16402398A patent/JPH11354622A/ja active Pending
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